KR20010101231A - 유기 발광 장치용 환경 차단재 및 이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 캡슐화 유기 발광 장치에 관한 것이다. 본 장치는 하나 이상의 제1 차단 층(140)과 하나 이상의 제1 중합체 층(150, 160)을 포함하는 제1 차단 적층물(110)을 포함한다. 유기 발광 층 적층물(120)은 제1 차단 적층물에 인접한다. 제2 차단 적층물(130)은 유기 발광 층 적층물에 인접한다. 제2 차단 적층물은 하나 이상의 제2 차단 층(170)과 하나 이상의 제2 중합체 층(180, 190)을 포함한다. 또한, 본 발명에 의해 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법이 제공된다.
Description
본 발명은 유기 발광 장치(OLED), 보다 특정하게는 차단 적층물(barrier stacks) 속에 캡슐화된 OLED에 관한 것이다.
다양한 형태의 전자 제품용 다용도 영상 디스플레이가 요구되고 있다. 발광 다이오드(LED) 및 액정 디스플레이(LCD)의 많은 유용한 적용이 발견되었지만, 이들이 모든 상황에서 적합한 것은 아니다. OLED는 대단한 성공을 보여준 영상 디스플레이의 비교적 최신 형태이다. OLED는 기본적으로 두 전극 사이에 위치한 유기 전기발광(electroluminescent) 물질을 포함한다. 전극 사이에 전기 전위차가 적용되는 경우, 전기발광 물질은 가시광선을 방출한다. 통상적으로, 전극들 중의 하나는 투명하며, 빛을 통과시킨다. 본원에서 참조 문헌으로 인용되는 문헌에는 다양한 OLED 구조가 기재되어 있다[참조: 미국 특허 제5,629,389호(Roitman et al.), 제5,747,182호(Friend et al.), 제5,844,363호(Gu et al.), 제5,872,355(Hueschen), 제5,902,688호(Antoniadis et al.) 및 제5,948,552호(Antoniadis et al.)].
평판 패널 디스플레이 형태 및 기타 정보 디스플레이 형태의 OLED의 용도는장치의 불량한 환경 안정성에 의해 제한되고 있다[참조: G. Gustafson, Y. Cao, G.M. Treacy, F. Klavetter, N. Colaneri, and A.J. Heeger, Nature, Vol. 35, 11 June 1992, pages 477-479]. 습도 및 산소는 대부분의 OLED의 유용한 수명을 크게 저하시킨다. 따라서, 통상적으로 이러한 장치는 OLED의 최상부 위에 적층된 유리 덮개를 가지며, 활성층으로부터 물과 산소를 배제시키기 위해 모서리가 밀봉되어 유리 기판 위에 제조된다. 미국 특허 제5,872,355호에는 이와 같은 장치를 밀봉하기 위한 사란(saran)과 같은 중합체의 이용이 기재되어 있다. OLED의 충분한 수명을 제공하기 위해 요구되는 수증기 투과율(WVTR)은 약 10-6g/㎡/일로 측정된다. 가장 우수한 중합체 필름(예: 사란)은 OLED 캡슐화용으로 간주하기엔 너무 높은 최대 5인 WVTR 값을 갖는다. 또한, 사란은 플래쉬 증발, 응축, 및 진공 챔버내에서의 동일 반응계(in situ) 중합을 이용하여 부착시킬 수 없다.
따라서, OLED를 캡슐화시키고, 산소 및 수증기의 침투에 의해 야기되는 열화를 방지하기 위해 사용될 수 있는 향상된 경량의 차단 구조물 및 이와 같이 캡슐화된 OLED의 제조방법이 요구되고 있다.
발명의 요약
이러한 요구 사항은 본 발명에 따르는, 캡슐화 유기 발광 장치(OLED)에 의해 충족된다. 이 장치는 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제1 중합체 층을 포함하는 제1 차단 적층물을 포함한다. 제1 차단 적층물에 인접하여 유기 발광 층적층물이 존재한다. 유기 발광 층 적층물에 인접하여 제2 차단 적층물이 위치한다. 제2 차단 적층물은 하나 이상의 제2 차단 층과 하나 이상의 제2 중합체 층을 포함한다. 본 장치는 임의로 기판과 제1 차단 적층물 사이에 위치하는 하나 이상의 제1 중간 차단 적층물, 및/또는 유기 발광 층 적층물과 제1 차단 적층물 또는 제2 차단 적층물 사이에 위치하는 하나 이상의 제2 중간 차단 적층물을 포함한다. 제1 중간 차단 적층물 및 제2 중간 차단 적층물은 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함한다.
바람직하게는, 제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물의 제1 차단 층 및 제2 차단 층 중의 어느 하나 또는 둘 모두는 실질적으로 투명하다. 제1 차단 층 및 제2 차단 층 중의 하나 이상은 바람직하게는 금속 산화물, 금속 질산화물, 금속 탄화물, 금속 옥시질화물 및 이들의 조합물로부터 선택된 물질을 포함한다. 금속 산화물은 바람직하게는 실리카, 알루미나, 티타니아, 산화인듐, 산화주석, 산화인듐 주석, 및 이들의 조합물로부터 선택되며, 금속 탄화물은 바람직하게는 탄화규소가며, 금속 옥시질화물은 바람직하게는 옥시질화규소이다.
또한, 캡슐화된 OLED는 유기 발광 층 적층물의 반대면 위의 제1 차단 적층물에 인접한 기판을 포함한다. 기판은 가요성 기판 또는 경질 기판일 수 있다. 가요성 기판 물질은 중합체, 금속, 종이, 직물, 및 이들의 혼합물일 수 있는 것이 바람직하다. 경질 기판은 바람직하게는 유리, 금속, 또는 규소이다. 경질 기판이 사용되는 경우, 경우에 따라 사용하기 전에 이를 제거할 수 있다.
제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물의 중합체 층 및 제1 중간 차단 적층물과제2 중간 차단 적층물내의 중합체 층은 바람직하게는 아크릴레이트 함유 중합체(본원에서 사용된 바와 같이, 용어 아크릴레이트 함유 중합체는 아크릴레이트 함유 중합체, 메타크릴레이트 함유 중합체 및 이들의 조합물을 포함한다)이다. 제1 차단 적층물 및/또는 제2 차단 적층물내의 중합체 층은 동일하거나 상이할 수 있다.
바람직하게는 유기 발광 층 적층물은 제1 전극, 전기발광 층, 및 제2 전극을 포함한다. 바람직하게는 전기발광 층은 홀 이송(hall transport) 층, 및 당해 기술 분야에 공지되어 있으며, 명세서가 본원에서 특정하게 인용되는 특허에 나타낸 전자 이송 층을 포함한다.
또한, 본 발명은 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법을 포함한다. 본 방법은 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제1 중합체 층을 포함하는 제1 차단 적층물을 형성시키고, 유기 발광 층 적층물을 형성시킴, 하나 이상의 제2 차단 층과 하나 이상의 제2 중합체 층을 포함하는 제2 차단 적층물을 형성시키며 제1 차단 적층물, 유기 발광 층 적층물 및 제2 차단 적층물을 결합시켜 캡슐화 유기 발광 장치를 형성시킴을 포함한다. 임의로 중간 차단 적층물이 형성될 수 있다. 바람직하게는 층들은 진공 부착에 의해 형성된다.
유기 발광 층 적층물은 이들을 함께 적층시킴으로써 제1 차단 적층물 및/또는 제2 차단 적층물과 결합시킬 수 있다. 또한, 이들은 하나의 층을 다른층 위에 부착시킴으로써 형성시키면서 동시에 결합시킬 수 있다.
또 다른 양태에서, 본 발명은 기판, 기판에 인접한 유기 발광 층 적층물, 및 유기 발광 층 적층물에 인접한, 하나 이상의 차단 층과 하나 이상의 중합체 층을포함하는 차단 적층물을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치를 포함한다. 또한, 본 발명은 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법을 포함한다. 하나의 방법은 유기 발광 층 적층물을 그 위에 포함하는 기판을 제공함, 하나 이상의 차단 층과 하나 이상의 중합체 층을 포함하는 차단 적층물을 유기 발광 층 적층물 위에 적층시켜 유기 발광 차단 층 적층물을 캡슐화시킴을 포함한다. 바람직하게는 차단 적층물은 접착제를 이용하여 적층되지만(모서리 밀봉), 열을 포함하는 기타 방법을 이용하여 적층될 수도 있다.
또 다른 방법은 상부에 유기 발광 층 적층물을 갖는 기판 위에 차단 적층물을 진공 부착시킴을 포함한다. 또한, 또 다른 방법은 기판에 유기 발광 층 적층물을 제공하고, 유기 발광 층 적층물 위에 하나 이상의 차단 층을 진공 부착시키며 하나 이상의 제1 중합체 층을 하나 이상의 차단 층에 부착시킴을 포함한다. 하나 이상의 제2 중합체 층을 차단 층을 부착시키기 전 유기 발광 층 적층물 위에 부착시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 캡슐화된 OLED 및 이와 같은 장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
도면의 간단한 설명
도 1은 본 발명의 캡슐화된 OLED의 하나의 양태의 단면을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 캡슐화된 OLED의 또 다른 양태의 단면을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 캡슐화된 OLED의 하나의 양태의 단면을 나타낸 것이다.
본 발명의 하나의 양태는 도1에 나타낸 캡슐화된 OLED(100)이다. 캡슐화 OLED(100)는 기판(105), 제1 차단 적층물(110), 유기 발광 층 적층물(120), 및 제2 차단 적층물(130)을 포함한다. 제1 차단 적층물(110)은 제1 차단 층(140)과 2개의 중합체 층(150, 160)을 포함한다. 제2 캡슐화 층(130)은 제2 차단 층(170)과 2개의 중합체 층(180, 190)을 포함한다.
도면에는 단일 차단 층의 양쪽면 위에 단일 중합체 층을 갖는 차단 적층물을 나타내었지만, 차단 적층물은 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함할 수 있다. 하나의 중합체 층 및 하나의 차단 층이 존재할 수 있으며, 하나 이상의 차단 층의 한쪽면 상에 다중 중합체 층이 존재하거나, 하나 이상의 차단 층의 양쪽면 상에 하나 이상의 중합체 층이 존재할 수 있다. 차단 적층물이 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 갖는다는 점이 중요한 특징이다.
유기 발광 층 적층물(120)은 제1 전극 층(200), 전기발광 층(210), 및 제2 전극(220)을 포함한다. 전기발광 층(210)은 홀 이송 층(230) 및 전자 이송 층(235)을 포함한다. 유기 발광 층 적층물의 정확한 형태 및 조성은 중요하지 않다. 유기 발광 층 적층물은 하나 이상의 활성층의 맞은편 면 상에 제1 전극 층과 제2 전극 층을 포함한다. 전극 층은 전원에 연결된다. 하나 이상의 전극은 투명하다. 전기발광 층은 나타낸 바와 같이 다층이거나 단일층일 수 있다. 전기발광 층은 통상적으로 홀 주입 층, 홀 이송 층, 전자 이송 층, 및 발광 층, 및 이들의 조합물을 포함한다. 또한, 유전 층(dieletric layer)을 포함하는 추가의 층이 존재할 수 있다. 유기 발광 층 적층물은 본원에서 참조 문헌으로 인용된 문헌에 기재된 바와 같은 공지된 기술을 사용하여 제조될 수 있다[참조: 미국 특허 제5,629,389호(Roitman et al.), 제5,844,363호(Gu et al.), 제5,872,355호(Hueschen), 제5,902,688호(Antoniadis et al.), 및 제5,948,552호(Antoniadis et al.)].
본 발명은 발광 중합체와 작은 분자로 이루어진 유기 발광 층 적층물에 적합하다.
도 2에 나타낸 또 다른 양태에서, 캡슐화 OLED(300)는 또한 제1 중간 차단 적층물(240)과 제2 중간 차단 적층물(270)을 포함한다. 제1 중간 차단 적층물은 기판(105)과 제1 차단 적층물(110) 사이에 위치하며, 중합체 층(250)과 차단 층(260)을 포함한다. 제2 중간 차단 적층물(270)은 중합체 층(280)과 차단 층(290)을 포함한다. 제2 중간 차단 적층물(270)은 유기 발광 층 적층물(120)과 제2 차단 적층물(130) 사이에 위치한다. 또한, 제2 중간 층은 제1 차단 층과 유기 발광 층 적층물 사이에 위치할 수 있다. 또한, 향상된 차단 보호를 제공하기 위해 서로의 최상부 상에 다중(multiple) 제1 중간 차단 적층물이 제공될 수 있다. 유사하게, 서로의 최상부 상에 다중 제2 중간 차단 적층물이 제공될 수 있다. 중간 차단 적층물내의 차단 층과 중합체 층의 순서는 중요하지 않다. 이는 중간 차단 적층물이 위치하는 곳 및 이들 다음에 존재하는 층에 좌우된다.
캡슐화 OLED는 제1 차단 적층물(110), 유기 발광 층 적층물(120), 및 제2 차단 적층물(130)을 형성시킴으로써 제조될 수 있다. 적층물을 결합시켜 캡슐화된OLED를 형성시킨다.
바람직하게는, 적층물은 진공 부착을 이용하여 이들을 형성시킴으로써 결합된다. 이러한 방법에서, 하나의 층은 선행 층(previous layer) 상에 진공 부착되며, 이에 의해 층들이 형성되는 동시에 당해 층들이 결합된다. 또한, 유기 발광 층 적층물을 제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물 사이에 적층시키고, 모서리를 따라 접착제, 풀 등 또는 열로 밀봉함으로써 제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물과 결합시킬 수 있다. 제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물은 하나 이상의 차단 층과 하나 이상의 중합체 층을 포함한다. 중합체/차단 층/중합체 구조가 바람직한 경우, 다음과 같이 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 이러한 차단 적층물은 예를 들면, 아크릴레이트 함유 중합체와 같은 중합체 층을 기판 또는 선행 층 위에 부착시킴으로써 형성시킬 수 있다. 바람직하게는, 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머 또는 수지(본원에서 사용된 바와 같이, 용어 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머 또는 수지는 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머 및 수지, 메타크릴레이트 함유 단량체, 올리고머, 및 수지, 및 이들의 조합물을 포함한다)를 부착시키고, 이어서, 동일 반응계로 중합시켜 중합체 층을 형성시킨다. 이어서, 아크릴레이트 함유 중합체 층을 차단 층으로 피복시킨다. 또 다른 중합체 층을 차단 층 위에 부착시킨다. 본원에서 참조 문헌으로 인용되는 문헌에 박막인 차단 적층물의 부착방법이 기재되어 있다[참조: 미국 특허 제5,440,446호 및 제5,725,909호].
바람직하게는 차단 층을 진공 부착시킨다. 진공 부착은 진공하에 동일 반응계 중합시킴을 포함하는 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머 또는 수지의 플래쉬증발(flash evaporation), 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머, 또는 수지의 플라즈마 부착과 중합 또한, 스퍼터링(sputtering), 화학 증착, 플라즈마 향상된 화학 증착, 증발, 승화, 전자 사이클로트론(cyclotron) 공명 플라즈마 향상된 증착(ECR-PECVD)에 의한 차단 층의 진공 부착 및 이들의 조합이 포함된다.
부착된 층내의 결점 및/또는 미세균열(microcrack)의 형성을 방지하기 위해 차단 층의 일체성(integrity)을 보호하는 것이 중요하다. 롤 또는 롤러의 마모에 의해 야기될 수 있는 결점을 방지하기 위해서는, 바람직하게는 캡슐화된 OLED는 차단 층이 웹(web) 피복 시스템내의 롤러와 같은 어떠한 장치와도 직접적으로 접촉되지 않도록 제조되는 것이 바람직하다. 이는 중합체/차단 층/중합체의 층 구조가 임의의 조작 장치와 접촉 또는 닿기 전에 부착되도록 하는 부착 시스템을 설계함으로써 성취될 수 있다.
기판은 가요성 또는 경질일 수 있다. 가요성 기판은 이로써 한정되지는 않지만, 예를 들면, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나트탈레이트(PEN)와 같은 중합체 또는 폴리에테르 설폰(PES), 폴리이미드, 또는 TransphanTM[Lofo High Tech Film, GMBH(Weil am Rhein, Germany)로부터 입수가능한 높은 Tg의 사이클릭 올레핀 중합체]과 같은 고온 중합체, 금속, 종이, 직물, 및 이들의 조합물을 포함하는 임의의 가용성 물질일 수 있다. 경질 기판은 바람직하게는 유리, 금속, 또는 규소이다. 가요성 캡슐화 OLED가 요구되고, 제조 중에 경질 기판이 사용되는 경우, 바람직하게는 경질 기판을 사용 전 제거한다.
제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물의 중합체 층 및 제1 중간 차단 적층물과 제2 중간 차단 적층물의 중합체 층은 바람직하게는 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머 또는 수지, 및 이들의 조합물이다. 제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물 및 제1 중간 적층물과 제2 중간 적층물의 중합체 층은 동일하거나 상이할 수 있다. 또한, 각각의 차단 적층물내의 중합체 층은 동일하거나 상이할 수 있다.
차단 적층물과 중간 차단 적층물내의 차단 층은 임의의 차단재일 수 있다. 제1 차단 적층물과 제2 차단 적층물 및 제1 중간 차단 적층물과 제2 중간 차단 적층물내의 차단재는 동일하거나 상이할 수 있다. 또한, 동일하거나 상이한 차단 층의 다층이 적층물에 사용될 수 있다. 바람직한 투명한 차단재는 이로써 한정되는 것은 아니지만, 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 옥시질화물 및 이들의 조합물을 포함한다. 금속 산화물은 바람직하게는 실리카, 알루미나, 티타니아, 산화인듐, 산화주석, 산화인듐 주석, 및 이들의 조합물로부터 선택되며, 금속 질화물은 바람직하게는 질화알루미늄, 질화규소 및 이들의 조합물로부터 선택되며, 금속 탄화물은 바람직하게는 탄화 규소, 금속 옥시질화물은 바람직하게는 옥시질화 규소이다.
장치의 한쪽면 만이 투명해야 하므로, 차단 층의 하나만이 투명해야 한다. 이러한 상황에서, 맞은편 면 위의 차단 층은 이로써 한정되는 것은 아니지만, 금속, 세라믹 또는 중합체를 포함하는 불투명한 차단재일 수 있다.
또 다른 캡슐화 OLED를 도 3에 나타낸다. 캡슐화 OLED(400)는 유기 발광 층 적층물(120)이 형성되는 기판(105)을 갖는다. 차단 적층물(130)을 유기 발광 층적층물(120)에 적합하게 부착시켜, 이를 캡슐화시킨다. 차단 적층물내의 중합체 층은 진공 방법 또는 스핀 피복 및/또는 분무와 같은 대기적인 방법에 의하여 부착될 수 있다. 차단 적층물을 형성시키는 바람직한 방법은 아크릴레이트 함유 단량체, 올리고머 또는 수지를 플래쉬 증발시킴, OLED층 적층물 위에 응축시킴, 및 진공 용기내에서 동일 반응계로 중합시킴을 포함한다. 이어서, 차단 층을 증발, 스퍼터링, CVD, PECVD 또는 ECR-PECVD와 같은 통상적인 진공 방법을 사용하여 중합체 층 위에 부착시킨다. 이어서, 상술한 방법을 이용하여 제2 중합체 층을 차단 층 위에 부착시킨다.
또한, 유기 발광 층 구조물 위의 기판에 차단 적층물을 포함하는 리드(lid) 구조물을 적층시킴으로써 OLED 장치를 캡슐화시킬 수 있다. 적층은 접착제 또는 풀 등 또는 열을 이용하여 수행할 수 있다. 또한, 캡슐화된 OLED는 나타낸 바와 같은 중간 차단 적층물(270)을 포함할 수도 있다. 상술한 바와 같이, 기판이 투명하다면, 차단재는 불투명하거나 또는 그 반대일 수 있다.
PET 기판 위의 3개의 층 조합, 즉, PET 기판/중합체 층/차단 층/중합체 층의 단일 패스, 롤-대-롤(roll-to-roll), 진공 부착은 PET 단독 위의 단일 산화물 층 보다 산소와 수증기에 대하여 최대 5배 이상 비투과성일 수 있다. 이는 문헌에 기재되어 있다[참조: J.D. Affinito, M.E. Gross, C.A. Coronado, G.L. Graff, E.N.Greenwell, and P.M. Martin,Polymer-Oxide Transparent Barrier Layers Produced Using PML Process, 39thAnnual Technical Conference Proceedings ofthe Society of Vacuum Coaters, Vacuum Web Coating Session, 1996, pages 392-397; J.D. Affinito, S. Eufinger, M.E. Gross, G.L. Graff, and P.M. Martin,PML/Oxide/PML Barrier Layer Performance Differences Arising From Use of UV or Electron Beam Polymerization of the PML Layers, Thin Solid Films, Vol.308, 1997, pages 19-25]. 이는 차단 층(산화물, 금속, 질화물, 옥시질화물)이 없는 단독 중합체 다층(PML)의 투과율에 대한 영향은 거의 측정할 수 없다는 사실에도 불구하고 그러하다. 차단 특성의 향상은 2 가지 인자에 기인한 것으로 생각된다. 우선, 롤-대-롤 피복된 산화물 단독층내의 투과율은 부착시 및 피복된 기판이 시스템 아이들러(idler)/롤러에 의해 파괴되는 경우에 발생되는 산화물층내의 결점으로 인하여 전도도가 제한되는 것으로 밝혀졌다. 밑에 놓여진 기판내의 아스퍼라이트(asperite)가 부착된 무기 차단 층내에 반복된다. 이러한 특징으로 웹 조작/테이크-업(take-up) 시에 기계적 손상이 따르며, 부착된 필름내에 결점을 형성시킬 수 있다. 이러한 결점은 필름의 근본적인 차단 성능을 심각하게 제한한다. 단일 패스인, 중합체/차단/중합체 공정에서, 제1 아크릴층은 기판을 평탄화시키며, 무기 차단 박막의 후속적인 부착을 위한 이상적인 표면을 제공한다. 제2 중합체 층은 차단 층에 대한 손상을 최소화시키는 "보호" 필름을 제공하며, 후속적인 차단 층(또는 유기 발광 층 적층물)의 부착을 위해 구조를 평탄화 시킨다. 또한, 중간 중합체 층은 인접한 무기 차단 층내에 존재하는 결점을 완화시키며, 따라서, 기체 확산을 위한 비틀린 경로(tortuous path)가 생성된다. 본 발명에 사용된 차단 적층물의 투과도를 아래에 나타낸다.
시료 | 산소 투과율 (cc/㎡/일) |
수증기 투과도 (g/㎡/일)+ |
|
23℃* | 38℃+ | 38℃+ | |
1-차단 적층물 | <0.005 | <0.005 | 0.46 |
2-차단 적층물 | <0.005 | <0.005 | <0.005 |
5-차단 적층물 | <0.005 | <0.005 | <0.005 |
*38℃, 90%RH, 100% O2
+38℃, 100%RH
주: <0.005의 투과율은 현재의 장치(Mocon OxTran 2/20L)의 측정 한계 이하이다.
표 1의 데이타로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 사용된 차단 적층물은 종래에는 중합체로부터 이용할 수 없었던 뛰어난 환경 보호를 제공한다.
또한, 본 발명자들은 본 발명의 차단 적층물을 사용하여 캡슐화시키기 전후에 OLED 장치(유리 및 규소로 제조됨)의 성능을 비교하였다. 캡슐화시킨 후, 전류 밀도 대 전압 및 명도 대 전류 밀도 특성은 원래의(캡슐화되지 않은) 장치의 측정된 거동에 일치(실험 오차 범위내)한다. 이는 차단 적층물 및 부착 방법이 OLED 장치 제조에 적합함을 나타내는 것이다.
따라서, 본 발명은 OLED의 밀봉에 필요한 뛰어난 차단 특성을 차단 적층물에 제공한다. 이는 캡슐화 OLED의 제조를 가능케한다.
특정한 대표적인 양태 및 기술을 본 발명을 예시하기 위해 사용하였지만, 당해 기술 분야의 숙련가들은 부가한 청구항에 정의한 본 발명의 범주를 벗어나지 않으면서 본원에 기재한 조합 및 방법의 변화가 이루어질 수 있음을 명백히 인식할 것이다.
Claims (80)
- 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제1 중합체 층을 포함하는 제1 차단 적층물(stack),제1 차단 적층물에 인접한 유기 발광 층 적층물 및유기 발광 층 적층물에 인접한, 하나 이상의 제2 차단 층과 하나 이상의 제2 중합체 층을 포함하는 제2 차단 적층물을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 유기 발광 층 적층물의 맞은편 면 위의 제1 차단 적층물에 인접한 기판을 추가로 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제2항에 있어서, 기판과 제1 차단 적층물 사이에 위치하는 하나 이상의 제1 중간 차단 적층물을 추가로 포함하며, 여기서 제1 중간 차단 적층물이 하나 이상의 제3 중합체 층과 하나 이상의 제3 차단 층을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 유기 발광 층 적층물과 제1 차단 적층물 또는 제2 차단 적층물 사이에 위치하는 하나 이상의 제2 중간 차단 적층물을 추가로 포함하며, 여기서 제2 중간 차단 적층물이 하나 이상의 제4 중합체 층과 하나 이상의 제4 차단 층을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층이 실질적으로 투명한 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제2 차단 층이 실질적으로 투명한 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층 및 하나 이상의 제2 차단 층 중의 하나 이상이 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 옥시질화물 및 이들의 혼합물로부터 선택된 물질을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제7항에 있어서, 금속 산화물이 실리카, 알루미나, 티타니아, 산화인듐, 산화주석, 산화인듐 주석 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제7항에 있어서, 금속 질화물이 질화알루미늄, 질화규소 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층이 실질적으로 불투명한 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제2 차단 층이 실질적으로 불투명한 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층 및 하나 이상의 제2 차단 층 중의 적어도 하나가 불투명 금속, 불투명 중합체 및 불투명 세라믹으로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제2항에 있어서, 기판이 가요성 기판 물질을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제13항에 있어서, 가요성 기판 물질이 중합체, 금속, 종이, 직물 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제2항에 있어서, 기판이 경질 기판 물질을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제15항에 있어서, 경질 기판 물질이 유리, 금속 및 규소로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제1 중합체 층들 중의 적어도 하나가 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 하나 이상의 제2 중합체 층들 중의 적어도 하나가 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제3항에 있어서, 하나 이상의 제3 중합체 층들 중의 적어도 하나가 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제4항에 있어서, 하나 이상의 제4 중합체 층들 중의 적어도 하나가 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제1항에 있어서, 유기 발광 층 적층물이 제1 전극, 전기발광 층 및 제2 전극을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제21항에 있어서, 전기발광 층이 홀 이송 층(hall transporting layer) 및 전자 이송 층을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제1 중합체 층을 포함하는 제1 차단 적층물을 형성시키고,유기 발광 층 적층물을 형성시키고,하나 이상의 제2 차단 층과 하나 이상의 제2 중합체 층을 포함하는 제2 차단 적층물을 형성시키며,제1 차단 적층물, 제1 차단 적층물에 인접한 유기 발광 층 적층물 및 유기 발광 층 적층물에 인접한 제2 차단 적층물을 결합시켜 캡슐화 유기 발광 장치를 형성시킴을 포함하는, 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법.
- 제23항에 있어서, 기판을 제공하고, 기판 위에 제1 차단 적층물을 형성시킴을 추가로 포함하는 방법.
- 제24항에 있어서, 기판과 제1 차단 적층물 사이에 하나 이상의 제3 중합체 층과 하나 이상의 제3 차단 층을 포함하는 하나 이상의 제1 중간 차단 적층물을 위치시킴을 추가로 포함하는 방법.
- 제23항에 있어서, 유기 발광 층 적층물과 제1 차단 적층물 또는 제2 차단 적층물 사이에 하나 이상의 제4 중합체 층과 하나 이상의 제4 차단 층을 포함하는 하나 이상의 제2 중간 차단 적층물을 위치시킴을 추가로 포함하는 방법.
- 제23항에 있어서, 유기 발광 층 적층물을 제1 차단 적층물에 적층시킴으로써 유기 발광 층 적층물이 제1 차단 적층물과 결합되는 방법.
- 제23항에 있어서, 유기 발광 층 적층물을 제1 차단 적층물 위에 부착시킴으로써 형성되는 동시에 유기 발광 층 적층물이 제1 차단 적층물과 결합되는 방법.
- 제23항에 있어서, 제2 차단 적층물을 유기 발광 층 적층물 위에 적층시킴으로써 제2 차단 적층물이 유기 발광 층 적층물과 결합되는 방법.
- 제23항에 있어서, 제2 차단 적층물을 유기 발광 층 적층물 위에 부착시킴으로써 형성되는 동시에 제2 차단 적층물이 유기 발광 층 적층물과 결합되는 방법.
- 제24항에 있어서, 기판이 가요성 물질을 포함하는 방법.
- 제24항에 있어서, 기판이 경질 물질을 포함하는 방법.
- 제24항에 있어서, 기판이 캡슐화 유기 발광 장치로부터 제거되는 방법.
- 제23항에 있어서, 제1 차단 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제23항에 있어서, 유기 발광 층 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제23항에 있어서, 제2 차단 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제23항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제2 차단 층 중의적어도 하나가 실질적으로 투명한 방법.
- 제23항에 있어서, 제1 차단 층과 제2 차단 층의 하나 이상이 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 옥시질화물 및 이들의 혼합물로부터 선택된 물질을 포함하는 방법.
- 제38항에 있어서, 금속 산화물이 실리카, 알루미나, 티타니아, 산화인듐, 산화주석, 산화인듐 주석 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 방법.
- 제38항에 있어서, 금속 질화물이 질화알루미늄, 질화규소 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 방법.
- 제23항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제2 차단 층 중의 적어도 하나가 실질적으로 불투명한 방법.
- 제23항에 있어서, 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제2 차단 층 중의 적어도 하나가 불투명 금속, 불투명 중합체 및 불투명 세라믹으로부터 선택되는 방법.
- 제31항에 있어서, 가요성 기판 물질이 중합체, 금속, 종이, 직물 및 이들의혼합물로부터 선택되는 방법.
- 제32항에 있어서, 경질 기판 물질이 유리, 금속 및 규소로부터 선택되는 방법.
- 제23항에 있어서, 하나 이상의 제1 중합체 층과 하나 이상의 제2 중합체 층 쌍 중의 적어도 하나가 아크릴레이트 함유 중합체인 방법.
- 제25항에 있어서, 제3 중합체 층이 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 방법.
- 제26항에 있어서, 제4 중합체 층이 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 방법.
- 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함하는 제1 중간 차단 적층물,제1 중간 차단 적층물에 인접한, 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제1 중합체 층을 포함하는 제1 차단 적층물,제1 차단 적층물에 인접한 유기 발광 층 적층물,유기 발광 층 적층물에 인접한, 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단층을 포함하는 제2 중간 차단 적층물 및제2 중간 차단 적층물에 인접한, 하나 이상의 제2 차단 층과 하나 이상의 제2 중합체 층을 포함하는 제2 차단 적층물을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제48항에 있어서, 제1 차단 적층물의 맞은편 면 위의 제1 중간 차단 적층물에 인접한 기판을 추가로 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함하는 제1 중간 차단 적층물을 형성시키고,제1 중간 차단 적층물에 인접한, 하나 이상의 제1 차단 층과 하나 이상의 제1 중합체 층을 포함하는 제1 차단 적층물을 형성시키고,제1 차단 적층물에 인접한 유기 발광 층 적층물을 형성시키고,유기 발광 층 적층물에 인접한, 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함하는 제2 중간 차단 적층물을 형성시키고,제2 중간 차단 적층물에 인접한, 하나 이상의 제2 차단 층과 하나 이상의 제2 중합체 층을 포함하는 제2 차단 적층물을 형성시키며,제1 중간 차단 적층물, 제1 차단 적층물, 유기 발광 층 적층물, 제2 중간 차단 적층물 및 제2 차단 적층물을 결합시켜 캡슐화 유기 발광 장치를 형성시킴을 포함하는, 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법.
- 제50항에 있어서, 제1 중간 차단 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제50항에 있어서, 제1 차단 층 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제50항에 있어서, 유기 발광 층 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제50항에 있어서, 제2 중간 차단 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 제50항에 있어서, 제2 차단 적층물이 진공 부착에 의해 형성되는 방법.
- 기판,기판에 인접한 유기 발광 층 적층물,유기 발광 층 적층물에 인접한, 하나 이상의 차단 층과 하나 이상의 중합체 층을 포함하는 차단 층을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함하며, 유기 발광 층 적층물과 차단 적층물 사이에 위치하는 중간 차단 적층물을 추가로 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 하나 이상의 차단 적층물이 실질적으로 투명한 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 하나 이상의 차단 층이 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 옥시질화물 및 이들의 혼합물로부터 선택된 물질을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제59항에 있어서, 금속 산화물이 실리카, 알루미나, 티타니아, 산화인듐, 산화주석, 산화인듐 주석 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제59항에 있어서, 금속 질화물이 질화알루미늄, 질화규소 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 하나 이상의 차단 층이 실질적으로 불투명한 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 하나 이상의 차단 층이 불투명 금속, 불투명 중합체 및 불투명 세라믹으로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 하나 이상의 중합체 층들 중 적어도 하나가 아크릴레이트 함유 중합체를 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 기판이 경질 기판 물질을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제65항에 있어서, 경질 기판 물질이 유리, 금속 및 규소로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제56항에 있어서, 기판이 가요성 기판 물질을 포함하는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 제67항에 있어서, 가요성 기판 물질이 중합체, 금속, 종이, 직물 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 캡슐화 유기 발광 장치.
- 상부에 유기 발광 층 적층물을 갖는 기판을 제공하고,하나 이상의 차단 층과 하나 이상의 중합체 층을 포함하는 차단 적층물을 유기 발광 층 적층물 위에 진공 부착하여 유기 발광 층 적층물을 캡슐화시킴을 포함하는, 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법.
- 제69항에 있어서, 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함하는 중간 차단 층 적층물을 차단 적층물에 진공 부착하기 전에 유기 발광 층 적층물 위에 부착시킴을 포함하는 방법.
- 상부에 유기 발광 층 적층물을 갖는 기판을 제공하고,유기 발광 층 적층물 위에 하나 이상의 차단 층을 진공 부착시키며,하나 이상의 차단 층 위에 하나 이상의 제1 중합체 층을 부착시킴을 포함하는, 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법.
- 제71항에 있어서, 하나 이상의 차단 층을 진공 부착시키기 전에 유기 발광 층 적층물 위에 하나 이상의 제2 중합체 층을 부착시킴을 포함하는 방법.
- 제71항에 있어서, 하나 이상의 차단 층을 부착시키기 전에 유기 발광 층 적층물 위에 하나 이상의 중합체 층과 하나 이상의 차단 층을 포함하는 중간 차단 층 적층물을 부착시킴을 포함하는 방법.
- 제71항에 있어서, 하나 이상의 제1 중합체 층들 중의 적어도 하나를 대기압하의 공정을 이용하여 부착시키는 방법.
- 제74항에 있어서, 대기압하의 공정이 스핀 피복 및 분무로부터 선택되는 방법.
- 제71항에 있어서, 하나 이상의 제1 중합체 층들 중의 적어도 하나를 진공 방법을 이용하여 부착시키는 방법.
- 제72항에 있어서, 하나 이상의 제2 중합체 층들 중의 적어도 하나를 대기압하의 공정을 이용하여 부착시키는 방법.
- 유기 발광 층 적층물을 그 위에 포함하는 기판을 제공하고,유기 발광 층 적층물 위에 하나 이상의 차단 층과 하나 이상의 중합체 층을 포함하는 차단 적층물을 적층시켜 유기 발광 층 적층물을 캡슐화시킴을 포함하는, 캡슐화 유기 발광 장치의 제조방법.
- 제78항에 있어서, 차단 적층물을 접착제를 사용하여 적층시키는 방법.
- 제78항에 있어서, 차단 적층물을 열을 이용하여 적층시키는 방법.
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---|---|
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---|---|---|---|
KR1020017007473A KR20010101231A (ko) | 1998-12-16 | 1999-12-15 | 유기 발광 장치용 환경 차단재 및 이의 제조방법 |
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---|---|
US (3) | US6268695B1 (ko) |
JP (2) | JP4856313B2 (ko) |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040039607A (ko) * | 2002-11-04 | 2004-05-12 | 주식회사 엘리아테크 | 유기 전계 발광 표시 소자의 봉지 방법 |
KR100462469B1 (ko) * | 2002-04-17 | 2004-12-17 | 한국전자통신연구원 | 접착식 유기-무기 복합막을 갖춘 엔캡슐레이션 박막과이를 포함하는 유기 전기발광 소자 |
KR100902706B1 (ko) * | 2002-04-01 | 2009-06-15 | 코니카 미놀타 홀딩스 가부시키가이샤 | 기판 및 그 기판을 갖는 유기 전계 발광 소자 |
KR101352148B1 (ko) * | 2006-05-23 | 2014-01-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 캡슐형 플라즈마 감지 소자를 제조하는 방법 |
WO2014137529A1 (en) * | 2013-03-04 | 2014-09-12 | Applied Materials, Inc. | Fluorine-containing plasma polymerized hmdso for oled thin film encapsulation |
WO2014163773A1 (en) * | 2013-03-11 | 2014-10-09 | Applied Materials, Inc. | Plasma curing of pecvd hmdso film for oled applications |
US9142804B2 (en) | 2010-02-09 | 2015-09-22 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting device including barrier layer and method of manufacturing the same |
KR20160041158A (ko) * | 2014-10-06 | 2016-04-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
Families Citing this family (485)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040241454A1 (en) * | 1993-10-04 | 2004-12-02 | Shaw David G. | Barrier sheet and method of making same |
US6623870B1 (en) * | 1996-08-02 | 2003-09-23 | The Ohio State University | Electroluminescence in light emitting polymers featuring deaggregated polymers |
US6667553B2 (en) | 1998-05-29 | 2003-12-23 | Dow Corning Corporation | H:SiOC coated substrates |
US6274887B1 (en) * | 1998-11-02 | 2001-08-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
EP1127381B1 (en) | 1998-11-02 | 2015-09-23 | 3M Innovative Properties Company | Transparent conductive oxides for plastic flat panel displays |
US7022556B1 (en) * | 1998-11-11 | 2006-04-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Exposure device, exposure method and method of manufacturing semiconductor device |
US6277679B1 (en) * | 1998-11-25 | 2001-08-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing thin film transistor |
US6475836B1 (en) | 1999-03-29 | 2002-11-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
EP1186065A1 (en) * | 1999-04-28 | 2002-03-13 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Flexible organic electronic device with improved resistance to oxygen and moisture degradation |
US8853696B1 (en) | 1999-06-04 | 2014-10-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device and electronic device |
TW527735B (en) | 1999-06-04 | 2003-04-11 | Semiconductor Energy Lab | Electro-optical device |
US7288420B1 (en) * | 1999-06-04 | 2007-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing an electro-optical device |
CA2342946A1 (en) | 1999-07-09 | 2001-01-18 | Osram Opto Semiconductors Gmbh & Co. Ohg | Encapsulation of a device |
CN1227731C (zh) * | 1999-07-09 | 2005-11-16 | 材料研究及工程研究所 | 用于封装元件的层合件 |
US6660409B1 (en) * | 1999-09-16 | 2003-12-09 | Panasonic Communications Co., Ltd | Electronic device and process for producing the same |
JP3942770B2 (ja) | 1999-09-22 | 2007-07-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | El表示装置及び電子装置 |
TW480722B (en) | 1999-10-12 | 2002-03-21 | Semiconductor Energy Lab | Manufacturing method of electro-optical device |
US6413645B1 (en) | 2000-04-20 | 2002-07-02 | Battelle Memorial Institute | Ultrabarrier substrates |
US20100330748A1 (en) | 1999-10-25 | 2010-12-30 | Xi Chu | Method of encapsulating an environmentally sensitive device |
US20090191342A1 (en) * | 1999-10-25 | 2009-07-30 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
US20070196682A1 (en) * | 1999-10-25 | 2007-08-23 | Visser Robert J | Three dimensional multilayer barrier and method of making |
US6623861B2 (en) * | 2001-04-16 | 2003-09-23 | Battelle Memorial Institute | Multilayer plastic substrates |
US7198832B2 (en) | 1999-10-25 | 2007-04-03 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
US6866901B2 (en) | 1999-10-25 | 2005-03-15 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
US6573652B1 (en) * | 1999-10-25 | 2003-06-03 | Battelle Memorial Institute | Encapsulated display devices |
US6524877B1 (en) * | 1999-10-26 | 2003-02-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and method of fabricating the same |
US6646287B1 (en) | 1999-11-19 | 2003-11-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device with tapered gate and insulating film |
US20070221265A1 (en) | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Sion Power Corporation | Rechargeable lithium/water, lithium/air batteries |
US7247408B2 (en) * | 1999-11-23 | 2007-07-24 | Sion Power Corporation | Lithium anodes for electrochemical cells |
US20110165471A9 (en) * | 1999-11-23 | 2011-07-07 | Sion Power Corporation | Protection of anodes for electrochemical cells |
DE19983995T1 (de) * | 1999-12-17 | 2003-01-30 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verbessertes, transparentes Elektrodenmaterial zur Steigerung der Qualität von organischen, lichtemittierenden Dioden |
JP3409764B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2003-05-26 | 日本電気株式会社 | 有機el表示パネルの製造方法 |
JP3558578B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2004-08-25 | 日東電工株式会社 | 固定部材およびそれを用いたエレクトロルミネッセンス素子ならびにその背面基板 |
TWI226205B (en) | 2000-03-27 | 2005-01-01 | Semiconductor Energy Lab | Self-light emitting device and method of manufacturing the same |
US7074640B2 (en) | 2000-06-06 | 2006-07-11 | Simon Fraser University | Method of making barrier layers |
US7067346B2 (en) * | 2000-06-06 | 2006-06-27 | Simon Foster University | Titanium carboxylate films for use in semiconductor processing |
MY141175A (en) * | 2000-09-08 | 2010-03-31 | Semiconductor Energy Lab | Light emitting device, method of manufacturing the same, and thin film forming apparatus |
TW471142B (en) * | 2000-09-18 | 2002-01-01 | Ritdisplay Corp | Mass production packaging method |
KR100365519B1 (ko) * | 2000-12-14 | 2002-12-18 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법 |
JP2002237381A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Nagase Inteko Kk | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US7222981B2 (en) * | 2001-02-15 | 2007-05-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | EL display device and electronic device |
US6576351B2 (en) * | 2001-02-16 | 2003-06-10 | Universal Display Corporation | Barrier region for optoelectronic devices |
US6822391B2 (en) * | 2001-02-21 | 2004-11-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device, electronic equipment, and method of manufacturing thereof |
US20050274322A1 (en) * | 2001-02-26 | 2005-12-15 | Lee Chung J | Reactor for producing reactive intermediates for low dielectric constant polymer thin films |
US6881447B2 (en) * | 2002-04-04 | 2005-04-19 | Dielectric Systems, Inc. | Chemically and electrically stabilized polymer films |
JP4147008B2 (ja) * | 2001-03-05 | 2008-09-10 | 株式会社日立製作所 | 有機el素子に用いるフィルム及び有機el素子 |
US7077935B2 (en) * | 2001-05-04 | 2006-07-18 | General Atomics | O2 and H2O barrier material |
JP2002343562A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-29 | Pioneer Electronic Corp | 発光ディスプレイ装置及びその製造方法 |
US7211950B2 (en) * | 2001-05-29 | 2007-05-01 | Choong Hoon Yi | Organic electro luminescent display and manufacturing method thereof |
TWI264244B (en) * | 2001-06-18 | 2006-10-11 | Semiconductor Energy Lab | Light emitting device and method of fabricating the same |
TW548860B (en) * | 2001-06-20 | 2003-08-21 | Semiconductor Energy Lab | Light emitting device and method of manufacturing the same |
JP2003086356A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置及び電子機器 |
JP4244120B2 (ja) * | 2001-06-20 | 2009-03-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及びその作製方法 |
US7211828B2 (en) * | 2001-06-20 | 2007-05-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and electronic apparatus |
TW546857B (en) * | 2001-07-03 | 2003-08-11 | Semiconductor Energy Lab | Light-emitting device, method of manufacturing a light-emitting device, and electronic equipment |
JP2003017244A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Sony Corp | 有機電界発光素子およびその製造方法 |
FR2827396B1 (fr) * | 2001-07-12 | 2003-11-14 | Saint Gobain | Dispositif electrocommandable a proprietes optiques et/ou energetiques variables |
TW564471B (en) * | 2001-07-16 | 2003-12-01 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device |
EP1423991A4 (en) * | 2001-07-27 | 2009-06-17 | Univ Ohio State | METHOD FOR PRODUCING POLYMER LIGHT EMISSION ELEMENTS BY LAMINATION |
JP2003109773A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-04-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置、半導体装置およびそれらの作製方法 |
JP5057619B2 (ja) | 2001-08-01 | 2012-10-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
TW554398B (en) * | 2001-08-10 | 2003-09-21 | Semiconductor Energy Lab | Method of peeling off and method of manufacturing semiconductor device |
JP2004537448A (ja) * | 2001-08-20 | 2004-12-16 | ノバ−プラズマ インコーポレイテッド | 気体および蒸気に対する浸透度の低いコーティング |
DE10140991C2 (de) * | 2001-08-21 | 2003-08-21 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organische Leuchtdiode mit Energieversorgung, Herstellungsverfahren dazu und Anwendungen |
TW558743B (en) | 2001-08-22 | 2003-10-21 | Semiconductor Energy Lab | Peeling method and method of manufacturing semiconductor device |
JP2003086025A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 透明導電膜成膜基板及びその製造方法 |
US6737753B2 (en) * | 2001-09-28 | 2004-05-18 | Osram Opto Semiconductor Gmbh | Barrier stack |
US20090208754A1 (en) * | 2001-09-28 | 2009-08-20 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
JP4166455B2 (ja) * | 2001-10-01 | 2008-10-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 偏光フィルム及び発光装置 |
JP4024510B2 (ja) * | 2001-10-10 | 2007-12-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 記録媒体、および基材 |
US6766682B2 (en) | 2001-10-19 | 2004-07-27 | Desert Cryogenics Llc | Precise measurement system for barrier materials |
KR100944886B1 (ko) * | 2001-10-30 | 2010-03-03 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2003140561A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-16 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP4019690B2 (ja) * | 2001-11-02 | 2007-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
US7404877B2 (en) * | 2001-11-09 | 2008-07-29 | Springworks, Llc | Low temperature zirconia based thermal barrier layer by PVD |
US6597111B2 (en) | 2001-11-27 | 2003-07-22 | Universal Display Corporation | Protected organic optoelectronic devices |
TWI264121B (en) | 2001-11-30 | 2006-10-11 | Semiconductor Energy Lab | A display device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of manufacturing a display device |
US6765351B2 (en) * | 2001-12-20 | 2004-07-20 | The Trustees Of Princeton University | Organic optoelectronic device structures |
US7307119B2 (en) * | 2002-08-01 | 2007-12-11 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Thin film material using pentaerythritol acrylate for encapsulation of organic or polymeric light emitting device, and encapsulation method for LED using the same |
US7012363B2 (en) * | 2002-01-10 | 2006-03-14 | Universal Display Corporation | OLEDs having increased external electroluminescence quantum efficiencies |
JP3942017B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2007-07-11 | 富士フイルム株式会社 | 発光素子 |
US20050174045A1 (en) * | 2002-04-04 | 2005-08-11 | Dielectric Systems, Inc. | Organic light-emitting device display having a plurality of passive polymer layers |
US20050158454A1 (en) * | 2002-04-04 | 2005-07-21 | Dielectric Systems, Inc. | Method and system for forming an organic light-emitting device display having a plurality of passive polymer layers |
US20070216300A1 (en) * | 2002-04-04 | 2007-09-20 | International Display Systems, Inc. | Organic opto-electronic device with environmentally protective barrier |
TW200304955A (en) * | 2002-04-05 | 2003-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method and apparatus for producing resin thin film |
JP2003303682A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Pioneer Electronic Corp | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
US6897474B2 (en) * | 2002-04-12 | 2005-05-24 | Universal Display Corporation | Protected organic electronic devices and methods for making the same |
US6835950B2 (en) | 2002-04-12 | 2004-12-28 | Universal Display Corporation | Organic electronic devices with pressure sensitive adhesive layer |
US8808457B2 (en) * | 2002-04-15 | 2014-08-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets |
DE10222958B4 (de) * | 2002-04-15 | 2007-08-16 | Schott Ag | Verfahren zur Herstellung eines organischen elektro-optischen Elements und organisches elektro-optisches Element |
US8900366B2 (en) | 2002-04-15 | 2014-12-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets |
KR100475849B1 (ko) * | 2002-04-17 | 2005-03-10 | 한국전자통신연구원 | 습식 공정에 의하여 형성된 엔캡슐레이션 박막을 갖춘유기 전기발광 소자 및 그 제조 방법 |
US6869329B2 (en) * | 2002-04-24 | 2005-03-22 | Eastman Kodak Company | Encapsulating OLED devices with transparent cover |
US6949389B2 (en) * | 2002-05-02 | 2005-09-27 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Encapsulation for organic light emitting diodes devices |
US7423375B2 (en) * | 2002-05-07 | 2008-09-09 | Osram Gmbh | Encapsulation for electroluminescent devices |
US7148624B2 (en) * | 2002-05-07 | 2006-12-12 | Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd | Uniform deposition of organic layer |
US7164155B2 (en) * | 2002-05-15 | 2007-01-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US7230271B2 (en) * | 2002-06-11 | 2007-06-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device comprising film having hygroscopic property and transparency and manufacturing method thereof |
CN1675058B (zh) * | 2002-08-07 | 2010-12-29 | 株式会社丰田中央研究所 | 包括粘合层的层压产品和包括保护膜的层压产品 |
US8394522B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-03-12 | Infinite Power Solutions, Inc. | Robust metal film encapsulation |
US8021778B2 (en) | 2002-08-09 | 2011-09-20 | Infinite Power Solutions, Inc. | Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate |
US9793523B2 (en) | 2002-08-09 | 2017-10-17 | Sapurast Research Llc | Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate |
US8404376B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-03-26 | Infinite Power Solutions, Inc. | Metal film encapsulation |
US8236443B2 (en) | 2002-08-09 | 2012-08-07 | Infinite Power Solutions, Inc. | Metal film encapsulation |
US8431264B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-04-30 | Infinite Power Solutions, Inc. | Hybrid thin-film battery |
US20070264564A1 (en) | 2006-03-16 | 2007-11-15 | Infinite Power Solutions, Inc. | Thin film battery on an integrated circuit or circuit board and method thereof |
US8445130B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-05-21 | Infinite Power Solutions, Inc. | Hybrid thin-film battery |
US7215473B2 (en) * | 2002-08-17 | 2007-05-08 | 3M Innovative Properties Company | Enhanced heat mirror films |
US6929864B2 (en) * | 2002-08-17 | 2005-08-16 | 3M Innovative Properties Company | Extensible, visible light-transmissive and infrared-reflective film and methods of making and using the film |
US6933051B2 (en) | 2002-08-17 | 2005-08-23 | 3M Innovative Properties Company | Flexible electrically conductive film |
US6818291B2 (en) | 2002-08-17 | 2004-11-16 | 3M Innovative Properties Company | Durable transparent EMI shielding film |
AU2003263360A1 (en) * | 2002-09-03 | 2004-03-29 | Cambridge Display Technology Limited | Optical device |
US7449246B2 (en) * | 2004-06-30 | 2008-11-11 | General Electric Company | Barrier coatings |
US7015640B2 (en) * | 2002-09-11 | 2006-03-21 | General Electric Company | Diffusion barrier coatings having graded compositions and devices incorporating the same |
US20050181212A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-18 | General Electric Company | Composite articles having diffusion barriers and devices incorporating the same |
US20060208634A1 (en) * | 2002-09-11 | 2006-09-21 | General Electric Company | Diffusion barrier coatings having graded compositions and devices incorporating the same |
US6994933B1 (en) | 2002-09-16 | 2006-02-07 | Oak Ridge Micro-Energy, Inc. | Long life thin film battery and method therefor |
JPWO2004036960A1 (ja) * | 2002-10-16 | 2006-02-16 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
KR100662297B1 (ko) * | 2002-10-18 | 2007-01-02 | 엘지전자 주식회사 | 유기 el 소자 |
EP1416028A1 (en) * | 2002-10-30 | 2004-05-06 | Covion Organic Semiconductors GmbH | New method for the production of monomers useful in the manufacture of semiconductive polymers |
KR101079757B1 (ko) | 2002-10-30 | 2011-11-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 및 반도체장치의 제작방법 |
CN1176565C (zh) * | 2002-11-25 | 2004-11-17 | 清华大学 | 一种有机电致发光器件的封装层及其制备方法和应用 |
US7710019B2 (en) | 2002-12-11 | 2010-05-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Organic light-emitting diode display comprising auxiliary electrodes |
US6975067B2 (en) * | 2002-12-19 | 2005-12-13 | 3M Innovative Properties Company | Organic electroluminescent device and encapsulation method |
US20040121146A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-06-24 | Xiao-Ming He | Composite barrier films and method |
US7372069B2 (en) * | 2003-01-14 | 2008-05-13 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Interface for UV-curable adhesives |
EP1597408B1 (en) * | 2003-02-27 | 2012-12-05 | Symmorphix, Inc. | Method for forming dielectric barrier layers |
CN1778002A (zh) * | 2003-03-04 | 2006-05-24 | 陶氏康宁公司 | 有机发光二极管 |
EP1466997B1 (en) * | 2003-03-10 | 2012-02-22 | OSRAM Opto Semiconductors GmbH | Method for forming and arrangement of barrier layers on a polymeric substrate |
GB0306409D0 (en) * | 2003-03-20 | 2003-04-23 | Cambridge Display Tech Ltd | Electroluminescent device |
JP4138672B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2008-08-27 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法 |
US7018713B2 (en) * | 2003-04-02 | 2006-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Flexible high-temperature ultrabarrier |
US7648925B2 (en) | 2003-04-11 | 2010-01-19 | Vitex Systems, Inc. | Multilayer barrier stacks and methods of making multilayer barrier stacks |
US6998776B2 (en) * | 2003-04-16 | 2006-02-14 | Corning Incorporated | Glass package that is hermetically sealed with a frit and method of fabrication |
US20040206953A1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-10-21 | Robert Morena | Hermetically sealed glass package and method of fabrication |
US7344901B2 (en) * | 2003-04-16 | 2008-03-18 | Corning Incorporated | Hermetically sealed package and method of fabricating of a hermetically sealed package |
CN1791989A (zh) * | 2003-05-16 | 2006-06-21 | 纳幕尔杜邦公司 | 通过原子层沉积形成的塑料基材阻挡层膜 |
US8728285B2 (en) | 2003-05-23 | 2014-05-20 | Demaray, Llc | Transparent conductive oxides |
US7238628B2 (en) * | 2003-05-23 | 2007-07-03 | Symmorphix, Inc. | Energy conversion and storage films and devices by physical vapor deposition of titanium and titanium oxides and sub-oxides |
EP1633801B1 (en) * | 2003-05-30 | 2008-04-09 | MERCK PATENT GmbH | Semiconducting polymer |
CN101218691A (zh) * | 2003-05-30 | 2008-07-09 | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 | 柔性多层封装材料和具有该封装材料的电子器件 |
US7535017B2 (en) * | 2003-05-30 | 2009-05-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Flexible multilayer packaging material and electronic devices with the packaging material |
US20040238846A1 (en) * | 2003-05-30 | 2004-12-02 | Georg Wittmann | Organic electronic device |
US20060159892A1 (en) * | 2003-06-16 | 2006-07-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Barrier laminate for an electroluminescent device |
KR100542995B1 (ko) * | 2003-07-29 | 2006-01-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 자외선 안정제를 포함하는 유기 전계 발광 소자 |
US6998648B2 (en) * | 2003-08-25 | 2006-02-14 | Universal Display Corporation | Protected organic electronic device structures incorporating pressure sensitive adhesive and desiccant |
JP4561201B2 (ja) * | 2003-09-04 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
US20050051763A1 (en) * | 2003-09-05 | 2005-03-10 | Helicon Research, L.L.C. | Nanophase multilayer barrier and process |
JP4479381B2 (ja) | 2003-09-24 | 2010-06-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
US7297414B2 (en) | 2003-09-30 | 2007-11-20 | Fujifilm Corporation | Gas barrier film and method for producing the same |
US7635525B2 (en) * | 2003-09-30 | 2009-12-22 | Fujifilm Corporation | Gas barrier laminate film and method for producing the same |
JP2005116483A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2005123012A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Pioneer Electronic Corp | 有機エレクトロルミネセンス表示パネルとその製造方法 |
US7199518B2 (en) * | 2003-10-21 | 2007-04-03 | Corning Incorporated | OLED structures with barrier layer and strain relief |
EP2259300B1 (en) * | 2003-10-28 | 2020-04-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacture of semiconductor device |
KR100556086B1 (ko) * | 2003-11-15 | 2006-03-07 | 한국전자통신연구원 | 엔캡슐레이션된 유기 발광 디스플레이 판넬 및 그의 제작방법 |
EP1685748A1 (en) * | 2003-11-18 | 2006-08-02 | 3M Innovative Properties Company | A method of making an electroluminescent device including a color filter |
KR101193201B1 (ko) * | 2003-11-18 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 색 전환 소자를 포함하는 전기발광 장치 및 전기발광 장치의 제조 방법 |
WO2005051525A1 (en) * | 2003-11-25 | 2005-06-09 | Polyvalor, Limited Partnership | Permeation barrier coating or layer with modulated properties and methods of making the same |
GB0329364D0 (en) | 2003-12-19 | 2004-01-21 | Cambridge Display Tech Ltd | Optical device |
US7495644B2 (en) * | 2003-12-26 | 2009-02-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and method for manufacturing display device |
US10629947B2 (en) | 2008-08-05 | 2020-04-21 | Sion Power Corporation | Electrochemical cell |
US7279063B2 (en) * | 2004-01-16 | 2007-10-09 | Eastman Kodak Company | Method of making an OLED display device with enhanced optical and mechanical properties |
KR100553758B1 (ko) * | 2004-02-02 | 2006-02-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 |
WO2005076359A1 (en) | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
KR100637147B1 (ko) * | 2004-02-17 | 2006-10-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막의 밀봉부를 갖는 유기 전계 발광 표시장치, 그제조방법 및 막 형성장치 |
US20050214556A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd | Organic-inorganic composite composition, plastic substrate, gas barrier laminate film, and image display device |
JP2007526601A (ja) * | 2004-02-20 | 2007-09-13 | オー・ツェー・エリコン・バルザース・アクチェンゲゼルシャフト | 拡散バリア層および拡散バリア層の製造方法 |
US7135352B2 (en) * | 2004-02-26 | 2006-11-14 | Eastman Kodak Company | Method of fabricating a cover plate bonded over an encapsulated OLEDs |
TWI406690B (zh) * | 2004-02-26 | 2013-09-01 | Semiconductor Energy Lab | 運動器具,娛樂工具,和訓練工具 |
JP4276109B2 (ja) * | 2004-03-01 | 2009-06-10 | ローム株式会社 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
EP1577949A1 (en) * | 2004-03-16 | 2005-09-21 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Flexible organic electronic device and methods for preparing the same |
US20050212419A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Eastman Kodak Company | Encapsulating oled devices |
EP1583164A1 (en) * | 2004-04-01 | 2005-10-05 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Polymer optoelectronic device and methods for making the same |
US7202504B2 (en) | 2004-05-20 | 2007-04-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting element and display device |
GB0411572D0 (en) * | 2004-05-24 | 2004-06-23 | Cambridge Display Tech Ltd | Light-emitting device |
GB0411580D0 (en) * | 2004-05-24 | 2004-06-23 | Cambridge Display Tech Ltd | Light-emitting device |
GB0411582D0 (en) * | 2004-05-24 | 2004-06-23 | Cambridge Display Tech Ltd | Metal complex |
DE102004026618A1 (de) * | 2004-06-01 | 2005-12-29 | Siemens Ag | Röntgendetektor |
US20050269943A1 (en) * | 2004-06-04 | 2005-12-08 | Michael Hack | Protected organic electronic devices and methods for making the same |
US20050281948A1 (en) * | 2004-06-17 | 2005-12-22 | Eastman Kodak Company | Vaporizing temperature sensitive materials |
US8034419B2 (en) * | 2004-06-30 | 2011-10-11 | General Electric Company | Method for making a graded barrier coating |
US20090110892A1 (en) * | 2004-06-30 | 2009-04-30 | General Electric Company | System and method for making a graded barrier coating |
KR100601324B1 (ko) * | 2004-07-27 | 2006-07-14 | 엘지전자 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 |
GB0418019D0 (en) * | 2004-08-12 | 2004-09-15 | Cdt Oxford Ltd | Method of making an optical device |
US20060040091A1 (en) * | 2004-08-23 | 2006-02-23 | Bletsos Ioannis V | Breathable low-emissivity metalized sheets |
US20060063015A1 (en) * | 2004-09-23 | 2006-03-23 | 3M Innovative Properties Company | Protected polymeric film |
US7342356B2 (en) * | 2004-09-23 | 2008-03-11 | 3M Innovative Properties Company | Organic electroluminescent device having protective structure with boron oxide layer and inorganic barrier layer |
TW200614854A (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-01 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | Organic electro-luminescence display panel and fabricating process thereof |
EP1815973A4 (en) * | 2004-11-18 | 2009-02-11 | Mitsui Chemicals Inc | LAMINATE COMPRISING A HYDROGEN BONDED MULTILAYER FILM, SELF-SUPPORTING THIN FILM PROVIDED THEREFROM AND THEIR MANUFACTURING AND USE PROCESS |
KR100637197B1 (ko) | 2004-11-25 | 2006-10-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 표시장치 및 그 제조방법 |
KR100637198B1 (ko) | 2004-11-25 | 2006-10-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 표시장치 및 그 제조방법 |
US7959769B2 (en) | 2004-12-08 | 2011-06-14 | Infinite Power Solutions, Inc. | Deposition of LiCoO2 |
KR101021536B1 (ko) | 2004-12-08 | 2011-03-16 | 섬모픽스, 인코포레이티드 | LiCoO2의 증착 |
GB0427266D0 (en) | 2004-12-13 | 2005-01-12 | Cambridge Display Tech Ltd | Phosphorescent OLED |
US7432651B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-10-07 | Optrex Corporation | Organic EL element, organic EL display device and method for fabricating them |
US9179518B2 (en) * | 2004-12-24 | 2015-11-03 | Cambridge Display Technology Limited | Light emissive device |
US8569948B2 (en) * | 2004-12-28 | 2013-10-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Electroluminescent devices and methods of making electroluminescent devices including an optical spacer |
GB0428444D0 (en) * | 2004-12-29 | 2005-02-02 | Cambridge Display Tech Ltd | Conductive polymer compositions in opto-electrical devices |
GB2460358B (en) | 2004-12-29 | 2010-01-13 | Cambridge Display Tech Ltd | Rigid amines |
GB0428445D0 (en) * | 2004-12-29 | 2005-02-02 | Cambridge Display Tech Ltd | Blue-shifted triarylamine polymer |
US20060153997A1 (en) * | 2005-01-07 | 2006-07-13 | Eastman Kodak Company | Method of varying wavelengths of liquid crystals |
TWI253879B (en) * | 2005-02-02 | 2006-04-21 | Au Optronics Corp | Encapsulation structure of organic electroluminescence device |
JP4425167B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2010-03-03 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP4663381B2 (ja) * | 2005-04-12 | 2011-04-06 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子 |
GB0507684D0 (en) * | 2005-04-15 | 2005-05-25 | Cambridge Display Tech Ltd | Pulsed driven displays |
US20060250084A1 (en) * | 2005-05-04 | 2006-11-09 | Eastman Kodak Company | OLED device with improved light output |
JP4698310B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2011-06-08 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US20070020451A1 (en) * | 2005-07-20 | 2007-01-25 | 3M Innovative Properties Company | Moisture barrier coatings |
US7829147B2 (en) * | 2005-08-18 | 2010-11-09 | Corning Incorporated | Hermetically sealing a device without a heat treating step and the resulting hermetically sealed device |
US20070040501A1 (en) | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Aitken Bruce G | Method for inhibiting oxygen and moisture degradation of a device and the resulting device |
US20080206589A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-08-28 | Bruce Gardiner Aitken | Low tempertature sintering using Sn2+ containing inorganic materials to hermetically seal a device |
US7722929B2 (en) * | 2005-08-18 | 2010-05-25 | Corning Incorporated | Sealing technique for decreasing the time it takes to hermetically seal a device and the resulting hermetically sealed device |
US7767498B2 (en) | 2005-08-25 | 2010-08-03 | Vitex Systems, Inc. | Encapsulated devices and method of making |
EP2278047A1 (en) | 2005-08-31 | 2011-01-26 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Plasma discharge treatment apparatus, and method of manufacturing gas barrier film |
GB0518968D0 (en) * | 2005-09-16 | 2005-10-26 | Cdt Oxford Ltd | Organic light-emitting device |
US7549905B2 (en) * | 2005-09-30 | 2009-06-23 | International Display Systems, Inc. | Method of encapsulating an organic light emitting device |
US20070096646A1 (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Van Nice Harold L | Electroluminescent displays |
US8193705B2 (en) * | 2005-11-02 | 2012-06-05 | Ifire Ip Corporation | Laminated conformal seal for electroluminescent displays |
US7621794B2 (en) * | 2005-11-09 | 2009-11-24 | International Display Systems, Inc. | Method of encapsulating an organic light-emitting device |
GB2432256B (en) * | 2005-11-14 | 2009-12-23 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic optoelectrical device |
US7508130B2 (en) * | 2005-11-18 | 2009-03-24 | Eastman Kodak Company | OLED device having improved light output |
TWI301729B (en) * | 2005-12-02 | 2008-10-01 | Au Optronics Corp | Dual emission display |
US7537504B2 (en) * | 2005-12-06 | 2009-05-26 | Corning Incorporated | Method of encapsulating a display element with frit wall and laser beam |
US7597603B2 (en) * | 2005-12-06 | 2009-10-06 | Corning Incorporated | Method of encapsulating a display element |
KR100759810B1 (ko) * | 2005-12-08 | 2007-09-20 | 한국전자통신연구원 | 나노입자를 포함하는 전자소자용 광산란 박막 및 이를포함하는 박막 트랜지스터용 접합 구조와 이들의 제조 방법 |
US20070131944A1 (en) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Au Optronics Corporation | Dual organic electroluminescent display and method of making same |
GB0526185D0 (en) * | 2005-12-22 | 2006-02-01 | Cambridge Display Tech Ltd | Electronic device |
GB2433509A (en) * | 2005-12-22 | 2007-06-27 | Cambridge Display Tech Ltd | Arylamine polymer |
GB0526393D0 (en) * | 2005-12-23 | 2006-02-08 | Cdt Oxford Ltd | Light emissive device |
US20070164673A1 (en) * | 2006-01-18 | 2007-07-19 | Au Optronics Corporation | Organic electro-luminescent display device and method for making same |
KR100682962B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2007-02-15 | 삼성전자주식회사 | 평판표시장치 및 그 제조방법 |
KR100707210B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 유기발광 디스플레이 및 그 제조방법 |
KR100718152B1 (ko) * | 2006-02-11 | 2007-05-14 | 삼성전자주식회사 | 유기발광다이오드 및 그 제조방법 |
CN101400784B (zh) * | 2006-03-17 | 2013-09-11 | 学校法人近畿大学 | 生物体亲和性透明片材及其制造方法以及细胞片 |
JP4717674B2 (ja) | 2006-03-27 | 2011-07-06 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子 |
KR20070104158A (ko) * | 2006-04-21 | 2007-10-25 | 삼성전자주식회사 | 전자소자용 보호막 및 그 제조방법 |
GB2440934B (en) * | 2006-04-28 | 2009-12-16 | Cdt Oxford Ltd | Opto-electrical polymers and devices |
US20080006819A1 (en) * | 2006-06-19 | 2008-01-10 | 3M Innovative Properties Company | Moisture barrier coatings for organic light emitting diode devices |
DE102007031416B4 (de) * | 2006-07-03 | 2013-01-17 | Sentech Instruments Gmbh | Substrat aus einem polymeren Werkstoff und mit einer wasser- und sauerstoff- undurchlässigen Barrierebeschichtung sowie dazugehöriges Herstellungsverfahren |
US20080124558A1 (en) * | 2006-08-18 | 2008-05-29 | Heather Debra Boek | Boro-silicate glass frits for hermetic sealing of light emitting device displays |
US20080048178A1 (en) * | 2006-08-24 | 2008-02-28 | Bruce Gardiner Aitken | Tin phosphate barrier film, method, and apparatus |
GB0617167D0 (en) | 2006-08-31 | 2006-10-11 | Cdt Oxford Ltd | Compounds for use in opto-electrical devices |
GB0617723D0 (en) * | 2006-09-08 | 2006-10-18 | Cambridge Display Tech Ltd | Conductive polymer compositions in opto-electrical devices |
US8088502B2 (en) * | 2006-09-20 | 2012-01-03 | Battelle Memorial Institute | Nanostructured thin film optical coatings |
JP2010505044A (ja) | 2006-09-29 | 2010-02-18 | インフィニット パワー ソリューションズ, インコーポレイテッド | フレキシブル基板のマスキングおよびフレキシブル基板上にバッテリ層を堆積させるための材料拘束 |
DE102006046961A1 (de) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Leibniz-Institut Für Neue Materialien Gemeinnützige Gmbh | Herstellung einer flexiblen, gasdichten und transparenten Verbundfolie |
GB2442724B (en) * | 2006-10-10 | 2009-10-21 | Cdt Oxford Ltd | Light emissive device |
GB0620045D0 (en) * | 2006-10-10 | 2006-11-22 | Cdt Oxford Ltd | Otpo-electrical devices and methods of making the same |
US20080100201A1 (en) * | 2006-10-31 | 2008-05-01 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Organic electroluminescence device and fabricating method thereof |
US20080102223A1 (en) * | 2006-11-01 | 2008-05-01 | Sigurd Wagner | Hybrid layers for use in coatings on electronic devices or other articles |
US20080100202A1 (en) * | 2006-11-01 | 2008-05-01 | Cok Ronald S | Process for forming oled conductive protective layer |
US8197781B2 (en) | 2006-11-07 | 2012-06-12 | Infinite Power Solutions, Inc. | Sputtering target of Li3PO4 and method for producing same |
US8115326B2 (en) | 2006-11-30 | 2012-02-14 | Corning Incorporated | Flexible substrates having a thin-film barrier |
US8617748B2 (en) * | 2006-12-04 | 2013-12-31 | Sion Power Corporation | Separation of electrolytes |
US20080138538A1 (en) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | General Electric Company | Barrier layer, composite article comprising the same, electroactive device, and method |
US7750558B2 (en) * | 2006-12-27 | 2010-07-06 | Global Oled Technology Llc | OLED with protective electrode |
US7646144B2 (en) * | 2006-12-27 | 2010-01-12 | Eastman Kodak Company | OLED with protective bi-layer electrode |
JP5519293B2 (ja) | 2006-12-28 | 2014-06-11 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 薄膜金属層形成のための核形成層 |
JP5249240B2 (ja) * | 2006-12-29 | 2013-07-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 金属アルコキシド含有フィルムの硬化方法 |
CN101573468B (zh) * | 2006-12-29 | 2013-10-30 | 3M创新有限公司 | 制备无机或无机/有机复合膜的方法 |
US8174187B2 (en) | 2007-01-15 | 2012-05-08 | Global Oled Technology Llc | Light-emitting device having improved light output |
WO2008096616A1 (ja) | 2007-02-05 | 2008-08-14 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 透明ガスバリア性フィルム及びその製造方法 |
JPWO2008096615A1 (ja) * | 2007-02-05 | 2010-05-20 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明ガスバリア性フィルム及びその製造方法 |
JPWO2008096617A1 (ja) | 2007-02-06 | 2010-05-20 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明ガスバリア性フィルム及び透明ガスバリア性フィルムの製造方法 |
KR101440105B1 (ko) * | 2007-02-23 | 2014-09-17 | 삼성전자주식회사 | 멀티 디스플레이 장치 |
JP2010522828A (ja) * | 2007-03-28 | 2010-07-08 | ダウ コ−ニング コ−ポレ−ション | ケイ素及び炭素を含むバリヤー層のロールツーロールプラズマ強化化学蒸着法 |
GB2448175B (en) * | 2007-04-04 | 2009-07-22 | Cambridge Display Tech Ltd | Thin film transistor |
US7560747B2 (en) * | 2007-05-01 | 2009-07-14 | Eastman Kodak Company | Light-emitting device having improved light output |
EP2153479A1 (en) * | 2007-05-24 | 2010-02-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Encapsulation for an electronic thin film device |
KR100875099B1 (ko) * | 2007-06-05 | 2008-12-19 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 장치 및 이의 제조 방법 |
KR101453082B1 (ko) * | 2007-06-15 | 2014-10-28 | 삼성전자주식회사 | 교류 구동형 양자점 전계발광소자 |
JP5208591B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2013-06-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置、及び照明装置 |
JP2009028949A (ja) | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Fujifilm Corp | バリア性フィルム基板とその製造方法、および有機デバイス |
KR100880447B1 (ko) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | 한국전자통신연구원 | 플라스틱 기판의 형성 방법 |
JP5232528B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 環境感受性デバイスの封止方法および画像表示素子 |
JP2009076232A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Fujifilm Corp | 環境感受性デバイス、環境感受性素子の封止方法 |
KR20090030083A (ko) * | 2007-09-19 | 2009-03-24 | 삼성전자주식회사 | 전자소자용 보호막 및 이를 구비하는 유기발광 표시장치 |
US8033882B2 (en) * | 2007-09-19 | 2011-10-11 | Fujifilm Corporation | Light-emitting device or display device, and method for producing them |
US20090081356A1 (en) | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Fedorovskaya Elena A | Process for forming thin film encapsulation layers |
US20090081360A1 (en) | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Fedorovskaya Elena A | Oled display encapsulation with the optical property |
US20090079328A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Fedorovskaya Elena A | Thin film encapsulation containing zinc oxide |
US20090098293A1 (en) * | 2007-10-15 | 2009-04-16 | Applied Materials, Inc. | Method of providing an encapsulation layer stack, coating device and coating system |
EP2051311A1 (en) * | 2007-10-15 | 2009-04-22 | Applied Materials, Inc. | Method of providing an encapsulation layer stack, coating device and coating system |
GB2454890B (en) | 2007-11-21 | 2010-08-25 | Limited Cambridge Display Technology | Light-emitting device and materials therefor |
GB2455746B (en) * | 2007-12-19 | 2011-03-09 | Cambridge Display Tech Ltd | Electronic devices and methods of making the same using solution processing techniques |
GB2455747B (en) * | 2007-12-19 | 2011-02-09 | Cambridge Display Tech Ltd | Electronic devices and methods of making the same using solution processing techniques |
US8268488B2 (en) | 2007-12-21 | 2012-09-18 | Infinite Power Solutions, Inc. | Thin film electrolyte for thin film batteries |
KR100832847B1 (ko) * | 2007-12-21 | 2008-05-28 | (주)누리셀 | 평탄화 유기 박막 및 컨포멀 유기 박막을 포함하는 다층봉지막 |
EP2225406A4 (en) | 2007-12-21 | 2012-12-05 | Infinite Power Solutions Inc | PROCEDURE FOR SPUTTER TARGETS FOR ELECTROLYTE FILMS |
JP2011508062A (ja) * | 2007-12-28 | 2011-03-10 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性封入フィルムシステム |
US8518581B2 (en) | 2008-01-11 | 2013-08-27 | Inifinite Power Solutions, Inc. | Thin film encapsulation for thin film batteries and other devices |
GB2456788B (en) | 2008-01-23 | 2011-03-09 | Cambridge Display Tech Ltd | White light emitting material |
JP4536784B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2010-09-01 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法 |
EP2086034A1 (en) | 2008-02-01 | 2009-08-05 | Nederlandse Centrale Organisatie Voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Electronic device and method of manufacturing thereof |
EP2091096A1 (en) | 2008-02-15 | 2009-08-19 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Encapsulated electronic device and method of manufacturing |
GB0803950D0 (en) | 2008-03-03 | 2008-04-09 | Cambridge Display Technology O | Solvent for printing composition |
US7951620B2 (en) | 2008-03-13 | 2011-05-31 | Applied Materials, Inc. | Water-barrier encapsulation method |
GB2458454B (en) | 2008-03-14 | 2011-03-16 | Cambridge Display Tech Ltd | Electronic devices and methods of making the same using solution processing techniques |
JP2009224190A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | バリア性積層体とその製造方法、デバイスおよび光学部材 |
JP5595377B2 (ja) | 2008-04-02 | 2014-09-24 | インフィニット パワー ソリューションズ, インコーポレイテッド | エネルギー取入れに関連したエネルギー貯蔵デバイスに対する受動的過不足電圧の制御および保護 |
KR20090107882A (ko) * | 2008-04-10 | 2009-10-14 | 삼성전자주식회사 | 고정층을 포함하는 경사 조성 봉지 박막 및 그의 제조방법 |
CN104141112B (zh) * | 2008-05-07 | 2017-09-19 | 普林斯顿大学理事会 | 用于电子器件或其他物品上的涂层中的混合层 |
GB2459895B (en) | 2008-05-09 | 2011-04-27 | Cambridge Display Technology Limited | Organic light emissive device |
US20090278454A1 (en) * | 2008-05-12 | 2009-11-12 | Fedorovskaya Elena A | Oled display encapsulated with a filter |
GB2460822A (en) * | 2008-06-03 | 2009-12-16 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic electroluminescent device |
US8350451B2 (en) | 2008-06-05 | 2013-01-08 | 3M Innovative Properties Company | Ultrathin transparent EMI shielding film comprising a polymer basecoat and crosslinked polymer transparent dielectric layer |
US8448468B2 (en) | 2008-06-11 | 2013-05-28 | Corning Incorporated | Mask and method for sealing a glass envelope |
KR20110033210A (ko) * | 2008-06-30 | 2011-03-30 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 무기 또는 무기/유기 혼성 장벽 필름 제조 방법 |
GB2461527B (en) * | 2008-07-01 | 2011-08-03 | Limited Cambridge Display Technology | Organic electronic device |
GB2462410B (en) | 2008-07-21 | 2011-04-27 | Cambridge Display Tech Ltd | Compositions and methods for manufacturing light-emissive devices |
GB2462122B (en) | 2008-07-25 | 2013-04-03 | Cambridge Display Tech Ltd | Electroluminescent materials |
GB0814161D0 (en) | 2008-08-01 | 2008-09-10 | Cambridge Display Tech Ltd | Blue-light emitting material |
GB2462314B (en) * | 2008-08-01 | 2011-03-16 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic light-emiting materials and devices |
EP2319101B1 (en) | 2008-08-11 | 2015-11-04 | Sapurast Research LLC | Energy device with integral collector surface for electromagnetic energy harvesting and method thereof |
GB2462844B (en) | 2008-08-21 | 2011-04-20 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic electroluminescent device |
GB2463040B (en) | 2008-08-28 | 2012-10-31 | Cambridge Display Tech Ltd | Light-emitting material |
GB2463077B (en) | 2008-09-02 | 2012-11-07 | Sumitomo Chemical Co | Electroluminescent material and device |
CN102150185B (zh) | 2008-09-12 | 2014-05-28 | 无穷动力解决方案股份有限公司 | 具有经由电磁能进行数据通信的组成导电表面的能量装置及其方法 |
US8033885B2 (en) * | 2008-09-30 | 2011-10-11 | General Electric Company | System and method for applying a conformal barrier coating with pretreating |
US20100080929A1 (en) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | General Electric Company | System and method for applying a conformal barrier coating |
JP2010087339A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | 有機太陽電池素子 |
GB2464111B (en) | 2008-10-02 | 2011-06-15 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic electroluminescent device |
WO2010042594A1 (en) * | 2008-10-08 | 2010-04-15 | Infinite Power Solutions, Inc. | Environmentally-powered wireless sensor module |
JP2010093172A (ja) | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Fujifilm Corp | 封止デバイス |
EP2178133B1 (en) | 2008-10-16 | 2019-09-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Flexible Light-Emitting Device, Electronic Device, and Method for Manufacturing Flexible-Light Emitting Device |
US20100095705A1 (en) | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Burkhalter Robert S | Method for forming a dry glass-based frit |
EP2192636A1 (en) | 2008-11-26 | 2010-06-02 | Rijksuniversiteit Groningen | Modulatable light-emitting diode |
WO2010065564A1 (en) * | 2008-12-02 | 2010-06-10 | Georgia Tech Research Corporation | Environmental barrier coating for organic semiconductor devices and methods thereof |
US8102119B2 (en) * | 2008-12-17 | 2012-01-24 | General Electric Comapny | Encapsulated optoelectronic device and method for making the same |
US8350470B2 (en) * | 2008-12-17 | 2013-01-08 | General Electric Company | Encapsulation structures of organic electroluminescence devices |
KR20100071650A (ko) * | 2008-12-19 | 2010-06-29 | 삼성전자주식회사 | 가스차단성박막, 이를 포함하는 전자소자 및 이의 제조방법 |
US9337446B2 (en) | 2008-12-22 | 2016-05-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Encapsulated RGB OLEDs having enhanced optical output |
US9184410B2 (en) | 2008-12-22 | 2015-11-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Encapsulated white OLEDs having enhanced optical output |
EP2202819A1 (en) | 2008-12-29 | 2010-06-30 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Electro-optic device and method for manufacturing the same |
US20100167002A1 (en) * | 2008-12-30 | 2010-07-01 | Vitex Systems, Inc. | Method for encapsulating environmentally sensitive devices |
GB2466842B (en) | 2009-01-12 | 2011-10-26 | Cambridge Display Tech Ltd | Interlayer formulation for flat films |
GB2466843A (en) | 2009-01-12 | 2010-07-14 | Cambridge Display Tech Ltd | Interlayer formulation for flat films |
JP5470969B2 (ja) | 2009-03-30 | 2014-04-16 | 株式会社マテリアルデザインファクトリ− | ガスバリアフィルム、それを含む電子デバイス、ガスバリア袋、およびガスバリアフィルムの製造方法 |
WO2010117046A1 (ja) | 2009-04-09 | 2010-10-14 | 住友化学株式会社 | ガスバリア性積層フィルム |
GB0906554D0 (en) | 2009-04-16 | 2009-05-20 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic electroluminescent device |
GB2469500B (en) | 2009-04-16 | 2012-06-06 | Cambridge Display Tech Ltd | Method of forming a polymer |
GB2469497B (en) | 2009-04-16 | 2012-04-11 | Cambridge Display Tech Ltd | Polymers comprising fluorene derivative repeat units and their preparation |
GB2469498B (en) | 2009-04-16 | 2012-03-07 | Cambridge Display Tech Ltd | Polymer and polymerisation method |
MX2011011016A (es) * | 2009-04-22 | 2012-01-25 | Shat R Shield Inc | Diodo emisor de luz recubierto de silicona. |
US8697458B2 (en) * | 2009-04-22 | 2014-04-15 | Shat-R-Shield, Inc. | Silicone coated light-emitting diode |
US8823154B2 (en) * | 2009-05-08 | 2014-09-02 | The Regents Of The University Of California | Encapsulation architectures for utilizing flexible barrier films |
JP2010272270A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示装置 |
CN102439778B (zh) * | 2009-05-20 | 2016-02-10 | 萨普拉斯特研究有限责任公司 | 用于将电化学器件集成到固定设施之内或之上的方法 |
JP5753534B2 (ja) * | 2009-06-01 | 2015-07-22 | 住友化学株式会社 | 電子デバイス用の改良電極のための組成物 |
EP2267818B1 (en) | 2009-06-22 | 2017-03-22 | Novaled GmbH | Organic lighting device |
TW201110802A (en) * | 2009-06-24 | 2011-03-16 | Seiko Epson Corp | Electro-optical device, electronic device, and illumination apparatus |
US20110008525A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | General Electric Company | Condensation and curing of materials within a coating system |
EP2282360A1 (en) | 2009-08-06 | 2011-02-09 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Opto-electric device and method for manufacturing the same |
EP2284922A1 (en) | 2009-08-06 | 2011-02-16 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Method of manufacturing an opto-electric device |
JP5492998B2 (ja) | 2009-09-01 | 2014-05-14 | インフィニット パワー ソリューションズ, インコーポレイテッド | 薄膜バッテリを組み込んだプリント回路基板 |
EP2292339A1 (en) | 2009-09-07 | 2011-03-09 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Coating method and coating apparatus |
FR2949776B1 (fr) | 2009-09-10 | 2013-05-17 | Saint Gobain Performance Plast | Element en couches pour l'encapsulation d'un element sensible |
US9660218B2 (en) * | 2009-09-15 | 2017-05-23 | Industrial Technology Research Institute | Package of environmental sensitive element |
KR101058109B1 (ko) * | 2009-09-15 | 2011-08-24 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20110029881A (ko) * | 2009-09-16 | 2011-03-23 | 한국전자통신연구원 | 플라스틱 기판 및 이의 제조방법 |
US9472783B2 (en) * | 2009-10-12 | 2016-10-18 | General Electric Company | Barrier coating with reduced process time |
GB2475247B (en) | 2009-11-10 | 2012-06-13 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic optoelectronic device and method |
GB2475246B (en) | 2009-11-10 | 2012-02-29 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic opto-electronic device and method |
KR101097321B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 장치 및 이의 제조 방법 |
JP5611811B2 (ja) | 2009-12-31 | 2014-10-22 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | バリア・フィルム複合体及びこれを含む表示装置 |
JP5611812B2 (ja) | 2009-12-31 | 2014-10-22 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | バリア・フィルム複合体、これを含む表示装置及び表示装置の製造方法 |
US8590338B2 (en) | 2009-12-31 | 2013-11-26 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Evaporator with internal restriction |
JP5290268B2 (ja) * | 2009-12-31 | 2013-09-18 | 三星ディスプレイ株式會社 | バリア・フィルム複合体、これを含む表示装置、バリア・フィルム複合体の製造方法、及びこれを含む表示装置の製造方法 |
KR20120116968A (ko) * | 2010-01-06 | 2012-10-23 | 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨 | 탄성중합체성 폴리실록산 보호 층을 갖는 내습성 태양광발전 디바이스 |
JP5381734B2 (ja) * | 2010-01-14 | 2014-01-08 | コニカミノルタ株式会社 | バリア性フィルム及び有機電子デバイス |
US9000442B2 (en) * | 2010-01-20 | 2015-04-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device, flexible light-emitting device, electronic device, and method for manufacturing light-emitting device and flexible-light emitting device |
TWI589042B (zh) | 2010-01-20 | 2017-06-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 發光裝置,撓性發光裝置,電子裝置,照明設備,以及發光裝置和撓性發光裝置的製造方法 |
GB2480323A (en) | 2010-05-14 | 2011-11-16 | Cambridge Display Tech Ltd | OLED hole transport layer |
GB2484253B (en) | 2010-05-14 | 2013-09-11 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic light-emitting composition and device |
GB2487342B (en) | 2010-05-14 | 2013-06-19 | Cambridge Display Tech Ltd | Host polymer comprising conjugated repeat units and non-conjugated repeat units for light-emitting compositions, and organic light-emitting devices |
CN102947976B (zh) | 2010-06-07 | 2018-03-16 | 萨普拉斯特研究有限责任公司 | 可充电、高密度的电化学设备 |
EP2395572A1 (de) | 2010-06-10 | 2011-12-14 | Bayer MaterialScience AG | Schichtaufbau umfassend elektrotechnische Bauelemente |
WO2011161424A1 (en) | 2010-06-25 | 2011-12-29 | Cambridge Display Technology Limited | Organic light-emitting device and method |
GB2499969A (en) | 2010-06-25 | 2013-09-11 | Cambridge Display Tech Ltd | Composition comprising an organic semiconducting material and a triplet-accepting material |
GB2483269A (en) | 2010-09-02 | 2012-03-07 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic Electroluminescent Device containing Fluorinated Compounds |
TWI540939B (zh) | 2010-09-14 | 2016-07-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 固態發光元件,發光裝置和照明裝置 |
JP2012084305A (ja) | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 有機el装置 |
WO2012049594A1 (en) * | 2010-10-12 | 2012-04-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Organic electronic device with encapsulation |
GB2484537A (en) | 2010-10-15 | 2012-04-18 | Cambridge Display Tech Ltd | Light-emitting composition |
GB2485001A (en) | 2010-10-19 | 2012-05-02 | Cambridge Display Tech Ltd | OLEDs |
KR101430173B1 (ko) * | 2010-10-19 | 2014-08-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
JP5827104B2 (ja) | 2010-11-19 | 2015-12-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 照明装置 |
KR101811341B1 (ko) * | 2010-12-09 | 2017-12-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
JP6118020B2 (ja) | 2010-12-16 | 2017-04-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
CN103339167B (zh) | 2011-01-31 | 2018-01-12 | 剑桥显示技术有限公司 | 聚合物 |
GB2494096B (en) | 2011-01-31 | 2013-12-18 | Cambridge Display Tech Ltd | Polymer |
US8735874B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-05-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device, display device, and method for manufacturing the same |
KR101922603B1 (ko) | 2011-03-04 | 2018-11-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치, 조명 장치, 기판, 기판의 제작 방법 |
DE102011005234A1 (de) | 2011-03-08 | 2012-09-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Gasbarriereschichtsystem |
GB201105582D0 (en) | 2011-04-01 | 2011-05-18 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic light-emitting device and method |
FR2973939A1 (fr) | 2011-04-08 | 2012-10-12 | Saint Gobain | Element en couches pour l’encapsulation d’un element sensible |
FR2973946B1 (fr) * | 2011-04-08 | 2013-03-22 | Saint Gobain | Dispositif électronique a couches |
GB201107905D0 (en) | 2011-05-12 | 2011-06-22 | Cambridge Display Tech Ltd | Light-emitting material, composition and device |
TWI450650B (zh) | 2011-05-16 | 2014-08-21 | Ind Tech Res Inst | 可撓式基材及可撓式電子裝置 |
KR101807911B1 (ko) | 2011-06-17 | 2017-12-11 | 시온 파워 코퍼레이션 | 전극 도금 기술 |
GB201110565D0 (en) | 2011-06-22 | 2011-08-03 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic optoelectronic material, device and method |
US9562136B2 (en) | 2011-07-04 | 2017-02-07 | Cambridge Display Technology, Ltd. | Polymers, monomers and methods of forming polymers |
GB201111742D0 (en) | 2011-07-08 | 2011-08-24 | Cambridge Display Tech Ltd | Solution |
WO2013019466A1 (en) * | 2011-08-04 | 2013-02-07 | 3M Innovative Properties Company | Barrier assemblies |
SG2014007900A (en) * | 2011-08-04 | 2014-03-28 | 3M Innovative Properties Co | Edge protected barrier assemblies |
EP2742537A4 (en) | 2011-08-04 | 2015-05-20 | 3M Innovative Properties Co | BARRIER ASSEMBLIES ON PROTECTED |
WO2013033035A1 (en) | 2011-08-26 | 2013-03-07 | Sumitomo Chemical Co., Ltd. | Permeable electrodes for high performance organic electronic devices |
KR101830894B1 (ko) | 2011-09-09 | 2018-02-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
TWI469409B (zh) * | 2011-09-28 | 2015-01-11 | Au Optronics Corp | 有機電致發光元件 |
WO2013055573A1 (en) | 2011-10-13 | 2013-04-18 | Sion Power Corporation | Electrode structure and method for making the same |
GB201210131D0 (en) | 2011-11-02 | 2012-07-25 | Cambridge Display Tech Ltd | Light emitting composition and device |
TWI473317B (zh) * | 2011-11-17 | 2015-02-11 | Au Optronics Corp | 可撓性主動元件陣列基板以及有機電激發光元件 |
TWI429526B (zh) | 2011-12-15 | 2014-03-11 | Ind Tech Res Inst | 水氣阻障複合膜及封裝結構 |
TWI574987B (zh) | 2012-01-31 | 2017-03-21 | 劍橋顯示科技有限公司 | 聚合物 |
WO2013119734A1 (en) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Arkema Inc. | A weatherable composite for flexible thin film photovoltaic and light emitting diode devices |
TWI473264B (zh) * | 2012-03-02 | 2015-02-11 | Au Optronics Corp | 有機電致發光裝置 |
JP2015517124A (ja) | 2012-04-16 | 2015-06-18 | ニコラス・ジョセフ・ショーパNicholas Joseph SHOPA | ピアノプレートアセンブリおよびその製造方法 |
KR102079188B1 (ko) | 2012-05-09 | 2020-02-19 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치 및 전자 기기 |
WO2013173845A1 (en) | 2012-05-18 | 2013-11-21 | Sumitomo Chemical Co., Ltd. | Multilayer light-emitting electrochemical cell device structures |
TWI493725B (zh) * | 2012-07-18 | 2015-07-21 | E Ink Holdings Inc | 半導體結構 |
CN104769017B (zh) | 2012-08-08 | 2018-05-25 | 3M创新有限公司 | 包含氨基甲酸酯(多)(甲基)丙烯酸酯(多)-硅烷的(共)聚合物反应产物的制品 |
CN104684727B (zh) * | 2012-08-08 | 2017-05-17 | 3M创新有限公司 | 阻隔膜构造及其制造方法 |
KR20150042237A (ko) | 2012-08-08 | 2015-04-20 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 | 캡슐화 배리어 필름을 갖는 광기전 소자 |
TWI501441B (zh) * | 2012-08-24 | 2015-09-21 | Ind Tech Res Inst | 非連續複合阻障層、其形成方法及包含其之封裝結構 |
KR102072799B1 (ko) * | 2012-09-12 | 2020-02-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 장치 및 이의 제조 방법 |
KR102104927B1 (ko) * | 2012-09-28 | 2020-04-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US20140091288A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same |
WO2014071160A1 (en) | 2012-11-02 | 2014-05-08 | Sion Power Corporation | Electrode active surface pretreatment |
US9672798B1 (en) | 2012-11-29 | 2017-06-06 | Flexcon Company, Inc. | Systems and methods for providing decorative drum shell wraps |
US20140166989A1 (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-19 | Universal Display Corporation | Manufacturing flexible organic electronic devices |
KR101990555B1 (ko) * | 2012-12-24 | 2019-06-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막봉지 제조장치 및 박막봉지 제조방법 |
CN103904248B (zh) * | 2012-12-25 | 2016-08-03 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 有机电致发光器件及其制备方法 |
WO2014103756A1 (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-03 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリア性フィルム |
CN103022354B (zh) * | 2012-12-28 | 2016-05-11 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种柔性衬底 |
WO2014129519A1 (en) | 2013-02-20 | 2014-08-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Peeling method, semiconductor device, and peeling apparatus |
WO2014141330A1 (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | パナソニック株式会社 | 電子デバイス |
CN104051667A (zh) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 有机电致发光器件及其封装方法 |
CN104051357B (zh) | 2013-03-15 | 2017-04-12 | 财团法人工业技术研究院 | 环境敏感电子装置以及其封装方法 |
CN104051646A (zh) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 有机电致发光器件及其封装方法 |
TWI620774B (zh) * | 2013-03-25 | 2018-04-11 | 荷蘭Tno自然科學組織公司 | 奈米複合物,其製造方法,用於電子裝置之障壁結構及含其之oled |
KR102199217B1 (ko) * | 2014-03-06 | 2021-01-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치, 이를 포함하는 전자 기기, 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR102104608B1 (ko) * | 2013-05-16 | 2020-04-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치, 이를 포함하는 전자 기기, 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
US9178178B2 (en) | 2013-05-16 | 2015-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting diode display having improved adhesion and damage resistance characteristics, an electronic device including the same, and method of manufacturing the organic light-emitting diode display |
DE102013107113B4 (de) * | 2013-07-05 | 2024-08-29 | Pictiva Displays International Limited | Organisches Licht emittierendes Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements |
KR102092706B1 (ko) | 2013-09-02 | 2020-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 조성물, 상기 조성물을 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR102116035B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2020-05-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
US9806132B2 (en) | 2013-11-22 | 2017-10-31 | General Electric Company | Organic X-ray detector with barrier layer |
WO2015087192A1 (en) | 2013-12-12 | 2015-06-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Peeling method and peeling apparatus |
JP5667281B1 (ja) | 2013-12-27 | 2015-02-12 | 古河電気工業株式会社 | 有機電界発光素子用充填材料及び有機電界発光素子の封止方法 |
JP5667282B1 (ja) | 2013-12-27 | 2015-02-12 | 古河電気工業株式会社 | 有機電界発光素子用充填材料及び有機電界発光素子の封止方法 |
US10211409B2 (en) | 2014-02-02 | 2019-02-19 | Molecular Glasses, Inc. | Noncrystallizable sensitized layers for OLED and OEDs |
CN103996796B (zh) * | 2014-04-29 | 2015-07-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性基板和oled器件 |
JP2016001526A (ja) * | 2014-06-11 | 2016-01-07 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
EP3186319A4 (en) | 2014-07-25 | 2018-04-18 | Kateeva, Inc. | Organic thin film ink compositions and methods |
US9594287B2 (en) * | 2014-08-24 | 2017-03-14 | Royole Corporation | Substrate-less flexible display and method of manufacturing the same |
CN107078277B (zh) | 2014-09-09 | 2022-07-22 | 赛昂能源有限公司 | 锂离子电化学电池中的保护层及相关电极和方法 |
CN104377314A (zh) | 2014-09-26 | 2015-02-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种封装层、电子封装器件及显示装置 |
KR102396298B1 (ko) | 2015-03-02 | 2022-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 장치 |
KR102387751B1 (ko) | 2015-03-11 | 2022-04-15 | 삼성전자주식회사 | 배리어 필름 및 이를 포함하는 양자점-폴리머 복합체 물품 |
CN107848247B (zh) | 2015-05-20 | 2021-06-01 | 锡安能量公司 | 电极的保护层 |
EP3344712A4 (en) | 2015-08-31 | 2019-05-15 | Kateeva, Inc. | INK COMPOSITIONS FOR ORGANIC THIN FILM BASED ON DI AND MONO (METH) ACRYLATE |
CN105552247B (zh) * | 2015-12-08 | 2018-10-26 | 上海天马微电子有限公司 | 复合基板、柔性显示装置及其制备方法 |
US20190036077A1 (en) * | 2016-02-18 | 2019-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing organic el display device, and organic el display device |
JP2017152256A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
KR102541448B1 (ko) | 2016-03-08 | 2023-06-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
JP7049269B2 (ja) | 2016-05-20 | 2022-04-06 | シオン・パワー・コーポレーション | 電極用保護層および電気化学電池 |
US11679412B2 (en) | 2016-06-13 | 2023-06-20 | Gvd Corporation | Methods for plasma depositing polymers comprising cyclic siloxanes and related compositions and articles |
US20170358445A1 (en) | 2016-06-13 | 2017-12-14 | Gvd Corporation | Methods for plasma depositing polymers comprising cyclic siloxanes and related compositions and articles |
KR20180002123A (ko) | 2016-06-28 | 2018-01-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
US10275062B2 (en) | 2016-10-14 | 2019-04-30 | Industrial Technology Research Institute | Flexible electronic device having barrier planarization layer including nitrogen-rich region and oxygen-rich region |
US11751426B2 (en) | 2016-10-18 | 2023-09-05 | Universal Display Corporation | Hybrid thin film permeation barrier and method of making the same |
US10408896B2 (en) | 2017-03-13 | 2019-09-10 | University Of Utah Research Foundation | Spintronic devices |
KR102607711B1 (ko) | 2017-04-21 | 2023-11-28 | 카티바, 인크. | 유기 박막을 형성하기 위한 조성물 및 기술 |
US11440298B2 (en) * | 2017-06-28 | 2022-09-13 | Scholle Ipn Corporation | Pouch and film for a pouch |
US10483493B2 (en) | 2017-08-01 | 2019-11-19 | Apple Inc. | Electronic device having display with thin-film encapsulation |
KR102292099B1 (ko) * | 2018-03-30 | 2021-08-20 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 플렉시블 이차전지용 패키징 및 그를 포함하는 플렉시블 이차전지 |
GB2575089A (en) | 2018-06-28 | 2020-01-01 | Sumitomo Chemical Co | Phosphorescent light-emitting compound |
JP6814230B2 (ja) * | 2019-01-11 | 2021-01-13 | 株式会社Joled | 発光パネル、発光装置および電子機器 |
CN111628098A (zh) | 2019-02-28 | 2020-09-04 | 三星显示有限公司 | 显示装置 |
US11588137B2 (en) | 2019-06-05 | 2023-02-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Functional panel, display device, input/output device, and data processing device |
US11659758B2 (en) | 2019-07-05 | 2023-05-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display unit, display module, and electronic device |
CN113994494A (zh) | 2019-07-12 | 2022-01-28 | 株式会社半导体能源研究所 | 功能面板、显示装置、输入输出装置、数据处理装置 |
WO2021069999A1 (ja) | 2019-10-11 | 2021-04-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 機能パネル、表示装置、入出力装置、情報処理装置 |
CN111152452B (zh) * | 2020-01-14 | 2023-04-18 | 青岛理工大学 | 一种PDMS/SiC功能梯度衬底及其制备方法与应用 |
Family Cites Families (85)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3475307A (en) | 1965-02-04 | 1969-10-28 | Continental Can Co | Condensation of monomer vapors to increase polymerization rates in a glow discharge |
FR1393629A (fr) | 1965-09-13 | 1965-03-26 | Continental Oil Co | Procédé et appareil pour enduire des feuilles en matières solides |
US3607365A (en) | 1969-05-12 | 1971-09-21 | Minnesota Mining & Mfg | Vapor phase method of coating substrates with polymeric coating |
US4098965A (en) | 1977-01-24 | 1978-07-04 | Polaroid Corporation | Flat batteries and method of making the same |
JPS55129345A (en) | 1979-03-29 | 1980-10-07 | Ulvac Corp | Electron beam plate making method by vapor phase film formation and vapor phase development |
US4581337A (en) | 1983-07-07 | 1986-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polyether polyamines as linking agents for particle reagents useful in immunoassays |
US4842893A (en) | 1983-12-19 | 1989-06-27 | Spectrum Control, Inc. | High speed process for coating substrates |
US5032461A (en) | 1983-12-19 | 1991-07-16 | Spectrum Control, Inc. | Method of making a multi-layered article |
EP0155823B1 (en) | 1984-03-21 | 1989-07-26 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Improvements in or relating to the covering of substrates with synthetic resin films |
US4695618A (en) | 1986-05-23 | 1987-09-22 | Ameron, Inc. | Solventless polyurethane spray compositions and method for applying them |
JP2530350B2 (ja) | 1986-06-23 | 1996-09-04 | スペクトラム コントロール,インコーポレイテッド | モノマ―流体のフラッシュ蒸発 |
US4954371A (en) | 1986-06-23 | 1990-09-04 | Spectrum Control, Inc. | Flash evaporation of monomer fluids |
JPH07105034B2 (ja) | 1986-11-28 | 1995-11-13 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録体 |
JP2627619B2 (ja) | 1987-07-13 | 1997-07-09 | 日本電信電話株式会社 | 有機非晶質膜作製方法 |
US4847469A (en) | 1987-07-15 | 1989-07-11 | The Boc Group, Inc. | Controlled flow vaporizer |
JP2742057B2 (ja) | 1988-07-14 | 1998-04-22 | シャープ株式会社 | 薄膜elパネル |
JPH02183230A (ja) | 1989-01-09 | 1990-07-17 | Sharp Corp | 有機非線形光学材料及びその製造方法 |
US5189405A (en) | 1989-01-26 | 1993-02-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin film electroluminescent panel |
JP2678055B2 (ja) | 1989-03-30 | 1997-11-17 | シャープ株式会社 | 有機化合物薄膜の製法 |
US5792550A (en) | 1989-10-24 | 1998-08-11 | Flex Products, Inc. | Barrier film having high colorless transparency and method |
US5036249A (en) | 1989-12-11 | 1991-07-30 | Molex Incorporated | Electroluminescent lamp panel and method of fabricating same |
US5362328A (en) | 1990-07-06 | 1994-11-08 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and method for delivering reagents in vapor form to a CVD reactor, incorporating a cleaning subsystem |
US5711816A (en) | 1990-07-06 | 1998-01-27 | Advanced Technolgy Materials, Inc. | Source reagent liquid delivery apparatus, and chemical vapor deposition system comprising same |
JP2793048B2 (ja) * | 1991-02-22 | 1998-09-03 | 三井化学株式会社 | 有機発光素子の封止方法 |
JP2755844B2 (ja) | 1991-09-30 | 1998-05-25 | シャープ株式会社 | プラスチック基板液晶表示素子 |
US5372851A (en) | 1991-12-16 | 1994-12-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing a chemically adsorbed film |
US5759329A (en) | 1992-01-06 | 1998-06-02 | Pilot Industries, Inc. | Fluoropolymer composite tube and method of preparation |
JPH05290972A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-05 | Nichia Chem Ind Ltd | El素子及びその製造方法 |
JP2958186B2 (ja) | 1992-04-20 | 1999-10-06 | シャープ株式会社 | プラスチック基板液晶表示素子 |
US5427638A (en) | 1992-06-04 | 1995-06-27 | Alliedsignal Inc. | Low temperature reaction bonding |
GB9215928D0 (en) | 1992-07-27 | 1992-09-09 | Cambridge Display Tech Ltd | Manufacture of electroluminescent devices |
US5260095A (en) | 1992-08-21 | 1993-11-09 | Battelle Memorial Institute | Vacuum deposition and curing of liquid monomers |
DE4232390A1 (de) | 1992-09-26 | 1994-03-31 | Roehm Gmbh | Verfahren zum Erzeugen von siliciumoxidischen kratzfesten Schichten auf Kunststoffen durch Plasmabeschichtung |
JPH06182935A (ja) | 1992-12-18 | 1994-07-05 | Bridgestone Corp | ガスバリア性ゴム積層物及びその製造方法 |
JPH06234186A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 高ガスバリヤー性透明電極フィルム |
US5440446A (en) | 1993-10-04 | 1995-08-08 | Catalina Coatings, Inc. | Acrylate coating material |
AU694143B2 (en) | 1993-10-04 | 1998-07-16 | 3M Innovative Properties Company | Cross-linked acrylate coating material useful for forming capacitor dielectrics and oxygen barriers |
JP2846571B2 (ja) * | 1994-02-25 | 1999-01-13 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US5654084A (en) | 1994-07-22 | 1997-08-05 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Protective coatings for sensitive materials |
US6083628A (en) * | 1994-11-04 | 2000-07-04 | Sigma Laboratories Of Arizona, Inc. | Hybrid polymer film |
US5607789A (en) | 1995-01-23 | 1997-03-04 | Duracell Inc. | Light transparent multilayer moisture barrier for electrochemical cell tester and cell employing same |
US5620524A (en) | 1995-02-27 | 1997-04-15 | Fan; Chiko | Apparatus for fluid delivery in chemical vapor deposition systems |
US5811183A (en) | 1995-04-06 | 1998-09-22 | Shaw; David G. | Acrylate polymer release coated sheet materials and method of production thereof |
US5771562A (en) | 1995-05-02 | 1998-06-30 | Motorola, Inc. | Passivation of organic devices |
US5554220A (en) | 1995-05-19 | 1996-09-10 | The Trustees Of Princeton University | Method and apparatus using organic vapor phase deposition for the growth of organic thin films with large optical non-linearities |
JPH08325713A (ja) | 1995-05-30 | 1996-12-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機質基材表面への金属膜形成方法 |
US5629389A (en) | 1995-06-06 | 1997-05-13 | Hewlett-Packard Company | Polymer-based electroluminescent device with improved stability |
RU2163246C2 (ru) | 1995-06-30 | 2001-02-20 | Коммонвелт Сайентифик Энд Индастриал Рисерч Организейшн | Способ модификации, по меньшей мере, части поверхности полимера |
US5681615A (en) | 1995-07-27 | 1997-10-28 | Battelle Memorial Institute | Vacuum flash evaporated polymer composites |
JPH0959763A (ja) | 1995-08-25 | 1997-03-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機質基材表面への金属膜形成方法 |
US5723219A (en) | 1995-12-19 | 1998-03-03 | Talison Research | Plasma deposited film networks |
DE19603746A1 (de) | 1995-10-20 | 1997-04-24 | Bosch Gmbh Robert | Elektrolumineszierendes Schichtsystem |
US5811177A (en) | 1995-11-30 | 1998-09-22 | Motorola, Inc. | Passivation of electroluminescent organic devices |
US5686360A (en) * | 1995-11-30 | 1997-11-11 | Motorola | Passivation of organic devices |
US5684084A (en) | 1995-12-21 | 1997-11-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Coating containing acrylosilane polymer to improve mar and acid etch resistance |
US5955161A (en) | 1996-01-30 | 1999-09-21 | Becton Dickinson And Company | Blood collection tube assembly |
US6106627A (en) | 1996-04-04 | 2000-08-22 | Sigma Laboratories Of Arizona, Inc. | Apparatus for producing metal coated polymers |
US5731948A (en) | 1996-04-04 | 1998-03-24 | Sigma Labs Inc. | High energy density capacitor |
US5731661A (en) | 1996-07-15 | 1998-03-24 | Motorola, Inc. | Passivation of electroluminescent organic devices |
US5902688A (en) | 1996-07-16 | 1999-05-11 | Hewlett-Packard Company | Electroluminescent display device |
US5693956A (en) | 1996-07-29 | 1997-12-02 | Motorola | Inverted oleds on hard plastic substrate |
US5844363A (en) | 1997-01-23 | 1998-12-01 | The Trustees Of Princeton Univ. | Vacuum deposited, non-polymeric flexible organic light emitting devices |
US5948552A (en) | 1996-08-27 | 1999-09-07 | Hewlett-Packard Company | Heat-resistant organic electroluminescent device |
WO1998010116A1 (en) | 1996-09-05 | 1998-03-12 | Talison Research | Ultrasonic nozzle feed for plasma deposited film networks |
KR19980033213A (ko) | 1996-10-31 | 1998-07-25 | 조셉제이.스위니 | 스퍼터링 챔버내의 미립자 물질 발생 감소 방법 |
US5821692A (en) | 1996-11-26 | 1998-10-13 | Motorola, Inc. | Organic electroluminescent device hermetic encapsulation package |
US5912069A (en) | 1996-12-19 | 1999-06-15 | Sigma Laboratories Of Arizona | Metal nanolaminate composite |
US5952778A (en) | 1997-03-18 | 1999-09-14 | International Business Machines Corporation | Encapsulated organic light emitting device |
US5872355A (en) | 1997-04-09 | 1999-02-16 | Hewlett-Packard Company | Electroluminescent device and fabrication method for a light detection system |
TW379513B (en) * | 1997-04-17 | 2000-01-11 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Moisture-proof film and electro-luminescent element |
JP3290375B2 (ja) * | 1997-05-12 | 2002-06-10 | 松下電器産業株式会社 | 有機電界発光素子 |
US6198220B1 (en) | 1997-07-11 | 2001-03-06 | Emagin Corporation | Sealing structure for organic light emitting devices |
US6224948B1 (en) | 1997-09-29 | 2001-05-01 | Battelle Memorial Institute | Plasma enhanced chemical deposition with low vapor pressure compounds |
US5902641A (en) | 1997-09-29 | 1999-05-11 | Battelle Memorial Institute | Flash evaporation of liquid monomer particle mixture |
US5965907A (en) | 1997-09-29 | 1999-10-12 | Motorola, Inc. | Full color organic light emitting backlight device for liquid crystal display applications |
US6194487B1 (en) | 1997-11-14 | 2001-02-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing modified particles |
US6045864A (en) | 1997-12-01 | 2000-04-04 | 3M Innovative Properties Company | Vapor coating method |
DE19802740A1 (de) | 1998-01-26 | 1999-07-29 | Leybold Systems Gmbh | Verfahren zur Behandlung von Oberflächen von Substraten aus Kunststoff |
US5996498A (en) | 1998-03-12 | 1999-12-07 | Presstek, Inc. | Method of lithographic imaging with reduced debris-generated performance degradation and related constructions |
US6066826A (en) | 1998-03-16 | 2000-05-23 | Yializis; Angelo | Apparatus for plasma treatment of moving webs |
US5904958A (en) | 1998-03-20 | 1999-05-18 | Rexam Industries Corp. | Adjustable nozzle for evaporation or organic monomers |
US6146462A (en) | 1998-05-08 | 2000-11-14 | Astenjohnson, Inc. | Structures and components thereof having a desired surface characteristic together with methods and apparatuses for producing the same |
US6146225A (en) | 1998-07-30 | 2000-11-14 | Agilent Technologies, Inc. | Transparent, flexible permeability barrier for organic electroluminescent devices |
US6040017A (en) | 1998-10-02 | 2000-03-21 | Sigma Laboratories, Inc. | Formation of multilayered photonic polymer composites |
US6118218A (en) | 1999-02-01 | 2000-09-12 | Sigma Technologies International, Inc. | Steady-state glow-discharge plasma at atmospheric pressure |
-
1998
- 1998-12-16 US US09/212,779 patent/US6268695B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-10-25 US US09/427,138 patent/US6522067B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-15 JP JP2000588820A patent/JP4856313B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-15 KR KR1020017007473A patent/KR20010101231A/ko not_active Application Discontinuation
-
2001
- 2001-05-02 US US09/847,233 patent/US6497598B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2011
- 2011-03-01 JP JP2011043901A patent/JP5190525B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100902706B1 (ko) * | 2002-04-01 | 2009-06-15 | 코니카 미놀타 홀딩스 가부시키가이샤 | 기판 및 그 기판을 갖는 유기 전계 발광 소자 |
KR100462469B1 (ko) * | 2002-04-17 | 2004-12-17 | 한국전자통신연구원 | 접착식 유기-무기 복합막을 갖춘 엔캡슐레이션 박막과이를 포함하는 유기 전기발광 소자 |
KR20040039607A (ko) * | 2002-11-04 | 2004-05-12 | 주식회사 엘리아테크 | 유기 전계 발광 표시 소자의 봉지 방법 |
KR101352148B1 (ko) * | 2006-05-23 | 2014-01-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 캡슐형 플라즈마 감지 소자를 제조하는 방법 |
US9142804B2 (en) | 2010-02-09 | 2015-09-22 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting device including barrier layer and method of manufacturing the same |
US9324776B2 (en) | 2010-02-09 | 2016-04-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting device including barrier layer including silicon oxide layer and silicon nitride layer |
WO2014137529A1 (en) * | 2013-03-04 | 2014-09-12 | Applied Materials, Inc. | Fluorine-containing plasma polymerized hmdso for oled thin film encapsulation |
US9331311B2 (en) | 2013-03-04 | 2016-05-03 | Applied Materials, Inc. | Fluorine-containing plasma polymerized HMDSO for OLED thin film encapsulation |
US9761836B2 (en) | 2013-03-04 | 2017-09-12 | Applied Materials, Inc. | Fluorine-containing plasma polymerized HMDSO for OLED thin film encapsulation |
US10181581B2 (en) | 2013-03-04 | 2019-01-15 | Applied Materials, Inc. | Fluorine-containing plasma polymerized HMDSO for OLED thin film encapsulation |
WO2014163773A1 (en) * | 2013-03-11 | 2014-10-09 | Applied Materials, Inc. | Plasma curing of pecvd hmdso film for oled applications |
US9431631B2 (en) | 2013-03-11 | 2016-08-30 | Applied Materials, Inc. | Plasma curing of PECVD HMDSO film for OLED applications |
US9530990B2 (en) | 2013-03-11 | 2016-12-27 | Applied Materials, Inc. | Plasma curing of PECVD HMDSO film for OLED applications |
KR20160041158A (ko) * | 2014-10-06 | 2016-04-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6522067B1 (en) | 2003-02-18 |
JP5190525B2 (ja) | 2013-04-24 |
US6497598B2 (en) | 2002-12-24 |
US6268695B1 (en) | 2001-07-31 |
US20010015620A1 (en) | 2001-08-23 |
JP4856313B2 (ja) | 2012-01-18 |
JP2002532850A (ja) | 2002-10-02 |
JP2011159629A (ja) | 2011-08-18 |
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