JP2007200836A - 有機電界発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents

有機電界発光表示装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007200836A
JP2007200836A JP2006151960A JP2006151960A JP2007200836A JP 2007200836 A JP2007200836 A JP 2007200836A JP 2006151960 A JP2006151960 A JP 2006151960A JP 2006151960 A JP2006151960 A JP 2006151960A JP 2007200836 A JP2007200836 A JP 2007200836A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
frit layer
light emitting
organic light
emitting display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006151960A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4554554B2 (ja
Inventor
Jin Woo Park
鎭宇 朴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung SDI Co Ltd
Original Assignee
Samsung SDI Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung SDI Co Ltd filed Critical Samsung SDI Co Ltd
Publication of JP2007200836A publication Critical patent/JP2007200836A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4554554B2 publication Critical patent/JP4554554B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • H05B33/04Sealing arrangements, e.g. against humidity
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C8/00Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
    • C03C8/02Frit compositions, i.e. in a powdered or comminuted form
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/841Self-supporting sealing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/842Containers
    • H10K50/8426Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • H10K59/8722Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/40Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
    • H10K71/421Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour using coherent electromagnetic radiation, e.g. laser annealing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

【課題】厚さ調節が容易である密封材を備え、基板に反射した光の経路差によって発生するニュートンリング現象を改善できる有機電界発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と第2基板との間の間隔を調節してニュートンリングを防止するための有機電界発光表示装置及びその製造方法に関する。本発明による有機電界発光表示装置は、第1電極、有機層及び第2電極で構成される少なくとも一つの有機発光ダイオードが形成された画素領域と、前記画素領域の外縁に形成される非画素領域とを有する第1基板、前記第1基板の前記画素領域を含む一領域に合着する第2基板、及び前記第1基板の非画素領域と前記第2基板との間に備えられる第1密封材を備え、前記第1密封材は少なくとも一つの透明な材質の第1フリット層と不透明な材質の第2フリット層を含む。
【選択図】図4e

Description

本発明は、有機電界発光表示装置及びその製造方法に関し、より詳細には、基板と第2基板との間の間隔を調節して、ニュートンリング(newton’s ring)現象を防止するための有機電界発光表示装置及びその製造方法に関する。
最近では、有機発光素子(Organic Light Emitting Diode)を利用した有機電界発光表示装置(Organic Light Emitting Display Device)が注目されている。
有機電界発光表示装置は、蛍光性を有する有機化合物を電気的に励起させて発光する自発光型ディスプレーで、低い電圧で駆動が可能で、かつ薄型化が容易であり、広視野角、速い応答速度などの長所を有する。
有機電界発光表示装置は、基板上に有機発光素子と有機発光素子を駆動するためのTFT(Thin Film Transistor)を含む複数の画素を備える。このような有機発光素子は水分に敏感で、吸湿剤が塗布された金属キャップや密封ガラス基板で蒸着基板にカバーをし、水分の侵入を防止する密封構造が提案された。
また、吸湿剤を備えず、ガラス基板にフリット(frit)を塗布して有機発光素子を密封する構造が米国特許第20040207314号に開示されている。米国特許出願公開第2004−0207314号明細書によれば、フリットを用いて基板と第2基板との間を完全に密封するため吸湿剤が不要であり、より効果的に有機発光素子を保護することができる。
しかし、一般に、フリットを塗布した第2基板を利用して有機発光ダイオードを密封する構造では吸湿制が不要で、吸湿制が位置する空間を確保する必要がない。このため、基板と第2基板との間の間隔が従来の吸湿剤を使用する構造より狭く形成され、その結果、ニュートンリング現象が発生する問題点があった。
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、厚さ調節が容易である密封材を備え、基板に反射した光の経路差によって発生するニュートンリング現象を改善できる有機電界発光表示装置及びその製造方法を提供することである。
前述した目的を達成するための本発明の一側面は、第1電極、有機層及び第2電極で構成される少なくとも一つの有機発光ダイオードが形成された画素領域と前記画素領域の外縁に形成される非画素領域とを有する第1基板、前記第1基板の前記画素領域を含む一領域に合着(attach)する第2基板、及び前記第1基板の非画素領域と前記第2基板との間に備えられる第1密封材を備え、前記第1密封材は、少なくとも一つの透明な材質の第1フリット層と不透明な材質の第2フリット層を含む有機電界発光表示装置を提供する。
本発明の他の側面は、少なくとも一つの有機発光ダイオードが形成された画素領域と前記画素領域の外縁に形成される非画素領域とを有する基板と、前記基板の前記画素領域を含む一領域に合着する第2基板を備えて構成される有機電界発光表示装置の製造方法において、第2基板上に透明な材質の第1フリット層を形成する段階、前記第1フリット層を第1温度で焼成する段階、前記第1フリット層の一領域に不透明な材質の第2フリット層を形成する段階、前記第2フリット層を第2温度に焼成する段階、前記第2基板上に前記画素領域が少なくとも密封されるように、第1基板を合着させる段階及び前記第2基板と前記第1基板との間に備えられる前記第1フリット層と前記第2フリット層を溶融させて、前記第1基板と前記第2基板を接着させる段階を含む有機電界発光表示装置製造方法を提供する。
本発明による有機電界発光表示装置及びその製造方法によれば、基板と第2基板との間の間隔を調節してニュートンリングを防止することができる。また、フリットで構成された第1密封材以外に補助シーリング(sealing)剤としてエポキシ系の第2密封材を備えることで、耐衝撃性を補うことができ、有機発光ダイオードをより効果的に密封することができる。
添付した図面を参照して本発明の実施例について詳細に説明する。
図1は、本発明による有機電界発光表示装置を示す平面概念図である。
図1に示すように、本発明による有機電界発光表示装置は、第1基板100、第2基板200、第1密封材150、データ駆動部300、走査駆動部400、パッド部500を備える。
第1基板100は、第1電極(図示せず)、有機層(図示せず)及び第2電極(図示せず)で構成される少なくとも一つの有機発光ダイオード(図示せず)が形成された画素領域100aと、画素領域100aの外縁に形成される非画素領域100bとを有する。画素領域100aは、行方向に配列された複数の走査線S1、S2、...Sn、及び列方向に配列された複数のデータ線D1、D2、...Dmを含み、走査線S1、S2、...Snとデータ線D1、D2、...Dmによって画定される領域に複数の画素50が形成されている。即ち、画素領域100aは、有機発光ダイオードから放出される光によって所定の画像が表示される領域であり、非画素領域100bは、第1基板100上の画素領域100a以外の全領域である。
第2基板200は、第1基板100の画素領域100aを含む一領域に合着する。この時、第2基板200は、第1基板100の画素領域100a上に形成された有機発光ダイオードが外部からの水分または酸素の影響を受けないように保護するために備える。よって、第1基板100に形成された有機発光ダイオードが第2基板200によって密封されるようにする。この時、第2基板200としては特に制限はないが、酸化シリコン(SiO)、窒化シリコン(SiNx)、酸窒化シリコン(SiOxNy)で構成される群から選択された少なくとも一つの材料で形成できる。
第1密封材150は、第1基板100の非画素領域100bと第2基板200との間に備えられる。即ち、第1密封材150によって第1基板100と第2基板200との間が密封され、第1基板100と第2基板200との間に介在された有機発光ダイオードが水分または酸素から保護される。ここで、第1密封材150は、少なくとも一つの透明な材質の第1フリット層(図示せず)と不透明な材質の第2フリット層(図示せず)を含む。第1フリット層と第2フリット層を後述する図5a乃至図5eを参照してより詳細に説明する。
データ駆動部300は、チップ状に作製され第1基板100上に実装されることができ、パッド部500の第2パッドPdに電気的に接続される。このようなデータ駆動部300は、複数のデータ線D1、D2、...Dmにデータ信号を伝達する。
走査駆動部400は、画素領域100aの一側に接するように形成され、走査供給線410を通じてパッド部500の第1パッドPsに電気的に接続される。このような走査駆動部400は、走査供給線410を通じて第1パッドPsから信号の伝達を受け、複数の走査線S1、S2、...Snに走査信号を順次に供給する。
パッド部500は、データ供給線310を通じてデータ駆動部300に駆動電源を供給し、走査供給線410を通じて走査駆動部400に駆動電源を供給する。
なお、図では、第1密封材150が画素領域100aの外郭に沿って塗布され、画素領域100aのみ密封する例を示したが、これに限定されるものではなく、走査駆動部400が内蔵型で備えられる場合、画素領域100aと走査駆動部400が密封されるようにできる。この場合には、第2基板200の大きさも少なくとも画素領域100aと走査駆動部400を含むように作製されることが要求される。
図2は、本発明による有機電界発光表示装置に採用された第2基板の一例を示す平面図である。
図2に示すように、本発明による第2基板200は、その縁に沿って第1密封材150を備える。第1密封材150は、少なくとも一つの透明な第1フリット層(図示せず)と少なくとも一つの不透明な第2フリット層(図示せず)とで構成される。この時、第1密封材150は、第1基板(図示せず)上に形成された有機発光ダイオードを外部の水分または酸素から保護するために備えられ、基板と第2基板との間を密封する。
図3は、本発明による有機電界発光表示装置を示す断面図である。
図3に示すように、本発明による有機電界発光表示装置は、第1基板100、第1密封材150及び第2基板200を備える。
第1基板100は、蒸着基板101及び蒸着基板101上に形成される少なくとも一つの有機発光ダイオード110を含む。まず、蒸着基板101上にバッファ層111が形成される。蒸着基板101はガラスなどで形成され、バッファ層111は、酸化シリコンまたは窒化シリコンなどのような絶縁物質で形成される。一方、バッファ層111は、外部からの熱などの要因によって蒸着基板101が損傷を受けることを防止するために形成される。
バッファ層111の少なくともいずれか一領域上には、アクティブ層112aとソース及びドレイン領域112bを有する半導体層112が形成される。
半導体層112を含めてバッファ層111上にはゲート絶縁層113が形成され、ゲート絶縁層113の一領域上にはアクティブ層112aの幅に対応する大きさのゲート電極114が形成される。
ゲート電極114を含めてゲート絶縁層113上には層間絶縁層115が形成され、層間絶縁層115の所定の領域上にはソース及びドレイン電極116a、116bが形成される。
ソース及びドレイン電極116a、116bは、ソース及びドレイン領域112bの露出した一領域とそれぞれ接続されるように形成され、ソース及びドレイン電極116a、116bを含めて層間絶縁層115上には平坦化層117が形成される。
平坦化層117の一領域上には第1電極119が形成され、この時、第1電極119はビアホール118によってソース及びドレイン電極116a、116bのうちのいずれか一つの露出した一領域に接続される。
第1電極119を含めて平坦化層117上には、第1電極119の少なくとも一領域を露出させる開口部(図示せず)が備えられる画素画定膜120が形成される。
画素画定膜120の開口部上には有機層121が形成され、有機層121を含めて画素画定膜120上には第2電極層122が形成される。
第2基板200は、第1基板100上に形成された前記所定の構造物を外部の水分または酸素から保護するために、所定の構造物をその間に置き、第1密封材150によって第1基板100と合着する。この時、第2基板200は、酸化シリコンで作製するのが良い。
第1密封材150は、透明な材質の第1フリット層150aと不透明な材質の第2フリット層150bとで構成される。第1密封材150は、第1基板100の非画素領域100bと第2基板200との間に備えられ、第1基板100と第2基板200を接着させる。即ち、第1密封材150によって第1基板100と第2基板200との間が密封されるので、第1基板100と第2基板200との間に介在された有機発光ダイオードが水分または酸素から保護される。また、第1密封材150は、レーザーまたは赤外線の照射によって硬化し、第1密封材150に照射されるレーザーの強さは25乃至60Wの範囲とする。
一方、ガラス材料に加わる熱の温度を急激に低下させると、ガラス粉末状のフリットが生成される。一般には、ガラス粉末に酸化物粉末を含ませて使用する。なお、フリットに有機物を添加するとゲル状のペーストになる。この時、所定の温度に焼成すると有機物は空気中に消え、ゲル状のペーストは硬化して固体状態のフリットとして存在する。
第1フリット層150aは、第1基板100と第2基板200との間の間隔を広くして、ニュートンリングを防止するために形成される。ニュートンリングとは、外部または内部から発生した光が光学的干渉現象によって基板の接触点から同心円状の模様を作り、このような同心円状の模様が画像にそのまま出現する現象を言う。このようなニュートンリングは、第1基板100と第2基板200との間の間隔が狭いときに発生する。よって、ニュートンリングを防止するために、第1基板100と第2基板200との間隔を所定の広さ以上に広くする必要がある。例えば、第1基板100と第2基板200との間に位置する第1密封材150の厚さを厚く形成して、第1基板100と第2基板200との間の間隔を広くする方法がある。
この時、第1フリット層150aが形成するライン幅は0.5mm乃至1.5mmであることが好ましい。幅が0.5mm以下である場合、シーリング(sealing)工程時不良が発生したり、接着力に問題が生じる可能性がある。また、幅が1.5mm以上である場合には、素子のデッドスペース(dead space)が大きくなって、製品の品位が低下する可能性がある。
第2フリット層150bは、熱膨張係数を調節するためのフィーラ(図示せず)及びレーザーまたは赤外線を吸収する吸収材(図示せず)を含む。これにより、第2フリット層150bはレーザーまたは赤外線吸収層の役割をする。即ち、第1密封材150にレーザーまたは赤外線を照射して溶融させることによって、第1基板100と第2基板200との間を密封し、実質的にレーザーが吸収される部分が第2フリット層150bである。
この時、第1フリット層150aは、第1基板100と第2基板200との間の間隔を広くするための構成要素であり、第1フリット層150aを通じてレーザーまたは赤外線が透過し、第2フリット層150bにレーザーまたは赤外線が照射される。一方、第1基板100と第2基板200との間の間隔を広くするために、第2フリット層150bのみを備え第2フリット層150bの厚さを厚く形成すると、第2フリット層150bが全部溶融されるまでレーザーを照射しなければならず、効果的ではない。よって、間隔を広くするための第1フリット層150aを備え、第1フリット層150aがレーザーまたは赤外線を吸収する第2フリット層150bより所定の高さだけ高く形成されるようにする。好ましくは、第1フリット層150aは5μm乃至500μmの厚さに形成し、第2フリット層150bは3μm乃至10μmの厚さに形成するが、これに限定されない。しかし、第2フリット層150bがより厚く形成される場合、レーザーシーリング時よりも多くのエネルギーが必要であるため、第2フリット層150bの厚さを第1フリット層150aより薄く形成することが望ましい。
図4a乃至図4eは、本発明の一実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。
図4a乃至図4eに示すように、本発明による有機電界発光表示装置の製造方法は、まず、第2基板200の一領域上に透明な材質の第1フリット層150aを形成する。このような第1フリット層150aは、SiO、B及びPなどで構成される群から選択された少なくとも一つの材料で形成することが望ましい。一方、第1フリット層150aは、第1基板100と第2基板200との間の間隔を広くし、ニュートンリングを防止するために形成される(図4a)。
次に、第1フリット層150aを所定の温度で焼成する。第1フリット層150aを焼成する好適な温度は300℃乃至700℃である。第1フリット層150aの焼成温度が300℃より低い場合、第2基板200の熱処理温度よりも低い温度で熱処理を行なう必要があるため工程が難しくなる。また、第1フリット層150aの焼成温度が700℃より高い場合、フリットの焼成温度に対応してレーザーの強さも強くなる必要があるため、工程効率が低下してしまう。第1フリット層150aの焼成工程により、第2基板200と第1フリット層150aの界面が接着する(図4b)。
後続工程として第1フリット層150aの一領域に不透明な材質の第2フリット層150bを形成する。この時、第2フリット層150bはレーザーまたは赤外線を吸収する吸収材(図示せず)を含む。ここで、吸収材はSiO、V及びZnOなどで構成される群から選択された少なくとも一つの材料が添加されたものを使用することが望ましい。その後、第2フリット層150bを焼成して、第1フリット層150aと第2フリット層150bの界面が接着するようにする(図4c)。この時、第2フリット層150bを焼成する好適な温度は300℃乃至550℃である。即ち、第2フリット層150bを焼成する工程は、第1フリット層150aを焼成する工程よりも低い温度で行なうのが良い。次いで、第2基板200上に第1基板100を合着させる。この時、第1基板100には第1電極(図示せず)、有機層(図示せず)、第2電極(図示せず)を含む少なくとも一つの有機発光ダイオード(図示せず)が形成されており、有機発光ダイオード(図示せず)が第2基板200に向けるように配列した後、第1基板100と第2基板200を合着させる(図4d)。
次に、第2基板200と第1基板100との間に備えられる第1フリット層150aと第2フリット層150bにレーザーを照射して、第1フリット層150aと第2フリット層150bを硬化させる。これにより、少なくとも有機発光ダイオードを含めて第1基板100と第2基板200との間に位置する素子を密封することによって、水分または酸素から保護することができる(図4e)。
一方、本発明では、第1密封材150が第2基板200に形成される例を説明したが、これに限定されるものではなく、第1密封材150が第1基板100に形成されることもできる。また、本発明ではレーザーが透明な材質の第1フリット層150aを通過して第2フリット層150bに照射されるように、第1フリット層150a上に第2フリット層150bを形成した例を説明したが、第1フリット層150aと第2フリット層150bの位置は入れ替わっても構わない。また、本発明では第1フリット層150aと第2フリット層150bがそれぞれ一層で構成された例を説明したが、第1フリット層150aと第2フリット層150bはそれぞれ、複数個で構成できる。
図5a乃至図5gは、本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。
図5a乃至図5gに示すように、本発明による有機電界発光表示装置の製造方法は、まず、第2基板520の一領域上に透明な材質の第1フリット層515aを形成する。この時、第1フリット層515aはSiO、B及びPなどで構成された群から選択された少なくとも一つの材料で形成され、第1基板510と第2基板520との間の間隔を広くして、ニュートンリングが発生することを防止するために形成される(図5a)。
次に、第1フリット層515aを所定の温度で焼成する。この時、第1フリット層515aを焼成する好適な温度は300℃乃至700℃である。第1フリット層515aの焼成工程によって第2基板520と第1フリット層515aの界面が接着する(図5b)。
後続工程として第1フリット層515aの一領域に不透明な材質の第2フリット層515bを形成する。この時、第2フリット層515bは、好ましくは、SiO、PbO、V、ZnOなどで構成される群から選択された少なくとも一つの材料が添加される。その後、第2フリット層515bを焼成して第1フリット層515aと第2フリット層515bの界面が接着するようにする(図5c)。
次に、第1フリット層515a上にエポキシ、アクリレート、ウレタンアクリレート、シアノアクリレートで構成される群から選択された少なくとも一つの樹脂系である第2密封材516を形成する。この時、第2密封材516は、図示するように、第1フリット層515a上に第2フリット層515bに沿って第2フリット層515bの両側に並んで形成されることもでき、第1フリット層515a上の第2フリット層515bを基準に内側に第2フリット層515bに沿って並んで形成されることができ、第1フリット層515a上に第2フリット層515bを基準に外側に第2フリット層515bに沿って並んで形成されることもできる。このように、第2フリット層515bの少なくとも左、右の一側面に第2密封材516を備えることで、耐衝撃性及び接着力が向上する(図5d)。
次に、第2基板520上に第1基板510を合着させる。この時、第1基板510には第1電極(図示せず)、有機層(図示せず)、第2電極(図示せず)を含む少なくとも一つの有機発光ダイオード(図示せず)が形成され、有機発光ダイオードが基板510と第2基板520との間に位置するように配列した後、基板510と第2基板520を合着させる(図5e)。
後続工程として第2密封材516に紫外線を照射して第2密封材516を硬化させる(図5f)。
その後、第2基板520と第1基板510との間に備えられる第1フリット層515aと第2フリット層515bにレーザーを照射して、第1フリット層515aと第2フリット層515bを硬化させる。これにより、少なくとも有機発光ダイオードを含めて第1基板510と第2基板520との間に位置する素子を密封し、水分と酸素から保護することができる(図5g)。
以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の多様な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属するものである。
本発明による有機電界発光表示装置を示す平面概念図である。 本発明による有機電界発光表示装置に採用された第2基板の一例を示す平面図である。 本発明による有機電界発光表示装置を示す断面図である。 本発明の一実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の一実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の一実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の一実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の一実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の他の実施例による有機電界発光表示装置の製造方法を示す断面図である。
符号の説明
150…第1密封材
100…基板
150a…第1フリット層
200…第2基板
150b…第2フリット層

Claims (20)

  1. 第1電極、有機層及び第2電極で構成される少なくとも一つの有機発光ダイオードが形成された画素領域と前記画素領域の外縁に形成される非画素領域とを有する第1基板と、
    前記第1基板の前記画素領域を含む一領域に合着する第2基板と、
    前記第1基板の非画素領域と前記第2基板との間に備えられる第1密封材とを備え、
    前記第1密封材は少なくとも一つの透明な材質の第1フリット層と不透明な材質の第2フリット層とを含む有機電界発光表示装置。
  2. 前記第1フリット層はSiO、B及びPで構成される群から選択された一つの材料で形成された請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  3. 前記第1フリット層の幅を0.5mm乃至1.5mmに形成する請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  4. 前記第2フリット層はSiO、V及びZnOで構成される群から選択された一つの材料で形成された請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  5. 前記第2フリット層はレーザーまたは赤外線を吸収する吸収材をさらに含む請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  6. 前記第1フリット層の厚さは前記第2フリット層の厚さより厚く形成された請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  7. 前記第1フリット層の厚さは5μm乃至500μmである請求項6に記載の有機電界発光表示装置。
  8. 前記第2フリット層の厚さが3μm乃至100μmに形成された請求項6に記載の有機電界発光表示装置。
  9. 前記第1フリット層の一領域上に前記第2フリット層が形成される請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  10. 前記第2フリット層の幅は前記第1フリット層の幅より狭く形成される請求項9に記載の有機電界発光表示装置。
  11. 前記第1フリット層上に第2密封材をさらに備える請求項10に記載の有機電界発光表示装置。
  12. 前記第2密封材は、エポキシ、アクリレート、ウレタンアクリレート、シアノアクリレートで構成される群から選択された少なくとも一つの樹脂系である請求項11に記載の有機電界発光表示装置。
  13. 前記第2密封材は、前記第1フリット層上に前記第2フリット層に沿って前記第2フリット層の両側に並んで形成される請求項12に記載の有機電界発光表示装置。
  14. 前記第2密封材は、前記第1フリット層上に前記第2フリット層を基準に内側に前記第2フリット層に沿って並んで形成される請求項11に記載の有機電界発光表示装置。
  15. 前記第2密封材は、前記第1フリット層上に前記第2フリット層を基準に外側に前記第2フリット層に沿って並んで形成される請求項11に記載の有機電界発光表示装置。
  16. 少なくとも一つの有機発光ダイオードが形成された画素領域と前記画素領域の外縁に形成される非画素領域を有する基板と、前記基板の前記画素領域を含む一領域に合着する第2基板とを備えて構成される有機電界発光表示装置の製造方法において、
    第2基板上に透明な材質の第1フリット層を形成する段階と、
    前記第1フリット層を第1温度で焼成する段階と、
    前記第1フリット層の一領域に不透明な材質の第2フリット層を形成する段階と、
    前記第2フリット層を第2温度で焼成する段階と、
    前記第2基板上に前記画素領域が少なくとも密封されるように第1基板を合着させる段階と、
    前記第2基板と前記第1基板との間に備えられる前記第1フリット層と前記第2フリット層を溶融させて、前記第1基板と前記第2基板を接着させる段階とを含む有機電界発光表示装置の製造方法。
  17. 前記第1温度は300℃乃至700℃である請求項16に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
  18. 前記第2温度は300℃乃至550℃である請求項16に記載の有機電界発光表示装置。
  19. 前記第1フリット層上にエポキシ、アクリレート、ウレタンアクリレート、シアノアクリレートで構成される群から選択された少なくとも一つの樹脂系である第2密封材をさらに形成する請求項16に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
  20. 紫外線を利用して前記第2密封材を硬化した後、レーザーまたは赤外線を利用して前記第1フリット層と前記第2フリット層で構成された第1密封材を溶融させる請求項19に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
JP2006151960A 2006-01-27 2006-05-31 有機電界発光表示装置及びその製造方法 Expired - Fee Related JP4554554B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060008761A KR100688790B1 (ko) 2006-01-27 2006-01-27 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007200836A true JP2007200836A (ja) 2007-08-09
JP4554554B2 JP4554554B2 (ja) 2010-09-29

Family

ID=38007082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006151960A Expired - Fee Related JP4554554B2 (ja) 2006-01-27 2006-05-31 有機電界発光表示装置及びその製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8125146B2 (ja)
EP (1) EP1814186A3 (ja)
JP (1) JP4554554B2 (ja)
KR (1) KR100688790B1 (ja)
CN (1) CN100524806C (ja)
TW (1) TWI359624B (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010055888A1 (ja) 2008-11-14 2010-05-20 旭硝子株式会社 封着材料層付きガラス部材の製造方法と電子デバイスの製造方法
JP2011119176A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Toppan Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法
JP2011222448A (ja) * 2010-04-14 2011-11-04 Panasonic Electric Works Co Ltd 発光装置の製造方法
JP2012513079A (ja) * 2008-12-18 2012-06-07 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 有機オプトエレクトロニクス素子を作製する方法および有機オプトエレクトロニクス素子
JP2015158672A (ja) * 2014-02-24 2015-09-03 上海和輝光電有限公司Everdisplay Optronics (Shanghai) Limited アクティブマトリクス有機発光ダイオードパネル及びその実装方法
JP2017513230A (ja) * 2014-04-04 2017-05-25 コーニング精密素材株式会社Corning Precision Materials Co., Ltd. 発光ダイオードの色変換用基板及びその製造方法
JP2019035945A (ja) * 2017-08-14 2019-03-07 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. マルチスタック接合体とその製造方法及びこれを含む表示装置
CN111971801A (zh) * 2018-04-13 2020-11-20 三星显示有限公司 显示装置及制造其的方法

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100673765B1 (ko) * 2006-01-20 2007-01-24 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US8038495B2 (en) 2006-01-20 2011-10-18 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and manufacturing method of the same
KR100635514B1 (ko) 2006-01-23 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
JP4624309B2 (ja) * 2006-01-24 2011-02-02 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4456092B2 (ja) * 2006-01-24 2010-04-28 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100671641B1 (ko) 2006-01-25 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100688796B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제작 방법
KR100688795B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100685853B1 (ko) * 2006-01-25 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
US8164257B2 (en) * 2006-01-25 2012-04-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display and method of fabricating the same
JP4633674B2 (ja) 2006-01-26 2011-02-16 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100732808B1 (ko) * 2006-01-26 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 제조방법
KR100671647B1 (ko) * 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치
KR100671639B1 (ko) * 2006-01-27 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100732817B1 (ko) 2006-03-29 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
JP5080838B2 (ja) * 2007-03-29 2012-11-21 富士フイルム株式会社 電子デバイスおよびその製造方法
KR101056197B1 (ko) * 2008-10-29 2011-08-11 삼성모바일디스플레이주식회사 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법
US20090044496A1 (en) * 2007-08-16 2009-02-19 Botelho John W Method and apparatus for sealing a glass package
KR100840117B1 (ko) 2007-09-05 2008-06-19 삼성에스디아이 주식회사 발광표시장치 및 그의 제조방법
US7992411B2 (en) 2008-05-30 2011-08-09 Corning Incorporated Method for sintering a frit to a glass plate
US8147632B2 (en) 2008-05-30 2012-04-03 Corning Incorporated Controlled atmosphere when sintering a frit to a glass plate
JP5413373B2 (ja) * 2008-12-12 2014-02-12 旭硝子株式会社 レーザ封着用ガラス材料、封着材料層付きガラス部材、および電子デバイスとその製造方法
CN102471151B (zh) * 2009-06-30 2015-04-01 旭硝子株式会社 带密封材料层的玻璃构件以及使用该构件的电子器件及其制造方法
KR101155896B1 (ko) * 2009-11-20 2012-06-20 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US9156735B2 (en) * 2010-04-27 2015-10-13 Ferro Corporation Hermetic sealing of glass plates
US9171721B2 (en) 2010-10-26 2015-10-27 Medtronic, Inc. Laser assisted direct bonding
US8666505B2 (en) 2010-10-26 2014-03-04 Medtronic, Inc. Wafer-scale package including power source
US8796109B2 (en) 2010-12-23 2014-08-05 Medtronic, Inc. Techniques for bonding substrates using an intermediate layer
JP6008546B2 (ja) * 2011-04-13 2016-10-19 株式会社半導体エネルギー研究所 エレクトロルミネセンス装置の作製方法
TWI573277B (zh) 2011-05-05 2017-03-01 半導體能源研究所股份有限公司 半導體裝置及其製造方法
JP5947098B2 (ja) 2011-05-13 2016-07-06 株式会社半導体エネルギー研究所 ガラス封止体の作製方法および発光装置の作製方法
KR102038844B1 (ko) 2011-06-16 2019-10-31 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체의 제작 방법 및 밀봉체, 그리고 발광 장치의 제작 방법 및 발광 장치
JP6111022B2 (ja) * 2011-06-17 2017-04-05 株式会社半導体エネルギー研究所 封止体の作製方法および発光装置の作製方法
JP5816029B2 (ja) 2011-08-24 2015-11-17 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置
WO2013031509A1 (en) 2011-08-26 2013-03-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device, electronic device, lighting device, and method for manufacturing the light-emitting device
US9472776B2 (en) 2011-10-14 2016-10-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing sealed structure including welded glass frits
JP2013101923A (ja) 2011-10-21 2013-05-23 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 分散組成物の加熱方法、及びガラスパターンの形成方法
TWI569490B (zh) 2011-11-28 2017-02-01 半導體能源研究所股份有限公司 密封體,發光模組,及製造密封體之方法
KR102058387B1 (ko) 2011-11-28 2019-12-24 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 유리 패턴 및 그 형성 방법, 밀봉체 및 그 제작 방법, 및 발광 장치
TW201707202A (zh) 2011-11-29 2017-02-16 半導體能源研究所股份有限公司 密封結構,發光裝置,電子裝置,及照明裝置
KR102001815B1 (ko) 2011-11-29 2019-07-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체의 제작 방법 및 발광 장치의 제작 방법
TWI577006B (zh) 2011-11-29 2017-04-01 半導體能源研究所股份有限公司 密封體、發光裝置、電子裝置及照明設備
KR20140016170A (ko) 2012-07-30 2014-02-07 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체 및 유기 전계 발광 장치
CN103681482A (zh) * 2012-09-21 2014-03-26 上海天马微电子有限公司 Oled显示器件及其封装方法
US9362522B2 (en) 2012-10-26 2016-06-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for bonding substrates, method for manufacturing sealing structure, and method for manufacturing light-emitting device
KR20140061095A (ko) * 2012-11-13 2014-05-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
TWI479464B (zh) 2013-05-09 2015-04-01 Au Optronics Corp 顯示面板及其封裝方法
KR102114154B1 (ko) * 2013-07-02 2020-05-25 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102035252B1 (ko) 2013-09-03 2019-11-11 삼성디스플레이 주식회사 밀봉재를 포함하는 표시 장치 및 그 제조 방법
US9660004B2 (en) * 2014-03-21 2017-05-23 Apple Inc. Flexible displays with strengthened pad area
US9073488B1 (en) * 2014-05-30 2015-07-07 Nissan North America, Inc. Vehicle body structure
CN104269497B (zh) * 2014-09-03 2017-01-18 深圳市华星光电技术有限公司 一种有机发光二极管封装结构及显示装置
US10457595B2 (en) 2014-10-31 2019-10-29 Corning Incorporated Laser welded glass packages
KR20160076002A (ko) * 2014-12-19 2016-06-30 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
US10124559B2 (en) 2014-12-24 2018-11-13 Medtronic, Inc. Kinetically limited nano-scale diffusion bond structures and methods
US10136535B2 (en) 2014-12-24 2018-11-20 Medtronic, Inc. Hermetically-sealed packages including feedthrough assemblies
US9968794B2 (en) 2014-12-24 2018-05-15 Medtronic, Inc. Implantable medical device system including feedthrough assembly and method of forming same
US9865533B2 (en) 2014-12-24 2018-01-09 Medtronic, Inc. Feedthrough assemblies
CN104538561B (zh) 2015-01-13 2016-08-31 京东方科技集团股份有限公司 封装方法、显示面板及显示装置
CN106206960A (zh) * 2015-04-29 2016-12-07 上海和辉光电有限公司 一种封装结构及其制备方法
CN104810484B (zh) 2015-05-07 2017-01-04 合肥鑫晟光电科技有限公司 封装胶、封装方法、显示面板及显示装置
US10098589B2 (en) 2015-12-21 2018-10-16 Medtronic, Inc. Sealed package and method of forming same
CN107275515B (zh) * 2017-06-20 2019-12-03 深圳市华星光电技术有限公司 Oled器件封装方法、结构、oled器件及显示屏
KR102566157B1 (ko) * 2018-06-28 2023-08-11 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
WO2020071026A1 (ja) * 2018-10-02 2020-04-09 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 表示装置及び電子機器
KR102624165B1 (ko) 2018-10-12 2024-01-12 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법
KR102663522B1 (ko) * 2018-11-05 2024-05-16 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법
CN110649180B (zh) * 2019-09-30 2021-10-26 武汉天马微电子有限公司 一种显示面板的制作方法、显示面板和显示装置
KR20210121357A (ko) * 2020-03-27 2021-10-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치와 그의 제조 방법

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1074583A (ja) * 1996-08-30 1998-03-17 Sanyo Electric Co Ltd 有機elディスプレイ及び有機elディスプレイの 製造方法
JP2001319775A (ja) * 2000-05-10 2001-11-16 Auto Network Gijutsu Kenkyusho:Kk 有機el表示装置の封止方法および封止構造
WO2003005774A1 (en) * 2001-05-24 2003-01-16 Orion Electric Co., Ltd. Container for encapsulating oled and manufacturing method thereof
JP2003123966A (ja) * 2001-10-09 2003-04-25 Delta Optoelectronics Inc 表示素子の封入およびその形成方法
JP2003228302A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Toshiba Electronic Engineering Corp 表示装置及びその製造方法
WO2004095597A2 (en) * 2003-04-16 2004-11-04 Corning Incorporated Glass package that is hermetically sealed with a frit and method of fabrication
JP2004319103A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Dainippon Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2005071984A (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Samsung Sdi Co Ltd 多孔性物質層を備えた有機elディスプレイ
JP2005112676A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Nippon Sheet Glass Co Ltd El素子用封止板の製造方法及び該製造方法により製造されたel素子用封止板

Family Cites Families (136)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3966449A (en) * 1975-02-10 1976-06-29 International Business Machines Corporation Sealing glass composition and process
US4105292A (en) * 1975-09-02 1978-08-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical element to assure a minimum spacing
US4238704A (en) 1979-02-12 1980-12-09 Corning Glass Works Sealed beam lamp of borosilicate glass with a sealing glass of zinc silicoborate and a mill addition of cordierite
JPS5966157A (ja) * 1982-10-08 1984-04-14 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法
JPH0682765B2 (ja) * 1985-12-25 1994-10-19 株式会社日立製作所 液晶表示素子
JPH0337933A (ja) 1989-07-04 1991-02-19 Mitsubishi Electric Corp ガス放電型表示パネルの製造方法
JPH04138688A (ja) 1990-09-28 1992-05-13 Mitsubishi Kasei Polytec Co El素子封止方法
JPH0766237B2 (ja) * 1991-03-29 1995-07-19 岡谷電機産業株式会社 表示パネルの製造方法
JPH0774583A (ja) 1993-09-02 1995-03-17 Hitachi Ltd 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置
JP3135793B2 (ja) * 1994-09-02 2001-02-19 シャープ株式会社 液晶表示装置およびその製造方法
US6195142B1 (en) * 1995-12-28 2001-02-27 Matsushita Electrical Industrial Company, Ltd. Organic electroluminescence element, its manufacturing method, and display device using organic electroluminescence element
JP3814810B2 (ja) 1996-04-05 2006-08-30 日本電気硝子株式会社 ビスマス系ガラス組成物
US5811927A (en) * 1996-06-21 1998-09-22 Motorola, Inc. Method for affixing spacers within a flat panel display
JP3741506B2 (ja) 1997-01-20 2006-02-01 セントラル硝子株式会社
US5874804A (en) 1997-03-03 1999-02-23 Motorola, Inc. Organic electroluminescent device hermetic encapsulation package and method of fabrication
JPH10270592A (ja) * 1997-03-24 1998-10-09 Texas Instr Japan Ltd 半導体装置及びその製造方法
JP3169864B2 (ja) * 1997-09-18 2001-05-28 日本電気株式会社 液晶パネル製造装置
JP2845239B1 (ja) * 1997-12-17 1999-01-13 日本電気株式会社 有機薄膜elデバイスおよびその製造方法
JP3912711B2 (ja) * 1998-11-27 2007-05-09 ローム株式会社 有機el素子
JP3517624B2 (ja) * 1999-03-05 2004-04-12 キヤノン株式会社 画像形成装置
TWI240592B (en) * 1999-06-03 2005-09-21 Koninkl Philips Electronics Nv Organic electroluminescent device
JP3912938B2 (ja) 1999-08-17 2007-05-09 セントラル硝子株式会社 着色被膜形成法
JP3423261B2 (ja) * 1999-09-29 2003-07-07 三洋電機株式会社 表示装置
KR100720066B1 (ko) 1999-11-09 2007-05-18 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광장치 제작방법
JP3409764B2 (ja) * 1999-12-28 2003-05-26 日本電気株式会社 有機el表示パネルの製造方法
US6515417B1 (en) * 2000-01-27 2003-02-04 General Electric Company Organic light emitting device and method for mounting
US6555025B1 (en) * 2000-01-31 2003-04-29 Candescent Technologies Corporation Tuned sealing material for sealing of a flat panel display
US6624572B1 (en) * 2000-02-17 2003-09-23 Lg Electronics, Inc. Organic electroluminescence display panel and method for sealing the same
US7579203B2 (en) 2000-04-25 2009-08-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
JP2002020169A (ja) 2000-07-03 2002-01-23 Murata Mfg Co Ltd 高周波用誘電体磁器組成物、誘電体共振器、誘電体フィルタ、誘電体デュプレクサおよび通信機装置
JP4889883B2 (ja) 2000-07-10 2012-03-07 株式会社半導体エネルギー研究所 成膜方法および成膜装置
JP4583568B2 (ja) 2000-09-19 2010-11-17 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置の作製方法
US6956324B2 (en) 2000-08-04 2005-10-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method therefor
US6605826B2 (en) * 2000-08-18 2003-08-12 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device and display device
EP1320862B1 (en) * 2000-09-06 2006-03-29 Osram Opto Semiconductors GmbH Encapsulation for oled devices
JP2002169135A (ja) * 2000-09-07 2002-06-14 Seiko Epson Corp セルギャップ調整装置、加圧封止装置及び液晶表示装置の製造方法
US6924594B2 (en) * 2000-10-03 2005-08-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
JP2002117777A (ja) 2000-10-11 2002-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス放電パネルおよびガス放電パネルの製造方法
US7178927B2 (en) * 2000-11-14 2007-02-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electroluminescent device having drying agent
JP4223211B2 (ja) 2000-11-14 2009-02-12 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置の作製方法
JP2002170664A (ja) 2000-12-05 2002-06-14 Toray Ind Inc 有機電界発光素子
US6646284B2 (en) 2000-12-12 2003-11-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of manufacturing the same
MY131962A (en) * 2001-01-24 2007-09-28 Nichia Corp Light emitting diode, optical semiconductor device, epoxy resin composition suited for optical semiconductor device, and method for manufacturing the same
US6554672B2 (en) * 2001-03-12 2003-04-29 Micron Technology, Inc. Flat panel display, method of high vacuum sealing
JP2002280169A (ja) 2001-03-19 2002-09-27 Futaba Corp 有機el装置
TWI222838B (en) * 2001-04-10 2004-10-21 Chi Mei Optoelectronics Corp Packaging method of organic electroluminescence light-emitting display device
US6424009B1 (en) * 2001-05-04 2002-07-23 Advanced Micro Devices, Inc. Polysilicon insulator material in semiconductor-on-insulator (SOI) structure
JP2002359070A (ja) 2001-05-31 2002-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機発光素子およびそれを用いた表示パネル
US6660547B2 (en) * 2001-07-26 2003-12-09 Osram Opto Semiconductors Gmbh Stabilization for thin substrates
JP2003068472A (ja) 2001-08-29 2003-03-07 Hitachi Ltd 有機発光素子およびそれを用いた有機発光表示装置
US20030077396A1 (en) * 2001-10-23 2003-04-24 Lecompte Robert S. Dip coating system
TW515062B (en) * 2001-12-28 2002-12-21 Delta Optoelectronics Inc Package structure with multiple glue layers
KR100819864B1 (ko) * 2001-12-28 2008-04-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 유기전기발광소자
JP2003216059A (ja) * 2002-01-24 2003-07-30 Sharp Corp 表示素子およびその製造方法
JP4310984B2 (ja) 2002-02-06 2009-08-12 株式会社日立製作所 有機発光表示装置
JP4069639B2 (ja) 2002-02-12 2008-04-02 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の製造方法
US6791660B1 (en) * 2002-02-12 2004-09-14 Seiko Epson Corporation Method for manufacturing electrooptical device and apparatus for manufacturing the same, electrooptical device and electronic appliances
JP3875130B2 (ja) * 2002-03-26 2007-01-31 株式会社東芝 表示装置及びその製造方法
JP2003297552A (ja) 2002-03-29 2003-10-17 Pioneer Electronic Corp 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル
KR100563675B1 (ko) * 2002-04-09 2006-03-28 캐논 가부시끼가이샤 유기 발광소자 및 유기 발광소자 패키지
GB0208143D0 (en) * 2002-04-09 2002-05-22 Ibm Data recovery system
JP2003323978A (ja) 2002-04-26 2003-11-14 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
DE10219951A1 (de) * 2002-05-03 2003-11-13 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Verfahren zur Verkapselung eines Bauelements auf Basis organischer Halbleiter
KR100477745B1 (ko) * 2002-05-23 2005-03-18 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계발광 소자의 봉지방법 및 이를 이용하는 유기전계발광 패널
JP4021258B2 (ja) 2002-06-27 2007-12-12 株式会社アドバンスト・ディスプレイ 液晶表示素子の製法
WO2004008810A1 (ja) 2002-07-12 2004-01-22 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. エレクトロ・ルミネッセンス素子用封止板及びその製造方法、並びに該封止板多面取り用マザーガラス基板
JP4094919B2 (ja) 2002-07-18 2008-06-04 東北パイオニア株式会社 有機発光表示装置
JP4171258B2 (ja) 2002-07-25 2008-10-22 三洋電機株式会社 有機elパネル
JP4454262B2 (ja) 2002-07-25 2010-04-21 三洋電機株式会社 エレクトロルミネッセンス表示装置
US7193364B2 (en) * 2002-09-12 2007-03-20 Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd Encapsulation for organic devices
JP4261861B2 (ja) * 2002-09-30 2009-04-30 双葉電子工業株式会社 蛍光表示管用封着材及び蛍光表示管
JP4050972B2 (ja) * 2002-10-16 2008-02-20 株式会社 日立ディスプレイズ 表示装置
JP2004171968A (ja) * 2002-11-21 2004-06-17 Hitachi Ltd 平面型表示装置
JP4711595B2 (ja) 2002-12-10 2011-06-29 株式会社半導体エネルギー研究所 Elディスプレイ及び電子機器
KR100641793B1 (ko) * 2002-12-26 2006-11-02 샤프 가부시키가이샤 표시패널 및 그 제조방법
JP4299021B2 (ja) * 2003-02-19 2009-07-22 ヤマト電子株式会社 封着加工材及び封着加工用ペースト
JP2004303733A (ja) 2003-03-31 2004-10-28 Osram Opto Semiconductors Gmbh 構成素子、とりわけ有機発光ダイオードを備える表示装置
US7202602B2 (en) * 2003-04-08 2007-04-10 Organic Lighting Technologies Llc Metal seal packaging for organic light emitting diode device
US7098589B2 (en) * 2003-04-15 2006-08-29 Luminus Devices, Inc. Light emitting devices with high light collimation
US7344901B2 (en) * 2003-04-16 2008-03-18 Corning Incorporated Hermetically sealed package and method of fabricating of a hermetically sealed package
JP4518747B2 (ja) 2003-05-08 2010-08-04 三洋電機株式会社 有機el表示装置
JP2004342336A (ja) * 2003-05-13 2004-12-02 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法
US7247986B2 (en) * 2003-06-10 2007-07-24 Samsung Sdi. Co., Ltd. Organic electro luminescent display and method for fabricating the same
KR100544123B1 (ko) * 2003-07-29 2006-01-23 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치
JP2005123089A (ja) 2003-10-17 2005-05-12 Fuji Electric Holdings Co Ltd カラー有機elディスプレイおよびその製造方法
US7193218B2 (en) * 2003-10-29 2007-03-20 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detection device, method of producing the same, and radiation image pick-up system
KR100741962B1 (ko) 2003-11-26 2007-07-23 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치
US7186020B2 (en) * 2003-12-12 2007-03-06 University Of Washington Thermal interface material (TIM) with carbon nanotubes (CNT) and low thermal impedance
JP4485184B2 (ja) * 2003-12-15 2010-06-16 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置および電子機器
JP2005190683A (ja) 2003-12-24 2005-07-14 Canon Inc 有機el素子及びその製造方法
DE102004031109B4 (de) 2003-12-30 2016-03-31 Lg Display Co., Ltd. Organisches Lumineszenzdisplay vom Doppeltafeltyp sowie Verfahren zum Herstellen desselben
DE102004031670B4 (de) * 2003-12-30 2011-08-18 Lg Display Co., Ltd. Organo-Elektrolumineszenzvorrichtung und Herstellungsverfahren derselben
DE102004003167A1 (de) 2004-01-21 2005-08-18 Siemens Ag Verfahren zum Entwickeln einer Maschine
JP3992001B2 (ja) 2004-03-01 2007-10-17 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器
JP2005251407A (ja) 2004-03-01 2005-09-15 Sanyo Electric Co Ltd 表示パネルの製造方法および表示パネル
KR100615212B1 (ko) 2004-03-08 2006-08-25 삼성에스디아이 주식회사 평판 표시 장치
JP4455904B2 (ja) * 2004-03-10 2010-04-21 東北パイオニア株式会社 両面表示装置及びその製造方法
DE102004017078A1 (de) 2004-04-07 2005-11-03 Recaro Aircraft Seating Gmbh & Co. Kg Fahrzeugsitzsystem, insbesondere für Luftfahrzeuge
KR100581913B1 (ko) 2004-05-22 2006-05-23 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치
JP2005340020A (ja) 2004-05-27 2005-12-08 Hitachi Displays Ltd 有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法
TWI227094B (en) 2004-06-03 2005-01-21 Au Optronics Corp Organic light-emitting display device and fabricating thereof
TWI272867B (en) 2004-06-08 2007-02-01 Au Optronics Corp Organic light-emitting display and fabricating method thereof
US7078726B2 (en) 2004-09-09 2006-07-18 Osram Opto Semiconductors Gmbh Sealing of electronic device using absorbing layer for glue line
US7371143B2 (en) * 2004-10-20 2008-05-13 Corning Incorporated Optimization of parameters for sealing organic emitting light diode (OLED) displays
JP4329740B2 (ja) * 2004-10-22 2009-09-09 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び有機エレクトロルミネッセンス装置
JP2006156967A (ja) 2004-11-08 2006-06-15 Sanyo Electric Co Ltd 薄膜トランジスタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置
US7393257B2 (en) * 2004-11-12 2008-07-01 Eastman Kodak Company Sealing of organic thin-film light-emitting devices
US7579220B2 (en) * 2005-05-20 2009-08-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device manufacturing method
US20060278965A1 (en) 2005-06-10 2006-12-14 Foust Donald F Hermetically sealed package and methods of making the same
US20060290261A1 (en) 2005-06-17 2006-12-28 Yuichi Sawai Bonding material
KR100720457B1 (ko) * 2005-11-10 2007-05-22 동부일렉트로닉스 주식회사 이미지 센서 및 이의 제조 방법
US20070120478A1 (en) * 2005-11-28 2007-05-31 Au Optronics Corporation Double-sided display device and method of making same
US7425166B2 (en) 2005-12-06 2008-09-16 Corning Incorporated Method of sealing glass substrates
US7597603B2 (en) * 2005-12-06 2009-10-06 Corning Incorporated Method of encapsulating a display element
US7537504B2 (en) * 2005-12-06 2009-05-26 Corning Incorporated Method of encapsulating a display element with frit wall and laser beam
KR100673765B1 (ko) * 2006-01-20 2007-01-24 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US8038495B2 (en) * 2006-01-20 2011-10-18 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and manufacturing method of the same
US20070172971A1 (en) * 2006-01-20 2007-07-26 Eastman Kodak Company Desiccant sealing arrangement for OLED devices
KR100635514B1 (ko) * 2006-01-23 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
JP4456092B2 (ja) * 2006-01-24 2010-04-28 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4624309B2 (ja) * 2006-01-24 2011-02-02 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
US8164257B2 (en) * 2006-01-25 2012-04-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display and method of fabricating the same
KR100685853B1 (ko) * 2006-01-25 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
KR100671641B1 (ko) * 2006-01-25 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100688795B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100688796B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제작 방법
KR100732808B1 (ko) * 2006-01-26 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 제조방법
KR100671647B1 (ko) * 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치
JP4633674B2 (ja) * 2006-01-26 2011-02-16 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100671639B1 (ko) * 2006-01-27 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
US7564185B2 (en) * 2006-02-20 2009-07-21 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic electroluminescence display device and manufacturing method thereof
KR100713987B1 (ko) * 2006-02-20 2007-05-04 삼성에스디아이 주식회사 기판 밀착장치 및 이를 이용한 유기전계발광 표시장치의밀봉방법
KR100703446B1 (ko) * 2006-02-21 2007-04-03 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광표시장치의 제조방법
KR100703519B1 (ko) * 2006-02-21 2007-04-03 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광표시장치의 제조방법
KR100732817B1 (ko) 2006-03-29 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100729084B1 (ko) * 2006-09-21 2007-06-14 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광표시장치

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1074583A (ja) * 1996-08-30 1998-03-17 Sanyo Electric Co Ltd 有機elディスプレイ及び有機elディスプレイの 製造方法
JP2001319775A (ja) * 2000-05-10 2001-11-16 Auto Network Gijutsu Kenkyusho:Kk 有機el表示装置の封止方法および封止構造
WO2003005774A1 (en) * 2001-05-24 2003-01-16 Orion Electric Co., Ltd. Container for encapsulating oled and manufacturing method thereof
JP2005510831A (ja) * 2001-05-24 2005-04-21 オリオン エレクトリック カンパニー,リミテッド 有機発光ダイオードのエンカプセレーションのための容器及びその製造方法
JP2003123966A (ja) * 2001-10-09 2003-04-25 Delta Optoelectronics Inc 表示素子の封入およびその形成方法
JP2003228302A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Toshiba Electronic Engineering Corp 表示装置及びその製造方法
JP2004319103A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Dainippon Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
WO2004095597A2 (en) * 2003-04-16 2004-11-04 Corning Incorporated Glass package that is hermetically sealed with a frit and method of fabrication
JP2006524419A (ja) * 2003-04-16 2006-10-26 コーニング インコーポレイテッド フリットにより密封されたガラスパッケージおよびその製造方法
JP2005071984A (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Samsung Sdi Co Ltd 多孔性物質層を備えた有機elディスプレイ
JP2005112676A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Nippon Sheet Glass Co Ltd El素子用封止板の製造方法及び該製造方法により製造されたel素子用封止板

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010055888A1 (ja) 2008-11-14 2010-05-20 旭硝子株式会社 封着材料層付きガラス部材の製造方法と電子デバイスの製造方法
CN102203026A (zh) * 2008-11-14 2011-09-28 旭硝子株式会社 带密封材料层的玻璃构件的制造方法及电子器件的制造方法
JP2012513079A (ja) * 2008-12-18 2012-06-07 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 有機オプトエレクトロニクス素子を作製する方法および有機オプトエレクトロニクス素子
JP2011119176A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Toppan Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法
JP2011222448A (ja) * 2010-04-14 2011-11-04 Panasonic Electric Works Co Ltd 発光装置の製造方法
JP2015158672A (ja) * 2014-02-24 2015-09-03 上海和輝光電有限公司Everdisplay Optronics (Shanghai) Limited アクティブマトリクス有機発光ダイオードパネル及びその実装方法
JP2017513230A (ja) * 2014-04-04 2017-05-25 コーニング精密素材株式会社Corning Precision Materials Co., Ltd. 発光ダイオードの色変換用基板及びその製造方法
JP2019035945A (ja) * 2017-08-14 2019-03-07 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. マルチスタック接合体とその製造方法及びこれを含む表示装置
CN111971801A (zh) * 2018-04-13 2020-11-20 三星显示有限公司 显示装置及制造其的方法
JP2021521473A (ja) * 2018-04-13 2021-08-26 サムソン ディスプレイ カンパニー リミテッド 表示装置及びその製造方法
JP7350008B2 (ja) 2018-04-13 2023-09-25 サムソン ディスプレイ カンパニー リミテッド 表示装置及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI359624B (en) 2012-03-01
CN101009319A (zh) 2007-08-01
CN100524806C (zh) 2009-08-05
US20070176549A1 (en) 2007-08-02
TW200730014A (en) 2007-08-01
EP1814186A3 (en) 2011-08-31
US8125146B2 (en) 2012-02-28
KR100688790B1 (ko) 2007-03-02
EP1814186A2 (en) 2007-08-01
JP4554554B2 (ja) 2010-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4554554B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100645705B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
JP4463789B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100645707B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100645706B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100732817B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
JP4926580B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4456092B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100732808B1 (ko) 유기전계발광 표시장치의 제조방법
KR100671641B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
JP4624309B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4890982B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100745328B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100671638B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치
TWI650856B (zh) 有機發光顯示裝置
KR100671644B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100703458B1 (ko) 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제작 방법
JP2008066266A (ja) 有機電界発光表示装置
KR100732816B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
JP2008123981A (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP2007200845A (ja) 有機電界発光表示装置
KR100714000B1 (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100745347B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법
KR100662993B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR20170034562A (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20081208

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090225

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090710

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090714

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091013

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091104

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100615

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100714

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees