JP6356682B2 - 二段作動構造を有するサスペンション - Google Patents

Description

本開示は、ディスクドライブおよびディスクドライブ用サスペンションに関する。特に、本発明は二段作動（ＤＳＡ）サスペンションに関する。

二段作動（ＤＳＡ）ディスクドライブヘッドサスペンションとＤＳＡサスペンションを組み込むディスクドライブとは、一般的に既知であり市販されている。例えば、サスペンションのベースプレートまたはその他の搭載部、すなわち、サスペンションのバネまたはヒンジ領域の近位に作動構造を有するＤＳＡサスペンションは、Ｏｋａｗａｒａの特許文献１、Ｓｈｕｍの特許文献２、Ｆｕｃｈｉｎｏの特許文献３、Ｉｍａｍｕｒａの特許文献４に記載されている。サスペンションのロードビームまたはジンバル部、すなわち、バネまたはヒンジ領域の遠位に作動構造を有するＤＳＡサスペンションは、例えば、Ｊｕｒｇｅｎｓｏｎの特許文献５、Ｋｒｉｎｋｅの特許文献６、Ｙａｏの特許文献７に記載されている。同一場所配置のジンバルベースのＤＳＡサスペンションは、特許文献８に開示されている。上記の特許および特許出願はすべて、あらゆる目的のために全文を参照により本願に組み込む。

米国特許出願公開第２０１０／００６７１５１号明細書 米国特許出願公開第２０１２／０００２３２９号明細書 米国特許出願公開第２０１１／０２４２７０８号明細書 米国特許第５，７６４，４４４号明細書 米国特許第５，６５７，１８８号明細書 米国特許第７，２５６，９６８号明細書 米国特許出願公開第２００８／０１４４２２５号明細書 同時係属米国仮出願第６１／７００，９７２号明細書

改良されたＤＳＡサスペンションが依然として必要とされている。性能を高めたＤＳＡサスペンションが望ましい。サスペンションは効率的に製造できることが望まれる。

各種実施形態は、ジンバルを含む屈曲部を備え、二段作動構造を有するジンバル式屈曲部に関する。ジンバルは、少なくとも１つのバネアームと、少なくとも１つのバネアームに接続される舌状部とを備える。二段作動構造は、ジンバルに搭載されるモータをさらに含み、モータは上側と上側の反対の下側とを備え、モータの下側は屈曲部に対面する。二段作動構造は、モータと屈曲部との間に配置されるダンパーをさらに備え、ダンパーは舌状部とモータの下側とに接触する。ダンパーは弾性物質および粘弾性物質の一方または両方を備える。

上記実施形態のうちのいくつかによると、ダンパーは、高周波共振モード中、舌状部の面外運動を低減する。ダンパーと舌状部およびモータの下側のそれぞれとの接触は、モータの作動中の舌状部とモータとの間の略平行な面状関係を維持することができる。

上記実施形態のうちのいくつかによると、ダンパーは屈曲部とモータの下側の両方に接着される。ダンパーは屈曲部のステンレス鋼層上に配置することができる。
上記実施形態のいくつかは、舌状部上の導電アイランドと、屈曲部のダンパーと、ステンレス鋼層の空隙とをさらに備える。空隙は導電アイランドを囲む堀とすることができる。堀は接着剤および半田の一方または両方の導電アイランドからのウィッキングを最小限にすることができる。

上記実施形態のうちのいくつかによると、モータはモータの下側の２つの接点を含み、２つの接点が屈曲部の２つのトレースとそれぞれ電気的に接続される。当接素子はモータの上側に搭載することができる。当接素子は、ロードビーム窪みと係合するように配置し、構成することができる。

上記実施形態のいくつかは、舌状部に装着されるヘッドスライドダーをさらに備える。モータの電気的始動によりヘッドスライダーをトラッキング軸を中心に移動させることができる。ヘッドスライダーはチャネルを備えることができる。モータはチャネルを通って延在し、モータはヘッドスライダーとの固定された接触を避けることができる。

上記実施形態のうちのいくつかによると、ジンバルは一対の支柱をさらに備え、少なくとも１つのバネアームが一対のバネアームを備え、舌状部が一対のバネアーム間に配置され、一対の支柱によって一対のバネアームに接続され、モータが一対のバネアームに搭載され、舌状部がヘッドスライダー架台を備え、モータの電気的始動によって一対の支柱が屈曲して、ヘッドスライダー架台をトラッキング軸を中心に移動させる。

各種実施形態の追加の特徴および変更を本願にさらに記載し、図面に示す。複数の実施形態を開示したが、当業者にとっては、本開示の例示の実施形態を図示し説明する以下の詳細な説明から本開示のさらに別の実施形態が自明になるであろう。したがって、図面と詳細な説明は本質的に例示であり限定ではないとみなされるべきである。

二段作動（ＤＳＡ）構造を備えた屈曲部を有するサスペンションのロードビーム側の等角図である。 図１に示すサスペンションの遠位端のロードビーム側の等角図である。 図１に示すサスペンションの遠位端の屈曲部側（すなわち、図２に示す側と反対側）の等角図である。 図１に示す屈曲部のステンレス鋼側の等角図である。 図４Ａから圧電モータを取り外した図である。 図１に示す屈曲部のトレース側（すなわち、図４Ａに示す側と反対側）の等角図である。 ヘッドスライダーを取り外した図５Ａの図である。 ポリイミドカバーレイを取り外した図５Ｂの図である。 図５Ｃから導電物質層を取り外した図である。 図５Ｄから誘電物質層を取り外した図である。 図５Ｅから圧電モータを取り外した図である。 図１に示すサスペンションの遠位端の側面図である。 窪み、モータ、ヘッドスライダーを示す図６の一部の近接図である。 ＤＳＡ構造の動作を示す図１に示す屈曲部のステンレス鋼側の平面図である。 ＤＳＡ構造の動作を示す図１に示す屈曲部のステンレス鋼側の平面図である。 ＤＳＡ構造の動作を示す図１に示す屈曲部のステンレス鋼側の平面図である。 二段作動（ＤＳＡ）構造を備えた屈曲部を有するサスペンションのロードビーム側の等角図である。 図９に示すサスペンションの遠位端のロードビーム側を示す等角図である。 図９に示すサスペンションの遠位端の屈曲部側（すなわち、図１０に示す側と反対側）を示す等角図である。 図９に示す屈曲部のステンレス鋼側の等角図である。 図９に示す屈曲部のトレース側（すなわち、図１２に示す側と反対側）を示す等角図である。 図１３Ａからヘッドスライダーを取り外した図である。 図１３Ｂからモータを取り外した図である。 図１３Ｃからカバーレイを取り外した図である。 図１３Ｄから導電物質層を取り外した図である。 図１３Ｅから誘電物質層を取り外した図である。 図９に示すサスペンションの遠位端の側面図である。 窪み、モータ、ヘッドスライダーを示す図１４の一部の近接図である。 図９に示す屈曲部のステンレス鋼側の平面図である。 図１６Ａ１に示す屈曲部のトレース側の平面図である。 図９に示す屈曲部のステンレス鋼側の平面図である。 図１６Ｂ１に示す屈曲部のトレース側の平面図である。 図９に示す屈曲部のステンレス鋼側の平面図である。 図１６Ｃ１に示す屈曲部のトレース側の平面図である。 三段作動サスペンションの等角図である。 本発明の他の実施形態に係るＤＳＡ構造を備えた屈曲部の遠位端のステンレス鋼側を示す等角図である。 図１８Ａからモータを取り外した図である。 図１８Ｂからダンパーと接着物質を取り外した図である。 図１８Ａに示す屈曲部の遠位端のトレース側を示す等角図である。 他の実施形態に係る屈曲部の遠位端のステンレス鋼側を示す等角図である。 モータの等角図である。 別のモータの等角図である。 他の実施形態に係る屈曲部とＤＳＡ構造の遠位端のステンレス鋼側を示す等角図である。 他の実施形態に係る屈曲部とＤＳＡ構造の遠位端のステンレス鋼側を示す等角図である。 図２４に示す屈曲部の側面図である。 他の実施形態に係るＤＳＡ構造を有する屈曲部のトレース側を示す等角図である。 図２６に示す屈曲部のステンレス鋼側を示す等角図である。 図２６および２７に示す屈曲部の側面図である。 図２５〜２８に示すヘッドスライダーの等角図である。 他の実施形態に係る屈曲部の遠位端のステンレス鋼側を示す等角図である。

図１は、本開示の第１の実施形態（すなわち、ステンレス鋼側バージョン）に係る同一場所配置あるいはジンバルベースの二段作動（ＤＳＡ）構造１４を備えた屈曲部１２を有するサスペンション１０のロードビーム側を示す等角図である。図２は、サスペンション１０の遠位端の詳細等角図である。図３はサスペンション１０の遠位端の屈曲部側の詳細等角図であり、図２に示す側と反対側を示す。図１に示すように、サスペンション１０は近位搭載構造としてベースプレート１６を含む。図１にさらに示すように、サスペンション１０はバネまたはヒンジ領域２２に沿ってベースプレート１６に連結される剛体またはビーム領域２０を有するロードビーム１８を含む。ロードビーム１８はステンレス鋼から形成することができる。

屈曲部１２は、その遠位端にジンバル２４を含む。ＤＳＡ構造１４はロードビーム１８の遠位端に近接してジンバル２４に配置される。図２に最も良く示すように、サスペンション１０は、ロードビーム１８の停止部３０と係合するように構成されるタブ２８を備えるジンバルリミッタ２６を含む。ヘッドスライダー３２は、ロードビーム１８に対向するサスペンション１０側で、ジンバル２４のヘッドスライダー架台または舌状部３３に搭載される。ＤＳＡ構造１４は、ロードビーム１８とヘッドスライダー３２との間の屈曲部１２のジンバル２４に搭載された、例示の実施形態ではＰＺＴまたはその他の圧電アクチュエータであるモータ３４を含む。モータ３４は単層または多層圧電構造をとることができる。多層の実施形態では、陽極層と陰極層がモータ３４の厚さ全体にわたって交互に積層される。より詳細に後述するように、モータ３４に印加される電気駆動信号に応答して、モータは略横方向のトラッキング軸を中心に、舌状部３３とヘッドスライダー３２とを含むジンバル２４の部分を駆動する。本願で使用する近位と遠位とはサスペンションの長軸に沿った相対方向を指し、側方とはサスペンションの長軸に直交する左方向および／または右方向を指す。例えば、ベースプレート１６はロードビーム１８の近位にあり、モータ３４の対向端は側方に延在する。

図４Ａおよび４Ｂは、図１に示す屈曲部１２とＤＳＡ構造１４のステンレス鋼側の等角図である。モータ３４は、舌状部３３のさらなる細部を示すために図４Ｂには示さない。図５Ａ〜５Ｆは、屈曲部１２とＤＳＡ構造１４のトレース側（すなわち、図４Ａおよび４Ｂに示す側と反対側）の等角図である。具体的には、図５Ａ〜５Ｆは、屈曲部１２とＤＳＡ構造１４を備える各種層を示す。図５Ｂは、舌状部３３の詳細をさらに示すために図５Ａからヘッドスライダー３２を取り外した図である。図５Ｃは、ポリイミドカバーレイ４６の下にある導電物質層に形成されるトレース６０と他の構造とを含む導電物質層４４を明らかにするために、図５Ｂからポリイミドカバーレイ４６を取り外した図である。図５Ｄは、導電物質層４４の下にある誘電体層４２をより完全に明らかにするために図５Ｃから導電物質層４４を取り外した図である。図５Ｅは、ステンレス鋼層４０とモータ３４のみを示すために図５Ｄから誘電体層４２を取り外した図である。図５Ｆは、屈曲部１２のステンレス鋼層４０のみを示すために図５Ｅからモータ３４を取り外した図である。ステンレス鋼層４０は他の金属または剛体材料からも形成できる。

図５Ａ〜５Ｆに示すように、屈曲部１２はステンレス鋼層４０などのオーバーレイバネ金属、ポリイミドまたはその他の誘電体層４２、銅またはその他の導電物質層４４、ポリイミドカバーレイ４６から形成される。誘電体層４２は通常、導電物質層４４に形成される構造を、ステンレス鋼層４０の隣接部から電気的に絶縁する。通常、カバーレイ４６は導電物質層４４に形成される構造を被覆し保護する。ジンバル２４はバネアーム５２と舌状部３３とを含む。バネアーム５２はベース部５０から延在する。舌状部３３の一部である搭載部５４は、バネアーム５２の遠位端部の支持領域５８から延在する一対の支柱５６によってバネアーム５２間に支持される。いくつかの実施形態において、一対の支柱５６は、バネアーム５２間の舌状部３３を接続する、あるいはその他の方法で支持する唯一のステンレス鋼層４０部分である。具体的には、支柱５６は、バネアーム５２と舌状部３３との間の唯一の構造上の連結機構である。また、支柱５６は舌状部３３と関連して、ベース部５０の遠位でバネアーム５２間を接続する唯一のステンレス鋼層４０部分とすることができる。図示するように、支柱５６は屈曲部１２の長軸に対して相互にオフセットされる、あるいはバネアーム５２に対してトラッキング軸を中心とした搭載部５４の回転運動を提供するように構成される。図８Ｂに最も良く示すように（後述）、一対の支柱５６のうち一方の支柱５６はモータ３４の近位に配置され、一対の支柱５６のうち他方の支柱５６はモータ３４の遠位に配置されるため、モータ３４は一対の支柱５６間に位置する。各支柱５６は、サスペンション１０の長軸に対して略垂直に延在する長軸を有する。支柱５６の長軸は平行に延在し、支柱５６が押圧されないとき（例えば、屈曲していないとき）互いに交差も重複もしない。図５Ｆに示すように、支柱５６はそれぞれ、Ｘ−Ｙ面（図８Ｂの斜め上から見て）においてステンレス鋼層４０の最狭部分とすることができ、ステンレス鋼層４０の厚さは屈曲部１２に沿って一定とすることができる。

おそらく図４Ａおよび５Ｅに最も良く示すように、モータ３４の対向端は、（例えば、エポキシ樹脂などの構造的接着剤によって）バネアーム５２の支持領域５８に装着される。このように、支持領域５８はモータ搭載パッドとしての役割を果たすことができる。誘電体層４２の部分は図４Ｂでは支柱５６の下に延在する。図５Ｃに示すように、導電物質層４４に形成される複数のトレース６０は、誘電体層４２に形成される支持部６２にわたってベース部５０と舌状部３３との間を延在する。複数のトレース６０は舌状部３３の遠位領域上の位置を終端とし、ヘッドスライダー３２上の読取／書込ヘッド（図示せず）の端子に電気的に装着される。その他のトレース６０はモータ３４の下方の舌状部３３上の銅パッド６４などの接点を終端とする。例示の実施形態によると、銅パッド６４はバネアーム５２間の略中心に位置する。おそらく図４Ｂに最も良く示すように、誘電体層４２はパッド６４に開口を有する。構造的および電気的接続が、例えば導電性接着剤を使用して銅パッド６４とモータ３４上の電気端子との間でなされる。モータ３４上の端子（例えば、接地端子）との別の電気的接続は、窪み３６を通じて行われる（すなわち、窪み３６はモータ３４上の端子と電気的に接続される）。他の実施形態によると、モータ３４との電気的接続は、屈曲部１２に沿ったトレースなどのその他のアプローチや構造によって行うこともできる。

図５Ａおよび５Ｂに示すように、ヘッドスライダー３２は舌状部３３のカバーレイ４６に据えられる。カバーレイ４６はトレース６０を保護する。図５Ａ〜５Ｃに示すように、支持部６２は屈曲部１２の長手方向に対してオフセットされており、屈曲部１２の反対側のトレース６０部分は、支柱５６と同様に相互にオフセットされる（例えば、例示の実施形態ではトレース部分が支柱を覆う）。この種のオフセットトレースは、ＤＳＡ構造１４のストローク性能を向上させる。他の各種実施形態（図示せず）はオフセットトレースを有していない。なお、いくつかの実施形態によると、支持部６２は、支柱５６に対して舌状部３３にごくわずかの機械的支持を提供することができる。

図６および７はサスペンション１０の側面図であり、ジンバル２４とＤＳＡ構造１４とを示す。図示するように、ロードビーム１８を形成するステンレス鋼材料に形成される構造であり、ロードビーム１８から延在する窪み３６は、モータ３４と係合し、モータ３４が屈曲部１２のベース部５０に対して面外で接続されるジンバル２４の部分を付勢することによってロードポイントとしての機能を果たす。屈曲部１２における屈曲または遷移は、窪み３６によるジンバル２４の付勢によってバネアーム５２に沿った任意の所望の位置で発生させることができる。窪み３６は、窪みと係合するモータ３４の部分の端子（図示せず）との電気的接触を提供することもできる。例えば、ステンレス鋼のロードビーム１８が電気的に接地する、あるいはその他の形で電気回路の一部を成す場合、窪み３６は接地電位またはモータ３４上の端子との電気的接続を提供することができる。他の各種実施形態（図示せず）は、これらの機能を提供するめっき構造などのその他の窪み構造を含む。窪み３６は金などの導電物質でめっきして、同じく金などの導電物質でめっきすることのできるモータ３４の端子との電気的接続を向上させることができる。さらに他の実施形態（図示せず）は窪み３６以外の構造を使用して、接地またはモータ３４とのその他の電気的接続を提供することができる。その一例としての実施形態によると、例えば、支持領域５８の一方の端部に別の銅パッドを設けて、モータ３４の端子と屈曲部１２の支持領域の導電物質パッドとの間で、導電性接着剤などの構造を用いて電気的接続（例えば、接地接続）をなすことができる。いくつかの実施形態によると、モータ３４は、舌状部３３の対向側端部間の位置で舌状部３３に構造的に装着される。上記実施形態では、モータ３４は、バネアーム５２の支持領域５８に装着されることに加えて、ジンバル２４の舌状部３３に装着される。

ＤＳＡ構造１４の動作を、屈曲部１２のジンバル２４のステンレス鋼側の平面図である図８Ａ〜８Ｃを参照して説明することができる。図８Ｂに示すように、ＤＳＡ構造１４と舌状部３３は中立の非駆動状態にあり、トラッキング駆動信号がモータ３４に印加されていないとき、通常舌状部３３はバネアーム５２間の中心に位置する。図８Ａに示すように、第１の電位（例えば、正）トラッキング駆動信号がモータ３４に印加されると、モータの形状が変化して、長が全体的に拡大する。この形状変化により、図８Ａに示されるように支持領域５８間の距離が増大して、連結支柱５６の機械的動作と関連して、舌状部３３をトラッキング軸を中心にバネアーム５２に対して第１の方向に移動または回転させる。図示するように、モータ３４が延長すると、ジンバル２４が側方に延びて支柱５６を屈曲させる（例えば、内方に湾曲させる）。支柱５６のオフセット配置のため、支柱５６は、舌状部３３が第１の方向に回転するように屈曲する。

図８Ｃに示すように、第２の電位（例えば、負）トラッキング駆動信号がモータ３４に印加されると、モータの形状が変化して、長が全体的に収縮する。この形状変化により、図８Ｃに示すように支持領域５８間の距離が減少して、連結支柱５６の機械的動作と関連して、舌状部３３をトラッキング軸を中心にバネアーム５２に対して第２の方向へ移動または回転させる。第２の方向は第１の方向の逆である。図示するように、モータ３４が収縮すると、ジンバル２４が側方に圧迫されて支柱５６を屈曲させる（例えば、外方に湾曲させる）。支柱５６のオフセット配置のため、支柱５６は、舌状部３３が第２の方向に回転するように屈曲する。上述したように、ＤＳＡ構造１４のトラッキング動作中、比較的小さいが、ジンバル２４のその他の部分でいくらかの面外運動が生じる。本開示の本実施形態では、バネアーム５２が静止を保つか、ほとんど移動しないため、舌状部３３上のヘッドスライダー架台が通常、バネアーム５２に対して回転する。

図９は、本開示の第２の実施形態（すなわち、トレース側バージョン）に係る、同一場所配置あるいはジンバルベースの二段作動（ＤＳＡ）構造１１４を備えた屈曲部１１２を有するサスペンション１１０のロードビーム側の等角図である。サスペンション１１０の構成要素は、別の説明や図示がない限り上述のサスペンション１０と同様に構成することができる。図１０はサスペンション１１０の遠位端の等角図である。図１１はサスペンション１１０の遠位端の屈曲部側の等角図であり、図１０に示す側と反対側を示す。図１０に示すように、サスペンション１１０は近位搭載構造としてベースプレート１１６を含む。さらに図１１に示すように、サスペンション１１０は、バネまたはヒンジ領域１２２に沿ってベースプレート１１６に連結される剛体またはビーム領域２０を有するロードビーム１１８を含む。ロードビーム１１８はステンレス鋼から形成することができる。屈曲部１１２は遠位端にジンバル１２４を含む。ＤＳＡ構造１１４は、ロードビーム１１８の遠位端に隣接してジンバル１２４に配置される。サスペンション１１０の例示の実施形態は、ロードビーム１１８の停止部１３０と係合するように構成されるタブ１２８を備えるジンバルリミッタ１２６も含む。ＤＳＡ構造１１４は、例示の実施形態ではＰＺＴアクチュエータであり、ロードビーム１１８の反対側の屈曲部１１２の側で舌状部１３３のモータ架台領域に搭載されるモータ１３４を含む。ヘッドスライダー１３２は、屈曲部１１２の反対側のモータ１３４の側に搭載される。より詳細に後述するように、モータ１３４に印加される電気駆動信号に応答して、モータは略横方向のトラッキング軸を中心にして、舌状部１３３、モータ１３４、ヘッドスライダー１３２の部分を含むジンバル１２４の部分を駆動する。

図１２は、図９に示す屈曲部１１２とＤＳＡ構造１４のステンレス鋼側の詳細等角図である。図１３Ａ〜１３Ｆは、図１２に示す側と反対側の屈曲部１１２とＤＳＡ構造１１４の等角図である。具体的には、図１３Ａ〜１３Ｆは、屈曲部１１２とＤＳＡ構造１１４とを備える各種層を示す。図１３Ｂは舌状部１３３上のモータ１３４の細部をさらに示すために図１３Ａからヘッドスライダー１３２を取り外した図である。図１３Ｃは、舌状部１３３の詳細を明らかにするために図１３Ｂからモータ１３４を取り外した図である。図１３Ｄは、トレース１６０と導電物質層１４４に形成される他の構造とを含む導電物質層１４４を明らかにするため、図１３Ｃからカバーレイ１４６を取り外した図である。図１３Ｅは、誘電体層１４２をさらに明らかにするために図１３Ｄから導電物質層１４４を取り外した図である。図１３Ｆは、屈曲部１１２のステンレス鋼層１４０のみを示すために図１３Ｅから誘電体層１４２を取り外した図である。ステンレス鋼層１４０はその他の金属または剛体材料からも形成できる。図示するように、屈曲部１１２は、ステンレス鋼層１４０などのオーバーレイバネ金属、ポリイミドまたはその他の誘電体層１４２、銅またはその他の導電物質層１４４、カバーレイ１４６から形成される。通常、誘電体層１４２は導電物質層１４４に形成される構造を、ステンレス鋼層１４０の隣接部分から電気的に絶縁する。通常、カバーレイ１４６は導電物質層１４４に形成される構造を被覆し保護する。

ジンバル１２４はバネアーム１５２と舌状部１３３とを含む。ベース部１５０、バネアーム１５２、中心領域１５４はそれぞれステンレス鋼層１４０から形成される。バネアーム１５２はベース部１５０から延在する。舌状部１３３の中心部である中心領域１５４はバネアーム１５２の遠位端に接続されて、バネアーム１５２間に支持される。ステンレス鋼層１４０には一対の支柱１５３も形成される。各支柱１５３は中心領域１５４の対向側面の一方から延在し、外端にモータ搭載フラグまたはパッド１５５を有する。図示するように、支柱１５３は屈曲部１１２の長軸に対して相互にオフセットされる、あるいは中心領域１５４に対してトラッキング軸を中心としたモータ１３４とモータに搭載されるヘッドスライダー１３２との回転運動を提供するように構成される。各支柱１５３は、サスペンション１１０の長軸に対して略垂直に延在する長軸を備える。支柱１５３の長軸は平行に延在し、支柱１５３が押圧されないとき（例えば、屈曲していないとき）相互に交差も重複もしない。支柱１５３は、中心領域１５４とパッド１５５との間の唯一の構造上の連結機構とすることができる（例えば、中心領域１５４とパッド１５５とを接続するステンレス鋼層１４０の唯一の部分が支柱１５３であり、パッド１５５毎に単独の支柱１５３が設けられる）。図１３Ｆに示すように、支柱１５３はそれぞれＸ−Ｙ面（図１６Ｂ１の斜め上から見て）においてステンレス鋼層１４０の最狭部分とすることができ、ステンレス鋼層１４０の厚さは屈曲部１１２に沿って一定とすることができる。

図１３Ｄに示すように、複数のトレース１６０が導電物質層１４４に形成され、バネアーム１５２の略側方外側の経路に沿って、誘電体層１４２に形成される支持部１６２にわたってベース部１５０と舌状部１３３との間を延在する。複数のトレース１６０は舌状部１３３の遠位領域の隣接位置を終端とし、ヘッドスライダー１３２の読取／書込ヘッド端子（図示せず）に電気的に装着されるように構成される。モータ１３４に電力を供給する一対のパワートレース１６１も導電物質層１４４に形成され、バネアーム１５２の略内側の経路に沿って、誘電体層１４２に形成される支持部１６３にわたってベース部１５０と舌状部１３３の近位部との間を延在する。モータパワートレース１６１はモータ搭載パッド１５５の一方の第１のモータ端子パッド１６７を終端とする。第２のモータ端子パッド１６９は他方のモータ搭載パッド１５５上の導電物質層１４４に形成され、モータ搭載パッド１５５間の位置で舌状部１３３上に示される導電性ビア１７３にトレース１７１によって連結される。図１３Ｄに最も良く示すように、ビア１７３は誘電体層１４２の開口１７５を通って延在し（図１３Ｅに示す）、屈曲部１１２のステンレス鋼層１４０に電気的に接触する。モータ端子パッド１６９は、トレース１７１とビア１７３とによってステンレス鋼層１４０で接地電位に電気的に接続される。図１２に示すように、ステンレス鋼層１４０のタブ１５７などの構造はステンレス鋼層の面外に形成され、トレース支持部１６２の遠位部と係合してトレース１６１の終端を下方に押すため、ヘッドスライダー１３２の端子が（例えば、半田接合により）モータ１３４の厚さを収容しつつトレースに正確に電気的に装着できる。図１３Ｅは、導電性ビアと接続して使用されて、導電物質層１４４内のトレースや他の構造をステンレス鋼層１４０に電気的に接続する（例えば、接地）ことのできる誘電体層の他の孔も示す。他の実施形態によると、その他のアプローチおよび構造を使用して、トラッキング駆動信号をモータ１３４の端子に接続することができる。

モータ１３４の電気端子は、同じ側（例えば、上側または下側）であるが、モータ１３４の長手方向の対向端に配置することができる。図１３Ｂおよび１３Ｃに示すように、モータ１３４は、導電性接着剤を使用してモータ１３４の電気端子をモータ端子パッド１６７および１６９に接合することによってジンバル１２４に装着することができる。このアプローチによって、モータ１３４はジンバル１２４に構造的にも電気的にも接続される。図１３Ｃに示すように、モータ端子パッド１６７および１６９は、導電性接着剤が使用できるようにカバーレイ１４６の開口を通じて露出される。

図１４および１５はサスペンション１１０の側面図であり、ジンバル１２４とＤＳＡ構造１１４とを示す。図示するように、ロードビーム１１８のステンレス鋼に形成される構造であり、ロードビーム１１８から突出する窪み１３６は、モータ１３４の反対の舌状部１３３側でステンレス鋼層１４０の中心領域１５４と係合する。窪み１３６は、モータ１３４が屈曲部１１２のベース部１５０に対して面外で接続されるジンバル１２４の部分を付勢することによってロードポイントとして機能する。例示の実施形態によると、モータ１３４は舌状部１３３とヘッドスライダー１３２との間に位置する（例えば、モータ１３４は縦軸で挟まれる）。図１４および１５に示すように、ヘッドスライダー１３２はモータ１３４によって構造的に支持されるため、屈曲部１１２とヘッドスライダー１３２との間の唯一の構造上の連結機構はモータ１３４を通って延びる、あるいはその他の形でモータ１３４を含む。ステンレス鋼タブ１５７が、トレース１６０の終端を有する誘電体層１４２部分を正確なｚ高で読取／書込ヘッド端子を含むヘッドスライダー１３２の部分に隣接して位置決めする様子を図１５に示す。

ＤＳＡ構造１１４の動作を、屈曲部１１２のジンバル１２４の平面図である図１６Ａ１、１６Ａ２、１６Ｂ１，１６Ｂ２、１６Ｃ１，１６Ｃ２を参照して説明することができる。図１６Ａ１、１６Ｂ１、１６Ｃ１は屈曲部１１２のステンレス鋼側を示し、図１６Ａ２、１６Ｂ２、１６Ｃ２は屈曲部１１２のトレース側を示し、モータ１３４とヘッドスライダー１３２も示されている。図１６Ｂ１および１６Ｂ２に示すように、ＤＳＡ構造１１４および舌状部１３３と、モータ搭載パッド１５５および支柱１５３によって形成される連結機構上のモータ１３４とは、トラッキング駆動信号がモータ１３４に印加されていないとき、中立的な非駆動状態にあり、ヘッドスライダーは屈曲部１１２の長軸に略平行に配置される。この状態で、支柱１５３は屈曲も、他の形での押圧もされていない。図１６Ａ１および１６Ａ２に示すように、第１の電位（例えば、正）トラッキング駆動信号がモータ１３４に印加されると、モータの形状が変化して、長さが全体的に拡張する。この形状変化により、モータ搭載パッド１５５間の距離が増大して、連結支柱１５３の機械的動作と関連して、モータ１３４とモータに搭載されるヘッドスライダー１３２とをトラッキング軸を中心として屈曲部１１２の長軸に対して第１の方向に移動または回転させる。図示するように、モータ１３４を延長させると、支柱１５３が側方に延びて支柱１５３を屈曲させる（例えば、内方に湾曲させる）。支柱１５３のオフセット配置のため、支柱１５３は、モータ１３４とヘッドスライダー１３２が第１の方向に回転するように屈曲する。

図１６Ｃ１および１６Ｃ２に示すように、第２の電位（例えば、負）トラッキング駆動信号がモータ１３４に印加されると、モータの形状が変化して、長が全体的に収縮する。この形状変化により、モータ搭載パッド１５５間の距離が減少して、支柱１５３を含む連結機構の機械的動作と関連して、モータ１３４とモータに搭載されるヘッドスライダー１３２とをトラッキング軸を中心として屈曲部１１２の長軸に対して第２の方向に移動または回転させる。第２の方向は第１の方向の逆である。図示するように、モータ１３４を縮小させると、支柱１５３が側方に圧迫されて支柱１５３を屈曲させる（例えば、外方に湾曲させる）。支柱１５３のオフセット配置のため、支柱１５３は、モータ１３４とヘッドスライダー１３２が第２の方向に回転するように屈曲する。

ＤＳＡ構造１１４のトラッキング動作中、比較的小さいが、ジンバル１２４のその他の部分においていくらかの面外運動を生成することができる。支柱１５３によって提供される連結機構がモータ１３４の運動を吸収するため、このトラッキング動作中に舌状部１３３の残りの部分は屈曲部１１２の長軸に対してほぼ整合したままである。例えば、モータ１３４とヘッドスライダー１３２は回転するが、中心領域１５４（またはより広範には舌状部１３３）は全く回転しないか、微々たる量しか回転しない。

図１７は、本開示の他の実施形態に係るサスペンション２１０を示す図である。図示するように、サスペンション２１０は同一場所配置またはジンバルベースのＤＳＡ構造２１４とロードビームまたはベースプレート型ＤＳＡ構造２９０とを含む。このように、サスペンション２１０は三段作動サスペンションである。１実施形態によると、ＤＳＡ構造２１４は、その他に明記または図示されない限り上述のＤＳＡ構造１１４（例えば、図９〜１６Ｃ２に関連して説明または図示される態様により構成される）と略同一である。他の実施形態では、ＤＳＡ構造２１４は、その他に明記または図示されない限り（例えば図１〜８Ｃと関連して説明または図示される態様により構成される）上述のＤＳＡ構造１４と略同一である。サスペンション２１０の他の実施形態は、その他のジンバルベースのＤＳＡ構造を含む。ＤＳＡ構造２９０は既知のまたは背景技術のセクションで上述したような従来のＤＳＡ構造であってもよい。

ＤＳＡ構造をサスペンションのジンバルの一部として組み込むには、上述したように相互に相対移動するように構成される構成要素を組み込む必要があり、ＤＳＡ構造の構成要素が意図しない相対運動を一層引き起こしやすくなる場合がある。このような運動は、同一場所配置のＤＳＡの実施形態においては相互に固着されていないが、従来の非同一場所配置のＤＳＡの実施形態では相互に固着されている構成要素の面外運動となる可能性がある。こうした運動は構成要素の振動の場合もある。上述した物も含め、各種実施形態は、図１８Ａ〜２９を参照して本願でさらに説明するように、舌状部、モータ、および／またはその他のＤＳＡ構造の構成要素に沿って制動層を提供することから恩恵を得ることができる。

図１８Ａは、ＤＳＡ構造３１４を備えたジンバル３２４を有する屈曲部３１２のステンレス鋼側の等角図である。図１８Ｂは図１８Ａの屈曲部３１２の等角図であるが、さらに細部を示すためにモータ３３４を取り外している。図１８Ｃは図１８Ａ〜１８Ｂの屈曲部３１２の等角図であるが、さらに細部を示すために緩衝装置３２９、アイランド３２５、接着剤３３５、該構造を取り外している。図１９は、屈曲部３１２のトレース側の（すなわち、図１８Ａ〜１８Ｃに示す側と反対側）等角図を示す。図示するように、カバーレイ３４６は屈曲部３１２のトレース側全体に延在してトレースを絶縁する。屈曲部３１２、ＤＳＡ構造３１４、またはその他の構成要素は、特記される場合を除き上記あるいは本願の別の場所で言及される屈曲部１２、１１２、２１２、ＤＳＡ構造１４、１１４、２１４、またはその他の構成要素と類似させることができる。他の実施形態と同一または類似の特徴は類似の参照符号で示す。

図１８Ａは、屈曲部３１２に搭載されるモータ３３４を示す。モータ３３４の側端はバネアーム３５２の支持領域３５８に装着することができる。図１８Ｂに示すように、接着剤層３３５はバネアーム３５２の支持領域３５８に配置することができる。モータ３３４は舌状部３３３にわたって延在する。接着剤層３３５は例えば非導電性エポキシ樹脂とすることができる。モータ３３４は本願に記載するように、支柱３５６を屈曲させ、トラッキング軸を中心として舌状部３３３と舌状部に装着されるへッドスライダー（図示せず）とを移動させるように電気的に始動することができる。ヘッドスライダーは、他の実施形態と関連して本願で言及されるように搭載することができる。

図１８Ｂに示すように、ダンパー３２９は、モータ３３４（この図では取り外されている）の下方の舌状部３３３に搭載される。ダンパー３２９は、舌状部３３３の面上の、ステンレス鋼層３４０とモータ３３４のとの間の材料層である。例示の実施形態によると、ダンパー３２９はモータ３３４の直下の舌状部３３３に配置される。ダンパー３２９はモータ３３４の下側から延在しない（すなわち、ダンパー３２９は舌状部３３３とモータ３３４との間に直接完全に配置される）。しかしながら、いくつかの他の実施形態において、ダンパー３２９はモータ３３４の下側から延在して、モータ３３４の重複しない舌状部３３３の１以上の領域を被覆することができる。より詳細に後述するように、ダンパー３２９はＤＳＡ構造３１４の性能を向上させる。

ダンパー３２９は弾性物質または粘弾性物質から形成することができる。粘弾性材料は制動の利点を向上させることができる。適切な物質は例えば３Ｍ（商標）２４２やＪＤＣ ＭＰ６５材などである。これらの物質は通常、比較的低い弾性率とひいては低い剛性を有する。ダンパー３２９は、液体状物質をステンレス鋼層３４０または舌状部３３３のその他の面に噴射またはピン接触させる、あるいは予め形成した材料膜をステンレス鋼層３４０または舌状部３３３のその他の面に塗布するなどの様々な方法を用いて形成することができる。ダンパー３２９の材料は接着剤とし、それにより舌状部３３３（例えば、ステンレス鋼層３４０）および／またはモータ３３４（例えば、モータ３３４の下側）に接着することができる。いずれにせよ、ダンパー３２９の材料は、舌状部３３３（例えば、ステンレス鋼層３４０）とモータ３３４（例えば、モータ３３４の下側）の両方に接触することができる。

相対運動は、モータ３３４の作動中にモータ３３４と舌状部３３３との間で生じる。ダンパー３２９は、舌状部３３３とモータ３３４との間の運動の中心に配置することができる。例えば、いくつかの実施形態では、ダンパー３２９は舌状部３３３の回転運動の中心（例えば、トラッキング軸）を通って延在することができる。ダンパー３２９は舌状部３３３とモータ３３４との間の意図しない運動（例えば、回転以外の運動）を低減することができる。ダンパー３２９は、舌状部３３３とモータ３３４との間の相対運動によって剪断変形させられる。ダンパー３２９の材料は剪断運動を熱エネルギーに変換することによって、意図しない運動を低減および制動する。

ダンパー３２９は、ＤＳＡ構造３１４の動作中、モータ３３４と舌状部３３３との略平行な面状関係を維持するのを助けることができる。例えば、ダンパー３２９によるＤＳＡ構造３１４の動作中、モータ３３４の平坦配向と揃えられる第１の面は、舌状部３３３の平坦配向と揃えられる第２の面と平行または略平行に維持することができる。モータ３３４が始動され、ＤＳＡ構造３１４が連結される際、モータ３３４および／または屈曲部３１２は面外で平行関係を保ちつつ屈曲する傾向にある。ダンパー３２９はモータ３３４の作動中、モータ３３４を屈曲部３１２に固着せずに屈曲部３１２に対するモータ３３４の運動を安定化させることができるため、モータ３３４はＤＳＡ構造３１４の連結のために必要に応じて舌状部３３３に対していくらか移動することができるが、面外運動は低減もしくは排除される。屈曲部３１２に対してモータ３３４を安定化させることによって面外運動を低減することで、モータ３３４の線状ストロークが増大して、ＤＳＡ構造３１４のトラッキング効率が向上する。ダンパー３２９は高周波共振モード中の舌状部３３３の面外運動を低減または排除することによって、屈曲部３１２が組み込まれるディスクドライブに低ゲインおよび高サーボ帯域幅を提供することができる。屈曲モードの屈曲ゲインも向上させることができる。また、ＤＳＡ構造３１４によって提供されるサーボ帯域幅が高いほど、ディスク面（図示せず）のトラックは共により近接して配置し大容量ディスクドライブを提供することができる。概して、モータ３３４とダンパー３２９によって被覆されるステンレス鋼層３４０との直接的な間の面積が大きいほど、上述されるような恩恵と利点をより多く達成することができる。本願に記載されるようなダンパーは、図１〜１７のＤＳＡ構造または本願の他の場所で言及される構造における屈曲部とモータとの間など、類似の構成でその他のＤＳＡ構造に組み込むことができる。

図１８Ｂはアイランド３２５も示す。アイランド３２５は、例えば銅またはその他の金属や導電性接着剤などの導電物質から形成することができる。アイランド３２５は、屈曲部３１２のトレース接点（図示せず）とモータ３３４の下側（すなわち、屈曲部３１２に対面するモータ３３４の側）の端子との電気的接続を提供する。これらの端子は図１８Ｂには示さないが、本願でさらに説明する。アイランド３２５は、導電性エポキシ樹脂、半田、または本願で言及される、あるいは電気的接続を行う既知のその他の手段によってモータ３３４上の端子に接続することができる。アイランド３２５は、（例えば、舌状部３３３の上面と同一平面のＸ−Ｙ面において）空隙３２７に囲まれる。図１８Ｃに示すように、空隙３２７はステンレス鋼層３４０とダンパー３２９を通って延在する。空隙３２７がアイランド３２５の側面を完全に覆い、アイランド３２５をステンレス鋼層３４０および／またはダンパー３２９から絶縁するので、空隙３２７は堀とみなすことができる。空隙３２７はアイランド３２５をステンレス鋼層３４０またはその他の各種導電物質から電気的に絶縁することができる。本願でさらに説明するように、導電性接着剤、半田、またはその他の材料を使用して、アイランド３２５をモータ３３４の下側の端子に電気的に接続することができる。空隙３２７は、導電性接着剤またはその他の材料の不所望のウィッキングを停止または最小化することによって接続部のサイズを効率的に画定することができる。空隙３２７によって提供されるアイランド３２５の絶縁のおかげで、導電性接着剤、半田、またはその他の材料が塗布中にアイランド３２５とステンレス鋼層３４０との間の電気的短絡を意図せず引き起こすことを防止できる。空隙３２７はエッチングなどの既知の方法によって形成することができる。例えば、ステンレス鋼層３４０をエッチングして空隙３２７を画定することができる。

図１８Ｂ、１８Ｃ、１９に示す実施形態において、接合パッド３３１は支柱３５６間の領域（例えば、支柱３５６は接合パッド３３１のそれぞれ近位および遠位に位置する）および支持領域３５８の側方間の領域（例えば、支持領域３５８は接合パッド３３１のそれぞれ左右に位置する）においてモータ３３４の直下に位置する。屈曲部３１２のトレースは接合パッド３３１を終端とすることができる。もしくは、接合パッド３３１は任意の種類の端子とすることができる。導電性エポキシまたは半田（図示せず）を使用して、接合パッド３３１とモータ３３４の端子との間の電気的接続を行うことができる。例えば、半田ボールまたはスクリーン印刷半田は接合パッド３３１に置き、モータ３３４の端子上に流れさせることができる。屈曲部３１２の本実施形態と共に使用可能なモータ３３４の各種実施形態を以下より詳細に説明する。例えば、モータ３３４の下側の２つの電気接点との各電気的接続は接合パッド３３１とアイランド３２５を介して行うことができる（このようなモータ構造は本願でさらに説明する）。他の実施形態によると、接合パッド３３１とモータ３３４の端子との間の電気接触は他の構造およびアプローチを用いてなすことができる。例えば、モータ３３４上の端子（図示せず）との別の電気的接続は、上述したようなロードビームの窪みを介して行うことができる。もしくは、１つの接合パッド３３１を図１８Ａ〜１８Ｃの実施形態に示しているが、別の接合パッドを接合パッド３３１と同じ構造で屈曲部３１２の左側に屈曲部３１２に沿って設けてモータ３３４の第２の端子と電気的に接続することもできる。

図２０は、他の実施形態に係るＤＳＡ構造４１４を備えたジンバル４２４を有する屈曲部４１２のステンレス鋼側を示す図である。屈曲部４１２、ＤＳＡ構造４１４、および／またはその他の構成要素は、特記しないかぎり上述または本願の他の場所に記載される屈曲部１２、１１２、２１２、３１２、ＤＳＡ構造１４、１１４、２１４、３１４、またはその他の構成要素に類似させることができる。他の実施形態と同一または類似の特徴は類似の参照符号で示す。舌状部４３３はバネアーム４５２によって支持される。モータは、モータによって曖昧になる領域においてより多くの細部が見えるように図２０には示さない。しかしながら、モータは、例えば図１８Ａに示すように本願で言及される他の実施形態と同様に屈曲部４１２またはその他の構成要素に搭載することができる。例えば、モータの側端はバネアーム４５２の支持領域４５８に装着することができる。ダンパー４２９は、モータの直下領域において屈曲部４１２に配置される。ダンパー４２９は、モータが配置される場所の下方の舌状部４３３の略全領域（すなわち、舌状部４３３とモータの重複領域）を被覆する。図示するように、ダンパー４２９はステンレス鋼層４４０上の層である。ダンパー４２９は、例えば上述したダンパー３２９と類似または同一の材料から形成することができる。例示の実施形態によると、ＤＳＡ構造４１４は、屈曲部４１２に沿ったトレースと、モータの端子との電気的接触のための接合パッド４３１とを含む。接合パッド４３１は、例えば図１８Ｂ〜１８Ｃの接合パッド３３１に関して説明したように構成し、モータの端子に接続することができる。上述したようなその他の構造およびアプローチを使用して、モータとの追加のまたは他の電気的接触を行うこともできる。

図２１は、本開示のＤＳＡ構造と共に使用することのできるモータ５３４の１実施形態を示す図である。モータ５３４は、モータ５３４の第１の面（例えば、屈曲部に対面するモータの下面）に第１の電気接点５７０を、モータ５３４の第２の面（例えば、下面の反対側のモータ５３４の上面）に第２の電気接点５７３を有する。モータ５３４の圧電性物質５７１は第１の電気接点５７０と第２の電気接点５７３との間に位置する。モータ５３４は、例えば、モータ５３４との電気的接続がモータ５３４の対向側から行われる、例えば、接合パッド３３１、４３１またはアイランド３２５がモータ５３４の第１の面の第１の電気接点５７０に接続され、他の端子（例えば、接地接点であるロードビームの窪み）がモータ５３４の第２の面の第２の電気接点５７３に電気的に接続される実施形態において使用することができる。

図２２は、本開示のＤＳＡ構造と共に使用することのできるモータ６３４の他の実施形態を示す図である。図示するように、モータ６３４は第１の電気接点６７０と第２の電気接点６７２とを有する。第１の電気接点６７０と第２の電気接点６７２は両方ともモータ６３４の第１の側（例えば、下側）に沿って延在する。モータ６３４の第１の側の一端に配置される第２の電気接点６７２は、第１の側と反対のモータ６３４の第２の側（例えば、上側）から端側面を囲んでモータ６３４の第１の側までを覆う電気端子によって形成される。第２の電気接点６７２に対してモータ６３４の第１の側の他端に配置される第１の電気接点６７０は、モータ６３４の第１の側に限定することができる、あるいはモータ６３４の１以上のその他の側面まで延在することができる。第１の電気接点６７０と第２の電気接点６７２、または本願に言及するいずれの電気接点も、モータ６３４の圧電性物質を導電物質でめっきすることによって形成することができる。図示するように、第１の電気接点６７０と第２の電気接点６７２は、間隙６７４によってモータ６３４の第１の側で電気的に絶縁される。間隙６７４はモータ６３４の第１の側の非導電面とすることができる。図２２のモータ６３４は、モータ６３４（例えば、陽極と陰極）への電気的接続がモータ６３４の同じ側で行われるＤＳＡ構造において使用することができる。このような実施形態は、屈曲部の２つの異なる、電気的に絶縁されたトレースがモータ６３４の下側とそれぞれ接続する場合を含むことができる。例えば、アイランド３２５と接合パッド３３１は第１の電気接点６７０と第２の電気接点６７２にそれぞれ電気的に接続することができる。もしくは、２つの別個の接合パッドを設け、接合パッドは屈曲部の異なる、電気的に分離されたトレースにそれぞれ電気的に接続することができる。アイランド３２５と接合パッド３３１、または２つの接合パッドは、モータ６３４が屈曲部に搭載される際、第１の電気接点６７０と第２の電気接点６７２直下に配置することができる。例えば、第１の接合パッドは屈曲部の右側で接合パッド３３１、４３１のように配置し、第２の接合パッドが屈曲部の左側に第１の接合パッドに対してミラーリングしたように配置することができる。第１の接合パッドと第２の接合パッドは支持領域３５８、４５８と舌状部３３３、４３３の側方側（例えば、舌状部３３３、４３３の左縁と右縁）との間にそれぞれ配置することができる。２つの接合パッドと第１の電気接点６７０および第２の電気接点６７２との電気的接続はそれぞれ半田または導電性エポキシを用いて行うことができる。モータ６３４の下側に対して２つの別々の電気的接続を行うことによって、ロードビームの窪みはモータ６３４への電気的接続を提供する必要がない。

各種実施形態において、モータと係合するロードビームの窪みまたはモータに搭載される素子は、上述したような弾性物質または粘弾性物質を用いてモータの端子から電気的に絶縁させることができる。例えば、１つ以上の物質をモータに設けて、モータを電気的に絶縁し、機械的に保護することができる。このような態様を図２３を参照してさらに説明する。

図２３は、他の実施形態に係るＤＳＡ構造７１４を備えたジンバル７２４を有する屈曲部７１２のステンレス鋼側の等角図である。屈曲部７１２、ＤＳＡ構造７１４、および／またはその他の構成要素は、特記される場合を除き上記または本願で言及される屈曲部１２、１１２、２１２、３１２、４１４、ＤＳＡ構造１４、１１４、２１４、３１４、４１４、および／またはその他の構成要素と類似させることができる。他の実施形態と同一または類似の特徴は類似の参照符号で示す。図２３はモータ７３４を示す。モータ７３４の側端は、バネアーム７５２の支持領域７５８に装着することができる。図１８Ｂに示すように、接着剤層は、バネアーム７５２の支持領域７５８に配置することができる。モータ７３４は舌状部７３３にわたって延在する。モータ７３４は、本願で説明するように支柱７５６を屈曲させ、舌状部７３３と舌状部に装着されるへッドスライダー７３２とをトラッキング軸を中心に移動させるように電気的に始動させることができる。

図示するように、舌状部７３３に対面するモータ７３４の下側の反対側であるモータ７３４の上側は、当接素子７８８を含む。当接素子７８８は複数の層を備える。当接素子７８８の上層７３７は、比較的硬く、当接素子７８８の上層７３７と接触するロードビームの窪みと頑丈に係合することによって、モータ７３４を衝突する窪みによる摩耗から保護する、金属（例えば、ステンレス鋼）、プラスチック、またはその他の材料の層を備え得る。当接素子７８８は上層７３７の下方に第２の層７３９を含む。第２の層７３９は上層７３７とモータ７３４の上側に接着させることができる。第２の層７３９は弾性物質または粘弾性物質を備えることができる。弾性物質または粘弾性物質の特性と例を本願で説明する。第２の層７３９はモータ７３４の上側の端子を上層７３７から電気的に絶縁することができる。もしくは、当接素子７８８は、本願に記載の材料（例えば、金属、プラスチック、弾性材料、粘弾性材料）のうちの１つの単層とすることができる。なお、モータ７３４の上側は、モータ６３４の場合と同様に電気接点を備えることができる。当接素子７８８は電気接点上に配置することができる。次いで、当接素子７８８は電気接点上に配置される絶縁物質層（例えば、第２の層７３９）を設けて、電気接点を窪みと絶縁させることができる。モータ７３４の上側からモータの別の側（例えば、下側）まで延在する電気接点によってモータ７３４の上側の電気接点との電気的接続をなし、（例えば、本願に記載するように、モータ７３４の下側まで延在する電気接点に接続する接合パッドを介して）モータの別の側の電気接点との電気的接続をなすことができる。本実施形態または他の実施形態において、差動モータ駆動信号をモータ７３４に印加して（例えば、正電圧がモータの第１の端子に印加され、負電圧がモータ７３４の第２の端子に印加される）、（例えば、モータ７３４の圧電性物質間の大きな電圧差により）ストローク性能を向上させることができる。

図２４は、他の実施形態に係るＤＳＡ構造８１４を備えたジンバル８２４を有する屈曲部８１２のステンレス鋼側を示す図である。図２５は、図２４のジンバル８２４の側面図である。屈曲部８１２、ＤＳＡ構造８１４、またはその他の構成要素は、特記しないかぎり上述または本願の別の場所に言及される屈曲部１２、１１２、２１２、３１２、４１２、７１２、ＤＳＡ構造１４、１１４、２１４、３１４、４１４、７１４、またはその他の構成要素と類似させることができる。他の実施形態と同一または類似する特徴は類似の参照符号で示す。例えば、図２４〜２５には図示しないが、本願に記載のダンパーはＤＳＡ構造８１４の舌状部８３３とモータ８３４との間に設けることができる。

図２４〜２５に示すように、モータ８３４はヘッドスライダー８３２の反対側の屈曲部８１２上に搭載される。モータ８３４の側端は接着剤８３５を介してバネアーム８５２の支持領域８５８に装着することができる。モータ８３４は舌状部８３３にわたって延在する。モータ８３４は本願に記載するように、支柱８５６を屈曲させ、トラッキング軸を中心として舌状部８３３と舌状部に装着されるへッドスライダー（図示せず）とを移動させるように電気的に始動することができる。ロードポイント特徴８８０はモータ８３４の上側に配置される。ロードポイント特徴８８０は図２４〜２５に示す実施形態では略球状面を有する窪みとして示されているが、ロードポイント特徴８８０は他の形状をとることもできる。ロードポイント特徴８８０は例えば接着剤、エポキシ、またはポリマー材料から形成することができる。図６に示すようなロードビームの窪みはＤＳＡ構造のモータまたはその他の素子に当接してへッドスライダーをジンバルで支えることができる一方、図２４〜２５の実施形態はロードポイント特徴８８０をモータ８３４に配置して、ロードビームの面に当接してジンバリングを可能にする。したがって、ロードビームは突出するロードポイント特徴を必要とせず、ロードビームは屈曲部８１２と係合する窪みを有していなくてもよい。ロードポイント特徴８８０は、ロードビームをモータ８３４の上側（および上側のあらゆる電気接点）から電気的に絶縁するとともに、モータ８３４にかかる予荷重力の応力を分散させて低減することができる。ロードポイント特徴８８０の頂点がロードビームの平坦金属面に乗る（ロードビームが窪みを有していないと仮定する）ため、ロードポイント特徴８８０は、モータに当接するロードビームの金属窪みと比較して、ロードポイント特徴８８０とモータのインタフェースでの摩耗を低減することもできる。

図２６は、他の実施形態に係るＤＳＡ構造９１４を備えたジンバル９２４を有する屈曲部９１２のトレース側を示す等角図である。図２７は、図２６の屈曲部９１２のステンレス鋼側を示す等角図である。図２８は図２６のＤＳＡ構造９１４の側面図である。図２９は、ＤＳＡ構造６１４のヘッドスライダー６３２の等角図である。屈曲部９１２、ＤＳＡ構造９１４、またはその他の構成要素は、特記される場合を除き上述または本願の別の場所で言及される屈曲部１２、１１２、２１２、３１２、４１２、７１２、８１２、ＤＳＡ構造１４、１１４、２１４、３１４、４１４、７１４、８１４、またはその他の構成要素と類似させることができる。他の実施形態と同一または類似の特徴は類似の参照符号で示す。

モータ９３４は屈曲部９１２に搭載される。具体的には、モータ９３４の側端は、バネアーム９５２の支持領域９５８のカバーレイ９４６に装着される。図２６に示すように、カバーレイ９４６は支持部９６２にわたって延在する。接合パッド９３１はモータ９３４の直下で屈曲部９１２に配置される。図示しないが、弾性物質または粘弾性物質のダンパーは、本願に記載するような実施形態でモータ９３４と舌状部９３３との間に配置することができる。例えば、ダンパーはモータ９３４とカバーレイ９４６の一方または両方に装着することができる。ダンパーはモータ９３４の直下に配置することができる。図１〜１７を参照して説明したようなロードビームのロードポイント（例えば、窪み）は、モータ９３４の反対側の舌状部９３３と係合することができる。例えば、窪みはステンレス鋼層９４０と係合することができる。

ヘッドスライダー９３２はチャネル９９０を含む。チャネル９９０は、ヘッドスライダー９３２の第１の側から第１の側と反対のヘッドスライダー９３２の第２の側まで延在する、ヘッドスライダー９３２の下側または上側の溝とすることができる。図示するように、モータ９３４はヘッドスライダー９３２に連結されていないときはチャネル９９０内に延在する。モータ９３４の長はヘッドスライダー９３２の長よりも長いため、モータ９３４はヘッドスライダー９３２の両対向側端を超えて延在する。チャネル９９０はモータ９３４の幅よりも大きい幅を有し、モータ９３４用の間隙を提供する。具体的には、チャネル９９０は、ＤＳＡ構造６１４の作動中、ヘッドスライダー９３２がモータ９３４の運動に関係なく舌状部９３３と共に移動できるような間隙を提供する。このように、モータ９３４はチャネル９９０を通過して延在し、モータ９３４はヘッドスライダー９３２と固定的に接触しない。モータ９３４の作動およびＤＳＡ構造９１４のトラッキング中、間隙により、モータ９３４はチャネル９９０内を移動することができる。図２８の側面図に示すように、モータ９３４はチャネル９９０の長さに沿ってチャネル９９０内に完全に収容されるため、モータ９３４はチャネル９９０の上方（または下方）に突出せず、ヘッドスライダー９３２の側縁でチャネル９９０の側端から延在する。

ヘッドスライダー９３２は舌状部９３３に搭載される。具体的には、チャネル９９０の対向面で、ヘッドスライダー９３２の対向端９９２は接着剤によって舌状部９３３上のヘッドスライダー架台９４７に装着される。ヘッドスライダー架台９４７は、ヘッドスライダー９３２の対向端９９２を接着することのできるカバーレイ９４６の面などの舌状部９３３の面とすることができる。ＤＳＡ構造９１４の利点は、モータ９３４をヘッドスライダー９３２のチャネル９９０に組み込むことによって全高が低減されることである。モータ９３４は本願に記載するように、支柱９５６を屈曲させ、ヘッドスライダー９３２をトラッキング軸を中心にして移動させるように電気的に始動することができる。

図３０は、他の実施形態に係るＤＳＡ構造１０１４を備えたジンバル１０２４を有する屈曲部１０１２のステンレス鋼側を示す図である。屈曲部１０１２、ＤＳＡ構造１０１４、またはその他の構成要素は、特記される場合を除き上述または本願の別の場所で言及される屈曲部１２、１１２、２１２、３１２、４１２、７１２、９１２、ＤＳＡ構造１４、１１４、２１４、３１４、４１４、７１４、９１４、またはその他の構成要素と類似させることができる。他の実施形態と同一または類似の特徴は類似の参照符号で示す。モータ（図示せず）は屈曲部１０１２に搭載することができる。モータの側端は、本願に記載するように接着剤を介してバネアーム１０５２の支持領域１０５８に装着することができる。モータ１０３４は本願に記載するように、支柱１０５６を屈曲させ、舌状部１０３３および舌状部に装着されるへッドスライダー（図示せず）をトラッキング軸を中心として移動させるように電気的に始動することができる。モータは舌状部１０３３にわたって延在することができる。モータはダンパー１０２９上に直接延在することができる。例えば、ダンパー４２９は全体がモータの下に配置されるために、ダンパー４２９はモータを超えて遠位にも近位にも延在しない。ダンパー１０２９はステンレス鋼層１０４０上の層である。ダンパー１０２９は、本願に言及するように構成することができる。例えば、ダンパー１０２９は、ステンレス鋼層１０４０および／またはモータに接触し、さらには接着され得る弾性材料または粘弾性材料から形成することができる。ダンパー１０２９は円形外形を有する。具体的には、ダンパー１０２９は円形形状をとる。図示するように、ダンパー１０２９はダンパー１０２９を通過して延在する空隙または導体（例えば、アイランド）を含んでいないが、本願に記載されるような空隙および／または導体をダンパー１０２９内に設けることができる。

本開示の実施形態は重要な利点を提供することができる。例えば、サーボ帯域幅は大幅に増大させることができる（例えば、ベースプレートまたはロードビームに基づくＤＳＡ構造の場合は約３〜４ｋＨｚから、ジンバルベースのＤＳＡ構造の場合は８ｋＨｚ以上まで）。

本願に提示する実施形態はいずれも、２０１３年９月１３日に提出された共同所有米国特許出願第１４／０２６，４２７号の「同一場所配置のジンバルベースの二段作動ディスクドライブサスペンション」と２０１３年１０月２日に提出された米国特許出願第１４／０４４，２３８号の「モータ補強材を備えた、同一場所配置のジンバルベースの二段作動ディスクドライブサスペンション」とに提示される特徴に鑑み変更することができ、両出願はいずれも引用により全文を本願に組み込む。同様に、上記出願に提示される実施形態も、本開示の特徴を用いて変更することができる。

本願に図示する実施形態は概して１つの圧電モータを有するが、サスペンションは２つ以上のモータを有することができる。このようなモータは制動させることができる、および／または本願に記載のいずれの特徴も含むことができる。例えば、ＤＳＡ構造はジンバル式屈曲部に搭載される２つのモータを有することができ、各モータは制動される、および／または、本願に記載の任意のその他の特徴を含む。２つのモータを有するサスペンションの各種実施形態は、２０１３年８月２１日に提出された共同所有米国特許出願第１３／９７２，１３７号の「オフセットモータを備える、同一場所配置のジンバルベースの二段作動ディスクドライブサスペンション」に開示されており、同出願は引用により全文を本願に組み込む。

本発明は好適な実施形態を参照して説明したが、当業者であれば、本発明の精神と範囲を逸脱せずに形状や細部に変更を加えることができることを認識するであろう。例えば、同一場所配置のＤＳＡ構造に関連して具体的に説明したが、本願に記載される緩衝装置やそれに関連する特徴は、その他の同一場所配置のＤＳＡ構造を含む他のＤＳＡ構造上のモータに関連して利用することができる。

Claims (25)

1. 二段作動構造を有するサスペンションであって、
   少なくとも１つのトレースとジンバルとを備える屈曲部であって、前記ジンバルが少なくとも１つのパッドと、少なくとも１つのバネアームと、前記少なくとも１つのバネアームに接続される舌状部とを備えており、前記舌状部がそこに装着されるヘッドスライダーを有するように構成されており、前記少なくとも１つのパッドが、前記少なくとも１つのトレースに対して電気的に接続されている、屈曲部と、
   前記ジンバルに搭載されるモータであって、少なくとも１つの端子と、上側と、前記上側の反対の下側とを備え、前記下側が前記屈曲部に対面しており、前記少なくとも１つの端子が、第１の種類の材料によって、前記少なくとも１つのパッドに対して電気的に接続されており、前記第１の種類の材料が導電性であり、かつ、前記少なくとも１つのパッドおよび前記少なくとも１つの端子に接着されている、モータと、
   前記モータと前記屈曲部との間に位置するダンパーであって、前記舌状部と前記モータの下側に接触し、前記第１の種類の材料とは異なる第２の種類の材料を含み、前記第２の種類の材料が、弾性または粘弾性、あるいはその両方を有する、ダンパーと、
   を備えるサスペンション。
2. 高周波共振モード中、前記ダンパーが前記舌状部の面外運動を低減する、請求項１に記載のサスペンション。
3. 前記舌状部と前記モータとの略平行な面状関係が、前記モータの作動中、前記ダンパーと前記舌状部および前記モータの下側のそれぞれとの接触によって維持される、請求項１または２に記載のサスペンション。
4. 前記ダンパーが、前記第２の種類の材料からなる層を備え、前記第２の種類の材料が弾性を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のサスペンション。
5. 前記ダンパーが、前記第２の種類の材料からなる層を備え、前記第２の種類の材料が粘弾性を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のサスペンション。
6. 前記ダンパーが前記モータと前記舌状部との間の重複部分間のみに直接配置される、請求項１〜５のいずれか一項に記載のサスペンション。
7. 前記ダンパーが前記屈曲部と前記モータの下側の両方に接着される、請求項１〜６のいずれか一項に記載のサスペンション。
8. 前記ダンパーが前記屈曲部のステンレス鋼層に配置される、請求項１〜７のいずれか一項に記載のサスペンション。
9. 前記ダンパーが前記モータと前記舌状部との間の重複領域の大半または全部にわたって延在する、請求項１〜８のいずれか一項に記載のサスペンション。
10. 前記ダンパーが、液体状の材料を前記舌状部に塗布することによって形成されている、請求項１〜９のいずれか一項に記載のサスペンション。
11. 前記ダンパーが膜として適用される、請求項１〜９のいずれか一項に記載のサスペンション。
12. 前記ダンパーが空隙を備える、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のサスペンション。
13. 前記ダンパーの前記空隙を通って延在する電気導体をさらに備える、請求項１２に記載のサスペンション。
14. 前記舌状部上の導電アイランドをさらに備え、前記空隙が前記導電アイランドを囲む堀である、請求項１２に記載のサスペンション。
15. 前記堀が接着剤と半田の一方または両方の前記導電アイランドからのウィッキングを最小限にする、請求項１４に記載のサスペンション。
16. 前記少なくとも１つの端子が２つの端子を含み、前記２つの端子がそれぞれ前記モータの対向側面および対向端の一方または両方に位置しており、前記少なくとも１つのパッドが２つのパッドを含み、前記２つの端子が、２つの導電性構造によって、前記２つのパッドに対してそれぞれ電気的に接続されており、前記２つの導電性構造が前記第１の種類の材料から形成されている、請求項１〜１５のいずれか一項に記載のサスペンション。
17. 前記モータの上側に搭載され、ロードビーム窪みと係合するように配置および構成される当接素子をさらに備える、請求項１〜１６のいずれか一項に記載のサスペンション。
18. 前記当接素子が金属層と絶縁層とを備える、請求項１７に記載のサスペンション。
19. 前記モータの上側に装着され、ロードビームと係合するように配置および構成される窪みをさらに備える、請求項１〜１８のいずれか一項に記載のサスペンション。
20. 前記モータの電気的始動により前記ヘッドスライダーがトラッキング軸を中心に移動する、請求項１〜１９のいずれか一項に記載のサスペンション。
21. 前記ヘッドスライダーが前記モータと前記屈曲部の同じ側に配置される、請求項２０に記載のサスペンション。
22. 前記ヘッドスライダーがチャネルを備える、請求項２１に記載のサスペンション。
23. 前記モータが前記チャネルを通って延在し、前記モータが前記ヘッドスライダーと固定的に接触しない、請求項２２に記載のサスペンション。
24. 前記ジンバルが一対の支柱をさらに備え、
    前記少なくとも１つのバネアームが一対のバネアームを備え、
    前記舌状部が前記一対のバネアーム間に配置され、前記一対の支柱によって前記一対のバネアームに接続され、
    前記モータが前記一対のバネアームに搭載され、
    前記舌状部がヘッドスライダー架台を備え、
    前記モータの電気的始動により、前記一対の支柱が屈曲して前記ヘッドスライダー架台をトラッキング軸を中心に移動させる、請求項１〜２３のいずれか一項に記載のサスペンション。
25. 前記少なくとも１つのバネアームが一対のバネアームを備え、
    前記舌状部が前記一対のバネアーム間に配置され、前記一対のバネアームに接続され、
    前記ジンバルが前記舌状部にそれぞれ接続される一対の支柱をさらに備え、
    前記ジンバルが前記一対の支柱にそれぞれ接続される一対のモータ搭載パッドをさらに備え、前記一対のモータ搭載パッドが前記一対のバネアームから離れており、
    前記モータが前記一対のモータ搭載パッドに搭載され、
    前記モータと前記舌状部のいずれかがヘッドスライダー架台を備え、
    前記モータの電気的始動により前記一対の支柱が屈曲して前記ヘッドスライダー架台をトラッキング軸を中心に移動させる、請求項１〜２３のいずれか一項に記載のサスペンション。

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