JP5042336B2 - 磁気ヘッドサスペンション - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。

磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子による磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている。

下記特許文献１には、前記圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、フレクシャ部における導体層を利用して前記圧電素子に電圧を供給する構成が提案されている。

即ち、前記特許文献１に記載された磁気ヘッドサスペンションは、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えている。

前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。

前記圧電素子は、圧電素子本体と、前記圧電素子本体を挟んで対向する上側電極層及び下側電極層とを有しており、前記下側電極層が前記ディスク面に対向した状態で先端側及び基端側が前記先端領域及び前記基端領域に絶縁性接着剤を介して固着されている。

前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部のディスク対向面に溶接等によって固着されるフレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートのディスク対向面に積層される絶縁層と、前記絶縁層のディスク対向面に積層される前記導体層とを備えている。

前記導体層は、前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、前記圧電素子に電圧を供給する為の電圧供給配線とを含んでいる。
そして、前記電圧供給配線は、前記絶縁層のディスク対向面に積層された積層領域と前記圧電素子の前記下側電極層と対向するように前記絶縁層から外方へ延在された延在領域とを有しており、前記延在領域が下側導電性接着剤を介して前記下側電極層に電気的に接続されている。
なお、前記圧電素子の前記上側電極層は、上側導電性接着剤を介して前記支持部の前記先端領域の上面（ディスク面とは反対側の面）に電気的に接続されることで接地電位とされている。

斯かる構成の従来の磁気ヘッドサスペンションは、実質的に追加部材を要することなく、前記圧電素子への電圧供給を可能としている点で有用であるが、前記下側導電性接着剤が外部に露出されている為、前記下側導電性接着剤に包含されるＡｇ等のフィラー粒子が前記ディスク面上に脱落し易いという問題があった。前記ディスク面上に脱落した前記フィラー粒子は、前記ディスク面や前記磁気ヘッドスライダスライダを損傷させる恐れがある。

特開２００９−０８０９１５号公報

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、フレクシャ部に導体層の一部として設けられた電圧供給配線と圧電素子におけるディスク面と対向する側の下側電極層とを下側導電性接着剤によって電気的に接続させつつ、前記下側導電性接着剤に包含されるフィラー粒子がディスク面上に脱落することを有効に防止し得る構造簡単な磁気ヘッドサスペンションの提供を一の目的とする。

本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と前記荷重曲げ部が連結される先端領域とサスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の第１及び第２圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体を挟んで対向する上側電極層及び下側電極層とを有し、前記下側電極層が前記ディスク面に対向した状態で前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように先端部及び基端部がそれぞれ前記先端領域及び前記基端領域に直接又は間接的に連結され、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に固着されるフレクシャ金属プレートと前記フレクシャ金属プレートにおける前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する下面に積層される導体層とを有し、前記絶縁層は、前記開口領域内に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する第１及び第２圧電素子重合部位を有し、前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、前記第１及び第２圧電素子重合部位にはそれぞれ前記ディスク面と対向する下面及び前記下面とは反対側の上面に貫通する第１及び第２接続用開口が形成され、前記絶縁層の上面には、前記第１及び第２接続用開口を利用して前記第１及び第２圧電素子の下側電極層を前記電圧供給配線に電気的に接続する第１及び第２下側導電性接着剤と平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤を囲繞するように配置された囲繞用絶縁性接着剤とが設けられ、前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部の下面に重合された状態で固着されるロードビーム部重合領域と、前記先端領域の下面に重合された状態で固着される支持部先端側重合領域と、前記荷重曲げ部を形成する一対の弾性板のサスペンション幅方向に関する間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と、前記基端領域の下面に重合された状態で固着される支持部基端側重合領域と、前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側支持プレート形成領域と、前記先端側支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側支持プレート形成領域とを有し、前記先端側支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側中央部位と、前記先端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる先端側第１及び第２幅方向部位とを有し、前記基端側支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側中央部位と、前記基端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる基端側第１及び第２幅方向部位とを有し、前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域及び前記支持部基端側重合領域の下面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域及び支持部基端側対応領域と、前記支持部先端側対応領域及び前記支持部基端側対応領域を連結するように前記開口領域内に位置する連結領域とを有し、前記連結領域は、前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の下面にそれぞれ積層される先端側支持プレート重合部位及び基端側支持プレート重合部位と、サスペンション長手方向に関し前記先端側支持プレート重合部位及び前記基端側支持プレート重合部位の間に位置する前記第１及び第２圧電素子重合部位とを含み、前記第１圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第１幅方向部位に第１固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第１幅方向部位に第１固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、前記第２圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第２幅方向部位に第２固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第２幅方向部位に第２固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側に位置する絶縁性接着剤として作用し、前記第１及び第２固着用基端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向基端側に位置する絶縁性接着剤として作用している磁気ヘッドサスペンションを提供する。

一形態においては、前記囲繞用絶縁性接着剤は平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤をそれぞれ囲繞する第１及び第２囲繞用絶縁性接着剤を含む。
前記第１囲繞用絶縁性接着剤は、前記第１接続用開口よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤と前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向外方側において前記第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第１囲繞用外方側絶縁性接着剤と前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向内方側において前記第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第１囲繞用内方側絶縁性接着剤とを含む。
前記第２圧電素子用絶縁性接着剤は、前記第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤と前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方側において前記第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第２囲繞用外方側絶縁性接着剤と前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向内方側において前記第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第２囲繞用内方側絶縁性接着剤とを含む。

好ましくは、前記第１囲繞用絶縁性接着剤は、平面視において前記第１圧電素子と重合するように配置され且つ前記ディスク面に直交する方向に関する前記第１下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞するように構成され、前記第２囲繞用絶縁性接着剤は、平面視において前記第２圧電素子と重合するように配置され且つ前記ディスク面に直交する方向に関する前記第２下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞するように構成される。

好ましくは、前記絶縁層の前記上面には前記第１及び第２接続用開口をそれぞれ囲繞する第１及び第２金属リングが設けられる。

他形態においては、前記囲繞用絶縁性接着剤は、前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤と前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション幅方向一方側において前記囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する囲繞用第１外方側絶縁性接着剤と前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション幅方向他方側において前記囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する囲繞用第２外方側絶縁性接着剤とを含む。

好ましくは、前記囲繞用先端側絶縁性接着剤は、平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する先端側第１幅方向部分及び先端側第２幅方向部分と前記先端側第１及び第２幅方向部分の間に延びる先端側中央部分とを有し、前記囲繞用基端側絶縁性接着剤は、平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する基端側第１幅方向部分及び基端側第２幅方向部分と前記基端側第１及び第２幅方向部分の間に延びる基端側中央部分とを有し得る。
前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤は平面視において前記第１圧電素子と重合し、前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤は平面視において前記第２圧電素子と重合するように配置される。
前記先端側第１幅方向部分、前記基端側第１幅方向部分及び前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤は、前記ディスク面に直交する方向に関する前記第１下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞するように構成され、前記先端側第２幅方向部分、前記基端側第２幅方向部分及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤は、前記ディスク面に直交する方向に関する前記第２下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞するように構成される。

より好ましくは、前記第１下側電極層、前記絶縁層、前記先端側第１幅方向部分、前記基端側第１幅方向部分及び前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤によって画される第１空間、並びに、前記第２下側電極層、前記絶縁層、前記先端側第２幅方向部分、前記基端側第２幅方向部分及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤によって画される第２空間には封止用絶縁性接着剤が充填される。

好ましくは、前記絶縁層の前記上面には前記第１及び第２接続用開口を個別又は一体的に囲繞する金属リングが設けられる。

又、本発明は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と前記荷重曲げ部が連結される先端領域とサスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の第１及び第２圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体を挟んで対向する上側電極層及び下側電極層とを有し、前記下側電極層が前記ディスク面に対向した状態で前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように先端部及び基端部がそれぞれ前記先端領域及び前記基端領域に直接又は間接的に連結され、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に固着されるフレクシャ金属プレートと前記フレクシャ金属プレートにおける前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する下面に積層される導体層とを有し、前記絶縁層は、前記開口領域内に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する第１及び第２圧電素子重合部位を有し、前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、前記第１及び第２圧電素子重合部位にはそれぞれ上面及び下面に貫通する第１及び第２接続用開口が形成され、前記絶縁層における前記ディスク面とは反対側の上面には平面視において前記第１及び第２接続用開口を囲繞する単一の金属リングが設けられ、前記第１及び第２圧電素子の下側電極層は前記絶縁層の上面の前記金属リング内に設けられた下側導電性接着剤を介して前記電圧供給配線に電気的に接続されており、前記絶縁層の上面には平面視において前記金属リングを囲繞するように直接又は間接的に絶縁性接着剤が設けられ、前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部の下面に重合された状態で固着されるロードビーム部重合領域と、前記先端領域の下面に重合された状態で固着される支持部先端側重合領域と、前記荷重曲げ部を形成する一対の弾性板のサスペンション幅方向に関する間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と、前記基端領域の下面に重合された状態で固着される支持部基端側重合領域と、前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側支持プレート形成領域と、前記先端側支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側支持プレート形成領域とを有し、前記先端側支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側中央部位と、前記先端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる先端側第１及び第２幅方向部位とを有し、前記基端側支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側中央部位と、前記基端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる基端側第１及び第２幅方向部位とを有し、前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域及び前記支持部基端側重合領域の下面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域及び支持部基端側対応領域と、前記支持部先端側対応領域及び前記支持部基端側対応領域を連結するように前記開口領域内に位置する連結領域とを有し、前記連結領域は、前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の下面にそれぞれ積層される先端側支持プレート重合部位及び基端側支持プレート重合部位と、サスペンション長手方向に関し前記先端側支持プレート重合部位及び前記基端側支持プレート重合部位の間に位置する前記第１及び第２圧電素子重合部位とを含み、前記第１圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第１幅方向部位に第１固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第１幅方向部位に第１固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、前記第２圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第２幅方向部位に第２固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第２幅方向部位に第２固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側に位置する絶縁性接着剤として作用し、前記第１及び第２固着用基端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向基端側に位置する絶縁性接着剤として作用している磁気ヘッドサスペンションを提供する。

好ましくは、前記先端側第１及び第２幅方向部位の先端側エッジと前記先端領域の基端側エッジとの間には隙間が存在するように前記先端側支持プレート形成領域が配置され、前記基端側第１及び第２幅方向部位の基端側エッジと前記基端領域の先端側エッジとの間には隙間が存在するように前記基端側支持プレート形成領域が配置される。

好ましくは、前記フレクシャ金属プレートは、前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子と重合するように前記先端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる第１先端側延在片と前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子と重合するように前記先端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる第２先端側延在片とサスペンション幅方向に関し前記第１先端側延在片と略同一位置に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子と重合するように前記基端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる第１基端側延在片とサスペンション幅方向に関し前記第２先端側延在片と略同一位置に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子と重合するように前記基端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる第２基端側延在片とを含み得る。
前記第１先端側延在片及び前記第１基端側延在片は互いに対して分離され、前記第２先端側延在片及び前記第２基端側延在片は互いに対して分離される。前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記１接続用開口よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤は、前記第１先端側延在片及び前記第１基端側延在片の前記ディスク面とは反対側の上面に設けられ、前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤は、前記第２先端側延在片及び前記第２基端側延在片の前記ディスク面とは反対側の上面に設けられる。

好ましくは、前記フレクシャ金属プレートは、前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子と重合した状態で前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の間を連結する第１連結片と前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子と重合した状態で前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の間を連結する第２連結片とを有し得る。
前記第１及び第２連結片にはサスペンション長手方向に関し弾性変形容易な弾性部が設けられる。

好ましくは、前記支持部先端側重合領域及び前記先端側支持プレート形成領域には前記先端領域の基端側エッジを跨ぐように開口が設けられ、前記支持部基端側重合領域及び前記基端側支持プレート形成領域には前記基端領域の先端側エッジを跨ぐように開口が設けられる。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、第１及び第２圧電素子の下側電極層とフレクシャ部に一体的に備えられた電圧供給配線とを前記フレクシャ部の絶縁層の上面に設けた下側導電性接着剤によって前記絶縁層に形成された第１及び第２接続用開口を介して電気的に接続させたので、前記第１及び第２圧電素子への電圧供給構造の簡略化を図ることができる。
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、平面視において前記下側導電性接着剤を囲繞するように前記絶縁層の上面に囲繞用絶縁性接着剤を設けたので、前記下側導電性接着剤に包含されるフィラー粒子がディスク面上に脱落することを有効に防止することができる。

さらに、前記第１圧電素子におけるディスク面と対向する下面の先端側はフレクシャ基板における先端側支持プレート形成領域の先端側第１幅方向部位に第１固着用先端側絶縁性接着剤によって固着され且つ前記下面の基端側は前記フレクシャ基板における基端側支持プレート形成領域の基端側第１幅方向部位に第１固着用基端側絶縁性接着剤されており、前記第２圧電素子の下面の先端側は前記先端側支持プレート形成領域の先端側第２幅方向部位に第２固着用先端側絶縁性接着剤によって固着され且つ前記下面の基端側は前記基端側支持プレート形成領域の基端側第２幅方向部位に第２固着用基端側絶縁性接着剤によって固着されており、前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側に位置する絶縁性接着剤としても作用し、前記第１及び第２固着用基端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向基端側に位置する絶縁性接着剤としても作用している。

図１Ａは、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１Ｂは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図２は、図１ＡにおけるII-II線に沿った断面図である。 図３は、図１ＡにおけるIII-III線に沿った断面図である。 図４は、第１及び第２圧電素子を取り外した状態の前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図５は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図である。 図６は、図５に示す前記フレクシャ部の下面図である。 図７は、図１ＢにおけるVII部の拡大図である。 図８は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であって、第１及び第２圧電素子を削除した状態を示している。 図９は、図８におけるIX-IX線に沿った断面図である。 図１０は、図８におけるX-X線に沿った断面図である。 図１１は、前記実施の形態２の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１２は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図である。 図１３は、図１２におけるXIII部の拡大図である。 図１４は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図である。 図１５Ａは、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１５Ｂは、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図１６は、図１５ＡにおけるXVI-XVI線に沿った断面図である。 図１７は、図１５ＡにおけるXVII-XVII線に沿った断面図である。 図１８は、第１及び第２圧電素子を取り外した状態の前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１９は、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図である。 図２０は、図１９に示す前記フレクシャ部の下面図である。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１Ａ及び図１Ｂに、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から視た底面図）を示す。なお、図１Ｂにおける○印は溶接点（詳しくは、レーザースポット溶接による溶接点）を示している。

図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）とを備えている。

前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。

本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。

前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４とを有している。

前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４１８に伝達される。

本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。

前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。

図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向する状態でサスペンション長手方向中心線ＣＬを挟んで互いに対して対称な状態で離間配置された左右一対の弾性板２１を有している。
好ましくは、前記一対の弾性板２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。

前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。

即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体的に有するように金属基板から形成されたロードビーム／荷重曲げ形成体を有しており、前記ロードビーム／荷重曲げ形成体は、基端側における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記支持部１０に溶接等によって固着されている。

図２及び図３に、それぞれ、図１ＡにおけるII-II線及びIII-III線に沿った断面図を示す。
又、図４に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンションの上面図を示す。なお、図４においては、理解容易化の為に前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。

図２及び図３に示すように、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電素子本体６１と前記圧電素子本体６１を挟んで対向する上側電極層６２Ｕ及び下側電極層６０Ｌとを有している。

前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、前記下側電極層６２（Ｌ）が前記ディスク面に対向した状態で前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域１３内に位置するように先端部及び基端部がそれぞれ前記先端領域１２及び前記基端領域１１に直接又は間接的に連結されている。

前記圧電素子本体６１は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層６２Ｕ，６２Ｌは、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。

なお、本実施の形態においては、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は、先端側の端面及び基端側の端面の少なくとも一部がそれぞれ前記先端領域１２の基端側端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に対向するように、前記フレクシャ部４０における下記先端側支持プレート形成領域４１４及び基端側支持プレート形成領域４１５を利用して前記支持部１０に連結されている。
前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の支持構造については後述する。

前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接等によって固着されている。
本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０に対して信号を送受信する為の信号配線４３０及び前記圧電素子６０（１），６０（２）に電圧を供給する為の電圧供給配線４４０を一体的に有している。

図５及び図６に、それぞれ、前記フレクシャ部４０の上面図及び下面図を示す。
図１Ｂ，図５及び図６に示すように、前記フレクシャ部４０は、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０における前記ディスク面と対向する下面に溶接等によって固着されるフレクシャ金属プレート４１０と、前記フレクシャ金属プレート４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層された絶縁層４２０と、前記絶縁層４２０における前記ディスク面と対向する下面に積層された前記信号配線４３０及び前記電圧供給配線４４０を含む導体層とを有している。
好ましくは、前記フレクシャ部４０は、前記導体層を囲繞する絶縁性のカバー層（図示せず）を有し得る。

図１Ｂ，図５及び図６に示すように、本実施の形態においては、前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ロードビーム部３０の前記下面に重合された状態で溶接等によって固着されるロードビーム部重合領域４１１と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板２１の間において前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に重合された状態で溶接等によって固着される支持部先端側重合領域４１３と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板２１の間に位置し且つサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部重合領域４１１及び前記支持部先端側重合領域４１３の間を連結する荷重曲げ対応領域４１２と、前記基端領域１１の前記ディスク面と対向する下面に重合された状態で溶接等によって固着される支持部基端側重合領域４１６とを有している。

なお、前記フレクシャ金属プレート４１０は、さらに、前記ロードビーム部重合領域４１１のサスペンション幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片４１７と、前記支持片４１７によって支持された前記ヘッド搭載領域４１８とを有している。

前記ヘッド搭載領域４１８は、図１Ｂに示すように、ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１８の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１８は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。

前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１８がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０を形成する部材（本実施の形態においては前記ロードビーム基板）よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。

前記フレクシャ金属プレート４１０は、図５及び図６に示すように、前記ヘッド搭載領域４１８、前記一対の支持片４１７、前記ロードビーム部重合領域４１１、前記荷重曲げ対応領域４１２及び前記支持部先端側重合領域４１３を含む先端側セクション４１０ａと前記支持部基端側重合領域４１６を含む前記基端側セクション４１０ｂとがサスペンション長手方向に関し離間されており、前記先端側セクション４１０ａ及び前記基端側セクション４１０ｂは前記絶縁層４２０によって連結されている。

前記絶縁層４２０は、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記ロードビーム部重合領域４１１、前記荷重曲げ対応領域４１２、前記支持部先端側重合領域４１３及び前記支持部基端側重合領域４１６の前記ディスク面に対向する下面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域４２１、荷重曲げ対応領域４２２、支持部先端側対応領域４２３及び支持部基端側対応領域４２６と、前記支持部先端側対応領域４２３及び前記支持部基端側対応領域４２６を連結するように前記開口領域１３内に位置する連結領域４２９とを有している。

なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は、前記フレクシャ部４０における前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５を利用して前記支持部１０に支持されている。

従って、前記フレクシャ金属プレート４１０は、さらに、前記開口領域１３内に位置するように前記支持部先端側重合領域４１３からサスペンション長手方向基端側へ延び、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の下面の先端側が載置される前記先端側支持プレート形成領域４１４と、前記先端側支持プレート形成領域４１４とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域１３内に位置するように前記支持部基端側重合領域４１６からサスペンション長手方向先端側へ延び、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の下面の基端側が載置される前記基端側支持プレート形成領域４１５とを有している。

前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５は、それぞれ、前記先端側セクション４１０ａ及び前記基端側セクション４１０ｂを形成している。

そして、前記連結領域４２９は、前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５における前記ディスク面と対向する下面にそれぞれ積層される先端側支持プレート重合部位４２４及び基端側支持プレート重合部位４２５と、前記先端側支持プレート重合部位４２４及び前記基端側支持プレート重合部位４２５を連結する延在部位４２７とを有している。

前記延在部位４２７は、前記ディスク面と直交する平面視において前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）とそれぞれ重合する第１及び第２圧電素子重合部位４２７（１），４２７（２）を有している。

図５等に示すように、前記先端側支持プレート形成領域４１４は、前記支持部先端側重合領域４１３からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側中央部位４１４ａと、前記先端側中央部位４１４ａからサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる先端側第１及び第２幅方向部位４１４（１），４１４（２）とを有している。

前記基端側支持プレート形成領域４１５は、前記支持部基端側重合領域４１６からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側中央部位４１５ａと、前記基端側中央部位４１５ａからサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる基端側第１及び第２幅方向部位４１５（１），４１５（２）とを有している。

そして、図２等に示すように、前記第１圧電素子６０（１）は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域１２の基端側端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤７１が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第１幅方向部位４１４（１）に第１固着用先端側絶縁性接着剤７３（１）を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第１幅方向部位４１５（１）に第１固着用基端側絶縁性接着剤７４（１）を介して固着されている。

同様に、前記第２圧電素子６０（２）は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域１２の基端側端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤７１が介挿された状態で対向し（下記図７参照）、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第２幅方向部位４１４（２）に第２固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第２幅方向部位４１５（２）に第２固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着されている。

前記信号配線４３０は、図６等に示すように、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダ５０に電気的に接続可能とされている。

前記電圧供給配線４４０は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の前記下側電極層６２Ｌにそれぞれ電気的に接続可能とされている。

詳しくは、前記先端部は、前記第１圧電素子６０（１）の下側電極層６２Ｌ（以下、適宜、第１下側電極層６２Ｌ（１）という）に電気的に接続される第１圧電素子接続端部４４１と、前記第２圧電素子６０（２）の下側電極層６２Ｌ（以下、適宜、第２下側電極層６２Ｌ（２）という）に電気的に接続される第２圧電素子接続端子４４２とを含んでいる。

本実施の形態においては、前記第１圧電素子接続端部４４１は、図１Ｂ，図２，図４及び図５等に示すように、前記第１圧電素子重合部位４２７（１）に形成された第１接続用開口４２８（１）を介して前記第１圧電素子６０（１）の第１下側電極層６２Ｌ（１）に対向された状態で第１下側導電性接着剤７５（１）によって前記第１下側電極層６２Ｌ（１）に電気的に接続されている。

同様に、前記第２圧電素子接続端部４４２は、図１Ｂ，図４及び図５等に示すように、前記第２圧電素子重合部位４２７（２）に形成された第２接続用開口４２８（２）を介して前記第２圧電素子６０（２）の第２下側電極層６２Ｌ（２）に対向された状態で第２下側導電性接着剤７５（２）によって前記第２下側電極層６２Ｌ（２）に電気的に接続されている。

なお、本実施の形態においては、単一の前記電圧供給配線４４０の先端部を２つに分岐して、一方を前記第１圧電素子接続端部４４１とし且つ他方を前記第２圧電素子接続端部４４２としているが、当然ながら、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
例えば、前記電圧供給配線４４０として、先端部が前記第１圧電素子接続端部４４１を形成する第１電圧供給配線と先端部が前記第２圧電素子接続端子４４２を形成する第２電圧供給配線との２本の電圧供給配線を備えることも可能である。

前記第１圧電素子６０（１）の前記上側電極層６２Ｕ（第１上側電極層６２Ｕ（１））及び前記第２圧電素子６０（２）の前記上側電極層６２Ｕは、図１Ａ及び図２に示すように、上側導電性接着剤７６を介して前記支持部１０（本実施の形態においては前記先端領域１２）に電気的に接続されることで接地電位とされている。なお、前記上側導電性接着剤７６は絶縁層７７によって囲繞されている。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記構成に加えて、図２〜図４に示すように、平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）を囲繞するように前記絶縁層４２０のディスク面とは反対側の上面に直接又は間接的に設けられた囲繞用絶縁性接着剤９０を有している。

斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ａによれば、前記フレクシャ部４０に一体的に備えられた前記電圧供給配線４４０を介して前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）へ電圧を供給しつつ、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）と前記電圧供給配線４４０とを電気的に接続する前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）に包含されるフィラー粒子（主としてＡｇ粒子）が前記ディスク面上に脱落することを有効に防止することができる。

本実施の形態においては、前記囲繞用絶縁性接着剤９０は、平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）をそれぞれ個別に囲繞するように構成されている。

詳しくは、図４に示すように、前記囲繞用絶縁性接着剤９０は、平面視において前記第１下側導電性接着剤７５（１）を囲繞する第１囲繞用絶縁性接着剤９０（１）と、平面視において前記第２下側導電性接着剤７５（２）を囲繞する第２囲繞用絶縁性接着剤９０（２）とを含んでいる。

前記第１囲繞用絶縁性接着剤９０（１）は、図４に示すように、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する第１囲繞用先端側絶縁性接着剤９１（１）及び第１囲繞用基端側絶縁性接着剤９２（１）と、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方側において前記第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤９１（１），９２（１）の間を連結する第１囲繞用外方側絶縁性接着剤９３（１）と、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向内方側において前記第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤９１（１），９２（１）の間を連結する第１囲繞用内方側絶縁性接着剤９４（１）とを有している。

前記第２囲繞用絶縁性接着剤９０（２）は、図４に示すように、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する第２囲繞用先端側絶縁性接着剤９１（２）及び第２囲繞用基端側絶縁性接着剤９２（２）と、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方側において前記第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤９１（２），９２（２）の間を連結する第２囲繞用外方側絶縁性接着剤９３（２）と、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向内方側において前記第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤９１（２），９２（２）の間を連結する第２囲繞用内方側絶縁性接着剤９４（２）とを有している。

好ましくは、図４に示すように、前記第１囲繞用絶縁性接着剤９０（１）は、平面視において前記第１圧電素子６０（１）と重合するように配置され、且つ、図２及び図３に示すように、前記ディスク面に直交する方向に関する前記第１下側電極層６２Ｌ（１）と前記絶縁層４２０との間の間隙を閉塞するように形成される。

同様に、前記第２囲繞用絶縁性接着剤９０（２）は、平面視において前記第２圧電素子６０（２）と重合するように配置され、且つ、前記ディスク面に直交する方向に関する前記第２下側電極層６２Ｌ（２）と前記絶縁層４２０との間の間隙を閉塞するように形成される。

このように、前記第１囲繞用絶縁性接着剤９０（１）が前記第１下側電極層６２Ｌ（１）及び前記絶縁層４２０と共働して前記第１下側導電性接着剤７５（１）を密閉し、且つ、前記第２囲繞用絶縁性接着剤９０（２）が前記第２下側電極層６２Ｌ（２）及び前記絶縁層４２０と共働して前記第２下側導電性接着剤７５（２）を密閉するように構成すれば、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）に包含される前記フィラー粒子の前記ディスク面上への脱落をより確実に防止することができる。

なお、前述の通り、本実施の形態においては、前記第１圧電素子６０（１）の前記下面は、先端側が前記先端側第１幅方向部位４１４（１）に前記第１固着用先端側絶縁性接着剤７３（１）を介して固着され且つ基端側が前記基端側第１幅方向部位４１５（１）に前記第１固着用基端側絶縁性接着剤７４（１）を介して固着されている。

同様に、前記第２圧電素子６０（２）の前記下面は、先端側が前記先端側第２幅方向部位４１４（２）に前記第２固着用先端側絶縁性接着剤７３（２）を介して固着され且つ基端側が前記基端側第２幅方向部位４１５（２）に前記第２固着用基端側絶縁性接着剤７４（２）を介して固着されている。

斯かる構成においては、前記第１固着用先端側絶縁性接着剤７３（１）及び前記第１固着用基端側絶縁性接着剤７４（１）は、前記第１圧電素子６０（１）を前記フレクシャ基板４１０に固着することに加えて、前記第１囲繞用先端側絶縁性接着剤９１（１）及び前記第１囲繞用基端側絶縁性接着剤９２（１）としてそれぞれ作用する。

同様に、前記第２固着用先端側絶縁性接着剤７３（２）及び前記第２固着用基端側絶縁性接着剤７４（２）は、前記第２圧電素子６０（２）を前記フレクシャ基板４１０に固着することに加えて、前記第２囲繞用先端側絶縁性接着剤９１（２）及び前記第２囲繞用基端側絶縁性接着剤９２（２）としてそれぞれ作用する。

従って、本実施の形態においては、前記第１囲繞用外方側絶縁性接着剤９３（１）は、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方側において前記第１固着用先端側絶縁性接着剤７３（１）及び前記第１固着用基端側絶縁性接着剤７４（１）の間を連結し、前記第１囲繞用内方側絶縁性接着剤９４（１）は、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向内方側において前記第１固着用先端側絶縁性接着剤７３（１）及び前記第１固着用基端側絶縁性接着剤７４（１）の間を連結する。

同様に、前記第２囲繞用外方側絶縁性接着剤９３（２）は、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方側において前記第２固着用先端側絶縁性接着剤７３（２）及び前記第２固着用基端側絶縁性接着剤７４（２）の間を連結し、前記第２囲繞用内方側絶縁性接着剤９４（２）は、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向内方側において前記第２固着用先端側絶縁性接着剤７３（２）及び前記第２固着用基端側絶縁性接着剤７４（２）の間を連結する。

前述の通り、本実施の形態においては、前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記開口領域１３を挟んで前記先端側セクション４１０ａ及び前記基端側セクション４１０ｂがサスペンション長手方向に離間されており、前記先端側セクション４１０ａ及び基端側セクション４１０ｂは前記絶縁層４２０における前記連結領域４２９の前記延在部位４２７によって連結されている。
斯かる構成によれば、前記圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作による前記先端領域１２の前記基端領域１１に対する相対移動が前記フレクシャ部４０の剛性によって阻害されることを可及的に防止できる。

なお、前述の通り、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は前記磁気ヘッドスライダ５０と外部とを電気的に接続する為の前記信号配線４３０を一体的に有している。
前記信号配線４３０は、図１Ｂに示すように、前記開口領域１３を跨いでサスペンション長手方向に延びている。
従って、前記信号配線４３０は前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作による前記先端領域１２の前記基端領域１１に対する相対移動に対して抵抗となり得る。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記抵抗を可及的に小さくする為に、下記構成を備えている。
図７に、図１ＢにおけるVII部拡大図を示す。

前記信号配線４３０は、図１Ｂ，図６及び図７に示すように、前記先端領域１２及び前記開口領域１３の境界部分を跨いでサスペンション長手方向に延びる開口領域先端側部分４３１と、前記開口領域１３及び前記基端領域１１の境界部分を跨いでサスペンション長手方向に延びる開口領域基端側部分４３２と、前記開口領域先端側部分４３１及び前記開口領域基端側部分４３２の間を連結する開口領域中央部分４３５とを有している。

前記開口領域先端側部分４３１及び前記開口領域基端側部分４３２はサスペンション幅方向中央においてサスペンション長手方向に沿って延びている。
前記開口領域中央部分４３５は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして左右に振り分け配置された第１及び第２開口領域中央部分４３５（１），４３５（２）を有している。
前記第１及び第２開口領域中央部分４３５（１），４３５（２）は、可能な範囲でサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされる。

図７に示すように、前記第１開口領域中央部分４３５（１）は、前記開口領域先端側部分４３１の基端部からサスペンション幅方向一方側へ延びる第１先端側幅方向延在部４３６（１）と、前記開口領域基端側部分４３２の先端部からサスペンション幅方向一方側へ延びる第１基端側幅方向延在部４３８（１）と、前記第１先端側幅方向延在部４３６（１）及び前記第１基端側幅方向延在部４３８（１）のサスペンション幅方向外端部同士を連結する第１湾曲部４３７（１）であって、平面視においてサスペンション幅方向一方側に凸状とされた第１湾曲部４３７（１）とを有する平面視Ｕ字状とされている。

前記第２開口領域中央部分４３５（２）は、前記開口領域先端側部分４３１の基端部からサスペンション幅方向他方側へ延びる第２先端側幅方向延在部４３６（２）と、前記開口領域基端側部分４３２の先端部からサスペンション幅方向他方側へ延びる第２基端側幅方向延在部４３８（２）と、前記第２先端側幅方向延在部４３６（２）及び前記第２基端側幅方向延在部４３８（２）のサスペンション幅方向外端部同士を連結する第２湾曲部４３７（２）であって、平面視においてサスペンション幅方向他方側に凸状とされた第２湾曲部４３７（２）とを有する平面視Ｕ字状とされている。

このように、前記信号配線４３０のうちサスペンション長手方向に関し前記先端側セクション４１０ａ及び前記基端側セクション４１０ｂの間に位置する前記開口領域中央部分４３５をサスペンション幅方向外方側に凸状とされた平面視Ｕ字状とすることにより、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作方向であるサスペンション長手方向に関する前記信号配線４３０の剛性を弱めることができ、これにより、前記信号配線４３０が前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作に対して抵抗となることを可及的に防止することができる。

図２及び図７に示すように、本実施の形態においては、前記先端側第１及び第２幅方向部位４１４（１），４１４（２）は、前記先端領域１２との間に隙間１８が存するように配置されている。

斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の先端側の端面と前記先端領域１２の基端側端面との間に介挿された前記端面側絶縁性接着剤７１並びに前記第１及び第２囲繞用先端側絶縁性接着剤９１（１），９２（２）としても作用する前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤７３（１），７３（２）が前記支持部先端側重合領域４１３と前記先端領域１２との間に入り込むことを有効に防止できる。

即ち、前記先端側第１及び第２幅方向部位４１４（１），４１４（２）が前記先端領域１２の基端側エッジを跨ぐように配置されている場合には、前記端面側絶縁性接着剤７１並びに前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤７３（１），７３（２）が理想的には密着される前記支持部先端側重合領域４１３及び前記先端領域１２の間に入り込む恐れがある。理想的には密着状態とされる前記支持部先端側重合領域４１３及び前記先端領域１２は共にＳＵＳ等の剛性部材によって形成されるから、両者の間に前記絶縁性接着剤が入り込むと、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作に伴って両者の間で前記絶縁性接着剤７１，７３（１），７３（２）からフィラーが脱離する恐れがある。

これに対し、本実施の形態においては、前述の通り、前記先端側第１及び第２幅方向部位４１４（１），４１４（２）の先端側エッジ及び前記先端領域１２の基端側エッジの間に前記隙間１８が設けられている。従って、前記絶縁性接着剤７１，７３（１），７３（２）が前記支持部先端側重合領域４１３及び前記先端領域１２の当接部分に侵入することを防止して前記不都合を有効に防止できる。

同様の理由により、本実施の形態においては、図２及び図７に示すように、前記基端側第１及び第２幅方向部位４１５（１），４１５（２）の基端側エッジと前記基端領域１１の先端側エッジとの間には隙間１９が存するように、前記基端側第１及び第２幅方向部位４１５（１），４１５（２）が配置される。

好ましくは、図２〜図５に示すように、前記絶縁層４２０の前記上面には前記第１及び第２接続用開口４２８（１），４２８（２）をそれぞれ囲繞するように第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）が設けられる。

前記第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）を備えることにより、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）の広がりを抑制でき、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）による前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の前記下側電極層６２Ｌと前記電圧供給配線４４０（１），４４０（２）との電気的接続を確実に行うことができる。さらに、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）が広がって前記第１及び第２囲繞用絶縁性接着剤９０（１），９０（２）と混入することも有効に防止できる。

なお、前記第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）は、前記フレクシャ金属プレート４１０を形成する金属板を利用して形成され得る。
即ち、前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記金属板における前記ディスク面と対向する下面に前記絶縁層４２０を積層した後に、前記金属板の不要部分をエッチング除去することによって形成される。このエッチングを、前記フレクシャ金属プレート４１０に加えて前記第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）が残るように行うことで、前記第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）を容易に形成することができる。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を削除した状態の本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。なお、理解容易化を図る為に図８においては前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。
又、図９及び図１０に、それぞれ、図８におけるIX-IX線及びX-X線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、図８に示すように、前記第１及び第２囲繞用絶縁性接着剤９０（１），９０（２）の代わりに、平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）の双方を囲繞するように構成された単一の囲繞用絶縁性接着剤１９０を備えている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。

詳しくは、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０は、前記第１及び第２接続用開口４２８（１），４２８（２）よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する囲繞用先端側絶縁性接着剤１９１及び囲繞用基端側絶縁性接着剤１９２と、前記第１及び第２接続用開口４２８（１），４２８（２）よりサスペンション幅方向一方側において前記囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤１９１，１９２の間を連結する囲繞用第１外方側絶縁性接着剤１９３と、前記第１及び第２接続用開口４２８（１），４２８（２）よりサスペンション幅方向他方側において前記囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤１９１，１９２の間を連結する囲繞用第２外方側絶縁性接着剤１９４とを有している。

斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいても、前記実施の形態１におけると同様に効果を得ることができる。

好ましくは、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０によって、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の前記下側電極層６２Ｌと前記絶縁層４２０又は前記フレクシャ金属プレート４１０との間の間隙を閉塞させることができる。

詳しくは、前記囲繞用先端側絶縁性接着剤１９１は、図８及び図９に示すように、平面視において前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）とそれぞれ重合する先端側第１幅方向部分１９１（１）及び先端側第２幅方向部分１９１（２）と、前記先端側第１及び第２幅方向部分１９１（１），１９１（２）の間に延びる先端側中央部分１９１（Ｃ）とを有するように構成され得る。

前記囲繞用基端側絶縁性接着剤１９２は、図８及び図９に示すように、平面視において前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）とそれぞれ重合する基端側第１幅方向部分１９２（１）及び基端側第２幅方向部分１９２（２）と、前記基端側第１及び第２幅方向部分１９２（１），１９２（２）の間に延びる基端側中央部分１９２（Ｃ）とを有するように構成され得る。

そして、前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤１９３は平面視において前記第１圧電素子６０（１）と重合し、前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤１９４は平面視において前記第２圧電素子６０（２）と重合するように配置される。

斯かる構成において、前記先端側第１幅方向部分１９１（１）、前記基端側第１幅方向部分１９２（１）及び前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤１９３は、前記ディスク面に直交する方向における前記第１下側電極層６２Ｌ（１）と前記絶縁層４２０との間の間隙を閉塞し、前記先端側第２幅方向部分１９１（２）、前記基端側第２幅方向部分１９２（２）及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤１９４は、前記ディスク面に直交する方向における前記第２下側電極層６２Ｌ（２）と前記絶縁層４２０との間の間隙を閉塞するように設けられる。

斯かる構成によれば、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）に包含される前記フィラー粒子の前記ディスク面上への脱落をより確実に防止することができる。

なお、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおけると同様に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は先端側が前記フレクシャ金属プレート４１０の前記先端側支持プレート形成領域４１４に載置され且つ基端側が前記基端側支持プレート形成領域４１５に載置されている。

即ち、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域１２の基端側端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤７１が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側支持プレート形成領域４１４に固着用先端側絶縁性接着剤１７３を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側支持プレート形成領域４１５に固着用基端側絶縁性接着剤１７４を介して固着されている。

斯かる構成においては、前記固着用先端側絶縁性接着剤１７３及び前記固着用基端側絶縁性接着剤１７４が、それぞれ、前記囲繞用先端側絶縁性接着剤１９１及び前記囲繞用基端側絶縁性接着剤１９２として作用する。

さらに、本実施の形態においては、図９及び図１０に示すように、前記第１下側電極層６２Ｌ（１）、前記絶縁層４２０、前記先端側第１幅方向部分１９１（１）、前記基端側第１幅方向部分１９２（１）及び前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤１９３によって画される第１空間、並びに、前記第２下側電極層６２Ｌ（２）、前記絶縁層４２０、前記先端側第２幅方向部分１９１（２）、前記基端側第２幅方向部分１９２（２）及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤１９４によって画される第２空間には封止用絶縁性接着剤８５が充填されている。

斯かる構成によれば、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）に包含されるフィラー粒子の前記ディスク面上への脱落をより確実に防止できると共に、Ａｇのイオンマイグレーションの発生を有効に防止することができる。

詳しく説明すると、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂが長期間に亘って使用されると、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）に含まれる金属（主としてＡｇ）がイオン化（主に、Ａｇプラスイオン）して絶縁物（この場合には前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）に含まれる樹脂）の内部を成長しながら移動する現象（イオンマイグレーション）が生じ得る。この現象は、前記イオンが雰囲気中の水分と化学反応を起こすと活発化する。

この点に関し、本実施の形態におけるように、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）が前記封止用絶縁性接着剤８５で密閉されていると、Ａｇのイオンマイグレーションを抑えると共に、Ａｇイオンの成長を可及的に防止することができる。

なお、前記封止用絶縁性接着剤８５を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、例えば、下記製造方法によって効率的に製造され得る。

即ち、前記製造方法は、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を前記支持部１０に連結させる工程と、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に前記フレクシャ金属プレート４１０を溶接等によって固着させることで前記フレクシャ部４０を前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に固着させる工程と、前記囲繞用先端側絶縁性接着剤１９１（本実施の形態においては前記固着用先端側絶縁性接着剤１７３）、前記囲繞用基端側絶縁性接着剤１９２（本実施の形態においては前記固着用基端側絶縁性接着剤１７４）、前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤１９３及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤１９４を塗布する第１接着剤塗布工程と、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）を塗布する第２の接着剤塗布工程と、前記第１及び第２の接着剤塗布工程の後に前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を所定位置に設置する圧電素子設置工程と、前記圧電素子設置工程の前又は後に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の先端側の端面と前記先端領域１２の基端側端面との間並びに前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の基端側の端面と前記基端領域１１の先端側端面との間に介挿される前記端面側絶縁性接着剤７１を塗布する第３の接着剤塗布工程と、前記第１から第３接着剤塗布工程によって塗布された接着剤を硬化させて前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を固定する硬化工程と、サスペンション幅方向における前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の間の間隙を介して前記ディスク面とは反対側から前記第１及び第２空間に前記封止用絶縁性接着剤８５を充填する工程とを含み得る。

前記製造方法は、さらに、前記硬化工程の後に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）のそれぞれの前記ディスク面とは反対側の前記上側電極層６２Ｕと前記支持体１０の前記先端領域１２とに跨るように前記上側導電性接着剤７６を塗布する第５の接着剤塗布工程を含み得る。

なお、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、図８に示すように、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおけると同様に、前記第１及び第２接続用開口４２８（１），４２８（２）をそれぞれ囲繞するように前記絶縁層４２０の上面に設けられた前記第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）を有している。

前記第１及び第２金属リング４５０（１），４５０（２）に代えて、単一の金属リング４５５を備えることも可能である。
図１１に、前記単一の金属リング４５５を備えた変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂ’の上面図を示す。

図１１に示すように、前記単一の金属リング４５５は、前記第１及び第２接続用開口４２８（１），４２８（２）の双方を囲繞するように前記絶縁層４２０の上面に設けられている。

この場合、前記第１圧電素子６０（１）の前記第１下側電極層６２Ｌ（１）及び前記第２圧電素子６０（２）の前記第２下側電極層６２Ｌ（２）は前記絶縁層４２０の上面の前記金属リング４５５内に設けられた共通下側導電性接着剤１７５を介して前記電圧供給配線４４０に電気的に接続され得る。

即ち、前記変形例１Ｂ’においては、前記電圧供給配線４４０は、前記第１圧電素子接続端部４４１及び前記第２圧電素子接続端部４４２の２本の接続端部ではなく単一の接続端部を有するのみで良く、前記単一の接続端部が前記共通下側導電性接着剤１７５を介して前記第１及び第２下側電極層６２Ｌ（１），６２Ｌ（２）の双方に電気的に接続される。

斯かる変形例１Ｂ’においても、前記共通下側導電性接着剤１７５の広がりを抑制でき、前記共通下側導電性接着剤１７５による前記圧電素子６０（１），６０（２）の下側電極層６２Ｌ（１），６２Ｌ（２）と前記電圧供給配線４４０との電気的接続を確実に行うことができる。さらに、前記共通下側導電性接着剤１７５が広がって前記囲繞用絶縁性接着剤１９０と混入することも有効に防止できる。

さらに、前記変形例１Ｂ’においては、前記共通下側導電性接着剤１７５がサスペンション幅方向に関し前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の間に存する間隙を介して外部に開放されることになる。従って、前記間隙から前記共通下側導電性接着剤１７５に対してＵＶ（紫外線）照射や熱風照射を行うことができ、これにより、前記共通下側導電性接着剤１７５の仮硬化を効率的に行うことができる。前記共通下側導電性接着剤１７５の仮硬化を行うことにより、その後の工程において前記共通下側導電性接着剤１７５が意に反して変形する等の不都合を有効に防止できる。

実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおけるフレクシャ部４０Ｃの上面図（ディスク面と反対側から見た平面図）を示す。
さらに、図１３に、図１２におけるXIII部拡大図を示す。
なお、理解容易化を図る為に図１２及び図１３においては前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）並びに前記支持部１０を二点鎖線で示している。
又、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、主として前記フレクシャ部４０がフレクシャ部４０Ｃに変更されている点において、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂと相違している。

前記フレクシャ部４０Ｃは、前記フレクシャ金属プレート４１０がフレクシャ金属プレート４１０Ｃに変更されている点において前記フレクシャ部４０と相違している。

詳しくは、前記フレクシャ金属プレート４１０Ｃは、図１３に示すように、前記フレクシャ金属プレート４１０と同一構成要素を備えつつ、さらに、第１先端側延在片４０１（１）、第２先端側延在片４０１（２）、第１基端側延在片４０２（１）及び第２基端側延在片４０２（２）を有している。

前記第１先端側延在片４０１（１）は、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子６０（１）と重合するように前記先端側支持プレート形成領域４１４からサスペンション長手方向基端側へ延びている。
本実施の形態においては、図１３に示すように、前記第１先端側延在片４０１（１）は、前記先端側第１幅方向部位４１４（１）のサスペンション幅方向外端部からサスペンション長手方向基端側へ延びている。

前記第２先端側延在片４０１（２）は、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子６０（２）と重合するように前記先端側支持プレート形成領域４１４からサスペンション長手方向基端側へ延びている。
本実施の形態においては、図１３に示すように、前記第２先端側延在片４０１（２）は、前記先端側第２幅方向部位４１４（２）のサスペンション幅方向外端部からサスペンション長手方向基端側へ延びている。

前記第１基端側延在片４０２（１）は、サスペンション幅方向に関し前記第１先端側延在片４０１（１）と略同一位置に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子６０（１）と重合するように前記基端側支持プレート形成領域４１５からサスペンション長手方向先端側へ延びている。
本実施の形態においては、図１３に示すように、前記第１基端側延在片４０２（１）は、前記基端側第１幅方向部位４１５（１）のサスペンション幅方向外端部からサスペンション長手方向先端側へ延びている。

前記第２基端側延在片４０２（２）は、サスペンション幅方向に関し前記第２先端側延在片４０１（２）と略同一位置に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子６０（２）と重合するように前記基端側支持プレート形成領域４１５からサスペンション長手方向先端側へ延びている。
本実施の形態においては、図１３に示すように、前記第２基端側延在片４０２（２）は、前記基端側第２幅方向部位４１５（２）のサスペンション幅方向外端部からサスペンション長手方向先端側へ延びている。

そして、前記第１先端側延在片４０１（１）及び前記第１基端側延在片４０２（１）は自由端部が互いに対して分離された状態で対向し、前記第２先端側延在片４０１（２）及び前記第２基端側延在片４０２（２）は自由端部が互いに対して分離された状態で対向している。

斯かる構成の前記フレクシャ金属プレート４１０Ｃを備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいて、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０のうち前記１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤（本実施の形態においては、前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤１９３）は前記第１先端側延在片４０１（１）及び前記第１基端側延在片４０２（１）の前記ディスク面とは反対側の上面に設けられている。

同様に、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０のうち前記２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤（本実施の形態においては、前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤１９４）は、前記第２先端側延在片４０１（２）及び前記第２基端側延在片４０２（２）の前記ディスク面とは反対側の上面に設けられている。

斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃによれば、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０のうち前記１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤については前記第１先端側延在片４０１（１）及び前記第１基端側延在片４０２（１）と前記第１下側電極層６２Ｌ（１）との間の間隙を埋めればよく、且つ、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０のうち前記２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤については前記第２先端側延在片４０１（２）及び前記第２基端側延在片４０２（２）と前記第２下側電極層６２Ｌ（２）との間の間隙を埋めればよいことになる。
従って、絶縁性接着剤の使用量を削減しつつ、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の支持安定化を図ることができる。

又、前記第１先端側延在片４０１（１）及び前記第１基端側延在片４０２（１）は互いに対して分離され、且つ、前記第２先端側延在片４０１（２）及び前記第２基端側延在片４０２（２）は互いに対して分離されているので、これらの延在片が前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作を阻害することもない。

又、本実施の形態においては、図１２及び図１３に示すように、前記支持部先端側重合領域４１３及び前記先端側支持プレート形成領域４１４には前記先端領域１２の基端側エッジを跨ぐように開口４６０が設けられている。

前記開口４６０を備えることにより、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の先端側の端面と前記先端領域１２の基端側端面との間に介挿された前記端面側絶縁性接着剤７１並びに前記囲繞用先端側絶縁性接着剤１９０が前記支持部先端側重合領域４１３と前記先端領域１２との間に入り込むことを有効に防止でき、これにより、前記絶縁性接着剤７１，１９０からフィラーが脱離するという不都合を有効に防止できる。

同様の理由により、本実施の形態においては、前記支持部基端側重合領域４１６及び前記基端側支持プレート形成領域４１５には前記基端領域１１の先端側エッジを跨ぐように開口４６１が設けられている。

さらに、本実施の形態においては、図１３に示すように、前記絶縁層４２０には、前記金属リング４５５の外方で且つ前記下側導電性接着剤１７５の近傍に開口４６５が形成されている。
前記開口４６５は、前記ディスク面に近接する下面から前記下側導電性接着剤１７５に対してＵＶ（紫外線）照射や熱風照射を行うことを可能とする為のものである。

実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１４に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおけるフレクシャ部４０Ｄの上面図（ディスク面と反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図１４においては前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）並びに前記支持部１０を二点鎖線で示している。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、主として前記フレクシャ金属プレート４１０Ｃがフレクシャ金属プレート４１０Ｄに変更されている点において前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃと相違している。

詳しくは、前記フレクシャ金属プレート４１０Ｄは、図１４に示すように、前記第１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子６０（１）と重合した状態で前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５の間を連結する第１連結片４０３（１）と、前記第２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子６０（２）と重合した状態で前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５の間を連結する第２連結片４０３（２）とを有している。

前記第１及び第２連結片４０３（１），４０３（２）にはサスペンション長手方向に関し弾性変形容易な弾性部が設けられている。
なお、本実施の形態においては、前記弾性部として、サスペンション幅方向外方側へ突出された凸部及び内方側へ突出された凸部がサスペンション長手方向に沿って交互に配置された蛇腹形状が採用されているが、これに代えて、例えば、サスペンション幅方向外方側又は内方側へ突出された単一の凸部を形成するように構成することも可能である。

斯かる構成の前記フレクシャ金属プレート４１０Ｄを備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいては、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作を阻害することなく、前記フレクシャ部４０Ｄの姿勢安定化及び前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の支持安定化を図ることができる。

好ましくは、前記実施の形態３におけると同様に、前記フレクシャ金属プレート４１０Ｄのうち前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５の間においてサスペンション長手方向に延びる部分の上面に前記囲繞用絶縁性接着剤１９０を設けることができる。即ち、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０のうち前記１接続用開口４２８（１）よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤１９３（図１４においては図示せず）を前記第１連結片４０３（１）における前記ディスク面とは反対側の上面に設け、且つ、前記囲繞用絶縁性接着剤１９０のうち前記２接続用開口４２８（２）よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤１９４（図１４においては図示せず）を前記第２連結片４０３（２）における前記ディスク面とは反対側の上面に設けることができる。

実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１５Ａ及び図１５Ｂに、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から視た底面図）を示す。なお、図１５Ｂにおける○印は溶接点（詳しくは、レーザースポット溶接による溶接点）を示している。
又、図１６及び図１７に、それぞれ、図１５ＡにおけるXVI-XVI線及びXVII-XVII線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜４における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

前記各実施の形態においては、前記フレクシャ部４０，４０Ｃ，４０Ｄの前記フレクシャ金属プレート４１０，４１０Ｃ，４１０Ｄが前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を支持するように構成されている。

即ち、前記各実施の形態においては、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、先端側の端面及び基端側の端面が前記先端領域１２の基端側の端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に前記端面側絶縁性接着剤７１を介して連結された状態で、下面の先端側が前記固着用先端側絶縁性接着剤７３，１７３によって前記先端側支持プレート形成領域４１４に固着され且つ下面の基端側が前記固着用基端側絶縁性接着剤７４，１７４によって前記基端側支持プレート形成領域４１５に固着されており、前記固着用先端側絶縁性接着剤７３，１７３及び前記固着用基端側絶縁性接着剤７４，１７４が前記囲繞用絶縁性接着剤９０，１９０の一部を形成している。

これに対し、本実施の形態においては、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は実質的に支持部１０Ｅのみによって支持されている。

具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドへサスペンション１Ａに比して、前記支持部１０及び前記フレクシャ部４０の代わりに支持部１０Ｅ及びフレクシャ部４０Ｅを有している。

前記支持部１０Ｅは、前記支持部１０における構成要素と同一構成要素を備えつつ、さらに、図１６等に示すように、前記先端領域１２に前記ディスク面とは反対側且つサスペンション長手方向基端側に開くように形成された先端側切り欠き１２ａと、前記基端領域１１に前記ディスク面とは反対側且つサスペンション長手方向先端側へ開くように形成された基端側切り欠き１１ａとを備えている。

図１８に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅの上面図を示す。なお、図１８においては、理解容易化の為に前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。

図１６及び図１８に示すように、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は、先端側及び基端側が固着用絶縁性接着剤７８によって前記先端側切り欠き１２ａ及び前記基端側切り欠き１１ａにそれぞれ固着されている。

即ち、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の先端側は、前記ディスク面と対向する下面が前記先端側切り欠き１２ａの上方を向く上面と対向し且つ先端側を向く端面が前記先端側切り欠き１２ａの基端側を向く端面と対向した状態で固着用絶縁性接着剤７８を介して前記先端側切り欠き１２ａに固着されている。

そして、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の基端側は、前記ディスク面と対向する下面が前記基端側切り欠き１１ａの上方を向く上面と対向し且つ基端側を向く端面が前記基端側切り欠き１２ａの先端側を向く端面と対向した状態で固着用絶縁性接着剤７８を介して前記基端側切り欠き１１ａに固着されている。

図１９及び図２０に、それぞれ、前記フレクシャ部４０Ｅの上面図及び下面図を示す。
前記フレクシャ部４０Ｅは、前記フレクシャ金属プレート４１０がフレクシャ金属プレート４１０Ｅに変更されている点において、前記フレクシャ部４０と相違している。

前記フレクシャ金属プレート４１０Ｅは、図１９及び図２０に示すように、前記フレクシャ金属プレート４１０から前記先端側支持プレート形成領域４１４及び前記基端側支持プレート形成領域４１５が削除された構成を有している。

斯かる構成において、前記囲繞用絶縁性接着剤９０は、平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）を囲繞するように前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられている。

なお、本実施の形態においては、前記囲繞用絶縁性接着剤９０は、図１８等に示すように、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）をそれぞれ囲繞する前記第１及び第２囲繞用絶縁性接着剤９０（１），９０（２）を有するように構成されているが、当然ながら、前記実施の形態２におけるように、前記第１及び第２下側導電性接着剤７５（１），７５（２）の双方を囲繞するように構成することも可能である。

１Ａ〜１Ｅ 磁気ヘッドサスペンション
１０，１０Ｅ 支持部
１１ 基端領域
１１ａ 基端側切り欠き
１２ 先端領域
１２ａ 先端側切り欠き
１３ 開口領域
１４ 連結梁
１８，１９ 隙間
２０ 荷重曲げ部
２１ 弾性板
３０ ロードビーム部
４０，４０Ｃ〜４０Ｅ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
６０（１），６０（２） 第１及び第２圧電素子
６１ 圧電素子本体
６２Ｕ 上側電極層
６２Ｌ 下側電極層
７１ 端面側絶縁性接着剤
７３（１），７３（２） 第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤
７４（１），７４（２） 第１及び第２固着用基端側絶縁性接着剤
７５（１），７５（２） 第１及び第２下側導電性接着剤
７８ 固着用絶縁性接着剤
８５ 封止用絶縁性接着剤
９０ 囲繞用絶縁性接着剤
９０（１），９０（２） 第１及び第２囲繞用絶縁性接着剤
９１（１），９１（２） 第１及び第２囲繞用先端側絶縁性接着剤
９２（１），９２（２） 第１及び第２囲繞用基端側絶縁性接着剤
９３（１），９３（２） 第１及び第２囲繞用外方側絶縁性接着剤
９４（１），９４（２） 第１及び第２囲繞用内方側絶縁性接着剤
１７３ 固着用先端側絶縁性接着剤
１７４ 固着用基端側絶縁性接着剤
１７５ 共通下側導電性接着剤
１９０ 単一の囲繞用絶縁性接着剤
１９１ 囲繞用先端側絶縁性接着剤
１９１（１） 先端側第１幅方向部分
１９１（２） 先端側第２幅方向部分
１９１（Ｃ） 先端側中央部分
１９２ 囲繞用基端側絶縁性接着剤
１９２（１） 基端側第１幅方向部分
１９２（２） 基端側第２幅方向部分
１９２（Ｃ） 基端側中央部分
１９３ 囲繞用第１外方側絶縁性接着剤
１９４ 囲繞用第２外方側絶縁性接着剤
４０１（１），４０１（２） 第１及び第２先端側延在片
４０２（１），４０２（２） 第１及び第２基端側延在片
４０３（１）ｔ４０３（２） 第１及び第２連結片
４１０，４１０Ｃ〜４１０Ｅ フレクシャ金属プレート
４１１ ロードビーム部重合領域
４１２ 荷重曲げ対応領域
４１３ 支持部先端側重合領域
４１４ 先端側支持プレート形成領域
４１４ａ 先端側中央部位
４１４（１），４１４（２） 先端側第１及び第２幅方向部位
４１５ 基端側支持プレート形成領域
４１５ａ 基端側中央部位
４１５（１），４１５（２） 基端側第１及び第２幅方向部位
４１６ 支持部基端側重合領域
４２０ 絶縁層
４２１ ロードビーム対応領域
４２２ 荷重曲げ対応領域
４２３ 支持部先端側対応領域
４２４ 先端側支持プレート重合部位
４２５ 基端側支持プレート重合部位
４２６ 支持部基端側対応領域
４２７（１），４２７（２） 第１及び第２圧電素子重合部位
４２８（１），４２８（２） 第１及び第２接続用開口
４２９ 連結領域
４３０ 信号配線
４４０ 電圧供給配線
４５０（１），４５０（２） 第１及び第２金属リング
４５５ 単一の金属リング
４６０，４６１ 開口
ＣＬ サスペンション長手方向中心線

Claims (13)

1. 磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
   前記一対の第１及び第２圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体を挟んで対向する上側電極層及び下側電極層とを有し、前記下側電極層が前記ディスク面に対向した状態で前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように先端部及び基端部がそれぞれ前記先端領域及び前記基端領域に直接又は間接的に連結され、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に固着されるフレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートにおける前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層における前記ディスク面と対向する下面に積層される導体層とを有し、
   前記絶縁層は、前記開口領域内に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する第１及び第２圧電素子重合部位を有し、
   前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、
   前記第１及び第２圧電素子重合部位にはそれぞれ前記ディスク面と対向する下面及び前記下面とは反対側の上面に貫通する第１及び第２接続用開口が形成され、
   前記絶縁層の上面には、前記第１及び第２接続用開口を利用して前記第１及び第２圧電素子の下側電極層を前記電圧供給配線に電気的に接続する第１及び第２下側導電性接着剤と、平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤を囲繞するように配置された囲繞用絶縁性接着剤とが設けられ、
   前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部の下面に重合された状態で固着されるロードビーム部重合領域と、前記先端領域の下面に重合された状態で固着される支持部先端側重合領域と、前記荷重曲げ部を形成する一対の弾性板のサスペンション幅方向に関する間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と、前記基端領域の下面に重合された状態で固着される支持部基端側重合領域と、前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側支持プレート形成領域と、前記先端側支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側支持プレート形成領域とを有し、
   前記先端側支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側中央部位と、前記先端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる先端側第１及び第２幅方向部位とを有し、
   前記基端側支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側中央部位と、前記基端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる基端側第１及び第２幅方向部位とを有し、
   前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域及び前記支持部基端側重合領域の下面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域及び支持部基端側対応領域と、前記支持部先端側対応領域及び前記支持部基端側対応領域を連結するように前記開口領域内に位置する連結領域とを有し、
   前記連結領域は、前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の下面にそれぞれ積層される先端側支持プレート重合部位及び基端側支持プレート重合部位と、サスペンション長手方向に関し前記先端側支持プレート重合部位及び前記基端側支持プレート重合部位の間に位置する前記第１及び第２圧電素子重合部位とを含み、
   前記第１圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第１幅方向部位に第１固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第１幅方向部位に第１固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、
   前記第２圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第２幅方向部位に第２固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第２幅方向部位に第２固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、
   前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側に位置する絶縁性接着剤として作用し、
   前記第１及び第２固着用基端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向基端側に位置する絶縁性接着剤として作用していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
2. 前記囲繞用絶縁性接着剤は平面視において前記第１及び第２下側導電性接着剤をそれぞれ囲繞する第１及び第２囲繞用絶縁性接着剤を含み、
   前記第１囲繞用絶縁性接着剤は、前記第１接続用開口よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤と、前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向外方側において前記第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第１囲繞用外方側絶縁性接着剤と、前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向内方側において前記第１囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第１囲繞用内方側絶縁性接着剤とを含み、
   前記第２圧電素子用絶縁性接着剤は、前記第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤と、前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方側において前記第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第２囲繞用外方側絶縁性接着剤と、前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向内方側において前記第２囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する第２囲繞用内方側絶縁性接着剤とを含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
3. 前記第１囲繞用絶縁性接着剤は、平面視において前記第１圧電素子と重合するように配置され且つ前記ディスク面に直交する方向に関する前記第１下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞しており、
   前記第２囲繞用絶縁性接着剤は、平面視において前記第２圧電素子と重合するように配置され且つ前記ディスク面に直交する方向に関する前記第２下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
4. 前記絶縁層の前記上面には前記第１及び第２接続用開口をそれぞれ囲繞する第１及び第２金属リングが設けられていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
5. 前記囲繞用絶縁性接着剤は、前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置する囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤と、前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション幅方向一方側において前記囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する囲繞用第１外方側絶縁性接着剤と、前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション幅方向他方側において前記囲繞用先端側及び基端側絶縁性接着剤の間を連結する囲繞用第２外方側絶縁性接着剤とを含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
6. 前記囲繞用先端側絶縁性接着剤は、平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する先端側第１幅方向部分及び先端側第２幅方向部分と、前記先端側第１及び第２幅方向部分の間に延びる先端側中央部分とを有し、
   前記囲繞用基端側絶縁性接着剤は、平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する基端側第１幅方向部分及び基端側第２幅方向部分と、前記基端側第１及び第２幅方向部分の間に延びる基端側中央部分とを有し、
   前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤は、平面視において前記第１圧電素子と重合し、
   前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤は、平面視において前記第２圧電素子と重合し、
   前記先端側第１幅方向部分、前記基端側第１幅方向部分及び前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤は、前記ディスク面に直交する方向に関する前記第１下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞し、
   前記先端側第２幅方向部分、前記基端側第２幅方向部分及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤は、前記ディスク面に直交する方向に関する前記第２下側電極層と前記絶縁層との間の間隙を閉塞していることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
7. 前記第１下側電極層、前記絶縁層、前記先端側第１幅方向部分、前記基端側第１幅方向部分及び前記囲繞用第１外方側絶縁性接着剤によって画される第１空間、並びに、前記第２下側電極層、前記絶縁層、前記先端側第２幅方向部分、前記基端側第２幅方向部分及び前記囲繞用第２外方側絶縁性接着剤によって画される第２空間には封止用絶縁性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
8. 前記絶縁層の前記上面には前記第１及び第２接続用開口を個別又は一体的に囲繞する金属リングが設けられていることを特徴とする請求項５から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
9. 磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
   前記一対の第１及び第２圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体を挟んで対向する上側電極層及び下側電極層とを有し、前記下側電極層が前記ディスク面に対向した状態で前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように先端部及び基端部がそれぞれ前記先端領域及び前記基端領域に直接又は間接的に連結され、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に固着されるフレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートにおける前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層における前記ディスク面と対向する下面に積層される導体層とを有し、
   前記絶縁層は、前記開口領域内に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記第１及び第２圧電素子とそれぞれ重合する第１及び第２圧電素子重合部位を有し、
   前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、
   前記第１及び第２圧電素子重合部位にはそれぞれ上面及び下面に貫通する第１及び第２接続用開口が形成され、
   前記絶縁層における前記ディスク面とは反対側の上面には平面視において前記第１及び第２接続用開口を囲繞する単一の金属リングが設けられ、
   前記第１及び第２圧電素子の下側電極層は前記絶縁層の上面の前記金属リング内に設けられた下側導電性接着剤を介して前記電圧供給配線に電気的に接続されており、
   前記絶縁層の上面には平面視において前記金属リングを囲繞するように直接又は間接的に絶縁性接着剤が設けられ、
   前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部の下面に重合された状態で固着されるロードビーム部重合領域と、前記先端領域の下面に重合された状態で固着される支持部先端側重合領域と、前記荷重曲げ部を形成する一対の弾性板のサスペンション幅方向に関する間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と、前記基端領域の下面に重合された状態で固着される支持部基端側重合領域と、前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側支持プレート形成領域と、前記先端側支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側支持プレート形成領域とを有し、
   前記先端側支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側中央部位と、前記先端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる先端側第１及び第２幅方向部位とを有し、
   前記基端側支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側中央部位と、前記基端側中央部位からサスペンション幅方向一方側及び他方側へ延びる基端側第１及び第２幅方向部位とを有し、
   前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域及び前記支持部基端側重合領域の下面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域及び支持部基端側対応領域と、前記支持部先端側対応領域及び前記支持部基端側対応領域を連結するように前記開口領域内に位置する連結領域とを有し、
   前記連結領域は、前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の下面にそれぞれ積層される先端側支持プレート重合部位及び基端側支持プレート重合部位と、サスペンション長手方向に関し前記先端側支持プレート重合部位及び前記基端側支持プレート重合部位の間に位置する前記第１及び第２圧電素子重合部位とを含み、
   前記第１圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第１幅方向部位に第１固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第１幅方向部位に第１固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、
   前記第２圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、前記ディスク面に対向する下面の先端側が前記先端側第２幅方向部位に第２固着用先端側絶縁性接着剤を介して固着され且つ前記下面の基端側が前記基端側第２幅方向部位に第２固着用基端側絶縁性接着剤を介して固着され、
   前記第１及び第２固着用先端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向先端側に位置する絶縁性接着剤として作用し、
   前記第１及び第２固着用基端側絶縁性接着剤が前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記第１及び第２接続用開口よりサスペンション長手方向基端側に位置する絶縁性接着剤として作用していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
10. 前記先端側第１及び第２幅方向部位の先端側エッジと前記先端領域の基端側エッジとの間には隙間が存在し、
    前記基端側第１及び第２幅方向部位の基端側エッジと前記基端領域の先端側エッジとの間には隙間が存在することを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
11. 前記フレクシャ金属プレートは、前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子と重合するように前記先端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる第１先端側延在片と、前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子と重合するように前記先端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる第２先端側延在片と、サスペンション幅方向に関し前記第１先端側延在片と略同一位置に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子と重合するように前記基端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる第１基端側延在片と、サスペンション幅方向に関し前記第２先端側延在片と略同一位置に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子と重合するように前記基端側支持プレート形成領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる第２基端側延在片とを含み、
    前記第１先端側延在片及び前記第１基端側延在片は互いに対して分離され、前記第２先端側延在片及び前記第２基端側延在片は互いに対して分離されており、
    前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記１接続用開口よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤は、前記第１先端側延在片及び前記第１基端側延在片の前記ディスク面とは反対側の上面に設けられており、前記囲繞用絶縁性接着剤のうち前記２接続用開口よりサスペンション幅方向外方においてサスペンション長手方向に延びる絶縁性接着剤は、前記第２先端側延在片及び前記第２基端側延在片の前記ディスク面とは反対側の上面に設けられていることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
12. 前記フレクシャ金属プレートは、前記第１接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第１圧電素子と重合した状態で前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の間を連結する第１連結片と、前記第２接続用開口よりサスペンション幅方向外方側に位置し且つ平面視において前記第２圧電素子と重合した状態で前記先端側支持プレート形成領域及び前記基端側支持プレート形成領域の間を連結する第２連結片とを有し、
    前記第１及び第２連結片にはサスペンション長手方向に関し弾性変形容易な弾性部が設けられていることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
13. 前記支持部先端側重合領域及び前記先端側支持プレート形成領域には前記先端領域の基端側エッジを跨ぐように開口が設けられ、前記支持部基端側重合領域及び前記基端側支持プレート形成領域には前記基端領域の先端側エッジを跨ぐように開口が設けられていることを特徴とする請求項１から１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。

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