JPH0791089B2 - 熱線反射ガラス - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、建築物用あるいは車輌用窓ガラスとして用い
る、室外からの熱を遮断するとともに、室内の熱が外部
に逃げるのを防止できる熱線反射ガラス、特に複層ある
いは合せガラス用素板として有用な熱線反射ガラスに関
する。
る、室外からの熱を遮断するとともに、室内の熱が外部
に逃げるのを防止できる熱線反射ガラス、特に複層ある
いは合せガラス用素板として有用な熱線反射ガラスに関
する。
従来、銀膜は熱線反射機能を有するため、熱線反射ガラ
スに多く用いられているが、耐摩耗性および可視域にお
ける透明性に欠けるきらいがあり、これを補うために例
えばZnO、ITO等の透明酸化物で前記銀膜を挟み込むよう
な構成とし、室外からの熱を遮断し、室内の熱が外部に
逃げるのを防止し、室内温度をより変化のないようにし
ようとするものが知られている。
スに多く用いられているが、耐摩耗性および可視域にお
ける透明性に欠けるきらいがあり、これを補うために例
えばZnO、ITO等の透明酸化物で前記銀膜を挟み込むよう
な構成とし、室外からの熱を遮断し、室内の熱が外部に
逃げるのを防止し、室内温度をより変化のないようにし
ようとするものが知られている。
例えば、特開昭59−165001号公報には、板ガラスの上
に、SnO2、In2O3よりなる厚さ40nm程度の第１の酸化物
薄膜、厚さ５〜15nmの第２の銀薄膜、Al、Ti、Ta、Cr、
Mn、Zrから選択され十分に酸化されている厚さ１〜5nm
の第３の金属薄膜、さらに第１薄膜と同様な第４の酸化
物薄膜を形成した可視スペクトル領域中の高透過特性お
よび熱線に対する高反射特性を有する板ガラス、および
最終の酸化物薄膜を陰極（反応）スパッタリングで形成
することにより、混濁（マイグレーション）を防止しよ
うとするものが記載されており、また特開昭63−183164
号公報には、透明な非金属基板（例えばガラス）、該基
体の表面上に付着させた亜鉛を含む第１の透明な反射防
止性金属酸化物フィルム、該反射防止性金属酸化物層上
に付着させた透明な赤外反射性金属フィルム、該赤外反
射性金属フィルム上に付着させたチタン、ジルコニウ
ム、クロム、亜鉛／錫合金およびそれらの混合物から成
る群から選ばれる金属を含有するプライマー層、および
該金属含有プライマーフィルム上に付着させた第二の透
明な反射防止性金属酸化物フィルムから成る高透過率、
低幅射率の加熱可能な物品およびその製造方法が記載さ
れており、さらに実開昭62−37052号公報ならびにその
全文（実開昭60−128509号のマイクロフイルム）には、
ガラス板上に、ZnO、TiO2、Ta2O5、SnO2、ITOおよびこ
れらの混合物等の金属酸化物からなる第１層と、熱線反
射機能を有するAg、Au、Cu、Pd、Rd等の貴金属からなる
第２層と、酸素のバリヤーすなわち貴金属のマイグレー
ション現象をおさえ、かつ自身熱線反射性をもつ厚み20
〜50Å程度のAl、Ti、Ni、Zn、Crおよびこれらの合金等
の金属からなる第３層と、第１層と同様の金属酸化物か
らなる第４層とをスパッタリングによって順次積層形成
した熱線反射ガラスにおいて、金属酸化物からなる第１
層および第４層のうち少なくとも一方を金属と酸素との
化学量論比において酸化が不十分な金属酸化物によって
構成した熱線反射ガラスが記載されており、さらにまた
実開昭62−37051号公報には、ガラス板上に金属酸化物
からなる第１層と、金属からなる第２層と、貴金属から
なる熱線反射機能を有する第３層と、金属からなる第４
層と、金属酸化物からなる第５層とを順次スパッタリン
グによって積層形成した熱線反射ガラスが記載されてお
り、加えて特開昭62−41740号公報には、ガラス板の表
面に金属酸化物からなる第１層を直流スパッタリングに
よって形成し、この第１層の表面に無酸化雰囲気におい
て直流スパッタリングを施すことで貴金属からなる第２
層を形成し、さらに第２層の表面に金属酸化物をターゲ
ットとし、無酸化雰囲気若しくは酸素分布が低い雰囲気
において直流スパッタリングを施すことで金属酸化物か
らなる第３層を形成するようにした熱線反射ガラスの製
造方法が記載されている。
に、SnO2、In2O3よりなる厚さ40nm程度の第１の酸化物
薄膜、厚さ５〜15nmの第２の銀薄膜、Al、Ti、Ta、Cr、
Mn、Zrから選択され十分に酸化されている厚さ１〜5nm
の第３の金属薄膜、さらに第１薄膜と同様な第４の酸化
物薄膜を形成した可視スペクトル領域中の高透過特性お
よび熱線に対する高反射特性を有する板ガラス、および
最終の酸化物薄膜を陰極（反応）スパッタリングで形成
することにより、混濁（マイグレーション）を防止しよ
うとするものが記載されており、また特開昭63−183164
号公報には、透明な非金属基板（例えばガラス）、該基
体の表面上に付着させた亜鉛を含む第１の透明な反射防
止性金属酸化物フィルム、該反射防止性金属酸化物層上
に付着させた透明な赤外反射性金属フィルム、該赤外反
射性金属フィルム上に付着させたチタン、ジルコニウ
ム、クロム、亜鉛／錫合金およびそれらの混合物から成
る群から選ばれる金属を含有するプライマー層、および
該金属含有プライマーフィルム上に付着させた第二の透
明な反射防止性金属酸化物フィルムから成る高透過率、
低幅射率の加熱可能な物品およびその製造方法が記載さ
れており、さらに実開昭62−37052号公報ならびにその
全文（実開昭60−128509号のマイクロフイルム）には、
ガラス板上に、ZnO、TiO2、Ta2O5、SnO2、ITOおよびこ
れらの混合物等の金属酸化物からなる第１層と、熱線反
射機能を有するAg、Au、Cu、Pd、Rd等の貴金属からなる
第２層と、酸素のバリヤーすなわち貴金属のマイグレー
ション現象をおさえ、かつ自身熱線反射性をもつ厚み20
〜50Å程度のAl、Ti、Ni、Zn、Crおよびこれらの合金等
の金属からなる第３層と、第１層と同様の金属酸化物か
らなる第４層とをスパッタリングによって順次積層形成
した熱線反射ガラスにおいて、金属酸化物からなる第１
層および第４層のうち少なくとも一方を金属と酸素との
化学量論比において酸化が不十分な金属酸化物によって
構成した熱線反射ガラスが記載されており、さらにまた
実開昭62−37051号公報には、ガラス板上に金属酸化物
からなる第１層と、金属からなる第２層と、貴金属から
なる熱線反射機能を有する第３層と、金属からなる第４
層と、金属酸化物からなる第５層とを順次スパッタリン
グによって積層形成した熱線反射ガラスが記載されてお
り、加えて特開昭62−41740号公報には、ガラス板の表
面に金属酸化物からなる第１層を直流スパッタリングに
よって形成し、この第１層の表面に無酸化雰囲気におい
て直流スパッタリングを施すことで貴金属からなる第２
層を形成し、さらに第２層の表面に金属酸化物をターゲ
ットとし、無酸化雰囲気若しくは酸素分布が低い雰囲気
において直流スパッタリングを施すことで金属酸化物か
らなる第３層を形成するようにした熱線反射ガラスの製
造方法が記載されている。
前述したように、従来の特開昭59−165001号公報、特開
昭63−183164号公報、実開昭62−37052号公報ならびに
実開昭62−37051号公報に記載のものは、貴金属薄膜層
に対する金属層からなるバリヤー層が記載されており、
特にAg薄膜層上にAgの酸化を防ぐためのバリヤー層とし
ての金属層を設けて無反射効果を有する保護膜層をカバ
ーすることがマイグレーションを防ぐために不可欠であ
り、ことに例えば特開昭59−165001号公報には、銀薄膜
と金属酸化物薄膜との中間金属薄膜であるAl、Ti、TaC
r、Mn、Zr薄膜は、全薄膜系を製造した後では、最後の
金属酸化物薄膜を施すことにより、著るしく酸化されわ
ずかな残存含分の金属が存在する程度となることが記載
されており、このバリヤー層としての金属層は、保護膜
の成膜時にほとんど酸化してしまい、その結果金属層と
して残る厚みは少なく、さらに例えば実開昭62−37052
号公報およびその全文に記載の手段による熱線反射膜全
系では、仮に金属層のうちZnであれば、約50Å程度の厚
みのものが、積層成膜を完了した製品においては、Znの
厚みが約10Å程度しか残留しないとされるようなもので
あり、これにより、高温多湿の夏場等の環境では、短期
間に透明酸化保護膜を浸透してきたと思われる空気中の
湿分により、銀膜が酸化凝集し、斑点状の欠陥が生成す
る時、耐湿性に劣るものであり、マイグレーションは防
止できても耐湿性まで充分持ち合すまで到らないもので
あった。
昭63−183164号公報、実開昭62−37052号公報ならびに
実開昭62−37051号公報に記載のものは、貴金属薄膜層
に対する金属層からなるバリヤー層が記載されており、
特にAg薄膜層上にAgの酸化を防ぐためのバリヤー層とし
ての金属層を設けて無反射効果を有する保護膜層をカバ
ーすることがマイグレーションを防ぐために不可欠であ
り、ことに例えば特開昭59−165001号公報には、銀薄膜
と金属酸化物薄膜との中間金属薄膜であるAl、Ti、TaC
r、Mn、Zr薄膜は、全薄膜系を製造した後では、最後の
金属酸化物薄膜を施すことにより、著るしく酸化されわ
ずかな残存含分の金属が存在する程度となることが記載
されており、このバリヤー層としての金属層は、保護膜
の成膜時にほとんど酸化してしまい、その結果金属層と
して残る厚みは少なく、さらに例えば実開昭62−37052
号公報およびその全文に記載の手段による熱線反射膜全
系では、仮に金属層のうちZnであれば、約50Å程度の厚
みのものが、積層成膜を完了した製品においては、Znの
厚みが約10Å程度しか残留しないとされるようなもので
あり、これにより、高温多湿の夏場等の環境では、短期
間に透明酸化保護膜を浸透してきたと思われる空気中の
湿分により、銀膜が酸化凝集し、斑点状の欠陥が生成す
る時、耐湿性に劣るものであり、マイグレーションは防
止できても耐湿性まで充分持ち合すまで到らないもので
あった。
しかも、従来の方法では、先に述べたようにバリヤー層
としての金属層が酸化してしまうため、金属としての厚
みが成り行きのままで、必ずしも膜厚制御ができている
とは言えないものであった。
としての金属層が酸化してしまうため、金属としての厚
みが成り行きのままで、必ずしも膜厚制御ができている
とは言えないものであった。
さらに、特開昭62−41740号公報では、金属酸化物をタ
ーゲットとして用いて、アルゴンおよび酸素を低酸素雰
囲気、すなわち酸素の混合割合の限度が20vol％、好ま
しくは10vol％以下としたとしても、Ag層のマイグレー
ションは防止できたとしても、Agよりイオン化傾向の大
きいZnについての記載がなく、やはり前述と同様、銀膜
が酸化凝集する斑点状の欠陥の生成をも防止できるまで
には到らないもので、耐湿性が充分あるものとは言えな
いものであった。
ーゲットとして用いて、アルゴンおよび酸素を低酸素雰
囲気、すなわち酸素の混合割合の限度が20vol％、好ま
しくは10vol％以下としたとしても、Ag層のマイグレー
ションは防止できたとしても、Agよりイオン化傾向の大
きいZnについての記載がなく、やはり前述と同様、銀膜
が酸化凝集する斑点状の欠陥の生成をも防止できるまで
には到らないもので、耐湿性が充分あるものとは言えな
いものであった。
本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
た、熱線反射性能に最も優れている銀または銅薄膜層
に、特定膜厚以上の金属亜鉛薄膜層を確実に残留せしめ
て順次積層するようにし、全薄膜系でもそのままの金属
亜鉛薄膜層の厚みを維持することによってマイグレーシ
ョンはもとより、湿・水分による欠陥の発生をも防止し
た耐湿性等に優れた熱線反射ガラスを提供するものであ
る。
た、熱線反射性能に最も優れている銀または銅薄膜層
に、特定膜厚以上の金属亜鉛薄膜層を確実に残留せしめ
て順次積層するようにし、全薄膜系でもそのままの金属
亜鉛薄膜層の厚みを維持することによってマイグレーシ
ョンはもとより、湿・水分による欠陥の発生をも防止し
た耐湿性等に優れた熱線反射ガラスを提供するものであ
る。
すなわち、本発明は、透明ガスラ板の表面に、In2O3＋
５〜10wt％SnO2ターゲットを用い、酸素ガスを０〜４％
添加したアルゴンガス雰囲気でDCスパッタリングするこ
とにより成膜した酸化インジウムと酸化錫の混合酸化物
（ITO）、またはAlターゲットを用い、窒素ガスあるい
は窒素とアルゴンとの混合ガス雰囲気でDCスパッタリン
グすることにより成膜した窒化アルミニウム（AlN）、
さらにまたAgまたはCuならびにZnの各ターゲットを用
い、アルゴンガス雰囲気でDCスパッタリングすることに
より成膜した銀または銅ならびに金属亜鉛の各薄膜層を
順次交互に繰返し積層し、４層以上の多層膜を形成した
熱線反射ガスラにおいて、第１薄膜層を前記ITO薄膜ま
たは前記AlN薄膜、第２薄膜層を厚さ40〜200Åの銀また
は銅の薄膜、第３薄膜層を厚さ30〜150Åの金属亜鉛薄
膜ならびに第４薄膜層を前記ITO薄膜または前記AlN薄膜
と少なくとも順次交互に積層し、常に前記したITOまた
はAlN薄膜層を最外側薄膜層とすることを特徴とする熱
線反射ガラスを提供するものである。
５〜10wt％SnO2ターゲットを用い、酸素ガスを０〜４％
添加したアルゴンガス雰囲気でDCスパッタリングするこ
とにより成膜した酸化インジウムと酸化錫の混合酸化物
（ITO）、またはAlターゲットを用い、窒素ガスあるい
は窒素とアルゴンとの混合ガス雰囲気でDCスパッタリン
グすることにより成膜した窒化アルミニウム（AlN）、
さらにまたAgまたはCuならびにZnの各ターゲットを用
い、アルゴンガス雰囲気でDCスパッタリングすることに
より成膜した銀または銅ならびに金属亜鉛の各薄膜層を
順次交互に繰返し積層し、４層以上の多層膜を形成した
熱線反射ガスラにおいて、第１薄膜層を前記ITO薄膜ま
たは前記AlN薄膜、第２薄膜層を厚さ40〜200Åの銀また
は銅の薄膜、第３薄膜層を厚さ30〜150Åの金属亜鉛薄
膜ならびに第４薄膜層を前記ITO薄膜または前記AlN薄膜
と少なくとも順次交互に積層し、常に前記したITOまた
はAlN薄膜層を最外側薄膜層とすることを特徴とする熱
線反射ガラスを提供するものである。
ここで、第１薄膜層と第４薄膜層等にITOまたはAlN薄膜
層を用いることとしたのは、AlN薄膜であれば、Alター
ゲットを用い、無酸素雰囲気でDCスパッタリングでき、
前述した特別の条件下で成膜した銀または銅薄膜のマイ
グレーションを防止し熱線反射特性の劣化が起こらない
ことはもとより、前述した特別の条件下で成膜した金属
亜鉛薄膜の層厚みを特定できて、銀または銅薄膜に発現
する欠陥を化学的な機構で防止し、特に耐湿性を充分向
上さすことができるためであり、またITO薄膜であれ
ば、酸化インジウム中に酸化錫５〜10重量％含む焼結体
ターゲットを用い、酸素ガスを０〜４％添加したアルゴ
ンガス雰囲気でDCスパッタリングにより成膜することに
より、前述と同様に銀薄膜への影響をなくし、金属亜鉛
薄膜の層厚を制御でき、銀または銅薄膜の欠陥防止なら
びに耐湿性をも充分向上させるためであり、しかもAlN
ならびにITO両者自身とも優れた特性を有するからであ
る。
層を用いることとしたのは、AlN薄膜であれば、Alター
ゲットを用い、無酸素雰囲気でDCスパッタリングでき、
前述した特別の条件下で成膜した銀または銅薄膜のマイ
グレーションを防止し熱線反射特性の劣化が起こらない
ことはもとより、前述した特別の条件下で成膜した金属
亜鉛薄膜の層厚みを特定できて、銀または銅薄膜に発現
する欠陥を化学的な機構で防止し、特に耐湿性を充分向
上さすことができるためであり、またITO薄膜であれ
ば、酸化インジウム中に酸化錫５〜10重量％含む焼結体
ターゲットを用い、酸素ガスを０〜４％添加したアルゴ
ンガス雰囲気でDCスパッタリングにより成膜することに
より、前述と同様に銀薄膜への影響をなくし、金属亜鉛
薄膜の層厚を制御でき、銀または銅薄膜の欠陥防止なら
びに耐湿性をも充分向上させるためであり、しかもAlN
ならびにITO両者自身とも優れた特性を有するからであ
る。
また、第２薄膜層として厚さ40〜200Åの銀または銅を
用いることとしたのは、特に銀が最も熱線反射性能がよ
いことによることならびに銅も同様に熱線反射性能を充
分有することによるものであり、厚みが40Å未満では均
一な膜厚が得られにくくなり熱線反射性能を不均一な膜
厚が得られにくくなり熱線反射性能も不均一な膜厚が得
られにくくなり熱線反射性能を不均一で不満足となるた
めであり、200Åを超える膜厚ではコストならびに熱線
反射性能が大きくなり過ぎるためで、むしろ例えば約90
Å程度、好ましくは50〜150Å程度で繰り返しの多層膜
構成とした方が可視光透過率等を充分確保できる多機能
な熱線反射ガラスを得やすいためである。
用いることとしたのは、特に銀が最も熱線反射性能がよ
いことによることならびに銅も同様に熱線反射性能を充
分有することによるものであり、厚みが40Å未満では均
一な膜厚が得られにくくなり熱線反射性能を不均一な膜
厚が得られにくくなり熱線反射性能も不均一な膜厚が得
られにくくなり熱線反射性能を不均一で不満足となるた
めであり、200Åを超える膜厚ではコストならびに熱線
反射性能が大きくなり過ぎるためで、むしろ例えば約90
Å程度、好ましくは50〜150Å程度で繰り返しの多層膜
構成とした方が可視光透過率等を充分確保できる多機能
な熱線反射ガラスを得やすいためである。
さらに、第３薄膜層しとして膜厚30〜150Åの金属亜鉛
を用いることとしたのは、金属亜鉛は銀または銅よりイ
オン化傾向が大きいためであり、30Å未満の膜厚では銀
または銅薄膜の酸化凝集による斑状点の欠陥発現防止効
果がより効果的でなくなるためであり、150Åを超える
膜厚ではほとんど前記欠陥発現防止効果に大きな変化が
なく向上程度がさしてかわらないことならびに可視光線
透過率を低下させるためで、最も好ましくは50〜100Å
程度である。
を用いることとしたのは、金属亜鉛は銀または銅よりイ
オン化傾向が大きいためであり、30Å未満の膜厚では銀
または銅薄膜の酸化凝集による斑状点の欠陥発現防止効
果がより効果的でなくなるためであり、150Åを超える
膜厚ではほとんど前記欠陥発現防止効果に大きな変化が
なく向上程度がさしてかわらないことならびに可視光線
透過率を低下させるためで、最も好ましくは50〜100Å
程度である。
さらに、透明ガラス板としては、無色（所謂クリアー）
ならびに着色ガラスでよく、該ガラスは無機質、有機質
のどちらでもよく、平板あるいは屈曲、強化、複層また
は合せ等を含むものであり、成膜する積層多層膜をAlN
またはITO薄膜層/AgまたはCu薄膜層/Zn薄膜層/AlNまた
はITO薄膜層の４層を基本として、順次AgまたはCu、Z
n、AlNまたはITO各薄膜層を積層するようにしたのは、
所望の多機能線反射ガラスを得るためであり、好ましく
は４〜10層程度である。またAlNまたはITO薄膜層を最外
側層としたのは、保護膜として適しているからであり、
例えばさらに該AlNまたはITO薄膜層表面に、TiN、CrNあ
るいはSiAlNxまたはSiO2、TiO2等の各薄膜層を設けても
よいことは言うまでもない。
ならびに着色ガラスでよく、該ガラスは無機質、有機質
のどちらでもよく、平板あるいは屈曲、強化、複層また
は合せ等を含むものであり、成膜する積層多層膜をAlN
またはITO薄膜層/AgまたはCu薄膜層/Zn薄膜層/AlNまた
はITO薄膜層の４層を基本として、順次AgまたはCu、Z
n、AlNまたはITO各薄膜層を積層するようにしたのは、
所望の多機能線反射ガラスを得るためであり、好ましく
は４〜10層程度である。またAlNまたはITO薄膜層を最外
側層としたのは、保護膜として適しているからであり、
例えばさらに該AlNまたはITO薄膜層表面に、TiN、CrNあ
るいはSiAlNxまたはSiO2、TiO2等の各薄膜層を設けても
よいことは言うまでもない。
加えて、銀または銅薄膜層だけについてはガラス板端縁
分より少量全周辺にわたり、少量周辺分を残して成膜し
た方がよい耐湿性等に都合がよいことも当然である。
分より少量全周辺にわたり、少量周辺分を残して成膜し
た方がよい耐湿性等に都合がよいことも当然である。
前述したとおり、本発明の熱線反射ガラスは、前記した
特定成膜手段で成膜したITOまたはAlN薄膜とAgまたはCu
薄膜にZn薄膜を特定膜厚に残留さすよう順次交互にある
いは繰り返し積層した多層膜として巧みに組み合わせた
ことにより、高熱線反射性能を有する銀または銅薄膜の
マイグレーションを防止することはもとより、イオン化
傾向の大きい金属亜鉛の働きならびに接着力の増大等に
より湿・水分による銀または銅の凝集が防止でき、斑点
状の欠陥の発生個数が激減することになり充分これを抑
制し、格段に耐湿性の向上をもたらすものである。
特定成膜手段で成膜したITOまたはAlN薄膜とAgまたはCu
薄膜にZn薄膜を特定膜厚に残留さすよう順次交互にある
いは繰り返し積層した多層膜として巧みに組み合わせた
ことにより、高熱線反射性能を有する銀または銅薄膜の
マイグレーションを防止することはもとより、イオン化
傾向の大きい金属亜鉛の働きならびに接着力の増大等に
より湿・水分による銀または銅の凝集が防止でき、斑点
状の欠陥の発生個数が激減することになり充分これを抑
制し、格段に耐湿性の向上をもたらすものである。
しかも可視光線透過率も充分確保でき、可視光線反射率
もかなり低い状態となり、さらに熱放射率が0.15以下で
あって所謂Low−Ｅ性能を有するものとなり、さらにま
た前記ITOターゲットを用いて極低の酸素状態でITO薄膜
を成膜することで導電性を確保できることとなり、より
多機能ガラスとなる。
もかなり低い状態となり、さらに熱放射率が0.15以下で
あって所謂Low−Ｅ性能を有するものとなり、さらにま
た前記ITOターゲットを用いて極低の酸素状態でITO薄膜
を成膜することで導電性を確保できることとなり、より
多機能ガラスとなる。
特に複層ガラス用または合せガラス用素板として保管時
の欠陥発現を防止するのに役立ち、複層ガラスならびに
合せガラスの作業性、品質の向上に寄与するものであ
る。
の欠陥発現を防止するのに役立ち、複層ガラスならびに
合せガラスの作業性、品質の向上に寄与するものであ
る。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発
明は係る実施例に限定されるものではない。
明は係る実施例に限定されるものではない。
実施例１ 大きさ600×600mm2、厚さ3.0mmの可視光線透過率約89.5
％のクリア板ガラス（FL3）を中性洗剤、水すすぎ、イ
ソプロピルアルコールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマ
グネトロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセット
してあるIn2O3＋5wt％SnO2とAgとZnのターゲットに対向
する上方を往復できるようセットし、つぎに前記槽内を
真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気した後、該真空
槽内にO2量１％含有Arガスを導入して真空度を３×10-3
Torrに保持し、前記In2O3＋5wt％SnO2のターゲットに約
2Kwを印加し、DCマグネトロン反応スパッタ中を、前記I
TOターゲット上方においてスピード約400mm/minで前記
板ガラスを搬送することによって約400Å厚さのITO薄膜
を成膜した。
％のクリア板ガラス（FL3）を中性洗剤、水すすぎ、イ
ソプロピルアルコールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマ
グネトロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセット
してあるIn2O3＋5wt％SnO2とAgとZnのターゲットに対向
する上方を往復できるようセットし、つぎに前記槽内を
真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気した後、該真空
槽内にO2量１％含有Arガスを導入して真空度を３×10-3
Torrに保持し、前記In2O3＋5wt％SnO2のターゲットに約
2Kwを印加し、DCマグネトロン反応スパッタ中を、前記I
TOターゲット上方においてスピード約400mm/minで前記
板ガラスを搬送することによって約400Å厚さのITO薄膜
を成膜した。
ITO成膜が完了した後、板ガラスを前記真空槽中におい
たまま、O2量１％含有Arガスをストップし、再び約５×
10-6Torrまでの真空度にし、Arガスを導入して真空度を
約３×10-3Torrにし、前記Agのターゲットに約700wを印
加し、DCマグネトロンスパッタ中を、前記Agのターゲッ
ト上方にてスピード約1500mm/minで前記板ガラスのITO
成膜表面に約100Åの厚さのAg薄膜を成膜、積層する。
たまま、O2量１％含有Arガスをストップし、再び約５×
10-6Torrまでの真空度にし、Arガスを導入して真空度を
約３×10-3Torrにし、前記Agのターゲットに約700wを印
加し、DCマグネトロンスパッタ中を、前記Agのターゲッ
ト上方にてスピード約1500mm/minで前記板ガラスのITO
成膜表面に約100Åの厚さのAg薄膜を成膜、積層する。
Ag成膜が完了した後、板ガラスを前記真空槽中においた
まま、O2量１％含有Arガスをストップし、再び約５×10
-6Torrまでの真空度にし、Arガスを導入して真空度を約
３×10-3Torrにし、前記Znのターゲットに約600wを印加
し、DCマグネトロンスパッタ中を、前記Agのターゲット
上方にてスピード約2000mm/minで前記板ガラスのAg成膜
表面に約30Åの厚みのZn薄膜を成膜、積層する。
まま、O2量１％含有Arガスをストップし、再び約５×10
-6Torrまでの真空度にし、Arガスを導入して真空度を約
３×10-3Torrにし、前記Znのターゲットに約600wを印加
し、DCマグネトロンスパッタ中を、前記Agのターゲット
上方にてスピード約2000mm/minで前記板ガラスのAg成膜
表面に約30Åの厚みのZn薄膜を成膜、積層する。
次いで、Arガスをストップし、再度真空度約５×10-6To
rrまでにし、前述と同様にしてスピード約400mm/minで
約400Å厚さのITO薄膜を成膜、積層した。
rrまでにし、前述と同様にしてスピード約400mm/minで
約400Å厚さのITO薄膜を成膜、積層した。
得られた４層の多層膜を有するFL3ガラス板について、
可視光線透過率および可視光線反射率（380〜780nm）に
ついては340型自記分光光度計（日立製作所製）とJISR3
106によって、また熱放射率については赤外域（2.5〜25
μｍ）の分光反射率を270−30型赤外分光光度計（日立
製作所製）とJISR3106によってそれぞれ求め、欠陥個数
については温度約30℃、相対湿度約80％の部屋に、２日
間、３日間、４日間および７日間放置した後、30cm2当
りに発現する直径0.3mm程度以上の斑点状のものを数え
たものである。なお各膜厚については表面あらさ計DEKT
AK3030（SLOAN社製）等を用いて測定し、Znの定性的確
認についてはオージエ（AES）で表面をエッチングしな
がら表面の元素分析を行うことで実施した。
可視光線透過率および可視光線反射率（380〜780nm）に
ついては340型自記分光光度計（日立製作所製）とJISR3
106によって、また熱放射率については赤外域（2.5〜25
μｍ）の分光反射率を270−30型赤外分光光度計（日立
製作所製）とJISR3106によってそれぞれ求め、欠陥個数
については温度約30℃、相対湿度約80％の部屋に、２日
間、３日間、４日間および７日間放置した後、30cm2当
りに発現する直径0.3mm程度以上の斑点状のものを数え
たものである。なお各膜厚については表面あらさ計DEKT
AK3030（SLOAN社製）等を用いて測定し、Znの定性的確
認についてはオージエ（AES）で表面をエッチングしな
がら表面の元素分析を行うことで実施した。
その結果は表１に示すように、各光学特性、熱反射率と
も充分満足するものであって熱線反射性能とLOW−Ｅ性
能等多機能ガラスとしても充分有用であり、耐湿性につ
いても格段の向上を示した。特に過酷な条件下でも３日
間程度は複層ガラスあるいは合せガラスの素板として保
管しても問題なく、実際上では品質ならびに生産性およ
び作業上に大きく寄与するものであった。
も充分満足するものであって熱線反射性能とLOW−Ｅ性
能等多機能ガラスとしても充分有用であり、耐湿性につ
いても格段の向上を示した。特に過酷な条件下でも３日
間程度は複層ガラスあるいは合せガラスの素板として保
管しても問題なく、実際上では品質ならびに生産性およ
び作業上に大きく寄与するものであった。
実施例２〜４ 実施例１と同様の方法で行い、Zn薄膜についてのみ、成
膜条件中板ガラスの搬送スピードを例えば、膜厚約40Å
の場合約1500mm/min,約60Åの場合約1000mm/min,約100
Åの場合約600mm/minの如く、搬送スピードと膜厚の関
係がほぼ反比例することに従ってそれぞれ変更して行
い、他の条件は変更せず実施し、表１に示す各膜および
厚さ構成で実施した。
膜条件中板ガラスの搬送スピードを例えば、膜厚約40Å
の場合約1500mm/min,約60Åの場合約1000mm/min,約100
Åの場合約600mm/minの如く、搬送スピードと膜厚の関
係がほぼ反比例することに従ってそれぞれ変更して行
い、他の条件は変更せず実施し、表１に示す各膜および
厚さ構成で実施した。
その結果については、表１のとおり実施例１と同様であ
った。なお、当然ながらZn薄膜層の膜厚が大きい方が耐
湿性に効果がある傾向を示している。
った。なお、当然ながらZn薄膜層の膜厚が大きい方が耐
湿性に効果がある傾向を示している。
実施例５〜６ ITO薄膜をAlN薄膜に変更し、それに伴う条件を変更した
以外は実施例１と同様に行ったものである。すなわちDC
マグネトロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセッ
トしてあるAlとAgのターゲットに対向する上方を往復で
きるようセットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５
×10-6Torrまでに脱気した後、該真空槽内にN2ガスを導
入して真空度を２×10-3Torrに保持し、前記Alのターゲ
ットに約2Kwを印加し、N2ガス（但し、ArガスとN2ガス
の流量比は0:1〜1:1の範囲のあればよい。）によるDCマ
グネトロン反応スパッタ中を、前記Alターゲット上方に
おいてスピード約94mm/minで前記板ガラスを搬送するこ
とによって約400Å厚さのAlN薄膜を成膜した。
以外は実施例１と同様に行ったものである。すなわちDC
マグネトロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセッ
トしてあるAlとAgのターゲットに対向する上方を往復で
きるようセットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５
×10-6Torrまでに脱気した後、該真空槽内にN2ガスを導
入して真空度を２×10-3Torrに保持し、前記Alのターゲ
ットに約2Kwを印加し、N2ガス（但し、ArガスとN2ガス
の流量比は0:1〜1:1の範囲のあればよい。）によるDCマ
グネトロン反応スパッタ中を、前記Alターゲット上方に
おいてスピード約94mm/minで前記板ガラスを搬送するこ
とによって約400Å厚さのAlN薄膜を成膜した。
その結果については、表１のとおり実施例２〜５と同様
に優れたものであった。
に優れたものであった。
なおAg薄膜層に替え、Cu薄膜層でも同様に優れた熱線反
射性能および耐湿性等を示した。
射性能および耐湿性等を示した。
比較例１〜２ 実施例１と同様の方法によって、ITO薄膜層とAg薄膜層
ならびにZn薄膜層を交互に成膜、積層した多層膜等にお
いて、特にZn薄膜層を設けず、あるいはその膜層を本発
明の範囲外としたものを表１のとおり実施した。
ならびにZn薄膜層を交互に成膜、積層した多層膜等にお
いて、特にZn薄膜層を設けず、あるいはその膜層を本発
明の範囲外としたものを表１のとおり実施した。
その結果については、表１のとおり光学特性ならびに熱
放射率は初期のものとなっているものの欠陥の発生個数
は格段に多く、耐湿性が劣るものであった。保管上ある
いは作業上等において細心の注意が必要のものであり、
製品品質にも影響を与えかねないものであった。
放射率は初期のものとなっているものの欠陥の発生個数
は格段に多く、耐湿性が劣るものであった。保管上ある
いは作業上等において細心の注意が必要のものであり、
製品品質にも影響を与えかねないものであった。
比較例３〜５ ITOの薄膜をZnO薄膜に変更し、それに伴う条件を変更し
た以外は実施例１と同様に行ったものである。すなわち
DCマグネトロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセ
ットしてあるZnのターゲットに対向する上方を往復でき
るようセットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５×
10-6Torrまでに脱気した後、該真空槽内にO2ガスを導入
して真空度を２×10-3Torrに保持し、前記Znのターゲッ
トに約0.08Kwを印加し、O2ガス（但し、ArガスとO2ガス
の流量比は0.1〜1:1の範囲にあればよい）によるDCマグ
ネトロン反応スパッタ中を、前記Znターゲット上方にお
いてスピード約80mm/minで前記板ガラスを搬送すること
によって約400Å厚さのZnO薄膜を成膜した。
た以外は実施例１と同様に行ったものである。すなわち
DCマグネトロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセ
ットしてあるZnのターゲットに対向する上方を往復でき
るようセットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５×
10-6Torrまでに脱気した後、該真空槽内にO2ガスを導入
して真空度を２×10-3Torrに保持し、前記Znのターゲッ
トに約0.08Kwを印加し、O2ガス（但し、ArガスとO2ガス
の流量比は0.1〜1:1の範囲にあればよい）によるDCマグ
ネトロン反応スパッタ中を、前記Znターゲット上方にお
いてスピード約80mm/minで前記板ガラスを搬送すること
によって約400Å厚さのZnO薄膜を成膜した。
その結果については、表１のとおり、耐湿性においてか
なり劣るものであり、例えば１日間以内でもこの過酷な
環境下では複層ガラスあるいは合せガラスの素板てして
保管することはできないものであり、きびしい管理とす
ばやい作業を必要とするものである。
なり劣るものであり、例えば１日間以内でもこの過酷な
環境下では複層ガラスあるいは合せガラスの素板てして
保管することはできないものであり、きびしい管理とす
ばやい作業を必要とするものである。
なおDC（直流）マグネトロン反応スパッタリング装置に
替え、例えば高周波（RF）スパッタリング装置も適用で
きることは言うまでもない。
替え、例えば高周波（RF）スパッタリング装置も適用で
きることは言うまでもない。
〔発明の効果〕 以上前述したように本発明の熱線反射ガラスは、熱線反
射性能とLOW−Ｅ性能を持ちつつ、可視光線透過率、可
視光線反射率等の光学特性に優れ、しかも耐湿性能は格
段に優れたものとなり、さらに導電性を確保できる等、
多機能を有する複層ガラスならびに含せガラス用として
有用な素板を提供することができるものである。
射性能とLOW−Ｅ性能を持ちつつ、可視光線透過率、可
視光線反射率等の光学特性に優れ、しかも耐湿性能は格
段に優れたものとなり、さらに導電性を確保できる等、
多機能を有する複層ガラスならびに含せガラス用として
有用な素板を提供することができるものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−165001（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−37052（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】透明ガラス板の表面に、In2O3＋５〜10wt
％SnO2ターゲットを用い、酸素ガスを０〜４％添加した
アルゴンガス雰囲気でDCスパッタリングすることにより
成膜した酸化インジウムと酸化錫の混合酸化物（IT
O）、またはAlターゲットを用い、窒素ガスあるいは窒
素とアルゴンとの混合ガス雰囲気でDCスパッタリングす
ることにより成膜した窒化アルミニウム（AlN）、さら
にまたAgまたはCuならびにZnの各ターゲットを用い、ア
ルゴンガス雰囲気でDCスパッタリングすることにより成
膜した銀または銅ならびに金属亜鉛の各薄膜層を順次交
互に繰返し積層し、４層以上の多層膜を形成した熱線反
射ガラスにおいて、第１薄膜層を前記ITO薄膜または前
記AlN薄膜、第２薄膜層を厚さ40〜200Åの銀または銅の
薄膜、第３薄膜層を厚さ30〜150Åの金属亜鉛薄膜なら
びに第４薄膜層を前記ITO薄膜または前記AlN薄膜と少な
くとも順次交互に積層し、常に前記したITOまたはAlN薄
膜層を最外側薄膜層とすることを特徴とする熱線反射ガ
ラス。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63314716A JPH0791089B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 熱線反射ガラス |
| US07/444,717 US4985312A (en) | 1988-12-13 | 1989-12-01 | Heat reflecting glass plate with multilayer coating |
| DE3941046A DE3941046A1 (de) | 1988-12-13 | 1989-12-12 | Waermereflektierende glasplatte mit mehrschicht-belag |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63314716A JPH0791089B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 熱線反射ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02160641A JPH02160641A (ja) | 1990-06-20 |
| JPH0791089B2 true JPH0791089B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=18056704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63314716A Expired - Fee Related JPH0791089B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 熱線反射ガラス |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4985312A (ja) |
| JP (1) | JPH0791089B2 (ja) |
| DE (1) | DE3941046A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1108693A1 (en) | 1999-12-06 | 2001-06-20 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat shading glass, method for manufacturing the same, and heat shading laminated glass using the same |
Families Citing this family (59)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4020696A1 (de) * | 1990-06-29 | 1992-01-09 | Renker Gmbh & Co Kg Zweigniede | Mehrschichtsystem mit hohem reflexionsvermoegen im infrarot-spektralbereich und mit hohem transmissionsvermoegen im sichtbaren bereich |
| DE4021798A1 (de) * | 1990-07-09 | 1992-02-06 | Heraeus Quarzglas | Infrarotstrahler mit geschuetzter reflexionsschicht und verfahren zu seiner herstellung |
| DE4135701C2 (de) * | 1991-10-30 | 1995-09-28 | Leybold Ag | Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung |
| DE4204763C1 (ja) * | 1992-02-18 | 1993-06-03 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De | |
| GB9313416D0 (en) * | 1993-06-29 | 1993-08-11 | Glaverbel | Transaparent solar control glazing panels |
| JPH07109573A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ガラス基板および加熱処理方法 |
| JPH08133792A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-28 | Central Glass Co Ltd | 熱線反射紫外線吸収透明体 |
| GB9508543D0 (en) * | 1995-04-27 | 1995-06-14 | Glaverbel | Coated substrate having high luminous transmission, low solar factor and neutral aspect in reflection |
| US5559614A (en) * | 1995-05-01 | 1996-09-24 | Motorola, Inc. | Liquid crystal display with integral heater and method of fabricating same |
| US7907319B2 (en) * | 1995-11-06 | 2011-03-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light with optical compensation |
| FR2757151B1 (fr) * | 1996-12-12 | 1999-01-08 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage comprenant un substrat muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique |
| DE19808795C2 (de) | 1998-03-03 | 2001-02-22 | Sekurit Saint Gobain Deutsch | Wärmestrahlen reflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate |
| US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
| WO1999052006A2 (en) * | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation of radiation |
| DE19858226C1 (de) * | 1998-12-17 | 2000-06-15 | Sekurit Saint Gobain Deutsch | Wärmereflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate |
| DE19858227C1 (de) * | 1998-12-17 | 2000-06-15 | Sekurit Saint Gobain Deutsch | Wärmereflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate |
| US6024084A (en) * | 1999-02-22 | 2000-02-15 | Engineered Glass Products, Llc | Double sided heat barrier glass with clear CVD coating and method of making the same |
| KR100424254B1 (ko) * | 1999-08-06 | 2004-03-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 표시 장치용 광학 필터 |
| FR2798738B1 (fr) | 1999-09-16 | 2001-10-26 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent muni d'un empilement de couches reflechissant la chaleur |
| WO2003007049A1 (en) | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
| US6673462B2 (en) * | 2001-04-27 | 2004-01-06 | Central Glass Company, Limited | Frequency selective plate and method for producing same |
| US7232615B2 (en) * | 2001-10-22 | 2007-06-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coating stack comprising a layer of barrier coating |
| US7067195B2 (en) * | 2002-04-29 | 2006-06-27 | Cardinal Cg Company | Coatings having low emissivity and low solar reflectance |
| US7122252B2 (en) * | 2002-05-16 | 2006-10-17 | Cardinal Cg Company | High shading performance coatings |
| EP1527028B1 (en) * | 2002-07-31 | 2018-09-12 | Cardinal CG Company | Temperable high shading performance coatings |
| JP4371690B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2009-11-25 | セントラル硝子株式会社 | 電波透過性波長選択板およびその作製法 |
| DE10351616A1 (de) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Arcon Ii Flachglasveredelung Gmbh & Co Kg | Thermisch hoch belastbares Low-E Schichtsystem, Verfahren zur Herstellung und Verwendung der mit dem Schichtsystems beschichteten Substrate |
| US7855824B2 (en) * | 2004-03-06 | 2010-12-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for color optimization in a display |
| CN102012559A (zh) * | 2004-09-27 | 2011-04-13 | 高通Mems科技公司 | 具有减小的电容的显示元件 |
| US8004504B2 (en) * | 2004-09-27 | 2011-08-23 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Reduced capacitance display element |
| US7710636B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-05-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers |
| US20090237782A1 (en) * | 2005-10-26 | 2009-09-24 | Central Glass Company, Limited | Near Infrared Ray Reflective Substrate And Near Infrared Ray Reflective Laminated Glass Employing That Substrate, Near Infrared Ray Reflective Double Layer Glass |
| US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
| FR2898122B1 (fr) * | 2006-03-06 | 2008-12-05 | Saint Gobain | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques |
| US20080081126A1 (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-03 | Chu-Liang Ho | Method for forming a dielectric film on a substrate |
| WO2008045311A2 (en) | 2006-10-06 | 2008-04-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Illumination device with built-in light coupler |
| EP2151144A2 (de) * | 2007-04-27 | 2010-02-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Scheinwerfer für ein kraftfahrzeug |
| US8072402B2 (en) * | 2007-08-29 | 2011-12-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics |
| DE102008030825A1 (de) * | 2008-06-30 | 2009-12-31 | Schott Ag | Vorrichtung zur Reflektion von Wärmestrahlung, ein Verfahren zu ihrer Herstellung sowie deren Verwendung |
| DE102008051730A1 (de) | 2008-10-15 | 2010-04-22 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Transparenter Gegenstand mit einem örtlich begrenzten, strukturierten, elektrisch beheizbaren, transparenten Bereich, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
| CN202308264U (zh) | 2009-01-16 | 2012-07-04 | 法国圣戈班玻璃厂 | 适于发射和接收电磁波的透明的平面实施的天线 |
| JP5707669B2 (ja) | 2009-02-05 | 2015-04-30 | セントラル硝子株式会社 | プラスチックフィルム挿入合わせガラス |
| US7947374B2 (en) * | 2009-02-19 | 2011-05-24 | Guardian Industries Corp. | Coated article with sputter-deposited transparent conductive coating capable of surviving harsh environments, and method of making the same |
| US20100209730A1 (en) * | 2009-02-19 | 2010-08-19 | Guardian Industries Corp., | Coated article with sputter-deposited transparent conductive coating for refrigeration/freezer units, and method of making the same |
| US8097342B2 (en) | 2009-02-19 | 2012-01-17 | Guardian Industries Corp. | Coated article with sputter-deposited transparent conductive coating capable of surviving harsh environments, and method of making the same |
| US8314986B2 (en) * | 2009-03-25 | 2012-11-20 | Fujifilm Corporation | Transparent electromagnetic wave-shielding filter and method of producing thereof, and conductive film |
| PT2256856T (pt) | 2009-05-28 | 2018-12-10 | Saint Gobain | Dispositivo transparente plano para receber e/ou transmitir radiação eletromagnética com pelo menos uma outra função, processo para a produção e utilização do mesmo |
| DE102009025888B4 (de) | 2009-05-29 | 2014-04-10 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Elektrisch großflächig beheizbarer, transparenter Gegenstand und seine Verwendung |
| RU2420607C1 (ru) * | 2009-10-22 | 2011-06-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Способ нанесения теплозащитного покрытия на полимерный материал |
| EP2494403A2 (de) * | 2009-10-28 | 2012-09-05 | Schott Ag | Einrichtung, insbesondere für eine anzeigevorrichtung |
| JP2011131574A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-07-07 | Central Glass Co Ltd | 高耐久性低放射積層体 |
| CN102110756B (zh) * | 2009-12-23 | 2012-10-03 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 白光led及其封装方法 |
| DE202010017313U1 (de) | 2010-05-20 | 2011-10-27 | Saint-Gobain Glass France | Transparente, flächenförmige Vorrichtung zum Empfangen und / oder Senden elektromagnetischer Strahlung mit mindestens einer weiteren Funktion |
| DE102012207556A1 (de) * | 2012-05-07 | 2013-11-07 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | IR-reflektierendes, transparentes Schichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung |
| FR3010074B1 (fr) * | 2013-09-05 | 2019-08-02 | Saint-Gobain Glass France | Procede de fabrication d'un materiau comprenant un substrat muni d'une couche fonctionnelle a base d'oxyde d'etain et d'indium |
| DE102015001668A1 (de) * | 2015-02-11 | 2016-08-25 | Schott Ag | Einrichtung mit IR-reflektierender Beschichtung |
| US20210285109A1 (en) * | 2020-03-12 | 2021-09-16 | Kennametal Inc. | Coated body and method for coating |
| CN112010567A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-12-01 | 江门耀皮工程玻璃有限公司 | 一种大角度不偏色的双层镀银玻璃的新膜系结构及其加工工艺 |
| EP4559881A1 (en) * | 2023-11-21 | 2025-05-28 | AGC Glass Europe | New seed for silver layer |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2750500A1 (de) * | 1977-11-11 | 1979-05-17 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zur herstellung von infrarotreflektierenden, fuer sichtbares licht weitgehend transparenten scheiben und durch die verfahren hergestellte scheibe |
| DE3307661A1 (de) * | 1983-03-04 | 1984-09-06 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung |
| JPS6237052A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リニアモ−タ |
| JPS6237051A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-18 | Canon Inc | ステツピングモ−タ |
| JPS6241740A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線反射ガラスの製造方法 |
| JPS6237052U (ja) * | 1985-08-23 | 1987-03-05 | ||
| DE3543178A1 (de) * | 1985-12-06 | 1987-06-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben |
| CA1331867C (en) * | 1986-12-29 | 1994-09-06 | James Joseph Finley | Low emissivity film for high temperature processing |
| US4883721A (en) * | 1987-07-24 | 1989-11-28 | Guardian Industries Corporation | Multi-layer low emissivity thin film coating |
| US4898789A (en) * | 1988-04-04 | 1990-02-06 | Ppg Industries, Inc. | Low emissivity film for automotive heat load reduction |
-
1988
- 1988-12-13 JP JP63314716A patent/JPH0791089B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1989-12-01 US US07/444,717 patent/US4985312A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-12 DE DE3941046A patent/DE3941046A1/de active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1108693A1 (en) | 1999-12-06 | 2001-06-20 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat shading glass, method for manufacturing the same, and heat shading laminated glass using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| DE3941046A1 (de) | 1990-06-21 |
| DE3941046C2 (ja) | 1991-09-19 |
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