JP5258724B2 - ヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が、電気絶縁性を有する接着剤を介して取付部に実装されたヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法に関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。かかる情勢から、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の技術分野では、そうしたマイクロアクチュエータの要請が高い。

一方、磁気ディスク装置では、記憶容量を大きくすることが喫緊の課題である。一般に磁気ディスク装置の大容量化は、ディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで実現される。ディスクの直径を変えずに高記録密度化を実現するには、単位長さあたりのトラック数 (TPI : Track Per inch) を大きくすること、つまり、トラックの幅を狭くすることが必要である。そのため、トラックにおける幅方向の磁気ヘッドの位置決め精度を向上することが必要となる。かかる観点からも、微細領域で高精度の位置決めを実現可能なアクチュエータが望まれる。

こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレートと、ベースプレートよりも薄いヒンジ部を備えた連結プレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、一対の圧電素子と、などを備えたディスク装置用サスペンション（例えば、特許文献１参照）を提案している。

上記特許文献１に記載の技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれる。この方式では、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加えて、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる圧電素子を採用している。

この圧電素子は、ロードビームの先端側を、サスペンションにおける幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微少駆動する。同方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションでは、サスペンション本体に対して圧電素子を、いかなる手段によって実装するか、が問題となる。

こうした問題を解決するためのアプローチのひとつとして、本願出願人は、フレキシャが取付けられるロードビームと、ベースプレートを含むアクチュエータベースと、一対の圧電素子と、などを備え、アクチュエータベースに設けた取付部に、電気絶縁性を有する接着剤を介して圧電素子を実装するように構成したディスク装置用サスペンションを提案している（例えば、特許文献２の段落番号００２４〜００２６、及び図５中の接着剤層８０参照）。

上記特許文献２に記載された接着剤を介しての圧電素子の実装は、例えば、アクチュエータベースにおける所定位置に圧電素子を当該両者間に隙間を担保しつつ位置決めした状態で、その隙間に電気絶縁性を有する接着剤を塗布乃至充填することで遂行される。

この接着剤の塗布乃至充填工程において、接着剤の量が少な過ぎた場合には、圧電素子と取付部間における電気絶縁性の担保に支障を来す。その一方、接着剤の量が多すぎた場合には、接着剤が流出・拡散してしまう事態を招来しかねない。

すなわち、使用する接着剤の量に依存して、第一に圧電素子と取付部間における電気絶縁性の不良によってサスペンション本来の機能に支障を来す、第二に流出・拡散した接着剤が例えばロードビームに取付けられたフレキシャにまで至ると、サスペンション本体の剛性バランスが崩れ、振動特性が劣化する、などといった諸問題を生じるおそれがあった。

特開２００２−５０１４０号公報 特開２００２−１８４１４０号公報

解決しようとする問題点は、従来の圧電素子の実装技術では、使用する接着剤の量に依存して、第一に圧電素子と取付部間における電気絶縁性の不良によってサスペンション本来の機能に支障を来す、第二に流出・拡散した接着剤が例えばロードビームに取付けられたフレキシャにまで至ると、サスペンション本体の剛性バランスが崩れ、振動特性が劣化するといった諸問題を生じるおそれがあった点である。

本発明は、圧電素子と取付部間における電気絶縁性を良好に維持して本来の機能を十全に発揮可能なヘッドサスペンションを得ることを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るヘッドサスペンションは、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される取付部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームと、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるように構成されたヘッドサスペンションであって、前記取付部に設けた開口部内に、前記圧電素子の電極面を受ける受け部を設け、前記圧電素子は、前記受け部に複数の接着剤層を介して固定され、前記複数の接着剤層のうち前記受け部側の接着剤層は、電気絶縁性を有した、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションによれば、圧電素子は、圧電素子の電極面を受ける受け部に複数の接着剤層を介して固定され、前記複数の接着剤層のうち前記受け部側の接着剤層は、電気絶縁性を有した、構成を採用したので、従って、圧電素子と取付部間における電気絶縁性を良好に維持して本来の機能を十全に発揮することができる。

図１は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。 図２は、ヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの外観斜視図である。 図３は、圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。 図４は、実施例に係るヘッドサスペンションを裏面側から視た平面図である。 図５は、実施例に係るヘッドサスペンションの開口部周辺における積層状態を概念的に示す部分断面図であり、図５（Ａ）は、実施例に係る圧電素子の取付状態を示す説明図、図５（Ｂ）は、変形例に係る圧電素子の取付状態を示す説明図である。 図６は、ヘッドサスペンションにおける圧電素子取付部への接着剤の塗布を行う際に使用される接着剤塗布ユニットの概略構成図である。 図７は、ヘッドサスペンションにおける取付部への圧電素子の取付工程を示す説明図である。 図８は、図７に示す取付工程図の変形例を示す説明図である。 図９は、本発明の変形実施例に係るヘッドサスペンションの外観図である。

圧電素子と取付部間における電気絶縁性を良好に維持して本来の機能を十全に発揮可能なヘッドサスペンションを得るといった目的を、取付部に設けた開口部内に、圧電素子の電極面を受ける受け部を設け、前記圧電素子は、前記受け部に複数の接着剤層を介して固定され、前記複数の接着剤層のうち前記受け部側の接着剤層は、電気絶縁性を有した、構成を採用することによって実現した。

以下、本発明の実施例に係るヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、実施例に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。
［実施例に係るヘッドサスペンション］
図１は、実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。

図１に示すように、実施例に係るヘッドサスペンション３１は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子１３と、本発明の”基部”に相当するベースプレート３３と、ロードビーム３５と、ヒンジ部材としての機能を有する連結プレート３７と、などを備えている。

このヘッドサスペンション３１は、ベースプレート３３に開設した本発明の”取付部”に相当する開口部４３を備え、同開口部４３に圧電素子１３を埋め込み式に実装することで、圧電素子１３の変形に従ってロードビーム３５の先端側をスウェイ方向に変位させるように構成されている。

ベースプレート３３は、板厚が例えば１５０〜２００μｍ程度の、例えばステンレス製薄板から構成されている。

ベースプレート３３は、Ｕ字状に湾曲した左右一対の可撓部４１ａ，４１ｂと、圧電素子１３を収容可能な前記開口部（取付部）４３と、略円形のボス孔４５を有している。一対の可撓部４１ａ，４１ｂは、圧電素子１３の側面に対応したそれぞれの位置において、外側に凸となるように湾曲している。

ベースプレート３３は、不図示のボイスコイルモータによって駆動されるアクチュエータアームの先端部に固定され、ボイスコイルモータによって旋回駆動されるようになっている。

ベースプレート３３の素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。こうした軽量素材を採用すれば、ベースプレート３３の慣性質量（イナーシャ）を小さくすることを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション３１のトレース能力向上に寄与することができる。

なお、ベースプレート３３に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成に代えて、ベースプレート３３に対してその後端側が重ね合わされた状態でレーザ溶接等の適宜の固着手段によって固着されるアクチュエータプレート３４に、可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成を採用してもよい。

すなわち、本発明は、ベースプレート３３とアクチュエータプレート３４とを共に備えているヘッドサスペンションと、ベースプレート３３を備えているがアクチュエータプレート３４は備えていないヘッドサスペンションと、の両者を、その技術的範囲の射程に捉えている。

ただし、以下では、説明の簡略化を企図して、”アクチュエータプレート３４”は”ベースプレート３３”と一体の部材であるものとして説明を進める。

ロードビーム３５にはフレキシャ３９が設けられている。フレキシャ３９は、ロードビーム３５よりもさらに薄く精密な金属製の薄板ばねからなる。フレキシャ３９における先端側には、磁気ヘッドを構成するスライダ（不図示）が設けられている。

ロードビーム３５は、フレキシャ３９に設けられる磁気ヘッドスライダに負荷荷重を与える役割を果たす。

ロードビーム３５は、板厚が例えば３０〜１５０μｍ程度の、例えばステンレス製薄板から構成されている。ロードビーム３５には、その両側部に一対の曲げ縁３６ａ，３６ｂが形成されている。これによって、ロードビーム３５の剛性を高めるようにしている。ロードビーム３５における後端側には、連結プレート３７が一体に設けられている。

ロードビーム３５の素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。こうした軽量素材を採用すれば、ロードビーム３５の慣性質量（イナーシャ）を小さくすることを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション３１のトレース能力向上に寄与することができる。

連結プレート３７は、板厚が例えば３０μｍ程度のばね性を有する金属板から構成されている。連結プレート３７の一部には、厚み方向の曲げ剛性を下げるための孔４７が形成されている。この孔４７の両側部に、厚み方向に撓むことのできる左右一対のヒンジ部４９ａ，４９ｂが形成されている。連結プレート３７における後端側は、ベースプレート３３における先端側に、その裏面側から重ね合わされて、レーザ溶接等の適宜の固着手段によって相互に固着されている。

実施例に係るヘッドサスペンション３１の説明の途中であるが、ここで説明の便宜上、実施例に係るヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの構成及びその作用効果について説明する。
［圧電アクチュエータ］
図２は、実施例に係るヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの外観斜視図、図３は、本圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。

図２及び図３に示すように、圧電アクチュエータ１１は、電圧の印加状態に応じて変形する、略矩形形状の圧電素子１３を有し、圧電素子１３の変形に従って被駆動部材（実施例ではロードビーム３５）を駆動する役割を果たす。ここで、”電圧の印加状態に応じて変形する”とは、電圧の印加又は開放に応じて変形する概念と、電圧の印加レベルに応じて変形する概念と、の両者を包含する概念である。

圧電素子１３は、共通の平面内において相互に所定距離離隔して配置される一対の第１及び第２電極板１５，１７と、一対の第１及び第２電極板１５，１７に対向して設けられる一つの共有電極板１９と、一対の第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９との間に設けられる圧電材料部２１と、を備えて構成されている。

第１及び第２電極板１５，１７、並びに共有電極板１９の素材としては、例えば金（Ａｕ）等の接触抵抗が低い金属材料を好適に用いることができる。

一対の第１及び第２電極板１５，１７は、相互に略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。共有電極板１９は、一対の第１及び第２電極板１５，１７を統合したものと略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。

圧電材料部２１は、第１電極板１５への電圧の印加状態に応じて変形する第１圧電材料部２１ａと、第２電極板１７への電圧の印加状態に応じて変形する第２圧電材料部２１ｂとを、相互に異なる分極方向となるように配置して構成されている。具体的には、これら第１及び第２圧電材料部２１ａ，２１ｂは、例えば圧電セラミックスを素材として用いて、相互に１８０°異なる分極方向となるように配置されている。

次に、実施例に係る圧電アクチュエータ１１の動作について、圧電素子１３におけるＸ（図２参照）を固定側基部とする一方、Ｙ（図２参照）を駆動側基部とし、さらに、一対の第１及び第２電極板１５，１７を電気的に接地する一方、共有電極板１９に所要の電圧を印加した場合を想定して説明する。

この場合、圧電素子１３は、図２に示すように、第１電極板１５における一方の端面２３が収縮する一方、第２電極板１７における他方の端面２５が伸長することで、全体として略台形形状に歪む。

すると、圧電素子１３は、Ｚ方向（図２参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側基部Ｙにおける被駆動部材の位置を変位させることができる。

なお、上述とは逆に、共有電極板１９を電気的に接地する一方、一対の第１及び第２電極板１５，１７に所要の電圧を印加した場合には、マイナスＺ方向（図２のＺ方向とは逆方向）に微少距離だけ変位することで、駆動側基部Ｙにおける被駆動部材の位置を変位させることができる。

従って、実施例に係る圧電アクチュエータ１１によれば、第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９の３枚の各電極のそれぞれに対して都合３系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。

また、ひとつの圧電素子１３を用いて圧電アクチュエータを構成する実施例では、部品点数削減を通じて、部品管理の煩わしさを低減するとともに、コスト的にも有利となる。

ここで、実施例に係るヘッドサスペンション３１の説明に戻る。

図４は、実施例に係るヘッドサスペンションを裏面側から視た平面図、図５は、実施例に係るヘッドサスペンションの開口部周辺における積層状態を概念的に示す部分断面図であり、図５（Ａ）は、実施例に係る圧電素子の取付状態を示す説明図、図５（Ｂ）は、変形例に係る圧電素子の取付状態を示す説明図、図６は、ヘッドサスペンションにおける圧電素子取付部への接着剤の塗布を行う際に使用される接着剤塗布ユニットの概略構成図、図７は、ヘッドサスペンションにおける取付部への圧電素子の取付工程を示す説明図、図８は、図７に示す取付工程図の変形例を示す説明図である。

図１並びに図４及び図５（Ａ）に示すように、開口部（取付部）４３には、第１及び第２電極板１５，１７が上方に位置する一方で、共有電極板１９が下方に位置するように、圧電素子１３が埋め込み式に設けられている。前記ベースプレート３３の上側面と、前記圧電素子１３の上側電極面とは、面一の関係になっている。

前記開口部４３の内側であって、同開口部４３の周縁における先端側及び後端側には、次述する非導電性接着剤５１の接着性能向上などを企図して、パーシャルエッチング処理が施してある。これにより、前記開口部４３の内側周縁における先端側及び後端側には、前記圧電素子１３の共有電極板１９の電極面を幅方向に渡る面で受ける受け部３３ａ１，３３ａ２がそれぞれ形成されている。

前記圧電素子１３の共有電極板１９と、前記受け部３３ａ１，３３ａ２との間には、図５（Ａ）に示すように、前記受け部３３ａ１，３３ａ２の側から、適宜の厚みを有する複数の接着剤層（第１非導電性接着剤層５１ａ１及び第２非導電性接着剤層５１ｂ１）が介在している。

前記第１非導電性接着剤層５１ａ１は、その厚みを１０μｍ以上に形成するのが好ましい。この程度の厚みを有する絶縁層５１ａ１であれば、前記圧電素子１３の共有電極板１９と、前記受け部３３ａ１，３３ａ２との間の電気絶縁性を確保することができることに基づく。

また、前記圧電素子１３と、前記開口部４３の周縁における先端側及び後端側の立壁部４３ａとの間に空けられた隙間部５０には、図５（Ａ）に示すように、適宜の厚みを有する第３非導電性接着剤層５１ｃが介在している。

本実施例に係るヘッドサスペンション３１では、前記第２非導電性接着剤層５１ｂ１に代えて、導電性接着剤層５１ｂｂ１を採用してもよい。ただし、この場合には、前記圧電素子１３の共有電極板１９と、前記ベースプレート３３との間の電気絶縁性の確保を別途要する。このため、前記第１非導電性接着剤層５１ａ１の形成と同時に、前記立壁部４３ａを覆う第１非導電性接着剤層５１ａ２を形成する。これにより、前記第１非導電性接着剤層５１ａ１と、前記第１非導電性接着剤層５１ａ２とは、連続したＬ字形状の絶縁体を形成して、前記電気絶縁性の確保を確実に行うことができる。

ここで、前記接着剤層と、同接着剤層を形成するために用いた接着剤とのそれぞれに付与した符合の整合関係について述べる。前記第１非導電性接着剤層５１ａ１，５１ａ２は、第１非導電性接着剤５１ａが硬化することによって形成された層である。同様に、前記第２非導電性接着剤層５１ｂ１は、第２非導電性接着剤５１ｂが硬化することによって形成された層である。また、前記導電性接着剤層５１ｂｂ１は、導電性接着剤５１ｂｂが硬化することによって形成された層である。そして、前記第３非導電性接着剤層５１ｃ１は、第３非導電性接着剤５１ｃが硬化することによって形成された層である。

なお、前記第１〜第３非導電性接着剤５１ａ，５１ｂ，５１ｃとしては、同じ種類の非導電性接着剤を用いることができる。そこで、以下の説明において、”非導電性接着剤５１”というときには、特に断らない限り、前記第１〜第３非導電性接着剤５１ａ，５１ｂ，５１ｃを総称するものとする。

また、以下の説明において、単に”接着剤５１”というときには、特に断らない限り、前記第１〜第３非導電性接着剤５１ａ，５１ｂ，５１ｃ、並びに導電性接着剤５１ｂｂを総称するものとする。

さらに、前記第１〜第３非導電性接着剤５１ａ，５１ｂ，５１ｃ、並びに前記導電性接着剤５１ｂｂは、紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤を好適に使用することができる。

そして、前記非導電性接着剤５１としては、公知の非導電性接着剤（導電性接着剤に絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有させたものを含む）を適宜採用することができる。
［実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法］
前記非導電性接着剤５１を、前記開口部（取付部）４３へ塗布する際には、例えば図６に示すような接着剤塗布ユニット１０１を使用する。

接着剤塗布ユニット１０１は、図６に示すように、非導電性接着剤５１を収容するための、横断面が略円形状のシリンジ１０３を備える。

シリンジ１０３における内部には非導電性接着剤５１を押し出すためのピストン１０５が、シリンジ１０３における下端部には針状の吐出口１０７が、シリンジ１０３における上端部には横断面が略円形状の蓋体１０９が、それぞれ設けられている。

蓋体１０９には、コンプレッサ１１１から供給される圧縮空気を空気管路１１３を介して吸気するための通気孔１１５が開設されている。空気管路１１３には、電磁弁１１７が介挿されている。

電磁弁１１７は、コンプレッサ１１１から供給される圧縮空気の入り口となる入力ポート１１７Ａと、同圧縮空気の出口となる出力ポート１１７Ｂと、空気管路１１３内の圧縮空気を排出するための排気ポート１１７Ｃと、を備え、出力ポート１１７Ｂが、入力ポート１１７Ａ若しくは排気ポート１１７Ｃのうちいずれか一方に選択的に連通自在とされている。

コンプレッサ１１１には、接着剤５１の塗布動作を統括制御するための駆動制御部１１９が接続されている。

上述のように構成された接着剤塗布ユニット１０１では、図７に示すように、駆動制御部１１９からの動作指令を受けたコンプレッサ１１１が、シリンジ１０３内に圧縮空気を送り込むと、ピストン１０５が、動作指令に基づく量だけ第１非導電性接着剤５１ａを押し出すように下降する。

すると、前記第１非導電性接着剤５１ａは、加圧状態下で吐出口１０７から押し出される。こうして押し出された絶縁用の第１非導電性接着剤５１ａは、図５（Ａ），図５（Ｂ）に示すように、前記受け部３３ａ１，３３ａ２上の幅方向にわたり薄く塗布される（ステップＳ１１）。ここで、”薄く塗布”とは、後述するステップ１３の固定用の第２非導電性接着剤５１ｂと比べて薄く塗布することを意味する。このように、前記絶縁用の第１非導電性接着剤５１ａを薄く塗布するようにしたのは、圧電素子１３の寸法等を考慮しつつ前記開口部（取付部）４３の寸法を可及的に小さく設計可能にすることに基づく。

この塗布後に、前記第１非導電性接着剤５１ａの塗布部位に紫外線（ＵＶ）を照射することで前記第１非導電性接着剤５１ａを仮硬化させる（ステップＳ１２）。これにより、前記受け部３３ａ１，３３ａ２上に、第１非導電性接着剤層５１ａ１（薄膜の絶縁体層）が形成される。

上述したステップＳ１１，１２が、請求項２に記載の”取付部に接着剤を塗布した後に当該接着剤を硬化させる工程”に相当する。また、請求項２に記載の”複数回にわたる工程”のうち、上述したステップＳ１１，１２が”初回の工程”に相当する。

次いで、駆動制御部１１９からの動作指令を受けたコンプレッサ１１１が、シリンジ１０３内に圧縮空気を送り込むと、ピストン１０５が、動作指令に基づく量だけ第２非導電性接着剤５１ｂを押し出すように下降する。

すると、前記第２非導電性接着剤５１ｂは、加圧状態下で吐出口１０７から押し出される。こうして押し出されたＰＺＴ（圧電素子）固定用の第２非導電性接着剤５１ｂは、ステップＳ１１で前記受け部３３ａ１，３３ａ２に形成された第１非導電性接着剤層５１ａ１上の幅方向にわたり塗布される（ステップＳ１３）。

この塗布後に、前記第２非導電性接着剤５１ｂの塗布部位に圧電素子（ＰＺＴ）１３を載置した後（ステップＳ１４）、この塗布部位に紫外線（ＵＶ）を照射することで前記第２非導電性接着剤５１ｂを仮硬化させる（ステップＳ１５）。これにより、前記第１非導電性接着剤層５１ａ１上に積層させて、第２非導電性接着剤層５１ｂ１が形成される。

なお、ステップＳ１４において、前記第１非導電性接着剤層５１ａ１に対して前記圧電素子（ＰＺＴ）１３を強く押しつけてマウントした場合、前記第２非導電性接着剤層５１ｂ１は、ごく薄くしか形成されない。ただし、この場合であっても、前記第１非導電性接着剤層５１ａ１の厚みを１０μｍ以上に形成すれば、前記圧電素子１３の共有電極板１９と、前記受け部３３ａ１，３３ａ２との間の電気絶縁性をじゅうぶんに確保することができる。

上述したステップＳ１３〜１５が、請求項２に記載の”取付部に接着剤を塗布した後に当該接着剤を硬化させる工程”に相当する。従って、図７に示す例では、請求項２に記載の”取付部に接着剤を塗布した後に当該接着剤を硬化させる工程”が２組あることになる。

次いで、ステップＳ１５におけるＵＶ仮硬化後のヘッドサスペンション３１を加熱処理することによって、前記第１及び第２非導電性接着剤層５１ａ１，５１ｂ１を本硬化させる（ステップＳ１６）。

なお、上述した一連の工程に加えて、図５（Ａ）及び図８に示すように、ステップＳ１５とステップＳ１６との中間に、前記圧電素子１３と前記開口部（取付部）４３の立壁部４３ａとの間に生じた隙間部５０に第３非導電性接着剤５１ｃを充填した後（ステップＳ１５−１）、同第３非導電性接着剤５１ｃの充填部位に紫外線（ＵＶ）を照射することで前記第３非導電性接着剤５１ｃを仮硬化させる（ステップＳ１５−２）工程を挿入してもよい。図８中のステップＳ１１〜Ｓ１６の各ステップでの処理内容は、図７と同様である。このため、前記ステップＳ１１〜Ｓ１６の重複した説明を省略する。

上述したステップＳ１５−１〜１５−２が、請求項２に記載の”取付部に接着剤を塗布した後に当該接着剤を硬化させる工程”に相当する。従って、図８に示す例では、請求項２に記載の”取付部に接着剤を塗布した後に当該接着剤を硬化させる工程”が３組あることになる。

さて、本実施例では、前記ベースプレート３３と、前記連結プレート３７とが相互に重なり合う部分によって、圧電アクチュエータ１１における駆動側基部Ｙが構成されている。

前記圧電素子１３は、前記開口部４３の内周面によって所定の位置に位置決めされる。その結果、図５（Ａ），図５（Ｂ）に示すように、前記フレキシャ３９における例えば銅製の配線部５５と、前記圧電素子１３における共有電極板１９とが、相互に同じ側を向いて露出しており、これら両者５５，１９間の高低差は数１０μｍ程度とごく僅かである。

この僅かな高低差を埋めて前記両者５５，１９間の電気的な接続関係を確保するために、同両者５５，１９間には、図５（Ａ），図５（Ｂ）に示すように、導電性接着剤５７が設けられている。前記両者５５，１９間に導電性接着剤５７を設ける態様に代えて、ボンディングワイヤ、半田付け、又は超音波接合等の接続手段を採用してもよい。

前記圧電素子１３における第１及び第２電極板１５，１７の各々と、前記ベースプレート３３との各間には、各間における電気的な接続関係を確保するための一対の導電性接着剤５３ａ，５３ｂが塗布されている。図５（Ａ），図５（Ｂ）において、符合５９はフレキシャ３９の金属製基材、符合６１はフレキシャ３９における電気絶縁層である。
［実施例に係るヘッドサスペンションの動作］
次に、本実施例に係るヘッドサスペンション３１の動作について、一対の第１及び第２電極板１５，１７を電気的に接地する一方、共有電極板１９に所要の電圧を印加した場合を想定して説明する。

この場合、前記圧電素子１３は、図２に示す通り、第１電極板１５における一方の端面２３が収縮する一方、第２電極板１７における他方の端面２５が伸長することで、全体として略台形形状に歪む。

すると、前記圧電素子１３は、Ｚ方向（図１参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側基部Ｙにおける被駆動部材としてのロードビーム３５の位置を、スウェイ方向に変位させることができる。

なお、上述とは逆に、共有電極板１９を電気的に接地する一方、一対の第１及び第２電極板１５，１７に所要の電圧を印加した場合には、マイナスＺ方向（図１参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側基部Ｙにおける被駆動部材としてのロードビーム３５の位置を、スウェイ方向に変位させることができる。

従って、上述した圧電アクチュエータ１１を組み込んだヘッドサスペンション３１では、圧電素子１３における第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９の３枚の各電極のそれぞれに対して都合３系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。

また、実施例に係るヘッドサスペンション３１では、開口部（取付部）４３によって埋込み式に圧電素子１３をその下面側から支持するとともに、圧電素子１３のほぼ全周にわたって開口部（取付部）４３によって包囲する構成を採用した。

従って、圧電素子１３を接着する際の位置決めが容易で、かつ、圧電素子１３の損傷を回避できるとともに、脆く欠けやすい圧電素子１３を効果的に保護することができる。

さらに、共有電極板１９と、同共有電極板１９に対面する配線部５５との間の電気的接続について、接続箇所は一箇所のみであるから、フレキシャ３９における配線本数削減、並びにフレキシャ３９における配線箇所の少数化に由来する取り数向上に寄与することができる。

しかも、一対の圧電素子を組み込んだヘッドサスペンションと比較して、ひとつの圧電素子１３を組み込んだ本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１では、圧電素子の部品点数削減を通じて、部品管理の煩わしさを低減するとともに、コスト的にも有利となる。
［実施例の効果］
実施例に係るヘッドサスペンション３１では、前記開口部（取付部）４３内に、前記圧電素子１３の電極面１９を受ける受け部３３ａ１，３３ａ２を設け、前記圧電素子１３は、前記受け部３３ａ１，３３ａ２に複数の接着剤層（第１非導電性接着剤層５１ａ１及び第２非導電性接着剤層５１ｂ１）を介して固定され、前記複数の接着剤層のうち前記受け部側の接着剤層（第１非導電性接着剤層５１ａ１）は、電気絶縁性を有した、構成を採用した。

従って、実施例に係るヘッドサスペンション３１によれば、圧電素子１３と開口部（取付部）４３間における電気絶縁性を良好に維持して本来の機能を十全に発揮することができる。

一方、実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法では、前記開口部（取付部）４３に接着剤５１を塗布した後に当該接着剤５１を硬化させる工程を複数回にわたり経て前記圧電素子１３を前記開口部（取付部）４３に固定するに際し、前記複数回にわたる工程のうち少なくとも初回の工程で塗布される接着剤５１は電気絶縁性を有している、構成とされる。

このように構成すれば、前記初回の工程で塗布される接着剤（第１非導電性接着剤５１ａ）によって、圧電素子１３と開口部（取付部）４３間における電気絶縁性が担保されるので、本来の機能を十全に発揮することができる。

また、複数回にわたる工程の実行後には、接着剤５１が開口部（取付部）４３にしっかりと硬化しているので、塗布された接着剤５１が流出・拡散することはない。

従って、実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、圧電素子１３と開口部（取付部）４３間における電気絶縁性を良好に維持して本来の機能を十全に発揮できると共に、剛性バランスが適正に保たれて振動特性を良好に維持することができる。

また、前記複数回にわたる各々の工程で塗布される接着剤は、その全てが電気絶縁性を有した、構成を採用してもよい。

このように構成すれば、初回の工程を除く全ての各工程で塗布される接着剤として導電性接着剤を採用した場合と比較して、絶縁性能の向上を期することができる。

さらに、本実施例では、複数の工程のうち、初回の工程（図７又は図８に示すステップＳ１１〜Ｓ１２参照）によって電気絶縁性を担保する一方、次回以降の工程（図７又は図８に示すステップＳ１３〜Ｓ１５、或いは、図８に示すステップＳ１５−１〜Ｓ１５−２参照）によって電気絶縁性の担保並びに圧電素子１３の固定を遂行する構成を採用した。

これにより、単一の工程で電気絶縁性の担保並びに圧電素子１３の固定を遂行する従来の圧電素子の取付構造と比較して、圧電素子１３と開口部（取付部）４３との間に、設計上の余裕分を含んだ比較的広い間隔の確保を要しない。

従って、実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、開口部（取付部）４３の寸法を、圧電素子１３の寸法等を考慮しつつ可及的に小さく設計することが可能となる結果として、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得ることができる。

さらにまた、前記複数回にわたる工程のうち、初回の工程で塗布される接着剤は電気絶縁性を有しているが、次回以降の工程で塗布される接着剤は電気絶縁性を有しない、構成を採用してもよい。具体的には、例えば、前記複数の工程のうち、次回以降の工程（図７又は図８に示すステップＳ１３〜Ｓ１５、或いは、図８に示すステップＳ１５−１〜Ｓ１５−２参照）で用いる接着剤５１として、絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有しない導電性接着剤を採用してもよい。

このように構成すれば、前記次回以降の工程で塗布される接着剤として、絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有した非導電性接着剤を採用した場合と比較して、接着強度を向上することができる。従って、圧電素子１３を開口部（取付部）４３に強固に固定することができる。

そして、実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、圧電素子１３と開口部（取付部）４３との間に非導電性接着剤５１が介在することによって、圧電素子１３の歪み（変位）をロードビーム３５に的確に伝達すると共に、圧電素子１３の共有電極板１９とベースプレート３３との間における電気絶縁性を担保することができる。

一方、上記とは異なる観点に基づくヘッドサスペンションの製造方法は、前記開口部（取付部）４３に、絶縁用の非導電性接着剤（第１非導電性接着剤５１ａ）を塗布する絶縁用接着剤塗布工程（図７のステップＳ１１に相当する）と、前記絶縁用の非導電性接着剤５１ａを仮硬化させて絶縁用接着剤層（第１非導電性接着剤層５１ａ１）を形成する絶縁用接着剤層形成工程（図７のステップＳ１２に相当する）と、前記絶縁用接着剤層５１ａ１が形成された前記開口部（取付部）４３に、前記圧電素子１３の固定用の接着剤（第２非導電性接着剤５１ｂ）を塗布する固定用接着剤塗布工程（図７のステップＳ１３に相当する）と、前記固定用の接着剤５１ｂが塗布された前記開口部（取付部）４３に、前記圧電素子１３を実装する圧電素子実装工程（図７のステップＳ１４に相当する）と、前記圧電素子１３を実装後に、前記固定用の接着剤５１ｂを仮硬化させて固定用接着剤層を（第２非導電性接着剤層５１ｂ１）形成する固定用接着剤層形成工程と、前記絶縁用の非導電性接着剤（第１非導電性接着剤５１ａ）、及び前記固定用の接着剤（第２非導電性接着剤５１ｂ）を本硬化させて前記開口部（取付部）４３に前記圧電素子１３を固定する圧電素子固定工程（図７のステップＳ１６に相当する）と、を備えたことを特徴とする。

上記ヘッドサスペンションの製造方法によれば、圧電素子１３と開口部（取付部）４３間における電気絶縁性を良好に維持して本来の機能を十全に発揮できると共に、剛性バランスが適正に保たれて振動特性を良好に維持することができる。

上記観点に基づくヘッドサスペンションの製造方法では、前記絶縁用の非導電性接着剤、及び前記固定用の接着剤は、紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤であり、前記紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤の仮硬化は、紫外線照射によって行う、構成を採用することができる。

また、前記紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤の本硬化は、加熱によって行う、構成を採用することができる。

さらに、前記固定用の接着剤は、導電性接着剤又は非導電性接着剤のいずれかである、構成を採用してもよい。

このように構成すれば、前記固定用の接着剤として、絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有した非導電性接着剤を採用した場合と比較して、接着強度を向上することができる。従って、圧電素子１３を開口部（取付部）４３に強固に固定することができる。

そして、上記観点に基づくヘッドサスペンションの製造方法では、前記固定用接着剤層形成工程と、前記圧電素子固定工程との間に、前記圧電素子１３と前記開口部（取付部）４３との間に空けられた隙間部５０に接着剤５１を塗布又は充填する接着剤埋め込み工程（図８のステップＳ１５−１に相当する）と、前記隙間部５０に塗布又は充填された接着剤５１を仮硬化させる接着剤仮硬化工程（図８のステップＳ１５−２に相当する）と、を備える、構成を採用してもよい。

このように構成すれば、圧電素子１３と開口部（取付部）４３との間に接着剤５１が介在することによって、圧電素子１３の歪み（変位）をロードビーム３５に的確に伝達することができる。

そして、前記圧電素子固定工程では、前記絶縁用の非導電性接着剤（第１非導電性接着剤５１ａ）、前記固定用の接着剤（第２非導電性接着剤５１ｂ）、並びに前記隙間部５０に塗布又は充填された接着剤（第３非導電性接着剤５１ｃ）を本硬化させて前記取付部に前記圧電素子を固定する、構成を採用してもよい。

また、前記隙間部５０に塗布又は充填される接着剤（第３非導電性接着剤５１ｃ）は、非導電性接着剤である、構成を採用してもよい。

このように構成すれば、圧電素子１３と開口部（取付部）４３との間に非導電性接着剤５１ｃが介在することによって、圧電素子１３の歪み（変位）をロードビーム３５に的確に伝達すると共に、圧電素子１３の共有電極板１９とベースプレート３３との間における電気絶縁性を担保することができる。
［その他］
本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

例えば、ベースプレート３３に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成に代えて、アクチュエータプレート３４に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成を採用したヘッドサスペンションも、本発明の技術的範囲の射程に含まれる。

本発明の請求項に記載の”基部”は、本発明実施例に係る”ベースプレート３３”及び”アクチュエータプレート３４”の両者を含む概念である。従って、本発明の”基部”は、必要に応じて”ベースプレート”または”アクチュエータプレート”と読み替えることができる。具体的には、例えば、本発明の請求項に記載の”基部に設けた開口部”は、必要に応じて”ベースプレートに設けた開口部”または”アクチュエータプレートに設けた開口部”と読み替えて、その技術的範囲を解釈することができる。

さらに、本発明実施例中、ひとつの圧電素子１３を用いて圧電アクチュエータ１１を構成し、このひとつの圧電素子１３を開口部（取付部）４３に実装する際、本発明に係る圧電素子の取付構造を適用する例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。

すなわち、例えば図９に示すように、一対の圧電素子８１ａ，８１ｂを用いて圧電アクチュエータ８３を構成し、これら一対の圧電素子８１ａ，８１ｂを開口部（取付部）４３に実装する際、本発明に係る圧電素子の取付構造を適用してもよい。

最後に、本発明で用いる接着剤として、公知の非導電性接着剤（導電性接着剤に絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有させたものを含む。）にチキソトロピー性付与剤を添加することでチキソトロピー性が付与された特殊な接着剤であって、その塗布時においてゾル状となっているものを採用することができる。

この場合、チキソトロピー性付与剤は、公知の非導電性接着剤を塗布する際に生じる液ダレや液流れ等を防止する役割を果たす。チキソトロピー性付与剤としては、例えば、微粉シリカ、粉砕シリカ、有機ベントナイト、タルク、スメクタイト、クレー、ポリアマイド樹脂等を適宜採用することができる。

このように構成すれば、接着剤５１の塗布時には、圧電素子１３と開口部（取付部）４３との間に空けられた隙間部５０に、ゾル状の接着剤５１が塗布されるので、塗り易さを担保することができる。

また、接着剤５１の塗布後には、ゾル状であった接着剤５１が経時的にゲル化して流動性を失ってゆくので、塗布された接着剤５１が流出・拡散してしまうことはない。

従って、接着剤５１の塗布量を容易にコントロールすることが可能となって、接着剤５１の塗布工程を円滑に自動化できるとともに、サスペンション本体の剛性バランスが適正に保たれ、振動特性を良好に維持する効果を期待することができる。

１１ 圧電アクチュエータ
１３ 圧電素子
１５ 第１電極板
１７ 第２電極板
１９ 共有電極板（圧電素子の電極面）
３１ ヘッドサスペンション
３３ ベースプレート（基部）
３３ａ１，３３ａ２ 受け部
３５ ロードビーム
３９ フレキシャ
４１ リワーク用切断治具
４３ 開口部
５０ 隙間部
５１ａ，５１ｂ，５１ｃ 第１〜第３非導電性接着剤（非導電性接着剤）
５１ａ１，５１ｂ１，５１ｃ１ 第１〜第３非導電性接着剤層（非導電性接着剤層）
５１ｂｂ 導電性接着剤
５１ｂｂ１ 導電性接着剤層

Claims (9)

1. 電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される取付部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームと、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるように構成されたヘッドサスペンションであって、
   前記取付部に設けた開口部内に、前記圧電素子の電極面を受ける受け部を設け、
   前記圧電素子は、前記受け部に複数の接着剤層を介して固定され、
   前記複数の接着剤層のうち前記受け部側の接着剤層は、電気絶縁性を有した、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
2. 電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される取付部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームと、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるように構成されたヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記取付部に接着剤を塗布した後に当該接着剤を硬化させる工程を複数回にわたり経て前記圧電素子を前記取付部に固定するに際し、前記複数回にわたる工程のうち少なくとも初回の工程で塗布される接着剤は電気絶縁性を有した、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
3. 請求項２記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記複数回にわたる各々の工程で塗布される接着剤は、その全てが電気絶縁性を有した、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
4. 電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される取付部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームと、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるように構成されたヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記取付部に、絶縁用の非導電性接着剤を塗布する絶縁用接着剤塗布工程と、
   前記絶縁用の非導電性接着剤を仮硬化させて絶縁用接着剤層を形成する絶縁用接着剤層形成工程と、
   前記絶縁用接着剤層が形成された前記取付部に、前記圧電素子の固定用の接着剤を塗布する固定用接着剤塗布工程と、
   前記固定用の接着剤が塗布された前記取付部に、前記圧電素子を実装する圧電素子実装工程と、
   前記圧電素子を実装後に、前記固定用の接着剤を仮硬化させて固定用接着剤層を形成する固定用接着剤層形成工程と、
   前記絶縁用の非導電性接着剤、及び前記固定用の接着剤を本硬化させて前記取付部に前記圧電素子を固定する圧電素子固定工程と、
   を備えたことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
5. 請求項４記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記絶縁用の非導電性接着剤、及び前記固定用の接着剤は、紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤であり、
   前記紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤の仮硬化は、紫外線照射によって行う、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
6. 請求項４又は５記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記絶縁用の非導電性接着剤、及び前記固定用の接着剤は、紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤であり、
   前記紫外線照射及び加熱によって硬化する接着剤の本硬化は、加熱によって行う、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
7. 請求項４〜６のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記固定用の接着剤は、導電性接着剤又は非導電性接着剤のいずれかである、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
8. 請求項４〜７のいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記固定用接着剤層形成工程と、前記圧電素子固定工程との間に、
   前記圧電素子と前記取付部との間に空けられた隙間部に接着剤を塗布又は充填する接着剤埋め込み工程と、
   前記隙間部に塗布又は充填された接着剤を仮硬化させる接着剤仮硬化工程と、
   を備え、
   前記圧電素子固定工程では、前記絶縁用の非導電性接着剤、前記固定用の接着剤、並びに前記隙間部に塗布又は充填された接着剤を本硬化させて前記取付部に前記圧電素子を固定する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
9. 請求項８記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記隙間部に塗布又は充填される接着剤は、非導電性接着剤である、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。