JP2002269713A - ヘッド支持体の加工方法 - Google Patents

ヘッド支持体の加工方法

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JP2002269713A
JP2002269713A JP2001069416A JP2001069416A JP2002269713A JP 2002269713 A JP2002269713 A JP 2002269713A JP 2001069416 A JP2001069416 A JP 2001069416A JP 2001069416 A JP2001069416 A JP 2001069416A JP 2002269713 A JP2002269713 A JP 2002269713A
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重雄 村松
Satoru Yamaguchi
哲 山口
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ＦＰＣの高精度貼り付け、ヘッド支持体支持機
構の簡素化、ロードビームや可撓体に対する機械的ダメ
ージの回避、ロードビームに対するＦＰＣの密着性向上
等に有効な加工方法を提供する。 【解決手段】ヘッド支持体１に含まれるロードビーム１
１を曲げる前、ヘッド支持体１の面上に、ＦＰＣを貼り
付ける。その後、ロードビーム１１を曲げる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ヘッド支持体の加
工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】浮上型磁気ディスク装置では、長年、ヘ
ッド支持体に撚り対線を添わせ、撚り対線を、レーザ溶
接等の手段によって、ヘッド支持体に取り付けられた磁
気ヘッドの取り出し電極（バンプ）に接続する構造が採
用されてきたが、磁気ヘッドの小型化及び磁気ヘッドの
浮上量の低減等により、高精度の重量バランスが必要に
なってきたことから、配線一体磁気ヘッド装置が主流に
なってきている。
【０００３】また、最近は、配線を可撓性配線基板（以
下ＦＰＣと称する）として、別に作製しておき、ＦＰＣ
をヘッド支持体（サスペンション）に接着するＦＰＣ接
着型磁気ヘッド装置も実用化されてきた。本発明は、こ
のＦＰＣ接着型磁気ヘッド装置に係る。
【０００４】ＦＰＣ接着型磁気ヘッド装置を製造する場
合、従来は、ヘッド支持体製造メーカから供給されるヘ
ッド支持体に、ＦＰＣを貼り付けていた。ヘッド支持体
は、磁気ヘッドに対して荷重を加え、磁気ディスク等の
記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量を保持するため、
ロードビームがある角度で曲げられている。このロード
ビームの曲げは、従来は、製造メーカ側がグラムロード
フォーミングと称される工程で付与していた。
【０００５】グラムロードフォーミング済みのヘッド支
持体は、そのメーカから磁気ヘッド装置メーカに供給さ
れる。磁気ヘッド装置メーカは、グラムロードフォーミ
ング済みのヘッド支持体にＦＰＣを貼り付け、更に、薄
膜磁気ヘッドを搭載する。
【０００６】ところが、磁気ヘッド装置メーカに供給さ
れるヘッド支持体は、既に、グラムロードフォーミング
済みであるため、これにＦＰＣを貼り付ける際、種々の
問題を惹起する。
【０００７】例えば、ＦＰＣの貼り付け面が水平になる
ように、ヘッド支持体を傾斜させ、ＦＰＣを吸着しなが
ら、ヘッド支持体の上に運び、貼り付ける工程を採用し
た場合は、ヘッド支持体を傾けて固定する機構、ＦＰＣ
がヘッド支持体の可撓体（ジンバル部分）に重ならない
ように、ＦＰＣを逃がす機構等、複雑な機構が必要であ
り、ＦＰＣの貼り付け精度低下を招き易い。
【０００８】別の手法として、グラムロードフォーミン
グ済みのヘッド支持体を、機械的な強制力を加えて、平
に引き伸ばし、その状態で、ＦＰＣを貼り付ける方法が
ある。しかし、この場合には、グラムロードフォーミン
グ済みのヘッド支持体に機械的な強制力を加えて引き伸
ばすため、ロードビームや可撓体に機械的ダメージを与
えてしまう。
【０００９】更に、グラムロードフォーミング済みのヘ
ッド支持体に対してＦＰＣを貼り付ける場合、ロードビ
ームの曲げ部分、及び、その周辺において、ロードビー
ムに対するＦＰＣの密着性が悪くなり、ＦＰＣの剥離等
を招いてしまうこともある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ヘッ
ド支持体に対して、ＦＰＣを高精度で貼り付け得る加工
方法を提供することである。
【００１１】本発明のもう一つの課題は、ＦＰＣを貼り
付ける際のヘッド支持体の支持機構を簡素化し得る加工
方法を提供することである。
【００１２】本発明の更にもう一つの課題は、ロードビ
ームや可撓体に対する機械的ダメージを回避し得る加工
方法を提供することである。
【００１３】本発明の更にもう一つの課題は、ロードビ
ームに対するＦＰＣの密着性が高く、ＦＰＣの剥離等を
招きにくい加工方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係るヘッド支持体の加工方法は、前記へ
ッド支持体に含まれるロードビームを曲げる前、前記ヘ
ッド支持体の面上に、可撓性配線を貼り付け、次に、前
記ロードビームを曲げる工程を含む。
【００１５】この加工方法によれば、ＦＰＣの貼り付け
に当って、ヘッド支持体を水平に配置するだけでよい。
このため、ヘッド支持体に対して、ＦＰＣを高精度で貼
り付け得る。また、ＦＰＣを貼り付ける際のヘッド支持
体の支持機構を簡素化し得る。
【００１６】しかも、グラムロードフォーミング済みの
ヘッド支持体を用いる場合と異なって、ヘッド支持体に
機械的な強制力を加えて引き伸ばす必要がない。このた
め、ロードビームや可撓体に対する機械的ダメージを回
避し得る。
【００１７】更に、平坦なヘッド支持体に対してＦＰＣ
を貼り付けるので、ヘッド支持体に対するＦＰＣの密着
性が高くなり、ＦＰＣの剥離等を招きにくい。
【００１８】好ましくは、ロードビームの曲げに対し
て、スプリングバック（バネによる戻り）防止処理を実
行する。これにより、ロードビームの曲げ角度を、所定
の角度に、正確に設定できる。
【００１９】スプリングバック防止処理は、可撓性配線
の性能に影響しない低温アニールまたは高温アニール処
理を含むことができる。高温アニールはレーザ照射によ
って実行できる。
【００２０】本発明の他の目的、構成及び効果について
は、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明す
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る加工方法の適
用対象であるヘッド支持体の斜視図、図２は図１の２ー
２線に沿った拡大部分断面図である。
【００２２】ヘッド支持体１は、ロードビーム１１と、
可撓体１２とを含む。ロードビーム１１は、全体にわた
って平板状であり、ピッチ角に関与する曲げは未だ施さ
れていない。ヘッド支持体１は、このような平板状の状
態で、ヘッド支持体製造メーカから供給される。
【００２３】ロードビーム１１は、中央を通る長手方向
軸線の自由端近傍に突起部１１１（図２参照）を有す
る。ロードビーム１１は、突起部１１１（図２参照）と
は反対側の端部に、ベース部１１４を有し、ベース部１
１４の略中央部に位置決め用孔１１２を有する。更に、
ロードビーム１１には、荷重調整用の角孔等の孔１１３
が設けられている。但し、ロードビーム１１は、種々の
構造、形状をとることができ、図示実施例には限定され
ない。
【００２４】可撓体１２は薄いバネ板材で構成され、一
方の面がロードビーム１１の突起部１１１を有する側の
面に取り付けられ、突起部１１１から押圧荷重を受けて
いる。可撓体１２は、ロードビーム１１の突起部１１１
を有する側に、カシメ等の手段により貼り合わされてい
る。カシメの代わりに、スポット溶着等の手段が用いら
れることもある。
【００２５】更に、可撓体１２は、ヘッド取り付け部と
なる舌状部１２０を有する。舌状部１２０は、一端が可
撓体１２の横枠部１２１に結合されている。可撓体１２
の横枠部１２１は両端が外枠部１２３、１２４に連なっ
ている。外枠部１２３、１２４と舌状部１２０との間に
は、溝１２２が形成されている。舌状部１２０の他面に
は、突起部１１１の先端が接触しており、これにより、
舌状部１２０は、直交２軸の周りの２自由度、即ち、ピ
ッチ及びロールの２つの自由度を有するようになる。
【００２６】本発明では、図１及び図２に図示したヘッ
ド支持体１に含まれるロードビーム１１を曲げる前、ヘ
ッド支持体１の面上に、ＦＰＣ３を貼り付け、その後、
ロードビーム１１を曲げる。次に、図を参照して具体的
に説明する。
【００２７】図３〜図５はＦＰＣ貼り付け工程を示す図
である。これらの図において、ヘッド支持体１は図１及
び図２に示したものであり、ロードビーム１１は、全体
にわたって平板状であり、静止姿勢角に関与する曲げは
未だ施されていない。この平板状のヘッド支持体１に対
して、ＦＰＣ３を貼り付ける。
【００２８】この加工方法によれば、ＦＰＣ３の貼り付
けに当って、ヘッド支持体１を水平に配置しておくだけ
でよい。傾斜配置は不要である。このため、ヘッド支持
体１に対して、ＦＰＣ３を高精度で貼り付け得る。ま
た、ＦＰＣ３を貼り付ける際のヘッド支持体１の支持機
構を簡素化し得る。
【００２９】しかも、グラムロードフォーミング済みの
ヘッド支持体１を用いる場合と異なって、ヘッド支持体
１に機械的な強制力を加えて引き伸ばす必要がない。こ
のため、ロードビーム１１や可撓体１２に対する機械的
ダメージを回避し得る。
【００３０】更に、平坦なヘッド支持体１に対してＦＰ
Ｃ３を貼り付けるので、ヘッド支持体１に対するＦＰＣ
３の密着性が高くなり、ＦＰＣ３の剥離等を招きにく
い。
【００３１】ＦＰＣ３は、極めて薄い絶縁フィルム３１
の内部に、必要な導体配線３２を埋設してある（図５参
照）。ＦＰＣ３は、ヘッド支持体１の磁気ヘッド取り付
け面側に、接着剤５１（図３参照）を用いて接着されて
いる。導体配線３２は絶縁フィルム３１の長手方向の両
端において、外部に露出され、一端側では、外部接続端
子３３を構成し、他端側では、磁気ヘッドに備えられた
磁気変換素子の取出電極に、はんだボール、ボンディグ
等の手段によって接続される。図示されたＦＰＣ３は、
舌状部１２０に重なる枠部３５と、舌状部１２０の一部
を露出させる切欠部３４とを有している。
【００３２】ヘッド支持体１及びＦＰＣ３は、極めて精
巧なパターン及び形状を持つ。従って、ヘッド支持体１
にＦＰＣ３を貼り合わせる場合、ＦＰＣ３をヘッド支持
体１に対して、高精度で位置合わせする必要がある。そ
の手段としては、画像処理による位置合わせが有効であ
る。しかも、画像処理による位置合わせによれば、作業
効率を向上させることができる。画像処理に当っては、
ヘッド支持体１及びＦＰＣ３に予め設けられた孔等を利
用することができる。
【００３３】上述のようにして、ヘッド支持体１にＦＰ
Ｃ３を貼り付けた後、ロードビーム１１を曲げる。図
６、７はロードビーム１１の曲げ加工の一例を示してい
る。図において、ロードビーム１１の両側に治具４１、
４２を配置し、この治具４１、４２により、ロードビー
ム１１を両面側から挟み込んで、曲げ加工を施す。より
詳しく説明すると、治具４１、４２は、互いに向き合う
面に、第１の面４１１、４２１及び第２の面４１２、４
２２を有する。第１の面４１１、４２１は、ロードビー
ム１１に対して、平行な平面であるが、第２の面４１
２、４２２は傾斜面となっている。
【００３４】治具４１、４２によるロードビーム１１の
挟み込みに当っては、傾斜面である第２の面４１２、４
２２と、第１の面４１１、４２１の境界線が、孔１１３
のほぼ中心に一致するように配置する。図６、７に図示
するように、ロードビーム１１を、その両面側から、治
具４１、４２によって挟み込んだ場合、ロードビーム１
１は、孔１１３の略中心部において、傾斜面４１２、４
２２の傾斜角度θで曲げられる。曲げ角θの大きさは、
必要な荷重に合わせて選択される。
【００３５】ロードビーム１１を曲げた後、図８に示す
ように、スプリングバック防止処理を実行する。これに
より、ロードビーム１１の曲げ角度が経時的に変化する
ことがなくなるので、磁気ヘッドに対する荷重の経時変
化をなくし、磁気ディスク等の記録媒体に対する磁気ヘ
ッドの浮上量を、経時的変化を生じさせることなく、長
期にわたって所定の値に安定に保持し得る。
【００３６】スプリングバック防止処理は、ＦＰＣ３の
性能に影響しない低温アニールまたは高温アニール処理
を含むことができる。図８の実施例は、レーザ照射手段
５１により、限定された曲げ部ａにレーザを照射し、局
部的高温アニールを施す例を示している。
【００３７】上述のようにして、ＦＰＣ貼り付け工程、
ロードビーム曲げ工程及びスプリングバック防止処理を
終了した後、図９に示すように、舌状部１２０の一面
に、磁気ヘッド２を取り付ける。磁気ヘッド２は、取り
付け側とは反対側の表面が、空気ベアリング面となる。
磁気ヘッド２は、ＦＰＣ３をロードビーム１１に貼り付
けた後、ロードビーム１１を曲げる前に搭載してもよ
い。
【００３８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 （ａ）ヘッド支持体に対して、ＦＰＣを高精度で貼り付
け得る加工方法を提供することができる。 （ｂ）ＦＰＣを貼り付ける際のヘッド支持体の支持機構
を簡素化し得る加工方法を提供することができる。 （ｃ）ロードビームや可撓体に対する機械的ダメージを
回避し得る加工方法を提供することができる。 （ｄ）ロードビームに対するＦＰＣの密着性が高く、Ｆ
ＰＣの剥離等を招きにくい加工方法を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る加工方法の適用対象であるヘッド
支持体の斜視図である。
【図２】図１の２ー２線に沿った拡大部分断面図であ
る。
【図３】図１、図２に示したヘッド支持体に対するＦＰ
Ｃ貼り付け工程を示す斜視図である。
【図４】ＦＰＣ貼り付け後のヘッド支持体の斜視図であ
る。
【図５】図４の５ー５線に沿った拡大断面図である。
【図６】ヘッド支持体のロードビームに対する曲げ工程
を示す斜視図である。
【図７】ヘッド支持体のロードビームに対する曲げ工程
を示す断面図である。
【図８】図６、７に示した工程の後のスプリングバック
防止工程を示す斜視図である。
【図９】図７、８に示した工程の後の工程を示す斜視図
である。
【符号の説明】
１ ヘッド支持体 １１ ロードビーム ３ ＦＰＣ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ヘッド支持体の加工方法であって、 前記ヘッド支持体に含まれるロードビームを曲げる前、
    前記ヘッド支持体の面上に、可撓性配線を貼り付け、 次に、前記ロードビームを曲げる工程を含む磁気ヘッド
    装置の加工方法。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載された加工方法であっ
    て、前記ロードビームを曲げた後、スプリングバック防
    止処理を行う工程を含む加工方法。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載された加工方法であっ
    て、 前記スプリングバック防止処理は、前記可撓性配線の性
    能に影響しない低温アニールまたは高温アニール処理を
    含む加工方法。
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