JP2006211187A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】 圧電基板の長手方向に対し45度の切り込み(ハーフカッティング)を入れたSAWデバイスは、バルク波による伝送特性、群遅延時間特性の劣化は大幅に改善されるもののヒートサイクル試験で45%強が破損するという問題があった。本発明はヒートサイクルに強固であり且つIDT電極により励起されるバルク波スプリアスを抑圧することが可能なSAWデバイスの構造を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿ってIDT電極を配置した弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板の裏面のほぼ全面に長手方向に沿って切り込みを入れて弾性表面波デバイスを構成する。
【選択図】 図1
Description
なお、IDT電極12、13の間に設けた電極14は接地電極に接続し、その作用は入出力端子間の直達波の遮蔽用として機能している。そして、圧電基板11の長辺方向(表面波伝搬方向)の両端に弾性表面波吸収体(吸音材)15を塗布して不要反射波を抑圧するのが一般的である。また、IDT電極12、13の両外側にグレーティング反射器を設ける場合もある。
図6に示したように圧電基板の長手方向に対し45度の切り込み(ハーフカッティング)を入れたSAWデバイスは、バルク波による伝送特性、群遅延時間特性の劣化は大幅に改善される。
前記切り込みの深さが圧電基板のほぼ20%であることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイスである。
なお、圧電基板1の長辺方向(表面波伝搬方向)の両端に弾性表面波吸収体(吸音材)6を塗布して不要反射波を抑圧する。
2 切り込み(ハーフカッティング)
3、4 IDT電極
5 遮蔽用電極
6 吸音材
Claims (2)
- 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿ってIDT電極を配置した弾性表面波デバイスにおいて、
前記圧電基板の裏面に前記表面波の伝搬方向とほぼ平行な複数本の切り込みを設けたことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記切り込みの深さが圧電基板のほぼ20%であることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
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2005
- 2005-01-27 JP JP2005019364A patent/JP2006211187A/ja not_active Withdrawn
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