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Die
Erfindung betrifft Lese- oder Schreib/Leseköpfe für Datenspeicher, insbesondere
Lese- oder Schreib/Leseköpfe mit
integriertem Mikroaktor zur Positions-Feineinstellung.
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Mit
zunehmender Speicherdichte werden auch die Anforderungen an die
Nachführung
von Schreib/-Leseköpfen
auf den Datenspuren, auf denen die Daten beispielsweise in Form
von magnetischen Flußwechseln
digital gespeichert sind, immer größer. Schreib-/Leseköpfe werden
in allen magnetischen Massenspeichern, wie beispielsweise Festplattenspeichern,
Diskettenlaufwerken und Magnetbandspeichern verwendet. Bei Festplattenspeichern erfolgt
sowohl die Einstellung auf eine Datenspur, als auch die Spurfolge
darauf durch einen Positionierer. An diesem sind alle Schreib-/Lesearme
montiert, wobei jeder Schreib-/Lesearm
die Datenoberfläche
einer Magnetplatte bestreicht. Auf den Datenoberflächen befinden
sich dann konzentrisch angeordnet die Datenspuren. Der Aktuator
des Positionierers wird durch ein Servosystem so positioniert, daß der jeweils
in Betrieb befindliche Schreib-/Lesekopf auf seiner Datenspur geführt wird.
Typischerweise schreibt oder liest jeweils nur ein Schreib-/Lesekopf.
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Mit
zunehmender Aufzeichnungsdichte werden sowohl die Flußwechselabstände, als
auch die Breite der magnetischen Datenspuren immer kleiner. Um die
notwendige Einstellung auf die Datenspur zu gewährleisten, könnte eine
zweite Stufe eines Positionierers in die Schreib-/Leseköpfe eingebaut
werden, um die Spurfolge genauer und auch mit höherer Frequenz durchzuführen, als
dies durch bisher vorhandene Positionierer möglich ist. Ansätze für die Konstruktion
solcher Positionierer sind bekannt. Zum besseren Verständnis dieser
Ansätze
wird nachfolgend zunächst
der genauere Aufbau eines Schreib-/Lesearms kurz betrachtet. Ein
Schreib-/Lesearm umfaßt
einen Schreib-/Lesekopf,
auch Flugkörper
genannt, in dem der Schreib-/Lesewandler oder
das Schreib-/Leseelement integriert ist, welcher die magnetische
Datenaufzeichnung und Datenwiedergabe besorgt, sowie ein Federsystem
(Suspension). Der Flugkörper
gleitet in sehr geringem Abstand über die Datenoberfläche.
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Bisherige
Ansätze
für eine
zweite Positionierstufe sehen beispielsweise vor, daß solch
eine zweite Positionierstufe durch das Federsystem ausgeführt wird.
Hierzu wird in das Federsystem ein Positionierer eingebaut, der
eine zusätzliche
Seitenbewegung des Federsystems erlaubt. Ein weiterer Ansatz besteht
darin, zwischen den Flugkörper
und das Federsystem einen Mikropositionierer einzubringen.
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Das
US-Patent 6 122 149 beschreibt einen magnetischen Aufzeichnungskopf
mit einem Mikroakuator, welcher einen Stator und einen mit Stator
beweglich über
flexible Arme verbundenen Rotor umfasst. Die Bewegung des Rotors
erfolgt hier um eine Schwenkachse senkrecht zur Datenträgeroberfläche.
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Bei
dem aus der US 2002/0096944 A1 bekannten Mikroaktuator wird eine
Feinregelung durch Nachführung
des Schreib/Lesekopfes entlang einer Richtung parallel zur Datenträgeroberfläche und senkrecht
zur Schreib/Leserichtung durchgeführt. Die Spurfolge erfolgt
insbesondere durch einen seitlichen Versatz entlang dieser Richtung,
wobei der Kopf auch bei einer Nachregulierung parallel zur Datenträgeroberfläche gehalten
wird.
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Bei
der in der
EP 1 058
238 A2 beschriebenen Aufhängung für den Lesekopf ist sowohl eine Spurfolge
als auch eine Höhenverstellung
mittels zweier getrennt ansteuerbarer Spulen möglich, wobei die Spurfolge
durch eine Schwenkung um eine Achse senkrecht zur Datenträgeroberfläche erfolgt.
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Die
Aufgabe einer einfachen, schnellen und genauen Spur- und Abstandsführung wird
mit einem Schreib-/Lesekopf gemäß Anspruch
1, sowie einem Verfahren zur Datenaufzeichnung und Wiedergewinnung
gemäß Anspruch
22 und einem Verfahren zur Herstellung eines Schreib-/Lesekopfes
gemäß Anspruch
24 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den jeweiligen Unteransprüchen angegeben.
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Dementsprechend
umfaßt
ein erfindungsgemäßer Schreib-/Lesekopf einen ersten
Block, und einen mit dem ersten Block beweglich verbundenen Träger mit
einem Schreib-/Leseelement. Der Schreib-/Lesekopf weist außerdem zwei
elektromagnetische Aktuator-Einrichtungen
mit jeweils zumindest einem elektromagnetischen Element, wie insbesondere
einer Spule auf, zur Erzeugung von magnetischen Kräften, die
auf den Träger
vermittelt werden. Als Schreib-/Lesekopf wird hier, neben einem
Kopf zum Schreiben oder insbesondere zum Schreiben und Lesen auch
ein Kopf verstanden, mit welchem nur von einem Datenträger, also
etwa im Falle eines ROM-Datenträgers
Daten gelesen werden. Oft sind auf einem Schreib-/Lesekopf auch
mehrere Schreib-/Leseelemente angeordnet. So werden bei Magnetbandspeichern
vielfach separate Schreib- und Leseelemente eingesetzt, wobei die
Leseelemente zumeist magnetoresistiv auslesen. Für den erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopf
sind prinzipiell die gängigen
Arten von Schreib-Leseelementen, wie etwa elektromagnetische Schreib-/Leseelemente, beispielsweise
mit einem Schreib-Lesespalt, magnetoresistive, als auch optische
oder magnetooptische Schreib-/Leseelemente, sowie Kombinationen
zumindest zweier solcher Elemente einsetzbar.
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Die
erfindungsgemäße elektromagnetische Aktuator-Einrichtung stellt
eine hochgenaue Führung des
Schreib-/Leseelementes
auf der Datenspur bereit und ermöglicht
es außerdem,
den Abstand zwischen dem Schreib-/Leseelement und dem Datenträger, beispielsweise
einer Magnetplatte auf den optimalen Abstand einzustellen. Durch
die mittels der elektromagnetischen Aktuator-Einrichtung auf den Träger für das Schreib-/Leseelement
vermittelten Kräfte
wird dieser aus seiner Gleichgewichtslage und damit relativ zu dem
Block ausgelenkt. Damit wird auch eine Auslenkung des Schreib-/Leseelementes bezüglich des
Blocks hervorgerufen. Üblicherweise sind
die Schreib-/Leseköpfe
moderner Datenaufzeichnungs- oder Datenwiedergabegeräte im Vergleich
zu der Bewegungsmechanik des Kopfes sehr klein. Entsprechend weist
auch der Träger
eines erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes,
welcher in solchen Geräten
einsetzbar ist, eine geringe Masse und Trägheit auf.
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Vielfach
wird ein Schreib-/Lesekopf so an einer Aufhängung befestigt, daß sich der
insbesondere als Flugkörper
ausgeführte
Schreib-/Lesekopf zwischen der Aufhängung und dem Datenträger befindet.
Unter Umständen
kann hier die Bewegungsfreiheit des Trägers in Richtung von der Datenträgeroberfläche weg
durch die Aufhängung
eingeschränkt sein.
Dies kann vorteilhaft dadurch umgangen werden, indem der Träger eine
geringere Dicke als der erste Block aufweist. Insbesondere kann
dabei der Träger
auf der Befestigungsseite des ersten Blocks abgesenkt sein.
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Der
Träger
ist mit dem ersten Block durch zwei Blattfedern federnd beweglich
verbunden. Eine derartige Verbindung ist besonders einfach mit MEMS-Technologie
oder bekannter Silium-Mikromechanik herstellbar und kann mit sehr
kleinen Abmessungen gefertigt werden.
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Eine
mikromechanische elektromagnetische Aktuator-Einrichtung kann besonders vorteilhaft
eine in Dünnfilmtechnik,
beziehungsweise galvanisch hergestellte Spule umfassen. Dünnfilmtechnik
wird in ähnlicher
Weise vielfach auch zur Herstellung magnetischer Schreib/Leseelemente
für moderne
Festplatten eingesetzt. Diese Technik ist entsprechend gut entwickelt
und es lassen sich damit kleinste elektromagnetische Bauteile herstellen.
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Es
ist weiterhin von Vorteil, wenn die elektromagnetische Aktuator-Einrichtung
auch zumindest ein Joch umfaßt.
Mit einem Joch können
vom elektromagnetischen Element (dem aktiven Teil) Kräfte auf den
Träger übertragen
werden. Vorteilhaft kann für das
Joch ein hochpermeables weichmagnetisches Material verwendet werden,
um möglichst
hohe Kräfte
zu erzeugen.
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Das
elektromagnetische Element der Aktuator-Einrichtung kann ferner
vorteilhaft eine Spule um einen Pol des Jochs umfassen. Diese Anordnung
ist insbesondere mittels Dünnfilm-Technologie
leicht herstellbar. Auch ist es möglich, daß das Joch einen Schenkel aufweist,
der zwei oder mehr Pole des Jochs verbindet, die von Spulen umgeben
sind. Diese Spulen können
dabei auch zu verschiedenen Aktuator-Einrichtungen gehören.
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Die
elektromagnetische Aktuator-Einrichtung kann gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung vorteilhaft zumindest ein magnetisierbares Element umfassen.
Durch ein Magnetfeld, welches auf das Element einwirkt, kann so
eine magnetische Kraft erzeugt werden, welche an dem magnetisierbaren
Element angreift. Vorteilhaft ist ferner, wenn das magnetisierbare
Element ein Rückflußjoch umfaßt. Eine derartige
Struktur ist hinsichtlich der Ausnutzung des Magnetfelds besonders
effektiv.
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Die
elektromagnetische Aktuator-Einrichtung kann auch ein permanent
magnetisiertes Element umfassen. Mit einem derartigen Element können je nach
Polarität
des Magnetfelds entgegengesetzt wirkende Kräfte, anziehend oder abstoßend, erzeugt werden.
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Der
Schreib-/Lesekopf umfast zwei elektromagnetische Aktuator-Einrichtungen
mit jeweils einem mit dem Träger
verbundenen oder integrierten Aktuator-Element, auf welches Kräfte mittels
magnetischer Felder ausübbar
sind, wobei das Schreib-/Leseelement in Leserichtung gesehen zwischen
den beiden Aktuator-Einrichtungen
angeordnet ist. Auf diese Weise kann durch Betätigung beider Aktuator-Einrichtungen
eine Nachregelung des Abstands des Schreib-/Leseelementes zur Oberfläche des
Datenträgers
erfolgen, um eine Höhen-Feinregulierung bereitzustellen.
Werden die Aktuator-Einrichtungen in unterschiedlicher Weise betätigt, so
wird außerdem
eine Verkippung, beziehungsweise eine Schwenkung des Schreib-/Leseelementes entlang einer
im wesentlichen parallel zur Schreib-/Leserichtung verlaufenden
Schwenkachse erreicht.
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Bevorzugt
weisen gemäß einer
bevorzugten Variante dieser Ausführungsform
die magnetischen Aktuator-Einrichtungen
jeweils mit dem Träger
verbundene oder im Träger
integrierte Aktuator-Elemente auf, wobei das Schreib-/Leseelement
in Leserichtung gesehen senkrecht zu einer Ebene durch die Aktuator-Elemente
versetzt angeordnet ist. Auf diese Weise ergibt sich in Leserichtung
gesehen eine T-förmige
Anordnung der Aktuator-Elemente und des Schreib-/Leseelementes.
Werden nun die magnetischen Aktuator-Einrichtungen unterschiedlich
erregt oder betätigt,
so kommt es ebenfalls, wie oben beschrieben zu einer Verkippung
des Schreib-/Leseelementes zur Datenträger-Oberfläche. Durch die T-förmige Anordnung
wird dabei allerdings das Schreib-/Leseelement nicht nur verkippt,
sondern auch lateral entlang der Datenträgeroberfläche versetzt, um beispielsweise
eine laterale Spurnachregelung entlang der Oberfläche und
quer zur Schreib-/Leserichtung zu erreichen. Diese laterale Verschiebung
entlang der Oberfläche
erfolgt dabei außerdem
quer zur Leserichtung, so daß eine
Nachführung
des Schreib-/Leseelementes
zur Lesespur durch Nachregelung der elektromagnetischen Aktuator-Einrichtungen
möglich
wird.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der Erfindung weist der Schreib-/Lesekopf einen mit dem ersten Block
verbundenen zweiten Block auf. Dabei ist die zumindest eine Aktuator-Einrichtung
so angeordnet, daß die
von der elektromagnetischen Aktuator-Einrichtung erzeugten magnetischen
Kräfte
zwischen Träger
und dem zweitem Block wirken.
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Dazu
kann beispielsweise die Aktuator-Einrichtung ein mit dem zweiten
Block verbundenes elektromagnetisches Element, sowie ein mit dem Träger verbundenes
magnetisierbares und/oder permanent magnetisiertes Element, aufweisen.
Ebenso kann umgekehrt die Aktuator-Einrichtung ein mit dem Träger verbundenes
elektromagnetisches Element aufweisen, sowie ein mit dem zweiten
Block verbundenes magnetisierbares oder permanent magnetisiertes
Element. Eine elektromagnetische Aktuator-Einrichtung kann auch
elektromagnetische Elemente, wie insbesondere Spulen umfassen, die
sowohl auf dem zweiten Block, als auch auf dem Träger angeordnet
sind. Dementsprechend können
dann magnetische Kräfte
zwischen den elektromagnetischen Elementen der Aktuator-Einrichtung
erzeugt werden, wenn beide elektromagnetischen Elemente von Strom
durchflossen, beziehungsweise erregt werden.
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Vorteilhaft
kann der Träger
auch federnd auf dem zweiten Block abgestützt sein. Beispielsweise kann
dazu eine Blattfeder mit dem Träger
verbunden sein, die sich mit einer Nase auf dem zweiten Block abstützt.
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Eine
weitere Ausführungsform
der Erfindung sieht einen Schreib-/Lesekopf mit drei elektromagnetischen
Aktuator-Einrichtungen
vor. Damit kann beispielsweise eine Spurnachführung und eine Höhenzustellung
des Schreib-/Leseelementes
durch unabhängig
angesteuerte elektromagnetische Aktuator-Einrichtungen erfolgen.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist der Schreib-/Lesekopf als Flugkörper ausgebildet. Dieser ist
im allgemeinen eingerichtet, auf einem dynamischen Luftlager berührungslos zur
Datenträgeroberfläche zu gleiten.
Flugkörper sind
insbesondere bei Festplatten verbreitet. Ein weiterer Einsatzfall
für Flugkörper sind
auch optische Datenspeicher, in denen Flugkörper einsetzbar sind. Der Einsatz
von Flugkörpern
ist beispielsweise für
die nächste
Generation von DVD-Laufwerken vorgesehen.
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Um
die Gleitfläche
des Flugkörpers
vor Kollisionen mit der Datenträgeroberfläche zu schützen, ist
es vorteilhaft, wenn zumindest ein Bereich der Gleitfläche des
Flugkörper
mit diamantartigem Kohlenstoff (DLC) beschichtet ist. Insbesondere
kann die Gleitfläche
auch Gleitkufen aufweisen, die mit DLC beschichtet sind.
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Die
Erfindung sieht auch ein Verfahren vor, mit welchem ein erfindungsgemäßer Schreib-/Lesekopf
hergestellt werden kann. Dieses umfaßt die Schritte:
- – Aufbringen
zumindest einer Blattfeder auf einer ersten Seite eines ersten Blocks,
welche einen ersten Abschnitt des Blocks mit einem weiteren Abschnitt
des Blocks verbindet,
- – Abtrennen
des ersten Abschnitts um daraus einen Träger für ein Schreib-/Leseelement
zu bilden,
- – Aufbringen
eines Schreib-/Leseelements (2) auf den Träger
- – Anordnen
eines elektromagnetischen Elements entweder auf einem zweiten Block
oder auf dem Träger,
- – Anordnen
eines magnetisierbaren Elements oder eines permanent magnetisierten
Elements oder eines elektromagnetischen Elements entweder auf dem
Träger
oder dem zweiten Block,
- – Zusammenfügen des
ersten Blocks mit dem zweiten Block. Das Anordnen eines magnetisierbaren
Elements oder eines permanent magnetisierten Elements oder eines
weiteren elektromagnetischen Element erfolgt dabei auf dem Träger, wenn
das elektromagnetische Element auf dem zweiten Block angeordnet
wird, oder umgekehrt, auf dem zweiten Block, sofern das elektromagnetische
Element auf dem Träger
angeordnet wird.
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Die
Reihenfolge der Verfahrensschritte wird nicht zwingend in der oben
angegebenen Reihenfolge vorgenommen. So kann beispielsweise das
Aufbringen zumindest einer Blattfeder auch nach dem Abtrennen des
ersten Abschnitts des ersten Blocks erfolgen. Die Verfahrensschritte
können
insbesondere auch in mehreren Zwischenschritten ausgeführt werden,
die in die Ausführung
anderer Verfahrensschritte eingeschoben sind.
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Vom
ersten Abschnitt des ersten Blocks, welches den Träger bildet,
kann vorteilhaft auch Material auf der Seite abgetragen werden,
welche der Seite gegenüberliegt,
mit welcher den ersten Block mit dem zweiten Block zusammengefügt wird.
Auf diese Weise wird erreicht, daß der Träger eine geringere Dicke als
der erste Block, beziehungsweise dessen zweiter Abschnitt aufweist,
so daß der
Träger
bei einer Montage des Schreib-/Lesekopfes auf dem Federsystem ausreichende
Bewegungsfreiheit hat.
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Um
hinreichend große
Magnetfelder mit dem magnetisierbaren Element zu erreichen, ist
es von Vorteil, wenn das Anordnen eines magnetisierbaren Elements
das Aufbringen einer Spulenanordnung umfaßt. Diese kann einlagig sein,
möglich
ist aber auch eine helixförmige
Spule. Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
wird insbesondere eine zumindest zweilagige Spulenanordnung aufgebracht.
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Vorteilhaft
kann das Anordnen eines elektromagnetischen Elements auf einem zweiten
Block oder auf dem Träger
das galvanische Abscheiden eines elektromagnetischen Elements, wie
insbesondere einer Spule umfassen. Mit der Technik des galvanischen
Abscheidens können
sehr kleine leitende Strukturen direkt auf einer Unterlage aufgebracht werden.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform ist
dazu vorgesehen, zunächst
eine leitende Kontaktschicht abzuscheiden, darauf eine Photoresist-Schicht
aufzubringen, diese photolithographisch negativ entsprechend den
Strukturen des elektromagnetischen Elements zu strukturieren, eine
leitende Schicht galvanisch abzuscheiden und anschließend die
Photoresist-Schicht abzulösen.
Um mehrlagige elektromagnetische Elemente, wie insbesondere zwei-
oder mehrlagige Spulen auf dem Block anzuordnen können diese
Verfahrensschritte vorteilhaft auch zwei- oder mehrmals, jeweils
einmal für
jede Lage wiederholt werden.
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Um
das vom elektromagnetischen Element erzeugte Magnetfeld zu verstärken, kann
vorteilhaft das Anordnen eines elektromagnetischen Elements auf
einem zweiten Block oder auf dem Träger das Aufbringen eines Jochs
umfassen. Ebenso ist es vorteilhaft zur Erreichung hinreichend großer magnetischer
Kräfte,
wenn das Anordnen eines magnetisierbaren Elements oder eines permanent
magnetisierten Elements oder elektromagnetischen Elements entweder
auf dem Träger
oder dem zweiten Block das Aufbringen eines Jochs umfaßt. Dieses
Joch kann mit Vorteil ein Rückflußjoch für das Joch
des elektromagnetischen Elements bilden. Beide Joche können gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform des
Verfahrens ebenfalls galvanisch abgeschieden werden.
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Um
die zumindest eine Blattfeder herzustellen, sieht eine Ausführungsform
der Erfindung weiterhin vor, einen ersten Block zu verwenden, welcher auf
der ersten Seite eine Opferschicht aufweist. Dann kann das Herstellen
der Feder in einfacher Weise mikromechanisch erfolgen, indem
- – die
Opferschicht photolithographisch strukturiert wird, so daß die Opferschicht
in Verankerungsbereichen der Blattfeder entfernt wird,
- – dann
ganzflächig
eine Schicht aus polykristallinem Silizium aufgebracht,
- – die
Schicht aus polykristallinem Silizium photolithographisch strukturiert,
und
- – die
Opferschicht entfernt wird.
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Die
beiden Blöcke
werden außerdem
bevorzugt so zusammengefügt,
daß die
empfindliche Blattfeder dem zweiten Block zugewandt ist. Um die
Bewegung der Blattfeder nicht einzuschränken, kann vorteilhaft das
Zusammenfügen
der Blöcke
unter Verwendung eines Abstandshalters erfolgen.
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Bevorzugt
wird das erfindungsgemäße Verfahren
weitgehend im Waferverbund durchgeführt. Dazu kann der Schritt
des Zusammenfügens
des ersten Blocks mit dem zweiten Block vorteilhaft den Schritt
des Zusammenfügens
eines ersten Wafers mit einem zweiten Wafer umfassen. Vorher können auch
die Schritte des Aufbringen zumindest einer Blattfeder auf einer
ersten Seite eines ersten Blocks, welche einen ersten Abschnitt
des Blocks mit einem weiteren Abschnitt des Blocks verbindet, des
Abtrennens des ersten Abschnitts um daraus einen Träger für ein Schreib-/Leseelement
zu bilden, des Anordnens eines elektromagnetischen Elements entweder auf
einem zweiten Block oder auf dem Träger, und des Anordnens eines
magnetisierbaren Elements oder eines permanent magnetisierten Elements
oder eines elektromagnetischen Elements entweder auf dem Träger oder
dem zweiten Block im Waferverbund durchgeführt werden.
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Die
Erfindung wird nachstehend genauer und unter Bezugnahme auf die
beigefügten
Figuren näher
erläutert.
Dabei verweisen gleiche Bezugszeichen auf gleiche oder ähnliche
Teile.
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Es
zeigen:
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1 schematisch
den Aufbau eines Flugkörpers,
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2 einen
Gesamtaufbau eines Schreib-/Lesearms,
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3 eine
Ansicht eines erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes für Festplattenspeicher,
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4 eine
Ansicht eines zweiten Blocks des in 3 gezeigten
erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes,
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5 eine
Ansicht eines ersten Blocks 11 des in 3 gezeigten
Schreib-/Lesekopfes,
-
6A und 6B die
prinzipielle Funktion des erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes,
-
7 eine
Gestaltungsvariante des erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes,
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8A bis 8B Gestaltungsvarianten der
elektromagnetischen Aktuator-Elemente der Aktuator-Einrichtung.
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9A eine
Ausführungsform
des Schreib-/Lesekopfes als Magnetbandkopf,
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9B eine
Ausführungsform
als Flugkörper
für optische
Speicher,
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10A bis 10F Anhand
schematischer Ansichten Verfahrensschritte zur Herstellung eines
erfindungsgemäßen Körpers eines Schreib-/Lesekopfes.
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1 zeigt
schematisch den Aufbau eines als Flugkörper ausgebildeten Schreib-/Lesekopfes, wie
er typischerweise in Festplattenspeichern zu finden ist. Der Flugkörper trägt auf seiner
Unterseite eine profilierte Gleitfläche 10, die sog "Air Bearing Surface
(ABS)", welche zusammen
mit der als Datenträger
dienenden Magnetplatte ein dynamisches Luftlager bildet und das
Schreib-/Leseelement 2 auf einer bestimmten Flughöhe hält. Typische
Flughöhen liegen
derzeit bei 15 nm.
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2 zeigt
einen Gesamtaufbau eines Schreib-/Lesearms, wie er typischerweise
in Festplattenspeichern zu finden ist. Bei einer derartigen Anordnung
ist ein als Flugkörper
ausgebildeter Schreib-/Lesekopf 1 an einer Aufhängung 4 ("Suspension") befestigt, die
mittels eines Positionierers 3 bewegt wird. Bisher haben
in Festplattenspeichern eingesetzte Flugkörper weder die Möglichkeit
einer Feinzustellung zur Spurfolge, noch eine Einrichtung zur Einstellung
der Flughöhe.
Spurzugriff und Spurfolge sind miteinander kombiniert und werden
durch den Positionierer 3 bewerkstelligt, der den Flugkörper 1 über Aufhängung 4 und
Flugkörper 1 über der gewünschten
Datenspur 6 positioniert.
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3 zeigt
eine Ansicht eines erfindungsgemäßen, als
Ganzes mit dem Bezugszeichen 1 bezeichneten Schreib-/Lesekopf mit integriertem
Mikroaktuator. Der Schreib-/Lesekopf 1 ist
dabei als Flugkörper
ausgebildet. Er umfaßt
einen ersten Block 11, und einen mit dem ersten Block 11 beweglich
verbundenen Montageblock oder Träger 14,
auf welchem ein Schreib-/Leseelement 2 angeordnet ist.
Außerdem
weist der Flugkörper
zwei elektromagnetische Aktuator-Einrichtungen
mit jeweils einem elektromagnetischen Element zur Erzeugung von
magnetischen Kräften
auf, die auf den Träger 14 vermittelt werden.
Dazu befinden sich auf einem zweiten Block 7, welches das
Flugkörper-Unterteil
bildet, die Aktivteile des magnetischen Antriebes in Form von elektromagnetischen
Elementen 8 und 9. Die Gleitfläche 10 des zweiten
Blocks 7 ist der Datenplatte zugewandt.
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Der
erste Block 11, welcher das Flugkörper-Oberteil bildet, weist
ein Federsystem auf, welches in dieser Ausführungsform zwei Blattfedern 12 und 13 umfaßt. Die
Federn 12 und 13 schaffen eine federnd bewegliche
Verbindung des daran angebrachten Trägers 14 zum ersten
Block 11. Die Seite 15 dient als Montagefläche für das Federsystem 4. Am
Träger 14 ist
ein Schreib-/Lesechip 16 befestigt. Der Schreib-/Lesechip 16 trägt das vorzugsweise dünnfilmtechnisch
hergestellte Schreib-/Leseelement 2. Er ist mit dem Träger 14 durch
einen Bondbereich 17 verbunden. Das Schreib-/Leseelement 2 kann
auch, anders als in 3 dargestellt ist, auf der dem
Bondbereich 17 zugewandten Seite angeordnet sein.
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Zwischen
dem ersten und zweiten Block 11 und 7 ist außerdem ein
Abstandshalter oder Zwischensubstrat 18 angeordnet, welches
den gewünschten
Abstand zwischen oberen und unteren Flugkörperteilen herstellt, um den
Blattfedern 12, 13, beziehungsweise dem Träger 14 hinreichend
Bewegungsspielraum zu geben.
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4 zeigt
eine Ansicht des unteren Flugkörperteils,
beziehungsweise des zweiten Blocks 7. Auf der Seite 71 – sie ist
dem oberen Flugkörperteil, beziehungsweise
dem ersten Block 11 zugewandt – befinden sich die elektromagnetischen
Elemente 8 und 9 der Magnetsysteme oder elektromagnetischen Aktuator-Einrichtungen.
Das elektromagnetische Element 8 umfaßt ein Joch 19 mit
den Polen 20 und 21 und eine Spule 22.
Das elektromagnetische Element 9 umfaßt ein Joch 23 mit
den Polen 24 und 25 und eine Spule 26.
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5 zeigt
eine Ansicht des oberen Flugkörperteils,
beziehungsweise des ersten Blocks 11 mit damit federnd
verbundenem Träger 14.
Auf der dem zweiten Block 7 zugewandten Seite 141 des
Trägers 14 des
oberen Flugkörperteils
sind passive Elemente der elektromagnetischen Aktuator-Einrichtungen
in Form zweier magnetisierbarer Elemente 28 und 29 angeordnet.
Sind die Blöcke
zusammengefügt,
so wirken die von der elektromagnetischen Aktuator-Einrichtung erzeugten
magnetischen Kräfte
zwischen Träger 14 und
dem zweitem Block 7, indem die elektromagnetischen Elemente 9 und 10 auf
dem zweiten Block 7 jeweils ein Magnetfeld erzeugen, welches
auf die mit dem Träger 14 verbundenen
magnetisierbaren Elemente 28 und 29 einwirkt,
so daß sich
die elektromagnetischen Elemente 9 und 10 und die
magnetisierbaren Elemente 28 und 29 anziehen.
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Zwei
am ersten Block 11 befestigte Blattfedern 12 und 13 tragen
den Träger 14.
Seine Fläche 27 dient
als Montagefläche
für den
in 5 zum Zwecke der Übersichtlichkeit nicht dargestellten Schreib-/Lesechip 16.
Die Herstellung der Blattfedern erfolgt in Dünnfilm-Oberflächentechnologie, die Freilegung
des Blocks in Dünnfilm-Volumentechnologie.
Gegensinnige oder einseitige Auslenkung mittels der Aktuator Einrichtungen
führt zu
einer Schwenkung, gleichsinnige zu einer Vertikalbewegung des Trägers 14.
Da die Winkel nur klein sind, führt
die Schwenkung primär
zu einer Auslenkung des Trägers 14 und
damit zu einer Lateralbewegung des daran befestigten Schreib-/Lesechips.
Eine gleichsinnige Auslenkung bewirkt eine Vertikalbewegung und damit
eine Zustellung der Flughöhe.
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Die 6A und 6B zeigen
die prinzipielle Funktion des erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes, wobei
das System in Schreib-/Leserichtung betrachtet wird. Träger 14 und
Schreib-/Lesechip 16 sind schematisch als Balken gezeigt.
Wie auch anhand von 3 zu erkennen ist, ist das Schreib-/Leseelement 2 in
Leserichtung gesehen zwischen den beiden Aktuator-Elementen angeordnet.
Das Schreib-/Leseelement
umfaßt
hier einen Schreib-/Lesespalt 30. Insbesondere ist das
Schreib-/Leseelement 2 in Leserichtung gesehen senkrecht
zu einer Ebene durch die Aktuator-Elemente des Trägers 14 versetzt angeordnet,
so daß sich die
in den 6A und 6B schematisch
dargestellte T-förmige Anordnung
ergibt.
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Der
Schreib-/Lesespalt 30 befindet sich an dem in den 6A und 6B nach
unten zeigenden, der Datenträgeroberfläche zugewandten
Ende des Schreib-/Lesechips. Um beispielsweise die Flughöhe einzustellen,
fließt
in der Spule 22 des elektromagnetischen Aktuator-Elements 8 im
wesentlichen der gleiche Strom wie in der Spule 26 des
Aktuator-Elements 9. Damit wirken beide Aktivteile mit
gleicher Kraft auf die magnetisierbaren Elemente 28 und 29 ein,
was zu einer vertikalen Bewegung des Schreib-/Lesespalts 30 bis
zur Einstellung eines Kräftegleichgewichts
aus einwirkender magnetischer Kraft und Rückstellkraft der Federn 12, 13 führt. Diesen
Modus der Nachführung
zeigt 6A.
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Unterschiedliche
Ströme
durch die Spulen 22 und 26 der beiden elektromagnetischen
Elemente 8 und 9 führen dagegen, wie 6B zeigt,
zu einer Schwenkung. Erregt man beispielsweise das elektromagnetische
Aktuator-Element 8 stärker
als das rechte Aktuator-Element 9, so resultiert hieraus
eine stärkere
anziehende Kraft auf das magnetisierbare Element 28 als
auf das magnetisierbare Element 29, was in der in den 6A und 6B gezeigten Blickrichtung
zu einer Schwenkung entgegen dem Uhrzeigersinn führt. Die magnetischen Anziehungskräfte sind
durch die von den waagerechten dargestellten Schenkeln ausgehenden
Pfeile symbolisiert. Auf Grund der kleinen Winkel und der T-förmigen Anordnung
von Schreib-/Leseelement 2,
beziehungsweise dessen Schreib/-Lesespalt 30 und der beiden magnetisierbaren
Aktuator-Elemente 28 und 29 wird dadurch der Schreib-/Lesespalt 30 lateral
entlang der Datenträgeroberfläche verschoben.
Um eine Spurfolge zu erzielen, rotiert das System also um eine Schwenkachse,
die parallel zur Schreib-/Leserichtung verläuft, beziehungsweise bei einer
wie in 3 gezeigten Ausführngsform um die Längsachse
des Flugkörpers.
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7 zeigt
eine Gestaltungsvariante des erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes. Sie
zeichnet sich dadurch aus, daß der
Träger 14 federnd
auf dem zweiten Block abgestützt
ist. Dazu weist der Schreib-/Lesekopf eine dritte, zentral angeordnete Blattfeder 31 auf,
welche am Träger 14 befestigt
ist und sich mit der Nase 32 auf dem zweiten Block 7 abstützt. Diese
Anordnung erlaubt unter anderem eine besonders feinfühlige Verstellung
des Abstands des Schreib-/Leseelements zur Datenträgeroberfläche. Alternativ
kann die Nase auch auf dem zweiten Block 7 angeordnet sein
und sich auf der zentral angeordneten Blattfeder 31 abstützen.
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Die 8A bis 8E zeigen
Gestaltungsvarianten der elektromagnetischen Aktuator-Elemente der
Aktuator-Einrichtung. 8A stellt
den bisher gezeigten Aufbau mit zwei aktiven elektromagnetischen
Elementen 8 und 9 dar, welche jeweils eine Spule 22,
beziehungsweise 26, sowie Joche 19 und 23 mit
Polen 20, 21, beziehungsweise 24, 25 umfassen.
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Die
in 8B dargestellte Gestaltungsvariante weist eine
andere Lage von Joch und Polen auf. Die Joche 19 und 23 stehen
bei dieser Variante schräg
zueinander.
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8C zeigt
eine Ausführungsform,
bei welcher ein gemeinsamer Schenkel eines Jochs 191 die Spulen 22, 26 zweier
elektromagnetischer Aktuator-Einrichtungen verbindet.
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8D zeigt
ein Beispiel einer Ausführungsform
der Erfindung mit drei elektromagnetischen Aktuator-Einrichtungen. Dementsprechend
sind bei dieser Ausführungsform
drei elektromagnetische Elemente mit Spulen 221, 222, 223 vorhanden,
welche die Pole 201, 203, 205 dreier
Joche 191, 192, 193 umgeben. Diese Anordnung
erlaubt beispielesweise eine getrennte Ansteuerung von Spurfolge- und Flughöhenzustellung.
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Die
in 8E dargestelte Kongfiguration weist ebenfalls
drei aktive Teile auf, diesmal jedoch mit einem gemeinsamen Joch 191 mit
drei Polen 201, 202, 203, welche von
den Spulen 221, 222, 223 dreier elektromagnetischer
Aktuator-Einrichtungen umgeben
sind.
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Der
erfindungsgemäße Schreib-/Lesekopf mit
integriertem Mikroaktuator läßt sich
nicht nur in Festplattenspeichern, sondern auch beispielsweise in
Bandlaufwerken und optischen Datenspeichern einsetzen. 9A zeigt
eine Ausführungsform
des Schreib-/Lesekopfes als Magnetbandkopf.
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Anstelle
des Schreib-/Lesechips 16 kommt ein Mehrspurkopf 33 zum
Einsatz, der ebenfalls an dem Träger 14 befestigt
wird. In der gezeigten Version liegt der mit dem Band in Kontakt
befindliche Kopfspiegel 34 gegenüber der Montagefläche am Träger 14.
Im Kopfspiegel 34 befinden sich typischerweise in zwei
Zeilen die Schreib-/Lese-Elemente 331 und 332 des
Mehrspurkopfs 33. Das Band läuft quer über den Kopf, die Spurzustellung
erfolgt in vertikaler Richtung. Alternativ kann der Kopfspiegel
auch an einer der Seiten 333, 334 des Mehrspurkopfes 33 angeordnet
sein. Diese Version erlaubt, neben einer Spurzustellung durch Schwenken,
analog zum Festplattenspeichereinsatz eine aktive Bandkraftkontrolle.
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Ein
weiterer Einsatzfall sind optische Datenspeicher, die Flugkörper einsetzen.
Auch der Einsatz von Flugkörpern
ist für
die nächste
Generation von DVD-Laufwerken ins Auge gefasst. Dazu zeigt 9B eine
mögliche
Ausführungsform
eines Flugkörpers
mit Mikroaktuator für
optische Speicher. Hierzu ist ein Träger 37 für ein optisches
Schreib-/Leseelement
mit einem optischen System, welches eine Linse 38 umfaßt, oder
ein magnetooptisches Schreib-/Leseelement, das ein Magnetsystem 39 mit Linse 38 umfaßt, am Träger 14 befestigt,
je nachdem, ob die Speicherung optisch oder magnetooptisch erfolgt.
In diesem Anwendungsfall ist wie beim Festplattenspeicher eine Lateral-
und Vertikalzustellung möglich.
Bei der in 9B gezeigten Ausführungsform
wird außerdem
nicht, wie bei der in den 3 gezeigten
Ausführungsform
die Fläche 15,
sondern die gegenüberliegende
Fläche 10 als
Montagefläche verwendet.
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Im
folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen
von Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes 1 beschrieben. Die
Herstellung von für
den Schreib-/Lesekopf geeigneten Jochen, Spulen und in dieser Anmeldung
als Festkörpergelenke
bezeichneten Blattfedern wird auch in der WO 02/47241 A1 beschrieben.
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Die 10A bis 10F zeigen
Verfahrensschritte zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Schreib-/Lesekopfes.
Das Verfahren wird bevorzugt im Waferverbund durchgeführt, wobei
der fertige Schreib-/Lesekopf zwei Blöcke umfaßt. Das Gesamtsystem wird auf
zwei Wafern aufgebaut, die dann durch geeignete Aufbautechnik miteinander
verbunden werden.
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In 10A ist zunächst
ein erster Wafer 36 mit einem ersten Block 7 dargestellt.
Auf diesem Wafer erfolgt der Aufbau des Federsystems und des Trägers für den Schreib-/Lesechip sowie des
magnetischen Rückschlusses
oder der magnetisierbaren Elemente der elektromagnetischen Aktuator-Einrichtungen.
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Der
Block 11 im Wafer 36 ist in drei gedachte Abschnitte 112, 113 und 114 untergliedert.
Auf einer ersten Seite 361 des Wafers 36, beziehungsweise des
darin eingebetteten Blocks 7 und Trägers 14 ist außerdem eine
Opferschicht 363 vorhanden. Bevorzugt umfaßt die Opferschicht 363 eine
Siliziumoxid-Schicht. Auf diese Seite 361 werden die Blattfedern 12 und 13 aufgebracht,
wobei die Blattfedern den ersten Abschnitt 112 mit dem
weiteren Abschnitt 113 verbinden. Vorzugsweise wird für den ersten
Wafer 36 ein Siliziumwafer verwendet.
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10B zeigt den Wafer 36 nach einer ersten
Verarbeitungsphase. Zunächst
wird die Opferschicht durch photolithographisches Strukturieren
in vorgesehenen Verankerungsbereichen 365, 366 entfernt,
in denen die Verankerung der Blattfedern erfolgt, die den Träger halten.
Dazu wird eine Photomaske erzeugt, das Siliziumdioxid reaktiv geätzt und die
Maske abgelöst.
Anschließend
wird ganzflächig eine
Schicht aus polykristallinem Silizium aufgebracht woraus später insbesondere
die Blattfedern entstehen. Die Herstellung der Blattfedern folgt
mittels einschlägiger
und dem Fachmann bekannter Prozesse der Silizium-Mikromechanik.
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Anschließend erfolgt
das Rücksetzen
und das Abtrennen des Abschnitts 112 vom Hauptteil 113 des
Blocks 11, sowie das Entfernen des Abschnitts 114.
Das Rücksetzen
ist vorteilhaft, um im montierten Zustand Kontakt mit der Suspension
zu vermeiden. Das Abtrennen des Montageblocks vom Hauptteil des
oberen Flugkörpers
ist von Vorteil, um dem Montageblock nach dem später erfolgenden Entfernen der
Opferschicht unter den Blattfedern volle Beweglichkeit zu geben.
Dazu wurde im Bereich des Abschnitts 112 Material auf der
Seite 362 des Wafers abgetragen, so daß dieser Abschnitt eine geringere Dicke
aufweist als der Abschnitt 113. Hierzu wird zunächst die
(in 4 nach oben gerichtete) Seite 362 des
Wafers mittels einer Photomaske maskiert und die Öffnung mittels
reaktiven Ätzens
erzeugt. Außerdem
wurde der Abschnitt 112 vom Abschnitt 113 abgetrennt,
um daraus einen Träger
für ein
Schreib-/Leseelement
zu bilden. Das Entfernen des Abschnitts 114 ist vorteilhaft,
um beispielsweise später
Kontaktpads des mit dem Block 11 verbundenen weiteren Blocks
zugänglich
zu machen. Die Schritte können durch
photolithographische Strukturierung und reaktives Ätzen erfolgen.
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Die
nächsten
Fertigungsschritte finden wiederum an der Seite 361 des Wafers 36 statt.
Es wird mittels einer Photomaske die Struktur von Blattfeder mit
Verankerung definiert und anschließend durch reaktives Ätzen erzeugt.
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Als
nächstes
wird die obere Flussführung, beziehungsweise
die mit dem Träger
verbundenen magnetisierbaren Elemente 28, 29 aufgebracht,
die Schrittfolge entspricht der weiter unten dargestellten Schrittfolge
beim Herstellen der Jochschenkel der Joche der elektromagnetischen
Aktuator-Einrichtungen.
Zum Abschluss erfolgt die Freilegung von Blattfedern und Montageblock
durch Ätzen
der SiO2-Opferschicht 363.
Dieser Verarbeitungszustand ist in 10C dargestellt.
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10D zeigt einen zweiten Wafer 35. Aus diesem
wird der zweite Block 7 mit den Aktivteilen, beziehungsweise
elektromagnetischen Aktuator-Elementen 8 und 9 hergestellt.
Das Material dieses Wafers kann Silizium oder auch Aluminiumoxid-Titankarbid
("Altic") sein. Zunächst wird
auf der Waferseite 351 das Profil der Gleitfläche 10 erzeugt.
Dies geschieht in mehreren Stufen mittels Ionenstrahlätzen oder
reaktiven Ionenätzen.
Vor jedem Ätzvorgang wird
die gewünschte
Gleitflächen-Kontur
mittels Photolithographie definiert. Nach Fertigstellung der Gleitfläche wird
die Waferoberfläche
mit diamantartigem Kohlenstoff "Diamondlike
carbon, DLC" beschichtet, das
später
als Verschleißschutz
dient. Bei der Erzeugung der ABS werden ferner einige Noppen erzeugt, deren
Höhe unter
der Flughöhe
des Systems liegen. Sie dienen zum Schutz der ABS bei späteren Einschleifvorgängen zum
Einstellen der Polhöhe
des Schreib-/Leseelements.
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Nach
der Fertigstellung der Seite 351 erfolgt nun auf der gegenüberliegenden
Seite 352 der Aufbau der elektromagnetischen Aktuator-Elemente. Der
erste Fertigungsschritt ist die Herstellung der Jochschenkel 195, 235.
Die Einzelschritte hierfür sind:
Niederschlag einer Kontaktschicht aus dem Magnetwerkstoff mittels
Kathodenzerstäubens,
Erzeugen einer Photomaske, die ein Negativ der zu erzeugenden Magnetschenkelstruktur
darstellt, galvanische Abformung des Schenkels, Strippen des Photoresists
und Entfernen der Kontaktschicht mittels Ionenstrahlätzen.
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Nun
folgt die Aufbringung einer planarisierenden Isolierschicht 355,
wobei hierzu ein fotoempfindliches Epoxydharz zum Einsatz kommt.
In den Bereichen, in denen später
die Pole des Magnetsystems aufwachsen, wird mittels geeigneter Photolithographieschritte
hierfür
jeweils eine Öffnung 357 erzeugt.
Dieser Verarbeitungszustand des Wafers 35 ist in 10D dargestellt.
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Als
nächstes
erfolgt die Fertigung der zweilagigen Spule. Die Herstellung der
ersten Spulenlage 261 sowie der Zuleitungen und der Anschlussflecken oder
Kontaktpads 263 erfolgt beispielsweise mittels der folgenden
Einzelschritte: Niederschlag einer Kontaktschicht aus Leitermaterial
mittels Kathodenzerstäubens,
Erzeugen einer Photomaske, die eine Negativform der zu erzeugenden
Spulenlage darstellt, galvanische Abformung von Leitern und Spulenlage,
Strippen des Photoresists und Ätzen
der Kontaktschicht. Als nächstes
wird diese Spulenlage isoliert, wobei wiederum ein fotoempfindliches
Epoxydharz zum Einsatz kommt. In den Bereichen der Magnetpole und
zur Herstellung eines Vias, also von Durchführungen zur nächsthöheren Spulenlage,
erhält
die Schicht geeignete Fenster. Danach erfolgt die Fabrikation von
Vias mittels galvanischer Abformung. Nun folgt die Herstellung der
zweiten Spulenlage 262, sowie der Zuleitungen 264,
die in der Schrittfolge mit denen zur Herstellung der ersten übereinstimmt.
Auf die fertiggestellte zweite Spulenlage und Zuleitungen wird erneut
eine organische, fotoempfindliche Isolierschicht aufgebracht, die
wiederum im Bereich der Magnetpole Fenster erhält. Eine galvanische Verstärkung der
Kontaktflecken 263 – hierzu kann
erneut eine Photomaskierung verwendet werden, um nur an den Kontaktpads
Schichtaufbau zu erzielen – schließt den Spulenaufbau
ab. Die Spulen sind durch das Aufbringen photoempfindlicher Isoloerschichten
und Abscheiden der Spulenlagen so insgesamt in eine isolierende
Schicht 265 aus photoempfindlichem Epoxidharz eingebettet.
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Eine
anorganische Schutzschicht 359 bettet die Gesamtstruktur
mit Ausnahme der Kontaktpads – sie
werden mittels einer Photomaske abgedeckt – ein. Die Fertigstellung des
Magnetsystems erfolgt mit dem galvanischen Aufwachsen der Magnetpole,
gefolgt von einer Planarisierung des Wafers. Nach der Planarisierung
werden galvanisch auf den Polflächen Anschläge erzeugt.
Den Abschluss bildet eine Passivierung des gesamten Wafers mit Ausnahme
der mittels einer Photomaske abgedeckten Kontaktpads durch Aufbringen
einer Passivierungsschicht. Diesen Verarbeitungszustand zeigt 10E.
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Damit
ist der Waferprozess für
beide Wafer abgeschlossen. Als nächstes
erfolgt die Herstellung des Gesamtsystems durch Verbinden der Wafer
und durch das Aufbringen des Schreib-/Lesechips 16. Auf Grund
des notwendigen Abstandes zwischen den beiden Wafern 35, 36 erfolgt
die Verbindung der Wafer nicht direkt, vielmehr ist ein dazwischen
angeordneter Abstandhalter von Vorteil.
-
Die
Verbindung der drei Teile (Wafer 35, Abstandhalter 18 und
Wafer 36) erfolgt mittels eines Bondprozesses. Durch Trennschleifen
erfolgt ein Vereinzeln in Barren. Auf Barrenniveau werden die Schreib-/Lesechips 16 durch
einen Bondprozess am Montageblock montiert, danach erfolgt das Zertrennen
der Barren in Einzelsysteme, beziehungsweise Schreib-/Leseköpfe. Dieser
abschließende
Verarbeitungszustand, der im wesentlichen einer Seitenansicht der
in 3 dargestellten Ausführungsform entspricht, ist
in 10F dargestellt.
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Als
Werkstoff für
die Wafer 35, 36 für ersten Block 11 und
zweiten Block 7 eignet sich Silizium, wobei für den Wafer 35 mit
dem zweiten Block 7 alternativ unter anderem auch Aluminiumoxid-Titankarbid
("Altic") in Frage kommt.
Als Werkstoff für
den Abstandhalter eignet sich Keramik, Metall oder auch Silizium.
Der Waferwerkstoff des Schreib-/Lesechips kann
ebemfalls Altic oder Silizium sein. Als Schutzschicht für die Gleitkufen
kommt bevorzugt DLC zum Einsatz. Für die magnetisierbaren Elemente
und die Joche kommt bevorzugt weichmagnetisches Material mit hoher
Sättigungsflussdichte
zum Einsatz. Besonders geeignet sind als "Permalloy" bezeichnete Nickel-Eisen-Legierungen,
und zwar in der Zusammensetzung NiFe (81-19), oder NiFe (45-55),
als "Sendust" bezeichnetes AlFeSi
und NiFeTa. Da sich Nickel-Eisen gaivanisch abscheiden läßt, ist
es ein bevorzugter Material. Bevorzugtes Leitermaterial für Zuleitungen
und Spulenwicklungen ist Kupfer, da es wesentlich geringere Neigung
zu Elektromigration zeigt als andere Leiter. Prinzipiell lassen
sich aber auch andere elektrisch leitende Werkstoffe einsetzen.
Als Isolator eignen sich anorganische Werkstoffe wie A2O3, oder SiO2 die
sich auch gut als Passivierungsschichten nutzen lassen. Ferner sind
aber auch organische Werkstoffe tauglich, die insbesondere dann
von Vorteil sind, wenn sie sich photolithographisch strukturieren
lassen. Ein fotoempfindliches Epoxydharz mit der Markenbezeichnung
SU8 ist hier besonders geeignet. Als Werkstoff für die Blattfedern eignet sich
besonders polykristallines Silizium (Polysilizium) oder Siliziumdioxid
(SiO2).
-
- 1
- Schreib-/Lesekopf
- 2
- Schreib-/Leseelement
- 3
- Positionierer
- 4
- Suspension
- 5
- Magnetkopf
- 6
- Datenspur
- 7
- zweiter
Block
- 8,
9
- elektromagnetische
Elemente
- 10
- Gleitfläche
- 11
- erster
Block
- 12,
13
- Blattfedern
- 14
- Montageblock,
Träger
- 15
- Seite
von 11
- 16
- Schreib-/Lesechip
- 17
- Bondbereich
für Chip 16
- 18
- Abstandshalter
- 19,
23, 191, 192, 19
- Joch
- 20,
21, 24, 25, 201-204
- Pole
- 22,
26, 221-223
- Spulen
- 23
- Joch,
rechts
- 27
- Montagefläche Montageblock-Chip
- 28,
29
- magnetisierbares
Element
- 30
- Schreib-/Lesespalt
- 31
- Zentrale
Blattfeder
- 32
- Nase
- 33
- Mehrspurkopf
- 34
- Kopfspiegel,
Version A
- 35
- Unterer
Wafer
- 36
- Oberer
Wafer
- 37
- Träger für optisches
System
- 38
- Linse
- 39
- Magnetspule
- 40
- Schicht
aus polykristallinem Silizium
- 71
- dem
ersten Block 11 zugewandte Seite von 7
- 112,
113, 114
- Abschnitte
von 11
- 141
- dem
zweiten Block 7 zugewandte Seite von 14
- 195,
235
- Schenkel
von 19, 23
- 261
- erste
Spulenlage
- 262
- zweite
Spulenlage
- 263
- Kontaktpads
- 264
- Zuleitung
- 265
- isolierende
Schicht
- 331,
332
- Schreib-/Lese-Elemente von 33
- 333,
334
- Seiten
von 33
- 355
- planarisierende
Isolierschicht
- 357
- Öffnung in 355
- 359
- anorganische
Schutzschicht
- 361,
362
- Seiten
von 36
- 363
- Opferschicht
- 365,
366
- Verankerungsbereiche
in 363