TWI389987B - A coating liquid, a metal compound film formed by using a coating liquid, and a method for forming the same - Google Patents
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Description
本發明係關於用於形成金屬化合物薄膜之塗佈液、金屬化合物薄膜、其形成方法、及於表面形成金屬化合物薄膜之製品。
對玻璃、金屬、陶瓷等之表面形成金屬氧化物薄膜之技術,有濺鍍、物理吸附(PVD)、化學蒸鍍(CVD)等亁式法、以溶膠-凝膠法代表之濕式法。
但是,以濺鍍或PVD等之物理手法之亁式製程,需要高的真空度,裝置變的越大越難維持高真空,故難以對大面積形成金屬氧化物薄膜。又,為將材料汽化需要大量的能量,且為使成膜性良好,形成金屬氧化物薄膜之基體需要加熱,而需要龐大的能量。再者,基體為複雜的形狀時,有難以對在於基體成為「陰影」的部分之成膜之問題。
又,於CVD,由於伴隨化學反應,難以將組成保持均勻,並且,為抑制副生成物,需要非常複雜的控制。
又,於溶膠-凝膠法,由於根據溫度或濕度於縮聚合反應的進行方式會產生很大的差異,故欲一直得到均勻的薄膜,則需要嚴苛的成膜條件之控制。又,塗佈液的溶膠不安定的情形為多,需要維持溶膠的黏度或防止固形物之沉降之技巧,於實施上須解決的問題點很多。再者,藉由於金屬氧化物薄膜中含有2種以上的金屬種,使金屬氧化物薄膜顯現特定的機能時,以溶膠-凝膠法,由於依金屬種而水解速度相異,故即使將異種金屬混合卻發生相分離,而無法顯現如此之機能。
因此,提案有將包含金屬錯合物之塗佈液塗佈於基體之表面,之後,藉由煅燒,將金屬錯合物熱分解,形成金屬氧化物薄膜之技術(參照專利文獻1~3)。於該技術,作為金屬錯合物之配位子,多利用乙烯二胺四醋酸、二乙醇胺、乙醯丙酮等,於分子中有2個以上的胺基或羥基等取代基之多牙配位子。
專利文獻1:日本特開平09-278489號公報專利文獻2:日本特開平11-228113號公報專利文獻3:日本特開平11-256342號公報
但是,在於先前之使用包含金屬錯合物之金屬氧化物薄膜之形成方法,於塗膜形成後將金屬錯合物加熱熱分解時,由於有機物質之配位子會消失,於塗膜產生大幅度的體積收縮,結果,有於金屬氧化物薄膜產生龜裂,或有損及金屬氧化物薄膜與基體之密著性之問題。特別是關於龜裂或密著性不良之問題,金屬氧化物薄膜之膜厚越厚,變的越顯著。
本發明係有鑑於以上之點而完成者,其目的係在於提供,不會產生龜裂或,金屬化合物薄膜(例如金屬氧化物薄膜)與基體之密著性不良,可形成良質的金屬化合物薄膜之塗佈液、金屬化合物薄膜之形成方法、金屬化合物薄膜、及金屬化合物薄膜被覆製品。
本案之第1發明之要旨,係一種塗佈液,其包含選自由,化學式1所表示之金屬錯合物A、化學式2所表示之金屬錯合物B、及化學式3所表示之金屬錯合物C所組成之群之至少1種以上。
於化學式1、化學式2、及化學式3之M係金屬離子,於化學式1、化學式2、及化學式3之X1
~X4
,分別係O、NH、CO2
、及S之中之任一,於化學式1之Y1
~Y8
及化學式3之Y1
~Y4
分別為CH或N,於化學式2及化學式3之Z1
~Z3
,及於化學式2之Z4
~Z6
,分別為選自由O、NH、及S所組成之群之1個,及選自由CH及N所組成之群之2個構成。於化學式1、化學式2、及化學式3之L係軸配位子,作為L,有例如,烷氧基離子、羥基離子、鹵化物離子等之陰離子;或水、醇類、胺類等,與金屬形成配位鍵結之分子。於化學式1、化學式2、及化學式3之k係金屬錯合物之價數,與M、X1
~X4
、及L所具有之電荷總合相等。
作為關於本發明之塗佈液,有包含金屬錯合物A之塗佈液、包含金屬錯合物B之塗佈液、包含金屬錯合物C之塗佈液、及包含該等之中2種以上之塗佈液。
使用本發明之塗佈液,可於基體之表面形成金屬化合物薄膜。例如,將本發明之塗佈液對基體的表面塗佈、乾燥,則於會在基體表面形成,金屬錯合物A、錯合物B、錯合物C、或包含該等之中2種以上之塗膜。其次,將該塗膜煅燒,則上述金屬錯合物被熱分解,配位子消失、形成化學式18表示之金屬M之化合物所構成之薄膜。該金屬M之化合物,係根據在於化學式18之X5
、X6
之種類(X5
、X6
係含於X1
~X4
之O、N、及S之中的任一)相異。例如,X5
、X6
均為O時,金屬M之化合物,將成金屬M之氧化物。又,X5
、X6
亦可均為S,亦可均為N,亦可為選自由O、S、N之2種。
使用本發明之塗佈液形成之金屬化合物薄膜,不會產生龜裂,與基體之密著性佳。又,由於不會產生龜裂,可使金屬化合物薄膜之膜厚變厚。
如上所述,不會產生龜裂的原因,推測如下。即,金屬錯合物A~金屬錯合物C,由化學式1~化學式3所表示之分子構造明顯可知,具有平板的構造,故將塗佈液塗佈於基體上形成塗膜時,藉由金屬錯合物相互之相互作用,形成金屬錯合物相互重疊的分子集合構造(堆疊),又,含於配位子之芳香環相互之相互作用,亦貢獻於形成上述分子集合構造。可認為藉此,即使配位子於煅燒時消失,可抑制向基體表面平行的方向之體積收縮,而抑制龜裂之產生或剝離。
再者,藉由先前使用的金屬錯合物形成金屬氧化物薄膜時,會產生龜裂或密著性不良的理由可認為如下。金屬原子形成錯合時,係使用最外層之d軌道形成鍵結,該鍵結係以金屬原子為中心向正八面體之各頂點方向延伸,於其前端存在配位子之取代基,故通常的金屬錯合物,例如如圖8所示,具有以金屬為中心之立體構造。因此,煅燒由金屬錯合物所構成之塗膜,而配位子藉由熱分解而消失,則會向3維方向產生很大的體積收縮,結果,因基體與尺寸之不整合而產生剝離。
又,使用本發明之塗佈液形成之金屬化合物薄膜,硬度高。再者,使用本發明之塗佈液形成之金屬化合物薄膜,平滑,且透明性高,故例如於玻璃表面形成金屬化合物膜時,可維持穿透性,於鏡面之表面形成金屬化合物薄膜時,可維持反射率。
又,本發明之塗佈液,即使不含膠合劑,可形成有耐久性之金屬化合物薄膜。因此,在於形成之薄膜中之金屬化合物,不會被膠合劑稀釋,故以金屬化合物之作用(例如光觸媒作用)高。
又,本發明之塗佈液,由於安定,可長期保管。
作為上述M,可舉例如,Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta、Pb等。作為M,可僅使用1種金屬,亦可混合使用2種以上。
作為上述M使用Ti時,使用本發明之塗佈液形成之金屬化合物(於化學式18使M為Ti者)之薄膜,可奏光觸媒作用。在此,X5
、X6
均為O時(TiO2
之情形),於紫外光的波長區域可奏光觸媒作用。又,X5
、X6
之中使至少一邊為S或N時,可於不同波長區域(例如可見光區域)奏光觸媒作用。
作為上述M,組合In與Sn、組合Ga與Zn、組合Nb與Ti使用,作為X5
、X6
使用O時,使用本發明之塗佈液形成之金屬氧化物薄膜(ITO、Ga-ZnO、Nb-TiO2
)可奏透明導電膜之機能。
作為上述M使用Sn,作為X5
、X6
使用O時,使用本發明之塗佈液形成之金屬氧化物薄膜(SnO2
)可作為Low-E膜奏熱線遮蔽作用。使M為V,使X5
、X6
為O時,使用本發明之塗佈液將金屬氧化物薄膜(V2
O5
)形成於剝離表面,則可製造調光玻璃。
作為上述M使用Nb時,使用本發明之塗佈液形成之金屬氧化物薄膜,會顯現超親水性。
上述金屬錯合物A,可為例如化學式4~化學式11所表示之金屬錯合物之中之任一。
再者,於上述化學式4,使X1
及X3
為S,使X2
及X4
為O,亦可別於此,使X1
及X4
為S,使X2
及X3
為O,使X1
及X2
為S,使X3
及X4
為O,亦可使X1
~X4
之中只有1個為S,使其他為O,亦可使X1
~X4
之中只有1個為O,使其他為S。同樣地,關於化學式7、9、11,亦可將X1
~X4
之組合如上變更。
又,於化學式10,使Y4
及Y8
為N,Y1
~Y3
、及Y5
~Y7
為CH,亦可別於此,使Y1
及Y8
為N,Y1
~Y7
為CH。
上述金屬錯合物B,可為例如化學式12~化學式15所表示之金屬錯合物之中之任一。
再者,於上述化學式13,使Z1
及Z4
為S,Z2
~Z3
、及Z5
~Z8
為CH,亦可別於此,使Z1
及Z6
為S,Z2
~Y5
為CH。
上述金屬錯合物C,可為例如化學式16~17所表示之金屬錯合物之中之任一。
本發明之塗佈液,可容易地製造。例如,於適當的溶劑中於金屬烷氧化物或金屬鹽(例如金屬氯化物)等之原料,加入成為配為子之成分2當量之後,藉由加熱製造金屬錯合物A及/或金屬錯合物B,按照需要,過濾.回收即可。或者,於適當的溶劑中以金屬烷氧化物或金屬鹽(例如金屬氯化物)等之原料,加入2種成為配位子之成分各1當量之後,藉由加熱製造金屬錯合物C,按照需要進行分離.純化即可。於金屬錯合物A~金屬錯合物C之製造,成為配位子之成分,係1,2-取代型芳香族化合物,以化學式4表示之金屬錯合物A之情形,係鄰苯二酚(化學式19),以化學式5~11表示之金屬錯合物A之情形,係分別以化學式20~化學式26表示之化合物,以化學式12~化學式15表示之金屬錯合物B之情形,係分別以化學式27~化學式30表示之化合物,以化學式16表示之金屬錯合物C之情形,係鄰苯二酚(化學式19)與化學式27表示之化合物之組合,以化學式17表示之金屬錯合物C之情形,係鄰苯二酚(化學式19)與化學式29表示之化合物之組合,
[化27]
本發明之塗佈液,作為溶劑,可為包含例如,醇類(例如,2-丙醇、甲醇、乙醇、正丁醇)、酯類(例如,二乙酯、MTBE、THF等)、烴(例如,辛烷、正己烷、環己烷、苯、甲苯、二甲苯等)、二甲亞碸、二甲基甲醯胺、鹵化物(氯仿、二溴甲烷、二氯甲烷等)、酮類(丙酮、甲乙酮(MEK)、AcAc等)、醋酸乙酯、水等者。
於塗佈液之金屬錯合物之濃度,只要在不超過金屬錯合物之溶解度之範圍則無特別限制,例如以0.1~5重量%之濃度為佳。形成均勻混合2種以上的金屬之複合金屬化合物薄膜時,只要將相當之金屬錯合物以所期望的比例混合使用即可。
本案之第2發明之要旨,係一種金屬化合物薄膜之形成方法,其特徵在於:於基體上塗佈上述第1發明之塗佈液形成塗膜,使含於上述塗膜之選自由上述金屬錯合物A、上述金屬錯合物B及上述金屬錯合物所組成之群之1種以上,變化成化學式18所表示之金屬化合物。
於化學式18之X5
及X6
,係含於上述X1
~X4
之O、N、及S之中的任一,1、m、及n,分別係X5
、X6
及M之價數。又,x及y,分別係上述金屬化合物之X5
及X6
之含有率,x與y之和不超過1之值。
藉由本發明形成之金屬化合物薄膜,不會產生龜裂,與基體之密著性佳。又,由於不會產生龜裂,可使金屬化合物薄膜之膜厚變厚。
又,藉由本發明形成之金屬化合物薄膜,平滑,且透明性高,故例如於玻璃表面形成金屬化合物膜時,可維持穿透性,於鏡面之表面形成金屬化合物薄膜時,可維持反射率。
又,本發明之塗佈液,即使不含膠合劑,可形成有耐久性之金屬化合物薄膜。因此,在於形成之薄膜中之金屬化合物,不會被膠合劑稀釋,故以金屬化合物之作用(例如光觸媒作用)高。特別是,金屬化合物為Nb化合物時,金屬化合物薄膜之超親水性顯著。又,金屬化合物為Ti化合物,且作為金屬化合物之化學式(化學式1~化學式3之任一)之X1
~X4
之任一為NH或S時,金屬化合物薄膜,將成可見光感應型光觸媒。
上述基體,並無特別限定,惟在由金屬錯合物A~金屬錯合物C,變化為化學式18所示金屬化合物之步驟使用煅燒法時,可耐煅燒時之溫度之物質為佳。作為基體之具體例,可舉例如玻璃(例如,百麗(PYREX)(註冊商標)玻璃、普通玻璃、石英玻璃),金屬(例如,鐵、不銹鋼、鋁、銅、黃銅等)、陶瓷(例如、氧化鋁、氧化鋯、二氧化矽)、樹脂(例如聚亞醯胺樹脂等)之耐熱性高分子。
作為上述塗佈方法,只要是可形成塗佈液之塗膜之方法即可廣泛地使用,可舉例如,旋轉塗佈、浸泡塗佈、噴灑塗佈等,一般使用之塗佈方法。再者,塗佈塗佈液後,將塗膜於常溫常壓下自然乾燥為佳。之後,例如,可進行塗膜之煅燒。
作為將金屬錯合物A~金屬錯合物C,變化為化學式18所示金屬化合物之方法,例如,有將塗佈液塗佈形成之塗膜煅燒之方法。煅燒溫度,例如以250~1800℃為佳。只要為250℃以上,可形成硬而緻密的膜。如此地,由於可以煅燒溫度為250℃程度之低的溫度即可,使用本發明之塗佈液,則亦可於對熱較弱的基材的表面,形成金屬化合物薄膜。又,基體為普通玻璃時,可無底層塗佈形成金屬化合物薄膜。再者,煅燒溫度,可按照金屬M之整類、所期望之金屬化合物薄膜之結晶相調整。
本案之第3發明之要旨,係一種金屬化合物薄膜,其特徵在於:藉由上述第2發明之金屬化合物薄膜之形成方法形成者。
本發明之金屬化合物薄膜,不會產生龜裂,又與基體之密著性佳,且硬度高。並且,本發明之金屬化合物薄膜,平滑,且透明性高,故例如於玻璃表面形成金屬化合物膜時,可維持穿透性,於鏡面之表面形成金屬化合物薄膜時,可維持反射率。又,本發明之金屬化合物薄膜,由於可不含膠合劑,故在於形成之薄膜中之金屬化合物之濃度,不會被膠合劑稀釋,故以金屬化合物之作用(例如光觸媒作用)高。特別是,金屬化合物為Nb化合物時,金屬化合物薄膜之超親水性顯著。又,金屬化合物為Ti化合物,且作為金屬化合物之化學式(化學式1~化學式3之任一)之X1
~X4
之任一為NH或S時,金屬化合物薄膜,將成可見光感應型光觸媒。
本案之第4發明之要旨,係一種金屬化合物薄膜被覆製品,其特徵在於:包括:基體;及金屬化合物薄膜,其係於上述基體表面藉由上述第2發明形成者。
於本發明之金屬化合物薄膜被覆製品,金屬化合物薄膜,不會產生龜裂,與基體之密著性佳,且硬度高。並且,本發明之金屬化合物薄膜,平滑,且透明性高,故例如於玻璃表面形成金屬化合物膜時,可維持穿透性,於鏡面之表面形成金屬化合物薄膜時,可維持反射率。又,本發明之金屬化合物薄膜,由於可不含膠合劑,故在於形成之薄膜中之金屬化合物之濃度,不會被膠合劑稀釋,故以金屬化合物之作用(例如光觸媒作用)高。特別是,金屬化合物為Nb化合物時,金屬化合物薄膜之超親水性顯著。又,金屬化合物為Ti化合物,且作為金屬化合物之化學式(化學式1~化學式3之任一)之X1
~X4
之任一為NH或S時,金屬化合物薄膜,將成可見光感應型光觸媒。
上述基體,並無特別限定,惟在由金屬錯合物A~金屬錯合物C,變化為化學式18所示金屬化合物之步驟使用煅燒法時,可耐煅燒時之溫度之物質為佳。作為基體之具體例,可舉例如玻璃(例如,百麗(註冊商標)玻璃、普通玻璃、石英玻璃),金屬(例如,鐵、不銹鋼、鋁、銅、黃銅等)、陶瓷(例如、氧化鋁、氧化鋯、二氧化矽)、樹脂(例如聚亞醯胺樹脂等)之耐熱性高分子。
基於實施例說明本發明。
(a)塗佈液之製造調製於適量的二甲苯溶解鄰苯二酚之溶液,於該溶液,滴入異丙氧基鈦(IV)與鄰苯二酚之莫耳比成1:2之量之異丙氧基鈦(IV),混合之。將該混合物回流1小時,之後,蒸餾至蒸氣溫度成140℃。將蒸餾後,殘留之混合物於常溫下放置一晚,將產生之沉澱物使用濾膜過濾。然後,將過濾之固形物,置於140℃之真空中去除揮發成分,乾燥之。該乾燥,持續到固形物的量接近理論值(約98%)。所得固形物,係鄰苯二酚鈦。
其次,藉由於以體積比1:14之比例混合之乙醯丙銅與丙銅之混合液100ml,溶解上述鄰苯二酚鈦之中之1g(以鄰苯二酚鈦換算3.79mmol),完成塗佈液A。
再者,作為製作厚膜之塗佈液,藉由於以體積比1:1之比例混合乙醯丙酮與苯之混合液10ml,溶解上述鄰苯二酚鈦之中1.32g(以鄰苯二酚鈦換算5.0mmol),完成塗佈液B。
(b)對玻璃基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成於百麗(註冊商標)玻璃所構成之50mm×50mm之大小之基板的表面,藉由旋轉塗佈法塗佈於上述(a)所製造之塗佈液A,形成塗膜。於旋轉塗佈法之旋轉數為每分鐘1000轉,塗佈時間為30秒,滴下量約為0.5ml。
其次,將上述基板煅燒。煅燒,係分別以下述所示250℃條件、300℃條件、350℃條件、及500℃條件進行。
250℃條件:於大氣氣氛中,由室溫花1小時升溫至250℃,以250℃保持25小時,最後花1小時冷卻至室溫。
300℃條件:於大氣氣氛中,由室溫花1小時升溫至300℃,以300℃保持25小時,最後花1小時冷卻至室溫。
350℃條件:於大氣氣氛中,由室溫花1小時升溫至350℃,以350℃保持25小時,最後花1小時冷卻至室溫。
500℃條件:於大氣氣氛中,由室溫花1小時升溫至500℃,以500℃保持1小時,最後花1小時冷卻至室溫。
藉由上述煅燒,於玻璃基板的表面,形成金屬氧化物(TiO2
)薄膜。
再者,以下述條件製作厚膜。
500℃厚膜條件:將於上述(a)所製造之塗佈液B,於百麗(註冊商標)玻璃所構成之50mm×50mm之基板上,以與上述相同之條件藉由旋轉塗佈法塗佈之後,於大氣氣氛中,由室溫花1小時升溫至500℃,以500℃保持1小時,最後花1小時冷卻至室溫。藉此,於百麗(註冊商標)玻璃基板上,形成金屬氧化物(TiO2
)之厚膜。
(c)金屬氧化物薄膜之評價於上述(b)形成之金屬氧化物薄膜之中,將使用塗佈液A,煅燒條件為上述500℃條件者,及以上述500℃膜厚條件形成者之表面,分別以光學顯微鏡觀察。圖1之上段,係拍攝使用塗佈液A,煅燒條件為500℃條件之金屬氧化物薄膜之表面之照片,圖1之下段,係拍攝以500℃膜厚條件形成之金屬氧化物薄膜之表面之照片。如圖1之上段與下段之照片所示,於任一金屬氧化物薄膜,均沒有產生龜裂。
又,測定上述(b)所形成之金屬氧化物薄膜之硬度。將該結果示於表1。
如表1所示,金屬氧化物薄膜,於煅燒條件為250℃條件、300℃條件、350℃條件、及500℃條件之任一情形,均具有H以上之硬度。再者,硬度之測定條件,係遵照鉛筆刮拭試驗(JIS K 5400)。再者,於表1,一併表示以後述比較例2製作之金屬氧化物薄膜之測定結果。
再者,測定於上述(b)所形成之金屬化合物薄膜之透明性,濁度為0.1以下。再者,透明性之測定方法,係遵照塑膠-透明材料之霧度之求法(JIS K 7136)。
又,於上述(b)形成之金屬氧化物薄膜,平滑,且與玻璃基版之密著性佳。
(d)光觸媒作用之評價(i)於上述(b)形成之金屬氧化物薄膜之中,測定在於煅燒條件為500℃條件者之表面之水之接觸角。測定,係分別於UV照射前,及於照射既定時間的UV之後進行。再者,於光源使用40W-BLB燈泡,UV之照射條件,係於試料表面之UV強度:2.4mW/cm2
。將測定結果示於表2。
如表2所示,接觸角,於UV照射前,為約64°,而於1小時的UV照射後親水化至接觸角顯示約10℃,於6小時的UV照射後,顯示接觸角為3℃以下之親水性。此結果,表示金屬氧化物薄膜,光誘超親水化。
又,於上述(b)形成之金屬氧化物薄膜之中,測定在於煅燒條件為300℃條件、及350℃條件之表面之水之接觸角。測定,係分別於UV照射前(初期),及於照射時間1小時、2小時、3小時進行。再者,於光源使用40W-BLB燈泡,UV之照射條件,係於試料表面之UV強度:2.4mW/cm2
。將測定結果示於表3。
如表3所示,煅燒條件為300℃條件時,350℃條件時之情形,均實現接觸角為10°以下之超親水性。特別是,在緞燒條件為350℃條件時,僅以1小時的照射,即可實現超親水性。再者,於表3,一併表示以後述比較例2製作之金屬氧化物薄膜之測定結果。
(ii)又,於上述(b)形成金屬氧化物薄膜,以500℃條件煅燒之玻璃基板浸漬於0.1mM之甲基藍水溶液一晚,以蒸餾水清洗後,測定玻璃基板之初期吸光度。其次,邊對金屬氧化物薄膜進行UV照射,測定每既定時間之吸光度。將該結果示於表2。再者,試驗條件,係遵照在於光觸媒製品之濕式分解性能試驗方法(光觸媒工業會)。
如圖2所示,由UV照射20分鐘後起因於甲基藍之波長664nm附近之波峰(吸光度)開始變小,隨著UV照射時間之增加,持續減少。在由UV照射開始之24小時之時點,波長664nm附近之波峰,變小為初期吸光度之約1/3。此結果,係表示金屬氧化物薄膜,以光觸媒作用,分解甲基藍。
由上述(i)、(ii)之實驗結果,確認到本實施例1所製造之金屬氧化物薄膜,具有很高的光觸媒活性。
(a)塗佈液之製造於以體積比1:1之比例混合丙酮與苯之溶液,溶解1.1g(10mmol)之鄰苯二酚,調製混合液。於該混合液,滴入異丙氧基鈦(IV)與鄰苯二酚之莫耳比成1:2之量之異丙氧基鈦(IV),完成塗佈液。再者,在於塗佈液之溶劑之總量,係使其丙氧基鈦(IV)之濃度成0.1M地調整。於本實施例2製造之塗佈液,係與上述實施例1之塗佈液同樣地,係鄰苯二酚鈦之溶液。
(b)對玻璃基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成與上述實施例1同樣地,於百麗(註冊商標)玻璃所構成之50mm×50mm之大小之基板的表面,使用於上述(a)所製造之塗佈液,形成金屬氧化物薄膜。惟,在於塗佈塗佈液後之煅燒條件,為上述500℃條件。
於本實施例2形成之金屬氧化物薄膜,亦可奏與上述實施例1同樣的效果。
將上述實施例1之(a)所製造之塗佈液,塗佈於後述之各種材質所構成之基板,煅燒形成金屬氧化物薄膜。塗佈液之塗佈方法,基板之材質為玻璃纖維時使用液滴塗佈法(drop-coating),其他的材質時使用流動塗佈法。又,煅燒條件,全以上述500℃條件。
(i)計測於上述(a)形成之金屬氧化物薄膜之UV照射前與照射10分鐘後之水之接觸角。於UV照射前之測定值(初期值)為20°以上,於照射10分鐘後之值為5°以下時,將金屬氧化物薄膜之親水性評價為○。將該結果示於表4。
如表4所示,基板的材質為普通玻璃、百麗(註冊商標)玻璃、石英玻璃、瓷磚、銅黃、銅、鋁、洋白(Cu-Ni-Zn)時,親水性的評價結果均為○。
(ii)將於上述(a)形成金屬氧化物薄膜之基板浸漬於0.01M之硝酸銀,照射UV10分鐘。若在照射部分可見銀的附著,則將光觸媒活性評價為○。將該結果示於表5。
如表5所示,基板的材質為普通玻璃、百麗(註冊商標)玻璃、石英玻璃、瓷磚、銅黃、銅、鋁、洋白(Cu-Ni-Zn)、玻璃纖維時,親水性的評價結果均為○。
由上述(i)、(ii)之實驗結果,確認到以上述實施例1製造之塗佈液,基板的材質為上述任一之情形,均可於其表面形成金屬氧化物薄膜,該金屬氧化物薄膜具有光觸媒活性。
將第二丁氧基鋁(Aluminium(III)sec-butoxide)與適量之苯混合,將此作為溶液1。又,於適量的苯溶解鄰苯二酚,作為溶液2。溶液1,第二丁氧基與鄰苯二酚之莫耳比成2:3地,滴入溶液2,得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使第二丁氧基鋁之濃度成0.2M地調整。其次,將上述混合溶液回流約10分鐘,之後,鋁濃度成0.05M地加入苯,完成塗佈液。該塗佈液係鋁之鄰苯二酚溶液。
(b)對矽晶圓基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾)塗佈於矽晶圓基板之表面。其次,將該矽晶圓基板,以上述500℃條件煅燒。
(c)金屬氧化物薄膜之評價於上述(b)藉由旋轉塗佈法塗佈塗佈液之後,觀察矽晶圓基板之表面,則成為均勻的成果。
又,於上述(b)煅燒後,將矽晶圓基板之表面以SEM觀察,並且藉由能量分散型X射線光譜法(EDAX),進行元素分析。圖3~5之上段,係觀察SEM影像(同一處之像),於該SEM影像,混有看起來白色的部分及看起來黑色的部分。於圖3之SEM影像,以光譜4表示之部分係看起來白色的部分,對該部分進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si(圖3中的中段及下段)。又,於圖4之SEM影像,以光譜3顯示之部分係看起來黑色的部分,對該部分進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si、及金屬氧化物薄膜之Al(圖4的中段及下段)。又,於圖5之SEM影像,以光譜2表示之區域,係包含看起來白色的部分與看起來黑色的部分之區域,對該區域進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si,及金屬氧化物薄膜之Al(圖5的中段及下段)。由以上結果,確認到於矽晶圓基板上,形成有均質的氧化鋁薄膜。
(a)塗佈液之製造於溶解鄰苯二酚於甲苯之溶液,使乙氧基鈮(V)與鄰苯二酚之莫耳比成1:2地滴入乙氧基鈮(V),得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使乙氧基鈮(V)之濃度成0.1M地調整。其次,將上述混合溶液蒸餾到蒸氣溫度成110℃,且將溶劑蒸發到一半。之後,使鈮濃度成0.05M地加入甲苯,完成塗佈液。該塗佈液係鈮之鄰苯二酚溶液。
(b)對矽晶圓基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾)塗佈於矽晶圓基板之表面。其次,將該矽晶圓基板,以上述500℃條件煅燒。
(c)金屬氧化物薄膜之評價於上述(b)藉由旋轉塗佈法塗佈塗佈液之後,觀察矽晶圓基板之表面,則成為均勻的成果。
又,於上述(b)煅燒後,將矽晶圓基板之表面以SEM觀察,並且藉由能量分散型X射線光譜法(EDAX),進行元素分析。圖6之上段之像,係觀察之SEM影像,於該SEM影像並未出現不均勻的圖樣。將在於該SEM影像之一定的區域元素分析,如圖6之中段及下段所示,檢測出Nb、Si、O、C。由該結果,確認到於矽晶圓基板上,形成有均質的Nb2
O5
薄膜。
(a)塗佈液之製造於溶解鄰苯二酚於適置的二甲苯之溶液,使四乙基氧化矽(TEOS:Tetraethyl Orthosilicate)與鄰苯二酚之莫耳比成1:2地滴入四乙基氧化矽,得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使四乙基氧化矽之濃度成0.1M地調整。其次,將上述混合溶液回流1小時,蒸餾之。蒸餾,持續到蒸氣溫度成140℃,且將溶劑蒸發到一半。之後,使矽濃度成0.05M地加入二甲苯,完成塗佈液。該塗佈液係矽之鄰苯二酚溶液。
(b)對鋁基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾)塗佈於鋁基板之表面。其次,將該鋁基板,以上述500℃條件煅燒。
(c)金屬氧化物薄膜之評價於上述(b)藉由旋轉塗佈法塗佈塗佈液之後,觀察鋁基板之表面,則成為均勻的成果。
又,於上述(b)煅燒後,將鋁基板之表面以SEM觀察,並且藉由能量分散型X射線光譜法(EDAX),進行元素分析。圖7之上段之像,係觀察之SEM影像,於該SEM影像並未出現不均勻的圖樣。於圖7之SEM影像,對以光譜3表示之區域進行元素分析,檢測出鋁基板之Al、及金屬氧化物薄膜之Si(圖7中的中段及下段)。由以上結果,確認到於鋁基板上,形成有均質的Si之氧化物薄膜。
(a)塗佈液之製造於溶解鄰苯二酚於適量的二甲苯之溶液,使丁氧基鍺(Germanium(IV)propoxide)與鄰苯二酚之莫耳比成1:2地滴入丁氧基鍺(IV),得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使丁氧基鍺(IV)之濃度成0.1M地調整。其次,將上述混合溶液回流約1小時,蒸餾之。蒸餾,持續到蒸氣溫度成140℃,且將溶劑蒸發到一半。之後,使矽濃度成0.05M地加入二甲苯,完成塗佈液。該塗佈液係鍺之鄰苯二酚溶液。
(b)對鋁基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾)塗佈於鋁基板之表面。其次,將該鋁基板,以上述500℃條件煅燒。
(a)塗佈液之製造先調整於適量的甲苯溶解鄰苯二酚之溶液,於該溶液,使乙氧基鈮(V)(Niobium(V)ethoxide)與鄰苯二酚之莫耳比成2:5地滴入丁氧基鍺(IV)。溶劑之總量,係使乙氧基鈮(V)之濃度成0.5M地調整。之後,將乾溶液之一半蒸餾。蒸餾時,係確認蒸氣溫度成100℃,將蒸餾後殘留之混合液之揮發成分以減壓濃縮機於減壓下使之蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。乾燥,將持續到接近理論值之量(約98%)之固形物(鄰苯二酚基鈮)。
於本實施例8,可由乙氧基鈮(V)(50.0g,0.157mol),鄰苯二酚(43.3g,0.939mol)、甲苯(320mL)之溶液,得到56.0g(產率98%)之固形物(鄰苯二酚基鈮)。將固形物(鄰苯二酚基鈮),溶解於以體積比1:4之比例混合乙醯丙酮與甲苯之混合液,使鈮的濃度成0.10M或者4wt%地調整,作為塗佈液。
(b)金屬氧化物薄膜之形成於鈉玻璃(SLG)或百麗(註冊商標)玻璃所構成之長寬50mm×50mm,厚度3mm之基板之表面,將於上述(a)所製造之塗佈液,以旋轉塗佈塗佈之,形成塗膜。於旋轉塗佈之旋轉數為每分鐘750轉,滴下量為約0.4ml。
將塗層有塗佈液之塗層玻璃,使用電爐於大氣中煅燒,得到Nb2
O5
之塗層玻璃。煅燒條件,以升溫速度10℃/min升溫至既定的煅燒溫度(300、350、400、450、500、550、600℃),以該煅燒溫度保持1小時,再自然冷卻。煅燒後,於塗層玻璃基板上得到良好的鈮氧化物薄膜。
(c)金屬氧化物(鈮氧化物)薄膜之評價(i)全穿透率、濁度、色差之測定測定以上述(b)所得之形成鈮氧化物薄膜之塗層玻璃之全穿透率、濁度及色差。再者,全穿透度與濁度,係使用日本電色工業(股)之NDH-500W,基於JISK7136測定。又,色差係使用日本電色工業(股)之SE-2000,基於JISZ8722測定。將該結果示於下述表6。
(ii)硝酸銀之光誘環元反應試驗(鈮氧化物)將在於上述(b)形成鈮氧化物薄膜之塗層玻璃,浸漬於0.01M之硝酸銀水溶液,使之位於水面下50mm之位置。以此狀態照射人工陽光1小時,評價有無藉由光觸媒反應之金屬銀之析出(即,光觸媒活性)。將結果示於下述表7。再者,銀的析出(反應之有無),係以目視確認。
(iii)光誘超親水性之試驗對在於上述(b)形成鈮氧化物薄膜之塗層玻璃進行UV照射,測定於照射前後之水之接觸角之變化。將該結果示於下述表8。UV照射,係使用40WBLB燈,以2.4mW/cm2
之強度(光的波長在365nm之強度)進行。又,接觸角之測定,係分別於照射前、照射1小時後、照射2小時後、照射3小時後、照射6小時後、照射24小時後進行。
(iv)試驗結果基體為鈉玻璃之情形,光觸媒活性之顯現顯著,特別是,煅燒溫度為500℃時,光觸媒活性變的更佳顯著。誘,不依煅燒溫度,均顯示超親水性,特別是,緞燒溫度為500~550℃時,超親水性變的顯著。再者,煅燒溫度為600℃時,親水性活性不佳的原因,可認為是鈮氧化物可能變化成其他的結晶系。
由以上的試驗結果,確認到氧化鈮薄膜可有效地作為光自清淨用塗層。
於甲苯/2-丁酮(莫耳比1:1)溶劑(10mL),加入2-胺基酚(218mg、2mmol)及異丙氧基鈦(IV)(TTIP)(284mg、1mmol),利用超音波將試藥溶解作為塗佈液。之後,於百麗(註冊商標)玻璃基板上藉由旋轉塗佈法塗層塗佈液,使用電爐以500℃進行煅燒1小時。結果,於玻璃基板上,形成金屬氧化物(CNO-Ti)。
將如上所述地形成之金屬氧化物薄膜之玻璃基板之吸光度光譜,使用可見光.紫外光分光光度計((股)日立High-Technologies製:U-3310)測定,評價金屬氧化物薄膜之可見光吸收特性(參照圖16)。
又,將形成之金屬氧化物薄膜之可見光感應性(光誘親水性),以如下方法評價。即,對於金屬氧化物薄膜,照射可見光,再測定水的接觸角,評價光誘親水性(參照圖17)。在此,於光源使用螢光燈(200001x),420nm以下的波長以濾光器濾除。又,接觸角計算,係使用datap hysics公司製之OCA 15plus。
使用可見光.紫外光分光光度計之測定結果,顯示金屬氧化物薄膜之吸收端的上升在於400~450nm附近(可見光吸收特性較通常的氧化鈦薄膜高)。又,以濾除波長420nm以下之紫外光之光照射後之水接觸角,較照射前之值小,隨著照射時間的增加而變小。此係表示,光觸媒活性之一之光誘親水性,以可見光顯現。
於甲苯溶液(10mL),加入2-胺基酚(250mg、2mmol)與TTIP(284mg、1mmol),利用超音波將試藥溶解作為塗佈液。之後,於百麗(註冊商標)玻璃基板上藉由旋轉塗佈法塗層塗佈液,使用電爐以500℃進行煅燒1小時。結果,於玻璃基板上,形成金屬氧化物(CNSO-Ti)。
關於如上述形成之金屬氧化物薄膜,與上述實施例9同樣地,評價可見光吸收特性,及光誘親水性(參照圖16、圖17)。結果,大致與實施例9之情形相同。
於甲苯溶液(10mL),加入2-胇基酚(252mg、2mmol)與TTIP(284mg、1mmol),利用超音波將試藥溶解作為塗佈液。之後,於百麗(註冊商標)玻璃基板上藉由旋轉塗佈法塗層塗佈液,使用電爐以500℃進行煅燒1小時。結果,於玻璃基板上,形成金屬氧化物(COS-Ti)。
關於如上述形成之金屬氧化物薄膜,與上述實施例9同樣地,評價可見光吸收特性,及光誘親水性(參照圖16、圖17)。結果,大致與實施例9相同。
於甲苯/2-丁酮(莫耳比1:1)溶劑(10mL),加入鄰胺基苯甲酸(274mg、2mmol)與TTIP(284mg、1mmol),利用超音波將試藥溶解作為塗佈液。之後,於百麗(註冊商標)玻璃基板上藉由旋轉塗佈法塗層塗佈液,使用電爐以500℃進行煅燒1小時。結果,於玻璃基板上,形成金屬氧化物(ANT-Ti)薄膜。
關於如上述形成之金屬氧化物薄膜,與上述實施例9同樣地,評價可見光吸收特性,及光誘親水性(參照圖16、圖17)。結果,大致與實施例9相同。
於甲苯/2-丁酮(莫耳比1:1)溶劑(10mL),加入胇基苯甲酸(308mg、2mmol)與TTIP(284mg、1mmol),利用超音波將試藥溶解作為塗佈液。之後,於百麗(註冊商標)玻璃基板上藉由旋轉塗佈法塗層塗佈液,使用電爐以500℃進行煅燒1小時。結果,於玻璃基板上,形成金屬氧化物(TAL-Ti)薄膜。
關於如上述形成之金屬氧化物薄膜,與上述實施例9同樣地,評價可見光吸收特性,及光誘親水性(參照圖16、圖17)。結果,大致與實施例9相同。
於乙醯丙酮/醋酸乙酯(莫耳比1:4)溶劑(10mL),加入3,4-羥基苯甲酸-鈦錯合物(176mg、1mmol),利用超音波將試藥溶解作為塗佈液。之後,於百麗(註冊商標)玻璃基板上藉由旋轉塗佈法塗層塗佈液,使用電爐以500℃進行煅燒1小時。結果,於玻璃基板上,形成金屬氧化物(HOOC-CT-Ti)薄膜。
關於如上述形成之金屬氧化物薄膜,與上述實施例9同樣地,評價可見光吸收特性,及光誘親水性(參照圖16、圖17)。結果,大致與實施例9相同。
(a)塗佈液之製造於2,2’-亞胺二乙醇(2,2’-iminodiethane)溶解於適量的甲苯之溶液,滴入異丙氧基鈦(IV),得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使異丙氧基鈦(IV)之濃度成0.5M地調整。其次,將上述混合溶液回流約1小時,蒸餾之。蒸餾,持續到蒸氣溫度成110℃,且將溶劑蒸發到一半。之後,對上述混合溶液1ml以1ml的比例加入苯,完成塗佈液。該塗佈液係2,2’-亞胺二乙醇基鈦(鈦-亞胺二乙醇錯合物)之溶液。於圖8,表示2,2’-亞胺二乙醇基鈦之分子構造。
(b)對矽晶圓基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾,滴下約0.5ml)對玻璃基板(50mm×50mm之PYREX(註冊商標)玻璃)之表面塗佈。其次,玻璃基板,以上述500℃條件煅燒。
(c)金屬氧化物薄膜之評價將於上述(b)形成之金屬氧化物薄膜以光學顯微鏡觀察。圖9係拍攝金屬氧化物薄膜之表面之照片。如圖9所示,於金屬氧化物薄膜之表面,產生許多龜裂。
該理由,推測如下。即,含於本比較例1之塗佈液之2,2’-亞胺二乙醇基鈦,如圖3所示,具有以金屬為中心之立體構造。因此,將2,2’-亞胺二乙醇基鈦所構成之塗膜煅燒,以熱分解使配位子消失,則對3維方向產生很大的體積收縮,結果產生龜裂。
(a)塗佈液之製造以1wt%之TNS(氧化鈦奈米片)水懸浮液,以乙醇稀釋成0.25wt%,進行5分鐘超音波照射,完成塗佈液。
(b)對矽晶圓基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將以上述(a)製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾,滴下約0.5ml)對玻璃基板(50mm×50mm之大小之PYREX(註冊商標)玻璃)之表面塗佈。其次,將該玻璃基板煅燒。煅燒係分別以上述250℃條件、300℃條件,以上述350℃條件煅燒進行。
測定上述(b)所形成之金屬氧化物薄膜之硬度。將該結果示於表1。如表1所示,於本比較例2形成之金屬氧化物薄膜之硬度,於煅燒條件為250℃條件、300℃條件、350℃條件之任一情形,均為6B以下。再者,硬度之測定條件,係與上述實施例1之測定條件相同。
誘,對上述(b)之金屬氧化物薄膜,測定水之接觸角。將測定結果示於上述表3。
如上述表3所示,於煅燒條件為300℃條件之情形,350℃條件情形,於照射3小時後之接觸角,均為4.9°,與在於上述實施例1實現之接觸角同程度。
(a)塗佈液之製造將第二丁氧基鋁(Aluminium(III)sec-butoxide)與適量之苯混合,將此作為溶液1。又,於適量的苯溶解2,2’-亞胺二乙醇,作為溶液2。溶液1,第二丁氧基與2,2’-亞胺二乙醇之莫耳比成2:3地,滴入溶液2,得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使第二丁氧基鋁之濃度成0.1M地調整。其次,將上述混合溶液回流約1小時,並使溫度成110℃,直到溶劑蒸發到一半,蒸餾約1小時。之後,鋁濃度成0.05M地加入苯,完成塗佈液。該塗佈液係鋁之2,2’-亞胺二乙醇溶液。
(b)對矽晶圓基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾)塗佈於矽晶圓基板之表面。其次,將該矽晶圓基板,以上述500℃條件煅燒。
(c)金屬氧化物薄膜之評價於上述(b)藉由旋轉塗佈法塗佈塗佈液之後,觀察矽晶圓基板之表面,則成為均勻的成果。
又,於上述(b)煅燒後,將矽晶圓基板之表面以SEM觀察,並且藉由能量分散型X射線光譜法(EDAX),進行元素分析。圖10~圖13之上段之像,係觀察SEM影像(圖10與圖11係相同處之SEM照片、圖12與圖13係相同處之SEM照片)。於圖10及圖11之SEM影像,混有看起來白色的部分及看起來黑色的部分。於圖12及圖13之SEM影像,有以數十μm之規模,存在看起來不同的區域。
於圖10之SEM影像,以光譜2顯示之部分係看起來黑色的部分,對該部分進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si、及金屬氧化物薄膜之Al(圖10的中段及下段)。又於圖11之SEM影像,以光譜3表示之部分係看起來白色的部分,對該部分進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si(圖11中的中段及下段)。又,於圖12之SEM影像,對以光譜3表示之區域進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si,及金屬氧化物薄膜之Al(圖12的中段及下段)。又於圖13之SEM影像,對以光譜2表示之區域該進行元素分析,檢測出矽晶圓基板之Si(圖13中的中段及下段)。
如以上,以微觀的規模來看,不僅存在有未能檢測出Al之部分(看起來白的部分)(圖11之元素分析之結果),關於較廣的區域,存在未能檢測出Al之區域(圖13之元素分析之結果),可知形成於矽晶圓基板上之Al2
O3
之氧化物薄膜,非常的不均勻。
(a)塗佈液之製造於溶解2,2’-亞胺二乙醇於適量的二甲苯之溶液,使四乙基氧化矽(TEOS:Tetraethyl Orthosilicate)與2,2’-亞胺二乙醇之莫耳比成1:2地滴入四乙基氧化矽,得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使四乙基氧化矽之濃度成0.1M地調整。其次,將上述混合溶液回流約1小時,蒸餾之。蒸餾持續到蒸氣溫度成140℃,且將溶劑蒸發到一半。之後,使矽濃度成0.05M地加入二甲苯,完成塗佈液。該塗佈液係矽之2,2’-亞胺二乙醇溶液。
(b)對鋁基板之表面之金屬氧化物薄膜之形成將於上述(a)所製造之塗佈液,藉由旋轉塗佈法(每分鐘1000轉30秒鍾)塗佈於鋁基板之表面。其次,將該鋁基板,以上述500℃條件煅燒。
(c)金屬氧化物薄膜之評價於上述(b)藉由旋轉塗佈法塗佈塗佈液之後,觀察鋁基板之表面,則成為均勻的成果。
又,於上述(b)煅燒後,將鋁基板之表面以SEM觀察,並且藉由能量分散型X射線光譜法(EDAX),進行元素分析。於圖14及圖15之上段之像,係觀察SEM影像(同一處之像),於該SEM影像,混有看起來白色的部分及看起來黑色的部分。於圖14之SEM影像,以光譜2表示之部分係看起來白色的部分,對該部分進行元素分析,檢測出鋁基板之A1(圖15的中段及下段)。
由以上結果,於鋁基板上,混有未形成Si之氧化物薄膜之部分(於SEM影像看起來白色的部分),及形成有Si之氧化物薄膜之部分(於SEM影像看起來黑色的部分),可知Si之氧化物薄膜不均勻。
(a)塗佈液之製造於溶解二乙醇胺於適量的二甲苯之溶液,使丁氧基鍺(Germanium(IV)propoxide)與二乙醇胺之莫耳比成1:2地滴入丁氧基鍺(IV),得到混合溶液。再者,於該混合溶液之溶劑之總量,係使丁氧基鍺(IV)之濃度成0.1M地調整。其次,將上述混合溶液回流約1小時,蒸餾之。蒸餾,持續到蒸氣溫度成140℃,且將溶劑蒸發到一半。之後,使矽濃度成0.05M地加入二甲苯,完成塗佈液。該塗佈液係鍺之2,2’-亞胺二乙醇溶液,但是凝膠化,不法塗佈於基板。
再者,本發明並非受限於上述實施例者,當然在不脫逸本發明之範圍可實施各種態樣。
例如,在於上述各實施例之金屬錯合物,或包含其之塗佈液,亦可係以下述方法製造者。使用該等金屬錯合物,或塗佈液,亦可得到與上述各實施例大致同樣的效果。
(1)Titanium catecholate(鄰苯二酚基鈦:分子量264)使鄰苯二酚(22.0g,200mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)28.4g(110mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鈦錯合物)之顏色為褐色,其產量為26.0g(98.5mmol),產率為98%。將2.64g之鄰苯二酚-鈦錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(2)Titanium naphthalene-2,3-dioxide(萘-2,3-二氧基鈦:分子量366)使2,3-二羥基萘(32.0g,200mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)28.4g(110mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(2,3-二羥基萘-鈦錯合物)之顏色為褐色,其產量為36.2g(98.9mmol),產率為99%。將3.66g之2,3-二羥基萘-鈦錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(3)Titanium cyanocatecholate(氰基鄰苯二酚基鈦:分子量314)使3,4-二羥基芐腈(5.00g,37.0mmol)與甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)5.25g(18.5mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(3,4-二羥基芐腈-鈦錯合物)之顏色為褐色,其產量為5.8g(18.5mmol),產率為100%。將3.14g之3,4-二羥基芐腈-鈦錯合物,溶解於100mL之乙醇,作為塗佈液。
(4)Titanium carboxycatecholate(羧基鄰苯二酚基鈦:分子量352)使3,4-二羥基苯甲酸(30.8g,200mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)28.4g(100mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(3,4-二羥基苯甲酸-鈦錯合物)之顏色為褐色,其產量為35.0g(99.4mmol),產率為99%。將3.52g之3,4-二羥基苯甲酸-鈦錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(5)Titanium nitroycatecholate(硝基鄰苯二酚基鈦:分子量354)使4-硝基鄰苯二酚(10g,64.5mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)9.15g(32.2mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(4-硝基鄰苯二酚-鈦錯合物)之顏色為褐色,其產量為11.0g(31.1mmol),產率為97%。將3.54g之4-硝基鄰苯二酚-鈦錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(6)Titanium pyridine-2,3-dioxide(吡啶-2,3-氧基鈦:分子量266)使2,3-羥基吡啶(22.2g,200mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)28.4g(100mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(2,3-羥基吡啶-鈦錯合物)之顏色為黃色,其產量為26.6g(100mmol),產率為100%。
(7)Titanium 1,4-dixane-23-dioxide(1,4-二氧陸圜-2,3-二氧基鈦:分子量284)使1,4-二氧陸圜-2,3-二醇(10.0g,83.3mmol)與甲苯(90ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾6mLl。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)11.8g(41.6mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(1,4-二氧陸圜-2,3-二醇-鈦錯合物)之顏色為褐色,其產量為12.2g(35.9mmol),產率為86%。
(8)Titanium salicylate(柳酸鈦:分子量320)使柳酸(27.6g,200mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)28.4g(100mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(柳酸-鈦錯合物)之顏色為紅色,其產量為32.0g(100mmol),產率為100%。將3.20g之柳酸-鈦錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(9)Zirconium catecholate(鄰苯二酚基鋯)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)5.00g(10.6mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鋯錯合物)之顏色為黑色,其產量為3.07(10.0mmol),產率為100%。
(10)Hafnium catecholate(鄰苯二酚基鉿)使鄰苯二酚(2.34g,12mmol)與甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鈦(IV)(TTIP)5.00g(10.6mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鉿錯合物)之顏色為黑色,其產量為4.18(10.6mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鉿錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(11)Vanadium catecholate(鄰苯二酚基鉿:分子量213)使鄰苯二酚(3.30g,30mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入乙醯丙酮釩(III)6.97g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-釩錯合物)之顏色為黑色,其產量為4.26(20.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-釩錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(12)Niobium catecholate(鄰苯二酚基鈮:分子量363)使鄰苯二酚(8.64g,78.5mmol)與甲苯(70ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾10mL。其次,邊攪拌,加入乙氧基鈮(V)10.0g(31.4mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為110℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鈮錯合物)之顏色為褐色,其產量為11.4g(31.4mmol),產率為100%。將3.63g鄰苯二酚-鈮錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(13)Tantalum catecholate(鄰苯二酚基鉭:分子量451)使鄰苯二酚(5.51g,50.0mmol)與甲苯(50ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾10mL。其次,邊攪拌,加入乙氧基鉭(V)8.13g(20.0mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為110℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鈮錯合物)之顏色為黃色,其產量為9.02g(20.0mmol),產率為100%。將4.51g鄰苯二酚-鈮錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(14)Molybdenum catecholate(dioxy)(鄰苯二酚基二氧化鉬:分子量236)使鄰苯二酚(1.10g,10mmol)與二甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入二乙醯丙酮基二氧化鉬(VI)3.26g(10mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鉬錯合物)之顏色為黑色,其產量為3.26g(10.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鉬錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(15)Tungsten catecholate(鄰苯二酚基鎢:分子量400)將鄰苯二酚(2.20g,20mmol)混合於二甲苯(60ml)與2-丙醇(20ml)所構成之溶液。其次,邊攪拌,加入氯化鎢(IV)3.26g(10mmol)。使該混合液回流1小時,之後,蒸餾至溶液之量成10mL。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鎢錯合物)之顏色為黑色,其產量為4.00g(10.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鎢錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(16)Manganese catecholate(鄰苯二酚基錳:分子量163)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入醋酸錳(II)3.46g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-錳錯合物)之顏色為綠色,其產量為3.26g(20.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-錳錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(17)Iron catecholate(鄰苯二酚基鐵:分子量164)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入醋酸鐵(II)3.48g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鐵錯合物)之顏色為橘.褐色,其產量為3.28g(20.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鐵錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(18)Cobalt catecholate(鄰苯二酚基鈷:分子量167)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入醋酸鈷(II)3.54g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鈷錯合物)之顏色為綠色,其產量為3.34g(20.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鈷錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(19)Copper catecholate(鄰苯二酚基銅:分子量171.6)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入甲氧基銅(II)2.50g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-銅錯合物)之顏色為紫色,其產量為3.30g(19.2mmol),產率為96%。將鄰苯二酚-鈷錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(20)Zinc catecholate(鄰苯二酚基鋅:分子量173)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入醋酸鋅(II)3.76g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鋅錯合物)之顏色為白色,其產量為3.46g(20.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鋅錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(21)Aluminium catecholate(鄰苯二酚基鋁:分子量189)使鄰苯二酚(3.30g,30mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鋁(III)4.08g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鋁錯合物)之顏色為綠色,其產量為3.78g(20.0mmol),產率為100%。將1.89g鄰苯二酚-鋁錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(22)Gallium catecholate(鄰苯二酚基鎵:分子量232)使鄰苯二酚(1.65g,15mmol)與二甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入乙醯丙酮基鎵(III)3.67g(10mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鎵錯合物)之顏色為灰色,其產量為2.32g(10.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鎵錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(23)Indium(III)catecholate(鄰苯二酚基銦:分子量277)使鄰苯二酚(3.30g,30mmol)與二甲苯(90ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾10mL。其次,邊攪拌,加入醋酸銦5.84g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-銦錯合物)之顏色為綠色,其產量為5.54(20.0mmol),產率為100%。將6.93g鄰苯二酚-銦錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(24)Silicon(IV)catecholate(鄰苯二酚基矽:分子量244)使鄰苯二酚(22.0g,0.20mol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾20mL。其次,邊攪拌,加入四乙氧基矽烷(TEOS)20.8g(0.10mol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,以流液速度15mL/h蒸餾。結果,得到鄰苯二酚矽錯合物甲苯。於鄰苯二酚矽錯合物甲苯,加入2mL乙醯丙酮,作為塗佈液。
(25)Silicon(IV)carbonylcatecholate(羰基鄰苯二酚基銦:分子量300)使3,4-二羥基苯甲醛(27.6g,200mmol)與甲苯(220ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入四乙氧基矽烷(TEOS)20.8g(100mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(3,4-二羥基苯甲醛-矽錯合物)之顏色為黑色,其產量為30.0g(100mmol),產率為100%。將15g3,4-二羥基苯甲醛-矽錯合物,溶解於100mL之1:9二甲亞碸/乙醇,作為塗佈液。
(26)Germanium catecholate(鄰苯二酚基鍺:分子量288.6)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鍺(IV)3.09g(10.0mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鍺錯合物)之顏色為灰色,其產量為2.89g(10.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鍺錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(27)Tin catecholate(鄰苯二酚基錫:分子量335)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入丁氧基錫(IV)4.11g(10.0mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-錫錯合物)之顏色為綠色,其產量為3.35g(10.0mmol),產率為100%。將6.70g鄰苯二酚-錫錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
(28)Bismuth catecholate(鄰苯二酚基鉍:分子量371)使鄰苯二酚(1.65g,15mmol)與二甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入戊氧基鉍(III)4.70g(10.0mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,將殘留之混合液之揮發分以減壓濃縮機減壓蒸發。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鉍錯合物)之顏色為黑色,其產量為3.71g(10.0mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鉍錯合物,溶解於乙醇至飽和,過濾作為塗佈液。
(29)Magnesium catecholate(鄰苯二酚基鎂:分子量132)使鄰苯二酚(2.20g,20mmol)與甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入乙氧基鎂(II)2.29g(20.0mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鎂錯合物)之顏色為黑色,其產量為2.57g(19.5mmol),產率為97%。將鄰苯二酚-鎂錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(30)Barium catecholate(鄰苯二酚基鋇:分子量245)使鄰苯二酚(1.37g,12.5mmol)與甲苯(25ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入異丙氧基鋇(II)3.20g(12.5mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為100℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-鋇錯合物)之顏色為綠灰色,其產量為3.08g(12.5mmol),產率為100%。將鄰苯二酚-鎂錯合物,溶解於乙醯丙酮至飽和,過濾作為塗佈液。
(31)Europium(III)catecholate(鄰苯二酚基銪:分子量314)使鄰苯二酚(3.30g,30mmol)與二甲苯(45ml)所構成之溶液脫水地,蒸餾5mL。其次,邊攪拌,加入醋酸銪(III)6.58g(20mmol)。使該混合液回流1小時,之後,邊確認蒸餾溫度為132℃以上,蒸餾至溶液之量成一半。蒸餾後,以使用濾膜之抽氣過濾將生成物之固形分單離。將殘留之固形分,進一步使用真空乾燥機,於真空下,加熱為100℃,完全去除剩下的揮發成分。固形分(鄰苯二酚-銪錯合物)之顏色為黃色,其產量為6.28g(20mmol),產率為100%。將0.314g鄰苯二酚-銪錯合物,溶解於100mL之1:4乙醯丙酮/甲苯,作為塗佈液。
圖1係表示金屬氧化物薄膜之表面之照片。
圖2係表示使甲基藍附著於金屬氧化物薄膜之表面,照射UV時之吸光度之變化之曲線圖。
圖3係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖4係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖5係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖6係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖7係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖8係表示鈦-亞胺基二乙醇錯合物之分子構造之說明圖。
圖9係表示金屬氧化物薄膜之表面之照片。
圖10係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖11係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖12係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖13係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖14係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖15係表示金屬氧化物薄膜表面之SEM影像,及表示元素分析結果之圖表。
圖16係表示金屬氧化物薄膜之可見光吸收特性之曲線圖。
圖17係表示在於金屬氧化物薄膜之接觸角之變化之曲線圖。
Claims (21)
- 一種塗佈液,包含選自由化學式1所表示之金屬錯合物A、化學式2所表示之金屬錯合物B、及化學式3所表示之金屬錯合物C所組成之群之至少1種以上:
- 如申請專利範圍第1項所述的塗佈液,其中上述M,係選自由Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta、及Pb所組成之群之1種以上。
- 如申請專利範圍第1或2項所述的塗佈液,其中上述金屬錯合物A,係以化學式4~化學式11所表示之金屬錯合物之中之任一:
- 如申請專利範圍第1或2項所述的塗佈液,其中上述金屬錯合物B,係化學式12~化學式15所表示之金屬錯合物之中之任一:
- 如申請專利範圍第1或2項所述的塗佈液,其中上述金屬錯合物C,係化學式16~17所表示之金屬錯合物之中之任一:[化16]
- 一種塗佈液,混合:包含金屬烷氧化物或金屬鹽之溶液;及化學式19~化學式30之任一所表示之配位子者
- 如申請專利範圍第6項所述的塗佈液,其中上述金屬係選自由Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta、及Pb所組成之群之1種以上。
- 一種金屬化合物薄膜之形成方法,其特徵在於:於基體上塗佈申請專利範圍第1至7項中任一項所述的塗佈液形成塗膜,使之變化成化學式18所表示之金屬化合物:
- 如申請專利範圍第8項所述的金屬化合物薄膜之形成方法,其中藉由煅燒,使上述金屬錯合物變化成上述金屬化合物。
- 如申請專利範圍第9項所述的金屬化合物薄膜之形成方法,其中在於上述煅燒之溫度為250~1800℃之範圍。
- 一種金屬化合物薄膜,係於基體上塗佈申請專利範圍第1至7項中任一項所述的塗佈液形成塗膜,使之在溫度250~1800℃燒成而得,具有化學式18所表示之金屬化合物的金屬化合物薄膜:
- 一種金屬化合物薄膜被覆製品,包括:基體;及於上述基體表面形成申請專利範圍第11項所述的金屬化合物薄膜。
- 如申請專利範圍第12項所述的金屬化合物薄膜被覆製品,其中上述基體,係樹脂、金屬、陶瓷及玻璃之中的任一。
- 一種導電性薄膜形成用塗佈液,包括由化學式19~化學式30之任一所表示之配位子與銦(In)、錫(Sn)、或銦(In)和錫(Sn)兩者反應而成的金屬材料,
- 一種導電性薄膜形成用塗佈液,包括選自化學式1所表示之金屬錯合物A、化學式2所表示之金屬錯合物B、及化學式3所表示之金屬錯合物C所組成之群之至少1種以上的金屬材料,其中化學式1、化學式2、及化學式3中的M為銦(In)、錫(Sn)、或銦(In)和錫(Sn)兩者,[化1]
- 如申請專利範圍第14或15項之導電性薄膜形成用塗佈液,其中,上述金屬材料為0.1-5重量%。
- 一種導電性薄膜之形成方法,其特徵在於:於基體表面塗佈申請專利範圍第14-16項任一項所述的導電性薄膜形成用塗佈液,經由形成塗膜、煅燒,使包含於上述塗膜中的上述金屬材料變化成導電性薄膜。
- 如申請專利範圍第17項所述的導電性薄膜之形成方法,其中上述煅燒在大氣中進行。
- 如申請專利範圍第17或18項所述的導電性薄膜之形成方法,其中上述煅燒溫度為250℃-1800℃之範圍。
- 一種導電性薄膜,係於基體上塗佈申請專利範圍第14至16項中任一項所述的塗佈液形成塗膜,使之在溫度250~1800℃燒成而得,具有化學式18所表示之金屬化合物的金屬化合物薄膜:
- 一種導電性薄膜被覆製品,包括:基體;及設置於上述基體表面之申請專利範圍第20項所述的導電性薄膜。
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