DE4108966C2 - Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator - Google Patents
Elektro-optischer interferometrischer LichtmodulatorInfo
- Publication number
- DE4108966C2 DE4108966C2 DE19914108966 DE4108966A DE4108966C2 DE 4108966 C2 DE4108966 C2 DE 4108966C2 DE 19914108966 DE19914108966 DE 19914108966 DE 4108966 A DE4108966 A DE 4108966A DE 4108966 C2 DE4108966 C2 DE 4108966C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electro
- crystal
- light modulator
- optical interferometric
- modulator according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen elektro-optischen interferome
trischen Lichtmodulator.
Aus der US 45 04 121 ist ein elektro-optischer interfero
metrischer Lichtmodulator bekannt, der mindestens einen
Kristall mit mindestens drei ebenen Stirnseiten aufweist,
dessen Brechzahl durch das an ihn angelegte elektrische Feld
veränderbar ist. Bei dem aus der US 4 504 121 bekannten
Lichtmodulator ist weiter bekannt, daß ein Lichtstrahl
schrägwinklig auf eine erste Seite einfällt, der an dieser
ersten Seite in einen ersten, reflektierten Strahl und einen
zweiten Strahl aufgespalten wird, wobei mindestens eine
Stirnseite so ausgebildet ist, daß der zweite Strahl nach
Reflexion an der Stirnseite dem ersten, reflektierten Strahl
überlagert wird und mit diesem interferiert.
Der aus der US 4 504 121 bekannte elektro-optische interfero
metrische Lichtmodulator ist zugleich als Schalter zwischen
verschiedenen Ein- und Ausgängen ausgelegt.
Die Anordnung weist zwei elektro-optische Kristalle mit
Elektroden auf ihren ebenen, parallelen Deckflächen auf,
die jeweils vier Stirn
flächen benötigen, von denen eine mit einer dielektrischen
Schicht belegte jeweils direkt am anderen Kristall anliegt.
Eine zu dieser Stirnfläche parallele zweite Stirnfläche dient
jeweils als Vollspiegel.
Ein- und Austritt erfolgen senkrecht durch die beiden
weiteren Stirnflächen. Jeder an einem Ausgang zur Interferenz
mit einem anderen Strahl gelangende Strahl muß an der gemein
samen teilreflektierenden Stirnfläche mindestens zweimal
reflektiert oder gebrochen werden, so daß jeder dieser
Strahlen nicht mehr als 25 Prozent der Eingangsamplitude
aufweisen kann. Weitere Verluste entstehen durch nichtideale
Verspiegelung und Justage aller acht Stirnseiten.
Reine Modulatoren werden üblicherweise als Mach-Zehnder-
Interferometer aufgebaut, in dessen einem Arm ein elektro-
optischer Kristall angeordnet ist. Durch den geringen Effekt
der Feldstärke auf den Brechungsindex sind für einen hohen
Modulationsgrad jedoch relativ große Kristallabmessungen und
Betriebsspannungen erforderlich.
Ein Mach-Zehnder Modulator in Wellenleiter-Technik ist aus
Herman A. Haus, Waves and Fields in Optoelectronics,
Englewood Cliffs, NY, USA 1984, Seite 334-338 bekannt.
Aus der EP-A1-28 5538 ist ein elektro-optischer Modulator mit
einem schrägwinklig auf eine erste Stirnseite einfallenden
Lichtstrahl bekannt. Dieser wird jedoch in Transmission
betrieben und es wird keine Aufspaltung in einen
reflektierten und einen gebrochenen Strahl benutzt.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, einen elektro-optischen
interferometrischen Lichtmodulator von einfachem und
unempfindlichem Aufbau anzugeben, der nur einen kleinen
elektro-optischen Kristall benötigt und mit geringen
Betriebsspannungen auskommt und dabei minimale Lichtverluste
hat.
Die Lösung gelingt durch den Lichtmodulator
nach dem Anspruch 1.
Dabei ist es vorteilhaft, wenn gemäß Anspruch 2 der Kristall
zwei zu den Stirnseiten senkrechte Deckseiten hat, auf den
Deckseiten Elektroden angebracht sind, die an eine steuerbare
Spannungsquelle angeschlossen sind, und der Kristall Pockels-
Effekt zeigt.
Merkmale weiterer vorteilhafter Ausführungsformen sind
einzeln und in Kombination die lineare Polarisation des
einfallenden Lichtstrahls, eine dielektrische Strahlteiler
schicht auf der ersten Stirnseite, die damit in etwa erreichte
Amplitudenanpassung der zwei interferierenden Lichtstrahlen
(Anspruch 5), deren Amplitude von jeweils mehr als 30 Prozent
der Amplitude des einfallenden Lichtstrahls, zusätzliche reflektierende
Stirnflächen im Kristall (Anspruch 7), die Nutzung der
Totalreflexion und die Einsparung von Kristallvolumen durch
weitere Stirnflächen.
Der Modulator ist als ein modifiziertes Fizeau-Interferometer
aufzufassen. Der Modulator besteht nur aus einem Kristall. Es
erfolgt der Eintritt der Lichtwelle in schiefer Inzidenz, und
zwar aus zwei Gründen: erstens soll die Amplitude des primär
reflektierten Strahles dadurch erhöht werden, zweitens soll
dadurch die Strahlführung des primär gebrochenen Strahls im
Modulator so eingerichtet werden, daß er nach mehrfacher
Reflexion im Inneren schließlich durch Brechung an der Ein
trittsstelle des Primärstrahls einen zweiten Strahl erzeugt,
der sich mit dem primär reflektierten Strahl interferenzfähig
überlagert, d. h. nicht nur richtungsmäßig, sondern auch räum
lich mit diesem zusammenfällt, drittens wird dadurch der
Lichtweg im Kristall erhöht und damit der integrierte
elektro-optische Effekt.
Durch weitere Spiegelflächen ist der dritte Effekt ohne
weiteres noch steigerbar.
Die Erfindung wird in der Zeichnung
anhand von Ausführungsbeispielen
näher erläutert.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Schnitt durch die Mittel
ebene, senkrecht zu den Stirnseiten eines
Ausführungsbeispiels,
Fig. 2 zeigt einen dazu orthogonalen Schnitt desselben
Ausführungsbeispiels,
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit einer zusätzlichen
reflektierenden Stirnseite in einer Darstellung wie
Fig. 1,
Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform mit sechs Stirn
flächen zur Einsparung von Kristallvolumen
in einer Darstellung wie Fig. 1.
Gleiche Elemente sind in allen Figuren mit gleichen
Bezugszeichen versehen.
In Fig. 1 ist der Schnitt durch einen Kristall (10) in
Gestalt einer Dreiecks-Säule mit drei Stirnseiten (1, 2, 3)
dargestellt. Die Deckseiten (11 und 12) sind mit Elektroden
(111 und 121) belegt und über Anschlußleitungen (112 und 122)
mit einer Spannungsquelle U, die entsprechend der gewünschten
Modulation steuerbar ist, angeschlossen, wie Fig. 2 zeigt.
Der Kristall (10) hat eine typische Dicke von bis zu 1 mm bei
Kantenlängen von 5 mm bis 10 mm.
Alle bekannten elektro-optischen Kristalle sind geeignet,
insbesondere sind die Materialien und andere Details der o.g.
US 45 04 121 geeignet. Demnach ist ein Lithiumniobatkristall
mit parallel zu den Stirnseiten (1, 2, 3) orientierter
Kristallachse geeignet, mit Steuerspannungen U von einigen
zehn Volt und für Modulationsfrequenzen bis in den Gigahertz
bereich.
Auf die erste Stirnseite (1) trifft schiefwinklig der ein
fallende Lichtstrahl (4), der vorzugsweise zur Vermeidung von
Verlusten parallel zur Stirnseite (1) linear polarisiert ist,
und wird aufgeteilt in den reflektierten Strahl (41) und den
gebrochenen Strahl (42). Der Anteil des reflektierten Strahls
(41) kann durch geeignete Ausführung einer teilverspiegelten
Schicht auf der Stirnseite (1) bestimmt werden, beispiels
weise zu 37%.
Hat der gebrochene Strahl (42) im Kristall - u. a. durch die
Reflexion an den Stirnseiten (2 und 3) und an der Innenseite
der Stirnseite (1) vor dem Austritt als Strahl (43) - 50%
Verlust, so sind dann die Amplituden des reflektierten
Strahls (41) und des austretenden Strahls (43) gerade gleich
groß.
Der Einfallswinkel des einfallenden Strahls (4), sein Auf
treffort (40) auf der ersten Seitenfläche (1), die Brechzahl
des Kristalls (10), Winkel und Längen der Seitenflächen
(1, 2, 3), sind so aufeinander abgestimmt, daß der gebrochene
Strahl (42) nach Reflexion an den Stirnseiten (1 und 2) an
den Auftreffort (40) des einfallenden Strahls (4) zurück
gelangt und nach der Brechung beim Austritt aus dem Kristall
(10) als austretender Strahl (43) mit dem reflektierten
Strahl (41) überlagert wird und so nach Art des Fizeau-
Interferometers Interferenz auftritt. Aufgrund der Dispersion
gilt eine solche Auslegung für eine bestimmte Wellenlänge des
einfallenden Strahls (4). Vorteilhafterweise sind die Polari
sationsrichtung des einfallenden Strahls (4), die Achsen
richtung des Kristalls (10), die Schnittlinien der die
Seitenflächen (1, 2, 3) enthaltenden Ebenen und das elektrische
Feld zwischen den Elektroden (111 und 121) zueinander
parallel.
Damit werden die Reflexionsverluste minimiert und die
Wirkung der angelegten Spannung U auf den optischen Weg des
gebrochenen Strahls (42) im Kristall (10) und damit die
Modulation optimiert.
Durch kleine Variation des Einfallswinkels des einfallenden
Strahls (4) oder seines Auftrefforts (40) kann der Gangunter
schied bei der Spannung U = OV so einjustiert werden, daß er
ein ungerades Vielfaches einer Viertelwellenlänge des ein
fallenden Strahls ist, so daß die
Ausgangsintensität der interferierten Strahlen (41 und 43) in
erster Näherung linear mit der Spannung U ansteigt.
In Fig. 3 ist in einem Ausführungsbeispiel dargestellt, wie durch Ein
führung einer zusätzlichen spiegelnden Stirnseite (5) - bei
gleichzeitiger Lageanpassung der Stirnseiten (2 und 3) - der
Weg des gebrochenen Strahls (42) im Kristall (10) erhöht
werden kann, ohne daß dieser größer wird.
Die Geometrie ist wiederum so gewählt, daß der austretende
Strahl (43) mit dem reflektierten Strahl (41) zusammenfällt
und interferiert.
Fig. 4 zeigt eine weitere Abwandlung der Anordnung nach
Fig. 1, bei der der Kristall (10) verkleinert ist bei gleichbleibendem
Lichtweg des gebrochenen Strahls (42). Zusätzliche
Stirnflächen (61, 62 und 63) begrenzen den Kristall (10)
außerhalb des Lichtwegs.
Natürlich können die Maßnahmen nach Fig. 3 und 4 auch kombiniert
werden und ist die Zahl der spiegelnden Stirnflächen
(2, 3, 5) und der zusätzlichen Stirnflächen (61, 62 und 63) frei
wählbar.
Die spiegelnden Stirnflächen (2, 3, 5) können mit Metallspiegeln
bedampft sein oder es kann die Totalreflexion
ausgenutzt werden.
Ein erfindungsgemäßer elektro-optischer Lichtmodulator aus
KTiOPO₄ - Kristall von 5 mm×7 mm und 1 mm Dicke in
Richtung der polaren a₃-Achse mit einem Einfallswinkel von
45° und drei Reflexionen des gebrochenen Strahls (42) - hat
eine wirksame Brechzahl u₃=1,813 bei 633 nm und ist so
einjustiert, daß der primäre Gangunterschied von reflektiertem
Strahl (41) und austretendem Strahl (43) gleich (2 m+1)
· λ/4 mit m als ganzer Zahl und der Wellenlänge λ ist. Die
Kapazität zwischen den Elektroden ist 15 pF, die Schwellenspannung
1 mV, die Viertelwellenspannung 30 V und der erreichte
Modulationsgrad 60%.
Claims (10)
1. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator,
mit
- - einem einzigen Kristall (10) mit mindestens drei ebenen Stirnseiten (1, 2, 3), dessen Brechzahl durch das an ihn angelegte elektrische oder magnetische Feld veränderbar ist,
- - einem schrägwinklig auf eine erste Stirnseite (1) einfallenden Lichtstrahl (4), der an dieser ersten Stirnseite (1) in einen reflektierten Strahl (41) und einen gebrochenen Strahl (42) aufgespalten wird,
wobei mindestens zwei weitere Stirnseiten (2, 3) des Kristalls (10) so aus
gebildet sind, daß der gebrochene Strahl (42) nach
Reflexion an den zwei weiteren Stirnseiten (2, 3) und
zweiter Brechung an der ersten Stirnseite (1) dem
reflektierten Strahl (41) überlagert wird und mit diesem
interferiert.
2. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kristall (10)
zwei zu den Stirnseiten (1, 2, 3) senkrechte Deckseiten
(11, 12) hat, auf den Deckseiten (11, 12) Elektroden
(111, 121) angebracht sind, die an eine steuerbare
Spannungsquelle U angeschlossen sind, und der Kristall
(10) Pockels-Effekt zeigt.
3. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der ein
fallende Lichtstrahl (4) linear polarisiert ist.
4. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
erste Stirnseite (1) des Kristalls (10) mit einer dielektrischen Strahl
teilerschicht belegt ist.
5. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflexions
koeffizient der Strahlteilerschicht so gewählt ist, daß
der reflektierte Strahl (41) etwa die gleiche Amplitude
hat wie der gebrochene und durch den Kristall verlaufende
und wieder austretende Strahl (43).
6. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die beiden überlagerten und zur Interferenz
kommenden Strahlen (41, 43) je mehr als 30 Prozent der
Amplitude des einfallenden Lichtstrahls (4) haben.
7. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Kristall (10) zusätzliche Stirnseiten
(5) hat, an denen der gebrochene Strahl (42) im Kristall
(10) reflektiert wird, und so der Lichtweg im elektro-
optischen Kristall (10) bezogen auf sein Volumen erhöht
wird.
8. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Reflexion an den Stirnseiten (1, 2, 3, 5)
als Totalreflexion stattfindet.
9. Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator nach
einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß zur Einsparung von Kristallvolumen zusätz
lich weitere Stirnflächen (61, 62, 63) außerhalb des
Strahlengangs angeordnet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914108966 DE4108966C2 (de) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914108966 DE4108966C2 (de) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4108966A1 DE4108966A1 (de) | 1992-09-24 |
DE4108966C2 true DE4108966C2 (de) | 1994-03-10 |
Family
ID=6427682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19914108966 Expired - Fee Related DE4108966C2 (de) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4108966C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8817357B2 (en) | 2010-04-09 | 2014-08-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mechanical layer and methods of forming the same |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
WO1999052006A2 (en) | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation of radiation |
WO2003007049A1 (en) | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
US6574033B1 (en) | 2002-02-27 | 2003-06-03 | Iridigm Display Corporation | Microelectromechanical systems device and method for fabricating same |
US7944599B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function |
US7719500B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-05-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays |
US7420725B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-09-02 | Idc, Llc | Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same |
US7893919B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-02-22 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display region architectures |
US7936497B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence |
US7372613B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-13 | Idc, Llc | Method and device for multistate interferometric light modulation |
US8008736B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-08-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device |
US7289259B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-10-30 | Idc, Llc | Conductive bus structure for interferometric modulator array |
US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
US7649671B2 (en) | 2006-06-01 | 2010-01-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release |
US7835061B2 (en) | 2006-06-28 | 2010-11-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Support structures for free-standing electromechanical devices |
US7527998B2 (en) | 2006-06-30 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control |
US9134527B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-09-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
US8963159B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-02-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5681816A (en) * | 1979-11-05 | 1981-07-04 | Xerox Corp | Method for minimizing damage of refractive index of optical material |
US4504121A (en) * | 1981-11-02 | 1985-03-12 | Gte Laboratories Incorporated | Interferometric multimode fiber optic switch and modulator |
-
1991
- 1991-03-19 DE DE19914108966 patent/DE4108966C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8817357B2 (en) | 2010-04-09 | 2014-08-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mechanical layer and methods of forming the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4108966A1 (de) | 1992-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4108966C2 (de) | Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator | |
DE3042865C2 (de) | Flüssigkristall-Anzeigezelle | |
DE68911780T2 (de) | Nicht-reziproke optische Anordnung. | |
DE3231894A1 (de) | Vorrichtung zum schalten eines lichtstrahls | |
DE2804105C2 (de) | ||
DE69418690T2 (de) | Optischer Isolator ohne Polarisations-Moden-Dispersion | |
DE2459762A1 (de) | Geriffelter optischer wellenleiter | |
DE69838102T2 (de) | Gerät zur erzeugung orthogonal polarisierter strahlen mit verschiedenen frequenzen | |
DE3707984A1 (de) | Polarisierender spiegel fuer optische strahlung | |
DE3789295T2 (de) | Optische Vorrichtung. | |
DE2321211B2 (de) | Strahlablenker mit piezoelektrisch angetriebenen schwenkbaren Spiegeln | |
DE2306282B2 (de) | Laser mit Q-Schaltung | |
DE2934290C2 (de) | Vorrichtung zum Drehen der Polarisationsrichtung | |
DE2729972A1 (de) | Datenwiedergabevorrichtung mit einer zelle mit fluessigkeitkristall | |
DE1275206B (de) | Elektro-optischer Modulator | |
DE69219152T2 (de) | Integrierter optischer modulator mit glatter elektrooptischer bandpasscharakteristik | |
DE1805395A1 (de) | Elektro-optische Lichtablenkvorrichtung | |
DE2033965B2 (de) | Digitale lichtablenkvorrichtung | |
DE3814742A1 (de) | Achromatischer phasenretarder | |
DE3831576A1 (de) | Optisches strahlungsfilter | |
DE4434921A1 (de) | Achromatisches Phasenverzögerungselement und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2335597A1 (de) | Ringlaser-gyroskop | |
DE69705942T2 (de) | Flüssigkristall-anzeigeelement | |
DE3230159C1 (de) | Piezoelektrisch erregbarer Würfelecken-Retroreflektor | |
DE102021105188A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur Erhöhung der Strahlqualität und Stabilität eines optischen Resonators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: IOT INTEGRIERTE OPTIK GMBH, 07745 JENA, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |