JP5490183B2 - ヘッドサスペンション及び圧電素子接着方法 - Google Patents
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Description
[第1実施例に係るヘッドサスペンション]
図1は、第1実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。
[圧電アクチュエータ]
図2は、第1実施例に係るヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの外観斜視図、図3は、本圧電アクチュエータのA−A線に沿う矢視断面図である。
図2及び図3に示すように、圧電アクチュエータ11は、電圧の印加状態に応じて変形する、略矩形形状の圧電素子13を有し、圧電素子13の変形に従って被駆動部材(本発明実施例ではロードビーム35)を駆動するように構成されている。
ところで、圧電素子13は、開口部71の内周面によって所定の位置に位置決めされる。その結果、図5に示すように、フレキシャ39における例えば銅製の配線部55と、圧電素子13における共有電極板19とが、相互に同じ側を向いて露出しており、これら両者間の高低差は数10μm程度とごく僅かである。この僅かな高低差を埋めて両者間の電気的な接続関係を確保するために、同両者間には、図5に示すように、導電性接着剤57が設けられている。
従って、上述した圧電アクチュエータ11を組み込んだヘッドサスペンション31では、圧電素子13における第1及び第2電極板15,17と共有電極板19の3枚の各電極のそれぞれに対して都合3系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。
[その他]
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
13 圧電素子
15 第1電極板
17 第2電極板
19 共有電極板
21 圧電材料部
21a,21b 第1,第2圧電材料部
31 第1実施例に係るヘッドサスペンション
33 ベースプレート
34 アクチュエータプレート
35 ロードビーム
37 連結プレート(ヒンジ部材)
39 フレキシャ
41a,41b 一対の可撓部
43 開口部
49a,49b ヒンジ部
51 非導電性接着剤(接着剤)
53a,53b 一対の導電性接着剤(接着剤)
55 配線部材
57 導電性接着剤(接着剤)
71 第2実施例に係るヘッドサスペンション
73a,73b 導電性接着剤(接着剤)
81a,81b 一対の圧電素子(圧電アクチュエータの一部を構成する。)
83 圧電アクチュエータ
101 接着剤塗布ユニット
Claims (3)
- ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が固設された取付部と、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、
前記取付部は、前記圧電素子を埋め込み式で取り付けた開口部とこの開口部に部分的なエッチング処理により設けられた受け部とを備え前記圧電素子を前記開口部内で前記受け部に受けさせて埋め込み式に取り付け、
前記圧電素子は、前記開口部との間に前記受け部との間から連続する隙間部を有して配置され、前記隙間部で前記受け部から開口部へ境目なく連続した接着剤により前記取付部に固設されており、
前記接着剤は、チキソトロピー性が付与されており、前記隙間部への塗布時においてゾル状で塗布後に前記隙間部から流出することなくゲル化して流動性を失うものであり、
前記隙間部に前記接着剤を加圧状態下でのゾル状で塗布量をコントロールしながら一度に塗布して塗布後のゲル化により流出・拡散を阻止し、
前記圧電素子の電極板と前記ベースプレートと前記隙間部の接着剤との表面を連続させた、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。 - 請求項1記載のヘッドサスペンションであって、
前記圧電素子の電極板と前記ベースプレートとの間に、各間における電気的な接続を確保するための一対の導電性接着剤を設け、
前記隙間部では、前記接着剤が前記導電性接着剤を支持する、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。 - ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が固設された取付部と、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有し、
前記取付部は、前記圧電素子を埋め込み式で取り付けた開口部とこの開口部に部分的なエッチング処理により設けられた受け部とを備え前記圧電素子を前記開口部内で前記受け部に受けさせて埋め込み式に取り付け、
前記圧電素子は、前記開口部との間に前記受け部との間から連続する隙間部を有して配置され、前記隙間部で前記受け部から開口部へ境目なく連続した接着剤により前記取付部に固設されたヘッドサスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記接着剤は、チキソトロピー性が付与されており、前記隙間部への塗布時においてゾル状で塗布後に前記隙間部から流出することなくゲル化して流動性を失うものであり、
前記隙間部の全体に前記接着剤を加圧状態下でのゾル状で塗布量をコントロールしながら一度に塗布して塗布後のゲル化により流出・拡散を阻止し、
前記圧電素子の電極板と前記ベースプレートと前記隙間部の接着剤との表面を連続させた、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの圧電素子接着方法。
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