TW200301920A - Remote maintenance system - Google Patents

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TW200301920A
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Masaya Ogura
Nobuaki Ogushi
Yoshito Yoneyama
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Canon Kk
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Description

200301920 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關於一種供維護安裝於遠方位置處之工業 裝備的遠方維護系統。 在需要維護的工業裝備（例如一半導體裝置生產裝置 )之解決故障的維護工作，已製造成當故障發生時，維護 人員將一解決對策指示給生產裝置的操作者（經由電話或 傳真溝通，或直接探訪該生產裝置所安裝的工廠）。此種 方式亦應用於週期性的維護。 伴隨著近年來在半導體工業的投資之增加，所安裝之 生產裝備數量亦跟著增加，而造成維護人員長期性的缺乏 。爲達成低成本的目的，生產位置已分佈在國內及國外的 遠方位置。於此情況下，會很困難來提供解決故障的對策 及進行週期性維護。生產位置的四散分佈，造成了有關維 護生產裝置的訊息之分散。如此，造成很困難實行這些訊 息的中央集中管理。相關之已發生過之故障的處理經驗， 不能被有效的再應用。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 發明之概要說明 本發明係考慮到前述之各種狀況，且其目的係立刻的 且有效的對安裝於遠方位置處的工業裝備實施維護。 依據本發明，前述之目的係經由提供一種遠方維護系 統，以維護安裝於遠方位置處的工業裝備而達成，該系統 包含了用以監視一或多數的工業裝備之操作狀態的監視裝 置，及用以管理該工業裝置之維護的管理裝置，而經由網 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） ^ -4 - 200301920 A7 B7 五、發明説明（2 ) 際網路，將維護該工業裝備的訊息與監視裝置溝通。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據另一相態，經由提供一被安排於工業裝備側之監 視裝置，以組成供維護安裝於遠方位置處的一工業裝備之 遠方維護系統，該監視裝置包含了一獲取裝置，供偵測一 或多數工業裝備的故障之發生及獲取代表這些故障狀態的 情況訊息，及一溝通裝置，用以經由網際網路來通知一管 理裝置，以實施經由獲取裝置所獲致的該工業裝備之情況 訊息的中央維護管理，且用以承接反應該情況訊息的通知 ，而由該管理裝置經由網際網路所傳送之反應訊息。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 於本發明之另一相態中，前述之目的可經由提供安排 在賣主側上的管理裝置，以組成供維護安裝在遠方位置處 的一種遠方維護系統而達成，該管理裝置包含了’ 一種溝 通裝置，用以經由網際網路與至少一工廠內的每一監視裝 置溝通（其中，一監視裝置被安排以監視至少一工業裝備 的操作狀態），及一種反應裝置，用以依據該工業裝備的 故障狀態之情況訊息來決定解決故障的對策（該情況訊息 係由溝通裝置承接自該監視裝置），及導致該溝通裝置將 依據該決定的對策而致的反應訊息通知該反應的監視裝置 〇 本發明之再另一相態中，前述之目的可經由提供一種 用以維護安裝在遠方位置處之工業裝備的遠方維護方法而 達成，包含了下述步驟，在供應一第一工業裝備的第一買 主，供應第二工業裝備的第二賣主，安裝該第一及第二工 業裝備的第一工廠，和安裝第一及第二工業裝備的第二工 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（ 210X297公董）_ _ 200301920 A7 B7 五、發明説明（3 ) 廠之間，經由網際網路溝通維護訊息，可導致該第一賣主 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 對安裝在第一及第二工廠內的第一工業裝備可以實施中央 維護管理，及導致該第二賣主對安裝在第一及第二工廠內 的第二工業裝備可以實施中央維護管理。 本發明之進一步目的，特徵及優點，可由下述之參照 圖形而對本發明之實施例所做之詳細說明，而更爲明顯。 較佳實施例之詳細說明 〔供工業裝備用之遠方維護系統的第一實施例〕 圖1係顯示依據本發明之一較佳實施例的供一工業裝 備使用之遠方維護系統的示意圖。參考號碼1 0 1代表提 供工業裝備的一賣主（裝備供應製造商）之辦公室。本實 施例假設使用於半導體生產工廠內的半導體生產裝置爲工 業裝備。該半導體生產裝置之範例爲預處理裝備（例如一 曝光裝置，一塗層，顯影裝置，及一退火裝置）及後處理 裝備（例如一組合裝置及一檢查裝置）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 參考號碼1 0 2至1 0 4代表做爲工業設備之使用者 的至少一半導體生產製造商的生產工廠。即爲，該生產工 廠1 0 2至1 0 4可屬於不同製造商或同一製造商（例如 預處理及後處理工廠）。 於每一工廠1 0 2至1 0 4內，安排有多數的工業裝 備106 ，用以連接這些裝備106的一 LAN (內部網 路）1 〇 9 ，及作用爲供監視個別工業裝備1 0 6的操作 狀態之監視裝置的一主電腦1 〇 7。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200301920 A7 B7 五、發明説明（4 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於每一工廠1 〇 2至1 0 4內的主電腦1 〇 7，經由 作用爲世界性溝通裝置的網際網路1 〇 5 ’而連接至在賣 主側1 0 1作用爲管理裝置的一主電腦1 〇 8。該主電腦 1 0 7將代表該相關之工業裝備1 〇 6的操作狀態之情況 訊息（例如相關之工業裝備的故障狀態）’自工廠側通知 至賣主側。於同時，該主電腦1 〇 7自該賣主側承接依據 前述通知而反應的反應訊息（例如爲如何解決故障之對策 的指示，或一對策程式或其資料）。該情況訊息及/或該 反應訊息，於下將解釋爲維護訊息。 在工廠1 02至104及賣主1 01之間的溝通，以 及於每一工廠之間以內部網路L AN的溝通，使用一般使 用在網際網路上的網際網路系統資料傳輸通信協定（ TCP/IP)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經由網際網路1 0 5 ，在賣主側1 0 1的主電腦 108 ，可即時的抓取在使用工廠102至104中之工 業裝備的操作狀態。代表操作狀態及維護狀態的維護訊息 ，可被賣主1 0 1的除了維護部門之外的其他部門也可自 電腦中搜尋到，例如生產部門及研發部門的電腦1 1 0。 該維護訊息可被反饋至生產部門及研發部門。 圖2係顯示安裝在每一工廠的主電腦1 0 7之操作的 流程表。該主電腦1 0 7週期性的執行由此流程表所代表 的處理過程，以經由該內部網路L A N 1 〇 9來週期性的 監視該多數的（η個）工業裝備1 〇 6之操作狀態。於故 障發生時，該主電腦1 0 了獲取例如爲故障之狀態的情況 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS )八4規格（210X297公釐) " 一(一 200301920 A7 B7 五、發明説明（5 ) 訊息，且經由網際網路1 0 5 ，而將此訊息通知給賣主 10 1。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於圖2之流程表中，該主電腦1 〇 7辨識及管理多數 的工業裝備10 6 (即爲做爲監視目標的第1至第η個工 業裝備）。該主電腦1 0 7順序的增加一參數i (步驟 S207及S208)，且監視該第i個工業裝備的操作 狀態（步驟S 2 0 3 )。該主電腦1 0 7獲致有關於故障 的一工業裝備之操作狀態的情況訊息（步驟S 2 0 4 )， 且經由網際網路1 0 5將此情況訊息通知該賣主（步驟 S 2 0 5 )。依據反應該情況訊息的報告，而由賣主側 1 0 1傳送之反應訊息，在可能解決的情況下（該故障可 由更新的軟體或類似物來排除），該主電腦1 0 7可自動 的維護該工業裝備（步驟S 2 0 6 )。而在不可能自動維 護而排除故障的情況下，一代表此種情況的訊息會陳列於 例如一顯示板上。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 每一工業裝備1 0 6會具有反應來自該主電腦1 0 7 的請求，而通知該相關之主電腦1 0 7有關於故障之存在 /不存在的功用（相關於步驟S203)，及具有指明該 故障的內容和通知該主電腦1 〇 7代表該指明之故障內容 的情況訊息的功能（例如一種代表故障之內容的錯誤代碼 )(相關於步驟S 2 0 4 )。 於步驟S 2 0 5中，自該主電腦1 〇 7通知至該賣主 1 0 1側的情況訊息，包含了例如，故障之該工業裝備的 型式，其序列號碼，錯誤代碼，及故障發生時間。在錯誤 一 8 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公瘦） 200301920 A7 B7 __ 五、發明説明（6 ) 代碼及故障內容之間的相關關係，可經由網際網路1 0 5 而由賣主1 0 1側的主電腦1 0 8自然的更新。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如果沒有事先登記此一故障的內容，代表此內容之一 錯誤代碼會被包含於情況訊息中。於此情況，操作者可經 由電話，傳真或電子郵件的裝置，將詳細訊息通知到賣主 側。 該作用爲在賣主1 0 1側上之管理裝置的主電腦1 0 8，例如爲2 4小時的等待於每一工廠內之主電腦1 0 7 之溝通。圖3顯示在賣主1 0 1側上的該主電腦1 0 8的 操作之流程表。 該位於賣主1 0 1側上之主電腦1 0 8，週期性的執 行由此流程表所代表之處理過程，以監視於個別的工廠 1 0 2至1 0 4內的工業裝備之操作狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印繁 首先，該主電腦1 0 8監視是否有故障的報告存在（ 步驟S302)。如果在步驟S302爲''是〃，該主電 腦1 0 8獲得有關於此一報告的情況訊息（步驟S 3 0 3 )。該主電腦1 0 8依據此一情況資訊’而搜尋供管理每 一工廠的工業裝備之維護的故障資料庫（DB)。該主電 腦1 0 8檢查相同的工業裝備’是否發生過與目前報告之 故障狀態相同的故障，即，是否相同的故障狀態已登記在 故障資料庫（5 0 1 ，於後詳述）中（步驟S 3 0 4 )。 如果相同的故障狀態已登記在故障資料庫中（於步驟 S304中、x是〃），則可決定是否已登記有排除此一故 障狀態的對策（步驟S 3 0 6 )。如果於步驟S 3 〇 6中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公瘦）_ 200301920 A7 B7 五、發明説明（7 ) 爲''是"，該主電腦1 0 8將有關於登記之對策的反應訊 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 息（例如代碼訊息，或代表對策，一對策程式，或其數據 等的消息），經由網際網路1 0 5而通知報告該故障的位 於工廠內的主電腦1 0 7 (步驟S 3 0 7 )。 在收到該反應訊息時，在工廠側的主電腦1 〇 7，如 果可能的話，會將故障的工業裝備自動的復原至正常狀態 。當此種自動復原爲不可能的時，該主電腦1 〇 7會輸出 一消息至例如一顯示器上，以供該故障的工業裝備之操作 者知悉。 該主電腦1 0 8將故障發生的事實，該故障之內容（ 情況訊息），該對策（反應訊息）的通知存在/不存在， 目前的狀態，及任何其他相關訊息，報告給於賣主1 〇 1 側上的負責人。此一報告被陳列於該電腦1 1 〇的顯示器 上’且係自動的自該主電腦1 〇 8發送電子郵件至在賣主 側的負責人之郵件地址。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如果於步驟S 3 0 4決定了在故障資料庫中，沒有登 記與目前所報告之故障狀態相同之故障狀態，此一故障狀 態會被登記至故障資料庫內（步驟S305)，且然後執 行步驟S 3 0 8。 當完成了給操作者的報告時（步驟S308)，該主 電腦108更新該故障資料庫（步驟s3〇9)。在此一 更新1中’於該資料庫中登記了該對策（反應訊息）的傳送 是否存在/不存在，故障報告收到的時間，及其他相關訊 息。 本紙張尺度適财關家標準（CNS〉A4規格（21{)><297公慶） — -10 - 200301920 A7 B7 五、發明説明（8 ) 圖4顯示在接收到於步驟s 3 0 8的報告之後，維護 部門的負責人所可以執行之流程程序的流程表。首先，該 負責人搜尋該故障資料庫，以抓取一故障的內容並決定是 否需要一對策（步驟S402)。如果於步驟S402 ( 例如在步驟S 3 0 7中已將一合適的對策通知到相關之工 廠）爲〜否〃 ’該故障的工業裝備1 〇 6之操作狀態，則 經由網際網路1 0 5而監視例如此一故障是否於未來再次 的發生。 但是，如果需要一對策時（即於步驟S 4 0 2中爲、 否〃），該負責人經由在故障資料庫中搜尋所儲存的訊息 ，而選擇一合適的對策（步驟S403)。 一種對策方針係經由網際網路1 〇 5上線後，可以消 除掉該一故障（步驟S407)。做爲一種範例，該故障 亦可能由軟體錯誤所導致。於此狀況，該故障的工業裝備 之記億體中的參數及程式，可經由網際網路1 0 5的上線 及在工廠側上的主電腦1 0 7而加以更正。 於另一種對策方針，係經由電子郵件，傳真，電話或 類以物的裝置，將用以消除故障的方法指示給操作者（步 驟 S 4 0 6 ) 。 · 對一些以步驟S 4 0 6及S 4 0 了中之方法無法消除 的嚴重故障狀況，該負責人必須拜訪該工廠以排除故障（ 步驟S 4 0 5 )。 當該對策完成後，該負責人依據此一故障的訊息，而 操作該主電腦1 0 8或電腦1 1 0以更新該故障資料庫（ 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2l〇x297公釐） 裝-- (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 -11 - 200301920 A7 B7 五、發明説明（9 ) 步驟S 4 0 8 )。 (請先閲讀背面之注意事項鼻填寫本買〕 在賣主1 0 1側的主電腦1 0 8中之故障資料庫，將 於下詳述。特殊的或一般目的之瀏覽器軟體被安裝在經由 該LAN 1 〇 9而連接至主電腦1 0 8的每一電腦1 1 0 內，且每一工廠的工業裝備1 0 6經由該網際網路而連接 ，從而組成了例如示於圖5中的使用者介面視窗。 在賣主或工廠側之操作者，可輸入例如爲工業裝備的 型式（4 Ο 1 )，序列號碼（4 0 2 )，故障的情況（ 4 0 3 )，故障發生的日期（404)，緊急程度（40 5 )，故障的狀態（4 0 6 )，該對策（4 0 7 )，及進 度（4 0 8 )。如前所述的訊息，亦可自動的由該主電腦 1 0 8而輸入該故障資料庫內。 示於圖5中的視窗之瀏覽器軟體具有超連結功能（ 4 10至4 12)，以允許在該賣主的每一部門之工作者 ，及在每一工廠的每一操作者，可進入每一項目的詳細資 料庫內，自該軟體文庫內訂正一新版的軟體，或訂正一操 作導引（輔助訊息）作爲供在工廠內之操作者參考之用。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 如前所述，在賣主1 0 1側之每一部門的工作者，例 如維護部門，生產部門，及研發部門，可以經由使用電腦 110 (其經由LAN109而連接至主電腦108)而 進入該故障資料庫。於外部的維護人員，亦可經由使用網 際網路1 0 5 ，而以一可攜帶式終端機進入該故障資料庫 中。因此，賣主的個別部門之訊息，可被中央化的管理， 且每一部門均可以經常的獲取最新之訊息。 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS > A4規格（210X297公釐)~Τ77Ί 200301920 A7 B7 五、發明説明（10 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲該故障資料庫的一部份之訊息可被揭示給使用者 (工廠），且每一使用者可經由網際網路而進入多種的以 往之維護訊息內，且使用一合適之對策來解決他自己的故 障。如前所述，於本實施例中，該賣主及該多數的使用者 可以分享該維護訊息，而可顯著的改良該維護效率。 本實施例亦包含了一溝通保全系統，以防止第三者經 由網際網路而自該故障資料庫進入和人機密訊息內。 此一系統具有一隔絕墙，經由使用口令來執行確認， 且被允許進入資料庫的電腦，必須事先的登記在賣主 1 0 1的主電腦1 0 8中，以防止無註冊電腦的進入。 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 圖6係顯示依據此一實施例的溝通保全系統裝置的一 圖。經由使用一瀏覽器5 0 0 ，而進入在賣主1 〇 1側的 主電腦1 0 8之故障資料庫5 0 1內的溝通，係使用一暗 碼而執行。該主電腦1 0 7及1 0 8包含了編碼器解碼器 5 0 2及5 0 4和溝通控制器5 0 3及5 0 5。一編碼器 解碼器演算係被提供在每一工廠（使用者）內（在賣主側 上之編碼器解碼器可被多數的演算所克服）。該編碼器解 碼器演算係週期性的改變以增加安全性。 於此一實施例之系統中，如前所述，作爲既存之下部 結構的網際網路，其溝通協定及網際網路進入軟體，可被 使用與該工業裝備的維護訊息溝通。爲此理由，可以減少 安裝溝通線路的負擔，及減少開發新軟體的負擔，且，可 以建構一高速率，低成本的遠方維護系統。 安裝工業裝備的該多數之工廠，經由一溝通裝置而與 13 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 200301920 A7 B7 五、發明説明（11 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 賣主的管理系統連接，以實施維護訊息的中央化管理及分 享該訊息。以往之故障經驗，可被使用在包含生產工廠以 外的地方，而使可以立即的克服那些故障。特別的，當不 同公司企業（例如使用者）分享到該維護訊息時，可以改 良整個工業的效率。 〔供工業裝備用之遠方維護系統的第二實施例〕 圖7係顯示依據本發明之第二實施例的供工業裝備用 之維護系統的概念圖。在第一實施例中，均具有工業裝備 的多數使用者工廠，經由一溝通裝置而連接至供工業裝備 用的賣主之管理系統，且經田該溝通裝置而互相溝通在每 一工廠內之工業裝備的維護訊息。但是，於第二實施例中 ，一具有多數賣主之工業裝備的工廠，經由使用網際網路 的溝通裝置，而連接至多數工業裝備之賣主的管理系統， 從而經由該溝通裝置而溝通每一工業裝備的維護訊息。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 參照圖7 ，參考號碼2 0 1代表一工業裝備使用者（ 半導體裝置生產製造商）的生產工廠，其中，具有曝光裝 置201 ，塗層/顯影裝置203及退火裝置204，所 有這些裝置均作用爲半導體裝置的生產裝備，且被安裝在 該工廠的生產線中。於圖7中僅顯示一生產工廠2 0 1 ， 但多數的工廠均具有類似之實際生產結構。前述之裝置經 由一 LAN (內部網路）2 0 6而連接，且該生產線的操 作係由一生產管理主電腦2 0 5所管理。用以執行所供應 之裝備的遠方維護的主管理系統211 ，221及231 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 一 14 - 200301920 A7 ___ _B7 五、發明説明（12 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，被提供在賣主的辦公室（裝備供應製造商）內，例如一 _光裝置製造商2 1 0，塗層/顯影裝置製造商2 2 0， 及退火裝置製造商2 3 0。供管理該使用者之生產工廠內 之每一裝置的主電腦2 0 5 ，經由該網際網路2 0 0 ，而 連接至供個別裝置用之賣主的管理系統2 1 1 ，2 2 1及 231 。如參照圖1的說明中，每一賣主210 ，220 及2 3 0 ’可對多數使用者的工廠內之其本身供應的裝置 ，實施中央化維護管理。 於此一系統中，當生產線上之系列的生產裝備之一發 生故障時，該生產線之操作會停止。經由網際網路2 0 0 ’可接收到來自故障裝備之賣主的遠方維護，以使可立即 的克服故障，而減少該生產線的停止時段至最少。每一賣 主的主管理系統均具有如第一實施例中所述的故障資料庫 。維護訊息被儲存在此一故障資料庫中。在生產工廠與不 同賣主之間，使用不同的溝通保全系統，以防止訊息之洩 露。詳細之維護內容及方法，均相同於第一實施例之所述 ，故於此將省略此一詳細說明。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 如前所述，於本實施例之系統中，具有一或多數使用 者的多數之工廠，其具有多數賣主的工業裝備在生產線上 ，且連接至個別賣主的管理系統以溝通維護訊息。即使如 果所給予之裝備在生產中發生故障，亦可自相關之賣主處 接收到立即的維護。生產線的停止時間可被減至最少，以 改良生產效率。特別的，當該維護訊息分享給不同使用者 ，不同公司企業，或不同賣主，可以改良整個工業的效率 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15 - 200301920 A7 __ B7 五、發明説明（13 ) 〇 〔半導體裝置生產方法的實施例〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用前述遠方維護系統所協助之一半導體裝置生產方 法，將於下詳述。 圖8顯示一微小裝置的生產流程表（例如，一 I c或 LS I的半導體晶片，一液晶板，一 CCD，一薄膜磁頭 ，及一微小機器）。於步驟1 (電路設計），實施供一半 導體裝置用的電路設計。於步驟2(罩之形成），形成供 電路設計模型用的罩。於步驟3 (晶圓之預先加工），準 備一例如使用ϊ夕材料的晶圓。步驟4 (晶圓加工），稱之 爲預處理，其中，經由使用所預備的罩及晶圓，以平板印 之刷技術，使電路實際的形成在晶圓上。步驟5 (組合） ，稱爲後處理，經由使用於步驟4中的晶圓處理，且包含 了組合步驟（切割成形及粘著）與包裝步驟（晶片密封） ，而形成了一半導體晶片。於步驟6 (檢查），對步驟5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 中所生產的半導體裝置，實施例如爲操作檢查測試及耐用 測試。經由這些步驟，該半導體裝置已經完成。當該半導 體裝置被運送後（步驟7)，在不同工廠實施該預處理及 後處理，且以前述之遠方維護系統供每一工廠實施維護。 圖9顯示詳細的晶圓處理流程表。於步驟1 1 (氧化 )，該晶圓的表面被氧化。於步驟1 2 ( C V D )，一絕 緣膜形成在晶圓表面上。於步驟1 3 (電極形成），經由 澱積而在晶圓上形成電極。於步驟14(離子內植），離 -16 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200301920 A7 _ B7____ 五、發明説明（14 ) 子被植於該晶圓內。於步驟1 5 (抗蝕處理）’該晶圓上 以感光劑塗層。於步驟1 6 (曝光），經由曝光裝置將該 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 罩的電路模型印刷上且曝光。於步驟1 7 (顯影），該曝 光之晶圓被顯影。於步驟1 8 (蝕刻），蝕刻除了移除之 展開抗蝕影像之外的無曝光部份。於步驟1 9 (抗蝕移除 )，於蝕刻時之不需要的抗蝕被移除。這些步驟重覆的執 行以在晶圓上形成多數的電路模型。使用於個別步驟中的 生產裝備，經由前述之遠方維護系統所監視。可事先的預 防故障的發生。即使故障發生了，可實施立即的復原，因 而與傳統情況比較，可以改良半導體裝置的生產力。 如前所述，依據本發明，使用世界性的網際網路做爲 供工業裝備用的遠方維護溝通系統，可以不論該裝備所安 裝的位置，均可建構一有效的且較少資本投資之維護系統 〇 工業裝備所安裝的使用者工廠，經由溝通裝置而連接 至賣主的管理系統，可以立即的克服故障。此外，當分享 該維護訊息時，可預期的可以改良維護的能力。 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 本發明不侷限於前述實施例，且於本發明之精神及範 疇內，可以有多種的變化及改良。因此，以下述之申請專 利範圍所述之本專利之範疇來告知大眾。 圖形之簡要說明 圖1係依據本發明之第一實施例的供一工業裝備使用 之遠方維護系統的示意圖； 圖2係作用爲安裝在使用者（工廠）側之一監視裝置 i紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " ~ 17 - 200301920 A7 B7五、發明説明（15 )的主電腦之操作的流程表；圖3係作用爲安裝在賣主側之一監視裝置的主電腦之 ; 輸 表一 程之 流 面 之介 成者 占兀用 應 使 所的 人庫 責料 負資 的障 門故 部一 護爲 維用 於作 ; 示示 表顯顯 程係係 流 4 5 的圖圖 作 操 用 使 備 裝 ; 業 圖工 之一 置供 裝的 的例 統施 系實 全二 保第 通之 溝明 種發 ;_ 本 圖示據 的顯依 例係係 範 6 7 窗圖圖 視 入 圖導 意半 示種 的一 統示 系顯 護係係 維 8 9 方圖圖 遠 之 示 顯 及 表 程 流 之 程 流。 產表 生程 置流 裝的 體理 處 圓 晶 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局g(工消费合作社印製 準 標 家 國 國 一中 一用 I適 張 紙 本 |釐 公

Claims (1)

  1. 200301920 ABICD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍1 1 . 一種用以維護安裝在一遠方位置的工業設備之遠 方維護系統，該系統包含： 監視機構，用以監視該工業設備的一操作狀態； 管理機構，用以於經由網際網路與該監視機構相通訊 時，管理該工業設備的維護， 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該監視機構的 工業設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊，而傳送 用以維護該工業設備的反應資訊給該監視機構。 2 . —種用於維護安裝在遠方位置的工業設備之遠方 維護系統，該系統包含： 監視機構，用以監視該工業設備的一操作狀態；及 管理機構，用以與該監視機構相通訊時，管理該工業 設備的維護， 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該監視機構的 工業設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊，而傳送 用以維護該工業設備的反應資訊給該監視機構。 3 . —種用於維護安裝在遠方位置的半導體製造設備 之遠方維護系統，該系統包含： 監視機構，用以監視該半導體製造設備的一操作狀態 •，及 . 管理機構，用以經由該網際網路與該監視機構相通訊 時，管理該半導體製造設備的維護， ^ 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該藍視機構的 半導體製造設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ： (請先閱讀背面之注意事 •I •項再填. 裝—— •寫本頁) 訂 k 200301920 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍2 而傳送用以維護該半導體製造設備的反應資訊給該監視機 構。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 . 一種用於維護安裝在遠方位置的半導體製造設備 之遠方維護系統，該系統包含： 監視機構，用以監視該半導體製造設備的一操作狀態 ;及 管理機構，用以與該監視機構相通訊時，管理該半導 體製造設備的維護， 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該監視機構的 •半導體製造設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊， 而傳送用以維護該半導體製造設備的反應資訊給該監視機 構。 、 5 . —種用以維護安裝在一遠方位置的工業設備之遠 方維護方法，該方法包含： 藉由使用監視機構，以監視該工業設備的一操作狀態 ， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經由網際網路，送出來自監視機構的工業設備的狀態 資訊至管理機構；及 反應於所接收的狀態資訊，而由管理機構經由網際網 ' 路傳送用以維護該工業設備的反應資訊給該監.視機構，藉 以管理該工業設備的維護。 6 . —種用於維護安裝在遠方位置的工業設備之遠方 維護方法，該方法包含： ‘ 藉由使用監視機構，以監視該工業設備的一操作狀態 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 20- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 200301920 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 ;及 藉由使用管理機構，用以在與該監視機構相通訊時， 管理該工業設備的維護， 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該監視機構的 工業設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊，而傳送 用以維護該工業設備的反應資訊給該監視機構。 了 . 一種用於維護安裝在遠方位置的半導體製造設備 之遠方維護方法，該方法包含= 藉由使用監視機構，以監視該半導體製造設備的一操 作狀態；及 藉由使用管理機構，用以經由該網際網路與該監視機 構相通訊時，管理該<半導體製造設備的維護， 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該監視機構的 半導體製造設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊， 而傳送用以維護該半導體製造設備的反應資訊給該監視機 構。 8 . —種用於維護安裝在遠方位置的半導體製造設備 之遠方維護方法，該方法包含’· 藉由使用監視機構，以監視該半導體製造設備的一操 作狀態；及 . 藉由使用管理機構，以與該監視機構相通訊時，管理 該半導體製造設備的維護， 其中，於通訊中，該管理機構接收來自該監視機構的 半導體製造設備的狀態資訊並反應於所接收的狀態資訊， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
    -21 - 200301920 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍4而傳送用以維護該半導體製造設備的反應資訊給該監視機 構0 ---------裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） -22-
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