CZ299337B6

CZ299337B6 - Zpusob vytvárení povlaku na skle magnetronovým naprašováním, sklenený tabulovitý dílec s transparentním tenkovrstvým systémem, a dvojsklo obsahující takový dílec

Info

Publication number: CZ299337B6
Application number: CZ0466599A
Authority: CZ
Inventors: Nöthe@Axel; Rissman@Michael; Paul@Thomas
Original assignee: Flachglas Aktiengesellschaft
Priority date: 1997-06-25
Filing date: 1998-06-24
Publication date: 2008-06-25
Also published as: PL337610A1; CA2294991A1; PL187951B1; WO1999000528A1; AU8800998A; DE19726966C1; CZ466599A3; US6572940B1; DE69826291D1; BR9810299A; DE69826291T2; EP1007756A1; ATE276380T1; CA2294991C; EP1007756B1

Abstract

Pri zpusobu vytvárení povlaku na skle magnetronovým naprašováním, pricemž povlak obsahuje alespon jednu vrstvu stríbra, spodní antireflexní vrstvu a vnejší antireflexní vrstvu, je spodní antireflexnívrstva tvorena souvrstvím dílcích vrstev obsahujícím vrstvu oxidu titanu, nanášenou stredofrekvencním naprašováním, a vrstvu oxidu zinecnatého mezi vrstvou oxidu titanu a vrstvou stríbra. Pro získánívrstev stríbra s mimorádne vysokou mernou elektrickou vodivostí se 15 až 50 nm tlustá vrstva oxidu titanu nanáší na sklo stredofrekvencním naprašováním ze dvou titanových katod v atmosfére obsahujícíkyslík, pricemž vrstva oxidu zinecnatého o tlouštce 2 až 18 nm se nanáší prímo na vrstvu oxidu titanu.

Description

Vynález se týká způsobu výroby tenkovrstvého systému s transparentní stříbrnou vrstvou magnetronovým katodovým naprašováním, dále skla s takovým transparentním tenkovrstvým systémem, obsahujícím stříbrnou vrstvu nanesenou magnetronovým katodovým naprašováním, a dvojskla (izolačního skla), obsahujícího takové sklo.

Dosavadní stav techniky

Skleněné tabulovité dílce s tenkovrstvými systémy jsou používány ve vzrůstající míře pro zasklívání budov a vozidel za účelem ovlivňování jejich vlastností z hlediska propustnosti a odrazu. Zde mají přídavně k pyrolyticky nanášeným vrstvovým systémům, založeným na polovodivých oxidech kovů, v prvé řadě význam vrstvové systémy s nejméně jednou transparentní vrstvou stříbra. Tyto vrstvové systémy mají v typickém případě strukturu, v níž jsou po sobě uloženy sklo, spodní antireflexní vrstva, vrstva stříbra a vnější antireflexní vrstva. Nanášejí se v široké míře v průmyslovém měřítku pomocí magnetronového katodového naprašování (US 4 166 018).

Ve vrstvových systémech tohoto typu stříbrná vrstva slouží v prvé řadě jako vrstva odrážející infračervené záření, zatímco antireflexní vrstvy- jsou použity specificky, pomocí vhodné volby materiálu a tloušťky, pro ovlivňování vlastností z hlediska propustnosti a odrazu ve viditelném pásmu spektra, podle případu použití. Obecně je sledována snaha dodat sklu s povlakem vysokou hodnotu činitele propustnosti světla, jakož i maximální neutralitu barvy, pokud jde o propustnost a vnější vzhled.

Vývoj vrstvového systému spočívá v použití více než jedné stříbrné vrstvy, přičemž mezi stříbrnými vrstvami jsou uloženy přídavné transparentní distanční vrstvy, stříbrné vrstvy a distanční vrstvy potom tvoří typ Fabryho a Pérotova interferenčního filtru. Tyto systémy s několika vrstvami stříbra dovolují odborníkovi dále zlepšovat,jemné ladění“ optických vlastností skleněných tabulovitých dílců, opatřených povlakem tohoto typu. Vrstvové systémy se dvěma nebo více stříbrnými vrstvami jsou používány v prvé řadě jako povlaky pro ovládání propustnosti slunečního záření s vysokou selektivitou. Selektivita je poměr propustnosti světla k celkové propustnosti energie.

Tenkovrstvé systémy s pouze jednou vrstvou stříbra jsou používány v praxi v prvé řadě jako velkoplošné tepelně izolační povlaky, které mohou být vytvářeny při relativně nízkých nákladech, přičemž význam je v prvé řadě přiřazován vysoké propustnosti světla a vysoké odrazivosti v dlouhovlnném infračerveném pásmu, odpovídající vysoké emisivitě. Ze skleněných tabulí s takovými tenkovrstvými systémy je možné vytvářet kombinací s normálně nepovleěenou druhou skleněnou tabulí tepelně izolační sklo, které může být v prvé řadě použito ve stavebnictví, a které má hodnotu součinitele k menší než 1,3 W/m²K.

Jako materiály pro antireflexní vrstvy jsou v případě běžných tržních výrobků v prvé řadě používány oxidy kovů, jako SnO₂, ZnO a BiiOj, které mohou být efektivně nanášeny magnetronovým katodovým naprašováním. Pro tento účel byla již navržena řada jiných materiálů. Při volbě materiálů pro jednotlivé složkové vrstvy tenkovrstvého systému musí specialista vzít v úvahu značné množství podmínek. Pro vlastnosti tenkovrstvého systému tak hrají významnou roli nejen indexy lomu jednotlivých složkových vrstev ajejich tloušťka. Dílčí vrstvy také mají různé vlastnosti pokud jde o index lomu, krystalickou strukturu, velikost krystalů, drsnost, pórovitost, povrchovou energii atd., podle procesu, jímž jsou nanášeny, a podle toho, jaká dílčí vrstva byla nanesena před tím. Jak je známo, jsou vlastnosti tenkých vrstev, které často sestávají z pouze několika atomových vrstev, určovány velmi výrazně podmínkami epitaxie, a v jejich hraničních oblastech.

- 1 CZ 299337 B6

V minulosti odborný svět věnoval obzvláštní pozornost zdokonalování vlastností stříbrných vrstev. Stříbrné vrstvy jsou citlivé na celou řadu fyzikálních vlivů při výrobě tenkovrstvých systémů, a poté při dalším zpracovávání a dopravě povlečených skleněných tabulí, a nakonec během jejich použití pro zamýšlený účel. Je již známou praxí chránit stříbrnou vrstvu během nanášení vnější antireflexní vrstvy tenkovrstvého systému s nízkou emisivitou reaktivním katodovým naprašováním proti korozní povlékací atmosféře, a to použitím tenké kovové vrstvy nebo tenké vrstvy z oxidu kovu (EP 0 104 870, EP 0 120 408). Je také známou praxí chránit stříbrné vrstvy proti vlivu kyslíku během tepelného zpracování, například během ohýbání nebo tvrzení io skleněných tabulí, nanášením speciálních pomocných vrstev větší tloušťky, než mají výše uvedené ochranné vrstvy, na stříbrnou vrstvu, které brání difúzi kyslíku do stříbrné vrstvy (EP 0 233 003). Jak nejprve uvedené ochranné vrstvy, tak i posledně jmenované pomocné vrstvy, jsou s výhodou navrženy tak, že jsou oxidované v hotovém výrobku v maximální míře, takže co možná nejméně snižují propustnost světla, a stávají se jako transparentní dielektrické vrstvy dílčími částmi vnějších antireflexních vrstev na stříbrných vrstvách.

Je také známé, že odolnost stříbrné vrstvy proti korozi může být zlepšena vhodnou volbou materiálů pro spodní antireflexní vrstvu. Spis DE 39 41 027 Al, od něhož je vynález odvozen jako od obecného stavu techniky, navrhuje v této souvislosti, aby byla spodní antireflexní vrstva uspořádána jako sendvičový povlak, přičemž dílčí (složková) vrstva přilehlá ke stříbrné vrstvě bude opatřena vrstvou oxidu zinečnatého s maximální tloušťkou 15 nm. Spodní antireflexní vrstva má být podle tohoto spisu opatřena nejméně jednou další dílčí (složkovou) vrstvou, pro niž se uvádějí oxid cínu, oxid titanu a oxid bismutu. Přednostním řešením, popisovaným výlučně v provedeních dle uvedeného spisu, je vrstvová struktura, kde spodní antireflexní vrstva obsahuje tři dílčí vrstvy, přičemž podle uvedeného spisu je první 2 až 14 nm tlustá vrstva z oxidu titanu, druhá 15 až 25 nm tlustá vrstva je z oxidu cínu, a třetí vrstva z oxidu zinečnatého maximální tloušťky 15 nm. Na přilehlou vrstvu stříbra se podle tohoto spisu nanáší vnější antireflexní vrstva, sestávající z kovové vrstvy speciálně zvolených kovů, dovolující ohýbání nebo tvrzení, při současném oxidování během tepelného zpracovávání, jakož i z jedné nebo více přídavných vrstev z oxidu kovu.

Podobné uspořádání je znázorněno ve spisu EP 0 773 197, v němž se uvádí, že pro dosažení vysoké úrovně propustnosti světla a snížené emisivity je třeba vrstvu oxidu zinečnatého, přilehlou k vrstvě stříbra, nanést v minimální tloušťce 16nm. Jako materiály pro nejméně jednu další vrstvu spodní antireflexní vrstvy jsou uváděny oxidy kovů, jako oxid bismutu, oxid cínu nebo nitrid křemičitý. Oba uvedené spisy hovoří o nanášení jedné požadované vrstvy pomocí magnetronového katodového naprašování, přičemž se rozprašují kovové terče zavedením stejnosměrného napětí a způsob je označován jako stejnosměrné katodové naprašování.

Autoři vynálezu důkladně vyšetřovali výše uvedené i jiné dosud známé tenkovrstvé systémy a zjistili, že mohou být dále zdokonaleny z hlediska dosažitelných vlastností. Zejména se zabývali tím problémem, že se transparentní stříbrné vrstvy podle stavu techniky vyznačují měrnou vodivostí, která je značně pod hodnotou, která by byla dosažitelná v případě bezkazové stříbrné vrstvy odpovídající rovnoměrné tloušťky. Toto snížení měrné vodivosti je zvlášť patrné v případě relativně tenkých stříbrných vrstev.

Bylo tak pozorováno, že se v případě tenkovrstvých systémů, vyrobených a konstruovaných podle stavu techniky, objevovala měřitelná elektrická vodivost pouze u tlouštěk stříbrné vrstvy 4 nm nebo vyšších, přičemž vodivost vzrůstala se vzrůstem tloušťky, přičemž však stále zůstávala pod teoreticky dosažitelnou hodnotou. U stříbrných vrstev v tloušťkovém rozmezí 10 až 15 nm, obzvláště zajímavých v případech použití pro tepelnou izolaci a ochranu proti slunečnímu záření, bylo se známými a běžně konstruovanými strukturami vrstev možné dosáhnout v nejlepším případě hodnot měrné vodivosti přibližně 2.10⁵ S/cm.

Aby se dosáhlo konkrétního elektrického povrchového odporu nebo konkrétní emisivity, odborník musel použít výrazně tlustší vrstvy stříbra, než jak bylo teoreticky potřebné. To vedlo

-2CZ 299337 B6 k problémům s regulací barvy ve vnějším vzhledu a k nežádoucímu snížení propustnosti světla tenkovrstvého systému. Ve stavu techniky jsou samozřejmě známé způsoby následného zlepšování vodivosti vrstev stříbra, například tepelným zpracováním nebo ozářením (DE 42 39 355, DE 43 23 654, DE 44 12 318 a EP 0 585 166). Tyto způsoby však značně zvyšují výrobní náklady na takové výrobky a neměly by se proto pokud možno používat.

Podstata vynálezu

Vynález je založen na řešení technického problému zlepšování známých tenkovrstvých systémů s nejméně jednou stříbrnou vrstvou, a jejich výrobě tak, aby taková stříbrná vrstva měla obzvláště vysokou měrnou vodivost a/nebo nízkou emisivitu. Autoři zjistili, že se toho dá dosáhnout naprašováním stříbrné vrstvy přes vrstvu oxidu titanu, nanesenou středofrekvenčním naprašováním (medium frequency sputtering).

Vynález přináší způsob vytváření povlaku na skle magnetronovým naprašováním, přičemž povlak obsahuje alespoň jednu vrstvu stříbra, spodní antireflexní vrstvu a vnější antireflexní vrstvu, který se vyznačuje tím, že spodní antireflexní vrstva je tvořena souvrstvím dílčích vrstev obsahujícím vrstvu oxidu titanu, nanášenou středofrekvenčním naprašováním, a vrstvu oxidu zinečnatého mezi vrstvou oxidu titanu a vrstvou stříbra.

Podle výhodného provedení se 15 až 50 nm tlustá vrstva oxidu titanu nanáší na substrát středofrekvenčním naprašováním ze dvou titanových katod v atmosféře obsahující kyslík, a 2 až 18 nm tlustá vrstva oxidu zinečnatého se nanáší přímo na vrstvu oxidu titanu.

Vrstva oxidu titanu se s výhodou nanáší při použití frekvence naprašování 5 až 100 kHz, s výhodou 10 až 40 kHz.

Podle dalšího znaku vynálezu se vrstva oxidu titanu nanáší jako dusíkatá vrstva oxidu titanu s obsahem dusíku N/(N+O) ve vrstvě 5 až 50 atomových procent v povlékací atmosféře obsahující argon, dusík a kyslík. S výhodou se dusíkatá vrstva oxidu titanu nanáší v povlékací atmosféře, obsahující argon a dusík, v kvantitativním poměru 3:1 až 1:5, jakož i přídavně kyslík.

Podle dalšího znaku způsobu podle vynálezu se vrstva oxidu titanu nanáší rychlostí povlékání minimálně 30 nm/min, s výhodou větší než 50 nm/min.

Vrstva oxidu zinečnatého se podle dalšího znaku způsobu podle vynálezu nanáší středofrekvenčním naprašováním ze dvou zinkových terčů v atmosféře obsahující kyslík.

Předmětem vynálezu je dále skleněný tabulovitý dílec s transparentním tenkovrstvým systémem, naneseným magnetronovým katodovým naprašováním, přičemž systém sestává

a) ze spodní antireflexní vrstvy, obsahující dílčí vrstvu oxidu titanu, nanesenou přímo na skleněný tabulovitý dílec, jakož i dílčí vrstvu oxidu zinečnatého, přilehlou k vrstvě stříbra,

b) z transparentní vrstvy stříbra,

c) popřípadě z alespoň jedné dvojice vrstev sestávající z distanční vrstvy a další transparentní vrstvy stříbra,

d) z vnější antireflexní vrstvy, přičemž skleněný tabulovitý dílec se podle vynálezu vyznačuje tím, že vrstva oxidu titanu je vrstva o tloušťce 15 až 50 nm, nanesená středofrekvenčním naprašováním ze dvou titanových katod v atmosféře obsahující kyslík, přičemž vrstva oxidu titanu přímo přiléhá k vrstvě oxidu zinečnatého o tloušťce 2 až 18 nm, a vrstva stříbra, přilehlá ke spodní antireflexní vrstvě, má tloušťku 7 až 20 nm a měrnou vodivost nejméně 2,1 x 10⁵ S/cm.

Vrstva oxidu titanu na skleněném dílci s výhodou obsahuje dusík, přičemž obsah dusíku N/(N+O) ve vrstvě je 5 až 50 atomových procent. S výhodou má dále vrstva oxidu titanu tloušťku 18 až 40 nm, vrstva oxidu zinečnatého tloušťku 4 až 12 nm, a vrstva stříbra, přilehlá k antireflexní vrstvě, má tloušťku 8 až 15 nm.

Podle dalšího znaku skleněného tabulovitého dílce podle vynálezu vnější antireflexní vrstva sestává z 2 až 5 nm tlusté ochranné vrstvy na vrstvě stříbra, vytvořené z oxidu nejméně jednoho z kovů zahrnujících In, Sn, Cr, Ni, Zn, Ta, Nb, Zr a Hf, zejména z In(90)Sn(10)-oxidu, jakož i z vnější dílčí vrstvy materiálu, zvoleného z oxidů Sn, Zn, Ti, Nb, Zr a/nebo Hf a nitridu ío křemičitého, zejména oxidu ciničitého, s optickou tloušťkou 60 až 120 nm, s výhodou 80 až < 100 nm.

Mezi vrstvou stříbra, přilehlou ke spodní antireflexní vrstvě, a vnější antireflexní vrstvou, je ⁴ v povlakovém systému skleněného tabulovitého dílce podle vynálezu s výhodou uložena nejméně jedna dvojice vrstev, sestávajících z distanční vrstvy a další vrstvy stříbra.

Vynález dále navrhuje dvojsklo obsahující výše uvedený skleněný tabulovitý dílec s povlakem, přičemž dvojsklo podle vynálezu obsahuje dva skleněné tabulovité dílce, argonovou plynovou výplň, mezeru o tloušťce 16 mm, jakož i tenkovrstvý systém na povrchu vnitřního tabulovitého dílce obráceném do mezery, a má propustnost světla nejméně 76 %, součinitel k maximálně

1,1 W/m²K, emisivitu maximálně 0,04 a barevné souřadnice vnějšího vzhledu a* od -2 do +1 a b* od -6 do -2.

Podle výhodného provedení dvojskla podle vynálezu mají skleněné tabulovité dílce každý tloušťku 4 mm.

Vynález tedy přináší způsob výroby tenkovrstvého systému s transparentní stříbrnou vrstvou 25 prostřednictvím magnetronového katodového naprašování, při kterém se mezi substrátem a vrstvou stříbra ukládá spodní antireflexní vrstva, obsahující dílčí vrstvu oxidu titanu, uloženou přímo na substrát, jakož i dílčí vrstvu oxidu zinečnatého, přilehlou k vrstvě stříbra, přičemž podstata způsobu spočívá v tom, že 15 až 50 nm tlustá vrstva oxidu titanu se nanáší rozprašováním při střední frekvenci na substrát ze dvou titanových katod v atmosféře obsahující kyslík, přičemž vrstva oxidu zinečnatého o tloušťce 2 až 18 nm se nanáší přímo na vrstvu oxidu titanu.

Vynález také přináší způsob opatřování skla povlakem obsahujícím alespoň jednu vrstvu stříbra a spodní a vnější antireflexní vrstvy magnetronovým naprašováním, přičemž spodní antireflexní vrstva obsahuje vrstvu oxidu titanu, nanesenou středofrekvenčním naprašováním.

Při použití vynálezu je možné dosáhnout měrné vodivosti alespoň 2,1 x 10⁵ S/cm a obecně mohou být nanášeny vrstvy stříbra, které mají vysokou elektrickou vodivost a tedy nízkou emisivitu. Vynález dále umožňuje, jak je popisováno níže, nanášet pokud možno barevně neutrální tenkovrstvé systémy pro dvojskla, přičemž v případě tepelně izolačních skel se může dosáhnout vysoká propustnost světla při požadované emisivitě, nebo v případě skel pro protisluneční ochranu s obzvláště vysokou selektivitou, a to s výhodou 2 a více. Při vhodném použití vynálezu se dá takových vlastností dosáhnout bez použití následných tepelných zpracovaní nebo jiných nákladných a časově náročných procesů následného zpracovávání tenkovrstvého systému.

Překvapivě je možné vytvořit stříbrné vrstvy s mimořádně vysokou měrnou vodivostí tím, že se použije, při uspořádání řady vrstev sklo/oxid titanu/oxid zinku, speciální spodní antireflexní vrstva, a vrstva oxidu titanu se vytvoří použitím středofrekvenčního naprašování. Odborník, který je obeznámen s výše uvedeným stavem techniky, by ve skutečnosti neměl očekávat, že tato řada vrstev povede k takovým mimořádným výsledkům, pokud jde o vlastnosti stříbrné vrstvy.

Jak ukázaly pokusy autorů, je možné dosáhnout nejpříznivějších hodnot pro měrnou vodivost stříbrné vrstvy, je-li spodní antireflexní vrstva ve formě souvrství, obsahujícího dílčí vrstvu oxidu titanu a dílčí vrstvu oxidu zinečnatého. Méně příznivých hodnot se dosáhne při použití

-4CZ 299337 B6 jedné spodní antireflexní vrstvy, například oxidu titanu, oxidu cínu, oxidu zinečnatého nebo oxidu bismutu, nebo při jiných dvouvrstvých strukturách. Středofrekvenční naprašování, použité podle vynálezu pro výrobu první dílčí (složkové) vrstvy z oxidu titanu, vede k dalšímu výraznému zlepšení v kvalitě vrstvy stříbra vůči běžně nanášeným vrstvám na bázi oxidu titanu.

To je tím překvapivější v tom, že v případě přednostní vrstvové struktury podle vynálezu je takto nanesena mezi vrstvou oxidu titanu a vrstvou stříbra také vrstva oxidu zinku o tloušťce až 18 nm, takže takový jasný účinek výrobního postupu na kvalitu vrstvy stříbra se u první vrstvy oxidu titanu, nanesené na sklo, nedá očekávat. Je překvapující nejen to, že povaha naprašovacího postupu, použitého pro nanášení oxidu titanu, má takový účinek na následně uloženou vrstvu stříbra, ale že tento účinek má i při použití mezilehlé vrstvy oxidu kovu. Použití vrstvy oxidu zinečnatého, nanesené přes vrstvu oxidu titanu, skutečně vede k mnohem lepším vlastnostem stříbrné vrstvy, než při použití se samotnou vrstvou oxidu titanu, nanesenou středofrekvenčním naprašováním.

Středofrekvenční naprašování je popsáno například ve spisu DD 252 205 a v J. Vac. Sci. Technol. A 10(4), Jul/Aug 1992. Může pracovat při použití dvojice magnetronových katod s terči uspořádanými ve frontě, které zpravidla sestávají oba ze stejného materiálu, který se rozprašuje, přičemž polarita katod se periodicky mění při frekvenci v kilohertzovém pásmu. V rámci vynálezu je výhodné pracovat při frekvenci přibližně 5 až 100 kHz, zejména 10 až 40 kHz. Středofrekvenční naprašování dovoluje reaktivní použití vrstvy oxidu titanu ze dvou titanových terčů při vysoké rychlosti povlékání, přičemž použití tohoto procesu zjevně vede ke speciální mikroskopické struktuře a/nebo k povrchové charakteristické vlastnosti vrstvy oxidu titanu, která také nakonec ovlivňuje vlastnosti vrstvy stříbra, o níž je usilováno.

Vrstva oxidu zinečnatého, nanesená přes vrstvu oxidu titanu, se také výhodně vytváří středofrekvenčním naprašováním, i když však do rámce tohoto znaku vynálezu také spadá vytváření vrstvy oxidu zinečnatého pomocí běžného stejnosměrného katodového naprašování.

Obzvláště příznivých vlastností stříbrné vrstvy se dá dosáhnout tím, že se místo čisté vrstvy oxidu titanu použije dusíkatá vrstva oxidu titanu (někdy také nazývaná titan-oxid-nitridová vrstva) s obsahem dusíku N/N(N+O) ve vrstvě 5 až 50 atomových procent, která se nanáší v povlékací atmosféře obsahující argon, dusík a kyslík. Je žádoucí postupovat tak, že vrstva dusíkatého oxidu titanu se nanáší v atmosféře, obsahující argon a dusík v kvantitativním poměru 3:1 až 1:5, jakož i kyslík. Přidání dusíku do povlakové atmosféry během nanášení vrstvy oxidu titanu dovoluje nejen práci při zvýšené rychlosti povlékání, ale také zlepšuje kvalitu následně nanášené vrstvy stříbra. Obsah dusíku v povlékací atmosféře je s výhodou omezen směrem nahoru tak, že vytvořená vrstva dusíkatého oxidu titanu ještě nevykazuje žádnou významnou absorpci ve viditelném pásmu spektra, jaká může být pozorována v případě vrstev z čistého nitridu titanu. Obsah kyslíku v povlékací atmosféře se nastavuje tak, že je k dispozici přiměřené množství kyslíku pro oxidování titanu a rychlost povlékání je co možná největší.

Tam, kde se ve spojení s vynálezem hovoří pro zjednodušení terminologie o oxidových vrstvách, budou v tom běžně zahrnuty dusíkaté vrstvy oxidu titanu, pokud se výslovně nehovoří o vrstvách čistého oxidu titanu.

Způsob nanášení vrstvy oxidu titanu by měl být prováděn tak, aby se dosáhla rychlost vytváření povlaku nejméně 30 nm/min, s výhodou přes 50 nm/min. Pod pojmem rychlost povlékání se rozumí epitaxní rychlost na skleněném substrátu. Rychlost povlékání má zjevný účinek na mikroskopické vlastnosti vrstvy oxidu titanu, přičemž vyšší rychlosti povlékání oxidu titanu vedou ke zlepšeným vlastnostem vrstvy stříbra.

Zvlášť výhodná skla, získaná podle vynálezu, se vyznačují tím, že první vrstva spodního antireflexního souvrství je s výhodou dusíkatá vrstva oxidu titanu s tloušťkou 15 až 50 nm, nanášená na skleněnou tabuli středofrekvenčním naprašováním, přičemž k vrstvě oxidu titanu přiléhá

- 5 CZ 299337 B6 vrstva oxidu zinečnatého o tloušťce 2 až 18 nm, a přičemž vrstva stříbra má tloušťku 7 až 20 nm. Tloušťka vrstvy oxidu titanu je s výhodou od 18 do 40 nm, tloušťka vrstvy oxidu zinečnatého je s výhodou od 4 do 12 nm a tloušťka vrstvy stříbra je s výhodou od 8 do 15 nm.

Pro zajištění kompletního tenkovrstvého systému bylo shledáno jako výhodné, sestává-li vnější antireflexní vrstva z 2 až 5 nm tlusté ochranné vrstvy na vrstvě stříbra, vytvořené z oxidu jednoho z kovů zahrnujících In, Sn, Cr, Ni, Zn, Ta, Nb, Zr a Hf, zejména z In(90)Sn( 10)-oxidu, jakož i z vnější vrstvy materiálu, zvoleného z oxidů Sn, Zn, Ti, Nb, Zr a/nebo Hf a nitridu křemičitého, zejména oxidu cíničitého, s optickou tloušťkou 60 až 120 nm, s výhodou 80 až 100 nm. Může být ío výhodné, zejména pro systémy pro ochranu proti slunečnímu záření, je-li mezi vrstvou stříbra, ^! přilehlou ke spodní antireflexní vrstvě, a vnější antireflexní vrstvou, alespoň jedna dvojice vrstev, sestávající z distanční vrstvy a další vrstvy stříbra. S takovými vrstvovými systémy je možné i dosáhnout optimalizací tlouštěk jednotlivých vrstev kombinací hodnot propustnosti světla, emisivity a neutrálnosti vnějšího vzhledu, jaké až dosud nebyly možné.

Použití vynálezu však samozřejmě není omezeno na použití anorganických skleněných tabulí, zejména skla float. Pod pojmem skleněné tabule nebo tabulovité dílce (sklo) se v rámci vynálezu rozumí všechny transparentní tabule z anorganického nebo organického skelného materiálu. Do rámce vynálezu spadá přidávání malých množství jiných materiálů do jednotlivých vrstev tenkovrstvého systému, aby se zlepšily jejich chemické nebo fyzikální vlastnosti, pokud jimi není způsoben významný pokles měrné vodivosti stříbrné vrstvy. Zejména spadá do rámce vynálezu, použijí—li se jako oxidové složkové vrstvy místo čistých oxidů kovu dusíkaté vrstvy oxidu kovu.

Vynález se také týká dvojskel se skleněnou tabulí s povlakem podle vynálezu, zejména tepelně izolačních dvojskel, s tloušťkou obou skleněných tabulí 4 mm a mezerou mezi tabulemi o tloušťce 16 mm vyplněnou argonem, která mají v případě uspořádání tenkovrstvého systému na povrchu vnitřního skla, obráceného do mezery, propustnost světla nejméně 76 %, hodnotu součinitele k maximálně 1,1 W/mK, emisivitu maximálně 0,04 a barevné souřadnice vnějšího vzhledu a* od -2 do +1 a b* od -6 do -2.

Přehled obrázků na výkresech

Vynález je blíže vysvětlen v následujícím popisu na příkladech provedení s odvoláním na připojené výkresy, ve kterých znázorňuje obr. 1 graf závislosti měrné vodivosti vrstvového systému oxidu titanu, oxidu zinečnatého a stříbra na tloušťce vrstvy stříbra, obr. 2 graf závislosti elektrického odporu vrstvového systému podle obr. 1 s konstantní tloušťkou vrstvy stříbra na tloušťce vrstvy oxidu zinečnatého, obr. 3 graf průběhu odrazivosti a propustnosti v oblasti vlnových délek 400 až 2500 nm pro sklo s tepelně izolačním vrstvovým systémem podle vynálezu, obr. 4 graf podle obr. 3 pro sklo s vrstvovým systém podle vynálezu pro ochranu proti sluneč40 nímu záření.

Příklady provedení vynálezu

Obr. 1 znázorňuje průběh měrné vodivosti vrstvy stříbra pro různé tloušťky vrstev při uspořádání vrstvy stříbra na dvou různě vytvořených spodních antireflexních vrstvách. Plná křivka znázorňuje charakteristiku měrné vodivosti při spodní antireflexní vrstvě sestávající z vrstvy oxidu titanu, vyrobené podle vynálezu, která byla nanesena na skleněnou tabuli pomocí středofrekvenčního naprašování, a vrstvy oxidu zinečnatého, přilehlé k vrstvě stříbra a vrstvě oxidu titanu. I pro tloušťku přibližně 3,5 nm je zřejmě patrná měřitelná vodivost. U tlustších vrstev stříbra se hodnota měrné vodivosti blíží k mezní hodnotě přibližně 3,5 x 10’ S/cm.

Čárkovaná čára z obr. 1 znázorňuje průběh měrné vodivosti pro srovnávací příklad, kde byla vrstva oxidu titanu vytvořena běžným postupem stejnosměrného katodového naprašování. V tomto případě začíná měřitelná vodivost teprve od tloušťky vrstvy větší než 4,0 nm. U tlustších

-6CZ 299337 B6 vrstev stříbra se dosáhne mezní hodnoty pouze 2,5 x 10⁵ S/cm, tj. jednu třetinu pod hodnotou, jaké se dosahuje podle vynálezu.

Příčina této překvapivě vysoké měrné vodivosti vrstvy stříbra, vytvořené podle vynálezu, pravděpodobně spočívá ve zvlášť příznivých epitaxních podmínkách pro stříbro, které byly vytvořeny spodní antireflexní vrstvou podle vynálezu. Pokusy přihlašovatele ukazují, že nejlepších výsledků je možné dosáhnout vhodnou volbou materiálů dvou dílčích vrstev spodní antireflexní vrstvy, jakož i speciálním výrobním procesem, použitým pro vrstvu oxidu titanu, v případě středofrekvenčního naprašování, používajícího dvě katody, je rychlost vytváření povlaku oxidu titanu značně vyšší, než při běžném stejnosměrném katodovém naprašování. Pravděpodobně je v důsledku zvýšené rychlosti vytváření povlaku a změněných podmínek povlékání, spojených s použitím tohoto speciálního naprašovacího procesu, ovlivňována požadovaným způsobem struktura vrstvy oxidu titanu a tím i nepřímo vrstva stříbra.

Skutečnost, že v případě, kdy se mají vytvářet stříbrné vrstvy nejvyšší kvality, je důležitý nejen způsob výroby vrstvy oxidu titanu, je znázorněna na obr. 2. Tento obrázek znázorňuje průběh elektrického odporu (v libovolných jednotkách) vrstvy stříbra tloušťky 12,5 nm, nanesené na spodní antireflexní vrstvu sestávající z vrstvy oxidu titanu tloušťky 25 nm a vrstvy oxidu zinečnatého. Graf z tohoto obrázku je založen na řadě pokusů, kde tloušťka vrstvy stříbra a tloušťka vrstvy oxidu titanu byly obě udržovány konstantní, zatímco tloušťka vrstvy oxidu zinečnatého se obměňuje.

Plná čára reprodukuje hodnoty elektrického odporu pro spodní antireflexní vrstvu s vrstvou oxidu titanu, která byla vytvořena středofrekvenčním naprašovacím procesem. Čárkovaná čára znázorňuje hodnoty pro vrstvu oxidu titanu, která byla vytvořena běžným způsobem stejnosměrného katodového naprašování. Je především patrné, že hodnoty vrstvy oxidu titanu, vytvořené způsobem podle vynálezu, jsou zřetelně, tj. až o 10 %, pod hodnotami vrstvy oxidu titanu nanesené běžným způsobem. Dále je zřejmé, že pro elektrický odpor se dosahuje zřetelné minimum při tloušťce vrstvy oxidu zinečnatého přibližně 8 nm v případě vrstvy podle vynálezu, přičemž odpor je při tloušťkách mezi přibližně 2 a 18 nm pod hodnotami dosažitelnými běžnou technologií.

Výrobní proces podle vynálezu a povlečená skla, jím získatelná, budou nyní podrobně popsány pomocí příkladů.

Příklad 1

Na tabuli sodno-vápenato-křemičitého skla float o tloušťce 4 mm a rozměrech 40 x 40 cm se nejprve středofrekvenčně nanesla 25 nm tlustá vrstva oxidu titanu ve vakuové komoře a s podvojným uspořádáním katod. Pro tento účel se do komory zavedla směs Ar/N₂/O₂ v objemovém poměru 12:8:3 tak, že se dosáhlo tlaku 2,2 x 10 ¹ Pa. Výstupní výkon podvojné katody byl 8,4 kW a střídavá frekvence napětí byly 25 kHz. Na vrstvu oxidu titanu se poté pomocí stejnosměrné katody nanesla 8 nm tlustá vrstva oxidu zinečnatého. Pro tento účel se zavedla do komory směs Ar/O₂ tak, že se dosáhlo tlaku 2,4 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 4,1 kW. Nakonec se nanesla vrstva stříbra o tloušťce 12,5 nm. Pro tento účel se do komory zavedl argon tak, že se dosáhlo tlaku 1,4 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 1,4 kW.

Skleněná tabule, takto opatřená povlakem, měla na povlečené straně povrchový odpor 2,9 Ohmů a odrazivost pro infračervené záření 97 % při vlnové délce 8 pm. Měrná vodivost vrstvy stříbra byla 2,75 x 10⁵ S/cm.

Srovnávací příklad 2

Na sklo podle obr. 1 se nejprve nanesla vrstva oxidu titanu o tloušťce 25 nm, a to středofrekvenčně ze dvou katod ve vakuové komoře. Pro tento účel se do komory zavedla plynová směs

-7CZ 299337 B6

Ar/O₂ tak, že se dosáhl tlak 2,1 x 10 ¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 8,8 kW a střídavá frekvence napětí byla 25 kHz. Na vrstvu oxidu titanu se na rozdíl od příkladu 1 nanesla přímo vrstva stříbra. Pro tento účel se zavedl do komory zavedl argon tak, že se dosáhlo tlaku 1,4 x 10 ¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 1,4 kW, Tloušťka vrstvy stříbra byla jako v prvním příkladě 12,5 nm.

Takto povlečené sklo mělo na povlečené straně povrchový odpor 3,9 Ohmů a vykazovalo odrazivost pro infračervené záření 96,2 % při vlnové délce 8 pm. Měrná vodivost stříbrné vrstvy byla 2,0 x 10⁵ S/cm, a byla tak téměř 30 % pod měrnou vodivostí vrstvy vytvořené podle vynálezu podle příkladu 1.

Srovnávací příklad 3

Na sklo podle příkladu 1 se nejprve přímo nanesla ve vakuové komoře vrstva oxidu zinečnatého o tloušťce 20 nm. Pro tento účel se zaváděla do komory směs Ar/Cf tak, že se dosáhl tlak

2,4 x 10 ¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 4,1 kW. Na vrstvu oxidu zinečnatého se přímo nanesla

13,0 nm tlustá vrstva stříbra. Pro tento účel se do komory zaváděl argon tak, že se dosáhlo tlaku 1,4 x 10 ¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 1,4 kW.

Takto povlečené sklo mělo na povlečené straně povrchový odpor 3,6 Ohmů a vykazovalo odra20 živost pro infračervené záření 96,6 % při vlnové délce 8 pm. Měrná vodivost stříbrné vrstvy byla

2,1 x 10⁵ S/cm, a byla tak téměř o jednu čtvrtinu pod měrnou vodivostí vrstvy, vytvořené podle vynálezu podle příkladu 1.

Srovnávací příklad 4

Na sklo podle obr. 1 se nejprve nanesla vrstva oxidu titanu o tloušťce 25 nm, a to pomocí běžného katodového nanášení stejnosměrným proudem. Pro tento účel se do komory zavedla plynová směs Ar/N₂/O₂ v poměrech složek 3:10:2 tak, že se dosáhl tlak 5,0 x 10’ Pa. Výstupní výkon katody byl 10,0 kW. Na vrstvu oxidu titanu se poté nanesla vrstva oxidu zinečnatého o tloušťce 8 nm. Pro tento účel se do komory zavedla plynná směs Ar/O₂ tak, že se dosáhlo tlaku

6,8 x 10 ¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 8,3 kW. Nakonec se nanesla vrstva stříbra o tloušťce 12,6 nm. Pro tento účel se do komory přiváděl argon tak, že se dosáhlo tlaku 1,4 x 10’¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 1,8 kW.

Takto povlečené sklo mělo na povlečené straně povrchový odpor 3,8 Ohmů a vykazovalo odrazivost pro infračervené záření 96 % při vlnové délce 8 pm. Měrná vodivost stříbrné vrstvy byla

Příklady 1 až 4 ukazují, že použitím antireflexní vrstvy, konstruované a vyrobené podle vynálezu, bylo možné dosáhnout povrchového odporu vrstvy stříbra nižšího než 3 Ω, při tloušťce vrstvy přibližně 12,5 až 13 nm. Měrná vodivost vrstvy stříbra byla ve všech třech srovnávacích příkladech zřetelně pod hodnotou vrstvy, získané podle vynálezu. To znamená, že při vrstvě stříbra konkrétní tloušťky a tím i směrem vzhůru omezené propustnosti světla, je vzhledem ke známým vztahům mezi elektrickou vodivostí vrstvy stříbra a její emisivitou, nebo odrazivostí pro infračervené záření, podle vynálezu možné dosáhnout obzvláště vysoké odrazivostí pro infračervené záření a tím i zvlášť nízké emisivity.

Výhodné účinky vynálezu pro praktická použití jsou obzvláště zřejmé ve spojení s popisem následujících dvou příkladů výroby skleněných tabulí s úplnými tenkovrstvými systémy. Ty mají, kromě základní struktury podle příkladu 1, nejméně jednu vnější antireflexní vrstvu, jakož i popřípadě nejméně jednu další vrstvu stříbra, oddělovanou od první vrstvy stříbra prostřednictvím distanční vrstvy. Údaje pro emisivitu a pro hodnotu součinitele k jsou založeny na výpočtových metodách podle normy ISO Standard 10292. Pro určení propustnosti světla a celkové

-8CZ 299337 B6 propustnosti energie je odvolat na normu ISO 9050, zatímco souřadnice a* a b* jsou určeny podle normy DIN 6174.

Příklad 5

Pro získání tepelně izolačního povlakďs vysokou odrazivostí v dlouhovlnném infračerveném pásmu, vhodného pro získání vysoce účinného tepelně izolačního dvojskla, s vysokou propustností světla, se použil magnetronový naprašovací systém, kterým se nejprve nanesla na tabuli skla o tloušťce 4 mm a rozměrech 40 x 40 cm vrstva oxidu titanu o tloušťce 22,9 nm, a to středofrekvenčně ze dvou katod. Pro tento účel se do komory přivedla plynná směs Ar/N₂/O₂v podílech 6:20:3 tak, že se získal tlak 2,6 x 10 ¹ Pa. Katodový výstupní výkon byl 8,4 kW a střídavá frekvence napětí byla 25 kHz. Rychlost nanášení povlaku vrstvy oxidu titanu byla 50 nm/min. Následně se pomocí stejnosměrné katody nanesla vrstva oxidu zinečnatého o tloušťce 5 nm. Pro tento účel se do komory zavedla plynná směs Ar/O₂ tak, že se dosáhl tlak 2,4 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 4,1 kW. Poté se nanesla stříbrná vrstva o tloušťce 11,8 nm. Pro tento účel se do komory přiváděl argon tak, že se získal tlak 1,4 x 10¹ Pa.

Výstupní výkon katody byl 1,4 kW. Na stříbrnou vrstvu se nejprve nanesla 3 nm tlustá vrstva In(90)Sn( 10) jako ochranná vrstva pro následné reaktivní nanášení vnější antireflexní vrstvy. Pro tento účel se zaváděla do komory plynná směs Ar/O₂ tak, že se dosáhlo tlaku 2,4 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 0,7 kW. Jako hlavní dílčí vrstva vnější antireflexní vrstvy se nakonec nanesla vrstva oxidu cínu o tloušťce 44,8 nm. Pro tento účel se do komory zaváděla plynná směs Ar/O₂ tak, že se získal tlak 4,4 x 10“' Pa. výstupní výkon katody byl 4,7 kW.

Sklo s takto vytvořeným povlakem bylo jednoduché sklo s propustností světla 84,8 %. Emisivita na povlečené straně byla 0,04. Povlečená tabule byla sestavena s další tabulí ze skla float o tloušťce 4 mm bez povlaku do tepelně izolačního dvojskla, v němž byla její povlečená strana uložena jako obrácená do mezery mezi skly, která měla tloušťku 16 mm a byla vyplněna argonem. V případě uložení skla s povlakem na vnitřní straně směrem do mezery (tenkovrstvý systém v poloze 3), vykazovalo dvojsklo světelnou propustnost 76,3 % a součinitel k 1,1 W/m²K. Poloha ve spektru v odrazu na vnější straně byla definována barevnými souřadnicemi a* = 0,1 a b* = -4,4. Vnější vzhled tepelně izolačního dvojskla tak byl barevně téměř neutrální.

Na obr. 3 je znázorněna plnou čarou spektrální charakteristika propustnosti povlečeného jednoduchého skla ve spektrálním rozmezí a v blízké infračervené oblasti. Charakteristika odrazivosti povlaku na povlečené straně skla je znázorněna čárkovaně.

Příklad 6

Pro získání ochranného povlaku, vhodného pro výrobu protislunečního dvojskla s vysokou selektivitou (poměrem světelné propustnosti k celkové energetické propustnosti) byl nejprve použit magnetronový katodový naprašovací systém, a to pro nanesení vrstvy oxidu titanu o tloušťce 31,8 nm na tabuli skla float o tloušťce 6 mm a velikosti 40x40 cm, a to středofrekvenčně ze dvou katod. Pro tento účel se zaváděla do komory směs Ar/N₂/O₂ s poměrem složek 12:8:3 tak, že se získal tlak 2,2 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 8,4 kW a frekvence napětí byla 25 kHz. Poté se nanesla 5 nm tlustá vrstva oxidu zinečnatého. Pro tento účel se do komory zaváděla směs Ar/O₂ tak, že se dosáhlo tlaku 2,4 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl

4,1 kW. Poté následovala vrstva stříbra o tloušťce 11 nm. Pro tento účel se do komory zaváděl argon tak, že se dosáhlo tlaku 1,4 x 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 1,4 kW.

Na první vrstvu stříbra se nanesla 3 nm tlustá vrstva In(90)Sn( 10) jako ochranná vrstva. Pro tento účel se do komory zavedla směs Ar/O₂ tak, že se dosáhlo tlaku 2,4 x 10 ' Pa. Výstupní výkon katody byl 0,7 kW. Poté se nanesla 84,9 nm tlustá vrstva oxidu cínu, sloužící jako distanční vrstva pro následující druhou vrstvu stříbra. Pro tento účel se do komory zavedla směs Ar/O₂ tak,

-9CZ 299337 B6 že se dosáhlo tlaku 4,4 χ 10“’ Pa. Výstupní výkon katody byl 4,7 kW. Na distanční vrstvě SnO₂byla nanesena druhá vrstva stříbra o tloušťce 14 nm. Pro tento účel se do komory přivedl argon tak, že se dosáhlo tlaku 1,4 χ 10“' Pa. Výstupní výkon katody byl 1,4 kW.

Na tuto druhou vrstvu stříbra se nanesla, jako na první vrstvu stříbra, a se stejnými parametry procesu, 3 nm tlustá vrstva In(90)Sn( 10) oxidu. Nakonec se nanesla jako hlavní dílčí vrstva vnější antireflexní vrstvy 37,8 nm tlustá vrstva oxidu cínu. Pro tento účel se do komory zavedla plynná směs Ar/O₂ tak, že se získal tlak 4,4 χ 10’¹ Pa. Výstupní výkon katody byl 4,7 kW.

ío Sklo s takto vytvořeným povlakem bylo jednoduché sklo s propustností světla 79,6 %. Povlečená i tabule byla sestavena s další tabulí ze skla float o tloušťce 6 mm bez povlaku do protislunečního izolačního dvojskla, s mezerou mezi skly 16 mm, vyplněnou argonem. V případě uložení skla t s tenkovrstvým systémem na vnitřní straně vnější tabule směrem do mezery (v poloze 2), vykazovalo dvojsklo světelnou propustnost 71,0% a dosáhla se celková energetická propustnost (hodnota g) 35,2 %. U tohoto protislunečního dvojskla se tak dosáhla se tak neobvykle vysoká selektivita 2,02. Vnější vzhled s barevnými souřadnicemi a* =-0,3 a b* =—1,15 byl mimořádně barevně neutrální.

Na obr. 4 je znázorněna plnou čarou spektrální charakteristika propustnosti povlečeného

2() jednoduchého skla ve viditelní části spektra a v blízké infračervené oblasti. Charakteristika odrazivosti povlaku na povlečené straně skla je znázorněna čárkovaně.

Použití vynálezu není omezeno na uspořádání podle příkladů 5 a 6, které slouží pouze jako příklady toho, jakých vlastností lze dosáhnout u konečných výrobků při použití principů vynálezu.

Claims

1. Způsob vytváření povlaku na skle magnetronovým naprašováním, přičemž povlak obsahuje alespoň jednu vrstvu stříbra, spodní antireflexní vrstvu a vnější antireflexní vrstvu, vyznačený t í m, že spodní antireflexní vrstva je tvořena souvrstvím dílčích vrstev obsahujícím vrstvu

35 oxidu titanu, nanášenou středofřekvenčním naprašováním, a vrstvu oxidu zinečnatého mezi vrstvou oxidu titanu a vrstvou stříbra.

2. Způsob podle nároku 1, vyznačený tím, žel5až50nm tlustá vrstva oxidu titanu se nanáší na substrát středofřekvenčním naprašováním ze dvou titanových katod v atmosféře

40 obsahující kyslík, a 2 až 18 nm tlustá vrstva oxidu zinečnatého se nanáší přímo na vrstvu oxidu titanu.

3. Způsob podle nároku 1 nebo 2, vyznačený tím, že se vrstva oxidu titanu nanáší při použití frekvence naprašování 5 až 100 kHz, s výhodou 10 až 40 kHz.

4. Způsob podle kteréhokoli z nároků laž3, vyznačený tím, že vrstva oxidu titanu se nanáší jako dusíkatá vrstva oxidu titanu s obsahem dusíku N/(N+O) ve vrstvě

5 až 50 atomových procent v povlékací atmosféře obsahující argon, dusík a kyslík.

50 5. Způsob podle nároku 4, vyznačený tím, že dusíkatá vrstva oxidu titanu se nanáší v povlékací atmosféře, obsahující argon a dusík, v kvantitativním poměru 3:1 až 1:5, jakož i přídavně kyslík.

6. Způsob podle kteréhokoli z nároků laž5, vyznačený tím, že vrstva oxidu titanu se

55 nanáší rychlostí povlékání minimálně 30 nm/min, s výhodou větší než 50 nm/min.

- 10CZ 299337 B6

7. Způsob podle kteréhokoli z nároků 1 až 6, vyznačený tím, že se vrstva oxidu zinečnatého nanáší středofrekvenčním naprašováním ze dvou zinkových terčů v atmosféře obsahující kyslík.

8. Skleněný tabulovitý dílec s transparentním tenkovrstvým systémem, naneseným magnetronovým katodovým naprašováním, přičemž systém sestává

b) z transparentní vrstvy stříbra,

d) z vnější antireflexní vrstvy, vyznačený tím, že vrstva oxidu titanu je vrstva o tloušťce 15 až 50 nm, nanesená středofrekveněním naprašováním ze dvou titanových katod v atmosféře obsahující kyslík, přičemž vrstva oxidu titanu přímo přiléhá k vrstvě oxidu zinečnatého o tloušťce 2 až 18 nm, a vrstva stříbra, přilehlá ke spodní antireflexní vrstvě, má tloušťku 7 až 20 nm a měrnou vodivost nejméně 2,1 x 10⁵ S/cm.

9. Skleněný tabulovitý dílec podle nároku 8, vyznačený tím, že vrstva oxidu titanu obsahuje dusík, přičemž obsah dusíku N/(N+O) ve vrstvě je 5 až 50 atomových procent.

10. Skleněný tabulovitý dílec podle nároku 8 nebo 9, vyznačený tím, že vrstva oxidu titanu má tloušťku 18 až 40 nm.

11. Skleněný tabulovitý dílec podle kteréhokoli z nároků 8ažl0, vyznačený tím, že vrstva oxidu zinečnatého má tloušťku 4 až 12 nm.

12. Skleněný tabulovitý dílec podle kteréhokoli z nároků 8 až 11, vyznačený tím, že vrstva stříbra, přilehlá k antireflexní vrstvě, má tloušťku 8 až 15 nm.

13. Skleněný tabulovitý dílec podle kteréhokoli z nároků 8ažl2, vyznačený tím, že vnější antireflexní vrstva sestává z 2 až 5 nm tlusté ochranné vrstvy na vrstvě stříbra, vytvořené z oxidu nejméně jednoho z kovů zahrnujících In, Sn, Cr, Ni, Zn, Ta, Nb, Zr a Hf, zejména z In(90)Sn(10)-oxidu, jakož i z vnější dílčí vrstvy materiálu, zvoleného z oxidů Sn, Zn, Ti, Nb, Zr a/nebo Hf a nitridu křemičitého, zejména oxidu cíničitého, s optickou tloušťkou 60 až 120 nm, s výhodou 80 až 100 nm.

14. Skleněný tabulovitý dílec podle kteréhokoli z nároků 8 až 13, vyznačený tím, že mezi vrstvou stříbra, přilehlou ke spodní antireflexní vrstvě, a vnější antireflexní vrstvou, je uložena nejméně jedna dvojice vrstev, sestávajících z distanční vrstvy a další vrstvy stříbra.

15. Dvojsklo obsahující skleněný tabulovitý dílec s povlakem podle kteréhokoli z nároků 8 až 14, vyznačené tím, že obsahuje dva skleněné tabulovité dílce, argonovou plynovou výplň, mezeru o tloušťce 16 mm, jakož i tenkovrstvý systém na povrchu vnitřního tabulovitého dílce obráceném do mezery, a má propustnost světla nejméně 76 %, součinitel k maximálně

1,1 W/nrK., emisivitu maximálně 0,04 a barevné souřadnice vnějšího vzhledu a* od -2 do +1 a b* od -6 do -2.

16. Dvojsklo podle nároku 15, vyznačené tím, že skleněné tabulovité dílce mají každý tloušťku 4 mm.