KR20010072570A - 방사의 인터페로메트릭 변조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 2개의 벽으로 형성되는 동공을 포함하는 인터페로메트릭 변조기에 관한 것이다. 적어도 2개의 암은 2개의 벽을 연결하여 이들 벽이 서로에 대하여 운동하는 것을 허용한다. 2개의 암은 제1 벽의 기계적 응력이 기본적으로 제1 벽의 평면 내의 상기 제1 벽의 운동에 의해 완화되도록 하는 방법으로 구성되어 상기 제1 벽에 부착된다.

Description

방사의 인터페로메트릭 변조 {INTERFEROMETRIC MODULATION OF RADIATION}
본 발명은 인터페로메트릭 변조(interferometric modulation)에 관한 것이다.
간섭 변조기(interference modulators; IMods)는 장치의 인터페로메트릭 특성을 변경함으로써 어드미턴스(admittance)를 조종하여 입사 광을 변조하는 많은 종류의 장치이다. 이러한 장치는 디스플레이, 광 처리 및 광학적 정보 저장장치에 적용될 수 있다.
본 출원은 미합중국 특허 출원 번호 제 08/238,750호(출원일: 1994년 5월 5일), 제 08/554,630호(출원일: 1995년 11월 6일) 및 제 08/769,947호(출원일: 1996년 12월 19일)의 부분 계속 출원이며, 이들 출원은 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룬다.
도 1a는 이중 클램핑된 IMod의 사시도.
도 1b는 핀기어 계목(pinwheel tethers) 및 댐핑 홀을 가지는 IMod의 사시도.
도 1c는 핀기어 계목 및 댐핑 홀을 구비하는 IMod의 정면도.
도 1d는 직선형 계목을 가지는 IMod의 정면도.
도 2a는 흑색과 백색 IMod의 사시도.
도 2b는 두 가지 상태의 IMod의 측면도.
도 2c는 IMod의 박막 구조를 예시하는 도면.
도 2d는 두 가지 상태의 IMod의 분광 반사율 함수(spectral reflectance function)를 예시하는 도면.
도 3a는 다중 상태의 IMod의 사시도.
도 3b는 다중 상태의 IMod의 정면도.
도 3c는 3상태의 IMod의 측면도.
도 3d는 IMod의 박막을 예시하는 도면.
도 3e, 3f 및 3g는 청색/백색/흑색 IMod, 적색/백색/흑색 IMod 및 청색/백색/흑색 IMod의 분광 반사율 함수를 각각 예시하는 도면.
도 4a는 다중상태의 IMod 상태와 구동 전압의 관계를 예시하는 도면.
도 4b는 연관된 전자기계적 히스테리시스 곡선(electromechanical hysteresis curves)을 예시하는 도면.
도 4c는 이러한 소자를 동작시키는데 필요한 구동 회로의 일부를 예시하는도면.
도 5a는 비구동 상태의 전하 삽입(charge injection)의 영향을 예시하는 IMod의 도면.
도 5b는 구동 IMod를 예시하는 도면.
도 5c는 전하 이전(charge transfer) 후의 비구동 IMod를 예시하는 도면.
도 5d는 반대 극성(reverse polarity)이 인가된 IMod를 예시하는 도면.
도 5e는 전하 삽입 효과를 감소시키며 전기적 단락에 높은 저항을 제공하는, 감소된 면적의 전극 구성을 예시하는 도면.
도 6은 스프링 정수 변경 메커니즘을 예시하는 두 가지 IMod의 측면도.
도 7a는 단일 재료의 막 계목 지지대를 예시하는 도면.
도 7b는 합금 또는 겹판물 재료의 막 계목 지지대를 예시하는 도면.
도 8a는 MEM 구조를 제조하는 동안 전극을 절연시키기 위한 절차를 예시하는 도면.
도 8b는 MEM 구조를 제조하는 동안 전극을 절연시키기 위한 보다 효과적인 절차를 예시하는 도면.
일반적으로 본 발명의 일 태양은 2개의 벽으로 형성되는 공동(cavity)을 포함하는 인터페로메트릭 변조기에 관한 것이다. 적어도 2개의 암(arm)이 2개의 벽을 연결하여, 이들 벽이 서로에 대하여 운동하는 것을 허용한다. 제1 벽의 기계적 응력이 기본적으로 제1 벽의 평면 내의 제1 벽의 운동에 의해 완화될 수 있도록, 2개의 암이 형성되어 제1 벽에 부착된다.
본 발명의 구현은 다음과 같은 하나 이상의 특징을 가진다. 제1 벽의 운동은 회전 운동이 될 수 있다. 이들 각각의 암은 2개의 단부를 가지는데, 이 중 제1 단부는 제1 벽 및 제2 단부와 연결되며, 제2 단부는 제2 벽에 대하여 고정 위치에 부착된다. 제2 단부의 부착 지점은 제1 벽과 수직인 축을 기준으로 제2 벽에 부착된 단부로부터 오프셋된다. 제1 벽은 2개의 기본적으로 직선형인 에지를 가지며, 암 각각의 제1 단부는 제1 에지의 중앙에 부착되거나 제1 에지의 단부에 부착된다. 또한 제3 암 및 제4 암이 이들 2개의 벽을 각각 연결한다. 암은 핀기어(pinwheel) 구성을 형성한다. 암과 제1 벽 사이의 연결 길이, 두께 및 위치는 원하는 스프링 정수(spring constant)를 구현하도록 이루어진다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 인터페로메트릭 변조기 어레이에 관한 것이다. 인터페로메트릭 변조기 각각은 2개의 벽으로 형성되는 공동(cavity)을 포함하며, 이들 2개의 벽은 적어도 2개의 암(arm)에 의해 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있다. 서로 다른 변조기의 벽 및 암은 서로에 대한 벽의 운동과 연관하여 서로 다른 스프링 정수를 구현하도록 이루어진다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 인터페로메트릭 변조기의 제조 방법에 관한 것이다. 인터페로메트릭 변조기는 2개의 벽으로 이루어진 공동을 포함하며, 이들 벽은 적어도 2개의 암으로 연결된다. 공동을 형성한 후에, 제1 벽의 기계적 응력을 완화시키기 위해 제1 벽은 제1 벽의 평면 내에서 암에 대하여 이동하도록 허용된다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 일반적으로 서로에 대하여 평행인 3개의 벽을 포함하는 인터페로메트릭 변조기에 관한 것이다. 이들 벽은 적어도 하나의 벽이 다른 2개의 벽에 대하여 운동하도록 지지된다. 제어 회로는 적어도 하나의 벽을 변조기의 세 가지 개별 동작 상태를 표시하는 개별 위치로 구동한다.
본 발명의 구현은 다음과 같은 하나 이상의 특징을 포함할 수 있다. 제1 개별 상태의 경우에는, 제1 벽과 제2 벽 사이 및 제2 벽과 제3 벽 사이에 갭(gap)이 존재한다. 제2 개별 상태의 경우에는, 제1 벽과 제2 벽 사이에는 갭이 존재하지만, 제2 벽과 제3 벽 사이에는 갭이 존재하지 않는다. 제3 개별 상태의 경우에는 제1 벽과 제2 벽 사이 및 제2 벽과 제3 벽 사이에 갭이 존재하지 않는다. 막(membrane) 각각은 유전체, 금속 또는 반도체 막의 합성물을 포함한다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 2개의 벽이 기본적으로 서로 인접한 접촉 위치로부터 접촉 위치로 서로에 대하여 이동이 가능한 2개의 벽에 의해 형성되는 공동을 포함한다. 2개의 벽이 접촉 위치에서 닿는 표면 영역을 감소시키기 위해 제1 벽의 일부를 형성하도록 스페이서(spacer)를 장착한다.
본 발명의 구현은 다음과 같은 하나 이상의 특징을 가진다. 스페이서는 전극 및 전극에 전류를 공급하는 도체를 포함한다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 액체로 채워진 갭에 의해 분리되는 2개의 벽으로 형성되는 공동을 포함하는 간섭 변조기에 관한 것이다. 벽이 서로에 대하여 이동하여 갭의 용적을 변경할 수 있다. 제1 벽의 개구부(예를 들어 중앙의 둥근 구멍)는 갭의 용적이 변함에 따라 갭 안으로 또는 갭 외부로 이동하는 액체의댐핑 효과(damping effect)를 제어하도록 형성된다. 본 발명의 구현 시, 개구부는 벽 중앙의 둥근 구멍을 포함한다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 공동을 형성하기 위해 서로에 대하여 운동할 수 있는 적어도 2개의 벽을 포함하는 간섭 변조기에 관한 것이다. 벽의 상대적 위치는 2개의 모드를 형성하는데, 이들 중 하나의 모드에서는 변조기가 입사 광을 반사하고 백색으로 나타나며, 다른 모드에서는 변조기가 입사 광을 흡수하고 흑색으로 나타난다. 이를 구현하는 경우, 제1 벽은 금속 사이에 끼워진 유전체를 포함할 수 있으며 제2 벽은 유전체를 포함할 수 있다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 2개의 벽으로 형성되는 공동을 포함하는 인터페로메트릭 변조기에 관한 것인데, 이들 벽은 적어도 2개의 암에 의해 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있다. 변조기의 응답 시간은 암의 길이, 제1 벽의 두께, 암의 두께, 댐핑 홀의 존재와 크기 및 변조기 부근의 주위 가스 압력 중에서 적어도 2개의 결합에 의해 미리 결정되는 값으로 제어된다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 2개의 벽으로 형성되는 공동을 포함하는 인터페로메트릭 변조기에 관한 것인데, 이들 벽은 적어도 2개의 암에 의해 서로 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있다. 변조기는 레일을 동작시키거나 교류 전극 구동 전압을 인가하는 것 중에서 적어도 하나를 포함하는 전하 증착 완화 장치(charge deposition mitigating device)를 포함한다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 지지대에 의해 유지되는 적어도 2개의 벽으로 각각 형성되는 하나 이상의 공동을 가지는 인터페로메트릭 변조기에 관한 것이다. 적어도 하나의 벽 또는 지지대는 벽 또는 지지대의 전기적, 기계적 또는 광학적 특성이 벽 또는 지지대 단면의 서로 다른 위치에서 서로 다르도록 하기 위해 적어도 2개의 재료를 포함한다.
본 발명의 구현은 다음과 같은 하나 이상의 특징을 가진다. 적어도 하나의 벽 및/또는 지지대는 둘 이상의 개별적인 재료의 적층물(laminate) 또는 겹판물(gradient)을 가진다. 마이크로전자기계 구조가 그 위에 제조되는 기판은 가스상 에칭액(gas phase etchant)의 효과에 대하여 완전한 또는 실질적인 면역성을 가지고 있다. 기판은 불활성 막 도포에 의해 마이크로전자기계 구조와 화학적으로 분리된다. 2개의 재료는 각각 서로 다르며 상보적인 전기적, 기계적 또는 광학적 특성을 나타낸다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 마이크로전자기계적 구조를 제조하는 경우에 사용되는 방법에 관한 것이며, 여기서 가스상 에칭액은 증착된 새크리피셜층을 제거하는데 사용된다.
본 발명의 구현은 다음과 같은 하나 이상의 특징을 가진다. MEM은 간섭 변조기(interference modulator)를 구비하는데, 여기서 변조기의 벽은 기판 상에 형성되며, 플라즈마, 액체 또는 가스상 에칭액은 벽 및 기판 사이에 형성된 새크리피셜층을 제거한다. 가스상 에칭액은 XeF2, BrF3, ClF3, BrF5 및 IF5 중에서 하나를 포함한다. 사용된 새크리피셜층은 실리콘, 몰리브덴 및 텅스텐, 탄탈 또는 게르마늄을 포함한다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 마이크로전자기계적 구조의 어레이를 생산 라인 상에서 제조하는 방법에 관한 것이며, 여기서 전자기계적 구조는 적어도 크기가 8" ×8"이거나 직경이 8"인 유리 또는 플라스틱 기판의 표면 상에서 마이크로머시닝(micromachining)된다.
본 발명의 구현은 다음과 같은 하나 이상의 특징을 가진다. 전자회로는 MEMS과 결합하여 제조된다. 마이크로전자기계적 구조는 간섭 변조기를 구비한다. 전자 회로를 형성하는 단계는 구조를 마이크로머시닝하는 단계와 중첩되거나, 다른 경우에는 중첩되지 않는다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 표면 마이크로머시닝된 MEM 구조를 제조하는 방법에 관한 것이며, 여기서 새크리피셜층은 단일 단계에서 패턴화되고 에칭되며, 절연층 및 1차 동작 전극(actuating electrode)은 개별 단계에서 패턴화되고 에칭된다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 표면 마이크로머시닝된 MEM 구조를 제조하는 방법에 관한 것이며, 여기서 새크리피셜층, 절연층 및 1차 동작 전극은 단일 마스킹 단계에서 패턴화되고 에칭된다.
일반적으로 본 발명의 다른 태양은 MEM 구조를 제조하는 방법에 관한 것이며, 여기서 1차 동작 전극 및 2차 동작 전극은 절연층을 덜 에칭하는 것에 의해 화학적으로 분리된다.
본 발명의 다른 이점 및 특징은 다음의 상세한 설명 및 청구의 범위에 명확하게 설명되어 있다.
IMod의 광 임피던스, 가역적(reciprocal) 어드미턴스는 광을 변조하도록 활성적으로 변경될 수 있다.
이를 위한 하나의 방법(이들 특징은 1994년 5월 5일 출원한 미합중국 특허 출원 번호 제 08/238,750호에 개시되어 있으며, 이는 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룸)은 변형이 가능한(deformable) 공동을 사용하는 것인데, 여기서 공동의 광 특성은 하나 또는 모든 공동 벽이 정전기적으로 변형됨에 따라 변경될 수 있다. 유전체, 반도체, 또는 금속 막 층을 포함하는 이들 벽의 합성물 및 두께에 의해, 인가된 전압에 대하여 서로 다른 광 반응을 나타내는 다양한 변조기 설계가 가능하다. 이 방식은 마이크로전자기계적 구조/시스템(MEMS; microelectromechanical structure/system)으로 간주될 수 있다.
IMod의 임피던스를 활성적으로 변경하기 위한 다른 방법(이들 특징은 1995년 11월 6일에 출원한 미합중국 특허 출원 번호 제 08/554,630호에 개시되어 있으며, 이는 본 명세서에 참조되어 본 명세서의 일부를 이룸)은 광 반응을 조정하기 위한 유도 흡수체(induced absorber)를 사용하는 것이다. 이러한 IMod는 반사 모드에서 동작할 수 있으며, 간단하게 제조될 수 있으며, 다양한 기판 상에서 제조될 수 있다.
변형가능하며, 유도된 흡수체 방식은 일반적으로 이진 모드에서 동작하며, 2 상태 중에서 하나의 상태에서 동작하거나 아날로그 모드 또는 동조식(tunable) 모드에서 동작하며, 연속 범위의 상태 중에서 하나의 상태에서 동작한다. 이들 2 모드의 차이는 주로 IMod 구조의 기계적 설계에 기초한다.
일부 경우에는 역학(mechanics) 및 구조에 기초하여 둘 이상의 상태에서 동작할 수 있는 다중 상태의 IMod를 사용할 수 있다. 다중 상태의 IMod는 투시적으로 구동하는 광학적 기능 및 디지털에 의한 여러 가지 이점을 가질 수 있다.
MEM의 구조적 구성요소는 잔류 막 스트레스, 알루미늄과 같은 증착된 막의수축 및 균열(인장 응력) 또는 외부로 튀어나오거나 좌굴(buckling)(압축 응력)되는 경향을 나타낸다. 다양한 인자가 응력의 특성 및 크기에 영향을 미친다. 이러한 인자에는 증착 공정 시의 파라미터 및 증착 시의 기판의 온도가 포함된다.
응력을 제어함으로써, 구조의 최종 형태뿐만 아니라 구조를 동작시키는데 필요한 힘을 부분적으로 결정한다. 예를 들어, 매우 높은 잔류 응력을 가지는 자기지지 막(self-supporting membrane)을 동작시키기 위해서는 엄청나게 높은 구동 전압이 필요할 수 있다. 또한 이들 힘 때문에 자기 지지 막이 비틀어지거나 뒤틀릴 수 있다.
동작 전압, 전자기계적 동작 및 최종 형태는 IMod의 중요한 특성이다. 일부 소자의 경우는 전자기계적 특성을 활용한다. 예를 들어 대면적의 디스플레이는 이들 구조의 고유 히스테리시스의 이점을 이용하여, 화소 위치에 "메모리"를 제공한다. 그러나 이는 소정 어레이의 IMod가 거의 동일한 방법으로 동작할 것을 요구한다. 이들의 동작이 재료의 기계적 특성에 의해 결정되기 때문에, 다른 잔류 응력 중에서도, 디스플레이 면적에 대하여 큰 일관성(consistency)을 가지는 막을 증착해야 한다. 이를 구현하는 것이 항상 쉬운 것은 아니다.
도 1a는 전술한 특허 출원에 개시된 IMod의 구조적 설계를 예시하는 도면이다. 이 설계는 양 단부(92) 상에서 지지되거나 클램핑되는 자기 지지 빔(90)으로 이루어진다는 점에서 "이중 클램핑" 빔으로 기술될 수 있다. 이 구조에 잔류 응력이 인가되는 경우, 막(빔)의 높이는 인장 응력 또는 압축 응력에 따라 높아지거나 낮아질 수 있다. 도 1a에 인장 응력 상태의 막(90)이 예시되어 있는데, 이 때 막의 면적은 축소된다. 구조가 지점(92)에서 기판과 결합하기 때문에, 막 높이는 축소에 의해 낮아진다. 이와 반대로 압축 응력 상태의 막(94)은 단부까지 연장되는데, 그 결과 구조의 높이 또는 전체 바우링(bowing)이 정미(net) 증가하거나 감소한다.
도 1b는 이 설계의 개선을 예시한다. 이 경우, 이동식 2차 미러(100)는 계목(102)을 통해 지지용 기둥(104)과 연결된다. IMod는 기판(106) 상에서 제조되며, 스틱션 범프(stiction bump; 108)와 결합한다. 이 구조는 잔류 응력에 대하여 이점을 가진다. 특히 계목(102)이 2차 미러(100)에 접해 있기 때문에, 압축 응력 또는 인장 응력의 경우 거울(100)이 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 비틀리도록 함으로써 재료의 잔류 응력이 완하되는 경향을 가진다.
인장 응력 상태의 비틀림이 도 1c에 예시되어 있다. 인장 막이 수축 경향을 가지고 있기 때문에, 2차 미러(100)의 측면은 연관된 지지 기둥(104)을 향하여 당겨지며, 미러는 원래 평면에 남게된다. 비틀림은 구조의 잔류 응력을 완화시킨다. 이러한 응력 완화는 지지용 새크리피셜 스페이서가 구조 아래로부터 제거되는 IMod 제조의 최종 단계 후에 발생한다. IMod의 전체 설계에 따라, 일정한 양의 구조적 회전이 허용될 수 있다. 따라서 디스플레이 어레이의 팽창에 따른 잔류 응력의 미세한 변동이 완화되거나 제거되는데, 이는 IMod 각각이 개별적인 응력이 완화되는 위치로 회전하며, 광 특성에 영향을 미치지 않기 때문이다.
응력이 완하됨에 따라, 응력은 소자의 전자기계적 동작에 더 이상 영향을 미치지 않거나 영향을 덜 미치게 된다. 따라서 전압 및 공진 주파수와 같은 소자 특성은 주로 탄성 계수 및 막 두께와 같은 요인들에 의해 결정된다. 이들 특성 모두는 증착 시에 보다 쉽게 제어된다.
도 1d는 직선형 계목(102)에 따른 응력 완화 구조의 다른 기하학을 예시한다. 이 경우, 미러는 압축 응력을 완화하기 위해 시계 방향으로 회전한다. 곡선형 또는 폴드형의 다른 계목 구성 또한 가능하다.
도 1b를 다시 참조하여 설명하면, 마이크로전자기계적 구조는 동작 시에 닿는 기판의 표면에 고정되려고 하는 경향이 있다. 이동식 막(100)과 기판 사이의 접촉 면적을 최소화하는 구조는 이러한 현상을 완화시킬 수 있다. 스틱션 범프(108)는 비교적 작은 면적 상에서만 막과 접촉하는 지지대(support)의 기능을 함으로써 이러한 메커니즘을 제공할 수 있다. 이들 구조는 전술한 특허 출원 명세서에 개시된 마이크로머시닝(micromachining) 기술을 사용하여 제조될 수 있다. 또한 이들은 적당하게 절연되는 경우 하부 전극의 기능을 하며, 전술한 설계에 비해 소정의 이점을 나타내는데, 이에 대해서는 아래에서 설명한다. 이러한 의미에서 이들 구조는 작동 레일(actuation rails)로 지칭될 수 있다. 또한 이들 구조는 이동식 막 상에서 제조될 수 있다.
도 1b를 다시 참조하여 설명하면, 또한 댐핑 홀(110)은 이 구조의 성능을 강화한다. 막이 동작하는 경우, 즉 아랫방향으로 당겨지는 경우, 막과 기판 사이의 공기를 배출해야 한다. 막이 정지 위치(quiescent position)로 구부려지는 것을 허용하는 경우, 동일한 양의 공기를 대체해야 한다. 이 양의 공기를 이동하는데 필요한 에너지는 막의 이동을 저속화하거나 그 동작을 감쇠하는 댐핑 효과(dampingeffect)를 가진다. 댐핑은 문제점과 이점 모두를 가진다. 필요한 디스플레이 데이터 속도를 유지하기 위해 이들 소자의 응답 시간을 최소화하는 것은 중요하며, 댐핑을 최소화해야 한다. 그러나 시간이 지남에 따라 원하는 색상이 아닌 다른 색상의 반사 광의 양을 줄이기 위해, 막을 매우 신속하게 고정된 위치로 이동시키는 것 또한 중요하다. 댐핑이 불충분한 경우, 이러한 막은 비구동 상태가 되면 울림(ringing) 또는 감쇠(decaying) 발진을 경험할 수 있다. 울림 또는 감쇠 발진은 최소화되어야 하며, 이는 또한 부분적으로 댐핑에 의해 결정된다.
댐핑을 최적화하기 위한 하나의 방법은 막의 몸체를 통과하는 댐핑 홀을 제공하는 것이다. 막이 이동하는 동안, 홀은 공기의 부(supplementary) 경로를 제공하도록 기능한다. 따라서 공기를 배출하고 바꾸는데 필요한 힘이 감소하며, 댐핑 효과 또한 감소한다. 따라서 제조 시에 홀의 크기를 선택함으로써, IMod의 울림 또는 감쇠 발진 현상의 양을 조정하고 따라서 그 응답 시간을 조정하기 위한 메커니즘을 제공한다. 스틱션 범프(108)는 댐핑을 최소화하는데 도움이 될 수 있다. 막과 기판 사이에 한정된 거리를 유지함으로써, 따라서 막이 완전히 동작하는 경우 막과 기판 사이에 공기 흐름을 위한 경로가 존재하도록 함으로써 댐핑을 최소화한다.
댐핑을 최적화하기 위한 다른 방법은 주위 가스 압력을 제어하는 것이다. 전술한 특허 출원 명세서에 개시된 임의의 IMod 소자는 불활성 가스를 사용하여 용접 밀폐된 컨테이너 내에서 패키지화된다. 이는 미립자 오염물질(particulate contaminants)뿐만 아니라 물 수증기가 유입되는 것을 방지하는데, 이들은 시간이지남에 따라 IMod의 성능을 열화시킬 수 있다. 이러한 가스의 압력은 패키지화된 소자가 경험하게 되는 댐핑 양과 직접적인 관계를 가진다. 따라서 댐핑 및 응답 시간은 제조 시에 패키지 내의 주위 가스 압력을 결정함으로써 최적화될 수 있다.
반사성 평면 패널 디스플레이 성능을 계량하는 키는 휘도(brightness)이다. 이들 디스플레이의 대부분은 공간적으로 색상을 구현하는데, 화소 각각은 적색, 청색 및 녹색에 해당하는 3개의 부 화소(sub-pixel)로 분할된다. 백색은 3개의 모든 부 화소의 휘도를 최대화함으로써 구현된다. 바람직하지 못하게, 각각의 부 화소가 부 화소에 입사되는 광의 약 1/3만을 활용하기 때문에, 백색 상태의 전체 휘도를 낮출 수 있다.
이는 특정 색상 이외에도 백색 상태를 직접 구현할 수 있는 부 화소 구조를 활용함으로써 해결될 수 있다. 이 방식을 사용하는 디스플레이의 전체 휘도는 증가될 수 있는데, 이는 백색 상태의 부 화소가 부 화소에 입사되는 광의 상당히 높은 부분을 사용하기 때문이다. 전술한 특허 출원 번호 제 08/554,630호에 개시된 IMod는 특정 색상을 반사하거나 "흑색" 또는 흡수 상태를 나타낼 수 있다. 이러한 설계는 다른 상태를 포함하도록 변경될 수 있다.
도 2a는 흑색 상태 및 백색 상태가 가능한 배열의 사시도이며, 전술한 계목 구성을 나타낸다(도 1a의 이중 클램핑된 막 또한 응력에 대한 전술한 감도를 사용하여 사용될 수 있는 기계적 설계이다). 도 2b는 (204)를 비구동 상태로 하고, (206)을 구동 상태로 하는 두 가지 상태의 IMod를 예시한다. 구동 상태에서 IMod는 입사 광을 흡수하고 기판(202)을 바라보는 관찰자에게 흑색을 나타낸다. 비구동 상태에서 IMod는 백색을 나타낸다.
도 2c는 연관된 막을 상세하게 예시한다. 이동식 막(208, 210, 212)은 금속, 유전체 및 금속을 포함하는 3개의 막으로 이루어진다. 하나의 예는 400 나노미터(㎚) 두께의 알루미늄으로 이루어진 금속(208), 50 ㎚의 실리콘 이산화물로 이루어진 유전체(210) 및 14.9 ㎚의 텅스텐으로 이루어진 금속(212)을 사용할 수 있다. 유전체(214)는 기판(26) 상의 54.36 ㎚ 두께의 지르코늄 이산화물(zircomium dioxide) 막을 포함할 수 있다. 도 2d는 두 가지 상태의 IMod 설계의 분광 반사율을 예시한다. 곡선(216, 218)은 백색 상태 및 흑색 상태의 IMod의 반사율을 각각 나타낸다.
도 3a는 세 가지 상태가 가능한 IMod를 예시한다. 이 설계에서 도 2a의 설계의 박막 층은 분리된 이동식 막으로 나누어진다. 이 경우 막(300)은 예를 들어 400 ㎚의 알루미늄으로 이루어진 금속이며, 막(302)은 14 ㎚의 텅스텐으로 이루어진 금속이다. 텅스텐이 박막이기 때문에, 광학적으로 중립인 구조(neutral structure) 막은 필요한 기계적 완전성을 제공하도록 요구될 수 있는데, 여기서 구조 막은 지지용 프레임의 형태가 될 수 있다. 2개의 막 사이의 공기 갭(air gap)은 유전체의 기능을 한다. 도 3b는 동작 방법을 상세하게 나타내는 IMod의 정면도를 예시하는 도면이다. 이러한 설계는 도전성 막(302)이 스틱션/동작 범프에 의해 생성되는 전계로부터 막(300)을 차단한다는 문제점을 가지고 있다. 영역(303, 304)에서의 막(300)의 길이를 막(302)의 풋프린트(footprint)를 넘어 연장시킴으로써, 막(300)은 경로(305, 307)를 통해 전계와 "만나게"되며, 따라서 이들 전계에의해 동작한다.
3개의 가능한 기계적 상태 및 이와 연관된 크기가 도 3c에 예시되어 있다. 공기 갭의 크기(308, 310)는 215 ㎚ 및 135 ㎚가 될 수 있다. 도 3d는 연관된 박막을 상세하게 예시한다. 막(320)은 금속이며, (322)는 유전체의 기능을 하는 공기 갭이며, 막(324)은 금속이며, 막(326)은 유전체이다. 도 3e는 세 가지 상태의 분광 반사율을 나타내는 도표이다. 표시된 크기에 있어서, 흑색 상태(예를 들어 상태 2), 청색 상태(상태 0) 및 백색 상태(상태 1)가 가능하며, 여기서 흑색, 청색 및 백색 상태는 분광 반사율(334, 332, 330)에 해당한다. 도 3f는 녹색 및 백색 상태(336, 334)를 가지는 IMod의 도표를 예시하며, 도 3g는 적색 상태(340) 및 백색 상태(338)를 가지는 IMod의 도표를 예시한다.
모든 IMod와 마찬가지로 이 설계는 전자기계적 히스테리시스를 나타내며, 이는 단지 두 가지 상태만을 가지는 IMod에 비해 훨씬 복잡하다. 막을 이완된(relaxed) 위치로 귀환하려고 하는 기계적 힘에도 불구하고, 인가되는 경우 막을 구동 또는 동작 상태에서 유지하기에 충분한 최소 전압이 존재한다.
도 4a는 인가된 전압과 IMod의 상태 사이의 관계를 나타내는 대표적인 도표이다. IMod를 구동 상태로 유지하기 위한 최소 바이어스 Vbias가 필요하다. 상태 1 및 상태 2는 전압 V3 및 V4를 인가함으로써 구현된다. 연관된 히스테리시스 도표는 도 4b에 예시되어 있으며, 여기서 곡선(400)은 도 3a의 이동식 플레이트(302)의 전자기계적 응답에 해당하며, 곡선(402)은 이동식 플레이트(300)의 전자기계적 응답에 해당한다. 두 가지 곡선의 중심의 평균에 Vbias가 존재한다. 도 4c는 이러한 소자를 동작시키는데 필요한 구동 회로의 일부를 예시한다. 출력단(404)은 3개의 트랜지스터 또는 3개의 서로 다른 전압원과 병렬로 연결된 다른 적당한 스위치, 및 IMod의 2개의 이동식 플레이트로 구성된다. 구동기 논리 회로(406)는 출력단을 통해 IMod(410)의 이동식 막에 인가되는 하나의 특정 전압의 선택을 허용하는 방식으로 입력 신호(408)에 응답한다. 전압이 전혀 인가되지 않는 경우, IMod의 막은 기계적 힘을 통해 이완된 상태로 이동한다.
이동식 막 구조에서 발생할 수 있는 다른 문제는 도 5a - 5c에 예시된 전하 증착 현상이다. 도 5a에서 이동식 플레이트(500)와 고정 플레이트(504) 사이에 전압이 인가된다. 층(502)은 고정 플레이트(504)의 상부에 위치하는 절연막이다. 인가된 전압이 이동식 플레이트를 동작시키기에 충분하고 도 5b에 예시되어 있는 바와 같이 절연체와 접촉하는 경우, 절연체 상에는 전하(506)가 증착될 수 있다. 이에 따라 플레이트(500)와 플레이트(504) 사이의 인력성 힘이 감소하며, 이를 동작시키기 위해서는 높은 전압이 인가되어야 한다(도 5c).
이러한 상태는 구조에 교류 전압을 인가함으로써 해결될 수 있다. 즉 의도된 모든 동작에 있어서, 증착된 전하를 상쇄하거나 실제적으로 활용할 수 있도록 인가된 전압의 극성을 변경한다. 도 5d는 반대 극성을 인가하는 경우의 효과를 예시한다. 다른 방법은 고체 절연체를 제거하거나 이를 공기로 대체하는 것이다. 도 5e는 이러한 목적을 달성하기 위한 스틱션 범프 또는 작동 레일의 사용을 예시한다. 이들 구조 상에도 전하가 축적될 수 있지만, 그 면적은 아주 작으며, 따라서 감소된 전하가 축적된다. 반대 극성 및 스틱션 범프를 함께 사용할 수도 있다.
전기 단락은 이들 소자의 다른 문제점이다. 도 5a를 참조하여 설명하면, 이동식 막(상부 전극; 500)과 하부 전극(504)의 표면 영역은 동일하다. 소자가 동작하는 경우(도 5b), 절연체(502)의 핀홀은 전기적 단락 및 소자 고장을 발생시킨다. 도 5e에 예시된 구성을 활용하는 경우, 표면 전극의 표면 면적을 감소시켜 핀홀에 의해 단락이 발생할 가능성을 감소시킴으로써 이러한 문제점을 완화시킬 수 있다. 표면 전극 또는 스틱선/작동 레일은 또한 전술한 스틱션 완화 기능을 한다. 스틱션 범프와 마찬가지로, 스틱션 범프 대신에 이들을 이동식 막 상에서 제조할 수 있다.
IMod 기초 디스플레이의 제조를 복잡하게 하는 다른 문제점은 전체 색상의 디스플레이를 제조해야 한다는 것이다. IMod의 서로 다른 색상이 IMod의 비구동 공간(spacing)에 의해 구현되기 때문에, 서로 다른 3개의 색상을 가지는 어레이는 서로 다른 3개의 갭 크기를 가지는 IMod의 부 어레이를 가지게 된다. 이에 따라 서로 경쟁하는 전자회로를 구동하기 위해서는 서로 다른 3개의 전자기계적 응답이 존재할 수 있다. 댐핑 홀은 색상마다 다른 전자기계적 응답 변동을 보상하기 위한 하나의 기술이다.
다른 기술은 이중 클램핑된 IMod 막의 두께 또는 계목에 의해 지지되는 IMod의 계목 두께를 다르게 하는 것이다. 후자의 기술을 도 6에 예시한다. IMod(602) 상의 계목(600)은 IMod(606) 상의 계목(604)에 비해 얇게 제조된다. 이들 계목에 동일한 바이어스 전압을 인가함으로써, IMod(602)는 IMod(606)에 비해 추가로 변위되는데 이는 낮은 스프링 정수 때문이다. 이러한 구조를 동작시키기 위해서는 보다 작은 힘이 요구되며, 기계적 응답 시간이 감소되며, 우위를 차지하게 되는 것은 기계적 응답 시간이다. 이는 소자의 전체 전자기계적 응답을 효율적으로 변경하며, 따라서 공간 변동을 보상하기 위한 방법을 제공한다. 단지 전체 막의 두께 또는 막의 주요 부분이 변동되는 경우의 이중 클램핑된 설계에만 동일 기술이 적용된다. 일례로 큰 비구동 공간 때문에, 적색이며 따라서 긴 기계적 응답 시간을 가지는 IMod는 높은 스프링 정수로 제조될 수 있다. 이에 의해 동작 시간을 청색 IMod의 시간과 맞출 수 있다.
계목에 의해 지지되는 IMod에서, 스프링 정수는 계목 암의 길이에 의해 결정될 수 있다. 길이가 긴 계목은 낮은 스프링 정수를 야기하며, 길이가 짧은 계목은 높은 스프링 정수를 야기한다. 이는 동일 양의 전체 소자 공간에서 계목이 부착되는 이동식 막의 에지를 따라 그 부착 위치를 변동시킴으로써 달성될 수 있다. 따라서 막 에지의 중앙에 연결된 계목은 부근의단부에 연결된 계목에 비해 더 높은 스프링 정수를 가지며, 더 멀리 위치한 단부에 연결된 계목에 비해 더 낮은 스프링 정수를 가진다.
구조적 특성에 의해 이동식 막의 광 특성을 완화하는 개념은 전술한 특허 출원 명세서에 개시되어 있다. 기초가 되는 사상은 부재를 개별적으로 설계하고 원하는 기계적 구조적 특성을 제공하고 독립적으로 원하는 광 특성을 제공하도록 최적화된 구조를 제조하는 것이다.
도 7a는 하나의 가능한 접근방법을 보다 상세하게 예시한다. 이 경우 이동식 막(700)은 기계적 특성을 바람직하게 하기 위해 순전히 광 특성 및 막계목(702)에 기초하여 선택된다. 예를 들어 다수의 IMod 설계에 있어서 알루미늄은 광학적 투시로부터 유용하지만 기계적인 피로 및 응력에 의해 파괴되기 쉽다고 알려져 있다. 보다 적당한 재료로는 계목을 구축하는데 사용될 수 있는 알루미늄 산화물, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물과 같은 유전체를 들 수 있다.
도 7b는 계목이 적층물 또는 겹판물 재료로 이루어지는 경우의 방식 변화를 예시한다. 적층물 재료에서, 층(706, 710)은 양호한 기계적 강도를 제공하는 알루미늄 산화물 막을 포함하며, 막(708)은 전기적 도전성을 제공하는 알루미늄이 될 수 있다. 겹판물 재료의 경우, 층(710-706)은 내부 표면은 완전한 알루미늄이고 외부 표면은 완전한 알루미늄 산화물이 되도록 증착되는, 연속적으로 변하는 재료로 이루어질 수 있다. 이러한 겹판물 재료는 적층물 재료에 비해 기계적으로 훨씬 강하다. 서로 다른 재료를 사용하거나 교체되는 재료로 변화시키는 것을 포함하여 다른 기술적 구현 또한 가능하다.
전술한 특허 출원 명세서에 개시된 일반적인 제조 방법은 새크리피셜층이 증착되고, 새크리피셜층의 상부에 구조가 형성되고, 새크리피셜층이 에칭되는, 표면 마이크로머시닝(surface micromachining) 개념에 기초한다. 플라즈마 에칭은 전술한 접근 방법 중의 하나이다. 특정 이해의 다른 에칭 화학물은 새크리피셜층을 제거하기 위해 가스상 에칭액을 사용한다. XeF2, BrF3, ClF3, BrF5 및 IF5로 알려진 가스가 가능하다. 이들 가스는 실리콘 및 텅스텐과 같은 에칭 재료의 바람직한 특성을 동시에 가지며, 플라즈마에 의해 에칭 공정을 작동시킬 필요가 없다. 가스상 에칭은 습식 에칭과는 달리, 새크리피셜 에칭 단계가 훨씬 복잡하지 않으며, 사용할 수 있는 구조적 재료의 종류도 다양하다. 또한 복잡한 내부 구조를 가지는 보다 복잡한 소자를 쉽게 제조할 수 있다.
일반적으로 디스플레이 소자는 비교적 큰 기판 상에서 제조될 수 있어야 한다. 완성된 다수의 디스플레이 소자가 1 평방 인치보다 작을 수 있지만, 대부분의 직접 뷰 디스플레이(direct view display)는 수 평방 인치에서부터 수백 평방 인치 이상의 크기를 가질 수 있다. 추가로 이들 디스플레이는 종래의 반도체 제조 공장에서는 사용하지 않는 유리 또는 플라스틱 기판을 사용한다. 주로 실리콘에 기초하며 실리콘 기판 상에서 제조되는 MEMS가 오랫동안 반도체 공장에서 제조되었다. 그러나 IMod 기초 디스플레이를 제조하는 경우에 주로 요구되는 큰 어레이의 MEM 소자를 큰 기판 상에서 제조해야 하는 필요성은 종래의 반도체 제조 공정 및 공장을 사용하는 경우에는 충족될 수 없다.
다른 경우, 큰 어레이의 IMod 및 다른 MEMS의 제조에 적용될 수 있는, 크기가 크며 증대하는 설비 베이스가 존재한다. 이러한 설비 베이스는 Active Matrix LCD를 제조하기 위해 현재 사용되는 설비 및 공장을 포함한다. "A Liquid Crystal Flat Panel Displays"(저자 William C. O'Mara)는 본 명세서에 참조되어 본 명세서의 일부를 이룬다. 이들 설비는 대량의 제조 공정이 활성 매트릭스 부재, 즉 LCD를 구동하는 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT)와 연관되어 있기 때문에 적합하다.
다양한 TFT 제조 공정이 존재하지만, 이들 모두는 큰 면적의 표면 마이크로머시닝 MEMS의 제조에 부합되는 다수의 요소를 공유한다. 첫째, 선택 기판은 유리또는 플라스틱이며, 이는 큰 크기의 포맷인 경우에 쉽게 사용될 수 있다. 제조 전에 금속 산화물과 같은 유기 또는 무기 막을 기판 표면에 증착함으로써, 이들 재료의 불순물을 제조된 구조와 화학적으로 분리할 수 있다. 또한 증착된 중요한 재료는 실리콘, 텅스텐, 몰리브덴, 게르마늄 및 탄탈을 포함하며, 이들 모두는 광학적, 절연성, 구조적, 도전성 재료에 적합한 탄탈 펜톡사이드(tantalum pentoxide), 실리콘 이산화물, 실리콘 질화물 및 알루미늄뿐만 아니라 가스상 에칭액에 적당한 새크리피셜 재료이다. 일반적으로 모든 포토리소그래피, 공정 도구 및 테스팅은 큰 어레이 및 큰 면적의 소자를 지향하고 있다. 마지막으로 TFT 제조 공정을 사용하여, MEM 소자와 결합된 전자회로를 제조하여 구동기 회로 및 지능형 논리 기능을 제공할 수 있다. 따라서 가스상 에칭과 결합된, Active Matrix LCD 제조 및 이들과 연관된 공정은 구체적으로는 IMod 기초 디스플레이의 경우에 쉽게 사용할 수 있으며 일반적으로는 큰 면적(적어도 8" ×8" 크기 또는 8" 직경)의 MEM 소자의 경우에 쉽게 사용할 수 있는 제조용 매체(vehicle)를 제공한다.
TFT 및 IMod 또는 다른 MEM 소자를 제조하기 위한 2개의 일반적인 접근 방법은 분리(decoupling) 및 중첩(overlapping)이다. 필요한 TFT 기초 회로를 먼저 제조한 후에, IMod를 제조한다. 보다 효율적인 접근방법은 각각의 공정에서 공유 또는 중첩 단계를 허용하는 방식으로 TFT 어레이 및 IMod 어레이를 제조하는 것이다. 대표적인 TFT 공정 시퀀스는 다음과 같다.
1. 게이트 금속(예를 들어 몰리브덴 또는 탄탈)을 증착.
2. 게이트 금속을 패턴화.
3. 절연체 및 비정질 실리콘을 증착.
4. 절연체 및 실리콘을 패턴화.
5. 디스플레이 전극(예를 들어 알루미늄)을 증착.
6. 디스플레이 전극을 패턴화.
7. 소스/드레인/신호 라인 금속(알루미늄)을 증착.
8. 소스/드레인/신호 라인을 패턴화.
9. 실리콘을 패턴화.
10, 패시베이션 막 증착.
대표적인 IMod 공정 시퀀스는 다음과 같다.
1. 유전체/1차 미러(1차 미러용으로 몰리브덴 또는 탄탈)를 증착.
2. 1차 미러를 패턴화.
3. 절연체 및 비정질 실리콘을 증착.
4. 절연체 및 실리콘을 패턴화.
5. 2차 미러(알루미늄)를 증착.
6. 2차 미러를 패턴화.
7. 새크리피셜 재료(실리콘)를 에칭.
이들 2개의 공정 시퀀스를 비교하면, 단계(1-6)는 기초 레벨과 기능적으로 동일하며, 명확하게 이들 각각의 시퀀스 내에서 동일한 위치에 위치한다. 이러한 유사성은 여러 가지 방법으로 분리 및 중첩 공정 모두의 이점을 가진다. 우선 재료의 유사성은 필요한 전용 증착 도구 및 에칭액 화학물질의 전체 수를 최소화한다. 두 번째로 동일한 단계가 동일한 위치에 위치하기 때문에, 전체 공정의 흐름이 능률적으로 된다. 최종적으로 중첩 공정에서 일부 단계를 공유할 수 있다. 따라서 IMod 어레이 및 TFT 회로 모두를 제조하는데 필요한 전체 공정 단계의 개수가 감소되어, 공정의 복잡성과 경비를 감소시킨다. 일반적으로 AMLCD의 활성 매트릭스 구성요소를 제조하기 위한 공정 및 설비는 IMod 제조 시에 이상적으로 적합한 것으로 보인다.
구조의 표면 마이크로머시닝은 도 8a 및 8b에 예시된 공정을 사용하여 단순화될 수 있다. 도 8a는 절연된 1차 전극을 제조하기 위한 하나의 기술을 예시한다. 단계 1에서 1차 전극(800)은 마스크(802)를 사용하여 패턴화되어, 기판(804) 상에서 에칭된다. 단계 2에서 블랭킷 절연층(blanket insulating layer; 806), 새크리피셜 재료(808) 및 마스크(810)가 증착된다. 최종적으로 단계 3에서 새크리피셜층은 패턴화되어 에칭되고, 2차 전극(812)이 그 위에 증착된다. 절연층(806)은 2차 전극(812)과 1차 전극(800) 사이에 전기적 절연을 제공한다. 이 공정은 마스크(802, 810)를 형성하는 2개의 마스킹 단계를 요구한다.
도 8b는 단순화된 시퀀스를 나타낸다. 단계 1에서는 1차 전극(800), 절연체(806) 및 새크리피셜층(808)이 증착되며, 이 때 새크리피셜층(808)은 제 위치의 마스크 층(802)을 사용하여 블랭킷 방식으로 증착된다. 단계 2에서 층(800, 806, 808)을 에칭하고, 마스크(802)는 그 목적을 다 한 후에 박리된다. 1차 전극(800)을 과도하게 에칭함으로써 절연층(806)을 덜 에칭한다는 점에서 이 에칭은 8a의 에칭과 다르다. 이에 따라 절연성 레지(ledge)가 제조된다. 이러한 레지는 재료 및 연관된 에칭액을 적당하게 선택함으로써 구현될 수 있다. 예를 들어 새크리피셜층(808)이 실리콘으로 이루어지고, 절연층(806)이 실리콘 이산화물로 이루어지고 1차 전극(800)이 텅스텐으로 이루어지는 경우, 텅스텐 층은 실리콘 또는 실리콘 이산화물에 전혀 영향을 미치지 않고 수소 페록사이드(hydrogen peroxide) 용해제(solution)를 사용하여 과도하게 에칭될 수 있다. 단계 3에서 2차 전극(812)이 블랭킷 방식으로 증착된다. 절연층(806)은 1차 전극(800)과 2차 전극(812) 사이에 전기적 절연을 제공하는데, 이는 2차 전극의 증착 시에 절연성 레지에 의해 1차 전극(800)과 2차 전극(812)의 접촉을 방지할 수 있기 때문이다. 이에 따라 전체적으로, 2개의 전극 사이에 절연 장벽층을 형성하는데 필요한 마스크 단계의 수를 하나씩 감소시킬 수 있다. 이는 단일 마스크층이 3개의 층을 형성하기 위해 사용되는 다중 에칭액에 패턴을 제공하기 때문이다.
전술한 실시예 이외에도 다음의 청구의 범위 내에 속하는 다른 실시예 또한 포함될 수 있다.

Claims (48)

  1. 2개의 벽으로 형성되는 공동(cavity)을 포함하며,
    상기 2개의 벽은 적어도 2개의 암(arm)에 의해 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있고,
    상기 2개의 암은 제1 벽의 기계적 응력이 기본적으로 제1 벽의 평면 내의 제1 벽의 운동에 의해 완화될 수 있도록 하는 방법으로 형성되는
    인터페로메트릭 변조기(interferometric modulator).
  2. 제1항에 있어서,
    제1 벽의 운동이 회전 운동인 변조기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 암 각각은 2개의 단부(ends)를 가지며,
    상기 단부 중 제1 단부는 제1 벽 및 제2 단부에 부착되고,
    상기 제2 단부는 제2 벽에 대하여 고정된 위치에 부착되며,
    상기 제2 단부의 부착 지점은 제1 벽과 수직인 축을 기준으로 제2 벽에 부착되는 단부로부터 오프셋되는
    변조기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 암이 원하는 스프링 정수를 구현하도록 이루어지는 변조기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 암의 길이가 원하는 스프링 정수를 구현하도록 이루어지는 변조기.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 암의 두께가 원하는 스프링 정수를 구현하도록 이루어지는 변조기.
  7. 제4항에 있어서,
    제1 벽의 에지를 따라 상기 암이 부착되는 위치가 원하는 스프링 정수를 구현하도록 선택되는 변조기.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 벽은 2개의 기본적으로 직선형인 에지를 가지며,
    상기 암 각각의 제1 단부는 제1 에지의 중앙에 부착되는
    변조기.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 벽이 2개의 기본적으로 직선형인 에지를 가지며,
    상기 암 각각의 단부는 상기 제1 에지의 단부에 부착되는
    변조기.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 2개의 벽을 연결하는 제3 암을 포함하는 변조기.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 2개의 벽을 각각 연결하는 제3 암 및 제4 암을 포함하는 변조기.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 암이 핀기어 구성(pinwheel configuration)을 형성하는 변조기.
  13. 인터페로메트릭 변조기 각각이 2개의 벽으로 형성되는 공동을 포함하며,
    상기 벽은 적어도 2개의 암에 의해 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있고,
    서로 다른 변조기의 벽 및 암이 서로에 대한 벽의 이동과 연관되어 서로 다른 스프링 정수를 구현하도록 이루어지는
    인터페로메트릭 변조기 어레이.
  14. 제13항에 있어서,
    암 각각은 2개의 단부를 가지며,
    상기 단부 중 제1 단부는 제1 벽 및 제2 단부에 부착되고,
    상기 제2 단부는 제2 벽에 대하여 고정된 위치에 부착되며,
    상기 제2 단부의 부착 지점은 제1 벽과 수직인 축을 기준으로 제2 벽에 부착된 단부로부터 오프셋되는
    변조기 어레이.
  15. 적어도 2개의 암으로 연결되는, 공동의 2개의 벽을 형성하는 단계; 및
    제1 벽의 기계적 응력을 완화시키기 위해 제1 벽이 제1 벽의 평면 내에서 암을 기준으로 회전하는 것을 허용하는 단계
    를 포함하는 인터페로메트릭 변조기의 제조 방법.
  16. 일반적으로 서로 평행인 3개의 벽; 및
    적어도 하나의 벽을 변조기의 3개의 개별 동작 상태를 표시하는 개별 위치로 구동하는 제어 회로
    을 포함하며,
    상기 벽은 적어도 하나의 벽이 다른 2개의 벽에 대하여 이동하도록 지지되는
    인터페로메트릭 변조기의 제조 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    3개의 개별 상태 중 제1 상태인 경우, 제1 벽과 제2 벽 사이 및 제2 벽과제3 벽 사이에 갭이 존재하며,
    3개의 개별 상태 중 제2 상태인 경우, 제1 벽과 제2 벽 사이에는 갭이 존재하며 제2 벽과 제3 벽의 사이에는 갭이 존재하지 않으며,
    3개의 개별 상태 중 제3 상태인 경우, 제1 벽과 제2 벽 사이 및 제2 벽과 제3 벽 사이에 갭이 존재하지 않는
    인터페로메트릭 변조기의 제조 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    막 각각이 유전체, 금속 또는 반도체 막으로 이루어지는 인터페로메트릭 변조기의 제조 방법.
  19. 서로에 대하여 접촉 위치로부터 접촉 위치로 이동할 수 있는 2개의 벽으로 형성되며, 상기 2개의 벽이 서로에 대하여 기본적으로 인접하여 위치하는 공동; 및
    상기 2개의 벽이 접촉 위치에서 닿는 표면 면적을 감소시키기 위해 제1 벽의 일부를 형성하도록 장착되는 스페이서(spacer)
    를 포함하는 인터페로메트릭 변조기.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 스페이서가 전극을 포함하며,
    전극에 전류를 공급하기 위한 도체를 추가로 포함하는
    변조기.
  21. 액체로 채워진 갭에 의해 분리되는 2개의 벽으로 형성되는 공동; 및
    제1 벽 내에 위치하며, 갭의 용적이 변경됨에 따라 갭으로 또는 갭으로부터 이동하는 액체의 댐핑 효과(damping effect)를 제어하도록 구성되는 개구부
    를 포함하며,
    상기 2개의 벽은 갭의 용적을 변경하기 위해 서로에 대하여 운동할 수 있는
    변조기.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 개구부가 벽 중앙의 둥근 구멍을 포함하는 변조기.
  23. 공동을 형성하는 적어도 2개의 벽을 포함하며,
    상기 벽은 서로에 대하여 운동가능하며,
    벽의 상대적 위치는 두 가지 모드를 형성하며,
    상기 두 가지 모드 중에서 제1 모드에서는, 변조기가 입사 광을 반사하고 백색을 나타내고,
    상기 두 가지 모드 중에서 제2 모드에서는, 변조기가 입사 광을 흡수하고 흑색을 나타내는
    인터페로메트릭 변조기.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 제1 벽은 금속 사이에 끼워진 유전체를 포함하며,
    다른 벽은 유전체를 포함하는
    변조기.
  25. 2개의 벽으로 형성되는 공동을 포함하며,
    상기 벽은 적어도 2개의 암에 의해 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있고,
    그 응답 시간이 암의 길이, 암이 벽에 연결되는 위치, 제1 벽의 두께, 암의 두께, 댐핑 홀의 존재와 크기 및 변조기 부근의 주위 가스 압력 중에서 적어도 2개의 조합에 의해 미리 결정되는 값으로 제어되는
    인터페로메트릭 변조기.
  26. 2개의 벽으로 형성되는 공동; 및
    레일이 작동하거나 또는 교류 전극 구동 전압이 인가되는 것 중에서 적어도 하나를 포함하는 전하 증착 완화 장치(charge deposition mitigating device)
    를 포함하고
    상기 벽은 적어도 2개의 암에 의해 연결되어 서로에 대하여 운동할 수 있는
    인터페로메트릭 변조기.
  27. 지지대(supports)에 의해 유지되는 적어도 2개의 벽으로 각각 형성되는 하나 이상의 공동을 포함하며,
    상기 적어도 하나의 벽 또는 지지대는 벽 또는 지지대의 전기적, 기계적 또는 광학적 특성이 벽 또는 지지대 단면의 서로 다른 위치에서 서로 다르도록 적어도 2개의 재료를 포함하는
    인터페로메트릭 변조기.
  28. 제23항에 있어서,
    적어도 하나의 벽이 둘 이상의 개별적인 재료의 적층물(laminate)을 포함하는 변조기.
  29. 제27항에 있어서,
    상기 벽 중에서 적어도 하나의 벽이 둘 이상의 재료의 겹판물(gradient)을 포함하는 변조기.
  30. 제27항에 있어서,
    상기 지지대가 둘 이상의 개별적인 재료의 적층물을 포함하는 변조기.
  31. 제27항에 있어서,
    상기 지지대가 둘 이상의 재료의 겹판물을 포함하는 변조기.
  32. 제27항에 있어서,
    상기 2개의 재료가 각각 서로 다르며 상보적인 전기적, 기계적 또는 광학적 특성을 나타내는 변조기.
  33. 가스상 에칭액을 사용하여 증착된 새크리피셜층을 제거하는 단계를 포함하는 마이크로전자기계적 구조를 제조하는 경우에 사용되는 방법.
  34. 제33항에 있어서,
    상기 마이크로전자기계적 구조가 놓이는 기판이 가스상 에칭액의 효과에 대하여 대체로 면역성이 있는 방법.
  35. 제33항에 있어서,
    상기 기판이 불활성 막 도포에 의해 마이크로전자기계적 구조로부터 화학적으로 분리되는 방법.
  36. 제33항에 있어서,
    상기 MEMS가 간섭 변조기(interference modulator)를 포함하며,
    상기 변조기의 벽이 기판 상에 형성되며,
    플라즈마, 액체 또는 가스 상 에칭액이 벽과 기판 사이에 형성된 새크리피셜층을 제거하는
    방법.
  37. 제36항에 있어서,
    상기 가스상 에칭액이 XeF2, BrF3, ClF3, BrF5 및 IF5 중에서 하나를 포함하는 방법.
  38. 제33항에 있어서,
    상기 사용된 새크리피셜층이 실리콘, 몰리브덴 및 텅스텐, 탄탈 또는 게르마늄을 포함하는 방법.
  39. 적어도 크기가 8" ×8"이거나 직경이 8"인 유리 또는 플라스틱 기판의 표면 상의 전자기계적 구조(electromechanical structure)를 마이크로머시닝(micromachining)하는 단계
    를 포함하는 마이크로전자기계적 구조 어레이를 생산 라인에서 제조하는 방법.
  40. 제39항에 있어서,
    전자회로가 MEM과 결합하여 제조되는 방법.
  41. 제39항에 있어서,
    상기 마이크로전자기계적 구조가 간섭 변조기를 포함하는 방법.
  42. 제39항에 있어서,
    전자회로를 형성하는 단계가 상기 구조를 마이크로머시닝하는 단계와 중첩되는 방법.
  43. 제39항에 있어서,
    상기 전자회로를 형성하는 단계가 상기 구조를 마이크로머시닝하는 단계와 중첩되지 않는 방법.
  44. 단일 마스킹 단계에서 상기 새크리피셜층 및 1차 동작 전극(actuating electrode)을 패턴화하고 에칭하는 MEM 구조의 제조 방법.
  45. 절연층을 덜 에칭함으로써 1차 동작 전극 및 2차 동작 전극을 절연하는 MEM 구조의 제조 방법.
  46. 새크리피셜층은 단일 단계에서 패턴화되고 에칭되며,
    절연층 및 1차 동작 전극은 개별적인 단계에서 패턴화되고 에칭되는
    표면 마이크로머시닝된 MEM 구조의 제조 방법.
  47. 단일 마스킹 단계에서 새크리피셜층, 절연층 및 1차 동작 전극을 패턴화하고 에칭하는 표면 마이크로머시닝된 MEM 구조의 제조 방법.
  48. 절연층을 덜 에칭함으로써, 1차 동작 전극 및 2차 동작 전극을 전기적으로 절연하는 MEM 구조의 제조 방법.
KR1020007011227A 1998-04-08 1999-04-01 간섭 변조기 및 그 제조 방법 KR100703140B1 (ko)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/056,975 1998-04-08
US09/056,975 US6674562B1 (en) 1994-05-05 1998-04-08 Interferometric modulation of radiation

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Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020007011227A KR100703140B1 (ko) 1998-04-08 1999-04-01 간섭 변조기 및 그 제조 방법

Country Status (4)

Country Link
US (9) US7554711B2 (ko)
KR (1) KR100703140B1 (ko)
TW (1) TW504583B (ko)
WO (1) WO1999052006A2 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101236429B1 (ko) * 2004-09-27 2013-02-22 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 광 미소 기전 시스템 및 구조

Families Citing this family (214)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US20010003487A1 (en) 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US8014059B2 (en) * 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US7839556B2 (en) * 1994-05-05 2010-11-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7550794B2 (en) 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
KR100703140B1 (ko) * 1998-04-08 2007-04-05 이리다임 디스플레이 코포레이션 간섭 변조기 및 그 제조 방법
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6836366B1 (en) * 2000-03-03 2004-12-28 Axsun Technologies, Inc. Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same
US6341039B1 (en) * 2000-03-03 2002-01-22 Axsun Technologies, Inc. Flexible membrane for tunable fabry-perot filter
US6283601B1 (en) * 2000-04-14 2001-09-04 C Speed Corporation Optical mirror system with multi-axis rotational control
EP1802114B1 (en) 2000-07-03 2011-11-23 Sony Corporation Optical multilayer structure, optical switching device, and image display
JP4830183B2 (ja) * 2000-07-19 2011-12-07 ソニー株式会社 光学多層構造体および光スイッチング素子、並びに画像表示装置
GB2371119A (en) * 2000-09-25 2002-07-17 Marconi Caswell Ltd Micro electro-mechanical systems
US6632373B1 (en) * 2000-09-28 2003-10-14 Xerox Corporation Method for an optical switch on a substrate
EP1193530B1 (en) * 2000-09-28 2006-02-01 Xerox Corporation Method of manufacturing a mirror structure
US6632374B1 (en) * 2000-09-28 2003-10-14 Xerox Corporation Method for an optical switch on a silicon on insulator substrate
US6504643B1 (en) * 2000-09-28 2003-01-07 Xerox Corporation Structure for an optical switch on a substrate
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US7781850B2 (en) * 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
US7417782B2 (en) 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
US6829132B2 (en) * 2003-04-30 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control of micro-electromechanical device
US7218499B2 (en) * 2003-05-14 2007-05-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control circuit
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
CN1330990C (zh) * 2003-07-18 2007-08-08 高通Mems科技公司 光干涉式反射面板及其制造方法
JP3786106B2 (ja) 2003-08-11 2006-06-14 セイコーエプソン株式会社 波長可変光フィルタ及びその製造方法
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7119945B2 (en) * 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7476327B2 (en) * 2004-05-04 2009-01-13 Idc, Llc Method of manufacture for microelectromechanical devices
TWI233916B (en) * 2004-07-09 2005-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system
KR101255691B1 (ko) * 2004-07-29 2013-04-17 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 간섭 변조기의 미소기전 동작을 위한 시스템 및 방법
US7499208B2 (en) * 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7916103B2 (en) 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US8031133B2 (en) 2004-09-27 2011-10-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7302157B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US7675669B2 (en) 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7359066B2 (en) * 2004-09-27 2008-04-15 Idc, Llc Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7525730B2 (en) 2004-09-27 2009-04-28 Idc, Llc Method and device for generating white in an interferometric modulator display
US7710636B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US7550912B2 (en) 2004-09-27 2009-06-23 Idc, Llc Method and system for maintaining partial vacuum in display device
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7808703B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US7612932B2 (en) * 2004-09-27 2009-11-03 Idc, Llc Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7692839B2 (en) 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US7369296B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7630123B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7136213B2 (en) * 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7630119B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US7710632B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US7527995B2 (en) 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US8102407B2 (en) 2004-09-27 2012-01-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7369294B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Ornamental display device
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
TWI293401B (en) 2004-12-30 2008-02-11 Au Optronics Corp Microelectrooptomechanical device and fabricating method thereof
TWI293720B (en) 2004-12-30 2008-02-21 Au Optronics Corp Microelectrooptomechanical device
CN1304874C (zh) * 2005-01-13 2007-03-14 重庆大学 光栅平动式光调制器及阵列
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US7746529B2 (en) 2005-02-23 2010-06-29 Pixtronix, Inc. MEMS display apparatus
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
KR20080027236A (ko) 2005-05-05 2008-03-26 콸콤 인코포레이티드 다이나믹 드라이버 ｉｃ 및 디스플레이 패널 구성
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
US7948457B2 (en) 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7884989B2 (en) 2005-05-27 2011-02-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. White interferometric modulators and methods for forming the same
US7460292B2 (en) 2005-06-03 2008-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator with internal polarization and drive method
EP1928780A2 (en) * 2005-09-30 2008-06-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mems device and interconnects for same
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7795061B2 (en) 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US8194056B2 (en) 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US8049713B2 (en) 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7876489B2 (en) 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7777715B2 (en) 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
EP2069838A2 (en) 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with built-in light coupler
EP2366945A1 (en) 2006-10-06 2011-09-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Optical loss layer integrated in an illumination apparatus of a display
EP2080045A1 (en) 2006-10-20 2009-07-22 Pixtronix Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US7852546B2 (en) 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
US7403180B1 (en) * 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays
US8115987B2 (en) 2007-02-01 2012-02-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Modulating the intensity of light from an interferometric reflector
US7742220B2 (en) 2007-03-28 2010-06-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing conducting layers separated by stops
US20080247012A1 (en) * 2007-04-04 2008-10-09 Wu Kuohua Angus Variable optical phase modulator
US7643202B2 (en) 2007-05-09 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7715085B2 (en) 2007-05-09 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US7643199B2 (en) * 2007-06-19 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. High aperture-ratio top-reflective AM-iMod displays
US7782517B2 (en) 2007-06-21 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Infrared and dual mode displays
US7630121B2 (en) 2007-07-02 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
EP2183623A1 (en) 2007-07-31 2010-05-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices for enhancing colour shift of interferometric modulators
US8072402B2 (en) 2007-08-29 2011-12-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics
US7847999B2 (en) 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
US7773286B2 (en) 2007-09-14 2010-08-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Periodic dimple array
US7848003B2 (en) * 2007-09-17 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Semi-transparent/transflective lighted interferometric devices
JP5209727B2 (ja) 2007-10-19 2013-06-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 一体型光起電力デバイスを有するディスプレイ
US8058549B2 (en) 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
JP2011504243A (ja) 2007-10-23 2011-02-03 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 調節可能透過型ｍｅｍｓベースの装置
US8941631B2 (en) 2007-11-16 2015-01-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Simultaneous light collection and illumination on an active display
US7715079B2 (en) 2007-12-07 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS devices requiring no mechanical support
EP2247977A2 (en) * 2008-02-14 2010-11-10 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Device having power generating black mask and method of fabricating the same
US8164821B2 (en) 2008-02-22 2012-04-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with thermal expansion balancing layer or stiffening layer
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7612933B2 (en) 2008-03-27 2009-11-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with spacing layer
US7898723B2 (en) 2008-04-02 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure
US7969638B2 (en) 2008-04-10 2011-06-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having thin black mask and method of fabricating the same
US8248560B2 (en) 2008-04-18 2012-08-21 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
US7768690B2 (en) 2008-06-25 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7746539B2 (en) 2008-06-25 2010-06-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packing a display device and the device obtained thereof
US8023167B2 (en) 2008-06-25 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US8952463B2 (en) * 2008-07-08 2015-02-10 Pixart Imaging Incorporation MEMS structure preventing stiction
US7859740B2 (en) 2008-07-11 2010-12-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control
US7782522B2 (en) 2008-07-17 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Encapsulation methods for interferometric modulator and MEMS devices
US7855826B2 (en) 2008-08-12 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus to reduce or eliminate stiction and image retention in interferometric modulator devices
US8358266B2 (en) 2008-09-02 2013-01-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light turning device with prismatic light turning features
US7719754B2 (en) * 2008-09-30 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Multi-thickness layers for MEMS and mask-saving sequence for same
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US20100181652A1 (en) * 2009-01-16 2010-07-22 Honeywell International Inc. Systems and methods for stiction reduction in mems devices
US8270056B2 (en) 2009-03-23 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with openings between sub-pixels and method of making same
WO2010138763A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination devices and methods of fabrication thereof
US7990604B2 (en) 2009-06-15 2011-08-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator
NO333724B1 (no) * 2009-08-14 2013-09-02 Sintef En mikromekanisk rekke med optisk reflekterende overflater
US8270062B2 (en) 2009-09-17 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with at least one movable stop element
US8488228B2 (en) 2009-09-28 2013-07-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric display with interferometric reflector
US7999995B2 (en) * 2009-09-28 2011-08-16 Sharp Laboratories Of America, Inc. Full color range interferometric modulation
US8379392B2 (en) * 2009-10-23 2013-02-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light-based sealing and device packaging
US20110169724A1 (en) * 2010-01-08 2011-07-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric pixel with patterned mechanical layer
WO2011097258A1 (en) 2010-02-02 2011-08-11 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
KR20120132680A (ko) 2010-02-02 2012-12-07 픽스트로닉스 인코포레이티드 저온 실 유체 충전된 디스플레이 장치의 제조 방법
TWI444323B (zh) * 2010-02-03 2014-07-11 Prime View Int Co Ltd 驅動元件及驅動元件陣列排列
JP5333286B2 (ja) * 2010-02-23 2013-11-06 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5381801B2 (ja) * 2010-02-23 2014-01-08 セイコーエプソン株式会社 画像形成装置
CN102211752A (zh) * 2010-04-08 2011-10-12 元太科技工业股份有限公司 驱动元件、驱动元件阵列模组及其结构
WO2011126953A1 (en) 2010-04-09 2011-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer of an electromechanical device and methods of forming the same
BR112012026329A2 (pt) 2010-04-16 2019-09-24 Flex Lighting Ii Llc sinal compreendendo um guia de luz baseado em película
CN103038567A (zh) 2010-04-16 2013-04-10 弗莱克斯照明第二有限责任公司 包括膜基光导的照明装置
US20110261036A1 (en) * 2010-04-22 2011-10-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for massive parallel dithering of images
WO2011133706A1 (en) * 2010-04-22 2011-10-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Active matrix content manipulation systems and methods
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
WO2012024238A1 (en) * 2010-08-17 2012-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Actuation and calibration of a charge neutral electrode in an interferometric display device
US9057872B2 (en) 2010-08-31 2015-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dielectric enhanced mirror for IMOD display
CN102401994B (zh) * 2010-09-07 2013-11-20 上海丽恒光微电子科技有限公司 光调制器像素单元及其制作方法
US8555720B2 (en) 2011-02-24 2013-10-15 Freescale Semiconductor, Inc. MEMS device with enhanced resistance to stiction
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
KR101561131B1 (ko) 2011-04-20 2015-10-16 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. 광-검출 시스템
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
US8596123B2 (en) 2011-05-05 2013-12-03 Freescale Semiconductor, Inc. MEMS device with impacting structure for enhanced resistance to stiction
JP5715481B2 (ja) * 2011-05-16 2015-05-07 浜松ホトニクス株式会社 光モジュール及びその製造方法
US9120667B2 (en) 2011-06-20 2015-09-01 International Business Machines Corporation Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures
US8973250B2 (en) 2011-06-20 2015-03-10 International Business Machines Corporation Methods of manufacturing a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure
IL214294A0 (en) * 2011-07-26 2011-09-27 Rafael Advanced Defense Sys Surface micro-machined switching device
US8736939B2 (en) 2011-11-04 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Matching layer thin-films for an electromechanical systems reflective display device
US20130135324A1 (en) * 2011-11-29 2013-05-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems, devices, and methods for driving an analog interferometric modulator
US20130135320A1 (en) * 2011-11-30 2013-05-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Tri-state mems device and drive schemes
US20150098066A1 (en) * 2011-12-30 2015-04-09 Bayer Materialscience Llc Interferometric spatial light modulator for production of digital holograms
US8760751B2 (en) 2012-01-26 2014-06-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog IMOD having a color notch filter
WO2013116314A1 (en) * 2012-01-30 2013-08-08 Light Field Corporation Full color phase-only spatial light modulator for holographic video display systems
JP5987573B2 (ja) * 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
US20140071139A1 (en) * 2012-09-13 2014-03-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Imod pixel architecture for improved fill factor, frame rate and stiction performance
US9181086B1 (en) 2012-10-01 2015-11-10 The Research Foundation For The State University Of New York Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof
US9041751B2 (en) 2012-11-01 2015-05-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical systems display device including a movable absorber and a movable reflector assembly
US9325948B2 (en) * 2012-11-13 2016-04-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Real-time compensation for blue shift of electromechanical systems display devices
US20140176570A1 (en) * 2012-12-21 2014-06-26 Pixtronix, Inc. Interferometric light absorbing structure for display apparatus
US9354401B2 (en) 2013-01-30 2016-05-31 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Optical connector having a cleaning element
US9645256B2 (en) 2013-03-12 2017-05-09 Mirion Technologies Inc. Radiation detector and method
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
US9233832B2 (en) 2013-05-10 2016-01-12 Globalfoundries Inc. Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures
US20150001052A1 (en) * 2013-06-27 2015-01-01 Mobiplex, Inc. Mechanical switch for controlling electrical power of electronic sensors
US9404860B2 (en) * 2014-05-09 2016-08-02 Apple Inc. Micro-electro-mechanical system optical sensor with tilt plates
GB201512914D0 (en) * 2015-07-22 2015-09-02 Isis Innovation Optical device
CN105233891B (zh) * 2015-10-21 2017-03-08 哈尔滨工业大学 一种用于捕捉和旋转微尺度颗粒的微流控芯片与应用
JP6926527B2 (ja) * 2017-02-28 2021-08-25 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター及び光学モジュール
KR101935810B1 (ko) 2017-05-17 2019-01-08 주식회사 하이딥 스트레인 게이지가 형성된 디스플레이 패널을 포함하는 터치 입력 장치

Family Cites Families (1100)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US188110A (en) * 1877-03-06 Improvement in thimbles
US605090A (en) * 1898-06-07 Electrical apparatus for charging furnaces
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
US2590906A (en) 1946-11-22 1952-04-01 Farrand Optical Co Inc Reflection interference filter
US2588792A (en) 1947-11-26 1952-03-11 Libbey Owens Ford Glass Co Adjustable mounting for automobile rearview mirrors
US2518647A (en) 1948-01-07 1950-08-15 Celanese Corp Interferometer means for thickness measurements
US2677714A (en) * 1951-09-21 1954-05-04 Alois Vogt Dr Optical-electrical conversion device comprising a light-permeable metal electrode
US3037189A (en) 1958-04-23 1962-05-29 Sylvania Electric Prod Visual display system
US3247392A (en) 1961-05-17 1966-04-19 Optical Coating Laboratory Inc Optical coating and assembly used as a band pass interference filter reflecting in the ultraviolet and infrared
US3210757A (en) 1962-01-29 1965-10-05 Carlyle W Jacob Matrix controlled light valve display apparatus
US3296530A (en) 1962-09-28 1967-01-03 Lockheed Aircraft Corp Voltage controlled electroluminescent meter display
US3184600A (en) 1963-05-07 1965-05-18 Potter Instrument Co Inc Photosensitive apparatus for measuring coordinate distances
DE1288651B (de) 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
US3371345A (en) 1966-05-26 1968-02-27 Radiation Inc Radar augmentor
US3410363A (en) 1966-08-22 1968-11-12 Devenco Inc Method and apparatus for testing the wave-reflecting characteristics of a chamber
US3448334A (en) 1966-09-30 1969-06-03 North American Rockwell Multicolored e.l. displays using external colored light sources
US3924929A (en) 1966-11-14 1975-12-09 Minnesota Mining & Mfg Retro-reflective sheet material
FR1603131A (ko) 1968-07-05 1971-03-22
US3661461A (en) 1969-11-26 1972-05-09 Du Pont Co-irradiation system for producing positive images
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3813265A (en) 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
DE10127319B4 (de) 2001-06-06 2004-03-18 Andrea Burkhardt Wellnessgerät
US3728030A (en) 1970-06-22 1973-04-17 Cary Instruments Polarization interferometer
US3725868A (en) 1970-10-19 1973-04-03 Burroughs Corp Small reconfigurable processor for a variety of data processing applications
US3679313A (en) 1970-10-23 1972-07-25 Bell Telephone Labor Inc Dispersive element for optical pulse compression
US3701586A (en) 1971-04-21 1972-10-31 George G Goetz Light modulating deflectable membrane
US3746785A (en) 1971-11-26 1973-07-17 Bendix Corp Deflectable membrane optical modulator
JPS4946974A (ko) 1972-09-11 1974-05-07
US3982239A (en) 1973-02-07 1976-09-21 North Hills Electronics, Inc. Saturation drive arrangements for optically bistable displays
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US3886310A (en) 1973-08-22 1975-05-27 Westinghouse Electric Corp Electrostatically deflectable light valve with improved diffraction properties
JPS5610976Y2 (ko) 1975-02-20 1981-03-12
US4125868A (en) 1975-10-28 1978-11-14 Automix Keyboards, Inc. Typesetting terminal apparatus having searching and merging features
US4087810A (en) 1976-06-30 1978-05-02 International Business Machines Corporation Membrane deformographic display, and method of making
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4196396A (en) 1976-10-15 1980-04-01 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Interferometer apparatus using electro-optic material with feedback
DE2703688A1 (de) 1977-01-29 1978-08-10 Bosch Gmbh Robert Schutzvorrichtung fuer lichtdurchlaessig abgeschlossene, insbesondere verglaste, raumoeffnungen, als schutz gegen uebermaessigen waermedurchgang
US4154219A (en) 1977-03-11 1979-05-15 E-Systems, Inc. Prismatic solar reflector apparatus and method of solar tracking
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4287449A (en) 1978-02-03 1981-09-01 Sharp Kabushiki Kaisha Light-absorption film for rear electrodes of electroluminescent display panel
US4445050A (en) 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4200472A (en) 1978-06-05 1980-04-29 The Regents Of The University Of California Solar power system and high efficiency photovoltaic cells used therein
GB2033125B (en) 1978-08-18 1982-07-21 Sharp Kk Elastomer display
US4190488A (en) 1978-08-21 1980-02-26 International Business Machines Corporation Etching method using noble gas halides
US4215244A (en) 1978-12-18 1980-07-29 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Self-adaptive mobile subscriber access system employing time division multiple accessing
US4347983A (en) 1979-01-19 1982-09-07 Sontek Industries, Inc. Hyperbolic frequency modulation related to aero/hydrodynamic flow systems
US4408181A (en) 1979-04-10 1983-10-04 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Document data filing/retrieval system
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
JPS5610977A (en) 1979-07-09 1981-02-03 Agency Of Ind Science & Technol Manufacture of photoelectric converter
US4282862A (en) 1979-11-09 1981-08-11 Soleau Bertrand S Thin-line collectors
JPS5688111A (en) 1979-12-19 1981-07-17 Citizen Watch Co Ltd Liquid crystal display device with solar battery
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3012253A1 (de) 1980-03-28 1981-10-15 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung
DE3109653A1 (de) 1980-03-31 1982-01-28 Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena "resonanzabsorber"
US4421381A (en) 1980-04-04 1983-12-20 Yokogawa Hokushin Electric Corp. Mechanical vibrating element
US4484179A (en) 1980-04-16 1984-11-20 At&T Bell Laboratories Touch position sensitive surface
JPS56161676A (en) 1980-05-16 1981-12-12 Japan Electronic Ind Dev Assoc<Jeida> Electrode structure for thin film transistor
US4377324A (en) * 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4375312A (en) 1980-08-07 1983-03-01 Hughes Aircraft Company Graded index waveguide structure and process for forming same
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4378567A (en) 1981-01-29 1983-03-29 Eastman Kodak Company Electronic imaging apparatus having means for reducing inter-pixel transmission nonuniformity
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
US4400577A (en) 1981-07-16 1983-08-23 Spear Reginald G Thin solar cells
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4863224A (en) 1981-10-06 1989-09-05 Afian Viktor V Solar concentrator and manufacturing method therefor
US4571603A (en) * 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4518959A (en) 1982-05-13 1985-05-21 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Electronic analog display device
US4500171A (en) * 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
JPS5944763U (ja) 1982-09-13 1984-03-24 黒崎炉工業株式会社 ウオ−キングビ−ム式炉
US4633031A (en) 1982-09-24 1986-12-30 Todorof William J Multi-layer thin film, flexible silicon alloy photovoltaic cell
EP0109160A3 (en) 1982-10-14 1986-04-09 The Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty's Government of the United Kingdom of Great Britain and Electronic displays
US4497974A (en) * 1982-11-22 1985-02-05 Exxon Research & Engineering Co. Realization of a thin film solar cell with a detached reflector
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
US4688068A (en) 1983-07-08 1987-08-18 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Quantum well multijunction photovoltaic cell
US4498953A (en) 1983-07-27 1985-02-12 At&T Bell Laboratories Etching techniques
DE3402746A1 (de) 1984-01-27 1985-08-08 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Fluessigkristallanzeige
JPS60159731A (ja) 1984-01-30 1985-08-21 Sharp Corp 液晶表示体
US4832459A (en) 1984-02-06 1989-05-23 Rogers Corporation Backlighting for electro-optical passive displays and transflective layer useful therewith
US5633652A (en) 1984-02-17 1997-05-27 Canon Kabushiki Kaisha Method for driving optical modulation device
US4863245A (en) 1984-02-28 1989-09-05 Exxon Research And Engineering Company Superlattice electrooptic devices
JPS60147718U (ja) 1984-03-09 1985-10-01 マツダ株式会社 エンジンの冷却装置
JPS60242408A (ja) 1984-05-17 1985-12-02 Seiko Epson Corp ライトガイド用光源光学系
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4566935A (en) * 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4709995A (en) 1984-08-18 1987-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Ferroelectric display panel and driving method therefor to achieve gray scale
US5096279A (en) * 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4560435A (en) 1984-10-01 1985-12-24 International Business Machines Corporation Composite back-etch/lift-off stencil for proximity effect minimization
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
JPS6193678A (ja) 1984-10-15 1986-05-12 Sharp Corp 光電変換装置
US5345322A (en) 1985-03-01 1994-09-06 Manchester R&D Limited Partnership Complementary color liquid crystal display
US4655554A (en) 1985-03-06 1987-04-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Spatial light modulator having a capacitively coupled photoconductor
JPS61256321A (ja) 1985-05-10 1986-11-13 Hitachi Ltd 液晶投射型表示装置
JPS6247841A (ja) 1985-08-26 1987-03-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式情報記憶担体
US4672254A (en) 1985-10-11 1987-06-09 Massachusetts Institute Of Technology Surface acoustic wave devices and method of manufacture thereof
EP0223414B1 (en) 1985-10-16 1994-01-12 BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company Mounting a component to a substrate
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
JPS6282454U (ko) 1985-11-13 1987-05-26
JPS62119502A (ja) 1985-11-18 1987-05-30 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション スペクトル・フイルタ
GB2186708B (en) 1985-11-26 1990-07-11 Sharp Kk A variable interferometric device and a process for the production of the same
US4705361A (en) 1985-11-27 1987-11-10 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
FR2597621A1 (fr) * 1986-04-22 1987-10-23 Thomson Csf Reseau d'elements diffusants d'energie electromagnetique a commande optique
US5835255A (en) 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4963245A (en) 1986-05-02 1990-10-16 Ciba Corning Diagnostics Corp. Unitary multiple electrode sensor
US4850682A (en) 1986-07-14 1989-07-25 Advanced Environmental Research Group Diffraction grating structures
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
GB8621438D0 (en) 1986-09-05 1986-10-15 Secr Defence Electro-optic device
GB8622711D0 (en) 1986-09-20 1986-10-29 Emi Plc Thorn Display device
GB8623240D0 (en) 1986-09-26 1986-10-29 Emi Plc Thorn Display device
FR2605444A1 (fr) 1986-10-17 1988-04-22 Thomson Csf Procede de commande d'un ecran matriciel electrooptique et circuit de commande mettant en oeuvre ce procede
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
GB8702302D0 (en) 1987-02-02 1987-03-11 Parks J R Capturing information in drawing & writing
JPS63194285A (ja) 1987-02-06 1988-08-11 シャープ株式会社 カラ−表示装置
EP0278038A1 (de) 1987-02-13 1988-08-17 Battelle-Institut e.V. Aktiver Bildschirm in Flachbauweise
US4822993A (en) 1987-02-17 1989-04-18 Optron Systems, Inc. Low-cost, substantially cross-talk free high spatial resolution 2-D bistable light modulator
US5114226A (en) 1987-03-20 1992-05-19 Digital Optronics Corporation 3-Dimensional vision system utilizing coherent optical detection
NL8701138A (nl) 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
DE3716485C1 (de) 1987-05-16 1988-11-24 Heraeus Gmbh W C Xenon-Kurzbogen-Entladungslampe
JPS63298287A (ja) 1987-05-29 1988-12-06 シャープ株式会社 液晶表示装置
US5091983A (en) * 1987-06-04 1992-02-25 Walter Lukosz Optical modulation apparatus and measurement method
US5010328A (en) 1987-07-21 1991-04-23 Thorn Emi Plc Display device
US4857978A (en) 1987-08-11 1989-08-15 North American Philips Corporation Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization
US4900136A (en) * 1987-08-11 1990-02-13 North American Philips Corporation Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel
US4879602A (en) 1987-09-04 1989-11-07 New York Institute Of Technology Electrode patterns for solid state light modulator
US20050259302A9 (en) 1987-09-11 2005-11-24 Metz Michael H Holographic light panels and flat panel display systems and method and apparatus for making same
GB2210540A (en) 1987-09-30 1989-06-07 Philips Electronic Associated Method of and arrangement for modifying stored data,and method of and arrangement for generating two-dimensional images
CA1319767C (en) 1987-11-26 1993-06-29 Canon Kabushiki Kaisha Display apparatus
US4977009A (en) 1987-12-16 1990-12-11 Ford Motor Company Composite polymer/desiccant coatings for IC encapsulation
JPH01108501U (ko) 1988-01-16 1989-07-21
US4956213A (en) 1988-02-17 1990-09-11 Fuji Photo Film Co., Ltd. Information recording medium
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4880493A (en) 1988-06-16 1989-11-14 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Electronic-carrier-controlled photochemical etching process in semiconductor device fabrication
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US4980775A (en) 1988-07-21 1990-12-25 Magnascreen Corporation Modular flat-screen television displays and modules and circuit drives therefor
US5074840A (en) 1990-07-24 1991-12-24 Inbae Yoon Packing device and method of packing for endoscopic procedures
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
US4925259A (en) 1988-10-20 1990-05-15 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Multilayer optical dielectric coating
US5206747A (en) 1988-09-28 1993-04-27 Taliq Corporation Polymer dispersed liquid crystal display with birefringence of the liquid crystal at least 0.23
JP2700903B2 (ja) 1988-09-30 1998-01-21 シャープ株式会社 液晶表示装置
JPH02151079A (ja) 1988-12-01 1990-06-11 Sharp Corp 太陽電池の製法
JPH0791089B2 (ja) 1988-12-13 1995-10-04 セントラル硝子株式会社 熱線反射ガラス
US4982184A (en) * 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
JPH0798326B2 (ja) 1989-01-11 1995-10-25 飯田工業株式会社 フィンガージョイントプレス装置
US4973131A (en) 1989-02-03 1990-11-27 Mcdonnell Douglas Corporation Modulator mirror
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US5079544A (en) * 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
US5287096A (en) * 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US5192946A (en) * 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
KR100202246B1 (ko) 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5446479A (en) 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
US5112582A (en) * 1990-04-09 1992-05-12 Betz Laboratories, Inc. Agglomerating agents for clay containing ores
US5218472A (en) 1989-03-22 1993-06-08 Alcan International Limited Optical interference structures incorporating porous films
US4900395A (en) * 1989-04-07 1990-02-13 Fsi International, Inc. HF gas etching of wafers in an acid processor
US5198644A (en) 1989-05-05 1993-03-30 Diablo Research Corporation System for display of prices and related method
US4961617A (en) 1989-07-19 1990-10-09 Ferrydon Shahidi Fibre optic waveguide illuminating elements
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
DE3930259A1 (de) 1989-09-11 1991-03-21 Thomson Brandt Gmbh Ansteuerschaltung fuer eine fluessigkristallanzeige
EP0417523B1 (en) 1989-09-15 1996-05-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
GB8921722D0 (en) 1989-09-26 1989-11-08 British Telecomm Micromechanical switch
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5381253A (en) * 1991-11-14 1995-01-10 Board Of Regents Of University Of Colorado Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation
US5126836A (en) 1989-11-01 1992-06-30 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
US5185660A (en) 1989-11-01 1993-02-09 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
JPH03160494A (ja) 1989-11-10 1991-07-10 Internatl Business Mach Corp <Ibm> データ処理装置
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
JP2923656B2 (ja) 1989-12-11 1999-07-26 富士通株式会社 マトリクス型表示装置のデータドライバ
JP2910114B2 (ja) 1990-01-20 1999-06-23 ソニー株式会社 電子機器
US5123247A (en) 1990-02-14 1992-06-23 116736 (Canada) Inc. Solar roof collector
US5500635A (en) 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
US5279990A (en) 1990-03-02 1994-01-18 Motorola, Inc. Method of making a small geometry contact using sidewall spacers
US5227900A (en) 1990-03-20 1993-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Method of driving ferroelectric liquid crystal element
CH682523A5 (fr) * 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5099353A (en) * 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
EP0467048B1 (en) 1990-06-29 1995-09-20 Texas Instruments Incorporated Field-updated deformable mirror device
US5304419A (en) 1990-07-06 1994-04-19 Alpha Fry Ltd Moisture and particle getter for enclosures
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
FR2665270B1 (fr) 1990-07-27 1994-05-13 Etat Francais Cnet Dispositif modulateur spatial de lumiere et systeme d'holographie conoscopique a grande dynamique comportant un tel dispositif modulateur.
DE69114790T2 (de) 1990-08-20 1996-04-18 Sony Corp Direktsicht-Bildwiedergabeapparat.
US5062689A (en) 1990-08-21 1991-11-05 Koehler Dale R Electrostatically actuatable light modulating device
JP2861340B2 (ja) 1990-09-07 1999-02-24 ソニー株式会社 半導体装置
US5110370A (en) 1990-09-20 1992-05-05 United Solar Systems Corporation Photovoltaic device with decreased gridline shading and method for its manufacture
US5050946A (en) 1990-09-27 1991-09-24 Compaq Computer Corporation Faceted light pipe
US5148157A (en) 1990-09-28 1992-09-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with full complex light modulation capability
US5034351A (en) 1990-10-01 1991-07-23 Motorola, Inc. Process for forming a feature on a substrate without recessing the surface of the substrate
US5526688A (en) 1990-10-12 1996-06-18 Texas Instruments Incorporated Digital flexure beam accelerometer and method
US5192395A (en) * 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
US5602671A (en) * 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
JP2719230B2 (ja) 1990-11-22 1998-02-25 キヤノン株式会社 光起電力素子
JPH04190323A (ja) 1990-11-26 1992-07-08 Hitachi Ltd 太陽電池セル付液晶ディスプレイ
DE9016732U1 (ko) 1990-12-11 1992-04-09 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
US5742265A (en) 1990-12-17 1998-04-21 Photonics Systems Corporation AC plasma gas discharge gray scale graphic, including color and video display drive system
JPH04238321A (ja) 1991-01-23 1992-08-26 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示器
US5287098A (en) * 1991-02-11 1994-02-15 Briggs & Stratton Corp. Fail safe system for a mechanical lock and key set with electrical interlock
JPH04276721A (ja) 1991-03-04 1992-10-01 Fuji Photo Film Co Ltd 液晶表示素子
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
US5136669A (en) 1991-03-15 1992-08-04 Sperry Marine Inc. Variable ratio fiber optic coupler optical signal processing element
US5358806A (en) 1991-03-19 1994-10-25 Hitachi, Ltd. Phase shift mask, method of correcting the same and apparatus for carrying out the method
DE4108966C2 (de) 1991-03-19 1994-03-10 Iot Entwicklungsgesellschaft F Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator
CA2063744C (en) * 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
JPH04309925A (ja) 1991-04-08 1992-11-02 Nec Corp アクティブマトリックスカラー液晶表示素子
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
JPH0760844B2 (ja) 1991-05-15 1995-06-28 株式会社駒ヶ根電化 使用済みプローブカードの再生方法
EP0514786B1 (en) 1991-05-23 1997-03-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Hologram recording material, hologram recording device, method of manufacturing the same, and method of hologram recording
US5555160A (en) 1991-06-27 1996-09-10 Nissen Chemitec Co., Ltd. Light-guiding panel for surface lighting and a surface lighting body
US5179274A (en) * 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5287215A (en) 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5170283A (en) 1991-07-24 1992-12-08 Northrop Corporation Silicon spatial light modulator
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5240818A (en) 1991-07-31 1993-08-31 Texas Instruments Incorporated Method for manufacturing a color filter for deformable mirror device
US5151585A (en) 1991-08-12 1992-09-29 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Coherent radiation detector
IL99420A (en) 1991-09-05 2000-12-06 Elbit Systems Ltd Helmet mounted display
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
CH680534A5 (en) 1991-09-16 1992-09-15 Landis & Gyr Betriebs Ag Fabry=perot sensor for optical parameter measurement - uses two opposing mirrors respectively attached to deflected measuring membrane and transparent plate
US5358601A (en) 1991-09-24 1994-10-25 Micron Technology, Inc. Process for isotropically etching semiconductor devices
GB9121159D0 (en) 1991-10-04 1991-11-13 Marconi Gec Ltd Colour display system
US5315370A (en) 1991-10-23 1994-05-24 Bulow Jeffrey A Interferometric modulator for optical signal processing
EP0539099A3 (en) 1991-10-25 1993-05-19 Optical Coating Laboratory, Inc. Repositionable optical cover for monitors
US5361383A (en) 1991-10-30 1994-11-01 Hughes Aircraft Company Optical fiber having internal partial mirrors and interferometer using same
US5563398A (en) 1991-10-31 1996-10-08 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator scanning system
US5515184A (en) 1991-11-12 1996-05-07 The University Of Alabama In Huntsville Waveguide hologram illuminators
CA2081753C (en) 1991-11-22 2002-08-06 Jeffrey B. Sampsell Dmd scanner
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5356488A (en) 1991-12-27 1994-10-18 Rudolf Hezel Solar cell and method for its manufacture
US5349503A (en) 1991-12-31 1994-09-20 At&T Bell Laboratories Illuminated transparent display with microtextured back reflector
US5244707A (en) 1992-01-10 1993-09-14 Shores A Andrew Enclosure for electronic devices
US5228013A (en) 1992-01-10 1993-07-13 Bik Russell J Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays
US6381022B1 (en) * 1992-01-22 2002-04-30 Northeastern University Light modulating device
CA2087625C (en) 1992-01-23 2006-12-12 William E. Nelson Non-systolic time delay and integration printing
US5296950A (en) * 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
JPH05216617A (ja) 1992-01-31 1993-08-27 Canon Inc 表示駆動装置および情報処理システム
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
US5528720A (en) 1992-03-23 1996-06-18 Minnesota Mining And Manufacturing Co. Tapered multilayer luminaire devices
US6002829A (en) 1992-03-23 1999-12-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Luminaire device
EP0562424B1 (en) 1992-03-25 1997-05-28 Texas Instruments Incorporated Embedded optical calibration system
JPH05281479A (ja) 1992-03-31 1993-10-29 Nippon Steel Corp 表示装置
US5312513A (en) * 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US5261970A (en) 1992-04-08 1993-11-16 Sverdrup Technology, Inc. Optoelectronic and photovoltaic devices with low-reflectance surfaces
JPH07508856A (ja) * 1992-04-08 1995-09-28 ジョージア テック リサーチ コーポレイション 成長基板から薄膜材料をリフトオフするためのプロセス
US5190637A (en) 1992-04-24 1993-03-02 Wisconsin Alumni Research Foundation Formation of microstructures by multiple level deep X-ray lithography with sacrificial metal layers
US5203632A (en) * 1992-04-24 1993-04-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Gas turbine pyrometer filtering system
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
US5398170A (en) 1992-05-18 1995-03-14 Lee; Song S. Optical-fiber display with intensive brightness
US5613103A (en) 1992-05-19 1997-03-18 Canon Kabushiki Kaisha Display control system and method for controlling data based on supply of data
TW245772B (ko) * 1992-05-19 1995-04-21 Akzo Nv
JPH0651250A (ja) * 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
US5638084A (en) 1992-05-22 1997-06-10 Dielectric Systems International, Inc. Lighting-independent color video display
JPH06214169A (ja) 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
JPH08501900A (ja) 1992-06-17 1996-02-27 ハリス・コーポレーション 結合ウェーハの製法
US5255093A (en) 1992-06-19 1993-10-19 Panasonic Technologies, Inc. Apparatus and a method for limiting gain in a digital gamma corrector
JPH0651721A (ja) 1992-07-29 1994-02-25 Canon Inc 表示制御装置
US5818095A (en) 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5345328A (en) 1992-08-12 1994-09-06 Sandia Corporation Tandem resonator reflectance modulator
US5293272A (en) * 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
US5737050A (en) 1992-08-25 1998-04-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light valve having reduced reflected light, high brightness and high contrast
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
JPH0695112A (ja) 1992-09-16 1994-04-08 Hitachi Ltd プリズムプレートおよびそれを用いた情報表示装置
GB9219671D0 (en) 1992-09-17 1992-10-28 Canterbury Park Limited Ink
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
US5296775A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Cooling microfan arrangements and process
US5339179A (en) 1992-10-01 1994-08-16 International Business Machines Corp. Edge-lit transflective non-emissive display with angled interface means on both sides of light conducting panel
US5488505A (en) 1992-10-01 1996-01-30 Engle; Craig D. Enhanced electrostatic shutter mosaic modulator
US5648860A (en) 1992-10-09 1997-07-15 Ag Technology Co., Ltd. Projection type color liquid crystal optical apparatus
US5285196A (en) 1992-10-15 1994-02-08 Texas Instruments Incorporated Bistable DMD addressing method
US5604607A (en) 1992-10-19 1997-02-18 Eastman Kodak Company Light concentrator system
US5659374A (en) 1992-10-23 1997-08-19 Texas Instruments Incorporated Method of repairing defective pixels
US5312512A (en) 1992-10-23 1994-05-17 Ncr Corporation Global planarization using SOG and CMP
JPH0745550Y2 (ja) 1992-11-12 1995-10-18 岐阜プラスチック工業株式会社 堆肥造り容器
US5353114A (en) 1992-11-24 1994-10-04 At&T Bell Laboratories Opto-electronic interferometic logic
US6166728A (en) 1992-12-02 2000-12-26 Scientific-Atlanta, Inc. Display system with programmable display parameters
US5285060A (en) 1992-12-15 1994-02-08 Donnelly Corporation Display for automatic rearview mirror
KR0168879B1 (ko) 1992-12-25 1999-04-15 기따지마 요시또시 렌티큘러 렌즈, 면광원 및 액정 표시 장치
US5374792A (en) 1993-01-04 1994-12-20 General Electric Company Micromechanical moving structures including multiple contact switching system
EP0608056B1 (en) 1993-01-11 1998-07-29 Canon Kabushiki Kaisha Display line dispatcher apparatus
EP0610665B1 (en) 1993-01-11 1997-09-10 Texas Instruments Incorporated Pixel control circuitry for spatial light modulator
FI96450C (fi) 1993-01-13 1996-06-25 Vaisala Oy Yksikanavainen kaasun pitoisuuden mittausmenetelmä ja -laitteisto
US5671314A (en) 1993-01-15 1997-09-23 Sisters Of Prividence In Oregon Illuminator devices for ultraviolet light delivery and methods of making same
EP0609812B1 (en) 1993-02-01 1998-01-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Waveguide-type image transmission device and fingerprint identification device
JP3240724B2 (ja) 1993-02-09 2001-12-25 ソニー株式会社 配線形成方法
US5670935A (en) 1993-02-26 1997-09-23 Donnelly Corporation Rearview vision system for vehicle including panoramic view
JP2823470B2 (ja) 1993-03-09 1998-11-11 シャープ株式会社 光走査装置及びそれを用いた表示装置並びに画像情報入出力装置
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7830587B2 (en) 1993-03-17 2010-11-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with semiconductor substrate
US5446567A (en) 1993-03-23 1995-08-29 Honeywell Inc. Liquid crystal display with first and second aperatures where one aperature has protuberances
JPH06281956A (ja) 1993-03-29 1994-10-07 Sharp Corp アクティブマトリクス配線基板
US5461411A (en) 1993-03-29 1995-10-24 Texas Instruments Incorporated Process and architecture for digital micromirror printer
US5337191A (en) 1993-04-13 1994-08-09 Photran Corporation Broad band pass filter including metal layers and dielectric layers of alternating refractive index
US5498863A (en) 1993-04-30 1996-03-12 At&T Corp. Wavelength-sensitive detectors based on absorbers in standing waves
GB2278222A (en) 1993-05-20 1994-11-23 Sharp Kk Spatial light modulator
US5559358A (en) * 1993-05-25 1996-09-24 Honeywell Inc. Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom
JP3524122B2 (ja) 1993-05-25 2004-05-10 キヤノン株式会社 表示制御装置
DE4317274A1 (de) 1993-05-25 1994-12-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung oberflächen-mikromechanischer Strukturen
US6149190A (en) 1993-05-26 2000-11-21 Kionix, Inc. Micromechanical accelerometer for automotive applications
US6199874B1 (en) 1993-05-26 2001-03-13 Cornell Research Foundation Inc. Microelectromechanical accelerometer for automotive applications
US5450205A (en) 1993-05-28 1995-09-12 Massachusetts Institute Of Technology Apparatus and method for real-time measurement of thin film layer thickness and changes thereof
US5324683A (en) 1993-06-02 1994-06-28 Motorola, Inc. Method of forming a semiconductor structure having an air region
JPH06350105A (ja) 1993-06-07 1994-12-22 Nec Corp マイクロマシンとその製造方法
US5481385A (en) 1993-07-01 1996-01-02 Alliedsignal Inc. Direct view display device with array of tapered waveguide on viewer side
US5489952A (en) 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5365283A (en) 1993-07-19 1994-11-15 Texas Instruments Incorporated Color phase control for projection display using spatial light modulator
US5673139A (en) 1993-07-19 1997-09-30 Medcom, Inc. Microelectromechanical television scanning device and method for making the same
US5510824A (en) * 1993-07-26 1996-04-23 Texas Instruments, Inc. Spatial light modulator array
US5526172A (en) 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
US5619061A (en) 1993-07-27 1997-04-08 Texas Instruments Incorporated Micromechanical microwave switching
CA2168107C (en) 1993-07-27 2001-02-13 Joel Petersen Light source destructuring and shaping device
US5581272A (en) 1993-08-25 1996-12-03 Texas Instruments Incorporated Signal generator for controlling a spatial light modulator
US5552925A (en) 1993-09-07 1996-09-03 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
US5483260A (en) 1993-09-10 1996-01-09 Dell Usa, L.P. Method and apparatus for simplified video monitor control
FR2710161B1 (fr) 1993-09-13 1995-11-24 Suisse Electronique Microtech Réseau miniature d'obturateurs de lumière.
US5457493A (en) 1993-09-15 1995-10-10 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror based image simulation system
EP0657760A1 (en) 1993-09-15 1995-06-14 Texas Instruments Incorporated Image simulation and projection system
US5629790A (en) 1993-10-18 1997-05-13 Neukermans; Armand P. Micromachined torsional scanner
US5497197A (en) 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5526051A (en) 1993-10-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Digital television system
US5459602A (en) 1993-10-29 1995-10-17 Texas Instruments Micro-mechanical optical shutter
US5452024A (en) 1993-11-01 1995-09-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system
US5894686A (en) 1993-11-04 1999-04-20 Lumitex, Inc. Light distribution/information display systems
WO1995012897A1 (fr) 1993-11-05 1995-05-11 Citizen Watch Co., Ltd. Dispositif a pile solaire et sa production
US5398125A (en) 1993-11-10 1995-03-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Liquid crystal projection panel having microlens arrays, on each side of the liquid crystal, with a focus beyond the liquid crystal
ATE179528T1 (de) 1993-11-15 1999-05-15 Allied Signal Inc Optisches element zur verwendung in einer matrix optischer elemente in einer anzeigevorrichtung
JPH07152340A (ja) 1993-11-30 1995-06-16 Rohm Co Ltd ディスプレイ装置
US5517347A (en) 1993-12-01 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Direct view deformable mirror device
NL9302091A (nl) 1993-12-02 1995-07-03 R & S Renewable Energy Systems Fotovoltaisch zonnepaneel en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
CA2137059C (en) 1993-12-03 2004-11-23 Texas Instruments Incorporated Dmd architecture to improve horizontal resolution
US5583688A (en) 1993-12-21 1996-12-10 Texas Instruments Incorporated Multi-level digital micromirror device
US5659410A (en) 1993-12-28 1997-08-19 Enplas Corporation Surface light source device and liquid crystal display
US5598565A (en) 1993-12-29 1997-01-28 Intel Corporation Method and apparatus for screen power saving
US5448314A (en) 1994-01-07 1995-09-05 Texas Instruments Method and apparatus for sequential color imaging
US5500761A (en) * 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
IL108506A (en) 1994-02-01 1997-06-10 Yeda Res & Dev Solar energy plant
FI94804C (fi) 1994-02-17 1995-10-25 Vaisala Oy Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä
TW334523B (en) 1994-03-02 1998-06-21 Toso Kk Back light
DE4407067C2 (de) 1994-03-03 2003-06-18 Unaxis Balzers Ag Dielektrisches Interferenz-Filtersystem, LCD-Anzeige und CCD-Anordnung sowie Verfahren zur Herstellung eines dielektrischen Interferenz-Filtersystems
US5444566A (en) * 1994-03-07 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Optimized electronic operation of digital micromirror devices
US5526327A (en) 1994-03-15 1996-06-11 Cordova, Jr.; David J. Spatial displacement time display
US5982540A (en) 1994-03-16 1999-11-09 Enplas Corporation Surface light source device with polarization function
US5796378A (en) 1994-03-29 1998-08-18 Casio Computer Co., Ltd. Birifringence control type liquid crystal display device and apparatus and method of driving the same
US5457900A (en) * 1994-03-31 1995-10-17 Roy; Avery J. Footwear display device
US5665997A (en) 1994-03-31 1997-09-09 Texas Instruments Incorporated Grated landing area to eliminate sticking of micro-mechanical devices
GB9407116D0 (en) 1994-04-11 1994-06-01 Secr Defence Ferroelectric liquid crystal display with greyscale
JP3298301B2 (ja) 1994-04-18 2002-07-02 カシオ計算機株式会社 液晶駆動装置
US20010003487A1 (en) 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US7776631B2 (en) 1994-05-05 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device and method of forming a MEMS device
US8081369B2 (en) 1994-05-05 2011-12-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US6680792B2 (en) 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7800809B2 (en) * 1994-05-05 2010-09-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US7826120B2 (en) * 1994-05-05 2010-11-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for multi-color interferometric modulation
US7619810B2 (en) 1994-05-05 2009-11-17 Idc, Llc Systems and methods of testing micro-electromechanical devices
US7138984B1 (en) 2001-06-05 2006-11-21 Idc, Llc Directly laminated touch sensitive screen
US7297471B1 (en) 2003-04-15 2007-11-20 Idc, Llc Method for manufacturing an array of interferometric modulators
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US7738157B2 (en) 1994-05-05 2010-06-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7460291B2 (en) 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US6040937A (en) 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7852545B2 (en) 1994-05-05 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7839556B2 (en) * 1994-05-05 2010-11-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7808694B2 (en) 1994-05-05 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US5805117A (en) 1994-05-12 1998-09-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Large area tiled modular display system
KR950033432A (ko) 1994-05-12 1995-12-26 윌리엄 이. 힐러 공간 광 변조기 디스플레이 포인팅 디바이스
WO1995033227A1 (en) 1994-05-26 1995-12-07 Philips Electronics N.V. Image projection device
US5497172A (en) * 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5671994A (en) 1994-06-08 1997-09-30 Clio Technologies, Inc. Flat and transparent front-lighting system using microprisms
US5673106A (en) 1994-06-17 1997-09-30 Texas Instruments Incorporated Printing system with self-monitoring and adjustment
US5454906A (en) 1994-06-21 1995-10-03 Texas Instruments Inc. Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices
US5920418A (en) 1994-06-21 1999-07-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Diffractive optical modulator and method for producing the same, infrared sensor including such a diffractive optical modulator and method for producing the same, and display device including such a diffractive optical modulator
US5499062A (en) 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
JPH0822024A (ja) 1994-07-05 1996-01-23 Mitsubishi Electric Corp アクティブマトリクス基板およびその製法
WO1996002862A1 (fr) 1994-07-15 1996-02-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Dispositif de visualisation tete haute, dispositif d'affichage a cristaux liquides et leur procede de fabrication
US5636052A (en) * 1994-07-29 1997-06-03 Lucent Technologies Inc. Direct view display based on a micromechanical modulation
US5485304A (en) 1994-07-29 1996-01-16 Texas Instruments, Inc. Support posts for micro-mechanical devices
US5656554A (en) 1994-07-29 1997-08-12 International Business Machines Corporation Semiconductor chip reclamation technique involving multiple planarization processes
JP3363606B2 (ja) 1994-08-05 2003-01-08 三洋電機株式会社 光起電力モジュール
CA2198105A1 (en) 1994-09-02 1996-03-14 Rad Hassan Dabbaj Reflective light valve modulator
US5544268A (en) 1994-09-09 1996-08-06 Deacon Research Display panel with electrically-controlled waveguide-routing
US5703710A (en) 1994-09-09 1997-12-30 Deacon Research Method for manipulating optical energy using poled structure
US5647036A (en) 1994-09-09 1997-07-08 Deacon Research Projection display with electrically-controlled waveguide routing
EP0784860A4 (en) 1994-09-15 1998-11-18 Panocorp Display Systems Inc ELECTRONIC FLUORESCENT VISUALIZATION SYSTEM WITH SIMPLIFIED MULTIPLE ELECTRODE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD
JP3219943B2 (ja) 1994-09-16 2001-10-15 株式会社東芝 平面直視型表示装置
JPH0894992A (ja) 1994-09-22 1996-04-12 Casio Comput Co Ltd 液晶表示素子
US6053617A (en) 1994-09-23 2000-04-25 Texas Instruments Incorporated Manufacture method for micromechanical devices
US5619059A (en) 1994-09-28 1997-04-08 National Research Council Of Canada Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings
US5594660A (en) 1994-09-30 1997-01-14 Cirrus Logic, Inc. Programmable audio-video synchronization method and apparatus for multimedia systems
US5526951A (en) * 1994-09-30 1996-06-18 Texas Instruments Incorporated Fabrication method for digital micro-mirror devices using low temperature CVD
US5528707A (en) 1994-09-30 1996-06-18 Honeywell Inc. Bidirectional optical modulator having lightwave signal conservation
JP3207686B2 (ja) 1994-10-07 2001-09-10 フオスター電機株式会社 スピーカ用ダンパー
US5795208A (en) 1994-10-11 1998-08-18 Yamaha Corporation Manufacture of electron emitter by replica technique
DE4437259C1 (de) * 1994-10-18 1995-10-19 Siemens Ag Mikromechanisches Relais
US6560018B1 (en) 1994-10-27 2003-05-06 Massachusetts Institute Of Technology Illumination system for transmissive light valve displays
US5650881A (en) 1994-11-02 1997-07-22 Texas Instruments Incorporated Support post architecture for micromechanical devices
JPH08136910A (ja) 1994-11-07 1996-05-31 Hitachi Ltd カラー液晶表示装置およびその製造方法
FR2726960B1 (fr) 1994-11-10 1996-12-13 Thomson Csf Procede de realisation de transducteurs magnetoresistifs
US5552924A (en) 1994-11-14 1996-09-03 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device having an improved beam
DE4441009C2 (de) 1994-11-17 2001-03-29 Karl Von Wedel Rostplattenanordnung
US5474865A (en) 1994-11-21 1995-12-12 Sematech, Inc. Globally planarized binary optical mask using buried absorbers
US5815229A (en) 1994-11-21 1998-09-29 Proxima Corporation Microlens imbedded liquid crystal projection panel including thermal insulation layer
WO1996016348A1 (fr) 1994-11-24 1996-05-30 Hitachi Ltd. Dispositif d'affichage a cristaux liquides
JPH08153700A (ja) 1994-11-25 1996-06-11 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 導電性被膜の異方性エッチング方法
JP2916887B2 (ja) 1994-11-29 1999-07-05 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像形成装置の製造方法
US5610624A (en) * 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
TW373116B (en) 1994-12-15 1999-11-01 Sharp Kk Lighting apparatus
US6115014A (en) 1994-12-26 2000-09-05 Casio Computer Co., Ltd. Liquid crystal display by means of time-division color mixing and voltage driving methods using birefringence
US5528172A (en) * 1994-12-27 1996-06-18 Honeywell Inc. Adjustable voltage level shifter
US5550373A (en) 1994-12-30 1996-08-27 Honeywell Inc. Fabry-Perot micro filter-detector
US5612713A (en) 1995-01-06 1997-03-18 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror device with block data loading
US5726480A (en) * 1995-01-27 1998-03-10 The Regents Of The University Of California Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same
JPH08202318A (ja) 1995-01-31 1996-08-09 Canon Inc 記憶性を有する表示装置の表示制御方法及びその表示システム
JP3251452B2 (ja) 1995-01-31 2002-01-28 シャープ株式会社 液晶表示装置におけるバックライト装置
JP3429384B2 (ja) 1995-02-03 2003-07-22 株式会社エンプラス サイドライト型面光源装置
US5567334A (en) 1995-02-27 1996-10-22 Texas Instruments Incorporated Method for creating a digital micromirror device using an aluminum hard mask
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US5636185A (en) 1995-03-10 1997-06-03 Boit Incorporated Dynamically changing liquid crystal display timekeeping apparatus
US5650865A (en) 1995-03-21 1997-07-22 Hughes Electronics Holographic backlight for flat panel displays
US5699074A (en) 1995-03-24 1997-12-16 Teletransaction, Inc. Addressing device and method for rapid video response in a bistable liquid crystal display
US5751388A (en) 1995-04-07 1998-05-12 Honeywell Inc. High efficiency polarized display
US5535047A (en) 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
US5784190A (en) * 1995-04-27 1998-07-21 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
US7898722B2 (en) 1995-05-01 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with restoring electrode
US5641391A (en) 1995-05-15 1997-06-24 Hunter; Ian W. Three dimensional microfabrication by localized electrodeposition and etching
US5886688A (en) 1995-06-02 1999-03-23 National Semiconductor Corporation Integrated solar panel and liquid crystal display for portable computer or the like
US5661592A (en) 1995-06-07 1997-08-26 Silicon Light Machines Method of making and an apparatus for a flat diffraction grating light valve
US6849471B2 (en) 2003-03-28 2005-02-01 Reflectivity, Inc. Barrier layers for microelectromechanical systems
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5835256A (en) * 1995-06-19 1998-11-10 Reflectivity, Inc. Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements
AU6285396A (en) 1995-06-20 1997-01-22 Thomson Comsumer Electronics, Inc. Back lit electronic viewfinder
US5578976A (en) 1995-06-22 1996-11-26 Rockwell International Corporation Micro electromechanical RF switch
US5686979A (en) 1995-06-26 1997-11-11 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical panel capable of switching between reflective and transmissive states
US6080467A (en) 1995-06-26 2000-06-27 3M Innovative Properties Company High efficiency optical devices
US6712481B2 (en) 1995-06-27 2004-03-30 Solid State Opto Limited Light emitting panel assemblies
US5763785A (en) 1995-06-29 1998-06-09 Massachusetts Institute Of Technology Integrated beam forming and focusing processing circuit for use in an ultrasound imaging system
JP3540444B2 (ja) 1995-07-06 2004-07-07 三菱レイヨン株式会社 バックライトおよびそれを用いた液晶表示装置
JPH0936387A (ja) 1995-07-18 1997-02-07 Denso Corp 半導体力学量センサの製造方法
US6124851A (en) 1995-07-20 2000-09-26 E Ink Corporation Electronic book with multiple page displays
US8139050B2 (en) 1995-07-20 2012-03-20 E Ink Corporation Addressing schemes for electronic displays
KR100213026B1 (ko) 1995-07-27 1999-08-02 윤종용 디엠디 및 그 제조공정
US5569332A (en) 1995-08-07 1996-10-29 United Solar Systems Corporation Optically enhanced photovoltaic back reflector
US5877874A (en) 1995-08-24 1999-03-02 Terrasun L.L.C. Device for concentrating optical radiation
US5757536A (en) * 1995-08-30 1998-05-26 Sandia Corporation Electrically-programmable diffraction grating
JP2728041B2 (ja) 1995-08-30 1998-03-18 日本電気株式会社 液晶パネル
US5963788A (en) 1995-09-06 1999-10-05 Sandia Corporation Method for integrating microelectromechanical devices with electronic circuitry
KR100365816B1 (ko) 1995-09-20 2003-02-20 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 화상표시장치
US5932309A (en) 1995-09-28 1999-08-03 Alliedsignal Inc. Colored articles and compositions and methods for their fabrication
US5661591A (en) 1995-09-29 1997-08-26 Texas Instruments Incorporated Optical switch having an analog beam for steering light
US5739945A (en) * 1995-09-29 1998-04-14 Tayebati; Parviz Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror
US6324192B1 (en) 1995-09-29 2001-11-27 Coretek, Inc. Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same
GB9522135D0 (en) 1995-10-30 1996-01-03 John Mcgavigan Holdings Limite Display panels
JPH09127551A (ja) 1995-10-31 1997-05-16 Sharp Corp 半導体装置およびアクティブマトリクス基板
JP3580826B2 (ja) 1995-11-01 2004-10-27 松下電器産業株式会社 出射効率制御素子、投射型ディスプレイ装置、赤外線センサおよび非接触温度計
WO1997017628A1 (en) 1995-11-06 1997-05-15 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7907319B2 (en) 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
US5740150A (en) 1995-11-24 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Galvanomirror and optical disk drive using the same
US5999306A (en) 1995-12-01 1999-12-07 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing spatial light modulator and electronic device employing it
JPH09160032A (ja) 1995-12-12 1997-06-20 Omron Corp 照明装置、並びに当該照明装置を用いた液晶表示装置、携帯端末機器、車載用機器及び光学的認識装置
US5933183A (en) 1995-12-12 1999-08-03 Fuji Photo Film Co., Ltd. Color spatial light modulator and color printer using the same
US5889568A (en) 1995-12-12 1999-03-30 Rainbow Displays Inc. Tiled flat panel displays
US5737115A (en) * 1995-12-15 1998-04-07 Xerox Corporation Additive color tristate light valve twisting ball display
US5825528A (en) 1995-12-26 1998-10-20 Lucent Technologies Inc. Phase-mismatched fabry-perot cavity micromechanical modulator
JP3799092B2 (ja) 1995-12-29 2006-07-19 アジレント・テクノロジーズ・インク 光変調装置及びディスプレイ装置
US5771321A (en) 1996-01-04 1998-06-23 Massachusetts Institute Of Technology Micromechanical optical switch and flat panel display
US5638946A (en) 1996-01-11 1997-06-17 Northeastern University Micromechanical switch with insulated switch contact
EP0786911B1 (en) 1996-01-26 2003-09-10 Sharp Kabushiki Kaisha Autostereoscopic display
GB2309609A (en) 1996-01-26 1997-07-30 Sharp Kk Observer tracking autostereoscopic directional display
US5967163A (en) 1996-01-30 1999-10-19 Abbott Laboratories Actuator and method
US5751469A (en) 1996-02-01 1998-05-12 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for an improved micromechanical modulator
KR19990082166A (ko) 1996-02-01 1999-11-25 다구치 에이치 면 광원 소자 및 그것을 사용한 액정 표시 장치, 표시 장치 및교통 표지 장치
US5961198A (en) 1996-02-02 1999-10-05 Hitachi, Ltd. Liquid crystal display device and method of manufacturing backlighting light guide panel therefor
US6114862A (en) 1996-02-14 2000-09-05 Stmicroelectronics, Inc. Capacitive distance sensor
JP3597305B2 (ja) 1996-03-05 2004-12-08 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶表示装置およびその作製方法
JPH09260696A (ja) 1996-03-19 1997-10-03 Daido Hoxan Inc 太陽電池
US6624944B1 (en) 1996-03-29 2003-09-23 Texas Instruments Incorporated Fluorinated coating for an optical element
US5815141A (en) 1996-04-12 1998-09-29 Elo Touch Systems, Inc. Resistive touchscreen having multiple selectable regions for pressure discrimination
JP3869488B2 (ja) 1996-04-17 2007-01-17 大日本印刷株式会社 ホログラムカラーフィルターを用いた画像表示装置
US5867301A (en) 1996-04-22 1999-02-02 Engle; Craig D. Phase modulating device
US5980054A (en) 1996-05-09 1999-11-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Panel-form illuminating system
JP3506841B2 (ja) 1996-05-17 2004-03-15 松下電器産業株式会社 反射型液晶表示装置の照明装置と反射型液晶表示装置
WO1997044707A2 (en) 1996-05-24 1997-11-27 Digital D.J. Incorporated Liquid crystal display device with integrated solar power source and antenna
JP2865618B2 (ja) 1996-05-31 1999-03-08 嶋田プレシジョン株式会社 導光板および導光板アセンブリ
DE19622748A1 (de) 1996-06-05 1997-12-11 Forschungszentrum Juelich Gmbh Interferenzfilter auf der Basis von porösem Silicium
US5782993A (en) 1996-06-28 1998-07-21 Ponewash; Jackie Photovoltaic cells having micro-embossed optical enhancing structures
US5907426A (en) 1996-06-28 1999-05-25 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Stabilizing device for optical modulator
US5771124A (en) 1996-07-02 1998-06-23 Siliscape Compact display system with two stage magnification and immersed beam splitter
JPH1020328A (ja) 1996-07-02 1998-01-23 Fuji Xerox Co Ltd 空間光変調素子
KR100213968B1 (ko) 1996-07-15 1999-08-02 구자홍 액정표시장치
FR2751398B1 (fr) 1996-07-16 1998-08-28 Thomson Csf Dispositif d'eclairage et application a l'eclairage d'un ecran transmissif
US5720827A (en) 1996-07-19 1998-02-24 University Of Florida Design for the fabrication of high efficiency solar cells
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
DE69626972T2 (de) 1996-07-31 2004-01-08 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Integrierter kapazitiver Halbleiter-Beschleunigungsmessaufnehmer sowie Verfahren zu seiner Herstellung
GB2315902A (en) 1996-08-01 1998-02-11 Sharp Kk LIquid crystal device
US5793504A (en) 1996-08-07 1998-08-11 Northrop Grumman Corporation Hybrid angular/spatial holographic multiplexer
US5838484A (en) 1996-08-19 1998-11-17 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator with linear operating characteristic
US5828088A (en) 1996-09-05 1998-10-27 Astropower, Inc. Semiconductor device structures incorporating "buried" mirrors and/or "buried" metal electrodes
US5912758A (en) 1996-09-11 1999-06-15 Texas Instruments Incorporated Bipolar reset for spatial light modulators
GB9619781D0 (en) 1996-09-23 1996-11-06 Secr Defence Multi layer interference coatings
EP0878720B2 (en) 1996-09-24 2011-06-22 Seiko Epson Corporation Illuminating device and display using the device
JP3402138B2 (ja) 1996-09-27 2003-04-28 株式会社日立製作所 液晶表示装置
US5975703A (en) 1996-09-30 1999-11-02 Digital Optics International Image projection system
FI108581B (fi) 1996-10-03 2002-02-15 Valtion Teknillinen Sähköisesti säädettävä optinen suodin
US5854872A (en) 1996-10-08 1998-12-29 Clio Technologies, Inc. Divergent angle rotator system and method for collimating light beams
US5771116A (en) 1996-10-21 1998-06-23 Texas Instruments Incorporated Multiple bias level reset waveform for enhanced DMD control
JPH09189910A (ja) 1996-10-28 1997-07-22 Seiko Epson Corp カラー表示装置
WO1998019201A1 (en) 1996-10-29 1998-05-07 Xeotron Corporation Optical device utilizing optical waveguides and mechanical light-switches
US6486862B1 (en) 1996-10-31 2002-11-26 Kopin Corporation Card reader display system
US7929197B2 (en) 1996-11-05 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
DE19730715C1 (de) 1996-11-12 1998-11-26 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Relais
US5683649A (en) 1996-11-14 1997-11-04 Eastman Kodak Company Method for the fabrication of micro-electromechanical ceramic parts
FR2756105B1 (fr) 1996-11-19 1999-03-26 Commissariat Energie Atomique Detecteur multispectral a cavite resonante
JPH10161630A (ja) 1996-12-05 1998-06-19 Toshiba Corp 動画データ出力デバイスおよびその環境設定方法
US5868480A (en) 1996-12-17 1999-02-09 Compaq Computer Corporation Image projection apparatus for producing an image supplied by parallel transmitted colored light
US7830588B2 (en) 1996-12-19 2010-11-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making a light modulating display device and associated transistor circuitry and structures thereof
US7471444B2 (en) 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
WO1998032047A1 (en) 1997-01-16 1998-07-23 Motorola Inc. Ambient illuminated electro-optic display device
KR100532801B1 (ko) 1997-01-21 2005-12-02 굿리치 코포레이션 용량성 결합을 감소시키기 위하여 에어 갭을 가진 반도체 디바이스를 제조하는 방법
GB2321532A (en) 1997-01-22 1998-07-29 Sharp Kk Multi-colour reflector device and display
US6028689A (en) * 1997-01-24 2000-02-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-motion micromirror
US5981112A (en) 1997-01-24 1999-11-09 Eastman Kodak Company Method of making color filter arrays
JPH10202948A (ja) 1997-01-29 1998-08-04 Canon Inc 画像形成装置および画像形成装置の画像形成方法
US6266473B1 (en) 1997-02-07 2001-07-24 Alliedsignal Inc. Reflective display
US5939795A (en) 1997-02-10 1999-08-17 Yu; Wei Kong Seat sensor operating safety system for a motor vehicle
JPH10293212A (ja) 1997-02-18 1998-11-04 Dainippon Printing Co Ltd バックライト及び液晶表示装置
US5783614A (en) 1997-02-21 1998-07-21 Copytele, Inc. Polymeric-coated dielectric particles and formulation and method for preparing same
US5913594A (en) 1997-02-25 1999-06-22 Iimura; Keiji Flat panel light source device and passive display device utilizing the light source device
US5881449A (en) 1997-02-28 1999-03-16 Eastman Kodak Company Method of making a microceramic electromagnetic light shutter
US5786927A (en) 1997-03-12 1998-07-28 Lucent Technologies Inc. Gas-damped micromechanical structure
JPH10260641A (ja) 1997-03-17 1998-09-29 Nec Corp フラットパネル型表示装置用ドライバｉｃの実装構造
US6123431A (en) 1997-03-19 2000-09-26 Sanyo Electric Co., Ltd Backlight apparatus and light guide plate
JP3666181B2 (ja) 1997-03-21 2005-06-29 ソニー株式会社 反射型兼透過型表示装置
US6034752A (en) 1997-03-22 2000-03-07 Kent Displays Incorporated Display device reflecting visible and infrared radiation
EP0867747A3 (en) 1997-03-25 1999-03-03 Sony Corporation Reflective display device
US6384952B1 (en) * 1997-03-27 2002-05-07 Mems Optical Inc. Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method
JP3231655B2 (ja) 1997-03-28 2001-11-26 シャープ株式会社 前方照明装置およびこれを備えた反射型液晶表示装置
US6879354B1 (en) 1997-03-28 2005-04-12 Sharp Kabushiki Kaisha Front-illuminating device and a reflection-type liquid crystal display using such a device
US5880921A (en) 1997-04-28 1999-03-09 Rockwell Science Center, Llc Monolithically integrated switched capacitor bank using micro electro mechanical system (MEMS) technology
EP0877272B1 (en) * 1997-05-08 2002-07-31 Texas Instruments Incorporated Improvements in or relating to spatial light modulators
EP0879991A3 (en) 1997-05-13 1999-04-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Illuminating system
GB9710062D0 (en) 1997-05-16 1997-07-09 British Tech Group Optical devices and methods of fabrication thereof
FI104658B (fi) 1997-05-26 2000-03-15 Nokia Mobile Phones Ltd Kahden näytön näyttöjärjestely ja päätelaite
WO1998054606A1 (fr) 1997-05-29 1998-12-03 Kuraray Co., Ltd. Guide de lumiere
US6142358A (en) 1997-05-31 2000-11-07 The Regents Of The University Of California Wafer-to-wafer transfer of microstructures using break-away tethers
US5822839A (en) 1997-06-03 1998-10-20 Eastman Kodak Company Method for making a micromotor in a ceramic substrate
US6147680A (en) 1997-06-03 2000-11-14 Koa T&T Corporation Touchpad with interleaved traces
US6480177B2 (en) 1997-06-04 2002-11-12 Texas Instruments Incorporated Blocked stepped address voltage for micromechanical devices
US5808780A (en) 1997-06-09 1998-09-15 Texas Instruments Incorporated Non-contacting micromechanical optical switch
US5959777A (en) 1997-06-10 1999-09-28 The University Of British Columbia Passive high efficiency variable reflectivity image display device
US5883684A (en) 1997-06-19 1999-03-16 Three-Five Systems, Inc. Diffusively reflecting shield optically, coupled to backlit lightguide, containing LED's completely surrounded by the shield
WO1998059382A1 (en) 1997-06-23 1998-12-30 Fed Corporation Voltage controlled color organic light emitting device and method of producing the same
US5914803A (en) * 1997-07-01 1999-06-22 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6239777B1 (en) 1997-07-22 2001-05-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Display device
US5870221A (en) * 1997-07-25 1999-02-09 Lucent Technologies, Inc. Micromechanical modulator having enhanced performance
US6259082B1 (en) 1997-07-31 2001-07-10 Rohm Co., Ltd. Image reading apparatus
JPH1154773A (ja) 1997-08-01 1999-02-26 Canon Inc 光起電力素子及びその製造方法
US5867302A (en) * 1997-08-07 1999-02-02 Sandia Corporation Bistable microelectromechanical actuator
KR19990016714A (ko) 1997-08-19 1999-03-15 윤종용 다면 영상 디스플레이형 배면 투사 프로젝트 장치
US6008449A (en) 1997-08-19 1999-12-28 Cole; Eric D. Reflective concentrating solar cell assembly
US6031653A (en) * 1997-08-28 2000-02-29 California Institute Of Technology Low-cost thin-metal-film interference filters
US5994174A (en) 1997-09-29 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Method of fabrication of display pixels driven by silicon thin film transistors
US5966235A (en) 1997-09-30 1999-10-12 Lucent Technologies, Inc. Micro-mechanical modulator having an improved membrane configuration
FR2769382B1 (fr) 1997-10-03 2000-12-01 Thomson Multimedia Sa Systeme d'eclairage arriere pour modulateur electro-optique transmissif utilisant l'effet de polarisation de la lumiere
GB2330678A (en) 1997-10-16 1999-04-28 Sharp Kk Addressing a ferroelectric liquid crystal display
US6021007A (en) 1997-10-18 2000-02-01 Murtha; R. Michael Side-collecting lightguide
US6088102A (en) 1997-10-31 2000-07-11 Silicon Light Machines Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system
US6273577B1 (en) 1997-10-31 2001-08-14 Sanyo Electric Co., Ltd. Light guide plate, surface light source using the light guide plate, and liquid crystal display using the surface light source
WO1999023832A1 (en) 1997-10-31 1999-05-14 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing thin film actuated mirror array in an optical projection system
US6008123A (en) 1997-11-04 1999-12-28 Lucent Technologies Inc. Method for using a hardmask to form an opening in a semiconductor substrate
US6285424B1 (en) 1997-11-07 2001-09-04 Sumitomo Chemical Company, Limited Black mask, color filter and liquid crystal display
US6322901B1 (en) 1997-11-13 2001-11-27 Massachusetts Institute Of Technology Highly luminescent color-selective nano-crystalline materials
US5945980A (en) 1997-11-14 1999-08-31 Logitech, Inc. Touchpad with active plane for pen detection
US6750876B1 (en) 1997-11-16 2004-06-15 Ess Technology, Inc. Programmable display controller
EP0916981B1 (en) 1997-11-17 2004-07-28 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Confocal spectroscopy system and method
JP3808992B2 (ja) 1997-11-21 2006-08-16 三菱電機株式会社 液晶パネルモジュール
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6492065B2 (en) 1997-12-05 2002-12-10 Victor Company Of Japan, Limited Hologram color filter, production method of the same hologram color filter and space light modulating apparatus using the same hologram color filter
JPH11174234A (ja) 1997-12-05 1999-07-02 Victor Co Of Japan Ltd ホログラムカラーフィルタ、ホログラムカラーフィルタの製 造方法及びこれを用いた空間光変調装置
US5920421A (en) * 1997-12-10 1999-07-06 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6180428B1 (en) * 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
KR100253378B1 (ko) 1997-12-15 2000-04-15 김영환 주문형반도체의외부표시장치
US6151089A (en) 1998-01-20 2000-11-21 Sony Corporation Reflection type display with light waveguide with inclined and planar surface sections
US6381381B1 (en) 1998-01-20 2002-04-30 Seiko Epson Corporation Optical switching device and image display device
JPH11211999A (ja) 1998-01-28 1999-08-06 Teijin Ltd 光変調素子および表示装置
US5914804A (en) 1998-01-28 1999-06-22 Lucent Technologies Inc Double-cavity micromechanical optical modulator with plural multilayer mirrors
US6660656B2 (en) 1998-02-11 2003-12-09 Applied Materials Inc. Plasma processes for depositing low dielectric constant films
US6100861A (en) 1998-02-17 2000-08-08 Rainbow Displays, Inc. Tiled flat panel display with improved color gamut
US6897855B1 (en) 1998-02-17 2005-05-24 Sarnoff Corporation Tiled electronic display structure
JP3496806B2 (ja) 1998-02-17 2004-02-16 株式会社エンプラス サイドライト型面光源装置及び液晶表示装置
JPH11232919A (ja) 1998-02-17 1999-08-27 Fuji Xerox Co Ltd フロントライト照明装置および反射型表示装置
GB9803441D0 (en) 1998-02-18 1998-04-15 Cambridge Display Tech Ltd Electroluminescent devices
JP3831510B2 (ja) 1998-02-27 2006-10-11 三洋電機株式会社 反射型液晶表示装置
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
US6172667B1 (en) 1998-03-19 2001-01-09 Michel Sayag Optically-based touch screen input device
US6262697B1 (en) 1998-03-20 2001-07-17 Eastman Kodak Company Display having viewable and conductive images
CN1142597C (zh) 1998-03-25 2004-03-17 Tdk株式会社 太阳能电池组件
JP2986773B2 (ja) 1998-04-01 1999-12-06 嶋田プレシジョン株式会社 点光源用の導光板
KR100703140B1 (ko) * 1998-04-08 2007-04-05 이리다임 디스플레이 코포레이션 간섭 변조기 및 그 제조 방법
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7532377B2 (en) 1998-04-08 2009-05-12 Idc, Llc Movable micro-electromechanical device
JP4106735B2 (ja) 1998-04-13 2008-06-25 凸版印刷株式会社 太陽電池付反射型ディスプレイ
US6967779B2 (en) 1998-04-15 2005-11-22 Bright View Technologies, Inc. Micro-lens array with precisely aligned aperture mask and methods of producing same
JP4520545B2 (ja) 1998-04-17 2010-08-04 セイコーインスツル株式会社 反射型液晶表示装置及びその製造方法
US6097145A (en) 1998-04-27 2000-08-01 Copytele, Inc. Aerogel-based phase transition flat panel display
US5943158A (en) * 1998-05-05 1999-08-24 Lucent Technologies Inc. Micro-mechanical, anti-reflection, switched optical modulator array and fabrication method
US6160833A (en) 1998-05-06 2000-12-12 Xerox Corporation Blue vertical cavity surface emitting laser
JP3520494B2 (ja) 1998-05-11 2004-04-19 日東電工株式会社 反射型液晶表示装置
WO1999059101A2 (en) 1998-05-12 1999-11-18 E-Ink Corporation Microencapsulated electrophoretic electrostatically-addressed media for drawing device applications
US6282010B1 (en) 1998-05-14 2001-08-28 Texas Instruments Incorporated Anti-reflective coatings for spatial light modulators
US6339417B1 (en) 1998-05-15 2002-01-15 Inviso, Inc. Display system having multiple memory elements per pixel
US20010040538A1 (en) 1999-05-13 2001-11-15 William A. Quanrud Display system with multiplexed pixels
TW386175B (en) 1998-05-19 2000-04-01 Dainippon Printing Co Ltd Light reflective panel for reflective liquid crystal panel
US6323982B1 (en) 1998-05-22 2001-11-27 Texas Instruments Incorporated Yield superstructure for digital micromirror device
US5923955A (en) 1998-05-28 1999-07-13 Xerox Corporation Fine flip chip interconnection
US6147790A (en) 1998-06-02 2000-11-14 Texas Instruments Incorporated Spring-ring micromechanical device
WO1999064912A1 (fr) 1998-06-05 1999-12-16 Seiko Epson Corporation Source lumineuse et dispositif d'affichage
US6430332B1 (en) 1998-06-05 2002-08-06 Fiber, Llc Optical switching apparatus
WO1999064950A1 (fr) 1998-06-08 1999-12-16 Kaneka Corporation Ecran tactile a film resistif pour afficheur a cristaux liquides et afficheur a cristaux liquides equipe dudit ecran tactile
KR100357315B1 (ko) 1998-06-25 2002-10-19 시티즌 도케이 가부시키가이샤 반사형 칼라액정표시장치
US6496122B2 (en) 1998-06-26 2002-12-17 Sharp Laboratories Of America, Inc. Image display and remote control system capable of displaying two distinct images
US6077722A (en) 1998-07-14 2000-06-20 Bp Solarex Producing thin film photovoltaic modules with high integrity interconnects and dual layer contacts
US6304297B1 (en) 1998-07-21 2001-10-16 Ati Technologies, Inc. Method and apparatus for manipulating display of update rate
GB2341476A (en) 1998-09-03 2000-03-15 Sharp Kk Variable resolution display device
JP2000081848A (ja) 1998-09-03 2000-03-21 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置を搭載した電子機器
US6113239A (en) 1998-09-04 2000-09-05 Sharp Laboratories Of America, Inc. Projection display system for reflective light valves
US6242989B1 (en) 1998-09-12 2001-06-05 Agere Systems Guardian Corp. Article comprising a multi-port variable capacitor
JP4074714B2 (ja) * 1998-09-25 2008-04-09 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
DE69940291D1 (de) 1998-09-28 2009-03-05 Sharp Kk Weltraumsolarzelle
US6972753B1 (en) 1998-10-02 2005-12-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Touch panel, display device provided with touch panel and electronic equipment provided with display device
US6323834B1 (en) 1998-10-08 2001-11-27 International Business Machines Corporation Micromechanical displays and fabrication method
US6171945B1 (en) * 1998-10-22 2001-01-09 Applied Materials, Inc. CVD nanoporous silica low dielectric constant films
US6288824B1 (en) 1998-11-03 2001-09-11 Alex Kastalsky Display device based on grating electromechanical shutter
US6316289B1 (en) 1998-11-12 2001-11-13 Amerasia International Technology Inc. Method of forming fine-pitch interconnections employing a standoff mask
US6391675B1 (en) 1998-11-25 2002-05-21 Raytheon Company Method and apparatus for switching high frequency signals
US6501107B1 (en) 1998-12-02 2002-12-31 Microsoft Corporation Addressable fuse array for circuits and mechanical devices
JP3332879B2 (ja) 1998-12-02 2002-10-07 キヤノン株式会社 ダイクロイックミラー
US6335831B2 (en) * 1998-12-18 2002-01-01 Eastman Kodak Company Multilevel mechanical grating device
GB9827945D0 (en) 1998-12-19 1999-02-10 Secr Defence Method of driving a spatial light modulator
JP3119255B2 (ja) 1998-12-22 2000-12-18 日本電気株式会社 マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
US6215221B1 (en) 1998-12-29 2001-04-10 Honeywell International Inc. Electrostatic/pneumatic actuators for active surfaces
US6358021B1 (en) * 1998-12-29 2002-03-19 Honeywell International Inc. Electrostatic actuators for active surfaces
US6590549B1 (en) 1998-12-30 2003-07-08 Texas Instruments Incorporated Analog pulse width modulation of video data
JP4511739B2 (ja) 1999-01-15 2010-07-28 ザ リージェンツ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ カリフォルニア マイクロ電子機械システムを形成するための多結晶シリコンゲルマニウム膜
JP2000214804A (ja) 1999-01-20 2000-08-04 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び露光装置並びに平面表示装置
JP3864204B2 (ja) 1999-02-19 2006-12-27 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネル
US7683926B2 (en) 1999-02-25 2010-03-23 Visionsense Ltd. Optical device
US6606175B1 (en) 1999-03-16 2003-08-12 Sharp Laboratories Of America, Inc. Multi-segment light-emitting diode
US6446486B1 (en) 1999-04-26 2002-09-10 Sandia Corporation Micromachine friction test apparatus
JP3657143B2 (ja) 1999-04-27 2005-06-08 シャープ株式会社 太陽電池及びその製造方法
US6782240B1 (en) 2000-04-27 2004-08-24 Joseph A Tabe Megatel communication information system
US7012600B2 (en) 1999-04-30 2006-03-14 E Ink Corporation Methods for driving bistable electro-optic displays, and apparatus for use therein
TW477897B (en) 1999-05-07 2002-03-01 Sharp Kk Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof
US6449084B1 (en) 1999-05-10 2002-09-10 Yanping Guo Optical deflector
NL1015202C2 (nl) 1999-05-20 2002-03-26 Nec Corp Actieve matrixvormige vloeiend-kristal displayinrichting.
TW523727B (en) 1999-05-27 2003-03-11 Koninkl Philips Electronics Nv Display device
FI107085B (fi) 1999-05-28 2001-05-31 Ics Intelligent Control System Valopaneeli
US6297811B1 (en) 1999-06-02 2001-10-02 Elo Touchsystems, Inc. Projective capacitive touchscreen
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
US6597419B1 (en) 1999-07-02 2003-07-22 Minolta Co., Ltd. Liquid crystal display including filter means with 10-70% transmittance in the selective reflection wavelength range
JP2001021883A (ja) 1999-07-06 2001-01-26 Nec Corp 反射型液晶表示器及び電子機器
GB2351866A (en) 1999-07-07 2001-01-10 Sharp Kk Stereoscopic display
TW473471B (en) 1999-07-21 2002-01-21 Ind Tech Res Inst Process for preparing pentenoic ester
US6862029B1 (en) 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
US6331909B1 (en) 1999-08-05 2001-12-18 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner
US6525310B2 (en) * 1999-08-05 2003-02-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner
US6674563B2 (en) 2000-04-13 2004-01-06 Lightconnect, Inc. Method and apparatus for device linearization
US6507330B1 (en) 1999-09-01 2003-01-14 Displaytech, Inc. DC-balanced and non-DC-balanced drive schemes for liquid crystal devices
US6275326B1 (en) 1999-09-21 2001-08-14 Lucent Technologies Inc. Control arrangement for microelectromechanical devices and systems
GB2354899A (en) 1999-10-02 2001-04-04 Sharp Kk Optical device for projection display
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6960305B2 (en) 1999-10-26 2005-11-01 Reflectivity, Inc Methods for forming and releasing microelectromechanical structures
US6741383B2 (en) 2000-08-11 2004-05-25 Reflectivity, Inc. Deflectable micromirrors with stopping mechanisms
US6549338B1 (en) 1999-11-12 2003-04-15 Texas Instruments Incorporated Bandpass filter to reduce thermal impact of dichroic light shift
US6552840B2 (en) 1999-12-03 2003-04-22 Texas Instruments Incorporated Electrostatic efficiency of micromechanical devices
US6545335B1 (en) 1999-12-27 2003-04-08 Xerox Corporation Structure and method for electrical isolation of optoelectronic integrated circuits
US6674090B1 (en) * 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
US6548908B2 (en) 1999-12-27 2003-04-15 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in passive devices
JP2001249287A (ja) 1999-12-30 2001-09-14 Texas Instr Inc <Ti> 双安定マイクロミラー・アレイを動作させる方法
JP2002162652A (ja) 2000-01-31 2002-06-07 Fujitsu Ltd シート状表示装置、樹脂球状体、及びマイクロカプセル
WO2001057841A1 (en) 2000-02-02 2001-08-09 3M Touch System, INC. Touch screen with polarizer and method of making same
US6407851B1 (en) 2000-08-01 2002-06-18 Mohammed N. Islam Micromechanical optical switch
US7098884B2 (en) 2000-02-08 2006-08-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor display device and method of driving semiconductor display device
WO2001063232A1 (en) 2000-02-24 2001-08-30 University Of Virginia Patent Foundation High sensitivity infrared sensing apparatus and related method thereof
JP2003524215A (ja) 2000-02-24 2003-08-12 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 光導波路を具える表示装置
US20030004272A1 (en) 2000-03-01 2003-01-02 Power Mark P J Data transfer method and apparatus
JP4357071B2 (ja) 2000-03-09 2009-11-04 株式会社東芝 半導体装置及び半導体記憶装置
ATE302429T1 (de) 2000-03-14 2005-09-15 Koninkl Philips Electronics Nv Flüssigkristallanzeigevorrichtung mit mitteln zur temperaturkompensation der betriebsspannung
EP1269619A2 (en) 2000-03-22 2003-01-02 Onix Microsystems Inc. Two-dimensional gimbaled scanning actuator with vertical electrostatic comb-drive for actuation and/or sensing
US20010051014A1 (en) 2000-03-24 2001-12-13 Behrang Behin Optical switch employing biased rotatable combdrive devices and methods
US6788520B1 (en) 2000-04-10 2004-09-07 Behrang Behin Capacitive sensing scheme for digital control state detection in optical switches
KR100481590B1 (ko) 2000-04-21 2005-04-08 세이코 엡슨 가부시키가이샤 전기 광학 장치, 투사형 표시 장치 및 전기 광학 장치의제조 방법
US6850217B2 (en) 2000-04-27 2005-02-01 Manning Ventures, Inc. Operating method for active matrix addressed bistable reflective cholesteric displays
US6356085B1 (en) 2000-05-09 2002-03-12 Pacesetter, Inc. Method and apparatus for converting capacitance to voltage
US6864882B2 (en) 2000-05-24 2005-03-08 Next Holdings Limited Protected touch panel display system
US7008812B1 (en) 2000-05-30 2006-03-07 Ic Mechanics, Inc. Manufacture of MEMS structures in sealed cavity using dry-release MEMS device encapsulation
JP2001343514A (ja) 2000-05-30 2001-12-14 Victor Co Of Japan Ltd ホログラムカラーフィルタ
JP3843703B2 (ja) 2000-06-13 2006-11-08 富士ゼロックス株式会社 光書き込み型記録表示装置
JP2001356701A (ja) 2000-06-15 2001-12-26 Fuji Photo Film Co Ltd 光学素子、光源ユニットおよび表示装置
US6466190B1 (en) 2000-06-19 2002-10-15 Koninklijke Philips Electronics N.V. Flexible color modulation tables of ratios for generating color modulation patterns
US7583335B2 (en) 2000-06-27 2009-09-01 Citizen Holdings Co., Ltd. Liquid crystal display device
US6473274B1 (en) 2000-06-28 2002-10-29 Texas Instruments Incorporated Symmetrical microactuator structure for use in mass data storage devices, or the like
US6384953B1 (en) 2000-06-29 2002-05-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Micro-dynamic optical device
TW535024B (en) 2000-06-30 2003-06-01 Minolta Co Ltd Liquid display element and method of producing the same
EP1802114B1 (en) 2000-07-03 2011-11-23 Sony Corporation Optical multilayer structure, optical switching device, and image display
GB0017008D0 (en) 2000-07-12 2000-08-30 Street Graham S B Structured light source
EP1172681A3 (en) * 2000-07-13 2004-06-09 Creo IL. Ltd. Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof
US6456420B1 (en) 2000-07-27 2002-09-24 Mcnc Microelectromechanical elevating structures
US6853129B1 (en) * 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
KR20020010322A (ko) 2000-07-29 2002-02-04 구본준, 론 위라하디락사 멤스（ｍｅｍｓ）를 이용한 투과형 디스플레이 장치
US6778155B2 (en) 2000-07-31 2004-08-17 Texas Instruments Incorporated Display operation with inserted block clears
US6795605B1 (en) 2000-08-01 2004-09-21 Cheetah Omni, Llc Micromechanical optical switch
US6867897B2 (en) 2003-01-29 2005-03-15 Reflectivity, Inc Micromirrors and off-diagonal hinge structures for micromirror arrays in projection displays
JP2002062505A (ja) 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 投影型表示装置及びそれに用いる干渉性変調素子
US6635919B1 (en) 2000-08-17 2003-10-21 Texas Instruments Incorporated High Q-large tuning range micro-electro mechanical system (MEMS) varactor for broadband applications
US6376787B1 (en) 2000-08-24 2002-04-23 Texas Instruments Incorporated Microelectromechanical switch with fixed metal electrode/dielectric interface with a protective cap layer
US6643069B2 (en) 2000-08-31 2003-11-04 Texas Instruments Incorporated SLM-base color projection display having multiple SLM's and multiple projection lenses
JP4304852B2 (ja) * 2000-09-04 2009-07-29 コニカミノルタホールディングス株式会社 非平面液晶表示素子及びその製造方法
JP2002075037A (ja) 2000-09-05 2002-03-15 Minebea Co Ltd 面状照明装置
JP2004511824A (ja) 2000-10-12 2004-04-15 レベオ，　インコーポレイティッド デジタル・ライト・プロセシング方式の３ｄ投影システム及び方法
US7072086B2 (en) 2001-10-19 2006-07-04 Batchko Robert G Digital focus lens system
US6504118B2 (en) 2000-10-27 2003-01-07 Daniel J Hyman Microfabricated double-throw relay with multimorph actuator and electrostatic latch mechanism
JP3466148B2 (ja) 2000-11-02 2003-11-10 富士通株式会社 ガルバノミラーの製造方法およびガルバノミラー
US6556338B2 (en) 2000-11-03 2003-04-29 Intpax, Inc. MEMS based variable optical attenuator (MBVOA)
US6859218B1 (en) * 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
US6593934B1 (en) 2000-11-16 2003-07-15 Industrial Technology Research Institute Automatic gamma correction system for displays
US6504641B2 (en) 2000-12-01 2003-01-07 Agere Systems Inc. Driver and method of operating a micro-electromechanical system device
US6647171B1 (en) 2000-12-01 2003-11-11 Corning Incorporated MEMS optical switch actuator
JP2002175053A (ja) 2000-12-07 2002-06-21 Sony Corp アクティブマトリクス型表示装置およびこれを用いた携帯端末
US6847752B2 (en) 2000-12-07 2005-01-25 Bluebird Optical Mems Ltd. Integrated actuator for optical switch mirror array
US6906847B2 (en) 2000-12-07 2005-06-14 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
JP2002174780A (ja) 2000-12-08 2002-06-21 Stanley Electric Co Ltd 反射型カラー表示器
AU2002222123A1 (en) * 2000-12-11 2002-06-24 Rad H Dabbaj Electrostatic device
US6756996B2 (en) 2000-12-19 2004-06-29 Intel Corporation Obtaining a high refresh rate display using a low bandwidth digital interface
JP4361206B2 (ja) 2000-12-21 2009-11-11 日東電工株式会社 光学フィルム及び液晶表示装置
FR2818795B1 (fr) 2000-12-27 2003-12-05 Commissariat Energie Atomique Micro-dispositif a actionneur thermique
US6775174B2 (en) 2000-12-28 2004-08-10 Texas Instruments Incorporated Memory architecture for micromirror cell
US6625047B2 (en) 2000-12-31 2003-09-23 Texas Instruments Incorporated Micromechanical memory element
WO2002058089A1 (en) * 2001-01-19 2002-07-25 Massachusetts Institute Of Technology Bistable actuation techniques, mechanisms, and applications
WO2002061781A1 (fr) 2001-01-30 2002-08-08 Advantest Corporation Commutateur et dispositif de circuit integre
EP1461802A4 (en) 2001-02-07 2008-10-01 Visible Tech Knowledgy Llc INTELLIGENT ELECTRONIC LABEL WITH ELECTRONIC DYE
US6620712B2 (en) 2001-02-14 2003-09-16 Intpax, Inc. Defined sacrifical region via ion implantation for micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) applications
AU2002250271A1 (en) 2001-03-02 2002-09-19 Massachusetts Institute Of Technology Methods and apparatus for diffractive optical processing using an actuatable structure
US6912078B2 (en) 2001-03-16 2005-06-28 Corning Incorporated Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture
WO2002080255A1 (en) 2001-03-16 2002-10-10 Corning Intellisense Corporation Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture
JP2002277771A (ja) 2001-03-21 2002-09-25 Ricoh Co Ltd 光変調装置
FR2822541B1 (fr) 2001-03-21 2003-10-03 Commissariat Energie Atomique Procedes et dispositifs de fabrication de detecteurs de rayonnement
JP3888075B2 (ja) 2001-03-23 2007-02-28 セイコーエプソン株式会社 光スイッチング素子、光スイッチングデバイス、および画像表示装置
US6661561B2 (en) 2001-03-26 2003-12-09 Creo Inc. High frequency deformable mirror device
US6630786B2 (en) 2001-03-30 2003-10-07 Candescent Technologies Corporation Light-emitting device having light-reflective layer formed with, or/and adjacent to, material that enhances device performance
SE0101184D0 (sv) 2001-04-02 2001-04-02 Ericsson Telefon Ab L M Micro electromechanical switches
GB0108309D0 (en) 2001-04-03 2001-05-23 Koninkl Philips Electronics Nv Matrix array devices with flexible substrates
US20020171610A1 (en) 2001-04-04 2002-11-21 Eastman Kodak Company Organic electroluminescent display with integrated touch-screen
JP2002313121A (ja) 2001-04-16 2002-10-25 Nitto Denko Corp タッチパネル付照明装置及び反射型液晶表示装置
US20020149850A1 (en) 2001-04-17 2002-10-17 E-Tek Dynamics, Inc. Tunable optical filter
US6657832B2 (en) 2001-04-26 2003-12-02 Texas Instruments Incorporated Mechanically assisted restoring force support for micromachined membranes
US6465355B1 (en) 2001-04-27 2002-10-15 Hewlett-Packard Company Method of fabricating suspended microstructures
GB2375184A (en) 2001-05-02 2002-11-06 Marconi Caswell Ltd Wavelength selectable optical filter
FR2824643B1 (fr) 2001-05-10 2003-10-31 Jean Pierre Lazzari Dispositif de modulation de lumiere
US6424094B1 (en) 2001-05-15 2002-07-23 Eastman Kodak Company Organic electroluminescent display with integrated resistive touch screen
US7106307B2 (en) 2001-05-24 2006-09-12 Eastman Kodak Company Touch screen for use with an OLED display
US6606247B2 (en) 2001-05-31 2003-08-12 Alien Technology Corporation Multi-feature-size electronic structures
US6598985B2 (en) 2001-06-11 2003-07-29 Nanogear Optical mirror system with multi-axis rotational control
US7749388B2 (en) 2001-06-15 2010-07-06 Life Technologies Corporation Low volume filtration column devices and methods of filtering therewith
US6822628B2 (en) 2001-06-28 2004-11-23 Candescent Intellectual Property Services, Inc. Methods and systems for compensating row-to-row brightness variations of a field emission display
JP4027313B2 (ja) 2001-07-05 2007-12-26 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション マイクロシステム・スイッチ
JP3740444B2 (ja) * 2001-07-11 2006-02-01 キヤノン株式会社 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体
JP4032216B2 (ja) * 2001-07-12 2008-01-16 ソニー株式会社 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置
KR100452112B1 (ko) * 2001-07-18 2004-10-12 한국과학기술원 정전 구동기
JP3909812B2 (ja) 2001-07-19 2007-04-25 富士フイルム株式会社 表示素子及び露光素子
US6862022B2 (en) 2001-07-20 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor
US6593834B2 (en) 2001-07-30 2003-07-15 Cindy Xing Qiu Double-throw miniature electromagnetic microwave switches with latching mechanism
US6589625B1 (en) 2001-08-01 2003-07-08 Iridigm Display Corporation Hermetic seal and method to create the same
US6600201B2 (en) 2001-08-03 2003-07-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Systems with high density packing of micromachines
GB2378343B (en) 2001-08-03 2004-05-19 Sendo Int Ltd Image refresh in a display
US6781208B2 (en) 2001-08-17 2004-08-24 Nec Corporation Functional device, method of manufacturing therefor and driver circuit
US6930364B2 (en) 2001-09-13 2005-08-16 Silicon Light Machines Corporation Microelectronic mechanical system and methods
US20030053078A1 (en) * 2001-09-17 2003-03-20 Mark Missey Microelectromechanical tunable fabry-perot wavelength monitor with thermal actuators
WO2003028059A1 (en) 2001-09-21 2003-04-03 Hrl Laboratories, Llc Mems switches and methods of making same
US6866669B2 (en) 2001-10-12 2005-03-15 Cordis Corporation Locking handle deployment mechanism for medical device and method
US7064852B2 (en) 2001-10-15 2006-06-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Image forming apparatus for executing a plurality of jobs and method of controlling the apparatus
US6787438B1 (en) 2001-10-16 2004-09-07 Teravieta Technologies, Inc. Device having one or more contact structures interposed between a pair of electrodes
US7004015B2 (en) 2001-10-25 2006-02-28 The Regents Of The University Of Michigan Method and system for locally sealing a vacuum microcavity, methods and systems for monitoring and controlling pressure and method and system for trimming resonant frequency of a microstructure therein
US6870581B2 (en) 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
US6674532B2 (en) * 2001-11-02 2004-01-06 Vandelden Jay S. Interferometric polarization interrogating filter assembly and method
WO2003040829A2 (en) 2001-11-07 2003-05-15 Applied Materials, Inc. Maskless printer using photoelectric conversion of a light beam array
WO2003044765A2 (en) 2001-11-20 2003-05-30 E Ink Corporation Methods for driving bistable electro-optic displays
JP2006504116A (ja) 2001-12-14 2006-02-02 ディジタル・オプティクス・インターナショナル・コーポレイション 均一照明システム
JP4190862B2 (ja) 2001-12-18 2008-12-03 シャープ株式会社 表示装置およびその駆動方法
KR20040083476A (ko) 2001-12-19 2004-10-02 액츄앨리티 시스템즈, 인크. 방사선 조절 시스템 및 그 방법
JP3893421B2 (ja) 2001-12-27 2007-03-14 富士フイルム株式会社 光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
US6959990B2 (en) 2001-12-31 2005-11-01 Texas Instruments Incorporated Prism for high contrast projection
US7012610B2 (en) 2002-01-04 2006-03-14 Ati Technologies, Inc. Portable device for providing dual display and method thereof
US6791735B2 (en) * 2002-01-09 2004-09-14 The Regents Of The University Of California Differentially-driven MEMS spatial light modulator
EP1357571A1 (de) 2002-04-24 2003-10-29 Abb Research Ltd. Mikro-elektromechanisches System und Verfahren zu dessen Herstellung
US6750589B2 (en) 2002-01-24 2004-06-15 Honeywell International Inc. Method and circuit for the control of large arrays of electrostatic actuators
JP4162900B2 (ja) 2002-02-05 2008-10-08 アルプス電気株式会社 照明装置及び液晶表示装置
US6794119B2 (en) 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
KR100639547B1 (ko) 2002-02-15 2006-10-30 가부시키가이샤 브리지스톤 화상표시장치
US6643053B2 (en) 2002-02-20 2003-11-04 The Regents Of The University Of California Piecewise linear spatial phase modulator using dual-mode micromirror arrays for temporal and diffractive fourier optics
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
JP2003255338A (ja) 2002-02-28 2003-09-10 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示装置
US7283112B2 (en) 2002-03-01 2007-10-16 Microsoft Corporation Reflective microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system
US6891658B2 (en) 2002-03-04 2005-05-10 The University Of British Columbia Wide viewing angle reflective display
EP1343190A3 (en) 2002-03-08 2005-04-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Variable capacitance element
EP1345197A1 (en) 2002-03-11 2003-09-17 Dialog Semiconductor GmbH LCD module identification
JP5060015B2 (ja) 2002-03-15 2012-10-31 アドレア エルエルシー 電気泳動アクティブマトリクス表示装置
US7145143B2 (en) 2002-03-18 2006-12-05 Honeywell International Inc. Tunable sensor
US6768555B2 (en) 2002-03-21 2004-07-27 Industrial Technology Research Institute Fabry-Perot filter apparatus with enhanced optical discrimination
CN1315185C (zh) 2002-04-11 2007-05-09 皇家飞利浦电子股份有限公司 包括载体的电子器件和制造该电子器件的方法
EP1500077B1 (en) 2002-04-19 2016-06-08 TPO Hong Kong Holding Limited Programmable drivers for display devices
JP2003315732A (ja) 2002-04-25 2003-11-06 Fuji Photo Film Co Ltd 画像表示装置
US20030202264A1 (en) 2002-04-30 2003-10-30 Weber Timothy L. Micro-mirror device
US20040212026A1 (en) 2002-05-07 2004-10-28 Hewlett-Packard Company MEMS device having time-varying control
US6791441B2 (en) 2002-05-07 2004-09-14 Raytheon Company Micro-electro-mechanical switch, and methods of making and using it
KR100433229B1 (ko) 2002-05-17 2004-05-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
JP3801099B2 (ja) * 2002-06-04 2006-07-26 株式会社デンソー チューナブルフィルタ、その製造方法、及びそれを使用した光スイッチング装置
JP2004021067A (ja) 2002-06-19 2004-01-22 Sanyo Electric Co Ltd 液晶表示装置、液晶表示装置の調整方法
JP2004029571A (ja) 2002-06-27 2004-01-29 Nokia Corp 液晶表示装置、Ｖｃｏｍ調整装置及び方法
DE10228946B4 (de) 2002-06-28 2004-08-26 Universität Bremen Optischer Modulator, Display, Verwendung eines optischen Modulators und Verfahren zur Herstellung eines optischen Modulators
US6741377B2 (en) 2002-07-02 2004-05-25 Iridigm Display Corporation Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same
JP4001066B2 (ja) 2002-07-18 2007-10-31 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、配線基板及び電子機器
TWI266106B (en) 2002-08-09 2006-11-11 Sanyo Electric Co Display device with a plurality of display panels
US6822798B2 (en) * 2002-08-09 2004-11-23 Optron Systems, Inc. Tunable optical filter
US6674033B1 (en) * 2002-08-21 2004-01-06 Ming-Shan Wang Press button type safety switch
JP4006304B2 (ja) 2002-09-10 2007-11-14 株式会社 日立ディスプレイズ 画像表示装置
TW544787B (en) * 2002-09-18 2003-08-01 Promos Technologies Inc Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer
JP4440523B2 (ja) 2002-09-19 2010-03-24 大日本印刷株式会社 インクジェット法による有機ｅｌ表示装置及びカラーフィルターの製造方法、製造装置
US7781850B2 (en) 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
JP2004133430A (ja) 2002-09-20 2004-04-30 Sony Corp 表示素子、表示装置、及びマイクロレンズアレイ
US7406245B2 (en) 2004-07-27 2008-07-29 Lumitex, Inc. Flat optical fiber light emitters
TW573170B (en) 2002-10-11 2004-01-21 Toppoly Optoelectronics Corp Dual-sided display liquid crystal panel
JP4347654B2 (ja) 2002-10-16 2009-10-21 オリンパス株式会社 可変形状反射鏡及びその製造方法
US6986587B2 (en) 2002-10-16 2006-01-17 Olympus Corporation Variable-shape reflection mirror and method of manufacturing the same
US6747785B2 (en) 2002-10-24 2004-06-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMS-actuated color light modulator and methods
US6666561B1 (en) 2002-10-28 2003-12-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Continuously variable analog micro-mirror device
US6909589B2 (en) 2002-11-20 2005-06-21 Corporation For National Research Initiatives MEMS-based variable capacitor
EP1563333A1 (en) 2002-11-22 2005-08-17 Advanced Nano Systems Mems scanning mirror with tunable natural frequency
US6844959B2 (en) 2002-11-26 2005-01-18 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light absorbing areas
US6741503B1 (en) 2002-12-04 2004-05-25 Texas Instruments Incorporated SLM display data address mapping for four bank frame buffer
US6813060B1 (en) 2002-12-09 2004-11-02 Sandia Corporation Electrical latching of microelectromechanical devices
WO2004054088A2 (en) 2002-12-10 2004-06-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Driving of an array of micro-electro-mechanical-system (mems) elements
TWI289708B (en) * 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
TW559686B (en) 2002-12-27 2003-11-01 Prime View Int Co Ltd Optical interference type panel and the manufacturing method thereof
TW594155B (en) 2002-12-27 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd Optical interference type color display and optical interference modulator
JP2004212673A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 平面表示素子及びその駆動方法
US6808953B2 (en) * 2002-12-31 2004-10-26 Robert Bosch Gmbh Gap tuning for surface micromachined structures in an epitaxial reactor
US7002719B2 (en) 2003-01-15 2006-02-21 Lucent Technologies Inc. Mirror for an integrated device
US6930816B2 (en) 2003-01-17 2005-08-16 Fuji Photo Film Co., Ltd. Spatial light modulator, spatial light modulator array, image forming device and flat panel display
US20040140557A1 (en) 2003-01-21 2004-07-22 United Test & Assembly Center Limited Wl-bga for MEMS/MOEMS devices
JP4397394B2 (ja) 2003-01-24 2010-01-13 ディジタル・オプティクス・インターナショナル・コーポレイション 高密度照明システム
TW200413810A (en) 2003-01-29 2004-08-01 Prime View Int Co Ltd Light interference display panel and its manufacturing method
US7205675B2 (en) 2003-01-29 2007-04-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-fabricated device with thermoelectric device and method of making
TW557395B (en) 2003-01-29 2003-10-11 Yen Sun Technology Corp Optical interference type reflection panel and the manufacturing method thereof
US20040147056A1 (en) 2003-01-29 2004-07-29 Mckinnell James C. Micro-fabricated device and method of making
JP2004235465A (ja) 2003-01-30 2004-08-19 Tokyo Electron Ltd 接合方法、接合装置及び封止部材
US7250930B2 (en) 2003-02-07 2007-07-31 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transparent active-matrix display
JP2004004553A (ja) 2003-02-10 2004-01-08 Seiko Epson Corp 液晶表示パネル及びドライブ回路
US6903487B2 (en) 2003-02-14 2005-06-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device with increased mirror tilt
US7688509B2 (en) 2003-02-21 2010-03-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. Autostereoscopic display
US6844953B2 (en) 2003-03-12 2005-01-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device including dielectrophoretic liquid
US7289404B2 (en) 2003-03-13 2007-10-30 Lg Electronics Inc. Write-once recording medium and defective area management method and apparatus for write-once recording medium
KR100925195B1 (ko) 2003-03-17 2009-11-06 엘지전자 주식회사 대화형 디스크 플레이어의 이미지 데이터 처리장치 및처리방법
JP2004286825A (ja) 2003-03-19 2004-10-14 Fuji Photo Film Co Ltd 平面表示装置
US6913942B2 (en) 2003-03-28 2005-07-05 Reflectvity, Inc Sacrificial layers for use in fabrications of microelectromechanical devices
DE10314525A1 (de) 2003-03-31 2004-11-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Beleuchtungsvorrichtung und Beleuchtungsvorrichtung
US7378655B2 (en) 2003-04-11 2008-05-27 California Institute Of Technology Apparatus and method for sensing electromagnetic radiation using a tunable device
TW594360B (en) 2003-04-21 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd A method for fabricating an interference display cell
TWI226504B (en) 2003-04-21 2005-01-11 Prime View Int Co Ltd A structure of an interference display cell
TW567355B (en) 2003-04-21 2003-12-21 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
US6741384B1 (en) 2003-04-30 2004-05-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Control of MEMS and light modulator arrays
US7447891B2 (en) 2003-04-30 2008-11-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Light modulator with concentric control-electrode structure
US7400489B2 (en) 2003-04-30 2008-07-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. System and a method of driving a parallel-plate variable micro-electromechanical capacitor
US6829132B2 (en) * 2003-04-30 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control of micro-electromechanical device
US6853476B2 (en) 2003-04-30 2005-02-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control circuit for a micro-electromechanical device
US7358966B2 (en) 2003-04-30 2008-04-15 Hewlett-Packard Development Company L.P. Selective update of micro-electromechanical device
US6819469B1 (en) 2003-05-05 2004-11-16 Igor M. Koba High-resolution spatial light modulator for 3-dimensional holographic display
US6865313B2 (en) 2003-05-09 2005-03-08 Opticnet, Inc. Bistable latching actuator for optical switching applications
US7218499B2 (en) 2003-05-14 2007-05-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control circuit
JP4338442B2 (ja) 2003-05-23 2009-10-07 富士フイルム株式会社 透過型光変調素子の製造方法
TW570896B (en) * 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
TW591716B (en) 2003-05-26 2004-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a structure release and manufacturing the same
US6917459B2 (en) 2003-06-03 2005-07-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMS device and method of forming MEMS device
US6811267B1 (en) 2003-06-09 2004-11-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Display system with nonvisible data projection
US6822780B1 (en) 2003-06-23 2004-11-23 Northrop Grumman Corporation Vertically stacked spatial light modulator with multi-bit phase resolution
US7221495B2 (en) 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
FR2857153B1 (fr) 2003-07-01 2005-08-26 Commissariat Energie Atomique Micro-commutateur bistable a faible consommation.
US7190337B2 (en) 2003-07-02 2007-03-13 Kent Displays Incorporated Multi-configuration display driver
US7209983B2 (en) * 2003-07-03 2007-04-24 Integrated Device Technology, Inc. Sequential flow-control and FIFO memory devices that are depth expandable in standard mode operation
US20070201234A1 (en) 2003-07-21 2007-08-30 Clemens Ottermann Luminous element
JP3722371B2 (ja) 2003-07-23 2005-11-30 シャープ株式会社 シフトレジスタおよび表示装置
US6903860B2 (en) 2003-11-01 2005-06-07 Fusao Ishii Vacuum packaged micromirror arrays and methods of manufacturing the same
US7190380B2 (en) * 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
US7173314B2 (en) * 2003-08-13 2007-02-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts
TWI305599B (en) * 2003-08-15 2009-01-21 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference display panel and method thereof
TWI251712B (en) * 2003-08-15 2006-03-21 Prime View Int Corp Ltd Interference display plate
TW200506479A (en) * 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
TW593127B (en) * 2003-08-18 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
TWI231865B (en) * 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
US20050057442A1 (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Olan Way Adjacent display of sequential sub-images
TWI232333B (en) * 2003-09-03 2005-05-11 Prime View Int Co Ltd Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
US20050068583A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Gutkowski Lawrence J. Organizing a digital image
TW593126B (en) 2003-09-30 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system and manufacturing the same
US6861277B1 (en) * 2003-10-02 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of forming MEMS device
US6894824B2 (en) 2003-10-02 2005-05-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro mirror device with spring and method for the same
US20050116924A1 (en) 2003-10-07 2005-06-02 Rolltronics Corporation Micro-electromechanical switching backplane
US20050122306A1 (en) 2003-10-29 2005-06-09 E Ink Corporation Electro-optic displays with single edge addressing and removable driver circuitry
KR100791165B1 (ko) 2003-11-19 2008-01-03 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 레지스트 패턴의형성방법 및 프린트 배선판의 제조방법
US7142346B2 (en) 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
US7161728B2 (en) 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7323217B2 (en) 2004-01-08 2008-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for making an optical interference type reflective panel
TWI235345B (en) 2004-01-20 2005-07-01 Prime View Int Co Ltd A structure of an optical interference display unit
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7532194B2 (en) 2004-02-03 2009-05-12 Idc, Llc Driver voltage adjuster
US7061681B2 (en) * 2004-03-02 2006-06-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fabry-Perot interferometer
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7855824B2 (en) 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
TWI261683B (en) 2004-03-10 2006-09-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference reflective element and repairing method thereof
US7095545B2 (en) 2004-04-02 2006-08-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microelectromechanical device with reset electrode
US7400041B2 (en) 2004-04-26 2008-07-15 Sriram Muthukumar Compliant multi-composition interconnects
US7245285B2 (en) * 2004-04-28 2007-07-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pixel device
US7476327B2 (en) 2004-05-04 2009-01-13 Idc, Llc Method of manufacture for microelectromechanical devices
US7164520B2 (en) 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US6970031B1 (en) 2004-05-28 2005-11-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and apparatus for reducing charge injection in control of MEMS electrostatic actuator array
EP1759376A1 (en) 2004-06-10 2007-03-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Light valve
US7075700B2 (en) 2004-06-25 2006-07-11 The Boeing Company Mirror actuator position sensor systems and methods
US7213958B2 (en) 2004-06-30 2007-05-08 3M Innovative Properties Company Phosphor based illumination system having light guide and an interference reflector
US7256922B2 (en) 2004-07-02 2007-08-14 Idc, Llc Interferometric modulators with thin film transistors
TWI233916B (en) * 2004-07-09 2005-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system
GB0415773D0 (en) 2004-07-15 2004-08-18 Koninkl Philips Electronics Nv A flexible display device
US7436389B2 (en) 2004-07-29 2008-10-14 Eugene J Mar Method and system for controlling the output of a diffractive light device
KR101255691B1 (ko) 2004-07-29 2013-04-17 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 간섭 변조기의 미소기전 동작을 위한 시스템 및 방법
US7126741B2 (en) 2004-08-12 2006-10-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Light modulator assembly
US7515147B2 (en) 2004-08-27 2009-04-07 Idc, Llc Staggered column drive circuit systems and methods
US7560299B2 (en) 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7551159B2 (en) 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
EP1632804B1 (en) 2004-09-01 2008-06-04 Barco, naamloze vennootschap. Prism assembly
US7602375B2 (en) 2004-09-27 2009-10-13 Idc, Llc Method and system for writing data to MEMS display elements
US20060066596A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Sampsell Jeffrey B System and method of transmitting video data
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7911428B2 (en) 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7508571B2 (en) 2004-09-27 2009-03-24 Idc, Llc Optical films for controlling angular characteristics of displays
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7807488B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US7369294B2 (en) 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Ornamental display device
US7710632B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US7612932B2 (en) 2004-09-27 2009-11-03 Idc, Llc Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7561323B2 (en) 2004-09-27 2009-07-14 Idc, Llc Optical films for directing light towards active areas of displays
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7675669B2 (en) 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7161730B2 (en) 2004-09-27 2007-01-09 Idc, Llc System and method for providing thermal compensation for an interferometric modulator display
AU2005289445A1 (en) 2004-09-27 2006-04-06 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7310179B2 (en) 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7626581B2 (en) 2004-09-27 2009-12-01 Idc, Llc Device and method for display memory using manipulation of mechanical response
US7527995B2 (en) 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US20060132383A1 (en) 2004-09-27 2006-06-22 Idc, Llc System and method for illuminating interferometric modulator display
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US8004504B2 (en) 2004-09-27 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reduced capacitance display element
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
EP1800167A1 (en) 2004-09-27 2007-06-27 Idc, Llc Reduced capacitance display element
US7349141B2 (en) 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and post structures for interferometric modulation
US8031133B2 (en) 2004-09-27 2011-10-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7586484B2 (en) 2004-09-27 2009-09-08 Idc, Llc Controller and driver features for bi-stable display
US20060077126A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Manish Kothari Apparatus and method for arranging devices into an interconnected array
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7630119B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7928928B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7136213B2 (en) 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7564612B2 (en) 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7535466B2 (en) 2004-09-27 2009-05-19 Idc, Llc System with server based control of client device display features
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7446927B2 (en) 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7417735B2 (en) 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Systems and methods for measuring color and contrast in specular reflective devices
US20060066586A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Gally Brian J Touchscreens for displays
US7184202B2 (en) 2004-09-27 2007-02-27 Idc, Llc Method and system for packaging a MEMS device
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7750886B2 (en) 2004-09-27 2010-07-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for lighting displays
US7327510B2 (en) * 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7369296B2 (en) 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7630123B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
US20060176241A1 (en) 2004-09-27 2006-08-10 Sampsell Jeffrey B System and method of transmitting video data
US7554714B2 (en) 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Device and method for manipulation of thermal response in a modulator
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
WO2006035565A1 (ja) 2004-09-27 2006-04-06 Asahi Glass Company, Limited プラズマディスプレイ基板用、電極および／またはブラックストライプの製造方法
US8362987B2 (en) 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US20060066594A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Karen Tyger Systems and methods for driving a bi-stable display element
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US20060066557A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Floyd Philip D Method and device for reflective display with time sequential color illumination
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7898521B2 (en) 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7321456B2 (en) 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7710636B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US7345805B2 (en) 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7545550B2 (en) 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7302157B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
JP4688131B2 (ja) 2004-10-21 2011-05-25 株式会社リコー 光偏向装置、光偏向アレー、光学システムおよび画像投影表示装置
US7139112B2 (en) 2004-10-27 2006-11-21 United Microdisplay Optronics Corp. Spatial light modulator and method for color management
TW200628877A (en) 2005-02-04 2006-08-16 Prime View Int Co Ltd Method of manufacturing optical interference type color display
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7375465B2 (en) 2005-05-19 2008-05-20 Chunghwa Picture Tubes, Ltd. Plasma display panel with single sided driving circuit
US7884989B2 (en) 2005-05-27 2011-02-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. White interferometric modulators and methods for forming the same
TW200641422A (en) 2005-05-30 2006-12-01 Polarlite Corp Transparent type light guiding module
US7460292B2 (en) 2005-06-03 2008-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator with internal polarization and drive method
US7349188B2 (en) 2005-06-06 2008-03-25 Eaton Corporation Arc fault detector responsive to patterns in interval to interval change in integrated sensed current values
EP1910216A1 (en) 2005-07-22 2008-04-16 QUALCOMM Incorporated Support structure for mems device and methods therefor
EP2495212A3 (en) 2005-07-22 2012-10-31 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Mems devices having support structures and methods of fabricating the same
KR20080040715A (ko) 2005-07-22 2008-05-08 콸콤 인코포레이티드 Ｍｅｍｓ 장치를 위한 지지 구조물 및 그 방법들
KR101423321B1 (ko) 2005-07-22 2014-07-30 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 지지 구조물들을 가지는 전자기계 장치들 및 그 제조방법들
KR101146527B1 (ko) 2005-11-30 2012-05-25 엘지디스플레이 주식회사 게이트 인 패널 구조 액정표시장치 및 그 제조 방법
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7382515B2 (en) 2006-01-18 2008-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture
US7652814B2 (en) 2006-01-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device with integrated optical element
US7603001B2 (en) 2006-02-17 2009-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing back-lighting in an interferometric modulator display device
US7550810B2 (en) 2006-02-23 2009-06-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having a layer movable at asymmetric rates
US7450295B2 (en) 2006-03-02 2008-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers
US7643203B2 (en) 2006-04-10 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical display system with broadband characteristics
US20070249078A1 (en) 2006-04-19 2007-10-25 Ming-Hau Tung Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US7623287B2 (en) 2006-04-19 2009-11-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7417784B2 (en) 2006-04-19 2008-08-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface
US7527996B2 (en) 2006-04-19 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
JP4876697B2 (ja) 2006-04-28 2012-02-15 ブラザー工業株式会社 画像処理装置および画像処理プログラム
US7369292B2 (en) 2006-05-03 2008-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrode and interconnect materials for MEMS devices
US7405863B2 (en) 2006-06-01 2008-07-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7321457B2 (en) 2006-06-01 2008-01-22 Qualcomm Incorporated Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts
US7766498B2 (en) 2006-06-21 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Linear solid state illuminator
US7845841B2 (en) 2006-08-28 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Angle sweeping holographic illuminator
EP2069838A2 (en) 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with built-in light coupler
EP2069840A1 (en) 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing back reflection from an illumination device
US8872085B2 (en) 2006-10-06 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having front illuminator with turning features
KR20090094241A (ko) 2006-10-06 2009-09-04 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 박형 라이트 바 및 그 제조방법
US7855827B2 (en) 2006-10-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Internal optical isolation structure for integrated front or back lighting
EP2366945A1 (en) 2006-10-06 2011-09-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Optical loss layer integrated in an illumination apparatus of a display
US8107155B2 (en) 2006-10-06 2012-01-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for reducing visual artifacts in displays
EP2069839A2 (en) 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light bar with reflector
WO2008045463A2 (en) 2006-10-10 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with diffractive optics
US7864395B2 (en) 2006-10-27 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light guide including optical scattering elements and a method of manufacture
US20080158648A1 (en) 2006-12-29 2008-07-03 Cummings William J Peripheral switches for MEMS display test
US7403180B1 (en) 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays
US7777954B2 (en) 2007-01-30 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of providing a light guiding layer
US20080192029A1 (en) 2007-02-08 2008-08-14 Michael Hugh Anderson Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7916378B2 (en) 2007-03-08 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing a light absorbing mask in an interferometric modulator display
US7733552B2 (en) 2007-03-21 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc MEMS cavity-coating layers and methods
US7733439B2 (en) 2007-04-30 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dual film light guide for illuminating displays
US7569488B2 (en) 2007-06-22 2009-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods of making a MEMS device by monitoring a process parameter
US7595926B2 (en) 2007-07-05 2009-09-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated IMODS and solar cells on a substrate
CA2694044C (en) 2007-07-25 2017-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mems display devices and methods of fabricating the same
EP2183623A1 (en) 2007-07-31 2010-05-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices for enhancing colour shift of interferometric modulators
US8072402B2 (en) 2007-08-29 2011-12-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics
US20090078316A1 (en) 2007-09-24 2009-03-26 Qualcomm Incorporated Interferometric photovoltaic cell
JP5209727B2 (ja) 2007-10-19 2013-06-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 一体型光起電力デバイスを有するディスプレイ
US8058549B2 (en) 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
US20090126792A1 (en) 2007-11-16 2009-05-21 Qualcomm Incorporated Thin film solar concentrator/collector
US7949213B2 (en) 2007-12-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light illumination of displays with front light guide and coupling elements
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
WO2009079279A2 (en) 2007-12-17 2009-06-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaics with interferometric back side masks
US20090168459A1 (en) 2007-12-27 2009-07-02 Qualcomm Incorporated Light guide including conjugate film
US7643305B2 (en) 2008-03-07 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of preventing damage to metal traces of flexible printed circuits
US7898723B2 (en) 2008-04-02 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure
US8023167B2 (en) 2008-06-25 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7782522B2 (en) 2008-07-17 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Encapsulation methods for interferometric modulator and MEMS devices
US7719754B2 (en) 2008-09-30 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Multi-thickness layers for MEMS and mask-saving sequence for same
WO2010111306A1 (en) 2009-03-25 2010-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Em shielding for display devices
WO2011133706A1 (en) 2010-04-22 2011-10-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Active matrix content manipulation systems and methods
US20120105385A1 (en) 2010-11-02 2012-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical systems apparatuses and methods for providing rough surfaces
US20120134008A1 (en) 2010-11-30 2012-05-31 Ion Bita Electromechanical interferometric modulator device
US20120162232A1 (en) 2010-12-22 2012-06-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of fabrication and resultant encapsulated electromechanical device
US20120188215A1 (en) 2011-01-24 2012-07-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical devices with variable mechanical layers
US20120194897A1 (en) 2011-01-27 2012-08-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backside patterning to form support posts in an electromechanical device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101236429B1 (ko) * 2004-09-27 2013-02-22 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 광 미소 기전 시스템 및 구조

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