JP3013464B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電体基板に、電気
信号を弾性表面波に変換する入力側電極と、上記入力側
電極により励振された弾性表面波を再び電気信号に変換
する出力側電極とを形成して構成された、フィルタ、遅
延線、および、共振器等の機能を有する弾性表面波装置
に関するものである。
信号を弾性表面波に変換する入力側電極と、上記入力側
電極により励振された弾性表面波を再び電気信号に変換
する出力側電極とを形成して構成された、フィルタ、遅
延線、および、共振器等の機能を有する弾性表面波装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、例えば実開昭６３−９７９２０
号公報、あるいは、特開昭５７−１３５５１７号公報に
示された従来の弾性表面波装置を示す図である。図中、
１は圧電体基板であり、圧電体基板１の表面に入力側す
だれ状電極２、出力側すだれ状電極３とを構成してい
る。４は接地されたシールド電極であり、入力側すだれ
状電極２と出力側すだれ状電極３との間の圧電体基板１
表面に形成されている。
号公報、あるいは、特開昭５７−１３５５１７号公報に
示された従来の弾性表面波装置を示す図である。図中、
１は圧電体基板であり、圧電体基板１の表面に入力側す
だれ状電極２、出力側すだれ状電極３とを構成してい
る。４は接地されたシールド電極であり、入力側すだれ
状電極２と出力側すだれ状電極３との間の圧電体基板１
表面に形成されている。
【０００３】入力側すだれ状電極２は、入力された電気
信号を弾性表面波に変換する。この弾性表面波への変換
を行う時に、入力側すだれ状電極の構成によって変換効
率に周波数特性をもたせることができる。出力側すだれ
状電極３は、入力側すだれ状電極２によって励振された
弾性表面波を受信し、再び、電気信号に変換する。この
場合にも、出力側すだれ状電極３の構成によって交換効
率に周波数特性をもたせることができる。このように、
入力側すだれ状電極２、および、出力側すだれ状電極３
における電気信号と弾性表面波との変換を介することに
よって、弾性表面波装置は様々な周波数特性のフィル
タ、遅延線、および、共振器等の機能を有することがで
きる。
信号を弾性表面波に変換する。この弾性表面波への変換
を行う時に、入力側すだれ状電極の構成によって変換効
率に周波数特性をもたせることができる。出力側すだれ
状電極３は、入力側すだれ状電極２によって励振された
弾性表面波を受信し、再び、電気信号に変換する。この
場合にも、出力側すだれ状電極３の構成によって交換効
率に周波数特性をもたせることができる。このように、
入力側すだれ状電極２、および、出力側すだれ状電極３
における電気信号と弾性表面波との変換を介することに
よって、弾性表面波装置は様々な周波数特性のフィル
タ、遅延線、および、共振器等の機能を有することがで
きる。
【０００４】シールド電極４がない場合には、図５ に
示す等価回路のように、入力側すだれ状電極２と出力側
すだれ状電極３との間に、弾性表面波を介さないで、電
気的に直接結合する成分がある。このような電気的に直
接結合する成分は、入力すだれ状電極２と出力側すだれ
状電極３との間に存在するわずかな静電容量５によっ
て、弾性表面波への変換を介さないで、上記静電容量５
を介して出力側すだれ状電極３に直接結合するスプリア
ス成分と考えることができる。このような不要なスプリ
アス成分は電気的に結合する成分であるため、入力側す
だれ状電極２と出力側すだれ状電極３との間を弾性表面
波の伝搬速度で伝搬してくる弾性表面波と、入力側すだ
れ状電極２から出力側すだれ状電極３に至るまでの所要
時間が著しく異なる。このため、弾性表面波を介して出
力側すだれ状電極３に伝搬してくる信号と、電気的に直
接結合するスプリアス成分とは、周波数に対する位相の
変化量が大きく異なるため、上記信号と上記スプリアス
成分とは、互いに干渉して弾性表面波装置の所要の特性
を実現できない。
示す等価回路のように、入力側すだれ状電極２と出力側
すだれ状電極３との間に、弾性表面波を介さないで、電
気的に直接結合する成分がある。このような電気的に直
接結合する成分は、入力すだれ状電極２と出力側すだれ
状電極３との間に存在するわずかな静電容量５によっ
て、弾性表面波への変換を介さないで、上記静電容量５
を介して出力側すだれ状電極３に直接結合するスプリア
ス成分と考えることができる。このような不要なスプリ
アス成分は電気的に結合する成分であるため、入力側す
だれ状電極２と出力側すだれ状電極３との間を弾性表面
波の伝搬速度で伝搬してくる弾性表面波と、入力側すだ
れ状電極２から出力側すだれ状電極３に至るまでの所要
時間が著しく異なる。このため、弾性表面波を介して出
力側すだれ状電極３に伝搬してくる信号と、電気的に直
接結合するスプリアス成分とは、周波数に対する位相の
変化量が大きく異なるため、上記信号と上記スプリアス
成分とは、互いに干渉して弾性表面波装置の所要の特性
を実現できない。
【０００５】上記の問題点を解決するため、従来のこの
種の弾性表面波装置では、入力側すだれ状電極２と出力
側すだれ状電極３との間に、図４ 、および図６ に示す
ような接地したシールド電極４を構成していた。このシ
ールド電極４は、すだれ状電極を構成する金属薄膜と同
じ材質で構成され、入力側すだれ状電極２と出力側すだ
れ状電極３との間に接地面を構成することにより、図６
に示す等価回路のように、それぞれ、入力側すだれ状
電極２と接地面との静電容量６、および、出力側すだれ
状電極３と接地面との静電容量７とすることができる。
この結果、入力側すだれ状電極２と出力側すだれ状電極
３との間に存在していた静電容量５は極めて小さい値と
なり、入力側すだれ状電極２と出力側すだれ状電極３と
の間の弾性表面波を介さない電気的な結合が低減する。
種の弾性表面波装置では、入力側すだれ状電極２と出力
側すだれ状電極３との間に、図４ 、および図６ に示す
ような接地したシールド電極４を構成していた。このシ
ールド電極４は、すだれ状電極を構成する金属薄膜と同
じ材質で構成され、入力側すだれ状電極２と出力側すだ
れ状電極３との間に接地面を構成することにより、図６
に示す等価回路のように、それぞれ、入力側すだれ状
電極２と接地面との静電容量６、および、出力側すだれ
状電極３と接地面との静電容量７とすることができる。
この結果、入力側すだれ状電極２と出力側すだれ状電極
３との間に存在していた静電容量５は極めて小さい値と
なり、入力側すだれ状電極２と出力側すだれ状電極３と
の間の弾性表面波を介さない電気的な結合が低減する。
【０００６】このとき、シールド電極４の構造は、シー
ルド電極４端面における弾性表面波の反射により、入力
側すだれ状電極２とシールド電極４との間、および、シ
ールド電極４と出力側すだれ状電極３との間に弾性表面
波の多重反射が生じないようにするために、図４ に示
したように、弾性表面波が伝搬する２か所の端面を、弾
性表面波の伝搬方向に垂直な方向に対して、傾斜させた
構造、すなわち、多くの場合には平行四辺形としてい
た。
ルド電極４端面における弾性表面波の反射により、入力
側すだれ状電極２とシールド電極４との間、および、シ
ールド電極４と出力側すだれ状電極３との間に弾性表面
波の多重反射が生じないようにするために、図４ に示
したように、弾性表面波が伝搬する２か所の端面を、弾
性表面波の伝搬方向に垂直な方向に対して、傾斜させた
構造、すなわち、多くの場合には平行四辺形としてい
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のこの種
の弾性表面波装置のシールド電極においては、弾性表面
波の伝搬経路が、図７ に示すように、弾性表面波の伝
搬する２か所のシールド電極４の端面への斜め入射に伴
う屈折のために、シールド電極４に入射する前の弾性表
面波の伝搬経路８とシールド電極４から伝搬してきた弾
性表面波の伝搬経路９とが間隔ｄだけずれる。このよう
に、屈折のために弾性表面波の位相速度の方向と群速度
の方向が異なり、シールド電極４から伝搬してきた弾性
表面波は、出力側すだれ状電極３に対して間隔ｄだけず
れて入射するため、従来のこの種の弾性表面波装置で
は、この弾性表面波の位相速度の方向と群速度の方向の
ずれによる損失が増大し、所要の特性を実現できないと
いう問題点があった。
の弾性表面波装置のシールド電極においては、弾性表面
波の伝搬経路が、図７ に示すように、弾性表面波の伝
搬する２か所のシールド電極４の端面への斜め入射に伴
う屈折のために、シールド電極４に入射する前の弾性表
面波の伝搬経路８とシールド電極４から伝搬してきた弾
性表面波の伝搬経路９とが間隔ｄだけずれる。このよう
に、屈折のために弾性表面波の位相速度の方向と群速度
の方向が異なり、シールド電極４から伝搬してきた弾性
表面波は、出力側すだれ状電極３に対して間隔ｄだけず
れて入射するため、従来のこの種の弾性表面波装置で
は、この弾性表面波の位相速度の方向と群速度の方向の
ずれによる損失が増大し、所要の特性を実現できないと
いう問題点があった。
【０００８】この発明は、係る問題点を解決するために
なされたものであり、シールド電極における弾性表面波
の伝搬方向のずれをなくすことにより、ずれによる損失
の低減を図り、かつ、スプリアス成分の低減された所要
の特性の弾性表面波装置を得ることを目的とする。
なされたものであり、シールド電極における弾性表面波
の伝搬方向のずれをなくすことにより、ずれによる損失
の低減を図り、かつ、スプリアス成分の低減された所要
の特性の弾性表面波装置を得ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の弾性表面波装
置は、圧電体基板に形成され、入力された電気信号を弾
性表面波に変換する入力側すだれ状電極と、上記入力側
すだれ状電極により励振された弾性表面波を再び電気信
号に変換する出力側すだれ状電極と、上記入力側すだれ
状電極と上記出力側すだれ状電極との間の上記入力側す
だれ状電極により励振された弾性表面波の伝搬経路とな
る上記圧電体基板に形成され、上記入力側すだれ状電極
と上記出力側すだれ状電極との電気的結合を抑制する接
地面となる接地されたシールド電極とを有する弾性表面
波装置において、上記シールド電極を、上記入力側すだ
れ状電極により励振された弾性表面波の伝搬に対して分
離された上記入力側すだれ状電極側に配置される第１の
接地面と上記出力側すだれ状電極側に配置される第２の
接地面から成り、かつ、上記第１の接地面の上記弾性表
面波の入力端と出力端が、上記弾性表面波の入力点とこ
れに対応する出力点におけるそれぞれの接線が平行で、
接線の方向が上記入力点での上記弾性表面波の反射波の
伝搬方向を上記入力側すだれ状電極からそらすように上
記弾性表面波の伝搬方向と斜交する形状を有し、上記第
２の接地面の上記弾性表面波の入力端と出力端が、上記
弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向の軸に関してそれぞ
れ上記入力端は上記第１の接地面の出力端と、上記出力
端は上記第１の接地面の入力端と軸対称な形状を有する
構成としたものである。
置は、圧電体基板に形成され、入力された電気信号を弾
性表面波に変換する入力側すだれ状電極と、上記入力側
すだれ状電極により励振された弾性表面波を再び電気信
号に変換する出力側すだれ状電極と、上記入力側すだれ
状電極と上記出力側すだれ状電極との間の上記入力側す
だれ状電極により励振された弾性表面波の伝搬経路とな
る上記圧電体基板に形成され、上記入力側すだれ状電極
と上記出力側すだれ状電極との電気的結合を抑制する接
地面となる接地されたシールド電極とを有する弾性表面
波装置において、上記シールド電極を、上記入力側すだ
れ状電極により励振された弾性表面波の伝搬に対して分
離された上記入力側すだれ状電極側に配置される第１の
接地面と上記出力側すだれ状電極側に配置される第２の
接地面から成り、かつ、上記第１の接地面の上記弾性表
面波の入力端と出力端が、上記弾性表面波の入力点とこ
れに対応する出力点におけるそれぞれの接線が平行で、
接線の方向が上記入力点での上記弾性表面波の反射波の
伝搬方向を上記入力側すだれ状電極からそらすように上
記弾性表面波の伝搬方向と斜交する形状を有し、上記第
２の接地面の上記弾性表面波の入力端と出力端が、上記
弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向の軸に関してそれぞ
れ上記入力端は上記第１の接地面の出力端と、上記出力
端は上記第１の接地面の入力端と軸対称な形状を有する
構成としたものである。
【００１０】
【作用】この発明の弾性表面波装置によれば、シールド
電極を、入力側すだれ状電極により励振された弾性表面
波の伝搬に対して分離された入力側すだれ状電極側に配
置される第１の接地面と出力側すだれ状電極側に配置さ
れる第２の接地面から成り、かつ、上記第１の接地面の
上記弾性表面波の入力端と出力端が、上記弾性表面波の
入力点とこれに対応する出力点におけるそれぞれの接線
が平行で、接線の方向が上記入力点での上記弾性表面波
の反射波の伝搬方向を上記入力側すだれ状電極からそら
すように上記弾性表面波の伝搬方向と斜交する形状を有
し、上記第２の接地面の上記弾性表面波の入力端と出力
端が、上記弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向の軸に関
してそれぞれ上記入力端は上記第１の接地面の出力端
と、上記出力端は上記第１の接地面の入力端と軸対称な
形状を有する構成としたので、このシールド電極に弾性
表面波が入射すると、シールド電極への入出射面で屈折
して伝搬する弾性表面波は、第１の接地面の入出力端の
通過による伝搬経路のずれが次に通過する第２の接地面
の入出力端の通過による伝搬経路のずれにより相殺さ
れ、シールド電極に入射する以前の伝搬経路と一致する
ように修正されて出力側すだれ状電極へ到達させること
ができる。これにより弾性表面波の位相速度の方向と群
速度の方向のずれによる損失の増加を低減する。
電極を、入力側すだれ状電極により励振された弾性表面
波の伝搬に対して分離された入力側すだれ状電極側に配
置される第１の接地面と出力側すだれ状電極側に配置さ
れる第２の接地面から成り、かつ、上記第１の接地面の
上記弾性表面波の入力端と出力端が、上記弾性表面波の
入力点とこれに対応する出力点におけるそれぞれの接線
が平行で、接線の方向が上記入力点での上記弾性表面波
の反射波の伝搬方向を上記入力側すだれ状電極からそら
すように上記弾性表面波の伝搬方向と斜交する形状を有
し、上記第２の接地面の上記弾性表面波の入力端と出力
端が、上記弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向の軸に関
してそれぞれ上記入力端は上記第１の接地面の出力端
と、上記出力端は上記第１の接地面の入力端と軸対称な
形状を有する構成としたので、このシールド電極に弾性
表面波が入射すると、シールド電極への入出射面で屈折
して伝搬する弾性表面波は、第１の接地面の入出力端の
通過による伝搬経路のずれが次に通過する第２の接地面
の入出力端の通過による伝搬経路のずれにより相殺さ
れ、シールド電極に入射する以前の伝搬経路と一致する
ように修正されて出力側すだれ状電極へ到達させること
ができる。これにより弾性表面波の位相速度の方向と群
速度の方向のずれによる損失の増加を低減する。
【００１１】
【実施例】実施例１． 図１は、この発明の弾性表面波装置の一実施例を示す構
成図であり、基本的なシールド電極の構成の場合であ
る。１〜３は従来のこの種の弾性表面波装置と同様であ
り、１０ａは片側のシールド電極、１０ｂはシールド電
極１０ａと弾性表面波の伝搬方向に垂直な軸に関して対
称な構造のシールド電極である。ここで、シールド電極
１０ａとシールド電極１０ｂは一対の入出力端が互いに
平行で弾性表面波の伝搬方向に対してそれぞれ逆向きに
傾斜させて配置されたものである。
成図であり、基本的なシールド電極の構成の場合であ
る。１〜３は従来のこの種の弾性表面波装置と同様であ
り、１０ａは片側のシールド電極、１０ｂはシールド電
極１０ａと弾性表面波の伝搬方向に垂直な軸に関して対
称な構造のシールド電極である。ここで、シールド電極
１０ａとシールド電極１０ｂは一対の入出力端が互いに
平行で弾性表面波の伝搬方向に対してそれぞれ逆向きに
傾斜させて配置されたものである。
【００１２】次に動作について、図２を用いて説明す
る。図２は、図１に示した実施例に動作の説明のための
弾性表面波の伝搬経路を合わせて示したものである。８
は入力側すだれ状電極２で励振されて、最初のシールド
電極１０ａに入射する弾性表面波の伝搬経路であり、９
は上記シールド電極１０ａから伝搬してきた弾性表面波
の伝搬経路である。また、９は同時に他方のシールド電
極１０ｂに入射する弾性表面波の伝搬経路でもある。１
１は他方のシールド電極１０ｂから出力側すだれ状電極
３に伝搬する弾性表面波の伝搬経路である。
る。図２は、図１に示した実施例に動作の説明のための
弾性表面波の伝搬経路を合わせて示したものである。８
は入力側すだれ状電極２で励振されて、最初のシールド
電極１０ａに入射する弾性表面波の伝搬経路であり、９
は上記シールド電極１０ａから伝搬してきた弾性表面波
の伝搬経路である。また、９は同時に他方のシールド電
極１０ｂに入射する弾性表面波の伝搬経路でもある。１
１は他方のシールド電極１０ｂから出力側すだれ状電極
３に伝搬する弾性表面波の伝搬経路である。
【００１３】入力側すだれ状電極２で励振された弾性表
面波は、伝搬経路８を経て最初のシールド電極１０ａに
斜めに入射する。このとき、シールド電極１０ａに入射
する前と後とで弾性表面波の伝搬速度が異なるため、シ
ールド電極１０ａの端面にて弾性表面波が屈折する。そ
して、シールド電極１０ａの端面に達して再び屈折し、
伝搬経路９に沿って伝搬する。このとき、従来のこの種
の弾性表面波装置に多く見られるように、シールド電極
１０ａの形状が平行四辺形の場合、すなわち、シールド
電極１０ａの２か所の端面が互いに平行な場合には、シ
ールド電極１０ａへ入射前の伝搬経路８とシールド電極
１０ａから伝搬してきた伝搬経路９とは、互いに平行で
あり、かつ、位置が間隔ｄずれているのは従来のこの種
の弾性表面波装置と同様である。
面波は、伝搬経路８を経て最初のシールド電極１０ａに
斜めに入射する。このとき、シールド電極１０ａに入射
する前と後とで弾性表面波の伝搬速度が異なるため、シ
ールド電極１０ａの端面にて弾性表面波が屈折する。そ
して、シールド電極１０ａの端面に達して再び屈折し、
伝搬経路９に沿って伝搬する。このとき、従来のこの種
の弾性表面波装置に多く見られるように、シールド電極
１０ａの形状が平行四辺形の場合、すなわち、シールド
電極１０ａの２か所の端面が互いに平行な場合には、シ
ールド電極１０ａへ入射前の伝搬経路８とシールド電極
１０ａから伝搬してきた伝搬経路９とは、互いに平行で
あり、かつ、位置が間隔ｄずれているのは従来のこの種
の弾性表面波装置と同様である。
【００１４】しかし、この発明に係る弾性表面波装置で
は、さらに、弾性表面波の伝搬経路８、および、伝搬経
路９に垂直な軸に対して、最初に弾性表面波が入射した
シールド電極１０ａと対称な構造のシールド電極１０ｂ
を設けている。このとき、シールド電極１０ｂへ入射し
た弾性表面波の伝搬経路は、最初のシールド電極１０ａ
へ入射した弾性表面波の伝搬経路と反対方向へずれる経
路を経て、出力側すだれ状電極３へ至る。したがって、
出力側すだれ状電極３に入射する弾性表面波の伝搬方向
は、入力側すだれ状電極２で励振された弾性表面波の伝
搬方向と一致し、シールド電極１０での弾性表面波の屈
折による伝搬方向のずれは、互いに弾性表面波の伝搬方
向に垂直な軸に対称な構造のシールド電極１０ａ、１０
ｂを用いることにより、解消される。
は、さらに、弾性表面波の伝搬経路８、および、伝搬経
路９に垂直な軸に対して、最初に弾性表面波が入射した
シールド電極１０ａと対称な構造のシールド電極１０ｂ
を設けている。このとき、シールド電極１０ｂへ入射し
た弾性表面波の伝搬経路は、最初のシールド電極１０ａ
へ入射した弾性表面波の伝搬経路と反対方向へずれる経
路を経て、出力側すだれ状電極３へ至る。したがって、
出力側すだれ状電極３に入射する弾性表面波の伝搬方向
は、入力側すだれ状電極２で励振された弾性表面波の伝
搬方向と一致し、シールド電極１０での弾性表面波の屈
折による伝搬方向のずれは、互いに弾性表面波の伝搬方
向に垂直な軸に対称な構造のシールド電極１０ａ、１０
ｂを用いることにより、解消される。
【００１５】なお、弾性表面波が伝搬するシールド電極
の入出力端は、直線ではなく曲線の場合でも、弾性表面
波のシールド電極への対応する入出力点における接線が
互いに平行となる一対の入出力端であればよく、上記接
線を弾性表面波の伝搬方向に対して傾斜させて複数配置
し、それぞれの一対の入出力端の通過による弾性表面波
の伝搬経路のずれを相殺するように構成すれば上記実施
例１と同様の効果を得ることができる。また、シールド
電極の一対の入出力端の通過による弾性表面波の伝搬経
路のずれ量は圧電体基板とシールド電極の材質を一定と
した場合には一対の入出力端の間隔および弾性表面波の
伝搬方向に対する入出力端接線の傾斜角度の関数となる
ため、これらにより設定できる。次にシールド電極の構
成例を示す。
の入出力端は、直線ではなく曲線の場合でも、弾性表面
波のシールド電極への対応する入出力点における接線が
互いに平行となる一対の入出力端であればよく、上記接
線を弾性表面波の伝搬方向に対して傾斜させて複数配置
し、それぞれの一対の入出力端の通過による弾性表面波
の伝搬経路のずれを相殺するように構成すれば上記実施
例１と同様の効果を得ることができる。また、シールド
電極の一対の入出力端の通過による弾性表面波の伝搬経
路のずれ量は圧電体基板とシールド電極の材質を一定と
した場合には一対の入出力端の間隔および弾性表面波の
伝搬方向に対する入出力端接線の傾斜角度の関数となる
ため、これらにより設定できる。次にシールド電極の構
成例を示す。
【００１６】実施例２． 図３（ｂ）は上記実施例１におけるシールド電極の他の
実施例を示す構成図で、上記したシールド電極の入出力
端が直線ではなく曲線の場合である。ここではシールド
電極の部分のみを示している。
実施例を示す構成図で、上記したシールド電極の入出力
端が直線ではなく曲線の場合である。ここではシールド
電極の部分のみを示している。
【００１７】なお、図３（ａ）（ｃ）は参考例であり、
前記のシールド電極の一対の入出力端の通過による弾性
表面波の伝搬経路のずれ量が圧電体基板とシールド電極
の材質を一定とした場合には一対の入出力端の間隔およ
び弾性表面波の伝搬方向に対する入出力端接線の傾斜角
度の関数となることから設定した例を示す。図３（ｃ）
に示したように、３個以上の複数個のシールド電極で構
成した場合にも伝搬経路のずれを相殺できる。さらに、
上記実施例１および実施例２は、それぞれ１個の入力側
すだれ状電極と１個の出力側すだれ状電極とからなる弾
性表面波装置の例について説明したが、複数個の入力側
すだれ状電極と、複数個の出力側すだれ状電極とからな
る弾性表面波装置にも適用できる。
前記のシールド電極の一対の入出力端の通過による弾性
表面波の伝搬経路のずれ量が圧電体基板とシールド電極
の材質を一定とした場合には一対の入出力端の間隔およ
び弾性表面波の伝搬方向に対する入出力端接線の傾斜角
度の関数となることから設定した例を示す。図３（ｃ）
に示したように、３個以上の複数個のシールド電極で構
成した場合にも伝搬経路のずれを相殺できる。さらに、
上記実施例１および実施例２は、それぞれ１個の入力側
すだれ状電極と１個の出力側すだれ状電極とからなる弾
性表面波装置の例について説明したが、複数個の入力側
すだれ状電極と、複数個の出力側すだれ状電極とからな
る弾性表面波装置にも適用できる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、この発明の弾性表面波装
置によれば、入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極
との電気的結合が抑制されると共に弾性表面波の伝搬経
路のずれによる損失の増加が低減された弾性表面波装置
を得られる効果がある。
置によれば、入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極
との電気的結合が抑制されると共に弾性表面波の伝搬経
路のずれによる損失の増加が低減された弾性表面波装置
を得られる効果がある。
【図１】この発明による弾性表面波装置の実施例１を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】この発明による弾性表面波装置の実施例１によ
る弾性表面波の伝搬方向を示す説明図である。
る弾性表面波の伝搬方向を示す説明図である。
【図３】この発明による弾性表面波装置の実施例２並び
に参考例を示すシールド電極の構成図である。
に参考例を示すシールド電極の構成図である。
【図４】従来のこの種の弾性表面波装置を示す構成図で
ある。
ある。
【図５】シールド電極を有しない弾性表面波装置におけ
る入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極との間の電
気的な結合を示す等価回路図である。
る入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極との間の電
気的な結合を示す等価回路図である。
【図６】シールド電極を有する弾性表面波装置における
入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極との間の電気
的な結合を示す等価回路図である。
入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極との間の電気
的な結合を示す等価回路図である。
【図７】従来のこの種の弾性表面波装置の弾性表面波の
伝搬方向を示す説明図である。
伝搬方向を示す説明図である。
１ 圧電体基板 ２ 入力側すだれ状電極 ３ 出力側すだれ状電極 ４ シールド電極 ５ 静電容量 ６ 静電容量 ７ 静電容量 ８ 伝搬経路 ９ 伝搬径路 １０ａ シールド電極 １０ｂ シールド電極 １１ 伝搬経路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 友則 鎌倉市大船五丁目１番１号 三菱電機株 式会社 電子システム研究所内 (56)参考文献 特開 昭51−78669（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−83444（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−72337（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−181036（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電体基板に形成され、入力された電気
信号を弾性表面波に変換する入力側すだれ状電極と、上
記入力側すだれ状電極により励振された弾性表面波を再
び電気信号に変換する出力側すだれ状電極と、上記入力
側すだれ状電極と上記出力側すだれ状電極との間の上記
入力側すだれ状電極により励振された弾性表面波の伝搬
経路となる上記圧電体基板に形成され、上記入力側すだ
れ状電極と上記出力側すだれ状電極との電気的結合を抑
制する接地面となる接地されたシールド電極とを有する
弾性表面波装置において、上記シールド電極を、上記入
力側すだれ状電極により励振された弾性表面波の伝搬に
対して分離された上記入力側すだれ状電極側に配置され
る第１の接地面と上記出力側すだれ状電極側に配置され
る第２の接地面から成り、かつ、上記第１の接地面の上
記弾性表面波の入力端と出力端が、上記弾性表面波の入
力点とこれに対応する出力点におけるそれぞれの接線が
平行で、接線の方向が上記入力点での上記弾性表面波の
反射波の伝搬方向を上記入力側すだれ状電極からそらす
ように上記弾性表面波の伝搬方向と斜交する形状を有
し、上記第２の接地面の上記弾性表面波の入力端と出力
端が、上記弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向の軸に関
してそれぞれ上記入力端は上記第１の接地面の出力端
と、上記出力端は上記第１の接地面の入力端と軸対称な
形状を有する構成としたことを特徴とする弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3032950A JP3013464B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3032950A JP3013464B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04288719A JPH04288719A (ja) | 1992-10-13 |
| JP3013464B2 true JP3013464B2 (ja) | 2000-02-28 |
Family
ID=12373223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3032950A Expired - Lifetime JP3013464B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3013464B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6856214B2 (en) * | 2002-12-10 | 2005-02-15 | Nortel Networks Limited | Surface wave devices with low passband ripple |
| JP2006311041A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アンテナ共用器 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5178669A (ja) * | 1974-12-28 | 1976-07-08 | Toko Inc | Danseihyomenhafuirutaano seizohoho |
| JPS5183444A (ja) * | 1975-01-18 | 1976-07-22 | Toko Inc | Danseihyomenhafuirutaa |
| JPS5572337U (ja) * | 1978-11-08 | 1980-05-19 | ||
| JPS62181036U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-17 |
-
1991
- 1991-02-27 JP JP3032950A patent/JP3013464B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04288719A (ja) | 1992-10-13 |
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Legal Events
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