DE3527468C2 - - Google Patents

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DE3527468C2
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Kazuo Toyonaka Jp Nakamura
Seishi Nishinomiya Jp Sasaki
Ken Suita Jp Takahashi
Hiroshi Hirakata Jp Yohda
Nobuyuki Neyagawa Jp Kaminaka
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Magnetkopf für quermagnetische Aufzeichnung mit einem in Form eines sich im wesentlichen senkrecht zur Ebene des Aufzeichnungsmediums erstreckenden Dünnfilms ausgebildeten Hauptpol, der sich an seinem einen Ende zu einer zum Aufzeichnungsmedium weisenden Stirnfläche des Magnetkopfes erstreckt und in einem mit dem Aufzeichnungsmedium gebildeten ersten Magnetweg liegt und mit einer mit dem ersten Magnetweg verketteten ersten Dünnfilmspule zur induktiven Abnahme des quermagnetisch aufgezeichneten Signals.
Derartige Magnetköpfe dienen der Aufzeichnung mit lotrechter, d. h. quer zur Ebene des Aufzeichnungsmediums gerichteter Magnetisierungsrichtung. Diese quermagnetische Aufzeichnung ermöglicht eine viel höhere Signalaufzeichnungsdichte, als dies bei der herkömmlichen Aufzeichnung mit Längsmagnetisierung der Fall ist. Für die Aufzeichnung und Wiedergabe derartiger quermagnetischer Signale sind bereits verschiedene Magnetköpfe, im folgenden lediglich Köpfe genannt, bekannt.
Fig. 1 zeigt ein erstes Beispiel solcher Köpfe (IEEE Transactions on Magnetics, Vol. Mag-14, 1978, Seite 436), nämlich einen durch einen Hilfspol 3 angesteuerten quermagnetischen Kopf, in dem ein Hauptpol 1 und der mit einer Spule oder Wicklung 2 versehene Hilfspol 3 einander gegenüberstehen, wobei sich ein Medium bzw. Träger 4 dazwischen befindet. In Fig. 2 ist ein zweites Beispiel gezeigt JP 44115 (1981) A, nämlich ein durch den Hauptpol 1 angesteuerter quermagnetischer Kopf, der gegenüber dem ersten Beispiel verbessert ist und eine Aufzeichnung und Wiedergabe von einer Seite des Mediums 4 gestattet.
Bei beiden dieser Köpfe werden Signale auf dem Medium 4 aufgezeichnet, indem ein Aufzeichnungsstrom in die Wicklung 2 eingespeist wird, und sie werden mittels einer Spannung wiedergegeben, die in der Spule 2 durch das magnetisierte Medium 4 induziert wird. Es ist bekannt, daß der Wirkungsgrad und der Gütegrad um so höher wird, je dichter die Wicklung 2 am Medium 4 angeordnet ist.
Ein Kopf der eingangs genannten Art mit Dünnfilm- bzw. Dünnschichtaufbau ist besonders wirksam, da in dem durch den Hauptpol 1 angesteuerten quermagnetischen Kopf die Spule bzw. Wicklung 6 an einer Stelle so dicht wie möglich bei dem Medium vorgesehen ist. Fig. 3 zweigt ein drittes Beispiel (IEEE Transactions on Magnetics, Vol. Mag-18, 1982, Seite 1164), das diesen Aufbau besitzt.
Der aus einem magnetischen Dünnfilm ausgebildete Hauptpol 1, die nachstehend als erste Dünnfilmspule bezeichnete Spule 6 und ein aus einem magnetischen Dünnfilm gebildetes Rückführungsjoch 7 sind in dieser Reihenfolge übereinander auf einem nichtmagnetischen Substrat 5 angeordnet. Zwischen den Dünnfilmen ist eine (nicht gezeigte) Isolierschicht ausgebildet. Durch diese Anordnung kann die Gesamtgröße des Kopfes, insbesondere die Abmessung L₁, wie in Fig. 3 gezeigt ist, bei einem Dünnfilmkopf mit diesem Aufbau herabgesetzt werden, und es kann auf diese Weise ein hoher Wirkungsgrad sowie eine hohe Güte der Spule 6 geschaffen werden. Ein Kopf, dessen Spule 6 etwa 10 Windungen aufweist und in dem die Abmessung L₁ etwa 100 µm beträgt, ist mit diesem Aufbau ausgeführt worden.
Des weiteren ist ein viertes Beispiel eines Magnetkopfes der eingangs genannten Art vorgeschlagen worden, bei dem die Spule oder Wicklung 6 noch dichter an das Medium herangebracht worden ist, wie in Fig. 4 gezeigt ist (JP 80814 (1981) A oder JP 111817 (1982).
Die erste Dünnfilmspule 6 ist dabei auf einem magnetischen Substrat 8 ausgebildet, mit dem der durch ein nichtmagnetisches Substrat 9 gehaltene Hauptpol 1 verklebt ist. Bei dieser Anordnung ist der Abstand L₂ zwischen der Spule 6 und dem Medium kürzer als der Abstand L₁ und ermöglicht es, einen größeren Wirkungsgrad zu des Kopfes erhalten.
Im folgenden werden nun die oben beschriebenen, bisher vorgeschlagenen quermagnetischen Köpfe verglichen.
Beim ersten und zweiten Beispiel kann die Spule 2 mehrere zehn, zig bis mehrere hundert Windungen besitzen, aber da der Drahtdurchmesser mehrere zehn oder zig µm beträgt, wird die Gesamtabmessung der Spule 2 größer als mehrere hundert µm. Dies steht einer Miniaturisierung der Spule 2 entgegen und setzt somit dem Wirkungsgrad des Kopfes eine Grenze.
Beim dritten und vierten Beispiel, bei denen die Spule 6 nur mehrere µm sowohl in der Breite als auch in der Dicke aufweist, ist es möglich, einen sehr wirksamen Kopf mit einer Spule mit kleiner Abmessung auszuführen, und daher kann der Kopf selbst klein gehalten werden.
Man könnte erwägen, eine große Anzahl von Windungen wie im ersten und zweiten Beispiel auszuführen, während ein Dünnfilmaufbau wie beim dritten und vierten Beispiel verwendet wird.
Fig. 5a und 5b zeigen den Verlauf des Magnetflusses der in den Fig. 3 und 4 gezeigten Köpfe. Der Magnetfluß verläuft in der durch die Pfeile angedeuteten Art und Weise, und es hat sich herausgestellt, daß es magnetische Kraftlinien gibt, die herauslaufen bzw. streuen, ohne zur magnetischen Verkettung mit der Spule beizutragen. Es ist erforderlich, die Abmessungen A in Fig. 5a und B in Fig. 5b zu vergrößern, um die Anzahl der Windungen der Dünnfilmspulen 6 zu erhöhen. Jedoch wird die Anzahl der Flußverkettungen um so geringer, je entfernter die Spule 6 vom Hauptpol 1 ist. Dementsprechend trägt die Ausführung einer Spule, die auf die oben beschriebene Weise aufgebaut ist und mehrere zehn, zig bis mehrere hundert Windungen besitzt, nicht wesentlich zur Erhöhung der absoluten Ausgangsleistung bei. Wenn andererseits eine Mehrschicht-Dünnfilmspule (mit z. B. 10 Windungen × 10 Schichten) ausgeführt wird, wird der Kopf sehr wirksam, aber dies kann sich als unpraktikabel herausstellen, da das Herstellungsverfahren in beachtlichem Maße kompliziert wird, so daß es unpraktikabel wird.
Zusammenfassend kann also gemäß dem ersten und dem zweiten Beispiel ein Kopf mit niedrigem Wirkungsgrad mit einer großen Anzahl von Spulenwindungen und gemäß dem dritten und vierten Beispiel ein Kopf mit großem Wirkungsgrad, jedoch mit einer kleinen Anzahl von Spulenwindungen, hergestellt werden, und dies sind die einzigen ausführbaren Formen. In bezug auf die Kopfausgangsleistung, die der wichtigste Faktor vom praktischen Gesichtspunkt her ist, ist keiner dieser Köpfe zufriedenstellend.
Daher sollte also bei einem Magnetkopf der eingangs genannten Art der der Verkettung mit dem ersten Magnetweg des Hauptpols dienende Bereich der ersten Dünnfilmspule möglichst nahe an dem Hauptpol angeordnet sein, damit ein hoher Wirkungsgrad erzielt wird. Dem steht aber die Notwendigkeit einer ausreichenden Windungszahl der ersten Dünnfilmspule entgegen. Gemäß der vorstehenden Erläuterung wächst nämlich mit der Anzahl der für die erste Dünnfilmspule vorgesehenen Windungen deren Platzbedarf, so daß der der Verkettung mit dem ersten Magnetweg dienende Bereich der ersten Dünnfilmspule sich über einen im Vergleich zum Hauptpol verhältnismäßig großen Abstandsbereich erstreckt und somit die in Fig. 5a und 5b dargestellten Streuverluste auftreten. Andererseits würde eine Verringerung der Windungszahl zu einer stark verringerten Amplitude der in der ersten Dünnfilmspule induzierten Signalspannung führen.
Ein für magnetische Längsaufzeichnung ausgebildeter bekannter Magnetkopf (IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 15, 1972, Nr. 2, Seite 516/517) weist eine auf einem ebenflächigen, geschlitzten Träger ausgebildete Magnetschicht auf, deren Ränder sich im Bereich des Schlitzes zur Bildung eines Längsaufzeichnungsmagnetspaltes gegenüberliegen. Die beidseits dieses Magnetspaltes sich erstreckenden Bereiche der Magnetschicht sind durch eine Magnetjochschicht überbrückt, wobei sich in dem zwischen der Magnetschicht und der Magnetjochschicht gebildeten Raum Spulenwicklungen erstrecken. Diese Spulenwicklungen sind Bestandteil zweier in einer sich parallel zur Magnetschicht sowie zur Magnetjochschicht erstreckenden Ebene gewickelter und symmetrisch zum Magnetspalt angeordneter Spulen von gleicher Windungszahl, gleicher Größe und gleicher Form. Der Zweck dieser beiden zueinander in Reihe geschalteten Spulen besteht darin, den elektrischen Widerstand durch eine geringere Drahtlänge der Spulen herabzusetzen.
Ein anderer bekannter Magnetkopf (IBM Technical Disclosure Bulletin, 1982, Vol. 24, Nr. 9, Seite 4479), der ebenfalls zur magnetischen Längsaufzeichnung ausgebildet ist, weist einen in der Form von mehreren Windungen auf einem Substrat ausgebildeten Magnetkern auf, wobei sich die beiden Endungen der Windungen zur Bildung eines Magnetspaltes gegenüberstehen, an dem ein Aufzeichnungsmedium zur magnetischen Längsaufzeichnung vorbeigeführt wird. Das bei einem Magnetkopf für quermagnetische Aufzeichnung wegen des monopolartigen Aufbaus auftretende Problem der Streuverluste stellt sich bei diesem für magnetische Längsaufzeichnung bestimmten bekannten Magnetkopf nicht, da die sich quer über dem Magnetspalt gegenüberstehenden ungleichnamigen Magnetpole für die notwendige Flußbündelung innerhalb des Magnetkerns sorgen. Die aus diesem bekannten Magnetkopf entnehmbare Ausbildung des Magnetkerns vermag somit zu einer Verbesserung bei Magnetköpfen für quermagnetische Aufzeichnung nichts beizutragen.
Schließlich ist ein Drehmagnetkopf bekannt (DE-OS 26 01 449), bei dem zur Vermeidung von Schleifkontakten zwischen dem Stator und dem Rotor eine Signalübertragung durch einen induktiven Signaltransformator vorgesehen ist. Der völlig unterschiedliche Aufbau des bekannten Drehmagnetkopfes erlaubt jedoch keine naheliegende Übertragung des Prinzips der induktiven Signaltransformation unter Meidung von Streuverlusten auf Magnetköpfe für quermagnetische Aufzeichnung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Magnetkopf für quermagnetische Aufzeichnung der eingangs genannten Art dahingehend auszubilden, daß unter Beibehaltung einer geringen Baugröße eine erhöhte Ausgangsleistung erzielt wird.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ein dem Hauptpol abgewandter Bereich der einen geschlossen Kreis bildenden ersten Dünnfilmspule, die mit einem dazu entgegengesetzten Bereich in unmittelbarer Nähe des Hauptpols angeordnet ist, mit einem zweiten Magnetweg verkettet ist, der eine größere Windungszahl als die erste Dünnfilmspule aufweisende zweite Spule durchsetzt, von welcher das Ausgangssignal des Magnetkopfes abnehmbar ist.
Da bei der Erfindung der der Verkettung mit dem ersten Magnetweg dienende Bereich der ersten Dünnfilmspule unmittelbar an den Hauptpol gerückt ist, sind die Streuverluste äußerst gering, so daß an dieser Stelle ein hoher Wirkungsgrad für die Umwandlung des quermagnetisch aufgezeichneten Signals in einen elektrischen Induktionsstrom gegeben ist. Wenngleich dabei aus Platzgründen auf eine hohe Windungszahl für die erste Dünnfilmspule verzichtet werden muß, ist dennoch bei dem erfindungsgemäßen Magnetkopf eine hohe Amplitude des Ausgangssignals erzielbar, weil dieses in der mit der ersten Dünnfilmspule über den zweiten Magnetweg verketteten zweiten Spule hochtransformiert wird. Da die zweite Spule vom Hauptpol abgerückt ist, ist ausreichend Platz für eine entsprechend hohe Windungszahl vorhanden.
In der folgenden Beschreibung ist die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Hierin zeigt
Fig. 1 eine Seitenansicht eines Beispiels eines herkömmlichen Systems mit einem quermagnetischen Kopf und einem Aufzeichnungsmedium,
Fig. 2 eine Seitenansicht eines weiteren Beispiels eines herkömmlichen Systems mit einem quermagnetischen Kopf und einem Aufzeichnungsmedium,
Fig. 3 eine Schnittansicht eines Beispiels eines herkömmlichen quermagnetischen Kopfes mit erhöhtem Kopfwirkungsgrad,
Fig. 4 eine Schnittansicht eines weiteren Beispiels eines herkömmlichen quermagnetischen Kopfes mit erhöhtem Kopfwirkungsgrad,
Fig. 5a und 5b Schnittansichten der in den Fig. 3 und 4 gezeigten quermagnetischen Köpfe, die den Verlauf des wiedergegebenen Magnetflusses veranschaulichen,
Fig. 6a und 6b eine Schnittansicht sowie eine Draufsicht eines Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 7 eine Schnittansicht des Hauptpols gemäß der Erfindung,
Fig. 8 eine Abwandlung des in den Fig. 6a und 6b gezeigten Ausführungsbeispiels, bei dem für die Aufzeichnung eine Hilfswicklungseinrichtung vorgesehen ist,
Fig. 9 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 10a und 10b eine Schnittansicht sowie eine Draufsicht auf den Hauptteil eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 11 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 12a und 12b eine Draufsicht sowie eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 13 eine perspektivische Ansicht des Substrats des in Fig. 12 gezeigten Ausführungsbeispiels,
Fig. 14 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 15 eine perspektivische Ansicht des Substratabschnitts eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 16a und 16b eine Draufsicht sowie eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 17 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 18 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 19 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung und
Fig. 20 eine perspektivische Ansicht des Substratabschnitts des in Fig. 19 gezeigten Ausführungsbeispiels.
In den Fig. 6a und 6b ist ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung gezeigt. Fig. 6a ist eine Schnittansicht des in Fig. 6b gezeigten Ausführungsbeispiels, die längs Linie VIa-VIa ausgeführt ist.
Die Bezugszeichen 10 a und 10 b stellen nichtmagnetische Substrate und das Bezugszeichen 11 ein magnetisches Substrat dar, und die drei Substrate sind mit einem Klebstoff, Befestigungs- oder Verbindungsglas (bonding glass) oder dgl. fest zusammengefügt. Das magnetische Substrat 11 ist mit einer Nut 12 versehen, die mit einem nichtmagnetischen Material 13 a gefüllt ist. Ein Hauptpol 14 ist dadurch gebildet, daß das zusammengesetzte Substrat des oben beschriebenen Aufbaus mit einem magnetischen Dünnfilm bedeckt wird und darauf ein Muster durch Fotoätzen gebildet wird. Eine erste Dünnfilmspule 15 und eine zweite Dünnfilmspule 16 sind aus einem stromleitenden Material unter Verwendung einer ähnlichen Technik ausgebildet. Auf der zweiten Dünnfilmspule 16 sind mittels einer bekannten Technik für Dünnfilmköpfe Anschlüsse T₁, T₂ vorgesehen. Die erste Dünnfilmspule 15 ist eine Spule mit einer Windung, die selbst einen geschlossenen Kreis bildet. Ein magnetischer Dünnfilm 17 ist mittels einer ähnlichen Technik ausgebildet, um einen Teil des Magnetweges zu bilden, der die erste und die zweite Dünnfilmspule 15, 16 magnetisch verkettet.
Der magnetische Dünnfilm 17 ist mit dem magnetischen Substrat 11 auf beiden Seiten der Schicht des nichtmagnetischen Materials 13 a magnetisch verbunden und bildet in Verbindung mit dem magnetischen Substrat 11 einen geschlossenen magnetischen Kreis. Der magnetische Dünnfilm 17 in dem in Fig. 6a gezeigten Ausführungsbeispiel besitzt eine streifenartige Form, aber er kann auch so ausgebildet sein, daß er die gesamte Oberfläche der zweiten Dünnfilmspule 16 bedeckt. Zwischen dem magnetischen Dünnfilm 17 und den Dünnfilmspulen 15, 16 ist ein (nicht gezeigter) Isolierfilm erforderlich. Der Wirkungsgrad wird noch weiter gesteigert, indem der Hauptpol 14 statt in einer einfachen streifenartigen Form mit einem Querschnitt oder einem Profil versehen wird, wie es in Fig. 7 gezeigt ist. Die Abmessung T₁ ist vorzugsweise 0,1 bis 0,5 µm, und die Abmessung T₂ ist vorzugsweise 1 bis mehrere µm.
Im folgenden wird die Arbeitsweise beziehungsweise die Funktion des ersten Ausführungsbeispiels mit dem oben beschriebenen Aufbau beschrieben. Dieser Kopf ist wirksam bei der Wiedergabe eines quermagnetischen Signals, das auf einem als Querwiedergabemedium bezeichneten Träger aufgezeichnet worden ist. Der aus einer Quermagnetisierung erzeugte Magnetfluß wird durch den Hauptpol 14 gesammelt. Der magnetische Fluß Φ ändert sich mit dem Zeitverlauf auf Grund der relativen Bewegung des Mediums und des Kopfes, und es wird eine Wiedergabespannung V₁= in der Dünnfilmspule 15 induziert, die mit dem Hauptpol 14 verkettet ist. Da diese Spule 15 selbst einen geschlossenen Stromkreis bildet, fließt in diesem Stromkreis ein Strom. Der in diesem Stromkreis fließende Strom induziert einen Magnetfluß in dem geschlossenen Kreis, der aus dem magnetischen Substrat 11 und dem magnetischen Dünnfilm 17 besteht. Unter der Annahme, daß die Windungszahl der zweiten Dünnfilmspule 16, die mit dem geschlossenen Stromkreis verkettet ist, N beträgt, wird in dem Kreis die Spannung N × V₁ erzeugt. Dieser Abschnitt dient somit als Transformator zum Erhöhen der Spannung. Diese Spannung ist äquivalent zu jener, die durch eine Spule mit der Windungszahl "N" erzeugt würde, die an dem Abschnitt vorgesehen wäre, wo der Hauptpol 14 und die erste Dünnfilmspule 15 verkettet sind. Auf diese Weise wird ein äußerst wirksamer quermagnetischer Wiedergabekopf erhalten.
Fig. 8 zeigt eine Abwandlung des obigen Ausführungsbeispiels, bei dem der Kopf von einer Aufzeichnungsspule 20 umgeben ist. Mit dem Bezugszeichen 18 ist der in Fig. 6a gezeigte Kopf bezeichnet, und mit 19 eine Abdeckung oder ein Überzug aus einem magnetischen Material, wie zum Beispiel Ferrit, oder aus einem nichtmagnetischem Material, wie zum Beispiel Glas. Die Aufzeichnungsspule 20 ist um die gesamte Oberfläche des Kopfes 18 herumgeführt. Wenn die Dünnfilmspule 15 mit einer Windung für eine zum Aufzeichnen geeignete magnetomotorischen Kraft nicht ausreicht, wird zweckmäßig die getrennte Aufzeichnungsspule 20 in Form der Drahtwicklung für das Aufzeichnen vorgesehen.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen ist die Windungszahl der ersten Dünnfilmspule 15, die mit dem ersten Magnetweg verkettet ist, eins. Wenn die Windungszahl des mit dem ersten Magnetweg verketteten Bereichs der ersten Dünnfilmspule N₁ ist, die des mit zweiten Magnetweg verketteten Bereichs der ersten Dünnfilmspule 15 N₂ ist und die der zweiten Spule 16, die mit dem zweiten Magnetweg verkettet ist, N₃ ist, ist dies jedoch allgemein äquivalent dazu, daß eine Spule mit (N₁ × N₃)/N₂ Windungen am vorderen Ende des Hauptpols 14 vorgesehen wird. Die Wahl eines großen Wertes von N₁/N(N₂=1 ist für den praktischen Gebrauch geeignet) erhöht weiter die Wirkungen der Erfindung. Bei den folgenden Ausführungsbeispielen besteht dieselbe Situation.
Fig. 9 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dieses hat einen Aufbau, der ähnlich dem des ersten Ausführungsbeispiels ist. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Elemente in den Fig. 6a, 6b und 9. Das magnetische Substrat 11 liegt zur Gleitfläche des Mediums hin frei, um ein Rückführjoch zu bilden, das dazu dient, zu dem Medium den Signalfluß zurückzuführen, der die erste Dünnfilmspule 15 mit dem Hauptpol 14 verkettet. Eine mit einem nichtmagnetischen Material 13 b gefüllte Nut 21 ist auf der Oberfläche des Substrats 11 vorgesehen, die der Gleitfläche des Mediums gegenüberliegt. Um die Erzeugung eines Neigungs- oder Abfallpunktes in der Wellenlängencharakteristik oder -kennlinie auf Grund von Spaltdämpfung beziehungsweise -verlust zu vermeiden, ist es erforderlich, die Nut 21 mit einer Länge auszubilden, die zu einem angemessenen, das heißt ausreichenden Grad größer als die wiederzugebende Wellenlänge ist. Die erste Dünnfilmspule 15 ist unter dem Hauptpol 14 ausgebildet, um den geschlossenen ersten Magnetweg zu verketten, der aus dem Hauptpol 14 und dem Rückführjoch besteht. Eine auf dem oberen Abschnitt des Hauptpols 14 vorgesehene Nut 22 ist mit einem nichtmagnetischen Material 13 c gefüllt, um zu verhindern, daß der von dem Hauptpol 14 aufgenommene Signalfluß in den geschlossenen zweiten Magnetweg fließt, wo die zweite Dünnfilmspule 16 vorhanden ist, und er wirksam zum Medium zurückgeführt wird. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind also zwei geschlossene Magnetwege und Nuten zum Trennen der Magnetwege vorgesehen, was dieser Anordnung eine größere Wirksamkeit als die des ersten Ausführungsbeispiels verleiht.
Es wird als nächstes auf Fig. 10a und 10b Bezug genommen, wo ein drittes Ausführungsbeispiel gezeigt ist. Fig. 10b ist eine Draufsicht auf den Hauptabschnitt des Ausführungsbeispiels, und Fig. 10a ist eine Schnittansicht des Ausführungsbeispiels, wobei der Schnitt längs Linie Xa-Xa in Fig. 10b ausgeführt ist. Dieses Ausführungsbeispiel ähnelt dem zweiten Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme, daß der Wirkungsgrad des Transformatorabschnitts zum Erhöhen der Spannung erhöht ist. Auf dem Substrat 11 der in Fig. 9 gezeigten Anordnung, von der die Nut 12 und das nichtmagnetische Material 13 a fortgelassen sind, ist eine erste Dünnfilmspule 15 b mit einer Windung ausgebildet, die die in Fig. 10b gezeigte Anordnung besitzt, und ein säulenförmiger Zentralpol 23, der aus einem magnetischen Material wie zum Beispiel Ferrit ausgebildet ist, ist in die erste Dünnfilmspule 15 b eingefügt und an dieser befestigt beziehungsweise hängt mit dieser zusammen. Ein die zweite Spule bildender Draht 16 b ist um den Zentralpol 23 im voraus gewickelt. Der Zentralpol 23 ist durch einen kastenförmigen oder behälterförmigen Rückführkern 24 überdeckt, so daß seine Peripherie beziehungsweise Außenfläche umgeben ist, wodurch ein zweiter geschlossener Magnetweg gebildet ist. Der um den Zentralpol 23 gewickelte Draht kann ein Kupferdraht sein, aber eine Dünnfilmspule ist wirksamer, um eine feinere Mehrwindungswicklung vorzusehen. Außerdem kann ein Teil des Hauptpols 14 b dicker als der in Fig. 9 gezeigte gemacht werden, wodurch die Wirksamkeit erhöht wird.
Fig. 11 zeigt ein viertes Ausführungsbeispiel. Der Aufbau des Ausführungsbeispiels ist derselbe wie beim dritten Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme, daß der Transformator auf der Substratseite ausgebildet ist. Auf dem magnetischen Substrat 11 ist eine Nut 25 ausgebildet, wobei ein säulenförmiger Zentralpol 23 b stehengelassen wird. Ein Draht 16 c ist um den Zentralpol 23 b gewickelt und ist in das Material 13 d, z. B. Glas, eingebettet. Eine erste Dünnfilmspule 15 b mit einer Windung und derselben Anordnung wie die Dünnfilmspule, die in Fig. 10b gezeigt ist, ist auf dem magnetischen Substrat 11 ausgebildet, um den Zentralpol 23 b zu umgeben. Ein geschlossener Kreis ist gebildet, in dem ein magnetisches Material 39, wie zum Beispiel Ferrit an der ersten Dünnfilmspule 15 b haftet oder in dem die erste Dünnfilmspule 15 b mit dem magnetischen Material 39 überdeckt wird. Dieses Ausführungsbeispiel ist leichter beziehungsweise einfacher herzustellen als das dritte Ausführungsbeispiel.
In den Fig. 12a und 12b ist ein fünftes Ausführungsbeispiel gezeigt. Mit dem Bezugszeichen 11 ist das magnetische Substrat, mit 30 eine dünnfilmbildende Oberfläche und mit 29 eine dem Aufzeichnungsmedium gegenüberliegende Oberfläche bezeichnet. Das Substrat 11 besitzt einen ersten, mit nichtmagnetischem Material gefüllten Abschnitt 10 b am vorderen Endabschnitt und einen zweiten, mit nichtmagnetischen Material gefüllten Abschnitt 12, der die Ausbildung einer geschlossenen Nut besitzt, die auf der dünnfilmbildenden Oberfläche 30 rückwärtig von dem ersten, mit nichtmagnetischem Material gefülltem Abschnitt 10 b angeordnet ist. Fig. 13 zeigt eine perspektivische Ansicht des Substrats 11.
Das Bezugszeichen 14 in den Fig. 12a und 12b stellt den aus einem magnetischen Dünnfilm gebildeten Hauptpol dar, und bei diesem Hauptpol 14 ist die Dicke eines Abschnitts rückwärtig von der ersten Dünnfilmspule 15 vorzugsweise größer als jene des vorderen Abschnitts. Mit dem Bezugszeichen 26 ist ein Rückführjoch bezeichnet, das aus einem magnetischem Dünnfilm gebildet ist, dessen rückwärtiger Abschnitt mit dem rückwärtigen Endabschnitt des Hauptpols 14 magnetisch gekoppelt ist, und der vordere Endabschnitt erstreckt sich bis in die Nähe der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche 29. Der Hauptpol 14 und das Rückführjoch 26 bilden zusammen mit einem weichen magnetischen Material 31 im Aufzeichnungsmedium 4 einen ersten geschlossenen Magnetweg 27.
Ein Verschließjoch 17, das aus einem magnetischen Block oder einem magnetischen Dünnfilm ausgebildet ist, koppelt den inneren Bereich (32 in Fig. 13) magnetisch mit dem äußeren Bereich (33 in Fig. 13), wodurch zusammen mit dem magnetischen Substrat 11 der Kern eines Manteltransformators hergestellt wird. Die mit dem Bezugszeichen 34, 35 bezeichneten Abschnitte sind die Magnetkernabschnitte des Manteltransformators, um den die Primär- und die Sekundärspulen gewickelt werden sollen, und das Bezugszeichen 28 bezeichnet einen typischen zweiten Magnetweg (einen zweiten geschlossenen Kreis) davon.
Das Bezugszeichen 15 in Fig. 12a bezeichnet die erste Dünnfilmspule, die selbst einen geschlossenen Kreis mit einer Windung bildet. Der vordere Abschnitt 15 a der ersten Dünnfilmspule 15 ist mit dem ersten geschlossenen Magnetweg 27 als Signalwicklung in bezug auf den Hauptpol 14 verkettet, und der rückwärtige Abschnitt 15 b ist als Primärwicklung des Transformators mit dem zweiten geschlossenen Magnetweg 28 verkettet.
Die zweite Dünnfilmspule 16 ist als Sekundärwicklung des Transformators mit dem zweiten geschlossenen Magnetweg 28 verkettet.
Die erste Dünnfilmspule 15 und die zweite Spule 16 sind auf solche Weise angeordnet, daß der rückwärtige Abschnitt 15 b der ersten Dünnfilmspule 15 und der zweiten Spule 16 koaxial oberhalb des zweiten, mit nichtmagnetischem Material gefüllten Abschnitts 12 gewickelt sind.
Das oben offenbarte Verschließjoch 17 ist in Fig. 12a fortgelassen.
Selbstverständlich sollten der innere Bereich 32 und der äußere Bereich 33 des zweiten, mit nichtmagnetischem Material gefüllten Abschnitts 12 miteinander gekoppelt sein, ohne daß sie durch die inneren Abschnitte der ersten und der zweiten Spule 15, 16 treten (der durch die Bezugszeichen 36, 37 in Fig. 12a bezeichnete Abschnitt). Der Grund dafür ist, daß der geschlossene Magnetweg, der durch den Abschnitt 36 verläuft, die Dünnfilmspule 15 nicht verkettet, und daß der Magnetweg, der durch den Abschnitt 37 tritt, keine Verkettung mit einer Windung der zweiten Spule 16 hervorruft.
An diesen Abschnitten, wo eine Isolierung benötigt wird, sind daher geeignete Isolierschichten vorgesehen, wie zum Beispiel beim Abschnitt 36 zwischen den Spulen 15, 16.
Obwohl das Aufzeichnungsmedium 4 bei dem Ausführungsbeispiel ein sogenanntes Doppelschichtmedium ist, das einen weichmagnetischen Film unter einem Aufzeichnungsfilm besitzt, beschränkt dies nicht den Bereich der Erfindung, da die Erfindung auch bei einen sogenannten einschichtigen Medium wirksam ist, das lediglich aus einem Aufzeichnungsfilm besteht. Dies trifft auch auf die anderen Ausführungsbeispiele zu.
Fig. 14 zeigt ein sechstes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel dient der vordere Endabschnitt des magnetischen Substrats 11 auch als Rückführjoch in bezug auf den Hauptpol 14, wobei zu diesem Zweck ein erster, mit nichtmagnetischem Material gefüllter Abschnitt 13 b auf einem gekerbten beziehungsweise mit Schlitz versehenen Abschnitt vorgesehen ist, der zumindest einen Abschnitt der Kante umfaßt, die durch die zur Ausbildung der Dünnfilme dienende Oberfläche 30 und die dem Medium gegenüberliegende Oberfläche 29 gebildet ist. Der rückwärtige Endabschnitt des Hauptpols 14 ist mit dem Magnetmaterialabschnitt des Substrats 11 magnetisch gekoppelt, und der erste geschlossene Magnetweg ist zu dieser Zeit ausgebildet, wie durch das Bezugszeichen 27 gezeigt ist. Der vordere Endabschnitt 15 a der ersten Dünnfilmspule 15 ist zwischen dem ersten, mit nichtmagnetischem Material gefülltem Abschnitt 13 b und dem Hauptpol 14 angeordnet und dadurch mit dem ersten geschlossenen Magnetweg 27 zu verkettet.
Der Aufbau in bezug auf den Transformatorabschnitt dieses Ausführungsbeispiels ist derselbe wie bei dem fünften Ausführungsbeispiel. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Elemente, so daß eine detaillierte Erläuterung entfallen konnte. Da der erste und der zweite geschlossene Magnetweg 27, 28 durch den magnetischen Abschnitt des Substrats 11 verbunden sind, könnten sie sich gegenseitig beeinflussen, doch wurde bei diesem Ausführungsbeispiel in der Praxis keine signifikante gegenseitige Beeinflussung festgestellt. Wenn die Größe beziehungsweise Abmessung des gesamten Kopfes sehr klein ist und der erste und der zweite geschlossene Magnetweg 27, 28 beachtlich dicht beieinanderliegen, ist ein dritter, mit nichtmagnetischem Material gefüllter Abschnitt, z. B. der Abschnitt 13 c vorzugsweise vorgesehen, um den ersten und den zweiten geschlossenen Magnetwerg 27, 28 zu trennen.
Fig. 15 ist eine perspektivische Ansicht des Substrats eines siebten Ausführungsbeispiels der Erfindung mit einem zweiten, mit nichtmagnetischem Material gefülltem Abschnitt, der verbessert ist. Der zweite, mit nichtmagnetischem Material gefüllte Abschnitt ist bei diesem Ausführungsbeispiel in parallen Kreuzen beziehungsweise Kreuzungen ausgebildet, wie in den Figuren gezeigt ist, statt daß er in der Form einer geschlossenen Nut vorliegt, wobei der Wicklungsbereich, der durch eine gestrichelte Linie 38 gezeigt ist, dem mit nichtmagnetischem Material gefüllten Abschnitt in Form einer geschlossenen Nut entspricht, die im fünften und sechsten Ausführungsbeispiel verwendet wird. Diese Anordnung erleichtert die praktische Ausbildung des zweiten, mit nichtmagnetischem Material gefüllten Abschnitts und erhöht die Massenproduktivität. Da die für Manteltransformatoren wesentliche wirksame Querschnittsfläche des Magnetwegs herabgesetzt ist, könnte zunächst eine Verschlechterung des Wirkungsgrades befürchtet werden. In der Tat bestand jedoch kaum ein Unterschied im Leistungsvermögen zwischen dem Transformator bei diesem Ausführungsbeispiel und jenem des fünften und sechsten Ausführungsbeispiels. Vermutlich beruht dies darauf, daß der hohe Wirkungsgrad eines Manteltransformators weitgehend dadurch bestimmt wird, daß die Primär- und die Sekundärwicklung dicht zueinander gelangen und koaxial aufgewickelt sind.
Fig. 16a und 16b zeigen ein achtes Ausführungsbeispiel, wobei Fig. 16b eine Schnittansicht des Ausführungsbeispiels zeigt, die längs der Linie XXVIIb bis XXVIIb ausgeführt ist.
Das Kopfsubstrat 11 enthält magnetisches Material zumindest in der Umgebung seiner Oberfläche, und es kann ein magnetisches Substrat aus Ferrit oder dergleichen oder ein zusammengesetzter Ersatz- oder Austauschstoff sein, der aus einem nichtmagnetischen Substrat mit einem an seiner Oberfläche befestigten magnetischen Dünnfilm besteht. Ein erster magnetischer Dünnfilm 42 a ist auf der Oberfläche des Kopfsubstras 11 in Gestalt eines Musters von vorbestimmter Form ausgebildet, und der Hauptpol 14 aus einem magnetischen Dünnfilm ist auf dem ersten magnetischen Dünnfilm 42 a im wesentlichen senkrecht in bezug auf den ersten magnetischen Dünnfilm 42 a auf solche Weise ausgebildet, daß der Hauptpol 14 in Sandwichanordnung zwischen nichtmagnetischen Materialien 41 a, 41 b angeordnet ist und ein Ende des Magnetpols 14 mit dem ersten magnetischen Dünnfilm 42 a magnetisch gekoppelt ist und das andere Ende zur dem Medium gegenüberliegenden Fläche 29 freiliegt. Der Hauptpol 14, der erste magnetische Dünnfilm 42 a, das Kopfsubstrat 11 und die weiche Magnetschicht 31 bilden den ersten Magnetweg 27. Mit dem Bezugszeichen 47 ist ein quermagnetischer Film aus Co-Cr oder dergleichen bezeichnet, und mit 48 eine Basis beziehungsweise Stützlage. Andererseits ist der zweite magnetische Dünnfilm 17 in der Nähe des ersten magnetischen Dünnfilms 42 a angeordnet, um den zweiten Magnetweg 28 zu bilden, der durch das Kopfsubstrat 11 verläuft. Eine erste Dünnfilmspule 15, die selbst einen geschlossenen Kreis bildet, ist so angeordnet, daß sie den zweiten Magnetweg 28 und den ersten Magnetweg 27 verknüpft, beziehungsweise verkettet. Die zweite Dünnfilmspule 16 ist als Sekundärwicklung des Transformators angeordnet und mit dem zweiten Magnetweg 28 verkettet.
Es wird als nächstes auf Fig. 17 Bezug genommen, die ein neuntes Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Elemente in den Fig. 16a, 16b und 17, eine nähere Erläuterung ist hier fortgelassen. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die ersten magnetischen Dünnfilme 42 a, 42 b auf beiden Seiten der ersten Dünnfilmspule 15 längs des ersten Magnetwegs 27 angeordnet, und der Hauptpol 14 ist auf dem ersten magnetischen Dünnfilm 42 a angeordnet, der innerhalb der ersten Dünnfilmspule 15 liegt. Diese Anordnung erhöht die Geschlossenheit des ersten Magnetwegs 27 und setzt den Leckfluß herab, der die erste Dünnfilmspule 15 nicht verkettet, wodurch der Detektionswirkungsgrad insbesondere erhöht wird, wenn die Windungszahl N₁ der ersten Dünnfilmspule 15 groß ist.
In Fig. 18 ist ein zehntes Ausführungsbeispiel gezeigt. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Elemente in den Fig. 17 und 18, und eine Erläuterung ist hier fortgelassen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die mit einem nichtmagnetischen Material gefüllte Nut 12 auf dem Substrat 11 unter einem Abschnitt ausgebildet, wo es eine Verkettung zwischen dem zweiten Magnetweg 28 und der ersten und/oder zweiten Spule 15, 16 gibt. Es ist erforderlich, die Windungszahl N₃ der zweiten Dünnfilmspule 16 zu erhöhen, um die Spannungserhöhungsrate heraufzusetzen, wodurch der zweite Magnetweg 28 lang und eng wird, so daß der Fluß, der durch den Dünnfilmspulenabschnitt leckt, nachteilig erhöht wird, und hierdurch wird der Wirkungsgrad herabgesetzt. Der Leckfluß kann jedoch herabgesetzt werden und der Wirkungsgrad erhöht werden, indem die Nut 12, die mit einem nichtmagnetischen Material gefüllt ist, auf dem Substrat 11 unter dem Dünnfilmspulenabschnitt innerhalb des zweiten Magnetwegs 28 ausgebildet wird, wie es bei diesem Ausführungsbeispiel der Fall ist. Im ersten Magnetweg 27 wird ebenso im Fall, daß die Windungszahl N₁ der ersten Dünnfilmspule 15 erhöht wird, die Detektiongüte erhöht, indem eine mit einem nichtmagnetischen Material (in Fig. 18 nicht gezeigt) gefüllte Nut auf dem Substrat 11 unter einem Abschnitt ausgebildet wird, wo es eine Verkettung bzw. Verknüpfung zwischen dem ersten Magnetweg 27 und der ersten Dünnfilmspule 15 gibt.
Wenn der erste und der zweite Magnetweg 27, 28 sich gegenseitig in einem Kopf mit kleiner Abmessung beeinflussen, wird eine andere, mit einem nichtmagnetischen Material gefüllte Nut vorzugsweise zwischen dem ersten magnetischen Dünnfilm 42 a und dem zweiten magnetischen Dünnfilm 17 ausgebildet, um die beiden Magnetwege 27, 28 zu trennen.
Fig. 19 zeigt ein elftes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Der zweite magnetische Dünnfilm 17 ist mit dem Kopfsubstrat 11 am Zentralabschnitt der zweiten Dünnfilmspule 16 magnetisch gekoppelt und dient als Kern des Transformators. Die erste Dünnfilmspule 15 ist so gewickelt, daß der gekoppelte Abschnitt innerhalb des geschlossenen Kreises ist. Der zweite magnetische Dünnfilm 17 überdeckt ungefähr die gesamte Oberfläche der zweiten Dünnfilmspule und einen Teil der ersten Dünnfilmspule 15 und bildet eine Transformatorkopplung, indem er mit dem Kopfsubstrat 11 außerhalb der ersten und der zweiten Dünnfilmspule 15, 16 magnetisch gekoppelt ist. Diese Anordnung erhöht die wirksame Querschnittsfläche des magnetischen Weges, und auf diese Weise wird somit ein spannungserhöhender Transformator mit extrem hohem Umwandlungswirkungsgrad ausgeführt. In dem in Fig. 19 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Anzahl der Windungen der ersten Dünnfilmspule 15 beim Hauptpolabschnitt zwei und die Anzahl N₂ beim Transformatorabschnitt ist eins, und daher ist der erste Magnetweg 27 auf beiden Seiten des Hauptpols 14 vorhanden. Eine Nut 21 a ist auf dem Substrat 11 unterhalb eines jeden magnetischen Dünnfilms vorgesehen, um den Wirkungsgrad zu erhöhen, in dem das Lecken des Flusses am Dünnfilmspulenabschnitt herabgesetzt wird. Als Beispiel für die Gestaltung einer solchen Nut ist das Kopfsubstrat in Fig. 20 gezeigt. Zwei im wesentlichen parallele Nuten und vier Nuten, die im wesentlichen rechtwinklig in bezug auf diese sind, sind in parallelen Kreuzen beziehungsweise Kreuzungen auf dem Substrat 11 ausgebildet, und nach Füllung mit nichtmagnetischem Material auf gleiche Höhe ihrer Oberflächen fertigbearbeitet. Der erste magnetische Dünnfilm 42 a und der Hauptpol 14 sind innerhalb eines schraffierten Abschnitts 49 angeordnet, und die zweite Dünnfilmspule 16 ist oberhalb des schraffierten Abschnitts 50 mit Nuten um ihre Peripherie ausgebildet, wobei der schraffierte Abschnitt 50 als Kern des Transformators dient.

Claims (16)

1. Magnetkopf für quermagnetische Aufzeichnung mit einem in Form eines sich im wesentlichen senkrecht zur Ebene des Aufzeichnungsmediums erstreckenden Dünnfilms ausgebildeten Hauptpol, der sich an seinem einen Ende zu einer zum Aufzeichnungsmedium weisenden Stirnfläche des Magnetkopfes erstreckt und in einem mit dem Aufzeichnungsmedium gebildeten ersten Magnetweg liegt und mit einer mit dem ersten Magnetweg verketteten ersten Dünnfilmspule zur induktiven Abnahme des quermagnetisch aufgezeichneten Signals,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein dem Hauptpol (14, 14′, 14 b) abgewandten Bereich der einen geschlossenen Kreis bildenden ersten Dünnfilmspule (15, 15 b), die mit einem dazu entgegengesetzten Bereich in unmittelbarer Nähe des Hauptpols angeordnet ist, mit einem zweiten Magnetweg (28) verkettet ist, der eine eine größere Windungszahl als die erste Dünnfilmspule (15, 15 b) aufweisende zweite Spule (16) durchsetzt, von welcher das Ausgangssignal des Magnetkopfes abnehmbar ist.
2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Dünnfilmspule (15, 15 b) in einer zur Ebene des Hauptpols (14) parallelen Ebene ausgebildet ist.
3. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Dünnfilmspule (15) in einer zur Ebene des Hauptpols (14) senkrechten und zur Ebene des Aufzeichnungsmediums (4) parallelen Ebene ausgebildet ist.
4. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Windungszahl N₁ des den ersten Magnetweg (27) verkettenden Bereichs der ersten Dünnfilmspule (15, 15 b) nicht kleiner als die Windungszahl N₂ des den zweiten Magnetweg (28) verkettenden Bereichs der ersten Dünnfilmspule (15, 15 b) ist.
5. Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß N₁=N₂=1 ist.
6. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Spule (16) aus einem Dünnfilm ausgebildet ist.
7. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Spule (15, 15 b, 16) koaxial in bezug auf den zweiten Magnetweg (28) gewickelt sind.
8. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Magnetweg (27) außer dem Hauptpol (14) einen weiteren magnetischen Dünnfilm (42 a, 42 b) aufweist.
9. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des zweiten Magnetweges (28) aus einem magnetischen Dünnfilm (17) besteht.
10. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein magnetisches Substrat (11) vorgesehen ist.
11. Magnetkopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Spule (16 c) längs einer Nut (25) ausgebildet ist, die auf dem magnetischen Substrat (11) zur Bildung eines geschlossenen Kreises vorgesehen ist.
12. Magnetkopf nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bereich des magnetischen Substrats (11) in den ersten Magnetweg (27) eingeschlossen ist.
13. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Dünnfilmspule (15, 15 b) auf dem magnetischen Substrat (11) ausgebildet ist und in dem von der ersten Dünnfilmspule (15, 15 b) eingenommenen Bereich auf dem magnetischen Substrat (11) eine mit einem nichtmagnetischen Material gefüllte Nut (12, 21 a) ausgebildet ist.
14. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bereich des magnetischen Substrats (11) in dem zweiten Magnetweg (28) liegt.
15. Magnetkopf nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Spule (16) auf dem magnetischen Substrat (11) ausgebildet ist und in dem von der zweiten Spule (16) eingenommenen Bereich auf dem magnetischen Substrat (11) eine mit einem nichtmagnetischen Material gefüllte Nut (12) ausgebildet ist.
16. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Magnetweg (27, 28) einen Bereich des magnetischen Substrats (11) enthalten und daß ein mit nichtmagnetischem Material gefüllter Abschnitt (13 c) auf dem magnetischen Substrat (11) zum Trennen des ersten und des zweiten Magnetwegs vorgesehen ist.
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