JP5596491B2 - 圧電素子の取付構造及びヘッド・サスペンション - Google Patents

Description

本発明は、電圧の印加状態に応じた変形により被支持部材を変位させる圧電素子の取付構造及びこれを備えたヘッド・サスペンションに関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展し、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロ・アクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェット・プリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッド・アクチュエータ等の技術分野での要請がある。

磁気ディスク装置では、単位長さあたりのトラック数 (TPI : Track Per inch)を増大して記憶容量を大きくしているため、トラックの幅が益々狭くなっている。

このため、トラック幅方向の磁気ヘッド位置決め精度の向上が必要となり、微細領域で高精度の位置決めが可能なアクチュエータが望まれていた。

こうした要請に応える技術としては、例えば特許文献１のように、いわゆるデュアル・アクチュエータ方式のヘッド・サスペンションがある。このヘッド・サスペンションは、キャリッジを駆動するボイス・コイル・モータの他に、ベース・プレートとロード・ビームとの間に圧電素子が設けられている。

従って、デュアル・アクチュエータ方式のヘッド・サスペンションでは、ボイス・コイル・モータによる旋回駆動に加え、圧電素子の電圧印加状態に応じた変形によりロード・ビームを介して先端のヘッド部をベース・プレート側に対しスウェイ方向へ微少移動させることができる。この微小移動により、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行う。

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッド・サスペンションでは、圧電素子をアクチュエータ・ベースに対して取り付ける取付構造が採用されている。

すなわち、アクチュエータ・ベースは、圧電素子を収容する開口部及び開口部の内周縁から内側に突出した圧電素子の外周側に対する受け部を備えている。

圧電素子は、開口部の内周縁及び受け部との間で充填・硬化された液状接着剤により、アクチュエータ・ベースに対して接着取り付けされる。この圧電素子の取り付けでは、確実性の要求から、液状接着剤の充填が受け部からその内端側に区画された孔部側に僅かにはみ出す程度に行われる。

これにより、圧電素子は、アクチュエータ・ベースに確実に取り付けられ、アクチュエータ・ベースとの間の絶縁性が確保され、且つその変形（駆動力）をアクチュエータ・ベースに効果的に伝達できるようになっている。

こうして取り付けられた圧電素子には、アクチュエータ・ベースに沿って配索されたフレキシャ（配線部材）を介して電圧印可が行われる。

しかしながら、このような構造では、フレキシャの一部が受け部の内端から孔部上に突出して圧電素子に対向することになり、圧電素子の取り付け時に受け部からはみ出した液状接着剤がフレキシャに接触することがあった。

これにより、従来の構造では、液状接着剤がフレキシャと圧電素子との間の毛管現象によって引っ張られ、受け部側から孔部内に流出していた。

液状接着剤は、通常、開口部の内周縁側から受け部側にかけて一定量を連続して充填されるので、上記流出によって孔部内で増加すると同時に開口部の内周縁と圧電素子との間で減少する。

従って、開口部の内周縁と圧電素子との間では、圧電素子の駆動力に対する伝達性の低下を招き、孔部内では、設計外の剛性向上を招いてヘッド・サスペンションの動特性に影響を及ぼす結果となっていた。

特開２００２-１８４１４０号公報

解決しようとする問題点は、配線部材と圧電素子との間の毛管現象によって液状接着剤が受け部側から流出する点である。

本発明は、配線部材と圧電素子との間の毛管現象による液状接着剤の受け部側からの流出を抑制するために、被支持部材を支持するアクチュエータ・ベースに取り付けられ該アクチュエータ・ベース上に配索された配線部材を介する電圧の印加状態に応じて変形し前記被支持部材を変位させる圧電素子の取付構造であって、前記アクチュエータ・ベースに設けられて前記圧電素子を収容する開口部と、該開口部の内周縁から内側に突出して前記圧電素子を受ける受け部と、該受け部の内端側に区画されて前記開口部に連通する孔部と、前記配線部材の一部が前記受け部の内端から前記孔部上に突出してなり前記圧電素子に前記孔部を介して対向する突出部と、前記圧電素子と前記開口部の内周縁及び前記受け部との間に連続して充填された液状接着剤からなり硬化によって前記圧電素子と前記開口部の内周縁及び前記受け部との間を接着する接着部と、前記受け部又は前記突出部に設けられ前記圧電素子との間の前記液状接着剤の毛管現象を遮断する遮断部とを備えたことを特徴とすることを最も主な特徴とする。

本発明では、圧電素子と受け部又は配線部材との間の液状接着剤の毛管現象を遮断部によって遮断することができる。結果として、本発明では、配線部材と圧電素子との間の毛管現象による液状接着剤の受け部側からの流出を抑制することができる。

圧電素子の取付構造が採用された圧電アクチュエータを有するヘッド・サスペンションの斜視図である（実施例１）。 図１のヘッド・サスペンションの分解斜視図である（実施例１）。 図２のヘッド・サスペンションのベース・プレート及びロード・ビームを示す分解斜視図である（実施例１）。 図１の圧電アクチュエータの要部拡大平面図である（実施例１）。 図４のＶ−Ｖ線矢視に係る断面図である（実施例１）。 図５の遮断部を示す拡大概略断面図である（実施例１）。 遮断部を示す拡大概略断面図である（実施例２）。 圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大断面図である（実施例３）。 圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大断面図である（実施例４）。 図９の遮断部を示す要部拡大平面写真である（実施例４）。 圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大断面図である（実施例５）。 圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大平面図である（実施例６）。 図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線矢視に係る要部拡大断面図である（実施例６）。

配線部材と圧電素子との間の毛管現象による液状接着剤の受け部側からの流出を抑制するという目的を、受け部又は配線部材に圧電素子との間の液状接着剤の毛管現象を遮断する遮断部を設けることで実現した。

［ヘッド・サスペンションの全体構成］
図１は、本発明実施例１の圧電素子の取付構造が採用された圧電アクチュエータを有するヘッド・サスペンションの斜視図、図２は、図１のヘッド・サスペンションの分解斜視図である。

図１及び図２のように、ヘッド・サスペンション１は、被支持部材としてのロード・ビーム３と、基部としてのベース・プレート５と、圧電アクチュエータ６と、配線部材としてのフレキシャ７とを備えている。

ロード・ビーム３は、読み書き用のヘッド部８に負荷荷重を与えるもので、剛体部９とばね部１１とを備えている。剛体部９は、例えばばね性を有するステンレス鋼等の金属製薄板からなり、その板厚は、３０〜１５０μｍ程度に設定されている。

剛体部９の幅方向両側には、その延設方向の先端側から基端側にわたって曲げ縁１３ａ，１３ｂが立ち上げ形成されている。この曲げ縁１３ａ，１３ｂにより、剛体部９の剛性が向上している。剛体部９の基端側には、その表面に制振部材１５が貼り付けられている。この剛体部９の基端側には、ばね部１１が一体に設けられている。

ばね部１１は、幅方向中央部に窓部１７を貫通形成することで設けられ、窓部１７両側の一対の脚部１９ａ，１９ｂからなっている。なお、ばね部は、剛体部とは別体で形成すると共にレーザー溶接等によって剛体部に固着してもよい。

ベース・プレート５は、ロード・ビーム３を介してヘッド部８を支持するものである。このベース・プレート５は、例えばステンレス鋼等の金属製薄板からなり、その板厚は、１５０〜２００μｍ程度に設定されている。

ベース・プレート５には、略円形形状のボス部２１が設けられている。このボス部２１を介して、ベース・プレート５は、図示しないキャリッジ側に取り付けられボイス・コイル・モータによって旋回駆動されるようになっている。なお、ベース・プレート５には、例えば補強プレートを重ね合わせて固着してもよい。

ベース・プレート５の先端側には、肉抜き部２３が貫通形成されている。このベース・プレート５の先端側には、圧電アクチュエータ６を介してロード・ビーム３が支持されている。圧電アクチュエータ６の詳細については後述する。

フレキシャ７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）等の導電性基板２５に、電気絶縁層を介して配線パターン２７が形成されている。導電性基板２５の板厚は、１０〜２５μｍ程度に設定されている。

フレキシャ７は、ベース・プレート５側から圧電アクチュエータ６上を通ってロード・ビーム３の先端側にかけて配索されている。従って、フレキシャ７は、後述する圧電アクチュエータ６のアクチュエータ・ベース３３上に配索された構成となっている。このフレキシャ７は、ロード・ビーム３にレーザー溶接等によって固着されている。

フレキシャ７の先端側にはタング部２９が片持ち状に設けられ、タング部２９にはヘッド部８のスライダ３１が支持されている。ヘッド部８のスライダ３１には、フレキシャ７の配線パターン２７の一端が導通接続されている。
［圧電アクチュエータ］
図３は、図２のヘッド・サスペンションのベース・プレート及びロード・ビームを示す分解斜視図、図４は、図１の圧電アクチュエータの要部拡大平面図、図５は、図４のＶ−Ｖ線矢視に係る断面図、図６は、図５の遮断部を示す拡大概略断面図である。

圧電アクチュエータ６は、本実施例の圧電素子の取付構造が採用され、図１のようにアクチュエータ・ベース３３と、一対の圧電素子３５，３５とを備えている。この圧電アクチュエータ６は、ベース・プレート５とロード・ビーム３との間に設けられ、フレキシャ７の配線パターン２７を介した圧電素子３５，３５の電圧印加状態に応じて変形する。この変形により、圧電アクチュエータ６は、ロード・ビーム３を変位させヘッド部８をベース・プレート５に対してスウェイ方向に微少移動させる。

アクチュエータ・ベース３３は、図３〜図５のように、ベース・プレート５の先端側に一体に設けられている。ただし、アクチュエータ・ベースは、ベース・プレートに対して別体に形成すると共にレーザー溶接等によって固着してもよい。

このアクチュエータ・ベース３３は、ベース・プレート５に一体のベース基端部３７から先端側に向けてベース延設部３９が延設されている。ベース延設部３９は幅方向の中間部に配置され、その先端にはベース先端部４１が一体に設けられている。ベース先端部４１は、幅方向に沿って延設されてベース基端部３７に対向している。

アクチュエータ・ベース３３には、ベース延設部３９に対する幅方向両側に一対の開口部４３，４３が形成されている。各開口部４３は、平面視で略矩形形状に形成されている。開口部４３は、アクチュエータ・ベース３３の板厚方向に貫通すると共に幅方向縁部で開口している。開口部４３には、受け部４５が設けられている。

受け部４５は、開口部４３の内周縁を構成するベース基端部３７及びベース先端部４１から内側に突出して圧電素子３５の外周側を受けるようになっている。この受け部４５は、アクチュエータ・ベース３３とは別体の受け部材４７からなっている。なお、受け部は、アクチュエータ・ベース３３に一体に設けてもよい。この場合は、パーシャル・エッチング等によって受け部を形成することができる。

具体的には、受け部材４７は、ロード・ビーム３の基端側であるばね部１１の基端側に一体に設けられている。ただし、受け部材は、ばね部に対して別体に形成すると共にレーザー溶接等によって固着してもよい。

受け部材４７は、アクチュエータ・ベース３３に重ね合わせられると共に所定箇所でレーザー溶接等によって結合されている。この結合により、ロード・ビーム３が圧電アクチュエータ６を介してベース・プレート５側に支持されることになる。なお、受け部材４７のアクチュエータ・ベース３３に対する反対側には、フレキシャ７が導電性基材２５側から重ね合わされている。

受け部材４７の形状は、アクチュエータ・ベース３３に対応して設定されている。すなわち、受け部材４７は、アクチュエータ・ベース３３のベース基端部３７、ベース延設部３９、ベース先端部４１、一対の開口部４３，４３に対応して部材基端部４９、部材延設部５１、部材先端部５３、一対の孔部５５，５５が設けられている。

各孔部５５は、アクチュエータ・ベース３３の開口部４３よりも延設方向の寸法が小さく設定されている。このため、受け部材４７は、孔部５５に対する延設方向両側で、部材基端部４９及び部材先端部５３の一部が各開口部４３に臨んでいる。これにより、開口部４３には、受け部４５が形成され、受け部４５の内端側には、孔部５５が区画形成されている。

なお、部材延設部５１は、アクチュエータ・ベース３３のベース延設部３９よりも幅狭に形成されているため、ベース延設部３９に完全に重なる形状となっている。

両孔部５５，５５上には、受け部４５の内端からフレキシャ７の一部が突出部５６，５８として突出している。一方の突出部５６は、延設方向先端側の受け部４５ａ内端から孔部５５上を通って部材延設部５１側に至る。他方の突出部５８は、延設方向両側の受け部４５ａ，４５ｂ内端間で孔部５５上を通っている。この突出部５６，５８は、フレキシャ７の端子部６０，６２の基端側に位置している。

端子部６０，６２は、それぞれ突出部５６，５８から孔部５５，５５上に突出している。端子部６０，６２の先端側は、円形形状に形成されている。端子部６０，６２の先端側では、導電性基板２５及び電気絶縁層が除去されて配線パターン２７の一部が露出している。この端子部６０，６２には、ボンディグ・ワイヤや導電性接着剤等によって圧電素子３５，３５に導通接続される。

各圧電素子３５は、図１及び図４のように、アクチュエータ・ベース３３の開口部４３に接着部５７を介して収容状態で取り付けられている。

圧電素子３５は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスからなり、電圧の印加状態に応じて変形する。この圧電素子３５は、アクチュエータ・ベース３３の開口部４３よりも僅かに小さい略矩形形状に形成されている。

圧電素子３５の一側面５９は、図５のように、アクチュエータ・ベース３３の一側面６１と略面一となっている。この圧電素子３５の一側面５９は、アクチュエータ・ベース３３の一側面６１に、例えば導電性樹脂を介して導電接続される。

圧電素子３５の他側面６３は、その外周側が延設方向の両側で受け部４５に対向した被受け部となっている。この被受け部間では、圧電素子３５の他側面６３が孔部５５を介してフレキシャ７の突出部５６（５８）及び端子部６０（６２）に対向している。

この対向部分において、圧電素子３５の他側面６３がフレキシャ７の端子部６０（６２）と導通接続されている。これにより、圧電素子３５には、フレキシャ７を介して電圧印加が可能となっている。

接着部５７は、図１、図４、及び図５のように、圧電素子３５とベース先端部４１及びベース基端部３７（開口部４３の内周縁）との対向間から圧電素子３５と受け部４５との対向間にかけて連続して充填・硬化された非導電性の液状接着剤からなる。

この接着部５７は、圧電素子３５と開口部４３内周縁及び受け部４５との間を埋め、圧電素子３５のアクチュエータ・ベース３３に対する取り付けと共に絶縁性及び変形（駆動力）の伝達性を確保する。

本実施例の接着部５７は、圧電素子３５の確実な取り付けのために、液状接着剤が受け部４５の内端から孔部５５側にはみ出して充填されている。その硬化により、接着部５７には、はみ出し部６８が形成されている。はみ出し部６８は、受け部４５の内端に沿って形成され、孔部５５を介して対向する圧電素子３５とフレキシャ７の突出部５６（５８）との間に配置されている。

液状接着剤としては、公知の非導電性接着剤を用いることができ、本実施例では液状の主剤に粒状の硬化剤を含有させたものとなっている。この液状接着剤は、例えば加熱によって硬化剤と主剤とが反応して硬化する。

このような圧電アクチュエータ６には、図４〜図６のように、フレキシャ７の突出部５６，５８に遮断部７０，７２が各別に設けられている。

遮断部７０，７２は、それぞれ突出部５６，５８上で受け部４５，４５に隣接して設けられている。具体的には、一方の遮断部７０は、先端側の受け部４５ａに隣接する凹部７４からなり、他方の遮断部７２は、両側の受け部４５ａ，４５ｂに隣接する凹部７６，７８からなっている。

凹部７４，７６，７８は、平面視で幅方向に沿って延設された略矩形形状となっている。これらの凹部７４，７６，７８は、少なくとも受け部４５，４５、突出部５６，５８、及び接着部５７，５７が各別に延設方向で重なる部分に対して幅方向に沿って配置されている。本実施例では、その重なり部分に対して凹部７４，７６，７８が幅方向内側に突出している。

なお、凹部７４，７６，７８の断面形状については、同一構成であるため、凹部７４についてのみ説明し、他の凹部７６，７８については説明を省略する。

凹部７４は、突出部５６の導電性基板２５に対して、例えばパーシャル・エッチング等の部分的な除去により形成されている。この凹部７４は、断面形状が受け部４５側から孔部５５の内側に向けて伸びている。凹部７４と受け部４５との間は、僅かに離反しており、突出部５６の板厚が残存した残存部６４が形成されている。

凹部７４の両側は、中間部側に向けて漸次板厚方向の寸法である深さを大きくする弧状面８２，８４となっている。中間部側では、弧状面８２，８４が平面からなる底面８６に連続している。

凹部７４の深さは、圧電素子３５と突出部５６との間を、液状接着剤の毛管現象が生じない程度に大きくするように設定されている。従って、遮断部７０は、圧電素子３５及び突出部５６間で液状接着剤の毛管現象を遮断する構成となっている。なお、凹部７４の深さ設定は、液状接着剤の粘度や硬化時間等を考慮して適宜行われる。
［圧電アクチュエータの組み付け］
圧電アクチュエータ６を組み付ける際には、予めベース・プレート５のアクチュエータ・ベース３３とロード・ビーム３の受け部材４７とを重ね合わせて所定箇所で相互に固着しておく。また、ロード・ビーム３に対しては、遮断部７０，７２を備えたフレキシャ７を固着しておく。

この状態で、図４及び図５のように、各開口部４３内においてベース先端部４１及びベース基端部３７及び受け部４５に液状接着剤を塗布すると共に圧電素子３５を所定の取付位置に収容配置させる。なお、液状接着剤には、圧電素子３５の位置決め用の非導電性小径フィラー等を混入しておくのが好ましい。

ここで、液状接着剤は、受け部４５の内端から孔部５５側に僅かにはみ出して行われる。このはみ出し部分は、一方で圧電素子３５の他側面６３に接触する。他方では、受け部４５の内端に沿って流動し、フレキシャ７の突出部５６（５８）の残存部６４表面に接触する。

これにより、液状接着剤のはみ出し部分は、圧電素子３５と突出部５６（５８）の残存部６４との間で毛管現象が発生し、残存部６４に沿って孔部５５の内側へ向けて流動しようとする。

このとき、圧電素子３５と突出部５６（５８）との間は、残存部６４に対する孔部５５の内側で遮断部７０（７２）の凹部７４（７６，７８）による隙間の拡大がなされているので、液状接着剤のはみ出し部分が残存部６４から遮断部７０（７２）の凹部７４（７６，７８）内に侵入して毛管現象が遮断される。

従って、液状接着剤のはみ出し部分は、それ以上の孔部５５内側への流動が規制されることになる。結果として、液状接着剤は、受け部４５側からの流出が抑制されて、圧電素子３５と開口部４３の内周縁及び受け部４５との間を埋めた状態で保持される。

なお、液状接着剤は、充填量によってはフレキシャ７の突出部５６（５８）側に接触しないことがあるが、この場合については、特に問題とならないので説明を省略する。

次いで、圧電アクチュエータ６を備えたヘッド・サスペンション１全体に対して加熱処理を行う。加熱処理は、例えば電気炉等を用いて所定時間・所定の温度下で行われる。これにより、液状接着剤の主剤と硬化剤とを反応させて接着部５７及びはみ出し部６８を形成することができる。

従って、各圧電素子３５と開口部４３内周縁及び受け部４５との間は、断面全域にわたる接着部５７が形成されて接着固定される。こうして圧電アクチュエータ６の組付けが完了する。
［実施例１の効果］
本実施例の圧電素子の取付構造は、アクチュエータ・ベース３３に設けられて圧電素子３５，３５を収容する開口部４３，４３と、開口部４３，４３の内周縁から内側に突出して圧電素子３５，３５を受ける受け部４５，４５と、受け部４５，４５の内端側に区画されて開口部４３，４３に連通する孔部５５，５５と、フレキシャ７の一部が受け部４５，４５の内端から孔部５５，５５上に突出してなり圧電素子３５，３５に孔部５５，５５を介して対向する突出部５６，５８と、圧電素子３５，３５と開口部４３，４３の内周縁及び受け部４５，４５との間に連続して充填された液状接着剤からなり硬化によって圧電素子３５，３５と開口部４３，４３の内周縁及び受け部４５，４５との間を接着する接着部５７，５７と、突出部５６，５８に設けられ圧電素子３５，３５との間の液状接着剤の毛管現象を遮断する遮断部７０，７２とを備えた。

従って、本実施例では、液状接着剤の各受け部４５，４５からのはみ出し部分がフレキシャ７の突出部５６，５８に接触しても、突出部５６，５８と圧電素子３５，３５との間での毛管現象を遮断部７０，７２により遮断することができる。

このため、本実施例では、それ以上の孔部５５，５５内側へのはみ出し部分の流動を規制することができ、液状接着剤が受け部４５，４５側から流出することを抑制できる。

この結果、本実施例では、圧電素子の変形（駆動力）に対する伝達性の低下を抑制すると共に孔部５５，５５内での設計外の剛性向上によるヘッド・サスペンションの動特性への影響を抑制することができる。

各遮断部７０（７２）は、フレキシャ７の突出部５６（５８）に設けられた板厚を減少させる凹部７４（７６，７８）であるため、圧電素子３５と突出部５６（５８）との隙間を拡大して容易且つ確実に液状接着剤の毛管現象を遮断することができる。

さらに、遮断部７０（７２）は、凹部７４（７６，７８）が受け部４５に隣接して設けられると共に凹部７４（７６，７８）と受け部４５との間に突出部５６（５８）の板厚が残存した残存部６４を形成している。

このため、本実施例では、残存部６４で毛管現象を生じさせた後に、その毛管現象を凹部７４（７６，７８）によって効果的に遮断することができる。

本実施例の圧電素子の取付構造を採用したヘッド・サスペンション１では、圧電素子３５，３５の変形（駆動力）に対する伝達性の低下及び設計外の剛性向上によるヘッド・サスペンションの動特性への影響を抑制できるので、ヘッド部８の位置決め精度を向上することができる。

図７は、実施例２に係る遮断部を示す拡大概略断面図である。なお、本実施例は、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号或いは同符号にＡを付して詳細な説明を省略する。

本実施例では、図７のように、実施例１に対して遮断部７０Ａ，７２Ａの凹部７４Ａ，７６Ａ，７８Ａの断面形状を変更したものである。すなわち、凹部７４Ａ，７６Ａ，７８Ａは、凹凸面からなる底面８６Ａを備えている。底面８６Ａは、複数の凹弧状面７７が連接されてなっている。凹弧状面７７の各間には、凸状の尖端部７９が形成されている。

このような本実施例では、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができるのに加え、各凹弧状面７７及び尖端部７９による底面８６Ａの凹凸形状により、液状接着剤の流動を確実に抑制することができる。

なお、本実施例の凹凸形状の底面８６Ａは、複数の遮断部の凹部に対して選択的に設けてもよい。この場合、他の凹部には、実施例１のように平面からなる底面８６を設ければよい。

図８は、実施例３に係る圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大断面図である。なお、本実施例は、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号或いは同符号にＢを付して詳細な説明を省略する。

本実施例では、図８のように、実施例１の遮断部７０，７２の凹部７４，７６，７８に代えて、貫通孔８９，９０，９１を設けたものである。貫通孔８９，９０，９１は、突出部５６Ｂ，５８Ｂの板厚方向に貫通形成されている。

このような本実施例においても、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。

なお、本実施例の貫通孔は、複数の遮断部に対して選択的に適用してもよい。この場合、他の遮断部は、実施例１のように凹部によって形成すればよい。

図９は、実施例４に係る圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大断面図、図１０は、図９の遮断部を示す要部拡大平面写真である。なお、本実施例は、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号或いは同符号にＣを付して詳細な説明を省略する。

本実施例では、図９及び図１０のように、実施例１の遮断部７０，７２の凹部７４，７６，７８に代えて、レーザー加工による凹部７４Ｃ，７６Ｃ，７８Ｃを設けたものである。

すなわち、凹部７４Ｃ，７６Ｃ，７８Ｃは、レーザー加工による複数の微小凹部８０の集合によって形成されている。これにより、凹部７４Ｃ，７６Ｃ，７８Ｃでは、その表面の粗さが突出部５６Ｃ，５８Ｃ表面の粗さに対して粗く設定されている。

このような本実施例では、遮断部７０Ｃ，７２Ｃの凹部７４Ｃ，７６Ｃ，７８Ｃにより突出部５６Ｃ，５８Ｃの濡れ性を低減することができる。

結果として、本実施例では、圧電素子３５，３５と突出部５６Ｃ，５８Ｃとの間で液状接着剤の毛管現象を遮断部７０Ｃ，７２Ｃによって遮断することができ、上記実施例１と同様の効果を奏することができる。

なお、本実施例のレーザー加工による凹部は、複数の遮断部に対して選択的に適用してもよい。この場合、他の遮断部は、実施例１又は３のように凹部又は貫通孔からなる遮断部を適用すればよい。

図１１は、実施例５に係る圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大断面図である。なお、本実施例は、上記実施例４と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号を付し或いはＣをＤに代えて詳細な説明を省略する。

本実施例では、図１１のように、実施例１の遮断部７０，７２の凹部７４，７６，７８に代えて、突出部５６Ｄ，５６Ｄ上に設けられた撥水処理部８１，８３，８５を設けたものである。

撥水処理部８１，８３，８５は、それぞれ突出部５６Ｄ，５６Ｄ上にフッ素加工等の撥水処理を行うことで形成されている。

従って、本実施例においても、遮断部７０Ｄ，７２Ｄの撥水処理部８１，８３，８５により突出部５６Ｄ，５６Ｄの濡れ性を低減することができ、上記実施例４と同様の作用効果を奏することができる。

なお、本実施例の遮断部は、複数の遮断部に対して選択的に適用してもよい。この場合、他の遮断部は、実施例１、３又は４のように凹部、貫通孔又はレーザー加工による凹部からなる遮断部を適用すればよい。

図１２は、実施例６に係る圧電素子の取付構造を採用した圧電アクチュエータの要部拡大平面図、図１３は、図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線矢視に係る要部拡大断面図である。なお、本実施例は、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号或いは同符号にＥを付して詳細な説明を省略する。

本実施例では、図１２及び図１３のように、遮断部７０Ｅ，７２Ｅを開口部４３Ｅ，４３Ｅの受け部４５Ｅ，４５Ｅに各別に設けたものである。

遮断部７０Ｅ，７２Ｅは、受け部４５Ｅ，４５Ｅの内端側に突出部５６Ｅ，５８Ｅに隣接して設けられている。この遮断部７０Ｅ，７２Ｅは、アクチュエータ・ベース３３の幅方向に沿って延設されると共に、受け部４５Ｅ，４５Ｅ、突出部５６Ｅ，５８Ｅ、及び接着部５７Ｅ，５７Ｅの延設方向での重なり部分に対して幅方向両側に突出している。

遮断部７０Ｅ，７２Ｅは、図１３（ａ）〜（ｄ）のように、凹部７４Ｅａ，７６Ｅａ，７８Ｅａ、貫通孔８９Ｅ，９０Ｅ，９１Ｅ、レーザー加工による凹部７４Ｅｂ，７６Ｅｂ，７８Ｅｂ、或いは撥水処理部８１Ｅ，８３Ｅ，８５Ｅからなっている。

このような本実施例では、受け部４５Ｅ，４５Ｅ上で液状接着剤の圧電素子３５，３５との間の毛管現象を遮断部７０Ｅ，７２Ｅにより遮断することができる。

このため、本実施例では、液状接着剤の受け部４５Ｅ，４５Ｅの孔部５５，５５側へのはみ出し自体を抑制し、液状接着剤が受け部４５Ｅ，４５Ｅ側から流出することを抑制できる。

この結果、本実施例においても、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。
［その他］
上記実施例の圧電アクチュエータでは一対の圧電素子３５，３５を備えていたが、例えば単一の圧電素子を備える構成とすることも可能である。

上記実施例の遮断部は一例であり、遮断部の形成位置は突出部の形状に応じて適宜変更可能である。ただし、遮断部は、少なくとも受け部、突出部、及び接着部の延設方向での重なり部分に対して幅方向に沿って配置される。

１ ヘッド・サスペンション
３ ロード・ビーム（被支持部材）
５ ベース・プレート（基部）
６ 圧電アクチュエータ
７ フレキシャ（配線部材）
８ ヘッド部
３３ アクチュエータ・ベース
３５ 圧電素子
４３ 開口部
４５ 受け部
５６，５８ 突出部
５７ 接着部
６４ 残存部
６８ はみ出し部
７０，７２ 遮断部
７４，７６，７８ 凹部
８６ 底面
８１，８３，８５ 撥水処理部
８９，９０，９１ 貫通孔

Claims (8)

1. 被支持部材を支持するアクチュエータ・ベースに取り付けられ該アクチュエータ・ベース上に配索された配線部材を介する電圧の印加状態に応じて変形し前記被支持部材を変位させる圧電素子の取付構造であって、
   前記アクチュエータ・ベースに設けられて前記圧電素子を収容する開口部と、
   該開口部の内周縁から内側に突出して前記圧電素子を受ける受け部と、
   該受け部の内端側に区画されて前記開口部に連通する孔部と、
   前記配線部材の一部が前記受け部の内端から前記孔部上に突出してなり前記圧電素子に前記孔部を介して対向する突出部と、
   前記圧電素子と前記開口部の内周縁及び前記受け部との間に連続して充填された液状接着剤からなり硬化によって前記圧電素子と前記開口部の内周縁及び前記受け部との間を接着する接着部と、
   前記受け部又は前記突出部に設けられ前記圧電素子との間の前記液状接着剤の毛管現象を遮断する遮断部とを備えた、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
2. 請求項１記載の圧電素子の取付構造であって、
   前記遮断部は、前記受け部又は配線部材の板厚を減少させる凹部である、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
3. 請求項２記載の圧電素子の取付構造であって、
   前記凹部の底面が、平面又は凹凸面からなる、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
4. 請求項２又は３記載の圧電素子の取付構造であって、
   前記凹部が、前記配線部材に前記受け部に隣接して設けられ、
   前記凹部と前記受け部との間に、前記突出部の板厚が残存した残存部が設けられた、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
5. 請求項１記載の圧電素子の取付構造であって、
   前記遮断部は、前記受け部又は配線部材の濡れ性を低減させる凹部である、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
6. 請求項１記載の圧電素子の取付構造であって、
   前記遮断部は、前記受け部又は配線部材に貫通形成された貫通孔である、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
7. 請求項１記載の圧電素子の取付構造であって、
   前記遮断部は、前記受け部又は配線部材を撥水処理した撥水処理部である、
   ことを特徴とする圧電素子の取付構造。
8. 請求項１〜７の何れかに記載の圧電素子の取付構造を備えたヘッド・サスペンションであって、
   基部に前記被支持部材としてのロード・ビームを介して読み書き用のヘッド部を支持し、
   前記圧電素子は、前記基部と前記ロード・ビームとの間に設けられて電圧の印加状態に応じて変形し前記ロード・ビームを介し前記ヘッド部を前記基部に対してスウェイ方向に微少移動させる、
   ことを特徴とするヘッド・サスペンション。