JP2020161899A - 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
図2(a)から図3(c)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図2(a)に示すように、表面が平坦な支持基板10を準備する。支持基板10の表面の算術平均粗さRaは例えば1nm以下である。図2(b)に示すように、支持基板10上に開口を有するマスク層44を形成する。マスク層44は例えばフォトレジストである。
図4(a)から図4(m)は、実施例1における凸部および凹部の立体形状の例1を示す図である。図4(a)から図4(k)は斜視図であり、凸部51のときは矢印56aのように上方向が+Z方向である。凹部52のときは矢印56bのように上方向が−Z方向である。図4(l)および図4(m)は平面図および断面図である。図4(a)から図4(m)では、凸部51および凹部52は島状またはドット状である。
凸部51および凹部52のXY平面における配置の例を凸部51および凹部52の立体形状が図4(a)の場合を例に説明する。図5(a)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例1を示す平面図、図5(b)および図5(c)は、図5(a)のA−A断面図である。図5(b)は凸部の例であり、図5(c)は凹部の例である。
図6(a)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例2を示す平面図、図6(b)および図6(c)は、図6(a)のA−A断面図である。図6(a)から図6(c)に示すように、凸部51または凹部52の周期のうち最も小さい周期Paの方向54aおよび54bは2方向である。各方向54aと54bのなす角度は約90°である。方向54aおよび54bはそれぞれX方向およびY方向と略平行である。図6(b)では凸部51以外は平面である。図6(c)では凹部52以外は平面である。凸部51および凹部52の周期Paは略均一であり、凸部51および凹部52の方向54aおよび54bにおける幅Wは略均一であり、凸部51および凹部52の高さHは略均一である。
図7(a)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例3を示す平面図である。図7(a)に示すように、方向54aから54cが3つの場合おいて、凸部51または凹部52は互いに接していてもよい。図7(a)に示すように、頂点51aまたは52a同士が近づくと、凸部51または凹部52の平面形状は六角形となる。
図7(b)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例4を示す平面図である。図7(b)に示すように、方向54aおよび54bが2つの場合おいて、凸部51または凹部52は互いに接していてもよい。図7(b)に示すように、頂点51aまたは52a同士が近づくと、凸部51または凹部52の平面形状は四角形となる。
図8(a)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例5を示す平面図である。電極指15を重ねて図示している。図8(a)に示すように、方向54aおよび54bとX方向とのなす角度は、それぞれθaおよびθbである。θaおよびθbは約45°である。凸部51または凹部52の周期のうち最も小さい周期Paの方向54aおよび54bはX方向およびY方向のいずれでもない。凸部51または凹部52の周期のうち2番目に小さい周期Pbの方向55aおよび55bはX方向およびY方向と略平行である。
図8(b)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例6を示す平面図である。電極指15を重ねて図示している。図8(b)に示すように、方向54aおよび54bとX方向とのなす角度θaおよびθbは45°と異なる。最も小さい周期Paの方向54aおよび54b並びに2番目に小さい周期Pbの方向55aおよび55bはいずれもX方向およびY方向と平行でない。
図9(a)から図9(c)は、実施例1における凸部および凹部の立体形状の例2を示す斜視図である。凸部51のときは矢印56aのように上方向が+Z方向である。凹部52のときは矢印56bのように上方向が−Z方向である。図9(a)から図9(c)では、凸部51および凹部52は線状またはストライプ状である。
凸部51および凹部52のXY平面における配置の例を凸部51および凹部52の立体形状が図9(a)である場合を例に説明する。図10(a)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例7を示す平面図、図10(b)および図10(c)は、図10(a)のA−A断面図である。図10(b)は凸部の例であり、図10(c)は凹部の例である。
図11(a)は、実施例1における凸部および凹部の配置の例8を示す平面図である。図11(a)に示すように、周期Paの方向54はY方向である。凸部および凹部の配置の例7および8のように、周期Paの方向54はX方向またはY方向と略平行でもよい。
図12は、実施例1に凸部および凹部の配置の例10を示す平面図である。図12に示すように、範囲58内では凸部51および凹部52の配置および大きさは不規則である。範囲58はX方向およびY方向に周期的に配列されている。範囲58の周期PaおよびPbは略均一である。周期Paは凸部51および凹部52のうち最も小さい周期であり、周期Pbは2番目に小さい周期である。
図13は、実施例1の変形例1に係る弾性波デバイスの断面図である。図13に示すように、支持基板10と絶縁層11との界面50に付加膜53が設けられている。付加膜53の上面は支持基板10上面より細かい粗面である。付加膜53は、例えば酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、窒化シリコン膜であり、その音響インピーダンスは絶縁層11の音響インピーダンスより大きい。付加膜53の厚さは例えば0.1μm以下である。これにより、界面50において弾性波はより散乱する。付加膜53は島状でもよいし、1層の膜で厚さの異なる部分を有する構造でもよい。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。実施例1の変形例1のように、絶縁層11は支持基板10に間接的に接合されていてもよい。
実施例1と比較例1についてシミュレーションを行った。比較例1は支持基板10と絶縁層11との界面50を平面とした。シミュレーション条件は以下である。
支持基板10: サファイア基板
絶縁層11:平均厚さが2μm(0.4λ)の酸化シリコン膜
圧電基板12:厚さが2μm(0.4λ)の42°回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
電極指15:厚さが500nmのアルミニウム膜
電極指15のピッチλ:5μm
電極指15の対数:10対
凸部51の形状:図5(b)の断面図の断面形状とし、Pa=3μm、W=2.7μm、H=1.65μmとした
Y方向の幅をλ/32とする2.5次元の有限要素法を用いアドミッタンスをシミュレーションした。アドミッタンスのシミュレーション結果から電極指15が100対かつ開口長が25λの弾性波共振器のアドミッタンスに換算した。
支持基板10と絶縁層11との間の界面50の不規則な粗面とし、シミュレーションを行った。界面50のZ方向の最大値と最小値との差Dを3水準とした。
サンプルA:D=1μm
サンプルB:D=2μm
サンプルC:D=4μm
その他のシミュレーション条件はシミュレーション1と同じである。
実施例1と比較例1について弾性波共振器を作製した。作製条件は以下である。
支持基板10: 厚さが500μmのサファイア基板
絶縁層11:平均厚さが2.8μm(0.4λ)の酸化シリコン膜
接合層13:厚さが10nmの酸化アルミニウム膜
圧電基板12:厚さが2μm(0.4λ)の42°回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
電極指15:圧電基板12側から厚さが160nmのチタン膜、厚さが268nmのアルミニウム膜
電極指15のピッチλ:5μm
電極指15の対数:100対
凸部51の立体形状:図4(a)の円錐形状
凸部51の配置:図8(b)の配置、Pa=3μm、W=2.7μm、H=1.65μmとした。
図17(b)は、実施例2の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図17(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ40が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ42が接続されている。送信フィルタ40は、送信端子Txから入力された高周波信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ42は、共通端子Antから入力された高周波信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ40および受信フィルタ42の少なくとも一方を実施例2のフィルタとすることができる。
11 絶縁層
12 圧電基板
13 接合層
15 電極指
18 櫛型電極
20 弾性波共振器
22 IDT
54、54a−54c、55a、55b 周期の方向
Claims (10)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指を有する一対の櫛型電極と、
規則的に配置された凸部および/または凹部を有する支持基板と、
前記圧電基板と前記支持基板との間に直接または間接的に接合され、接合面の界面が前記凸部および/または凹部に沿って設けられた絶縁層と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記複数の電極指の配列方向とは異なる方向に前記凸部および/または前記凹部の周期のうち最も小さい周期の方向を有する請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の電極指の延伸方向とは異なる方向に前記凸部および/または前記凹部の周期のうち最も小さい周期の方向を有する請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の電極指の配列方向および延伸方向のいずれとも異なる方向に、前記凸部および/または前記凹部の周期のうち最も小さい周期の方向、並びに前記凸部および/または前記凹部の周期のうち2番目に小さい周期の方向を有する請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記凸部および/または前記凹部の周期のうち最も小さい周期は、前記複数の電極指のピッチの1/4倍以上かつ2倍未満である請求項2から4のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記凸部および前記凹部の少なくとも一方は島状である請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記凸部および前記凹部の少なくとも一方は平面方向のうち1つの方向に延伸する請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記凸部および/または前記凹部の周期のうち最も小さい周期の方向はいずれも前記支持基板の側面に略平行である請求項7に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項9に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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