DE2160970A1

DE2160970A1 - Mehrspurmagnetkopf und Verfahren zu dessen Herstellung

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Publication number: DE2160970A1
Application number: DE19712160970
Authority: DE
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1970-12-11
Filing date: 1971-12-08
Publication date: 1972-06-29
Also published as: FR2117058A5; US3718776A; GB1358084A

Description

WTAWWAI.T

Dipl. ing. E. HOLZEU 80 AUGSBUTiO

-WEtSKT» -STRASSB 14 nuns. »137S

I. 129

Augsburg, den 7. Dezember 1971

International Business Machines Corporation, Armonk,

N.Y» 10 504, V.St.A.

•Mehrspurmagnetkopf und Verfahren zu dessen Herstellung

Die Erfindung betrifft Mehrspurmagnetköpfe, welche für jede Spur mindestens einen magnetischen Kreis, eine Wicklung und einen durch einander überlappende Teile des magnetischen Kreises gebildeten Magnetspalt aufweisen. Die Erfindung betrifft außerdem Verfahren zur Herstellung solcher Magnetköpfe.

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Mit Mehrspurmagnetköpfen der genannten Art werden in elektronischen Datenverarbeitungsanlagen elektrische Signale in definierte Zustände eines magnetischen Aufzeichnungsträgers umgewandelt und umgekehrt.

In elektronischen Datenverarbeitungsanlagen nimmt die Dichte der auf magnetischen Aufzeichnungsträgern, wie beispielsweise Magnettrommeln, -bändern oder -platten, * zu speichernden Information immer mehr zu. Die diskreten magnetisierten Bereiche auf den Aufzeichnungsträgern sind deshalb sehr klein geworden und mit scharfen übergängen an ihren Grenzen eng nebeneinander angeordnet. Bei ausgeführten Anlagen beträgt beispielsweise jeweils angenähert die Aufzeichnungsdichte in Flußwechsel (FW)/mm, die Aufzeichnungsgeschwindigkeit in cm/s und die Spurbreite in mm:

Dichte Geschwindigkeit Spurbreite

Audio
Video

Magnetplatte
(im Rechner)

Magnetband
(im Rechner)

Im Vergleich zu diesen Werten wird in der gegenwärtigen technischen Literatur für zukünftige Magnetbänder

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FW/mm	cm/3	mm
-788	2,5-17,8/20,3;38,2/40,7	0,89
-788	2540	0,15
159	2540 .	0,11
126	508	1,0

in Rechnern bereits von Aufzeichnungsdichten von I965 FW/mm, AufZeichnungsgeschwindigkeiten von 5080 cm/s und Spurbreiten von 0,025 mm gesprochen.

Magnetköpfe für bereits ausgeführte Anlagen werden nach einer Vielzahl von Präzisionsverfahren hergestellt und weisen sehr genaue Magnetspalte auf, deren Spaltbreite hauptsächlich von der Bitdichte bestimmt wird. Beispielsweise beträgt die Spaltbreite bei einem Magnetkopf für Magnetbänder in Rechnern etwa 0,002 mm. Bei einem Magnetkopf, welcher für eine Bitdichte von I965 PW/mm ausgelegt ist, ist eine Spaltbreite von 0,0005 mm erforderlich, welche sich mit den vorhandenen Herstellungsverfahren, bei welchen die Spaltbreite durch zwei aneinander liegende Teile festgelegt wird, nur mit äußersten Schwierigkeiten genau herstellen läßt. Die Ausbildung des Spaltes wird stark vereinfacht, wenn der Spalt zwischen zwei einander überlappenden Teilen gebildet wird, wobei ein nicht magnetisches Distanzstück die Spaltbreite festlegt. Beispielsweise werden bei bekannten überlappten 1-Spur-Magnetköpfen zwei Seite an Seite angeordnete dicke ferromagnetische Platten durch eine nichtmagnetische Folie, deren Stärke gleich der gewünschten Spaltbreite ist, in bestimmtem Abstand voneinander gehalten. Derartige

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I-Spur-Magnetköpfe sind bei einer sehr dichten Mehrspuraufzeichnung nicht verwendbar, weil der Abstand einer Vielzahl von benachbarten Magnetköpfen zu groß werden würde und nicht genau bestimmt werden könnte. Gemäß einer bereits vorgeschlagenen Lösung dieses Mehrspurproblems werden Plattenpaare in Sandwich-Bauweise gestapelt. Dadurch ergeben sich jedoch Abschirmprobleme zwischen den Spuren

* und es wird außerdem der minimale Spurabstand auf den Wicklungsdurchmesser begrenzt. Gemäß einem weiteren bekannten Vorschlag wird das Abschirmproblem dadurch gelöst, daß der Magnetkopf aus einem einzigen Streifen hergestellt wird, welcher auf einer Seite isoliert ist und welcher für jede Spur mit einer auf den Streifen zurückgebogenen Lasche versehen ist. Bei dieser Lösung begrenzt der V/icklungsdurchmesser jedoch ebenfalls den Minimalabstand zwischen den Spuren. Außerdem erzeugt der Aufbau aus einem einzelnen kontinuierlichen Streifen übersprechprobleme.

Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, einen Mehrspurmagnetkopf zu schaffen, welcher einen minimalen Spurabstand bei gleichzeitig guter Abschirmung zwischen den einzelnen Spuren ermöglicht. Außerdem soll

-H-

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ein Verfahren zur Herstellung derartiger Magnetköpfe angegeben werden.

Im Sinne der Lösung dieser Aufgabe beinhaltet die Erfindung einen Mehrspurmagnetkopf, welcher für jede Spur mindestens einen magnetischen Kreis, eine Wicklung und einen durch einander überlappende Teile des magnetischen Kreises gebildeten Magnetspalt aufweist. Ein solcher Mehrspurmagnetkopf ist gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Fläche eine Vielzahl voneinander trennbarer erster Teile des magnetischen Kreises bildet, daß ferner eine zweite Fläche neben der ersten Fläche angebracht ist und eine Vielzahl ebenfalls voneinander trennbarer zweiter Teile des magnetischen Kreises bildet, daß weiter jeweils eine Wicklung jeweils einem der jeweils von den ersten und zweiten Teilen durch die Webeneinanderanordnung der ersten und zweiten Flächen gebildeten magnetischen Kreise zugeordnet ist, und daß endlich Befestigungsmittel zur Herstellung der magnetischen Kreise und der Wicklungen vorgesehen sind.

Der Mehrspurmagnetkopf nach der Erfindung wird aus zwei Magnetschichten hergestellt, welche mit Abstand voneinander angeordnete Elemente aufweisen. Jedes Element ist ein vollständiger magnetischer Kreis mit einem genau

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definierten Spalt, Die Elemente sind in einer Linie mit genau festgelegtem Abstand voneinander derart angeordnet, daß sie jeweils mit ihrer Wicklung parallel zu dieser Linie liegen und dadurch kurze Spurabstände ermöglichen.

Jede Schicht weist einen aktiven Magnetkopfelementbereich, einen Haltebereich und einen entfernbaren Bereich auf, welch letzterer das erstmalige Zusammenbauen des Magnetkopfes erleichtert. Die Schichten bestehen jeweils aus einer Lage magnetischen Materials hoher Permeabilität, wie beispielsweise Permalloy oder Molybdän-Permalloy, welche ausreichend stark ist und sich selbst trägt oder welche auf einen Träger aufgebracht ist. In jeder Schicht ist eine Reihe von abwechselnd dreischenkeligen und zweischenkeligen Teilen gebildet, welche längs der Grenze zwischen dem aktiven Bereich und dem entfernbaren Bereich angeordnet sind. Die Schichten sind derart komplementär P ausgeführt, daß in zusammengepaßtem Zustand jedes dreischenkelige Teil neben einem zweischenkeligen Teil liegt und einen vollständigen magnetischen Kreis bildet. Vor dem Zusammenpassen wird auf die Schenkel längs der Grenze einer Schicht ein nichtmagnetischer Film bzw. eine nichtmagnetische Schicht aufgebracht, welche den Spalt zwischen einander überlappenden komplementären zwei- und dreischenkeligen Teilen einander gegenüberliegender

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Schichten festlegt. Vorgewickelte Spulen werden über einen der Schenkel jedes dreischenkeligen Teiles auf der, der genannten Grenze abgewandten Seite geschoben. Die Schichten werden sodann zusammengepaßt, wobei für jedes Element einander überlappende Ecken eines der Schenkel auf jeder Schicht aneinander befestigt werden, beispielsweise durch Schweißen, um den magnetischen Kreis zu vervollständigen, über jede Spule wird ein Abschirmbecher geschoben. Der gesamte Magnetkopf wird anschließend, bei Bedarf mit anderen derartigen Magnetköpfen zusammen, in einem Halter angebracht und zu einer festen Einheit verkapselt. Abschließend wird der entfernbare Bereich abgeschliffen, um die Spalte freizulegen.

Die Erfindung beinhaltet außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines dicht gepackten Mehrspurmagnetkopfes, welches gemäß der Erfindung durch folgende Schritte gekennzeichnet ist:

a) Herstellen einer ersten und einer zweiten Schicht aus magnetischem Material, welche nebeneinander angeordnete Teile von magnetischen Kreisen tragen,

b) Aufbringen eines Distanzmaterials auf bestimmte Bereiche der Teile der magnetischen Kreise der ersten

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Schicht zwecks Bildung eines Magnetspaltes,

c) Aufbringen einer Wicklung jeweils auf einen j weiteren Bereich bestimmter Teile dieser Teile der magnetischen Kreise auf beiden Schichten,

d) Aufeinanderpassen der beiden Schichten zur Bildung der magnetischen Kreise, welche jeweils eine Wicklung

P und einen überlappenden Magnetspalt aufweisen,

e) Aneinanderbefestigen der komplementären Teile zur Bildung von jeweils vollständigen magnetischen Kreisen mit jeweils einem MagnetspaIt,

f) mechanisches Verbinden der Schichten miteinander in bestimmter Lage, und

fc, g) Entfernen überschüssigen Schichtmaterials zwecks

Freilegen der Spalte.

Mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. IA in perspektivischer Darstellung

einen Mehrspurmagnetkopf nach

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der Erfindung, welcher bei Magnetbändern verwendet wird,

Pig. IB in perspektivischer Darstellung einen

Mehrspurmagnetkopf nach der Erfindung, welcher bei Magnetplatten verwendet wird,

Fig. 2 in perspektivischer Darstellung

innere Teile eines Mehrspurmagnetkopfes nach der Erfindung,

die Pig. 3 und 4 jeweils Draufsichten auf typische

Magnetschichten des Mehrspurmagnetkopf es nach der Erfindung,

Pig. 5 als Einzelheit in auseinanderge

zogener Darstellung ein Magnetkopfelement einschließlich einer Wicklung des Mehrspurmagnetkopfes nach der Erfindung,

Pig. 6 eine Rückansicht des in Fig. 5 darge

stellten Magnetkopfelementes sowie dessen Lage in bezug auf einen Abschirmbecher,

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die Pig. 7 und 8 jeweils Einzelheiten des Herstellungsverfahrens der Magnetschichten, und

die Fig. 9 und 10 weitere bevorzugte Ausführungsformen des Mehrspurmagnetkopfes nach der Erfindung.

In Pig. IA ist ein Mehrspurmagnetkopf 10 zum Aufzeichnen ψ und Lesen von Informationen dargestellt, die als magnetisierte Flächenbereiche auf Spuren 102 eines sich in der eingezeichneten Pfeilrichtung bewegenden Magnetbandes aufgezeichnet sind. Die Bandbewegung in der eingezeichneten Pfeilrichtung dient lediglich zu Darstellungszwecken, denn jede Relativbewegung zwischen dem Magnetkopf und dem Band ist möglich. Der Magnetkopf 10 weist eine gekrümmte Oberfläche auf, über -welche das Band 101 hinweggleitet, um aufeinanderfolgende Reihen in den Spuren 102 an einem Ik Schreibspalt 103 und einem Lesespalt 104 vorbeizuführen. Die Information wird in Form von magnetischen Zuständen durch ein für jede Spur im Schreibspalt 103 gebildetes Magnetfeld auf dem Band aufgezeichnet, und zwar jeweils eine Reihe gleichzeitig. Aufgezeichnete magnetische Zustände werden wiederum als elektrische Signale in den Lesespulen empfangen. Der Schreibspalt 103 ist durch den Abstand zwischen zwei magnetischen Schichten 105 und der Leseepalt 104 in

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gleicher Weise durch den Abstand zwischen zwei magnetischen Schichten 106 festgelegt. Diese Schichten sind innerhalb eines Gehäuses gehaltert, welches eine MittelteilabschirmunE 109 mit Wicklungsschlitzen 110 und 111, ein Schreibgehäuse 107 und ein Lesegehäuse 108 aufweist. Passlöcher 113» welche durch das gesamte Gehäuse hindurchgeführt sind, nehmen Passchrauben 112 zum Zusammenschrauben des Kopfes auf.

Der Schreibspalt 103 und seine Magnetschichten 105 bzw. der Lesespalt 10¹I und seine Magnet schicht en 10 6 bilden einen Schreib- bzw. Lesebereich. Wenn die Schreibund Lesebereiche zwischen der Mittelteilabschirmung 109 und dem Giehäuse 107 bzw. 108 angeordnet sind, sorgt die Mittelteilabschirmuni* 109 für die gewünschte Trennung zwischen den Matten des Schreibspaltes 103 und des Lesespaltes 104, während sie gleichzeitig eine elektromagnetische Abschirmung zwischen den Magnetkopfschreib- und -leseelementen darstellt, was im folgenden noch näher beschrieben ist. Ein typischer Abstand zwischen der; Schreibspalt und dem Lesespalt 10*1 beträgt 3,'o min. Die Mittelteilabschirmun^ 109 kann entweder massiv oder geblättert ausgeführt sein. Typische .-later ialien, welche vorwiegend "leiten", sind beispielsweise Kupfer oder Messing, während

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ein vorwiegend "magnetisches" Material beispielsweise Molybdän-Permalloy,ist. Wenn die Mittelteilabschirmunc massiv ausgeführt ist, wird gewöhnlich ein Leitermaterial gewählt, ist sie hingegen geblättert ausgeführt, werden abwechselnde Schichten eines Leitermaterials und eines Magnetmaterials gewählt. Das Schreibgehäuse 107 und das Lesegehäuse lOB schützen die Magnetelemente vor Beschädigung und sind derart geformt, daß sich das Band den Spalten 103 und 104 nähern und von diesen wieder entfernen kann. Die Gehäuse 107 und 108 können aus jedem geeigneten massiven oder geblätterten Metall oder Nichtmetall hergestellt sein; Messing ist ein typisches Material für Massivgehäuse.

Pig. IB zeigt einen Magnetkopf 10^f, welcher zwar dem gleichen Zweck wie der Magnetkopf 10 dient, jedoch zum Aufzeichnen bzw. Lesen von Informationen dient, die auf Spuren 102' einer rotierenden Magnetplatte 101' gespeichert werden bzw. sind. Dabei ist jede Relativbewegung zulässig, wie oben bereits beschrieben. Der Schreibspalt 103' ist durch Schichten 105^! und der Lesespalt 104' durch Schichten 106' festgelegt. Lese- und Schreibbereiche, Vielehe jeweils von einem Spalt und zwei Schichten gebildet werden, sind jeweils zwischen

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Mittelteilabschirmung 109' und einem Schreibgehäuse 107^f bzw. einem Lesegehäuse 108· angeordnet. Die gesamte Magnetkopfanordnung ist an einem Arm 114 gehaltert. Der Magnetkopf 10' "schwimmt" bzw. "fliegt" oberhalb der Oberfläche der Platte 101' und ist zum Lesen sämtlicher Spuren 102' an bestimmten Stellen der Platte 101 positionierbar. Der Kopf 10' wird zwar gewöhnlich so positioniert, daß ein Zugriff zu einer Vielzahl von Spuren parallel erfolgt, er kann jedoch auch für einen sequentiellen Informationszugriff auf einer Spur verwendet werden,. Bei den konstruktiven Einzelheiten des Magnetkopfes 10', welche ansonsten denjenigen des bei Magnetbändern verwendeten Magnetkopfes 10 gleich sind, wird insbesondere auf eine Gewichtseinsparung am Kopf 10^f Rücksicht genommen, damit dieser "fliegen" kann. Die nachfolgende Beschreibung gilt in gleicher Weise für die Köpfe 10 und 10^f.

Unter Bezugnahme auf Fig. 2 werden Einzelheiten des Schreibbereiches, welcher aus dem Schreibspalt 103 und den Schichten 105A und 105B besteht, näher erläutert. Der Lesebereich, welcher aus dem Lesespalt 104 und Schichten 106 besteht, weist den gleichen Aufbau auf. Die Schichten und 106 können aus jedem geeigneten Blech bzw. jeder geeigneten Lamelle oder Schicht bestehen, was im folgenden näher

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beschrieben ist. Der Schreibbereich weist Halter 200 sowie neun Schreibelemente auf, welche jeweils aus einem "C"-Element 201 und einem "!/'-Element 202 bestehen und jeweils aus zwei Schichten aufgebaut sind. Es sind zwar neun Schreibelemente zum Schreiben von neun Spuren auf einem Magnetband dargestellt, es kann jedoch jede beliebige Anzahl von Schreibelementen vorgesehen sein. Außerdem ist es nicht erforderlich, daß Anzahl und Größe von Schreibelementen und Leseelernenten identisch ist. Die C-Elemente- 201 sind jeweils dreischenkelige Schichtteile in Form eines seitenverkehrten Buchstabens "C". Die L-Elemente 202 sind jeweils zweischenkelige Schichtteile in Form eines auf dem Kopf stehenden Buchstabens "L". Wicklungen 204 sind jeweils auf den unteren Schenkel jedes C-Elementes 201 aufgeschoben und in dieser Lage durch den langen Schenkel des entsprechenden L-Elementes gehaltert. Jedes Paar von C- und L-Elementen bildet einen Schreibspalt 203. Sämtliche Schreibelemente und Halter werden durch Einklemmen zwischen Gehäusen und durch Einkapseln oder andere geeignete Maßnahmen in ihrer Lage festgehalten, was im folgenden näher beschrieben ist. Außerdem sind über die Wicklungen 204 jeweils Abschirmbecher geschoben. Die Schichten 105A und 105B werden durch

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Pass- bzw. Befestigungsschrauben, welche durch Passlöcher hindurchgeführt werden, in mit Bezug auf die Mittelteilabschirmung 109 bestimmter Lage festgehalten. Die Mittelteilabschirmung besteht bei dem hier gewählten Beispiel aus einer Vielzahl von Lamellen 1O9A, 1O9B, 1O9C, usw.

Die Wicklungen 204 sind auf den C-Elementen längs einer Achse angeordnet, welche parallel zu einer durch die Schreibspalte 203 verlaufenden Linie verläuft, die um 90° gegenüber der normalen Wicklungsposition in Magnetköpfen herkömmlicher Bauart gedreht ist. Die für neun Spuren vorgesehenen neun Elemente in dem Magnetkopf nach Fig. 2 können aus vier Stücken 10 ^A, 105B und 106 aus magnetischem Material, wie beispielsweise Permalloy, hergestellt sein. Neun L-Elemente 202 sind jeweils von einem C-Element 201 überlagert, damit Platz für vorgewickelte Spulen bzw. Wicklungen 204 übrigbleibt, welche jeweils über den unteren Schenkel jedes C-Elementes geschoben werden. Entsprechende C-Elemente und L-Elemente können dann miteinander verschweißt werden, bevor der Kopf zusammengebaut wird.

In den Fig. 3 und 4 ist jeweils als Einzelheit die Form der Schichten 1O5A und 105B dargestellt, um ihren Aufbau und die Bildung der Schreibspalte 203 zu zeigen.

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Die Leseschichten 10b sind nach dem gleichen Prinzip aufgebaut. Die Schichten 1O5A und 1O5B sind jeweils so geformt, daß sich Halter 200 mit Passlöchern 113 sowie eine Folge von C-Elementen 201A bzw. 2O2B und L-EIementen 2O2A bzw. 201B ergeben. Am oberen Rand der Halter 200 und an den oberen Schenkeln sämtlicher Elemente der Schicht 105B ist jeweils ein ,Spaltmaterial 300 ange- |k bracht. Dieses Spaltmaterial dient als Distanzstück zwischen den Schichten 1ObA und 10^B zur Bildung von Schreibspalten 203. Das Anbringungsverfahren des Spaltmaterials 300 ist unkritisch, d.h. es kann durch Aufdampfen oder Niederschlagen oder mit Hilfe eines Bindemittels usw. auf eine oder beide Schichten 105A und 105B aufgebracht werden. Typisches Spaltmaterial ist im folgenden angegeben. Die Schichten 105A und 105B können aus jedem Material bestehen, welches eine hohe Permeabilität aufweist, wie beispielsweise Molybdän-Nickel-Eisen-Legierungen, für welche Hy-Mu 80 und Hy-Mu 800 typisch sind. Da die Schichten, wie im folgenden noch näher beschrieben, durch elektrische Entladung, Ätzen, Elektronenstrahlen oder ähnliche Verfahren gebildet v/erden, können sie sehr dünn sein. Bei der hier beschriebenen bevorzugten Ausführunrsform beträgt die .Stärke des Materials der Schichten lO'^A und 105B jeweils 0,35 mm und der Schichten 106 jeweils C,25 :-.n.

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von '-Γ¹;/ π ΊΠ 7

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Der Zusammenbau typischer Elemente 2O1A und 2O2A und die Bildung des Schreibspaltes durch das Spaltmaterial ist in Fi^. 5 dargestellt. Das C-Element 201A weist einen oberen Schenkel 5O3> einen unteren Schenkel und einen Seitenschenkel 505 auf. Das L-Element 202A besteht aus einem oberen Schenkel 506 und aus einem Seitenschenkel 507. Das Spaltmaterial 300 ist zwischen den oberen Schenkeln 503 und 506 eingefügt. Der untere Schenkel 5ö4 und der Seitenschenkel 507 sind an Stellen und 502 innen verschweißt. Vor dem Zusammenfügen und Verschweißen wird die Wicklung 204 auf den unteren Schenkel aufgeschoben. Eine Schaltung 500 kann an dem oberen Schenkel 503 oder an einer anderen, für den Anschluß der Drähte der Wicklung 2öH günstigen Stelle angebracht sein. Die Schaltung 500 kann einen Verstärker, einen Transformator usw. aufweisen. Damit werden Schaltungen an einer Stelle vorgesehen, an welcher sich eine Vergrößerung des Rauschabstandes der Elemente ergibt.

Der durch das Spaltmaterial 300 gebildete Spalt richtet einen Magnetfluß zum Schreiben auf das Band und führt, im Falle eines Lesespaltes, den Lesefluß durch

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die Wicklung hindurch. Bei den: üblichen Herstellungsverfahren wird eine Schicht, wie beispielsweise das Spaltmaterial 300, geeigneter Stärke zwischen den beiden Elenenten 201A und 2O2A, welche ein Magnetkopfelement bilden, angebracht. Diese Schicht besteht gewöhnlich aus einer nichtmagnetischen Legierung, wie beispielsweise einer

_ hochfesten Legierung auf Kobaltbasis, et v/a mit der Zusammensetzung 4200-2OCr-IoFe-ISiIi-Y-Io. Andere Verfahren, welche jeweils viele Abweichungen von dem genannten aufweisen können, sind ebenfalls möglich. Beispielsweise kann eine dünne Schicht auf eines oder beide Elemente 201A und 2O2A durch Niederschlagen im Vakuum oder durch Aufsprühen aufgebracht werden, wobei Siliziummonoxid für diesen Zweck ein typisches Material ist. In einigen Fällen, wenn die Elemente 201A und 202A jeweils durch Fotoätztechnik hergestellt werden, kann der Spalt auch

P dadurch gebildet werden, daß eine Schicht aus lichtempfindlichem Lack auf der gewünschten Spaltfläche belassen und anschließend das Material zum Aushärten aufgeheizt wird. Es ist außerdem möglich, das Spaltmaterial 300 durch Galvanisieren oder durch stromlosen Metallauftrag zu bilden. Gemäß einem weiteren Verfahren kann eine Oxidschicht auf der Fläche der Lamellen in der Nähe des

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Spaltes durch Oxydieren der Spaltfläche während einer bestimmten Zeitspanne in einer gesteuerten Atmosphäre aufgebaut werden. Außerdem kann die erforderliche Schichtstärke durch Auftragen und Trocknen einer Suspension aus Siliziumdioxid oder einem ähnlichen Material auf den Lamellen erhalten werden. Eine typische Schichtstärke des Spaltmaterials beträft 0,0025 mm.

Die Wicklung 204 hat eine bestimmte Windungszahl, welche durch die gewünschten Ausgangs- und Eingangssignalpegel und durch die Bandgeschwindigkeit festgelegt ist. Wenn beispielsweise beim Lesen ein Ausgangssignal von 6 mV gewünscht wird und sich das Band mit 95 cm/s bewegt, besteht die Wicklung 204 aus 250 Windungen eines 50'er Drahtes (amerikanische Drahtlehre). Die Windungszahl kann durch die Verwendung eines Transformators in der Schaltung 500 oder an anderer geeigneter Stelle stark verringert werden. Der Transformator hebt das Signal, welches sich bei einer geringeren Windungszahl ergibt, auf einen höheren Spannungspegel und hat außerdem gegenüber einem Verstärker mit hoher Verstärkung, welcher ebenfalls in der Schaltung 500 oder an anderer Stelle eingebaut sein könnte, zahlreiche Vorteile. Der Transformator ist nor-

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ν; ': 7 / η M- 7 _BAD original

malerweise billiger als ein Verstärker, er driftet nicht, benötigt keine besondere Energiequelle, kann an erdfreie, abgeglichene Eintaktschaltungen mit Mittelanzapfung bzw. an jede beliebige Schaltung angepaßt werden und weist eine stabile Verstärkung auf. Ein gewünschter Betrieb läßt sich mittels eines Transformators erreichen, welcher in der Lage ist, eine Quelle mit niedriger Impedanz, beispielsweise mit 3 Ohm, an eine Belastung mit hoher Impedanz, beispielsweise mit 10 000 0hm, anzupassen. Der Transformator sollte bei sämtlichen Frequenzen zwischen 1 kHz und 60 kHz eine vernachlässigbare Phasenverschiebung erbringen und eine effektive Spannungsverstärkung von etwa 30 haben. Wenn in der Nähe des Magnetkopfes ein gesonderter Transformator angebracht werden soll, so eignet sich dafür das Modell D0-T6 der United Transformer Company.

Fig. 6 zeigt das in Fig. 5 dargestellte Element von der Rückseite her, und zwar zusammengebaut und fertig zum Einbau in einen Abschirmbecher 6o6. Ein Rückseitenspalt 600 ist durch die mit Bezug auf Fig. 5 beschriebene Innenschweißung gebildet. Der Abschirmbecher 6θβ kann über jedes zusammengebaute Element in dem Magnetkopf

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geschoben werden. Die Abschirmbecher können beispielsweise aus 0,05 mm starkem und 1,9 mm breitem Molybdän-Permalloy-Band hergestellt werden, welches normalgeglüht, isoliert und für Schreibelemente um einen Dorn mit 1,1 mm Durchmesser bzw. für Leseelemente um einen Dorn mit 1,0 mm Durchmesser gewickelt wird. Das Normalglühen wird zwischen Stücken aus Keramikzeug bei einer Temperatur von 900° C bis 950° C in einem Vakuum mit 5 x 10 Torr bis 5 x 10 Torr während einer Zeitdauer von ein bis zwei Stunden vorgenommen, woran sich ein geeigneter Abkühlungsvorgang anschließt. Anschließend kann ein 0,4 mm breiter Streifen eines 0,03 mm starken Polyesterfilms auf die Innenfläche des Molybdän- Permalloy-Bandes aufgeklebt werden, um mögliche elektrische Kurzschlüsse zwischen der Wicklung 204 und dem Abschirmbecher 606 zu verhindern. Der Abschirmstreifen wird sodann derart um den Dorn herumgewickelt, daß sich eine Überlappung von 0,3 mm ergibt, welche anschließend verlötet wird. Laschen 6o4 und 6O5, welche sich an dem fertiggestellten Magnetkopf zwischen den Spuren erstrecken und zur Abschirmung um den Spalt 300 herum beitragen, können durch Sägen oder Schleifen gebildet werden.

Im folgenden werden Einzelheiten der Herstellung und

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des Zusammenbaues eines Magnetkopfes unter Bezugnahme auf die Fig. 7 und 8 beschrieben. Die Schicht 105A wird als Beispiel für sämtliche Schichten 105 und 106 beschrieben. Die Schicht 105 besteht aus Permalloy und wird nach oben bereits beschriebenen Verfahren derart bearbeitet, daß an einer zukünftigen Schnittlinie durch einen Rand 700 gehalterte C-Elemente 201A und L-Elemente 202A freigelegt W sind. Die Schichten werden anschließend während ein bis zwei Stunden zwischen Stücken aus Keramikzeug bei einer Temperatur von 900⁰C bis 95O°C in einem Vakuum von

-5 -6

5 x 10 ^J Torr bis 5 x 10 Torr normalgeglüht. Typische Normalglühbedingungen zur Ausbildung optimaler magnetischer und physikalischer Eigenschaften sind eine Glühdauer von einer Stunde bei 900⁰C in einem Vakuum von 5 χ 10~ Torr bei Aufheiz- und Abkühlungsgeschwindigkeiten von 1000 °C/h. Durch diese Wärmebehandlung im Vakuum werden Spannungen, fc die im Permalloy durch Kaltwalzen erzeugt werden, entfernt und es wird eine für anschließende Schweißoperationen erwünschte saubere und blanke Oberfläche erzielt. Die Wicklungen 204 werden jeweils über die unteren Schenkel der C-Elemente 201A geschoben, wie in Fig. 5 dargestellt, und anschließend werden die Schichten, für welche die Schichten 105A und 105B typisch sind, zusammengepaßt. Die beiden entsprechenden Schichten 105 und 106 werden

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sodann an den Stellen 501 und 502, vgl. Fig. 5, zusammengeschweißt, während die Schichten durch eine Vorrichtung aufeinander ausgerichtet gehalten werden. Herkömmliche Peinschweißgeräte, welche mit einer Spannung von 1 V bis 2 V während 2 ms betrieben werden, können verwendet werden. Der Rand 700 sollte ebenfalls bei 1 V bis 2 V während einer Dauer von 12 ms punktgeschweißt werden, damit die Ausrichtung der Laraellen aufeinander aufrechterhalten bleibt, nachdem diese von der genannten Vorrichtung abgenommen worden sind. Es ist wichtig, daß die geschweißten Flächen von Verunreinigungen freigehalten werden, da die beim Schweißen verwendeten niedrigen Spannungen dünne Isolierschichten, welche aufgrund von Widerstandsänderungen eine veränderliche Schweißqualität hervorrufen, nicht zu durchbrechen vermögen. Durch das Schweißen kann sich'ein äquivalenter Luftspalt von etwa 0,13 χ 10 mm ergeben, ohne daß dadurch der Betrieb des Magnetkopfes nachteilig beeinflußt wird. Nunmehr können die Abschirmbecher 6θ6 über die Elemente geschoben werden, wie in Fig. 6 dargestellt. Danach können die vollständigen Schreibund Lesebereiche auf der einen bzw. anderen Seite der MitteIteilatschirmung 109 an ihr entsprechendes Gehäuse 107 bzw. 108 angesetzt werden, v:ie in Fig. IA dargestellt. Passchrauben 112 werden durch Passlöcher 113

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eingeführt und elektrische Anschlußleitungen der Wicklungen bzw. der Schaltungen 500 werden an nicht dargestellten Anschlußstiften angelötet. Hohlräume innerhalb des Magnetkopfes werden mit einem sich verfestigenden Material, wie beispielsweise Epoxidharz, ausgefüllt. Nachdem das Epoxidharz im Ofen ausgehärtet worden ist, wird der Rand 700 abgesägt und die Oberseite des Magnetkopfes wird auf die erforderliche Konturform geschlichtet, geschliffen und geläppt.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Wicklungsanordnung innerhalb des Magnetkopfes ist in Fig. 9 dargestellt. Das Verfahren der Herstellung der Schichten und des Zusammenbaues des Magnetkopfes gleicht ansonsten dem oben beschriebenen Verfahren. Anstelle der oben beschriebenen C-Elemente und L-Elernente bilden bei der in Fig. 9 dargestellten Ausführungsform des Magnetkopfes nach der Erfindung jeweils L-Elemente 901 und L-Elemente Spalte 902. Ein Stab 905 verbindet die L-Elemente 901 mit den L-Elementen 900, bildet die rückseitigen Spalte und trägt außerdem die Wicklungen 904. Gesonderte Kopfelemente, welche jeweils durch Paare von L-Elementen gebildet werden, können im Anschluß an das Anbringen des Stabes 905 dadurch voneinander getrennt werden, daß

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der Stab an Stellen 906 durchtrennt wird. Der Stab 905 kann jedoch alternativ aus einem Verbundmaterial bestehen, welches abwechselnd magnetisch und an den Stellen 906 oder in der Nähe derselben nicht magnetisch ist. Der Stab vereinfacht das Anbringen der Wicklungen 904 dadurch, daß sämtliche Wicklungen auf den Stab 905 aufgeschoben bzw. gewickelt werden können, welcher danach in den Kopf eingefügt wird.

Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen sind zwar lediglich selbsttragende Schichten verwendet worden, es liegt jedoch im Rahmen der Erfindung, den Magnetkopf in mehreren Verfahrensschritten in Dünnfilmtechnik herzustellen, wobei Material auf ein Substrat aufgedampft, galvanisch aufgetragen oder niedergeschlagen wird.

In Fig. 10 ist ein Ausführungsbeispiel eines in Dünnfilmtechnik hergestellten Magnetkopfes nach der Erfindung dargestellt. Zwei Elemente, bei welchen es sich jeweils um ein Lese- oder Schreibelement eines 9-Spur-Magnetkopfes der in den Pig. IA und IB dargestellten Art handeln kann, sind gezeigt. Ein Magnetspalt 1003 wird durch einander überlappende magnetische Dünnfilmschichten 1002

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und 1OO4 gebildet, welche beispielsweise aus Permalloy bestehen. Ein durch Teile 1007, 1008 und 1009 gebildeter Leiter verläuft unter einem Winkel von 90° zu dem Spalt durch die Schichten hindurch und .bildet eine um eine zu dem Spalt parallel verlaufende Linie herumführende Windung. Das Element ist auf einem isolierenden Substrat 1001, welches beispielsweise aus Keramik, Glas oder oxydiertem

ψ Silizium besteht, aufgebaut. Es kann zwar auch ein Leitermaterial dafür verwendet werden, dann ist jedoch eine zusätzliche Isolierschicht zwischen dem Substrat 1001 und dem Windungsleiterteil 1007 erforderlich. Schlitze 1005 und 1006 werden in jede Dünnfilmschicht 1002 und lOOM jeweils vom Rand aus zu dem aus den Teilen 1007, 1008 und 1009 gebildeten Windungsleiter hin eingeschnitten, um sicherzustellen, daß der durch den Strom in dem Leiter erzeugte Magnetfluß den Spalt überquert und beim Schreiben

■ ein äußeres Aufzeichnungsfeld erzeugt bzw. während des Lesens den Fluß des Magnetbandes um den Leiter herumführt. Der magnetische Kreis ist an der Stelle, an welcher die Dünnfilmschichten 1002 und 1004 aufeinandertreffen, geschlossen.

Das Gesamtelement besteht aus acht Schichten, welche

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jeweils durch ein Photoresist-Verfahren, d.h. durch ein Verfahren, bei welchem ein lichtempfindlicher Lack verwendet wird, festgelegt werden können. Die Metallschichten 1007 und 1009 können durch Niederschlagen im Vakuum oder durch elektrolytische oder stromlose Verfahren aufgebracht werden. Der Leiterabschnitt 1008 besetzt ein Loch, welches durch ein stromloses oder ähnliches Verfahren ausgefüllt worden ist. Im folgenden werden die Einzelheiten eines Herstellungsverfahrens beschrieben:

Schritt 1:

überziehen des Substrats 1001 mit einer Kupferschicht,

Schritte 2 bis 8: Herstellen des unteren Leiters 1007

unter Verwendung eines lichtempfindlichen

Lackes. Bei dieser Folge von Schritten wird ein lichtempfindlicher Lack aufgetragen, getrocknet, durch eine entsprechende Maske hindurch belichtet, die nichtbelichtete Lackschicht gelöst, die freigewordene Kupferschicht weggeätzt und schließlich der restliche Lackschichtstreifen abgezogen,

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Schritt 9: Aufbringen einer Siliziummonoxid-Isolier-

schicht im Vakuum,

Schritt 10: Überziehen mit einer Nickel-Eisen-Legierung,

Schritte 11 bis 17: Verwendung eines lichtempfindlichen ρ Lackes zur Herstellung des unteren

Elementes des magnetischen Kreises 1002 einschließlich des Schlitzes 1005»

Schritt 18: Aufbringen des Spaltmaterials,

Schritte 19 bis 25: Verwendung eines lichtempfindlichen

Lackes zur Herstellung des Spaltes 1003 einschließlich des Loches,

Schritt 26: überziehen mit einer Nickel-Eisen-Legierung,

Schritte 27 bis 33: Verwendung eines lichtempfindlichen

Lackes zur Herstellung des oberen Elementes des magnetischen Kreises einschließlich des Schlitzes 1006,

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Schritt 34:

Aufbringen einer Siliziummonoxid-Isolierschicht im Vakuum,

Schritte 35 bis 4l:

Verwenden eines lichtempfindlichen Lackes zum Öffnen der Löcher und zum Freilegen des unteren Kontaktsteges durch Hindurchätzen durch beide Oxidschichten,

Schritt 42:

Aufbringen des oberen Leiters 1009 und des Leiterteiles innerhalb des Loches, um eine Verbindung mit dem unteren Leiter 1007 herzustellen, wobei die Stärke des unteren Kontaktsteges verdoppelt wird,

Schritte 43 bis 49:

Anwenden von lichtempfindlichem Lack zum Herstellen des oberen Leiters und der Kontaktstege,

Schritt 50:

Aufbringen einer Siliziummonoxid-Isolierschicht im Vakuum, und

Schritte 51 bis 57:

Anwenden von lichtempfindlichem Lack zum Freilegen beider Kontaktstege.

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Die oben beschriebenen verschiedenen Ausführungsformen eines Mehrspurmagnetkopfes nach der Erfindung enthalten eine Vielzahl von Merkmalen, welche auf eine Verbesserung der Leistungsfähigkeit desselben abzielen. Beispielsweise können die Schichten einschließlich der Mittelteilabschirmungs- und Gehäuselamellen oxydiert werden, um eine Oberflächenschicht zur Isolation der

P Bleche voneinander und damit zur Verringerung von Wirbelströmen zu erzeugen. Wenn die Lamellen eine Stärke von 0,013 mm bis 0,05 mm aufweisen und wenn das Material bei 427°C eine Stunde lang in einem Luftumlaufοfen oxydiert wird, wird eine Oxidschicht von etwa 0,*l χ 1O^-^ mm Stärke gebildet. Da sämtliche Spuren des Mehrspurmagnetkopfes aus dem gleichen Materialstück geschnitten sind, ergibt sich keine Addition von Spurpositionstoleranzen. Der Mehrspurmagnetkopf nach der Erfindung ist deshalb für eine

^ Fließfertigung besonders geeignet. Aufgrund der geringen Abmessungen des Mehrspurmagnetkopfes nach der Erfindung wird dessen überziehen mit einer versehleißmindernden Metallschicht vereinfacht.

Im Rahmen der Erfindung bietet sich dem Fachmann über die beschriebenen Ausführungsbeispiele hinaus selbst-

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verständlich eine Vielzahl von Vereinfachungs- und Verbesserungsmöglichkeiten hinsichtlich des Aufbaues des erfindungsgemäßen Mehrspurmagnetkopfes.

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Claims

Patentansprüche

(!.^Mehrspurmagnetkopf, welcher für jede Spur mindestens einen magnetischen Kreis, eine Wicklung und einen durch einander überlappende Teile des magnetischen Kreises gebildeten Magnetspalt aufweist, dadurch gekennzeichnet,

} daß eine erste Fläche (105A) eine Vielzahl voneinander trennbarer erster Teile (201A, 2O2A; 901) des magnetischen Kreises bildet, daß ferner eine zweite Fläche (105B) neben der ersten Fläche angebracht ist und eine Vielzahl ebenfalls voneinander trennbarer zweiter Teile (20IB, 202B; 900) des magnetischen Kreises bildet, daß weiter jeweils eine Wicklung (204 bzw. 904) jeweils einem der jeweils von den ersten und zweiten Teilen durch die Nebeneinanderanordnung der ersten und zweiten Flächen gebildeten

^ magnetischen Kreise zugeordnet ist, und daß endlich Befestigungsmittel (107, 108, 112, 113, 200) zur Halterung der magnetischen Kreise und der Wicklungen vorgesehen sind.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungen (904) jeweils auf einem Verbindungsteil (905) zwischen den ersten und zweiten Teilen (900, 901) gehaltert sind.

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3. Magnetkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsteil (905) aus einem Verbundmaterial mit magnetischen Bereichen jeweils zum Schließen der magnetischen Kreise (901, 900) und mit nichtmagnetischen Bereichen (906) jeweils zum Trennen der magnetischen Kreise voneinander besteht.

4. Mehrspurmagnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sämtliche Spalte (103) eines Schreibbereiches in einer Ebene und sämtliche Spalte (104) eines Lesebereiches in einer weiteren Ebene liegen, daß ferner die erste Fläche (IO5A) mit der zweiten Fläche (IO5B) zusammengepaßte Lamellenpaare (105 bzw. 106) bildet, welche jeweils gesonderte magnetische Kreise (201, 202) und Spalte (203) bilden und welche für jede von η Spuren (102) jeweils eine rechtwinkelig zur Spaltebene angeordnete Wicklung (204) tragen, wobei jedes Lamellenpaar

a) eine erste Lamelle (105A), die in einem Ausgangszustand m Wicklung3halter (201A) bildet, zwischen welche jeweils einen magnetischen Kreis schließende n-m Schenkel (2O2A) gesetzt sind, wobei die Halter und Schenkel jeweils einen, einen Spalt (203) bildenden Teil (503 bzw. 506)

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aufweisen, der mit einem gegenüberliegenden Schenkel (2O1B) bzw. Halter (202B) einer weiteren Lamelle (105B) zusammenpaßt, und

b) eine zweite Lamelle (1O5B) aufweist, die in einem Ausgangszustand n-m Wicklungshalter (202B) bildet, zwischen welche jeweils einen magnetischen Kreis schließende m Schenkel (2O1B) gesetzt sind, wobei die Halter und Schenkel jeweils einen, einen Spalt bildenden Teil (503 bzw. 506) aufweisen,

daß weiter eine die Spaltbreite festlegende Lamelle (300) vorgesehen ist, welche zwischen den jeweils einen Spalt bildenden Teilen der ersten und zweiten Lamellen (105A, IO5B) angeordnet ist und m Spalte (203) bildet, welch letztere durch die jeweils einen Spalt bildenden Teile zusammengepaßter Halter und Schenkel festgelegt 3ind, und daß schließlich Einrichtungen (501, 502) zum Miteinanderverbinden jeweils der zusammengepaßten Halter (504) mit deren gegenüberliegenden Schenkeln (507) und damit zum Schließen jeweils der magnetischen Kreise vorgesehen sind.

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5. Magnetkopf nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch Abschirmmittel (109), welche zwischen den Lamellenpaaren (105 bzw. 106) angebracht sind und diese magnetisch voneinander trennen.

6. Magnetkopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmmittel (109) jeweils von einem Abschirmblech gebildet sind und daß die Lamellenpaare (105 bzw. 106) und die Abschirmbleche durch die Befestigungsmittel (107, 108, 112, 113) feet miteinander verbunden sind.

7. Mehrspurmagnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Flächen (105A, 105B) zwei Schichten aus magnetischem Material mit jeweils einem aktiven, Seitenteile (200) tragenden Mittelteil und jeweils einem entfernbaren, nur zur vorübergehenden Halterung dienenden Oberteil (700) bilden, daß ferner die ersten und zweiten Teile für jede Spur (102) jeweils einen mehrschenkeligen Ansatz (201A, 202A, 201B, 202B) an dem Oberteil bilden, wobei zwei derartige Ansätze (201A, 201B bzw. 202A, 202B) ein Magnetkopfelement für eine Spur bilden, wenn die Schichten

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zusammengepaßt sind, daß weiter jeweils auf einem Schenkel (504) der Ansätze für jede Spur jeweils eine der Wicklungen (204) angebracht ist, daß fernerhin nichtmagnetisches Material (300) mit einem Teil (503, 506) sämtlicher Ansätze einer Schicht in Berührung ist und bei zusammengepaßten Schichten einen Magnetspalt (203) festlegt, daß weiterhin bei zusammengepaßten Schichten (105A, 105B) jeweils zwei zusammengepaßte Ansätze (504, 507) mechanisch miteinander verbunden sind und dadurch jeweils ein magnetischer Kreis geschlossen ist, und daß schließlich die Hohlräume der Schichten durch Füllmaterial ausgefüllt und dadurch die zusammengepaßten Schichten zu einer Einheit miteinander verbunden sind.

8. Mehrspurmagnetkopf nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Ansätze (201A bzw, 2O2B) der einen Schicht eines magnetischen Kreises C-förmig und diejenigen (202A, 20IB)der anderen Schicht eines magnetischen Kreises L-förmig sind und daß sich jeweils ein Schenkel (503) der einen Schicht und ein Schenkel (506) der anderen Schicht zur Bildung des Magnetspaltes einander überlappen.

9. Mehrspurmagnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 9,

2 0 9 ,. < 7 / 0 ¹J 0 7

dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungen (204, 904) jeweils von einem Abschirmbecher (606) umschlossen sind.

10. Mehrspurmagnetkopf,weIcher für jede Spur einen magnetischen Kreis, eine Wicklung und einen durch einander überlappende Teile des magnetischen Kreises gebildeten Lese/Schreibspalt aufweist, gekennzeichnet durch eine erste Schicht (1002), welche eine Vielzahl erster Teile von magnetischen Kreisen bildet, ferner durch eine zweite Schicht (1003), welche auf einem Bereich der ersten Schicht angeordnet ist und diesen Bereich von einer folgenden Schicht trennt, und endlich durch eine dritte Schicht (1004), welche auf den ersten und zweiten Schichten angeordnet ist und eine Vielzahl zweiter Teile .der magnetischen Kreise bildet.

11. Magnetkopf nach Anspruch 10, gekennzeichnet dureh eine Vielzahl von Leitern (1007, 1008, 1009), welche jeweils einem der von der ersten und dritten Schicht (1002, 1004) gebildeten magnetischen Kreise zugeordnet und um eine zu dem Spalt parallele Achse herumgeführt ist.

12. Magnetkopf nach Anspruch 11, gekennzeichnet

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durch ein Substrat (1001), auf welches die erste Schicht (1002) aufgebracht ist.

13. Verfahren zur Herstellung einee dicht gepackten Mehrspurmagnetkopfes nach einem der Ansprüche 1 bis 9» gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Herstellen einer ersten und einer zweiten Schicht aus magnetischem Material, welche nebeneinander angeordnete Teile von magnetischen Kreisen tragen,

b) Aufbringen eines Dietanzmaterials auf bestimmte Bereiche der Teile der magnetischen Kreiee der ersten Schicht zwecks Bildung eines Magnetspaltes,

c) Aufbringen einer Wicklung jeweils auf einen weiteren Bereich bestimmter Teile dieser Teile der magnetischen Kreise auf beiden Schichten,

d) Aufeinanderpaseen der beiden Schichten zur Bildung der magnetischen Kreise, welche jeweils eine Wicklung und einen überlappenden Magnetspalt aufweisen,

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e) Aneinanderbefestigen der komplementären Teile

zur Bildung von jeweils vollständigen magnetischen Kreisen mit jeweils einem Magnetspalt,

f) mechanisches Verbinden der Schichten miteinander in bestimmter Lage, und

g) Entfernen überschüssigen Schichtmaterials zwecks Freilegen der Spalte,

I¹I. Verfahren nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die Verfahrensschritte a) und b) durch folgende Verfahrensschrxtte ersetzt sind:

al) Herstellen einer ersten Schicht aus magnetischem Material, welche in einer Reihe abwechselnd dreischenkeIige und zweischenkeIige Teile von magnetischen Kreisen trägt,

a2) Herstellen einer zweiten, zu der ersten Schicht komplementären Schicht aus magnetischem Material, so daß bei Nebeneinanderanordnung eines dreischenkeligen Teils der ersten Schicht und eines zweischenkeligen Teils der zweiten Schicht ein

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geschlossener magnetischer Kreis mit einem Überlappungsbereich gebildet wird, und

bl)Aufbringen eines Distanzmaterials auf die Überlappungsbereiche beider Teile der ersten Schicht zur Bildung eines Magnetspaltes«

15. Verfahren zur Herstellung eines dicht gepackten Mehrspurmagnetkopfes nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Herstellen einer ersten Schicht aus magnetischem Material, welche in einer Reihe angeordnete Elemente magnetischer Kreise trägt,

b) Aufbringen eines nichtmagnetischen Materials auf einen Teil der Elemente der ersten Schicht zur Bildung von Magnetspalten,

c) Aufbringen einer weiteren Schicht aus magnetischem Material auf dem nichtmagnetischen Material und auf der ersten Schicht, wobei die zweite Schicht in einer Reihe angeordnete und jeweils einen

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überlappenden Magnetspalt aufweisende Elemente zur Bildung magnetischer Kreise trägt,

d) Entfernen überschüssigen Materials zwecks Freilegen der Magnetspalte.

16. Verfahren .nach Anspruch 15* dadurch gekennzeichnet, daß auf sämtliche Schichten quer zu den Magnetspalten ein leitendes Material aufgebracht wird.

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