JP4357071B2 - 半導体装置及び半導体記憶装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路内に散在する複数のゲート回路を選択的に駆動するバッファ回路内蔵した半導体装置及び半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体チップ内に散在する複数のゲート回路を1つのバッファ回路によって選択的に駆動する場合、バッファ回路の駆動能力は、最も信号伝搬遅延の大きいパスにおける信号伝搬遅延と消費電流値との兼ね合いによって決定される。即ち、信号伝搬遅延を少なくするためには、バッファ回路の駆動電流を大きくすればよいが、通常はバッファ回路が目的とする動作周波数を下回らず、且つ消費電流値が規定値を上回らないように設計される必要がある。
【0003】
図11は、この種のバッファ回路を内蔵した従来の半導体記憶装置の概略図である。
図示しないメモリセルをアレイ状に配列してなるメモリセルアレイ1は、8つのセクションSEC0〜SEC7に分割されている。メモリセルに書き込むべき入力データDATA<0>は、グローバルライトバッファ2によってグローバルデータ線3に転送される。一方、アドレスの上位3ビットをデコードして得られた書き込むセクションを選択する信号SEC<0:7>は、各セクション毎に配置されたローカルライトバッファ4のうちの1つを活性化する。グローバルデータ線3に転送されたデータは、信号SEC<0:7>によって活性化されたローカルライトバッファ4によってメモリセルに書き込まれる。ここで、グローバルデータ線3を駆動するグローバルライトバッファ2は、最も遠いセクションSEC<0>へのデータ書込時のデータ伝搬遅延が、書込動作周波数に対応した規定値を下回ることがないように、その駆動振幅が設定される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、グローバルライトバッファ2が駆動するグローバルデータ線3には、多数のローカルライトバッファ4が接続され信号線も長いので、その配線抵抗や配線容量、更にはMOSトランジスタのゲート容量等は非常に大きな値となっている。このため、書込動作周波数を低下させないためには、負荷の充放電電流を非常に大きな値に設定しなければならず、消費電流の増加は避けられないという問題がある。この問題は、特に半導体記憶装置に限ったものではなく、静電容量や配線抵抗が大きく、接続されるゲート回路が信号線上で散在している半導体装置全般について生じている。殊に近年、動作周波数や並列処理度の向上により、半導体装置の消費電流は増加傾向にあり、消費電流をいかに削減するかが今後益々重要な問題となる。
【0005】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたもので、消費電流の低減と動作周波数の向上とを同時に図ることができる導体装置及び半導体記憶装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
また、本発明に係る半導体装置は、複数のゲート回路と、これらのゲート回路を同一の信号線を介して選択的に駆動するバッファ回路とを備えた半導体装置において、前記バッファ回路は、駆動する前記ゲート回路を特定する信号を入力し、この信号に基づいて、駆動する前記ゲート回路に応じて前記信号線に入力される信号の振幅である駆動振幅を変更可能であり、前記バッファ回路は、常時活性状態の第1の駆動部と、前記駆動する前記ゲート回路を特定する信号に応じて活性状態となる第2の駆動部と、前記バッファ回路の入力信号のエッジをトリガとするワンショットパルス発生回路を備え、前記第2の駆動部は、前記駆動する前記ゲート回路を特定する信号に応じて、前記入力信号が入力されている全期間で活性化される場合と、前記入力信号が入力されている全期間のうちの一部の期間で前記ワンショットパルス発生回路の出力により活性化する場合のいずれかに制御されることにより、前記駆動振幅を変えるようにしたものであることを特徴とする。
【0008】
これらの発明においては、バッファ回路が駆動するゲート回路に応じてその駆動振幅を切り替えるので、例えばゲート回路までの信号の長さが長いときは駆動振幅を大きくし、短いときは駆動振幅を小さくしたり、ゲート回路がクリティカルパスにあるときには駆動振幅を大きくし、クリティカルパスにないときには駆動振幅を小さくするというように、信号の伝搬遅延が大きいパスを駆動するときのみ、その駆動振幅を大きくすることで、消費電流の低減と動作周波数の向上とを同時に図ることができる。
【0009】
また、本発明に係る半導体記憶装置は、アレイ状に配置されてそれぞれがデータを記憶する複数のメモリセル、これらメモリセルが接続されて書込データをメモリセルまで伝送する複数のビット線、及び前記ビット線と直交配置されて前記メモリセルを選択する複数のワード線を有するメモリセルアレイと、アドレスに基づいて前記ビット線を選択するビット線選択回路と、アドレスに基づいて前記ワード線を選択するワード線選択回路と、前記ビット線選択手段を介して前記ビット線に接続されて書込データを伝送するデータ線と、入力データに基づいて前記データ線を駆動するバッファ回路とを備えた半導体記憶装置において、前記バッファ回路は、データを取り込むメモリセルの位置に応じて前記データ線に入力される信号の振幅である駆動振幅が変更可能であり、前記バッファ回路は、常時活性状態の第1の駆動部と、前記データを取り込むメモリセルの位置に応じて活性状態となる第2の駆動部と、前記入力データのエッジをトリガとするワンショットパルス発生回路を備え、前記第2の駆動部は、前記データを取り込むメモリセルの位置に応じて、前記入力データが入力されている全期間で活性化される場合と、前記入力データが入力されている全期間のうちの一部の期間で前記ワンショットパルス発生回路の出力により活性化する場合のいずれかに制御されることにより、前記駆動振幅を変えるようにしたものであることを特徴とする。
【0010】
この発明においては、バッファ回路が、データを書き込むメモリセルの位置に応じてデータ線への駆動振幅を切り替えるので、メモリセルの位置が遠い場合には駆動振幅を大きくし、近い場合には駆動振幅を小さくすることで、消費電流の低減と動作周波数の向上とを同時に図ることができる。より具体的な態様において、バッファ回路は、例えば書込を行うメモリセルが接続されるビット線及び/又はワード線の位置によって、その駆動振幅を切り替える。ビット線やワード線の位置は、アドレス又はそれをデコードした情報の少なくとも一部を参照することにより識別できる。バッファ回路は、同一のワード線若しくは同一のビット線に接続されたメモリセル間で、又はメモリセルアレイ内の全てのメモリセル間で、それらのデータ書換時間の差が少なくなるようにデータ線を駆動するものであることが望ましい。また、メモリセルアレイ及び前記バッファ回路が、それぞれ対をなすように設けられ、一方のバッファ回路の駆動振幅が小さいときに、他方のバッファ回路の駆動振幅が大きくなるように、同一タイミングでデータが書き込まれるメモリセルの位置が決定されていると、消費電流の最大値が抑えられるので、更に好ましい。
【0011】
なお、バッファ回路の駆動振幅の切替は、例えば駆動対象に対する電流供給時間の制御により実現することができる。これを実現するには、例えば入力信号又は入力データのエッジをトリガとするワンショットパルス発生回路を設け、入力信号又は入力データが入力されている全期間で活性化される場合と、全期間のうちの一部をワンショットパルス発生回路の出力により活性化する場合とで、駆動対象への電流供給時間を変えて駆動振幅を変えるようにすれば良い。また、駆動対象を駆動するソースフォロワ回路を備えて、駆動振幅を抑えるときには、このソースフォロワ回路だけで駆動対象を駆動するようにしても良い。更に、低消費電力モードへ移行した場合には、駆動対象に拘わらず、その駆動振幅を小さくするようにしても良い。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の好ましい実施の形態について説明する。
図1は、この発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図である。
メモリセルアレイ11は、アレイ状に配置されたデータを記憶する複数のメモリセルMCと、これらメモリセルMCが接続されて書き込むべきデータをメモリセルMCまで伝送する複数のビット線BLと、これらビット線BLと直交配置されてメモリセルMCを選択する複数のワード線WLとを有する。このメモリセルアレイ11は、ワード線WLの延びる方向に、8つのセクションSEC0〜SEC7に分割されている。メモリセルMCに書き込むべき入力データDATA<0>は、グローバルライトバッファ12によってグローバルデータ線13に転送される。一方、カラムアドレスYの上位3ビットをセクションデコーダ14でデコードして得られたセクション選択信号SEC<0:7>は、各セクション毎に配置されたローカルライトバッファ15のうちの1つを活性化する。グローバルデータ線13に転送されたデータは、セクション選択信号SEC<0:7>によって活性化されたローカルライトバッファ15によって、カラムゲート16で選択されたビット線BLを介してメモリセルMCに書き込まれる。ビット線選択回路であるカラムゲート16も、各セクションSEC0〜SEC7に対応して設けられ、カラムアドレスYの下位ビットをカラムデコーダ17でデコードしたゲート選択信号により1つ(1組)のビット線BLをローカルライトバッファ15と接続する。また、ロウアドレスX<0:7>は、ロウデコーダ18によってデコードされて1つのワード線WLが選択される。
【0013】
ここで、グローバルライトバッファ12には、セクションデコーダ14からのセクション選択信号SEC<0:7>のうち、SEC<0>とSEC<7>とが入力され、メモリセル11のセクションSEC0に書込を行う場合と、セクションSEC1〜6に書込を行う場合と、セクションSEC7に書込を行う場合とで、駆動振幅をそれぞれ変えるようにしている。
図2は、グローバルライトバッファ12の一例を示すブロック図である。入力データDATA<0>は、IN端子から入力され、インバータI1を介してPチャネルMOSトランジスタMP2及びNチャネルMOSトランジスタMN2からなるCMOSインバータに入力される。このCMOSインバータの出力線OLは、グローバルデータ線13につながるもので、この出力線OLには、この出力線OLを入力データDATA<0>に基づいて駆動するNチャネルMOSトランジスタMN1と、出力線OLを補強的に駆動するPチャネルMOSトランジスタMP1とが接続されている。PチャネルMOSトランジスタMP1のゲートは、3入力NANDゲートG1の出力によって駆動される。3入力NANDゲートG1は、入力データDATA<0>を第1入力、反転されたセクション選択信号/SEC<7>(但し、/は負論理を示す。以下同じ)を第2入力、インバータI1,I2、2入力NANDゲートG2及びインバータI3,I4を介して遅延された入力データDATA<0>を第3入力とする。また、2入力NANDゲートG2は、インバータI2の出力を第1入力、反転されたセクション選択信号/SEC<0>を第3入力とする。
【0014】
このように構成された半導体記憶装置では、グローバルライトバッファ12から最も遠いセクションSEC0に書込を行うときには、セクション選択信号SEC<0>が“H”、セクション選択信号SEC<1>〜SEC<7>が“L”となるので、
2入力NANDゲートG2の出力が“H”に固定され、3入力NANDゲートG1は入力データDATA<0>を通過させる活性モードとなる。従って、この場合、出力線OLは、トランジスタMP1,MN1の両方を使用して大きな駆動振幅で駆動される。
【0015】
一方、グローバルライトバッファ12から最も近いセクションSEC7に書込を行うときには、セクション選択信号SEC<0>〜SEC<6>が“L”、セクション選択信号SEC<7>が“H”となるので、3入力NANDゲートG1の出力は“H”に固定され、トランジスタMP1はオフ状態となる。このため、出力線OLは、ソースフォロワするトランジスタMN1のみを使用した小さな駆動振幅で駆動される。
【0016】
更に、グローバルライトバッファ12が中間のセクションSEC1〜SEC6に書込を行うときは、セクション選択信号SEC<0>,SEC<7>が共に“L”レベルとなるので、NANDゲートG1,G2は、共に活性化される。このとき、入力データDATA<0>は、NANDゲートG1にダイレクトに入力されると共に、インバータI1,I2,NANDゲートG2,インバータI3,I4を介してその反転データがNANDゲートG1に少し遅れて入力されるので、これらのゲートでワンショットパルス発生回路が構成される。このワンショットパルス発生回路は、入力データをトリガとし、両パス間の伝搬遅延差に相当するパルス幅のパルスを出力する。この結果、出力線OLは、上記パルス幅だけトランジスタMP1,MN1の両方で駆動され、以後、トランジスタMN1だけで駆動される。
【0017】
このように、このグローバルライトバッファ12によれば、データ線13を駆動する際の駆動振幅は、最も遠いセクションSEC0に書込を行うときは大きく、一番近いセクションSEC7に書込を行うときは小さく、それ以外のセクションSEC1〜SEC6に書込を行うときはそれらの中間となっている。従って、これらの振幅をうまく調整することにより、動作周波数を低下させることなく、書込時の消費電流を低減することができる。
【0018】
図3は、グローバルライトバッファ12の他の構成例を示す回路図である。
この実施形態では、先の実施形態における2入力NANDゲートG2に代えて、インバータI2とI3との間に、インバータI5を接続している。インバータI5の入力端と電源端子との間にはPチャネルMOSトランジスタMP3及び容量C1の直列回路が接続される。インバータI5の入力端と接地端子との間にはNチャネルMOSトランジスタMN3及び容量C2の直列回路が接続される。更に、インバータI5の出力端と電源端子との間にはPチャネルMOSトランジスタMP4及び容量C3の直列回路が接続される。インバータI5の出力端と接地端子との間にはNチャネルMOSトランジスタMN4及び容量C4の直列回路が接続される。
【0019】
この構成によれば、グローバルライトバッファ12から最も遠いセクションSEC0に書込を行うときには、セクション選択信号SEC<0>が“H”、セクション選択信号SEC<1>〜SEC<7>が“L”となるので、トランジスタMP3,MN3,MP4,MN4は、いずれもオン状態となる。これにより、インバータI1〜I5での信号伝搬遅延は最大になる。このため、インバータI1〜I5及びNANDゲートG1で構成されるワンショットパルス発生回路からの出力パルスのパルス幅は、最大になる。
【0020】
また、グローバルライトバッファ12から最も近いセクションSEC7に書込を行うときには、セクション選択信号SEC<0>〜SEC<6>が“L”、セクション選択信号SEC<7>が“H”となるので、トランジスタMP3,MN3,MP4,MN4は、いずれもオフ状態となる。これにより、容量C1〜C4がインバータI5の入出力端に接続され、インバータI1〜I5での信号伝搬遅延は最小になる。このため、インバータI1〜I5及びNANDゲートG1で構成されるワンショットパルス発生回路からの出力パルスのパルス幅は、最小になる。
【0021】
更に、グローバルライトバッファ12が中間のセクションSEC1〜SEC6に書込を行うときは、セクション選択信号SEC<0>,SEC<7>が共に“L”レベルとなるので、トランジスタMN3,MN4のみがオン状態となり、容量C2,C4のみがインバータI5の入出力端に接続される。このためインバータI1〜I5及びNANDゲートG1で構成されるワンショットパルス発生回路からの出力パルスのパルス幅は、中間の値になる。
このように、書込を行うセクションによって、トランジスタMP1を駆動する駆動パルスのパルス幅を変えることにより、動作周波数を低下させることなく、書込時の消費電流を低減することができる。なお、ここではカラムアドレスYをセクションデコーダ14でデコードしたセクション選択信号をグローバルライトバッファ12に入力して駆動振幅を切り替えたが、デコード前のカラムアドレスYの少なくとも一部を入力して駆動振幅を切り替えるようにしても良い。
【0022】
図4は、本発明の第2の実施形態を示す半導体記憶装置のブロック図である。先の実施形態では、データを書き込むセクション、即ちデータを伝送するビット線BLの位置によってグローバルライトバッファ12の駆動振幅を切り替えたが、この実施形態では、選択するワード線WLの位置によってグローバルライトバッファ21の駆動振幅を切り替えるようにようにしている。この実施形態では、ワード線WLを選択するロウアドレスX<0:7>のうち上位2ビットのアドレスX<6>,<7>がグローバルライトバッファ21に入力されている。他の構成については、図1と同様である。
【0023】
グローバルライトバッファ21は、例えば図5に示すように構成することができる。この回路は、図2の回路を変形した回路で、3入力NANDゲートG1の第2入力として、アドレス/X<6>,/X<7>のNANDゲートG3によるNAND出力を与えると共に、2入力NANDゲートG2の第2入力として、アドレスX<6>,X<7>のNANDゲートG4によるNAND出力を与えるようにしたものである。
【0024】
この回路によれば、ロウアドレスX<6>,X<7>が共に“H”のとき、即ち図4におけるメモリセルアレイ11の上方1/4の領域Aに対して書込を行う場合には、NANDゲートG3及びインバータI4の出力が共に“H”に固定されるので、出力線OLは、トランジスタMP1,MN1の両方を使用して大きな駆動振幅で駆動されることになる。また、ロウアドレスX<6>,X<7>が共に“L”のとき、即ち図4におけるメモリセルアレイ11の下方1/4の領域Bに対して書込を行う場合には、NANDゲートG3の出力が“L”、NANDゲートG1の出力が“H”に固定されるので、出力線OLは、トランジスタMN1のみを使用して小さな駆動振幅で駆動されることになる。更に、ロウアドレスX<6>,X<7>のいずれか一方が“L”であるとき、即ち図4におけるメモリセルアレイ11の中央1/2の領域Cに対して書込を行う場合には、NANDゲートG3,G4の出力は、いずれも“H”に固定されるので、ワンショットパルス発生回路が形成されて、トランジスタMP1がパルス駆動される中間モードとなる。なお、この実施形態では、ロウデコーダ18に入力されるロウアドレスXをグローバルライトバッファ21に入力して駆動振幅を切り替えたが、ロウデコーダ18の出力の少なくとも一部を入力して駆動振幅を切り替えるようにしても良い。
【0025】
図6は、本発明の第3の実施形態を示すブロック図である。
この実施形態では、メモリセルアレイ11a,11b、グローバルライトバッファ12a,12b、グローバルデータ線13a,13b、ローカルライトバッファ15a,15b等がそれぞれ対をなすように設けられており、グローバルライトバッファ12a,12bを、メモリセルアレイ11a,11b間の位置に配置すると共に、同時に書き込まれるメモリセルMCa,MCbをメモリセルアレイ11a,11b内で対応する位置となるように配置することにより、一方のバッファ12aの駆動振幅を大きくしたときに、他方のバッファ12bの駆動振幅を小さくすることができる。これにより、消費電流値の最大値を抑えて、電源電圧の変動も抑えることが出来る。
【0026】
図7は、一般的なゲート回路がチップ内に散在する半導体装置に本発明を適用した第4の実施形態を示す図である。
インバータB0,B1を駆動するバッファBBは、選択信号BSELECTによってその駆動振幅を変更する。即ち、バッファBBからの距離が近いインバータB0を駆動するときは駆動振幅を小さくし、バッファBBからの距離が遠いインバータB1を駆動するときは駆動振幅を大きくする。バッファBBとしては、例えば図8に示すような回路を使用することができる。入力信号INをバッファリングするPチャネルMOSトランジスタMP5及びNチャネルMOSトランジスタMN5からなるCMOSインバータの電源側には、PチャネルMOSトランジスタMP6と、ソースフォロワのNチャネルMOSトランジスタMN6の並列回路が介挿されている。選択信号BSELECTが“H”のときには、トランジスタMP6がオフ、トランジスタMN6がオンとなるので、CMOSインバータは小振幅駆動される。一方、選択信号BSELECTが“L”のときには、駆動能力の大きなトランジスタMP6がオン、駆動能力の小さなトランジスタMN6がオフとなるので、CMOSインバータは大振幅駆動される。
この実施形態では、インバータB0は、インバータB1よりもバッファBBの近くに存在するので、駆動振幅を小さくした場合でも、適当な振幅を選べば、信号伝搬遅延をインバータB1までのそれと等しくすることができる。
【0027】
図9は、本発明の第5の実施形態を示す図である。
この例では、インバータB1につながるパスがクリティカルパスであり、インバータB0につながるパスがクリティカルパスでない場合を示している。バッファBBは、図8に示したものを使用する。この回路では、インバータB0側を駆動するときには、選択信号BSELECTを“H”にして小振幅駆動し、インバータB0側を駆動するときには、選択信号BSELECTを“L”にして大振幅駆動する。これにより、クリティカルパスにないゲート回路を駆動する場合には、駆動振幅を抑えることができるので、サイクルタイムを悪化させずに消費電力を低減することができる。
【0028】
図10は、本発明の第6の実施形態を示す図である。
この実施形態では、半導体装置が低消費電力モードを有する場合、低消費電力モードでは、駆動するゲート回路に拘わらず、小振幅駆動するようにしたものである。即ち、選択信号BSELECTは、インバータI6を介して2入力NANDゲートG5に入力されている。一方、通常モードで“H”、低消費電力モードで“L”となる低消費電力モード信号/LowPowerは、2入力NANDゲートG5の他方の入力として与えられている。これにより、低消費電力モード信号/LowPowerが“L”のときは、選択信号BSELECTの値に拘わらず、ゲートG5の出力は常に“H”となって、小振幅駆動モードとなる。これにより、消費電力の低減を図ることができる。
【0029】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、バッファ回路が駆動するゲート回路に応じてその駆動振幅を切り替えるので、例えばゲート回路までの信号の長さが長いときは駆動振幅を大きくし、短いときは駆動振幅を小さくしたり、ゲート回路がクリティカルパスにあるときには駆動振幅を大きくし、クリティカルパスにないときには駆動振幅を小さくするというように、信号の伝搬遅延が大きいゲート回路を駆動するときのみ、その駆動振幅を大きくすることで、消費電流の低減と動作周波数の向上とを同時に図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置のブロック図である。
【図2】 同半導体記憶装置のグローバルライトバッファの一例を示す回路図である。
【図3】 同半導体記憶装置のグローバルライトバッファの他の例を示す回路図である。
【図4】 本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置のブロック図である。
【図5】 同半導体記憶装置のグローバルライトバッファの一例を示す回路図である。
【図6】 本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置のブロック図である。
【図7】 本発明の第4の実施形態に係る半導体装置のブロック図である。
【図8】 同半導体装置のバッファの一例を示す回路図である。
【図9】 本発明の第5の実施形態に係る半導体装置のブロック図である。
【図10】 本発明の第6の実施形態に係る半導体装置のブロック図である。
【図11】 従来の半導体記憶装置のブロック図である。
【符号の説明】
1,11…メモリセルアレイ、2,12,21…グローバルライトバッファ、3,13…グローバルデータ線、4,15…ローカルライトバッファ、14…セクションデコーダ、16…カラムゲート、17…カラムデコーダ、18…ロウデコーダ。

Claims (10)

  1. 複数のゲート回路と、
    これらのゲート回路を同一の信号線を介して選択的に駆動するバッファ回路とを備えた半導体装置において、
    前記バッファ回路は、駆動する前記ゲート回路を特定する信号に基づいて、駆動する前記ゲート回路に応じて前記信号線に入力される信号の振幅である駆動振幅を変更可能であり、
    前記バッファ回路は、常時活性状態の第1の駆動部と、前記駆動する前記ゲート回路を特定する信号に応じて活性状態となる第2の駆動部と、前記バッファ回路の入力信号のエッジをトリガとするワンショットパルス発生回路を備え、
    前記第2の駆動部は、前記駆動する前記ゲート回路を特定する信号に応じて、前記入力信号が入力されている全期間で活性化される場合と、前記入力信号が入力されている全期間のうちの一部の期間で前記ワンショットパルス発生回路の出力により活性化する場合のいずれかに制御されることにより、前記駆動振幅を変えるようにしたものである
    ことを特徴とする半導体装置。
  2. 前記バッファ回路は、前記ゲート回路までの距離が長いときにはその駆動振幅を大きくし、前記ゲート回路までの距離が短いときにはその駆動振幅を小さくするように切り替えられるものである
    ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. アレイ状に配置されてそれぞれがデータを記憶する複数のメモリセル、これらメモリセルが接続されて書込データをメモリセルまで伝送する複数のビット線、及び前記ビット線と直交配置されて前記メモリセルを選択する複数のワード線を有するメモリセルアレイと、
    アドレスに基づいて前記ビット線を選択するビット線選択回路と、
    アドレスに基づいて前記ワード線を選択するワード線選択回路と、
    前記ビット線選択手段を介して前記ビット線に接続されて書込データを伝送するデータ線と、
    入力データに基づいて前記データ線を駆動するバッファ回路と
    を備えた半導体記憶装置において、
    前記バッファ回路は、データを取り込むメモリセルの位置に応じて前記データ線に入力される信号の振幅である駆動振幅が変更可能であり、
    前記バッファ回路は、常時活性状態の第1の駆動部と、前記データを取り込むメモリセルの位置に応じて活性状態となる第2の駆動部と、前記入力データのエッジをトリガとするワンショットパルス発生回路を備え、
    前記第2の駆動部は、前記データを取り込むメモリセルの位置に応じて、前記入力データが入力されている全期間で活性化される場合と、前記入力データが入力されている全期間のうちの一部の期間で前記ワンショットパルス発生回路の出力により活性化する場合のいずれかに制御されることにより、前記駆動振幅を変えるようにしたものである
    ことを特徴とする半導体記憶装置。
  4. 前記バッファ回路は、書込を行うメモリセルが接続される前記ビット線の位置によって駆動振幅を変えるものであることを特徴とする請求項記載の半導体記憶装置。
  5. 前記バッファ回路は、前記バッファ回路から、書込を行うメモリセルが接続される前記ビット線と前記データ線とを接続するビット線選択回路までの距離が長いときは駆動振幅を大きくし、短いときは駆動振幅を小さくするものであることを特徴とする請求項記載の半導体記憶装置。
  6. 前記バッファ回路は、書込を行うメモリセルが接続される前記ワード線の位置によって駆動振幅を変えるものであることを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
  7. 前記バッファ回路は、書込を行うメモリセルが接続される前記ワード線と前記データ線との距離が長いときは駆動振幅を大きくし、短いときは駆動振幅を小さくするものであることを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
  8. 前記バッファ回路は、アドレスの少なくとも一部の情報を入力し、この情報に基づいて駆動振幅を変えるものであることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項記載の半導体記憶装置。
  9. 前記バッファ回路は、アドレスをデコードした情報の少なくとも一部を入力し、この情報に基づいて駆動振幅を変えるものであることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項記載の半導体記憶装置。
  10. 前記メモリセルアレイ及び前記バッファ回路が、それぞれ対をなすように設けられ、一方のバッファ回路の駆動振幅が小さいときに、他方のバッファ回路の駆動振幅が大きくなるように、同一タイミングでデータが書き込まれるメモリセルの位置が決定されていることを特徴とする請求項3〜9の少なくとも1項記載の半導体記憶装置。
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