JP5291535B2 - ヘッドサスペンション - Google Patents

ヘッドサスペンション Download PDF

Info

Publication number
JP5291535B2
JP5291535B2 JP2009124887A JP2009124887A JP5291535B2 JP 5291535 B2 JP5291535 B2 JP 5291535B2 JP 2009124887 A JP2009124887 A JP 2009124887A JP 2009124887 A JP2009124887 A JP 2009124887A JP 5291535 B2 JP5291535 B2 JP 5291535B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
opening
head suspension
actuator
peripheral
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009124887A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010272185A (ja
Inventor
修 入内嶌
英己 淵野
Original Assignee
日本発條株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本発條株式会社 filed Critical 日本発條株式会社
Priority to JP2009124887A priority Critical patent/JP5291535B2/ja
Publication of JP2010272185A publication Critical patent/JP2010272185A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5291535B2 publication Critical patent/JP5291535B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4833Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4873Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives the arm comprising piezoelectric or other actuators for adjustment of the arm

Description

本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が、非導電性接着剤を媒介して実装されたヘッドサスペンションに関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。かかる情勢から、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の技術分野では、そうしたマイクロアクチュエータの要請が高い。

一方、磁気ディスク装置では、記憶容量を大きくすることが喫緊の課題である。一般に磁気ディスク装置の大容量化は、ディスク1枚あたりの記憶容量を大きくすることで実現される。ディスクの直径を変えずに高記録密度化を実現するには、単位長さあたりのトラック数 (TPI : Track Per inch) を大きくすること、つまり、トラックの幅を狭くすることが必要である。そのため、トラックにおける幅方向の磁気ヘッドの位置決め精度を向上することが必要となる。かかる観点からも、微細領域で高精度の位置決めを実現可能なアクチュエータが望まれる。

こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレートと、ベースプレートよりも薄いヒンジ部を備えた連結プレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、一対の圧電素子と、などを備えたディスク装置用サスペンション(例えば、特許文献1参照)を提案している。

上述の特許文献1に係る技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれる。この方式では、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加えて、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)よりなる圧電素子を採用している。

この圧電素子は、ロードビームの先端側を、サスペンションにおける幅方向(いわゆるスウェイ方向)に微少駆動する。同方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションでは、サスペンション本体に圧電素子を実装するにあたり、脆く壊れやすい圧電素子を破損から保護するとともに、圧電素子の表面からのパーティクルの脱落を未然に防止しつつ、サスペンション本体と圧電素子との間の電気絶縁性をいかにして確保するか、が問題となる。

こうした問題を解決するためのアプローチにひとつとして、本願出願人は、ロードビームと、アクチュエータベースと、圧電素子と、を備え、圧電素子は、アクチュエータベースに形成された開口部に、非導電性接着剤を介して実装され、この接着剤によって、圧電素子の周端面を被覆するように構成したディスク装置用サスペンションを提案している(例えば特許文献2参照)。

特許文献2記載のヘッドサスペンションによれば、圧電素子を破損させることなく、かつ、圧電素子の表面からのパーティクルの脱落を防止しながら、圧電素子とアクチュエータベースとの間を確実に絶縁することができる。

しかしながら、特許文献2記載の、非導電性接着剤を介して圧電素子を実装する技術では、開口部への圧電素子の実装工程において、開口部の外周部分にまであふれ出た非導電性接着剤が拡散してしまい、同外周部分を汚染するおそれがあった。

特開2002−184140号公報 特開2002−184139号公報

解決しようとする課題は、開口部への圧電素子の実装工程において、開口部の外周部分にまであふれ出た非導電性接着剤が拡散してしまい、同外周部分を汚染するおそれがあった点である。

本発明は、開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得ることを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るヘッドサスペンションは、ロードビームと、前記ロードビームの基部に固設したアクチュエータベースの開口部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を実装してなる圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、前記圧電素子は、前記開口部との間に生じた周回溝に非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に埋め込み式に実装され、前記開口部の外周部分には、前記周回溝からあふれ出た前記非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝が設けられ前記拡散防止溝の深さは、前記圧電素子の厚み及び開口部の深さよりも浅く、前記開口部の圧電素子の周側面が前記開口部の周縁部に対し前記拡散防止溝よりも深い位置に渡って対向している、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションによれば、アクチュエータベースに設けた開口部の外周部分に、周回溝からあふれ出た非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝が設けられ前記拡散防止溝の深さは、前記圧電素子の厚み及び開口部の深さよりも浅く、前記開口部の圧電素子の周側面が前記開口部の周縁部に対し前記拡散防止溝よりも深い位置に渡って対向する構成を採用したので、従って、開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得ることができる。

実施例1に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。 実施例1に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 図3は、図2に示す実施例1に係る圧電アクチュエータのA−A線に沿う矢視断面図によって、実施例1の接着剤拡散防止作用を、比較例と対比して示す説明図であり、図3(A)は、比較例に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散状況を示す説明図、図3(B),(C)は、実施例1に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散防止作用を示す説明図である。 実施例1の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例1に係るヘッドサスペンション11において、開口部への圧電素子の実装手順を表す工程図である。 実施例2に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例2の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例3に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例3の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例4に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。 実施例5に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得るといった目的を、圧電素子は、アクチュエータベースの開口部との間に生じた周回溝に非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に埋め込み式に実装され、前記開口部の外周部分に、前記周回溝からあふれ出た前記非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝を刻設する構成を採用することで実現した。

本発明の実施例1に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して詳細に説明する。

初めに、実施例1に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。

[ヘッドサスペンションの概略構成]
図1は、実施例1に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例1に係るヘッドサスペンション11は、図1に示すように、ベースプレート13と、ロードビーム15と、ロードビーム15の先端側をスウェイ方向に変位させる圧電アクチュエータ17の構成要素であるアクチュエータベース18と、を備える。

ベースプレート13は、例えば、板厚が150〜200μm程度の、ステンレス鋼などの金属薄板からなる。その素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。かかる軽量素材を採用すれば、ベースプレート13の慣性質量(イナーシャ)を軽減することを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション11のトレース能力向上に寄与することができる。

ベースプレート13における基部側には、略円形のボス孔19が開設されている。このボス孔19を介して、ベースプレート13は、ボイスコイルモータ(不図示)によって駆動されるアクチュエータアームの先端部分に固着され、ボイスコイルモータによって旋回駆動されるように構成されている。

ベースプレート13の前端側には、図1に示すように、アクチュエータベース18が、ベースプレート13とは別体に設けられている。

ロードビーム15は、不図示のスライダに負荷荷重を与えるもので、例えば、板厚が30〜150μm程度の、ステンレス鋼などのばね性を有する金属製薄板からなる。その素材としては、ベースプレート13と同様に、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼からなるクラッド材等を用いることもできる。

ロードビーム15には、フレキシャ25が設けられている。フレキシャ25における先端側には、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられる。

ロードビーム15には、その両側部に一対の曲げ縁27a,27bが形成されている。これら一対の曲げ縁27a,27bは、ロードビーム15の剛性を高める役割を果たす。

ロードビーム15における後端側には、連結プレート29が一体に設けられている。

連結プレート29は、例えば、板厚が30μm程度の、ステンレス鋼などのばね性を有する金属薄板からなる。連結プレート29の一部には、厚み方向の曲げ剛性を下げ、軽量化を図る等の目的で、孔31が開設されている。この孔31の両側部に、厚み方向に撓むことのできる一対のヒンジ部33a,33bが、それぞれ形成されている。

連結プレート29における後端側、つまり、ロードビーム15の基部は、次述するアクチュエータベース18の前端側に、その裏面側から重ね合わされて、レーザ溶接等の適宜の固着手段によって相互に固着されている。

次に、実施例1に係るヘッドサスペンション11において主要部を構成する圧電アクチュエータの概略構成について説明する。

[圧電アクチュエータの概略構成]
図2は、実施例1に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図3は、図2に示す実施例1に係る圧電アクチュエータのA−A線に沿う矢視断面図によって、実施例1の接着剤拡散防止作用を、比較例と対比して示す説明図であり、図3(A)は、比較例に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散状況を示す説明図、図3(B),(C)は、実施例1に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散防止作用を示す説明図、図4は、実施例1の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。

圧電アクチュエータ17を設計するにあたっては、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子23の歪み(変位)を効果的にロードビーム15に伝達すること、圧電素子23の電極とアクチュエータベース18間における電気的な絶縁性を担保すること、圧電素子23の周側面から塵埃が脱落するのを未然に防止すること、脆く壊れやすい圧電素子23をその損傷から保護すること、並びに、開口部21への圧電素子23の実装を見映え良く行うこと、などの諸要素を考慮することが求められる。

かかる諸要素を考慮して、本発明の実施例1に係る圧電アクチュエータ17は、図1及び図2に示すように、アクチュエータベース18に設けた開口部21に、圧電素子23を実装してなる。

実施例1に係るアクチュエータベース18は、先に述べた通り、ベースプレート13とロードビーム15との間に介在させて、ベースプレート13とは別体に設けられている。ただし、アクチュエータベース18を、ベースプレート13と一体に形成する構成を採用してもよい。

上記別体の構成を採用した実施例1では、ベースプレート13とアクチュエータベース18とを接合するにあたっては、アクチュエータベース18の後端側とベースプレート13の前端側とを重ね合わせた部分に対し、レーザ溶接等の適宜の固着手段を適用することによって接合すればよい。

一方、上記一体の構成を採用した実施例1の変形例では、ステンレス鋼などの金属製薄板から、ベースプレート13とアクチュエータベース18とを含む所定の外形形状を、例えばプレス加工処理によって打ち抜いた後、次述する開口部21の周縁部分等に適宜のエッチング処理を適用することによって、ベースプレート13とアクチュエータベース18とが一体となる構成部材を製造すればよい。

上記の、ベースプレート13とアクチュエータベース18が一体となる構成部材を備えた実施例1の変形例では、上記一体の構成部材を、「アクチュエータベース」と総称することとする。この場合において、本発明で「アクチュエータベース」と言うときは、ベースプレート13とアクチュエータベース18の両者の概念を含むことになる。

アクチュエータベース18は、図1及び図2に示すように、圧電素子23を収容するための開口部21を有する。具体的には、アクチュエータベース18には、略矩形形状の開口部21が開設されている。この開口部21に、圧電素子23が埋め込み式に実装される。これによって、圧電アクチュエータ17は、圧電素子23の変形に従ってロードビーム15の先端側をスウェイ方向に変位させる機能を獲得するように構成されている。なお、図2等に示すアクチュエータベース18において、紙面上方の部分が前端側に相当し、この前端側部分がロードビーム15の基部に固着される。

図3に示すように、アクチュエータベース18に設けた開口部21は、圧電素子23の周側面23cに対向する周縁部41と、開口部21から内方側にせり出して圧電素子23の底面23bに対向する底面受け部43と、を有する。この底面受け部43は、圧電素子23の底面23bがアクチュエータベース18の下方側から臨めるように、圧電素子23の下方側に該当する部分が切り欠かれている。こうして構成された底面受け部43は、圧電素子23の底面23b側との間に形成される間隙に、非導電性接着剤47を充填するにあたり、この接着剤47を底面23b側からもれなく受け止める役割を果たす。

底面受け部43を開口部21と一体に形成するにあたっては、共通の金属製薄板から所定の形状に切り出したアクチュエータベース18のうち、底面受け部43に該当する部位に化学的な腐食処理を施すことによって、その周囲の部分に比べて板厚を薄くする、部分的なハーフエッチング処理を適用すればよい。

開口部21に装着される圧電素子23の外寸は、開口部21の内寸よりも僅かに小さい、略矩形形状に形成されている。

図3に示すように、圧電素子23は、例えば、70〜200μm程度の厚みを有した、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等の圧電セラミックスを素材としてなる。

圧電素子23の上面23a及び底面23bには、蒸着、スパッタリング、又はメッキ等の適宜の手段によって、例えば、金(Au)等の接触抵抗が低い良導電性の材料からなる電極24が形成されている。

上面23a側の電極24aは、図2に示すように、銀ペースト等の導電性樹脂45を介して、アクチュエータベース18に設けられた導通部46に接地されている。導通部46は、導電性向上を狙って、例えばアクチュエータベース18の表面の不動態皮膜を除去した端子部分であって、圧電素子23の電極24との間で電気的な導通を確保する役割を果たす。

一方、底面23b側の電極24bは、例えばボンディングワイヤ等の適宜の導通材料を介して、フレキシャ25に配設された銅製の配線部(不図示)に接続されている。なお、図2の符合24cは、電極24間に形成された非電極領域を示す。

圧電素子23を、開口部21における所定の取付位置に置いた状態で、圧電素子23の周側面23cと、開口部21の周縁部41との間に、所定の間隙を生じる。この間隙を、以下において周回溝42と呼ぶ。

この間隙(周回溝42)を埋めて、圧電素子23の歪み(変位)を効果的にロードビーム15に伝達する等の効果を狙って、圧電素子23は、図2及び図3に示すように、圧電素子23と周縁部41との間に生じた周回溝42、並びに、圧電素子23と底面受け部43との間に生じた間隙44に、非導電性接着剤47を隈無く充填することによって、開口部21に実装されている。非導電性接着剤47としては、公知の非導電性接着剤(導電性接着剤に絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有させたものを含む。)を適宜採用することができる。

圧電素子23を開口部21に実装するにあたっては、アクチュエータベース18の厚み方向における中心と、圧電素子23の厚み方向における中心と、が整合する厚み方向の位置に実装することが好ましい。このように構成すれば、圧電アクチュエータ17のスウェイ動作時におけるよじれ動作の発生を未然に抑制することができる。

開口部21の周縁に沿う外周部分には、図2に示すように、周回溝42からあふれ出た非導電性接着剤47の拡散を防止するための拡散防止溝48が刻設されている。拡散防止溝48の深さは、アクチュエータベース18の厚みの三分の一程度を目安として、例えば30〜70μm程度に設定される。拡散防止溝48の幅は、周回溝42の幅の三分の一程度を目安として、例えば30〜70μm程度に設定される。図2の例では、拡散防止溝48は、開口部21の周縁に沿う外周部分のうち、ロードビーム15側に属する領域の略全周にわたり刻設されている。ただし、例えば図4に示すように、開口部21の周縁に沿う外周部分のうち、ベースプレート13側に属する領域にも、拡散防止溝48を刻設する構成を採用しても良い。

アクチュエータベース18に設けた開口部21の外方側には、U字形状に突出した一対の可撓連結部50が形成されている。これら一対の可撓連結部50の存在が、圧電アクチュエータ17の剛性向上に寄与するとともに、圧電アクチュエータ17のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

次に、アクチュエータベース18に設けた開口部21への圧電素子23の実装手順について説明する。

図5は、実施例1に係るヘッドサスペンション11において、開口部への圧電素子の実装手順を表す工程図である。

図5に示すように、ステップS1において、非導電性接着剤47を、周回溝42、並びに、間隙44にそれぞれ塗布する。

ステップS2において、開口部21における所定の取付位置に、圧電素子(PZT)23を載置するように組み付ける。

ステップS3において、周回溝42からあふれ出た硬化前の接着剤47が、拡散防止溝48の直前で止まるか(図3(B)参照)、又は、拡散防止溝48の内部に収容される(図3(C)参照)。

ステップS4において、アクチュエータベース18に設けた開口部21への圧電素子23の実装が済んだヘッドサスペンション11を、電気炉等を用いて所定時間・所定の温度下で加熱処理を施すことによって、非導電性接着剤47を硬化させる。

次に、上述の実装手順を経て製造されたヘッドサスペンション11の作用について説明する。

アクチュエータベース18の開口部21に実装された圧電素子23は、所定の電圧が印加されると、圧電素子23の長手方向に沿う非電極領域24cを境界として、一側が長手方向に伸びるとともに、他側が長手方向に縮む。つまり、圧電素子23は、全体として略台形形状に歪む。その結果、圧電アクチュエータ17は、圧電素子23によってもたらされる歪み方向及び変位ストローク量に応じて、ロードビーム15の先端側を幅方向(スウェイ方向)に微少距離だけ変位させるように動作する。

上述したスウェイ方向への変位を円滑かつ的確に行わせるために、実施例1に係る圧電アクチュエータ17では、アクチュエータベース18の開口部21に設けた周縁部41によって、圧電素子23の周側面23cをほぼ全面にわたって包囲し、圧電素子23の周側面23cと周縁部41との間に生じた周回溝42に、非導電性接着剤47を充填する構成を採用している。

また、実施例1に係る圧電アクチュエータ17では、アクチュエータベース18に設けた開口部21から内方側にせり出して圧電素子23の底面23bに対向する底面受け部43によって、圧電素子23の底面23bのうち外周縁部分を下方から支持し、圧電素子23の底面23bと底面受け部43間に生じた間隙44に、非導電性接着剤47を充填する構成を採用している。

そして、実施例1に係る圧電アクチュエータ17では、アクチュエータベース18に設けた開口部21の周縁に沿う外周部分に、周回溝42からあふれ出た非導電性接着剤47の拡散を防止するための拡散防止溝48を刻設する構成を採用している。

[実施例1の効果]
実施例1に係るヘッドサスペンション11では、アクチュエータベース18に設けた開口部21の周縁に沿う外周部分に、周回溝42からあふれ出た非導電性接着剤47の拡散を防止するための拡散防止溝48を刻設する構成を採用したので、従って、開口部21への圧電素子23の実装を見映え良く行うことができ、開口部21の外周部分を非導電性接着剤47で汚染することのないヘッドサスペンションを得ることができる。

特に、非導電性接着剤47の拡散による汚染からアクチュエータ部18を効果的に防護することが可能となる結果として、アクチュエータ部18と連結プレート29間のレーザ接合に支障をきたす懸念を一掃することができる。

また、実施例1に係るヘッドサスペンション11では、アクチュエータベース18の開口部21に設けた周縁部41によって、圧電素子23の周側面23cをほぼ全面にわたって包囲し、圧電素子23の周側面23cと周縁部41との間に生じた周回溝42に、非導電性接着剤47を充填することによって、圧電素子23を開口部21に実装したので、開口部21の周縁部41と、圧電素子23の周側面23cと、の広い隙間を適切に埋めて、圧電素子23の電極とアクチュエータベース18間における電気的な絶縁性を担保することができる。

さらに、開口部21、非導電性接着剤47、並びに圧電素子23が、相互に密着することであたかも三位一体の支持梁のように機能するので、サスペンション11本体の剛性を高水準に維持することができる。

しかも、アクチュエータベース18に設けた開口部21の外方側に、U字形状に突出した一対の可撓連結部50を形成したので、これら一対の可撓連結部50の存在が、圧電アクチュエータ17の剛性向上に寄与するとともに、圧電アクチュエータ17のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

従って、実施例1に係るヘッドサスペンション11によれば、アクチュエータとしての変位ストロークの減少を招くことなしに、振動特性や衝撃特性といった基本的な特性を良好に維持することができる。

そして、実施例1に係るヘッドサスペンション11では、アクチュエータベース18の開口部21に設けた周縁部41によって、圧電素子23の周側面23cをほぼ全面にわたって包囲し、圧電素子23の周側面23cと周縁部41との間に生じた周回溝42に、非導電性接着剤47を充填することによって、圧電素子23を開口部21に実装する構成を採用したので、従って、圧電素子23の歪み(変位)を効果的にロードビーム15に伝達すること、圧電素子23の周側面から塵埃が離脱するのを未然に防止すること、並びに、脆く壊れやすい圧電素子23をその損傷から保護すること、の全てを、高い水準で実現することができる。

本発明の実施例2に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図6は、実施例2に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図7は、実施例2の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。

実施例1に係るヘッドサスペンション11と、実施例2に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例1と実施例2との相違点は次の通りである。すなわち、実施例1に係る圧電アクチュエータ17では、図2に示すように、開口部21の周縁に沿う外周部分のうち、ロードビーム15側に属する領域の略全周にわたり、拡散防止溝48を刻設する構成を採用している。

これに対し、実施例2に係る圧電アクチュエータ61では、図6に示すように、開口部21の周縁に沿う外周部分のうちロードビーム15側の部分に限定して、直線形状の拡散防止溝63を刻設し、開口部21における外方側の、圧電素子23から導通部46に至る経路には、拡散防止溝63を設けない構成を採用した点が、実施例1とは大きく相違している。

本発明者らの研究によれば、実施例1に係る圧電アクチュエータ17のように、圧電素子23と導通部46との間に拡散防止溝63が横切るように存在すると(図2参照)、圧電素子23から導通部46に至る経路に導電性ペースト45を塗布した場合、導電性ペースト45が拡散防止溝63に沿って流れていってしまい、圧電素子23と導通部46との間の導通の確保に支障を来すおそれがあることがわかった。

そうした観点から、実施例2に係る圧電アクチュエータ61では、開口部21における外方側の、圧電素子23から導通部46に至る経路には、拡散防止溝63を設けない構成を採用することとした。

実施例2に係る圧電アクチュエータ61を備えたヘッドサスペンションによれば、実施例1に係る圧電アクチュエータ17を備えたヘッドサスペンション11が奏する作用効果に加えて、圧電素子23と導通部46との間の導通の確保を、拡散防止溝63に妨げられることなく円滑に行うことができる。

ただし、例えば図7に示すように、開口部21の周縁に沿う外周部分のうち、ベースプレート13側に属する領域にも、拡散防止溝63を刻設する構成を採用しても良い。

本発明の実施例3に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図8は、実施例3に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図9は、実施例3の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。

実施例2に係るヘッドサスペンションと、実施例3に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例2と実施例3との相違点は次の通りである。すなわち、実施例2に係る圧電アクチュエータ61では、図6に示すように、開口部21の周縁に沿う外周部分のうちロードビーム15側の部分に限定して、直線形状の拡散防止溝63を刻設し、開口部21における外方側の、圧電素子23から導通部46に至る経路には、拡散防止溝63を設けない構成を採用している。

これに対し、実施例3に係る圧電アクチュエータ71では、図8に示すように、開口部21における外方側の、圧電素子23から導通部46に至る経路に、同経路を横断するように直線的に延びる、導通部46の全長よりも長く、かつ、実施例2に係る拡散防止溝63と比べて短い拡散防止溝73を、導通部46と並行に設け、実施例2に係る拡散防止溝63と、実施例3に係る拡散防止溝73と、の間に、両溝63,73間を物理的に隔てる非連続部75を介在させる構成を採用した点が、実施例2とは大きく相違している。

本発明者らの研究によれば、実施例2に係る圧電アクチュエータ61のように、開口部21における外方側の、圧電素子23から導通部46に至る経路に、拡散防止溝63を設けない構成を採用すると(図6参照)、圧電素子23から導通部46に至る経路に導電性ペースト45を塗布した場合、導電性ペースト45が拡散防止溝63に沿って流れていってしまう事態は回避出来る反面、導電性接着剤47の拡散抑止効果が損なわるおそれのあることがわかった。

そうした観点から、実施例3に係る圧電アクチュエータ71では、開口部21における外方側の、圧電素子23から導通部46に至る経路に、孤立した拡散防止溝73を、導通部46と並行に設け、実施例2に係る拡散防止溝63と実施例3に係る拡散防止溝73との間に、非連続部75を介在させる構成を採用することとした。

実施例3に係る圧電アクチュエータ71を備えたヘッドサスペンションによれば、実施例2と比べて、導電性接着剤47の拡散抑止効果を高めることができる。

ただし、例えば図9に示すように、開口部21の周縁に沿う外周部分のうち、ベースプレート13側に属する領域にも、拡散防止溝63を刻設する構成を採用しても良い。

本発明の実施例4に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図10は、実施例4に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例1〜3に係るヘッドサスペンションと、実施例4に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例1〜3と実施例4との相違点は次の通りである。すなわち、実施例1〜3に係るヘッドサスペンションでは、例えば図1に示すように、アクチュエータベース18の開口部21の外方側に、U字形状に突出した一対の可撓連結部50を形成する構成を採用している。

これに対し、実施例4に係るヘッドサスペンション81の主要部である圧電アクチュエータ83では、図10に示すように、アクチュエータベース18の開口部21の外方側に、実施例1〜3の可撓連結部50に代えて、離間部52を形成する構成を採用した点が、実施例1〜3とは大きく相違している。なお、この離間部52は、開口部21の外方側における略中央部分を、微少距離隔てて離間させることによって形成すればよい。

なお、実施例4に係るヘッドサスペンション81を構成するに際しては、実施例1〜3に係る拡散防止溝の構成のうちいずれかを組み合わせ適用すればよい。

上述のように構成された実施例4に係るヘッドサスペンション81によれば、開口部21、非導電性接着剤47、並びに圧電素子23が、相互に密着することであたかも三位一体の支持梁のように機能するので、実施例1〜3の可撓連結部50を設けることなしに、サスペンション81本体の剛性を高水準に維持することができる。

また、アクチュエータベース18に設けた開口部21の外方側における略中央部分に離間部52を形成したので、この離間部52の存在が、圧電アクチュエータ83のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

従って、実施例4に係るヘッドサスペンション81によれば、アクチュエータとしての変位ストロークの減少を招くことなしに、振動特性や衝撃特性といった基本的な特性を良好に維持することができる。

しかも、サスペンション81の幅方向の寸法を抑制することができるので、製造工程での面付け数を増大させて、材料歩留まりの向上に寄与することができる。

さらに、既存の一般的なサスペンションと比べて、幅方向の寸法を同等程度に抑制することができるので、既存のサスペンション用生産ラインをそのまま流用して生産を行うことができる。従って、設備投資の側面からの負担を軽減することができる。

しかも、実施例4に係るアクチュエータベース18を、仮に、プレス成形によって生産する場合であっても、実施例1〜3に係る可撓連結部50に相当する突出部分が一切存在しないので、バレル研磨によるバリ取りを円滑に行うことができ、その製造原価を低く抑えることができる。

また、ヘッドサスペンションが組み込まれる、例えば磁気ディスク装置等の設計段階において、実施例1〜3に係る可撓連結部50に相当する突出部分が一切存在しないので、周辺部品との干渉の回避を考慮する必要がない。従って、サスペンション周辺部品を配置する際の設計の自由度をじゅうぶんに享受することができる。

しかも、振動特性面においても、実施例1〜3に係る可撓連結部50に相当する突出部分が一切存在しないので、一般のサスペンションでは生じ得ない振動モードを考慮する必要がない。従って、従来のサスペンションと同等程度の設計工数をもって、実施例1〜3が奏する優れた効果を併せ持つヘッドサスペンションを得ることができる。

本発明の実施例5に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図11は、実施例5に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例4に係るヘッドサスペンション81と、実施例5に係るヘッドサスペンション91とは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例4と実施例5との相違点は次の通りである。すなわち、実施例4に係るヘッドサスペンション81の圧電アクチュエータ83では、図10に示すように、ひとつの開口部21を有し、この開口部21に対し、非導電性接着剤47を介して、ひとつの圧電素子23を実装する構成を採用している。

これに対し、実施例5に係るヘッドサスペンション91の圧電アクチュエータ93では、図11に示すように、一対の開口部21を有し、これら一対の各開口部21のそれぞれに対し、非導電性接着剤47を介して、一対の各圧電素子23を実装する点が、実施例4とは大きく相違している。

なお、実施例5に係るヘッドサスペンション81を構成するに際しては、実施例1〜3に係る拡散防止溝の構成のうちいずれかを組み合わせ適用すればよい。

上述のように構成された実施例5に係るヘッドサスペンション91によれば、実施例4と同様の作用効果を奏する。

[その他]
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

すなわち、本発明実施例では、説明の便宜上、磁気ディスクの上方にヘッドサスペンションが対向して位置する使用態様を前提として、その上下等の位置関係を説明した。ただし、実際の使用態様では、磁気ディスクの下方にヘッドサスペンションが対向して位置する場合もある。こうした場合であっても、本発明は、実施例で述べた位置関係に係る表現を実際の使用態様に合わせて解釈した上で、本発明の技術的思想を曲解することなく、適切に適用可能であることは言うまでもない。

11 ヘッドサスペンション(実施例1)
13 ベースプレート(実施例1〜5間で共通)
15 ロードビーム(実施例1〜5間で共通)
17 圧電アクチュエータ(実施例1)
18 アクチュエータベース(実施例1〜5間で共通)
19 ボス孔(実施例1〜5間で共通)
21 開口部(実施例1〜5間で共通)
23 圧電素子(実施例1〜5間で共通)
23a 圧電素子の上面(実施例1〜5間で共通)
23b 圧電素子の底面(実施例1〜5間で共通)
23c 圧電素子の周側面(実施例1〜5間で共通)
24a,24b 電極(実施例1〜5間で共通)
24c 非電極領域(実施例1〜5間で共通)
25 フレキシャ(実施例1〜5間で共通)
27a,27b 一対の曲げ縁(実施例1〜5間で共通)
29 連結プレート(実施例1〜5間で共通)
31 孔(実施例1〜5間で共通)
33a,33b 一対のヒンジ部(実施例1〜5間で共通)
41 周縁部(実施例1〜5間で共通)
43 底面受け部(実施例1〜5間で共通)
45 銀ペースト(実施例1〜5間で共通)
46 導通部(実施例1〜5間で共通)
47 非導電性接着剤(実施例1〜5間で共通)
48 拡散防止溝(実施例1)
50 一対の可撓連結部(実施例1〜3間で共通)
52 離間部(実施例4,5間で共通)
61 圧電アクチュエータ(実施例2)
63 拡散防止溝(実施例2)
71 圧電アクチュエータ(実施例3)
73 孤立した拡散防止溝(実施例3)
75 非連続部(実施例3)
81 ヘッドサスペンション(実施例4)
83 圧電アクチュエータ(実施例4)
91 ヘッドサスペンション(実施例5)
93 圧電アクチュエータ(実施例5)

Claims (6)

  1. ロードビームと、前記ロードビームの基部に固設したアクチュエータベースの開口部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を実装してなる圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、
    前記圧電素子は、前記開口部との間に生じた周回溝に非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に埋め込み式に実装され、
    前記開口部の外周部分には、前記周回溝からあふれ出た前記非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝が設けられ
    前記拡散防止溝の深さは、前記圧電素子の厚み及び開口部の深さよりも浅く、前記開口部の圧電素子の周側面が前記開口部の周縁部に対し前記拡散防止溝よりも深い位置に渡って対向している、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
  2. 請求項1記載のヘッドサスペンションであって、
    前記開口部及び前記圧電素子は、略矩形形状に形成され、
    前記拡散防止溝は、前記開口部の周縁に沿う外周部分に刻設されている、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
  3. 請求項2記載のヘッドサスペンションであって、
    前記拡散防止溝は、非連続部を有し、
    前記非連続部は、前記拡散防止溝のうち、前記アクチュエータベースに設けられて前記圧電素子の電極との間で電気的な接続を行うための導通部の内方側近傍に設けられている、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
  4. 請求項1〜3のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
    前記アクチュエータベースには、前記開口部の外方側に突出した略U字形状の一対の可撓連結部が形成されている、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
  5. 請求項1〜3のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
    前記アクチュエータベースには、前記開口部の外方側に一対の離間部が形成されている、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
  6. 請求項1〜5のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
    前記開口部は、幅方向に並列して一対設けられ、前記一対の各開口部のそれぞれに前記圧電素子が前記非導電性接着剤を介して実装されている、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。
JP2009124887A 2009-05-25 2009-05-25 ヘッドサスペンション Active JP5291535B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009124887A JP5291535B2 (ja) 2009-05-25 2009-05-25 ヘッドサスペンション

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009124887A JP5291535B2 (ja) 2009-05-25 2009-05-25 ヘッドサスペンション
US12/784,086 US8144436B2 (en) 2009-05-25 2010-05-20 Head suspension

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010272185A JP2010272185A (ja) 2010-12-02
JP5291535B2 true JP5291535B2 (ja) 2013-09-18

Family

ID=43124423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009124887A Active JP5291535B2 (ja) 2009-05-25 2009-05-25 ヘッドサスペンション

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8144436B2 (ja)
JP (1) JP5291535B2 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8885299B1 (en) 2010-05-24 2014-11-11 Hutchinson Technology Incorporated Low resistance ground joints for dual stage actuation disk drive suspensions
JP5596487B2 (ja) 2010-10-07 2014-09-24 日本発條株式会社 圧電アクチュエータ及びヘッド・サスペンション
US8456780B1 (en) * 2012-02-10 2013-06-04 HGST Netherlands B.V. Uncoupled piezoelectric milli-actuator assembly
US9001469B2 (en) * 2012-03-16 2015-04-07 Hutchinson Technology Incorporated Mid-loadbeam dual stage actuated (DSA) disk drive head suspension
WO2014035591A1 (en) * 2012-08-31 2014-03-06 Hutchinson Technology Incorporated Damped dual stage actuation disk drive suspensions
WO2014043498A2 (en) 2012-09-14 2014-03-20 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
WO2014059128A2 (en) 2012-10-10 2014-04-17 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with dampers
US8941951B2 (en) 2012-11-28 2015-01-27 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension flexure with integrated strain sensor and sputtered traces
US8891206B2 (en) 2012-12-17 2014-11-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffener
US8896969B1 (en) 2013-05-23 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Two-motor co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffeners
US8717712B1 (en) 2013-07-15 2014-05-06 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive suspension assembly having a partially flangeless load point dimple
US8792214B1 (en) 2013-07-23 2014-07-29 Hutchinson Technology Incorporated Electrical contacts to motors in dual stage actuated suspensions
US8675314B1 (en) 2013-08-21 2014-03-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with offset motors
US8896970B1 (en) 2013-12-31 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Balanced co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
US8867173B1 (en) 2014-01-03 2014-10-21 Hutchinson Technology Incorporated Balanced multi-trace transmission in a hard disk drive flexure
US9070392B1 (en) 2014-12-16 2015-06-30 Hutchinson Technology Incorporated Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners
US9318136B1 (en) 2014-12-22 2016-04-19 Hutchinson Technology Incorporated Multilayer disk drive motors having out-of-plane bending
US9296188B1 (en) 2015-02-17 2016-03-29 Hutchinson Technology Incorporated Partial curing of a microactuator mounting adhesive in a disk drive suspension
CN107735834B (zh) 2015-06-30 2019-11-19 哈钦森技术股份有限公司 具有改进的可靠性的盘驱动器头部悬架结构
US9646638B1 (en) 2016-05-12 2017-05-09 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based DSA disk drive suspension with traces routed around slider pad
JP2019046517A (ja) * 2017-08-31 2019-03-22 日本発條株式会社 ハードディスク装置のフレキシャ

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51149618U (ja) * 1975-05-23 1976-11-30
JPS5946099U (ja) * 1982-09-17 1984-03-27
JPS61111298U (ja) * 1984-11-15 1986-07-14
JPH07244946A (ja) * 1991-01-10 1995-09-19 Alps Electric Co Ltd 浮上式磁気ヘッドの支持機構
JPH05144207A (ja) * 1991-11-16 1993-06-11 Tdk Corp 磁気ヘツドスライダの取付構造及びそれに用いる磁気ヘツドスライダ
JPH05244692A (ja) * 1992-02-28 1993-09-21 Matsushita Electric Works Ltd 超音波マイクロホン
US6327120B1 (en) * 1997-04-17 2001-12-04 Fujitsu Limited Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator
JPH11178097A (ja) * 1997-12-16 1999-07-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電ブザー
JP4156203B2 (ja) * 2000-05-22 2008-09-24 日本発条株式会社 ディスク装置用サスペンション
JP2001339967A (ja) * 2000-05-24 2001-12-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd アクチュエータとこれを用いた電子機器
JP2002009576A (ja) * 2000-06-20 2002-01-11 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及びそのパッケージ構造
CN1937037A (zh) * 2000-11-28 2007-03-28 新科实业有限公司 带有压电微驱动机构的磁头弹簧片组件
JP4246909B2 (ja) * 2000-12-15 2009-04-02 日本発條株式会社 Suspension for disk unit
JP4298911B2 (ja) * 2000-12-15 2009-07-22 日本発條株式会社 Suspension for disk unit
JP3626688B2 (ja) * 2001-01-11 2005-03-09 アルプス電気株式会社 微動トラッキング装置を有する磁気ヘッドアクチュエータ

Also Published As

Publication number Publication date
US8144436B2 (en) 2012-03-27
US20100296196A1 (en) 2010-11-25
JP2010272185A (ja) 2010-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6251745B2 (ja) Gimbal-type flexible member having two-stage starting structure and suspension
US8964335B2 (en) Head suspension with piezoelectric element support having electrically insulative adhesive layer
JP5931622B2 (ja) ディスク装置用サスペンション
EP2124431B1 (en) Camera module comprising three members
US8189301B2 (en) Wireless microactuator motor assembly for use in a hard disk drive suspension, and mechanical and electrical connections thereto
US9036302B2 (en) Damped dual stage actuation disk drive suspensions
US9559285B2 (en) Piezoelectric actuator and head suspension
US7177119B1 (en) Microactuated head suspension with ring springs
JP3501758B2 (ja) 記録/再生ヘッド支持機構および記録/再生装置
US20140022675A1 (en) Disk drive suspension
JP4977906B2 (ja) サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの導通検査方法
US8526142B1 (en) Hard disk drive DSA suspension having PZT encapsulation dam
JP4944829B2 (ja) マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム及びヘッド・ジンバル・アセンブリ
JP5100589B2 (ja) Head suspension
US8248731B2 (en) Electrical connection between piezoelectric actuator and head suspension
US20130021699A1 (en) Suspension board with circuit
US7724478B2 (en) Magnetic disk drive, wiring connection structure and terminal structure
JP5933403B2 (ja) ディスク装置用サスペンション
US20190022700A1 (en) Compact ultrasound device having annular ultrasound array peripherally electrically connected to flexible printed circuit board and method of assembly thereof
US20040181932A1 (en) System and method for manufacturing a hard disk drive suspension flexure and for preventing damage due to electrical arcing
JP2004283911A (ja) 磁気ヘッド部品の装着方法、磁気ヘッド装置及び磁気ヘッド装置の製造方法
CN101866673B (zh) 磁头悬挂装置
US8570688B1 (en) Electrical connections to a microactuator in a hard disk drive suspension
US8254065B2 (en) For a piezoelectric actuator having an electrode joined with the joint face of the actuator movable member, a power supply including a wiring connector having a face joined with the electrode and another face attached to a conductive base layer of a wiring member and head suspension employing the same
CN101399505B (zh) 头悬架和压电执行机构

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120202

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130305

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130409

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130604

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130607

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5291535

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250