JP3363606B2 - 光起電力モジュール - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、光起電力素子とマイク
ロリレーとを一体化してなる光起電力ユニット、及びこ
れを用いた光起電力モジュールに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、１つの機能構成要素の大きさが１
ｍｍ以下のマイクロマシンと称される微小機械の研究開
発が進んでいる。マイクロマシンは固定式微小機械と自
走式微小機械に分類されるが、自走式微小機械において
は、エネルギー供給方式の開発が大きな課題となってい
る。 【０００３】マイクロマシンへのエネルギー供給方式は
有線方式と無線方式に分類される。有線方式によれば、
高密度のエネルギーを供給することが出来るが、エネル
ギー源とマイクロマシンとが電線によって互いに連結さ
れるため、マイクロマシンの移動に制約が加わる問題が
ある。そこで、マイクロ波、光線等の電磁波エネルギー
を外部からマイクロマシンへ向けて照射する無線方式が
検討されている。例えば、光線によるエネルギー供給方
式においては、マイクロマシンの表面を光起電力素子に
よって覆い、光起電力素子に照射された光を直接に電力
に変換するのである。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】ところで、マイクロマ
シンには、機能構成要素として、センサやアクチュエー
タ等の各種デバイスが搭載される。これらのデバイスに
は夫々電力を供給する必要があるが、従来は、光起電力
素子の出力を一定の割合で分配して、所定の大きさの電
圧、電流を各デバイスに供給することとしていた。 【０００５】しかしながら、一般にマイクロマシン中の
全デバイスが同時に動作することは稀で、例えばマイク
ロマシンの移動中にはアクチュエータの消費電力が大き
くなる。これに対し、センサは間欠的にＯＮ／ＯＦＦし
て使用することが多い。従って、マイクロマシンの移動
中には、アクチュエータに優先的にエネルギーを供給す
る必要がある。又、光起電力素子の光源として太陽を利
用する場合は、天候に応じて光量が変化する。太陽以外
の光源を利用する場合でも、マイクロマシンと光源との
相対的な位置関係によって、光量は変化する。仮に光量
が低下したときには、全体としての出力電流が低下する
ため、アクチュエータへの電流供給量を削減して、より
多くの電流をセンサへ供給する必要がある。 【０００６】この様に、マイクロマシンにおいては、動
作の種類や外界の状況に応じて各デバイスへの出力(電
圧、電流)を可変設定することが適切である。しかる
に、従来は各デバイスへの出力が固定されていたから、
場合によっては電圧或いは電流が不足して、機能が停止
する虞れがあった。尚、一定の電力を複数のデバイスへ
分配する際に、電圧や電流を各デバイスに整合させる技
術が知られているが、この様な特別な電気回路の搭載に
よってマイクロマシンが大形化するばかりでなく、電圧
の可変設定範囲が広い場合(数Ｖ〜数１００Ｖ)には、電
気回路のエネルギー損失が増大する問題がある。 【０００７】本発明の目的は、光起電力素子にマイクロ
リレーを一体化して光電力ユニットとし、該光起電力ユ
ニットの直並列の組合せによって、各デバイスへ必要な
電圧や電流を供給することが出来る光起電力モジュール
を提供することである。 【０００８】 【０００９】 【００１０】 【００１１】【課題を解決するための手段】 本 発明に係る光起電力モ
ジュールは、複数の光起電力ユニットを接続手段を介し
て互いに接続したものである。各光起電力ユニットは、
光起電力素子と、該光起電力素子の裏面に一体化され
て、所定の電圧を印加することによって接点が切り換わ
るマイクロリレーと、光起電力素子の出力をマイクロリ
レーの電極へ開閉可能に導く開閉手段とを具えている。
そして、前記接続手段及び開閉手段は制御手段により切
換え制御されて、複数の光起電力ユニットの内、任意数
の光起電力素子は互いに直列に、残りの光起電力素子は
互いに並列に接続される。 【００１２】具体的構成において、前記制御手段は、光
起電力モジュールによって駆動せんとする各デバイスに
ついて、夫々が必要とする電圧及び電流を判断して、各
デバイスに接続すべき光起電力素子の数を決定し、その
結果に応じて上記接続手段及び開閉手段を切り換えるの
である。 【００１３】 【作用】上記光起電力ユニットにおいては、光起電力素
子が光を受けることによって電力が発生する。このと
き、マイクロリレーに所定の電圧を印加することによっ
て、マイクロリレーは、その接点が切り換わり、ＯＦＦ
からＯＮとなる。この結果、光起電力素子の出力がマイ
クロリレーを経て外部へ取り出される。 【００１４】マイクロリレーの具体的構成においては、
作動部材の両電極板(82)(83)に所定の電圧を印加するこ
とによって、圧電素子板(81)及び両電極板(82)(83)が同
時に変形し、一方の電極板(82)が第１導体層(84)から離
間すると共に、他方の電極板(83)が第２導体層(85)に接
触して、マイクロリレーの接点が切り換わることにな
る。該構成によれば、作動部材としての電極板(83)が、
第２導体層(85)との接続電極としての機能を兼ね具える
ので、構成が簡易となり、製造工程も簡略化される。 【００１５】開閉手段を具えた他の構成の光起電力ユニ
ットにおいては、マイクロリレーを駆動するための電力
を光起電力素子の出力によって賄うことにより、マイク
ロリレーを駆動するための特別な電源は不要となり、構
成が簡易となる。 【００１６】本発明に係る光起電力モジュールは、上記
複数の光起電力ユニットを接続手段を介して互いに接続
したものである。より多くの光起電力素子を直列に接続
することによって、これらの光起電力素子の両端からは
高い出力電圧が得られる。これに対し、より多くの光起
電力素子を並列に接続することによって、これらの光起
電力素子の両端からは大きな出力電流を取り出すことが
出来る。そこで、該光起電力モジュールによって駆動せ
んとする各デバイスについて、夫々が必要とする電圧及
び電流を判断して、各デバイスに接続すべき光起電力素
子の数を決定し、その結果に応じて上記接続手段及び開
閉手段を切り換えるのである。これによって、電力を供
給すべき複数のデバイスの要求に応じた適切な接続形態
を選択することが可能となり、特にマイクロマシン等の
小形化が要求される電力供給システムにおいては、好適
なエネルギー供給源となる。 【００１７】 【００１８】 【発明の効果】本発明の光起電力モジュールによれば、
単に光起電力ユニットの直並列の組合せを変えることに
よって、各デバイスへ必要な電圧や電流を供給すること
が出来る。従って、複数のデバイスについての電圧、電
流の整合を行なう特別な電気回路は不要であり、特にマ
イクロマシン等のコンパクト化が必要な電力供給システ
ムに好適である。 【００１９】 【実施例】図１は、本発明をマイクロマシンの電力供給
システムに実施するために構成した光起電力モジュール
(１)を示している。該光起電力モジュール(１)は、図２
に示す光起電力ユニットを図１の前後方向に複数列に配
置したものであって、各光起電力ユニットは、マイクロ
リレー(８)上に集積型光起電力素子(２)を配置して構成
されている。 【００２０】集積型光起電力素子(２)は、図２中の部分
拡大図に示す様に、ｐｎ接合を有するユニットセル(22)
を上下３段に積層して３スタックセル(20)を構成すると
共に、多数の３スタックセル(20)を同一面上にて直列接
続したものであって、レーザを用いた高精度な選択加工
技術を駆使して製造される(精密工学会誌第56巻第11号
別冊 平成2年11月5日発行 117-122頁参照)。 【００２１】該集積型光起電力素子(２)を用いた光起電
力モジュール(１)によれば、例えば１ｃｍ²の領域に３
スタックセル(20)を１９行５列に配列することが出来、
仮に全ての集積型光起電力素子(２)を直列に接続した場
合、２００Ｖを越える高電圧の出力が光起電力モジュー
ル(１)の両端から得られることになる。そこで、図１に
示す如く光起電力モジュール(１)から得られる出力を、
接続回路(６)を介して複数のデバイス(７ａ)(７ｂ)〜
(７ｃ)に分配するのである。 【００２２】マイクロリレー(８)は、静電型(Proceedin
gs of IEEE“Micro Electro Mechanical Systems”IEEE
Catalog Number 94CH3404-1,pp.97-101参照)や、後述
する圧電型等、種々のタイプが採用出来る。何れのタイ
プにおいても、所定の電圧を印加すべき一対の電極と、
電圧の印加によって切り換わる接点とを有しており、近
年、特に小形で高性能のものが開発されている。 【００２３】集積型光起電力素子(２)の一方の出力端子
(例えばマイナス端子)とマイクロリレー(８)の一方の電
極とは第１スイッチ(４)を介して互いに接続されている
(図３参照)。又、集積型光起電力素子(２)の他方の出力
端子(例えばプラス端子)とマイクロリレー(８)の他方の
電極とは後述の如く互いに接続されて、該接続点は第２
スイッチ(41)を介して、隣接する光起電力ユニットの接
続点と並列に接続される(図５参照)。尚、図１において
は、最前列の集積型光起電力素子(２)に接続されている
第１スイッチ(４)及び第２スイッチ(41)のみを図示し、
後列の集積型光起電力素子(２)の第１スイッチ及び第２
スイッチについては図示省略している。 【００２４】各光起電力ユニットの第１スイッチ(４)及
び第２スイッチ(41)は制御回路(５)によって夫々切り換
え制御されている。後述の如く接続回路(６)に内蔵され
た複数のスイッチも制御回路(５)によって切換え制御さ
れる。 【００２５】図３は、一対となる集積型光起電力素子
(２)と圧電型マイクロリレー(８)を具えた光起電力ユニ
ットの断面構造と、第１スイッチ(４)および第２スイッ
チ(41)の接続状態を示している。マイクロリレー(８)は
集積型光起電力素子(２)の裏面に一体化されており、Ｓ
ｉ基板(80)と絶縁材(90)によって構成されるフレーム
と、圧電素子板(81)の両面に第１電極板(82)及び第２電
極板(83)を固定してなる作動部材とを具えている。該作
動部材は、両端部をフレームに支持されて、圧電素子板
(81)の所定の電圧を印加することによって鎖線の如く湾
曲する。 【００２６】Ｓｉ基板(80)には第１導体層(84)が設けら
れて、その一方の端部は自由状態の第１電極板(82)と接
触する。又、絶縁材(90)には第２導体層(85)が設けられ
て、その一方の端部には、鎖線の如く変形した第２電極
板(83)と接触すべき接点(86)が形成されている。 【００２７】前述の如く集積型光起電力素子(２)のマイ
ナス端子と第２電極板(83)とは第１スイッチ(４)を介し
て互いに連結されている。又、集積型光起電力素子(２)
のプラス端子と第１電極板(82)とは、前述の如く互いに
接続されて、該接続点には第２スイッチ(41)が接続され
ている。 【００２８】従って、集積型光起電力素子(２)が受光に
よって電力を発生した状態で、第１スイッチ(４)が開い
ているときは、集積型光起電力素子(２)のマイナス端子
と第１導体層(84)から発生電力を取り出すことが出来
る。又この状態で、第１スイッチ(４)を閉じると、集積
型光起電力素子(２)の出力電圧が第１電極板(82)と第２
電極板(83)に印加されて、圧電素子板(81)は両電極と共
に鎖線の如く変形することになる。この結果、マイクロ
リレー(８)は第１導体層(84)側から第２導体層(85)側に
切り換わり、集積型光起電力素子(２)のプラス端子と第
２導体層(85)から発生電力を取り出すことが可能とな
る。 【００２９】上記光起電力ユニットにおいては、圧電素
子板(81)に電圧を印加すべき第２電極板(83)が、第２導
体層(85)の接点(86)との断続を行なう電極の役割をも担
っており、この電極の共用によって構造が簡易となり、
製造工程も簡略化されるのである。 【００３０】図４は、光起電力ユニットの他の構成例を
示している。集積型光起電力素子(２)のマイナス端子と
第１電極板(82)とは直接に連結される一方、集積型光起
電力素子(２)のプラス端子と第２電極板(83)は第３スイ
ッチ(42)を介して互いに連結されている。従って、第３
スイッチ(42)が開いた状態では、集積型光起電力素子
(２)のプラス端子と第１電極板(82)から発生電力を取り
出すことが出来る。 【００３１】第３スイッチ(42)を閉じると、圧電素子板
(81)が両電極板(82)(83)と共に鎖線の如く変形し、第２
電極板(83)と第２導体層(85)とが互いに接触する。従っ
て、第１電極板(82)と第２導体層(85)から発生電力を取
り出すことが出来る。 【００３２】図５及び図６は、上記第１の構成を有する
光起電力ユニットを用いて光起電力モジュールを構成し
た例であって、図５においては複数の光起電力ユニット
が互いに直列に接続され、図６においては複数の光起電
力ユニットが互いに並列に接続されている。 【００３３】即ち図５の如く、隣接する光起電力ユニッ
トどうしは第２スイッチ(41)を介して互いに連結されて
いる。又、第１列の光起電力ユニットを構成するマイク
ロリレー(８ａ)の第１導体層(84)及び第２導体層(85)は
共に、第２列の光起電力ユニットを構成する集積型光起
電力素子(２ｂ)のマイナス端子へ接続されている。第２
列の光起電力ユニットを構成するマイクロリレー(８ｂ)
の第１導体層(84)及び第２導体層(85)は共に、第３列の
光起電力ユニットを構成する集積型光起電力素子(２ｃ)
のマイナス端子へ接続されている。以下、同様である。 【００３４】図５の如く、全ての第１スイッチ(４)及び
第２スイッチ(41)を開いた状態では、マイクロリレー
(８ａ)(８ｂ)(８ｃ)は動作せず、第１列の集積型光起電
力素子(２ａ)のプラス端子は、第１電極板(82)及び第１
導体層(84)を介して、第２列の集積型光起電力素子(２
ｂ)のマイナス端子へ接続される。第２列の集積型光起
電力素子(２ｂ)のプラス端子は、第１電極板(82)及び第
１導体層(84)を介して、第３列の集積型光起電力素子
(２ｃ)のマイナス端子へ接続される。以下、同様であ
る。 【００３５】従って、複数の集積型光起電力素子(２ａ)
(２ｂ)(２ｃ)は互いに直列に接続され、該光起電力モジ
ュールの両端からは、集積型光起電力素子の接続数に応
じた高電圧の出力Ｖｓが得られることになる。 【００３６】これに対し、図６の如く全ての第１スイッ
チ(４)及び第２スイッチ(41)を閉じると、各集積型光起
電力素子(２ａ)(２ｂ)(２ｃ)から各マイクロリレー(８
ａ)(８ｂ)(８ｃ)の両電極板(82)(83)へ電圧が印加され
る。これによって圧電素子板(81)及び両電極板(82)(83)
が変形し、図示の如く第２電極板(83)が第２導体層(85)
の接点(86)と接触する。 【００３７】この結果、各集積型光起電力素子(２ａ)
(２ｂ)(２ｃ)のプラス端子が互いに接続される。又、各
集積型光起電力素子(２ａ)(２ｂ)(２ｃ)のマイナス端子
は、第１スイッチ(４)、第２電極板(83)及び第２導体層
(85)を介して、互いに接続される。従って、複数の集積
型光起電力素子(２ａ)(２ｂ)(２ｃ)は互いに並列に接続
されることとなって、その両端からは、集積型光起電力
素子の性能に応じた電圧Ｖｐの出力が得られる。 【００３８】図７は、６列の光起電力ユニットから構成
した光起電力モジュールに対して、図１に示す接続回路
(６)を介してアクチュエータ(71)及びセンサ(72)を接続
し、これらのデバイスに電力を供給するシステムを表わ
している。図７に示す如く、各集積型光起電力素子(２
ａ)〜(２ｆ)のプラス端子と各デバイスの間には夫々、
第４スイッチ(43)が介在すると共に、各第４スイッチ(4
3)のデバイス側の接点は、第５スイッチ(44)を介して隣
接するどうしが互いに連結されて、前記接続回路(６)を
構成している。 【００３９】アクチュエータ(71)及びセンサ(72)が夫
々、通常の稼動状態であるときは、図示の如く第２スイ
ッチ(41)、第４スイッチ(43)及び第５スイッチ(44)を切
り換えて、第１列乃至第３列のマイクロリレー(８ａ)
(８ｂ)(８ｃ)はＯＦＦのままで、第４列乃至第６列のマ
イクロリレー(８ｄ)(８ｅ)(８ｆ)の接点を切り換えてＯ
Ｎとする。これによって、第１乃至第３列の集積型光起
電力素子(２ａ)(２ｂ)(２ｃ)は互いに直列に接続して、
これらの集積型光起電力素子(２ａ)(２ｂ)(２ｃ)の両端
に発生する電圧をアクチュエータ(71)に印加すると共
に、第４列乃至第６列の集積型光起電力素子(２ｄ)(８
ｅ)(８ｆ)は互いに並列に接続して、これらの集積型光
起電力素子(２ｄ)(８ｅ)(８ｆ)から得られる電圧をセン
サ(72)に印加する。 【００４０】例えばマイクロマシンの移動のためにアク
チュエータ(71)の負荷が増大し、センサ(72)は非使用状
態となったときは、図８に示す如く第２スイッチ(41)、
第４スイッチ(43)及び第５スイッチ(44)を切り換えて、
第４列及び第５列のマイクロリレー(８ｄ)(８ｅ)をＯＦ
Ｆとする。これによって、第１乃至第５列の集積型光起
電力素子(２ａ)〜(２ｅ)は互いに直列に接続して、これ
らの集積型光起電力素子(２ａ)〜(２ｅ)の両端に発生す
る高電圧をアクチュエータ(71)に印加すると共に、第６
列の集積型光起電力素子(８ｆ)の出力のみをセンサ(72)
に供給する。 【００４１】又、仮に光量が減少して、センサ(72)への
電流供給量を増加させる必要が生じたときは、図９に示
す如く第２スイッチ(41)、第４スイッチ(43)及び第５ス
イッチ(44)を切り換えて、第１列及び第２列のマイクロ
リレー(８ａ)(８ｂ)はＯＦＦ、第３列乃至第６列のマイ
クロリレー(８ｃ)(８ｄ)(８ｅ)(８ｆ)はＯＮとする。こ
れによって、第１及び第２列の集積型光起電力素子(２
ａ)(２ｂ)は互いに直列に接続して、これらの集積型光
起電力素子(２ａ)(２ｂ)の両端に発生する電圧をアクチ
ュエータ(71)に印加すると共に、第３列乃至第６列の集
積型光起電力素子(２ｃ)(２ｄ)(２ｅ)(２ｆ)から得られ
る電流をセンサ(72)へ供給するのである。このとき、ア
クチュエータ(71)に印加される電圧は下がるが、負荷の
低いときには問題とならない。 【００４２】尚、上述の第２スイッチ(41)、第４スイッ
チ(43)及び第５スイッチ(44)の切換えは、図１に示す制
御回路（５）によって制御される。 【００４３】図１０乃至図１２は、上記集積型光起電力
素子(２)及びマイクロリレー(８)からなる光起電力ユニ
ットの製造工程を表わしている。図１０はマイクロリレ
ー(８)の製造工程を表わしており、先ず図１０(ａ)に示
す如く、厚さ３００〜５００μmのＳｉ基板(80)上に、
夫々厚さが１μm程度の第１電極板(82)、圧電素子板(8
1)及び第２電極板(83)を順次、成膜する。 【００４４】次に図１０(ｂ)の如くＳｉ基板(80)に異方
性エッチングを施して、その中央部を選択的に除去す
る。その後、図１０(ｃ)の如く電極表面に、厚さ数〜数
十μmのポリシリコン層(９)を成膜し、続いて図１０
(ｄ)ではポリシリコン層(９)の表面に、第２導体層(85)
を１μm以下の厚さに成膜する。 【００４５】図１０(ｅ)では、ポリシリコン層(９)及び
第２導体層(85)を覆って、ＳiＮ_x等の絶縁材(90)を厚さ
数μmに成膜し、続いて図１０(ｆ)にて犠牲層エッチン
グの技術を用いてポリシリコン層(９)を選択的に除去
し、絶縁材(90)と第２電極板(83)の間に空胴を形成す
る。 【００４６】一方、集積型光起電力素子(２)の製造工程
では、図１１(ａ)の如く厚さ５００μm程度のガラス基
板(24)を作製し、続いて図１１(ｂ)にて、ガラス基板(2
4)上に、レーザを用いた周知の工程を経て光起電力素子
の集積構造(25)を形成し、集積型光起電力素子(２)を得
る。そして、更に図１１(ｃ)にて、集積型光起電力素子
(２)のガラス基板(24)の表面に、第１導体層(84)を厚さ
３００〜５００μmに設ける。 【００４７】最後に、図１２に示すように、集積型光起
電力素子(２)とマイクロリレー(８)とを互いに接合し、
一体化して、全体の厚さが約２ｍｍ程度の光起電力ユニ
ットを完成するのである。ここで、集積型光起電力素子
(２)とマイクロリレー(８)の接合には、周知の異種材料
接合技術、例えば真空中の熱圧着を採用出来る。尚、上
記集積型光起電力素子(２)を構成するガラス基板(24)
は、図１及び図２に示す集積型光起電力素子(２)におい
ては図示省略されているが、図１０乃至図１２の製造工
程を一連の成膜工程で行なうことによって、集積型光起
電力素子(２)とマイクロリレー(８)の間に介在するガラ
ス基板(24)の形成を省略することも可能である。 【００４８】上述の光起電力モジュールによれば、複数
の集積型光起電力素子(２)の夫々にマイクロリレー(８)
を設けたから、各マイクロリレー(８)のＯＮ／ＯＦＦに
よって、これらの集積型光起電力素子(２)を直列と並列
の混在した種々の形態で接続することが出来る。これに
よって、電力を供給すべき複数のデバイスの要求に応じ
て適切な接続形態を選択することが可能となり、特にマ
イクロマシン等の小形化が要求される電力供給システム
においては、好適なエネルギー供給源となる。又、可動
式の接点を有するマイクロリレー(８)の採用によって、
前述の如く２００Ｖを越える高電圧を出力する集積型光
起電力素子との組合せも可能となり、これによって多く
のデバイスへ充分な電圧を分配することが出来る。 【００４９】上記実施例の説明は、本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である。例え
ば本発明は、マイクロマシンのみならず、家庭用の各種
機器、自動車用機器、通信機器等にも広く応用出来るの
は言うまでもない。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係る光起電力モジュールの構成を示す
図である。 【図２】本発明に係る光起電力ユニットの構造を一部拡
大して示す斜視図である。 【図３】光起電力ユニットの断面図である。 【図４】光起電力ユニットの他の構成例を示す断面図で
ある。 【図５】複数の光起電力ユニットを直列に接続した状態
を示す断面図である。 【図６】複数の光起電力ユニットを並列に接続した状態
を示す断面図である。 【図７】電力供給システムにおける光起電力モジュール
のスイッチ切換え形態の一例を示す図である。 【図８】同上のスイッチ切換え形態の他の例を示す図で
ある。 【図９】同上のスイッチ切換え形態の更に他の例を示す
図である。 【図１０】マイクロリレーの製造工程を示す図である。 【図１１】集積型光起電力素子の製造工程を示す図であ
る。 【図１２】集積型光起電力素子とマイクロリレーの接合
工程を示す図である。 【符号の説明】 (１) 光起電力モジュール (２) 集積型光起電力素子 (８) マイクロリレー (４) 第１スイッチ (41) 第２スイッチ (５) 制御回路 (６) 接続回路 (７) デバイス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木山 精一 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三洋電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−62927（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−63747（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−88647（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−140618（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 31/042

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数の光起電力ユニットが接続手段を介
   して互いに接続され、各光起電力ユニットは、光起電力
   素子と、該光起電力素子の裏面に一体化されて、所定の
   電圧を印加することによって接点が切り換わるマイクロ
   リレーと、光起電力素子の出力をマイクロリレーの電極
   へ開閉可能に導く開閉手段とを具え、前記接続手段及び
   開閉手段は制御手段により切換え制御されて、複数の光
   起電力ユニットの内、任意数の光起電力素子は互いに直
   列に、残りの光起電力素子は互いに並列に接続される光
   起電力モジュールであって、 前記制御手段は、当該光起電力モジュールによって駆動
   せんとする各デバイスについて、夫々が必要とする電圧
   及び電流を判断して、各デバイスに接続すべき光起電力
   素子の数を決定し、その結果に応じて前記接続手段及び
   開閉手段を切り換えることを特徴とする光起電力モジュ
   ール。