JP5481151B2 - ディスク装置用サスペンションと、その製造方法 - Google Patents
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- 239000000725 suspension Substances 0.000 title claims description 43
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 96
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 96
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4873—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives the arm comprising piezoelectric or other actuators for adjustment of the arm
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Description
図1に示すディスク装置(HDD)1は、ケース2と、スピンドル3を中心に回転するディスク4と、ピボット軸5を中心に旋回可能なキャリッジ6と、キャリッジ6を駆動するためのポジショニング用モータ(ボイスコイルモータ)7などを有している。ケース2は、図示しない蓋によって密閉される。
導電性プレート部材31の前記接続部81に、ハーフエッチングによってピット90を形成する。そして導電性プレート部材31の素子収容部40にマイクロアクチュエータ素子32を配置したのち、マイクロアクチュエータ素子32と素子収容部40との間に接着材60を供給し、硬化させる。
(1)導電性プレート部材31の一部にハーフエッチングによってピット90を形成する工程。
(2)マイクロアクチュエータ素子32を素子収容部40に配置する工程。
(3)マイクロアクチュエータ素子32を接着材60によって導電性プレート部材31に固定する工程。
(4)接続部81,82に硬化前の導電性樹脂80を供給しかつこの導電性樹脂80の一部をピット90内に設ける工程。
(5)導電性樹脂80を硬化させる工程。
(6)導電性樹脂80に電流を流すことによって導電フィラー80bに絶縁破壊を生じさせ、電気抵抗値を安定させる工程。ただしこの工程を行わずとも導電性樹脂80の導通が十分確保できる場合には、この工程を省略することができる。
(8)カバー層110を硬化させる工程。
ポジショニング用モータ7によってキャリッジ6を旋回させると、サスペンション10がディスク4の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ11がディスク4の記録面の所望トラックまで移動する。
6…キャリッジ
8…アーム
10…サスペンション
18…ベース部
20…ロードビーム
30,30A,30B,30C,30D…マイクロアクチュエータ搭載部
31…導電性プレート部材
31a…固定側部分
31b…可動側部分
32…マイクロアクチュエータ素子
40…素子収容部
80…導電性樹脂
81,82…接続部
90…ピット
101…エッジ
110…カバー層
130…下塗り導電樹脂層
Claims (7)
- ディスク装置のキャリッジのアームに固定されるベース部と、
磁気ヘッドのスライダが配置されるロードビームと、
前記ベース部とロードビームとの間に設けられたマイクロアクチュエータ搭載部とを備えたディスク装置用サスペンションであって、
前記マイクロアクチュエータ搭載部は、
前記ベース部に固定された固定側部分と前記ロードビームに固定された可動側部分とを有する導電性プレート部材と、
前記導電性プレート部材の素子収容部に配置されたマイクロアクチュエータ素子とを有し、
前記導電性プレート部材には、前記マイクロアクチュエータ素子と前記導電性プレート部材とを電気的に導通させるための接続部にハーフエッチングされた底面を有しかつ前記導電性プレート部材の幅方向に長いピットが形成され、
前記接続部を含む領域に前記マイクロアクチュエータ素子と前記導電性プレート部材とを導通させるための導電性樹脂が設けられ、
前記導電性樹脂の一部が前記ピットに入り込んで硬化しかつ前記導電性樹脂の外周縁の一部が前記ピットのエッジよりもピット内側に位置していることを特徴とするディスク装置用サスペンション。 - 前記ピットがハーフエッチングによる化学研磨された底面を有していることを特徴とする請求項1に記載のディスク装置用サスペンション。
- 前記ピット内の前記導電性樹脂の端部の厚さが前記ピットの深さよりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のディスク装置用サスペンション。
- 前記接続部に前記導電性樹脂を覆うカバー層が設けられ、前記カバー層の端が前記ピットの外にはみ出さないように前記カバー層の端が前記ピットのエッジによって規制されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のディスク装置用サスペンション。
- 前記ピットの底面に下塗り導電樹脂層が設けられ、その上に前記導電性樹脂が設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のディスク装置用サスペンション。
- マイクロアクチュエータ素子を有するディスク装置用サスペンションの製造方法であって、
前記マイクロアクチュエータ素子と導電性プレート部材とを導通させるための接続部にハーフエッチングによって化学研磨された底面を有しかつ前記導電性プレート部材の幅方向に長いピットを形成すること、
前記マイクロアクチュエータ素子を前記導電性プレート部材の素子収容部に配置すること、
前記マイクロアクチュエータ素子を接着材によって前記導電性プレート部材に固定すること、
前記接続部を含む領域に硬化前の導電性樹脂を供給し、該導電性樹脂の外周縁の一部が前記ピットのエッジよりもピット内側に位置するよう該導電性樹脂の一部を前記ピット内に入り込ませること、
前記導電性樹脂を硬化させること、
前記導電性樹脂上にカバー層のための硬化前の樹脂をコーティングすることによってカバー層を形成しかつこのカバー層の端を前記ピットのエッジによって規制すること、
前記カバー層を硬化させること、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンションの製造方法。 - 前記ピットの底面に下塗り導電樹脂層を塗布したのち、この下塗り導電樹脂層の上に前記導電性樹脂を供給することを特徴とする請求項6に記載のディスク装置用サスペンションの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009235344A JP5481151B2 (ja) | 2009-10-09 | 2009-10-09 | ディスク装置用サスペンションと、その製造方法 |
US12/878,160 US8363361B2 (en) | 2009-10-09 | 2010-09-09 | Disk drive suspension having a microactuator mounting section provided with a microactuator element and manufacturing method for the disk drive suspension |
CN2010105035418A CN102044260B (zh) | 2009-10-09 | 2010-09-30 | 盘驱动器悬架及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009235344A JP5481151B2 (ja) | 2009-10-09 | 2009-10-09 | ディスク装置用サスペンションと、その製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011081879A JP2011081879A (ja) | 2011-04-21 |
JP5481151B2 true JP5481151B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=43854667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009235344A Active JP5481151B2 (ja) | 2009-10-09 | 2009-10-09 | ディスク装置用サスペンションと、その製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8363361B2 (ja) |
JP (1) | JP5481151B2 (ja) |
CN (1) | CN102044260B (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8885299B1 (en) | 2010-05-24 | 2014-11-11 | Hutchinson Technology Incorporated | Low resistance ground joints for dual stage actuation disk drive suspensions |
US8498082B1 (en) * | 2011-03-23 | 2013-07-30 | Magnecomp Corporation | DSA suspension with improved microactuator stroke length |
WO2013138619A1 (en) | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Hutchinson Technology Incorporated | Mid-loadbeam dual stage actuated (dsa) disk drive head suspension |
JP5931622B2 (ja) * | 2012-07-19 | 2016-06-08 | 日本発條株式会社 | ディスク装置用サスペンション |
US8861141B2 (en) * | 2012-08-31 | 2014-10-14 | Hutchinson Technology Incorporated | Damped dual stage actuation disk drive suspensions |
WO2014043498A2 (en) | 2012-09-14 | 2014-03-20 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions |
JP6356682B2 (ja) | 2012-10-10 | 2018-07-11 | ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドHutchinson Technology Incorporated | 二段作動構造を有するサスペンション |
US8941951B2 (en) | 2012-11-28 | 2015-01-27 | Hutchinson Technology Incorporated | Head suspension flexure with integrated strain sensor and sputtered traces |
US8891206B2 (en) | 2012-12-17 | 2014-11-18 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffener |
US8896969B1 (en) | 2013-05-23 | 2014-11-25 | Hutchinson Technology Incorporated | Two-motor co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffeners |
US8717712B1 (en) | 2013-07-15 | 2014-05-06 | Hutchinson Technology Incorporated | Disk drive suspension assembly having a partially flangeless load point dimple |
US8792214B1 (en) | 2013-07-23 | 2014-07-29 | Hutchinson Technology Incorporated | Electrical contacts to motors in dual stage actuated suspensions |
US8675314B1 (en) | 2013-08-21 | 2014-03-18 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with offset motors |
US9224410B1 (en) * | 2013-09-04 | 2015-12-29 | Magnecomp Corporation | Suspension having microactuator grounded to opposite side of metal support layer |
US8896970B1 (en) | 2013-12-31 | 2014-11-25 | Hutchinson Technology Incorporated | Balanced co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions |
US8867173B1 (en) | 2014-01-03 | 2014-10-21 | Hutchinson Technology Incorporated | Balanced multi-trace transmission in a hard disk drive flexure |
US9218834B2 (en) * | 2014-01-24 | 2015-12-22 | HGST Netherlands B.V. | Dual stage microactuator flexure feature for minimizing electrical shorts |
US9123367B1 (en) * | 2014-06-16 | 2015-09-01 | Intri-Plex Technologies, Inc. | Swage mount having a mixture of a conductive material and a coating material and method of manufacturing the swage mount |
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US9070392B1 (en) | 2014-12-16 | 2015-06-30 | Hutchinson Technology Incorporated | Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners |
US9318136B1 (en) | 2014-12-22 | 2016-04-19 | Hutchinson Technology Incorporated | Multilayer disk drive motors having out-of-plane bending |
US9296188B1 (en) | 2015-02-17 | 2016-03-29 | Hutchinson Technology Incorporated | Partial curing of a microactuator mounting adhesive in a disk drive suspension |
WO2017003782A1 (en) | 2015-06-30 | 2017-01-05 | Hutchinson Technology Incorporated | Disk drive head suspension structures having improved gold-dielectric joint reliability |
US9646638B1 (en) | 2016-05-12 | 2017-05-09 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based DSA disk drive suspension with traces routed around slider pad |
JP6866262B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2021-04-28 | 日本発條株式会社 | ハードディスク装置のフレキシャ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5764444A (en) * | 1991-07-23 | 1998-06-09 | Fujitsu Limited | Mechanism for minute movement of a head |
US5867347A (en) * | 1997-06-13 | 1999-02-02 | Hutchinson Technology Incorporated | Head suspension with stacked coil microactuator for tracking axis adjustment of a read/write head |
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US6515834B1 (en) * | 1999-03-16 | 2003-02-04 | Seagate Technology Llc | Side-arm microactuator with piezoelectric adjuster |
US6239953B1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-05-29 | Magnecomp Corp. | Microactuated disk drive suspension with heightened stroke sensitivity |
JP3716164B2 (ja) | 2000-02-14 | 2005-11-16 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | ヘッド支持機構 |
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JP3626688B2 (ja) * | 2001-01-11 | 2005-03-09 | アルプス電気株式会社 | 微動トラッキング装置を有する磁気ヘッドアクチュエータ |
JP3792521B2 (ja) * | 2001-02-23 | 2006-07-05 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッド装置 |
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CN1279539C (zh) * | 2002-03-29 | 2006-10-11 | 日本发条株式会社 | 磁盘驱动器的悬架 |
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JP5174649B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2013-04-03 | 日本発條株式会社 | 圧電素子の電気的接続構造、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション |
JP5383557B2 (ja) * | 2010-03-03 | 2014-01-08 | 日本発條株式会社 | ヘッドサスペンション及びヘッドサスペンションの製造方法 |
-
2009
- 2009-10-09 JP JP2009235344A patent/JP5481151B2/ja active Active
-
2010
- 2010-09-09 US US12/878,160 patent/US8363361B2/en active Active
- 2010-09-30 CN CN2010105035418A patent/CN102044260B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102044260B (zh) | 2013-01-16 |
US20110085269A1 (en) | 2011-04-14 |
US8363361B2 (en) | 2013-01-29 |
JP2011081879A (ja) | 2011-04-21 |
CN102044260A (zh) | 2011-05-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
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|
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140121 |
|
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