JP4993524B2 - 磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000000725 suspension Substances 0.000 title claims description 312
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 208
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 208
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 188
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 187
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 48
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 22
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 17
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4873—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives the arm comprising piezoelectric or other actuators for adjustment of the arm
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
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- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49036—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing
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Description
同様に、前記基端側支持プレートは、前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される基端側固着領域と、前記開口領域内に位置するように前記基端側固着領域から延びる基端側支持領域とを有している。
即ち、前記フレクシャ部は、前記支持部及び前記ロードビーム部のディスク対向面に溶接される前記フレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートのディスク対向面に積層された樹脂等の絶縁層と、前記絶縁層のディスク対向面に積層された導体部材からなる信号配線とを含んでいる。
同様に、前記フレクシャ金属プレートのうち前記開口領域の基端側に隣接する領域は、前記基端側支持プレートのディスク対向面に重合された状態で、前記基端側支持プレートの前記固着領域及び前記支持部の前記基端領域の双方に溶接されている。
前記金属リングは、前記フレクシャ金属プレートを形成する金属板を用いて形成され得る。
前記第1延在片は、前記第1先端側金属プレートに連結された第1先端側部分と前記第1基端側金属プレートに連結された第1基端側部分とを有し、前記第1先端側部分及び前記第1基端側部分は隙間を介して対向される。
前記第2延在片は、前記第2先端側金属プレートに連結された第2先端側部分と前記第2基端側金属プレートに連結された第2基端側部分とを有し、前記第2先端側部分及び前記第2基端側部分は隙間を介して対向される。
これに代えて、前記製造方法は、前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離した後に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含み得る。
本発明に係る前記製造方法は、さらに、前記第1及び第2圧電素子のそれぞれの前記ディスク面とは反対側の電極層と前記支持体の前記先端領域とに跨るように導電性接着剤を塗布する第5の接着剤塗布工程を含み得る。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図1A及び図1Bに、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Aの上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)及び下面図(ディスク面側から視た底面図)を示す。なお、図1Bにおける○印は溶接点を示している。
前記支持部10は、例えば、厚さ0.1mm〜0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部10として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
本実施の形態においては、図1A及び図1Bに示すように、前記ロードビーム部30は、平板状の本体部31と、前記本体部31の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部32とを有しており、前記フランジ部32によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部30は、例えば、厚さ0.02mm〜0.1mmのステンレス板によって好適に形成される。
前記突起33は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.05mm〜0.1mm程度突出されている。この突起33は、前記フレクシャ部40におけるヘッド搭載領域43の裏面(ディスク面とは反対側の面)に接触しており、前記荷重はこの突起33を介して前記フレクシャ部40のヘッド搭載領域418に伝達される。
好ましくは、前記一対の板バネ21は、前記磁気ヘッドサスペンション1Aが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ50が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション1Aの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
なお、本実施の形態においては、図1A及び図1Bに示すように、前記荷重曲げ部20は前記ロードビーム部30と一体形成されている。
本実施の形態においては前記フレクシャ部40は、前記磁気ヘッドスライダ50を外部部材に電気的に接続する為の信号配線430を一体的に有している。
図1B,図2A及び図2Bに示すように、前記フレクシャ部40は、前記ロードビーム部30及び前記支持部10のディスク対向面に溶接されるフレクシャ金属プレート410と、前記フレクシャ金属プレート410のディスク対向面に積層される絶縁層420と、前記絶縁層420のディスク対向面に積層される信号配線430とを含んでいる。
好ましくは、前記フレクシャ部40は、前記信号配線430を囲繞する絶縁性のカバー層(図示せず)を有し得る。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域418の裏面には前記突起33が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域418は前記突起33を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ金属プレート410は、例えば、厚さ0.01mm〜0.025mm程度のステンレス板とされる。
即ち、前記フレクシャ金属プレート410は、図2A及び図2Bに示すように、前記ヘッド搭載領域418、前記一対の支持片417、前記ロードビーム部重合領域411、前記荷重曲げ対応領域412、前記支持部先端側重合領域413及び前記先端側中央支持プレート形成領域414を含む先端側セクション410aと前記基端側中央支持プレート形成領域及415び前記支持部基端側重合領域416を含む基端側セクション410bとを備えており、前記先端側セクション410a及び前記基端側セクション410bは前記先端側中央支持プレート形成領域414及び前記基端側中央支持プレート形成領域415の間において離間されている。
即ち、前記絶縁層420は、図2Bに示すように、前記フレクシャ金属プレート410の前記ロードビーム部重合領域411、前記荷重曲げ対応領域412、前記支持部先端側重合領域413、前記先端側中央支持プレート形成領域414、前記基端側中央支持プレート形成領域415及び前記支持部基端側重合領域416のディスク対向面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域421、荷重曲げ対応領域422、支持部先端側対応領域423、先端側中央支持プレート対応領域424、基端側中央支持プレート対応領域425及び支持部基端側対応領域426を有すると共に、さらに、前記先端側中央支持プレート対応領域424及び前記基端側中央支持プレート対応領域425の間を連結する連結領域429(図1B及び図2Aも併せて参照)を有している。
なお、図3においては、前記一対の第1及び第2圧電素子60(1),60(2)を二点鎖線で示している。
即ち、前記第2先端側金属プレート100(2)は、前記フレクシャ金属プレート410の前記支持部先端側重合領域413よりサスペンション幅方向他方側において前記先端領域のディスク対向面に当接された状態で溶接される前記先端側固着領域101と、前記先端側第2幅方向部分414(2)よりサスペンション幅方向他方側においてサスペンション幅方向に沿って延びるように前記先端側固着領域101から延在された前記先端側サイド支持プレート形成領域105とを有している。
即ち、前記第2基端側金属プレート150(2)は、前記フレクシャ金属プレート410の前記支持部基端側重合領域416よりサスペンション幅方向他方側において前記基端領域11のディスク対向面に当接された状態で溶接される前記基端側固着領域151と、前記基端側第2幅方向部分415(2)よりサスペンション幅方向他方側においてサスペンション幅方向に沿って延びるように前記基端側固着領域151から延在された前記基端側サイド支持プレート形成領域155とを有している。
前記第1及び第2圧電素子60(1),60(2)は、図1A及び図4〜図6に示すように、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において全体が前記開口領域13内に位置するように前記支持部に装着されている。
まず、前述の通り、前記第1及び第2圧電素子用先端側支持プレートの一部を形成する前記フレクシャ金属プレート410の前記先端側中央支持プレート形成領域414は、前記第1及び第2圧電素子用基端側支持プレートの一部を形成する前記フレクシャ金属プレート410の前記基端側中央支持プレート形成領域415に対して、可撓性を有する前記絶縁層420の前記連結領域429によって連結された状態でサスペンション長手方向に離間されている。
従って、前記圧電素子60(1),60(2)の伸縮動作に応じて、前記先端側支持プレートが対応する前記基端側支持プレートに対してサスペンション長手方向に自由に相対移動することができる。
前記信号配線430は、図1B及び図2Bに示すように、前記絶縁層420の前記連結領域429を跨いでサスペンション長手方向に延びている。
従って、前記信号配線430は前記一対の圧電素子60(1),60(2)の伸縮動作に対する抵抗となり得る。
即ち、前記信号配線430は、図1B及び図2Bに示すように、前記開口領域13の先端側エッジを跨いでサスペンション長手方向に延びる開口領域先端側部分431と、前記開口領域13の基端側エッジを跨いでサスペンション長手方向に延びる開口領域基端側部分432と、前記開口領域先端側部分431及び前記開口領域基端側部分432の間を連結する開口領域中央部分435とを有している。
前記開口領域中央部分435は、サスペンション長手方向中心線CLを基準にして左右に振り分けて配置された第1及び第2開口領域中央部分435(1),435(2)を有している。
前記第1及び第2開口領域中央部分435(1),435(2)は、可能な範囲でサスペンション長手方向中心線CLを基準にして対称とされる。
同様に、前記第2電圧供給配線440(2)は、基端部(図示略)が前記電圧源に電気接続可能とされ且つ先端部が平面視において対応する前記第2圧電素子60(2)とオーバーラップされている。
そして、前記連結領域429には、図4及び図6に示すように、前記第1及び第2電圧供給配線440(1),440(2)の前記先端部に対応した位置に開口429aが形成されており、前記第1及び第2電圧供給配線440(1),440(2)の先端部は前記開口429aを貫通するように設けられた下面側導電性接着剤75を介して対応する前記圧電素子60(1),60(2)の前記下面側電極層に電気的に接続されている。
好ましくは、前記上面側導電性接着剤76は、図1A及び図4に示すように、カバー用絶縁性接着剤77によって囲繞され得る。
前記金属リング450を備えることにより、前記導電性接着剤75の広がりを抑制でき、前記導電性接着剤75による前記圧電素子60(1),60(2)の前記下面側電極層と前記第1及び第2電圧供給配線440(1),440(2)との電気的接続を確実に行うことができる。さらに、前記導電性接着剤75が広がって前記絶縁性接着剤73,74と混入することも有効に防止できる。
即ち、前記フレクシャ金属プレート410は、前記金属板のディスク対向面に前記絶縁層420を積層した後に、前記金属板の不要部分をエッチング除去することによって形成される。このエッチングを、前記フレクシャ金属プレート410に加えて前記金属リング450が残るように行うことで、前記金属リング450を容易に形成することができる。
なお、図7において、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
図4及び図8に示すように、本実施の形態においては、前記先端側中央支持プレート形成領域414の前記先端側第1幅方向部分414(1)及び前記第1先端側金属プレート100(1)の前記先端側サイド支持プレート形成領域105によって形成される前記第1圧電素子用先端側支持プレート並びに前記先端側中央支持プレート形成領域414の前記先端側第2幅方向部分414(2)及び前記第2先端側金属プレート100(2)の前記先端側サイド支持プレート形成領域105によって形成される前記第2圧電素子用先端側支持プレートは、前記支持部10の前記先端領域12の基端側エッジとの間に隙間16が存するように配置されている。
図9に示すように、第1例に係る製造方法は、前記ロードビーム基板から、複数の前記サスペンション先端側本体350と複数の前記サスペンション先端側本体350に対応した複数の前記第1及び第2基端側金属プレート50(1),150(2)のセットとを含む中間金属シート900を形成する工程を含む。
なお、図9中の符号905は位置決め孔である。
なお、図中、図9におけると同一部材には同一符号を付している。
この第2例に係る製造方法においても、前記第1例に係る製造方法と同一の効果を得ることができる。
なお、図11においては、理解容易化の為に、前記第1及び第2圧電素子60(1),60(2)を二点鎖線で示している。
そして、前記フレクシャ部40Cは、前記フレクシャ金属プレート410に代えてフレクシャ金属プレート410Cを有している点において、前記フレクシャ部40と相違している。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図12に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション2Aの上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)を示す。
なお、図中、前記実施の形態1における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図12においては前記フレクシャ部40の図示を省略し、且つ、前記支持部10並びに前記第1及び第2圧電素子60(1),60(2)を二点鎖線で示している。
そして、前記第1連結片110(1)は前記第1先端側金属プレート100(1)及び前記第1基端側金属プレート150(1)を一体的に連結し、前記第2連結片110(2)は前記第2先端側金属プレート100(1)及び前記第2基端側金属プレート150(2)を一体的に連結している。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図13に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション3Aの上面図(ディスク面と反対側から見た平面図)を示す。
なお、図中、前記実施の形態1及び2における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図13においては前記フレクシャ部40の図示を省略し、且つ、前記支持部10並びに前記第1及び第2圧電素子60(1),60(2)を二点鎖線で示している。
なお、図中、前記実施の形態1〜3における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図14においては前記フレクシャ部40の図示を省略し、且つ、前記支持部10並びに前記第1及び第2圧電素子60(1),60(2)を二点鎖線で示している。
即ち、前記開口領域13は、サスペンション長手方向に関し先端側から基端側へ行くに従って幅広となる部分を有している。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図15に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション4Aの上面図(ディスク面と反対側から見た平面図)を示す。
又、図16〜図18に、それぞれ、図15におけるXVI-XVI線,XVII-XVII線及びXVIII-XVIII線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態1〜3における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
斯かる構成によれば、前記導電性接着剤75に含まれるフィラー粒子(主としてAg粒子)の脱落をより確実に防止できると共に、Agのイオンマイグレーションの発生を有効に防止することができる。
前記製造方法は、さらに、前記第1及び第2圧電素子60(1),60(2)のそれぞれの前記ディスク面とは反対側の前記上面側電極層と前記支持体10の前記先端領域12とに跨るように前記上面側導電性接着剤76を塗布する第5の接着剤塗布工程を含み得る。
前記外側面側絶縁性接着剤79は、対応する側の前記連結梁14の少なくとも一部に連結されている。
なお、前記外側面側絶縁性接着剤79の適用は、前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンション1Aにも可能である。
10 支持部
11 基端領域
12 先端領域
13 開口領域
14 連結梁
16,17 隙間
20 荷重曲げ部
21 弾性板
30 ロードビーム部
40 フレクシャ部
50 磁気ヘッドスライダ
60(1),60(2) 第1及び第2圧電素子
71,72 端面側絶縁性接着剤
73 先端側絶縁性接着剤
74 基端側絶縁性接着剤
75 導電性接着剤
78(1),78(2) 第1及び第2密閉空間形成絶縁性接着剤
80 外方側絶縁性接着剤
85 封止用絶縁性接着剤
100(1),100(2) 第1及び第2先端側金属プレート
101 先端側固着領域
105 先端側サイド支持プレート形成領域
110(1),110(2) 第1及び第2連結片
120(1),120(2) 第1及び第2延在片
121(1),121(2) 第1及び第2先端側部分
122(1),122(2) 第1及び第2基端側部分
123(1),123(2) 第1及び第2補助連結片
150(1),150(2) 第1及び第2基端側金属プレート
151 基端側固着領域
155 基端側サイド支持プレート形成領域
350 サスペンション先端側本体
410 フレクシャ金属プレート
411 ロードビーム部重合領域
412 荷重曲げ対応領域
413 支持部先端側重合領域
414 先端側中央支持プレート形成領域
414a 先端側中央部分
414(1) 先端側第1幅方向部分
414(2) 先端側第2幅方向部分
415 基端側中央支持プレート形成領域
415a 基端側中央部分
415(1) 基端側第1幅方向部分
415(2) 基端側第2幅方向部分
416 支持部基端側重合領域
419 ブリッジ領域
420 絶縁層
421 ロードビーム対応領域
422 荷重曲げ対応領域
423 支持部先端側対応領域
424 先端側中央支持プレート対応領域
425 基端側中央支持プレート対応領域
429 連結領域
429a 開口
430 信号配線
440(1),440(2) 第1及び第2電圧供給配線
450 金属リング
900,900’ 中間金属シート
910 キャリア
911,912 第1及び第2支持片
CL サスペンション長手方向中心線
Claims (16)
- 磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第1及び第2圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記荷重曲げ部は、板面が前記ディスク面と対向する状態でサスペンション長手方向中心線を挟んで互いにサスペンション幅方向に離間された一対の弾性板であって、基端部が前記先端領域に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部の基端側を支持する一対の弾性板を有し、
前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部のディスク対向面に溶接されるフレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートのディスク対向面に積層される絶縁層と、前記絶縁層のディスク対向面に積層される信号配線とを含み、
前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部のディスク対向面に重合された状態で溶接されるロードビーム部重合領域と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間において前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部先端側重合領域と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と、前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部基端側重合領域と、前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側中央支持プレート形成領域と、前記先端側中央支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側中央支持プレート形成領域とを有し、
前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域、前記先端側中央支持プレート形成領域、前記基端側中央支持プレート形成領域及び前記支持部基端側重合領域のディスク対向面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域、先端側中央支持プレート対応領域、基端側中央支持プレート対応領域及び支持部基端側対応領域を有すると共に、さらに、前記先端側中央支持プレート対応領域及び前記基端側中央支持プレート対応領域の間を連結する連結領域を有しており、
前記先端領域のディスク対向面には左右一対の第1及び第2先端側金属プレートが固着され、前記基端領域のディスク対向面には左右一対の第1及び第2基端側金属プレートが固着されており、
前記一対の先端側金属プレートは、前記支持部先端側重合領域よりサスペンション幅方向外方側において前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される先端側固着領域と、前記先端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域内に位置するように前記先端側固着領域から延びる先端側サイド支持プレート形成領域とを有し、
前記一対の基端側金属プレートは、前記支持部基端側重合領域よりサスペンション幅方向外方側において前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される基端側固着領域と、前記基端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域内に位置するように前記基端側固着領域から延びる基端側サイド支持プレート形成領域とを有し、
前記第1圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向一方側の先端側第1幅方向部分及び前記第1先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第1圧電素子用先端側支持プレートに先端側絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向一方側の基端側第1幅方向部分及び前記第1基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第1圧電素子用基端側支持プレートに基端側絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され、
前記第2圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向他方側の先端側第2幅方向部分及び前記第2先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第2圧電素子用先端側支持プレートに先端側絶縁性接着剤を介して載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向他方側の基端側第2幅方向部分及び前記第2基端側金属プレートの前記基端側支持プレート形成領域によって形成される第2圧電素子用基端側支持プレートに基端側絶縁性接着剤を介して載置されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。 - 前記フレクシャ金属プレートは、サスペンション幅方向に関し前記一対の第1及び第2圧電素子の間において前記先端側中央支持プレート形成領域及び基端側中央支持プレート形成領域の間を連結するブリッジ領域を有していることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記連結領域は、平面視において前記第1及び第2圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されており、
前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第1及び第2電圧供給配線を有し、
前記第1及び第2電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、
前記絶縁層の前記連結領域には前記第1及び第2電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第1及び第2電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の電極層に電気的に接続されており、
前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記導電性接着剤を囲繞するように金属リングが配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記連結領域は、平面視において前記第1及び第2圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されており、
前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第1及び第2電圧供給配線を有し、
前記第1及び第2電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、
前記絶縁層の前記連結領域には前記第1及び第2電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第1及び第2電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の下面側電極層に電気的に接続されており、
前記第1圧電素子用の前記導電性接着剤のサスペンション幅方向両側には、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第1圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように配置された一対の第1密閉空間形成絶縁性接着剤が設けられ、
前記第2圧電素子用の前記導電性接着剤のサスペンション幅方向両側には、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第2圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように配置された一対の第2密閉空間形成絶縁性接着剤が設けられていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記連結領域は、平面視において前記第1及び第2圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されており、
前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第1及び第2電圧供給配線を有し、
前記第1及び第2電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、
前記絶縁層の前記連結領域には前記第1及び第2電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第1及び第2電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の下面側電極層に電気的に接続されており、
前記第1圧電素子用の前記導電性接着剤よりサスペンション幅方向外方側にはサスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第1圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように外方側絶縁性接着剤が設けられ、
前記第2圧電素子用の前記導電性接着剤よりサスペンション幅方向外方側にはサスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第2圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように外方側絶縁性接着剤が設けられていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記第1圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤,前記第2圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤,前記第1圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤,前記第2圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤,前記第1圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤,前記第2圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤,前記絶縁層の前記連結領域,前記第1圧電素子の前記下面側電極層及び前記第2圧電素子の前記下面側電極層によって画される空間に封止用絶縁性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項5に記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記第1及び第2圧電素子のサスペンション幅方向外方側の外側面をそれぞれ覆うように外側面側絶縁性接着剤が設けられ、前記外側面側絶縁性接着剤は、対応する側の前記連結梁の少なくとも一部に連結されていることを特徴とする請求項1から6の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記先端側中央支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域から基端側へ延びた先端側中央部分と、前記先端側中央部分からサスペンション幅方向一方側へ延びて前記第1先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第1圧電素子用先端側支持プレートを形成する前記先端側第1幅方向部分と、前記先端側中央部分からサスペンション幅方向他方側へ延びて前記第2先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第2圧電素子用先端側支持プレートを形成する前記先端側幅方向第2部分とを有し、
前記基端側中央支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域から先端側へ延びた基端側中央部分と、前記基端側中央部分からサスペンション幅方向一方側へ延びて前記第1基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第1圧電素子用基端側支持プレートを形成する前記基端側第1幅方向部分と、前記基端側中央部分からサスペンション幅方向他方側へ延びて前記第2基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第2圧電素子用基端側支持プレートを形成する前記基端側第2幅方向部分とを有し、
前記第1及び第2圧電素子用先端側支持プレートの先端側エッジと前記先端領域の基端側エッジとの間には隙間が存在し、
前記第1及び第2圧電素子用基端側支持プレートの基端側エッジと前記基端領域の先端側エッジとの間には隙間が存在することを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記ロードビーム部,前記荷重曲げ部及び前記一対の先端側金属プレートは一体形成されていることを特徴とする請求項1から8の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記第1圧電素子よりサスペンション幅方向外方側において前記第1先端側金属プレート及び前記第1基端側金属プレートを連結する第1連結片と、
前記第2圧電素子よりサスペンション幅方向外方側において前記第2先端側金属プレート及び前記第2基端側金属プレートを連結する第2連結片とを備え、
前記第1及び第2連結片は平面視において蛇腹状とされていることを特徴とする請求項1から9の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記第1圧電素子よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第1延在片と、
前記第2圧電素子よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第2延在片とを備え、
前記第1延在片は、前記第1先端側金属プレートに連結された第1先端側部分と前記第1基端側金属プレートに連結された第1基端側部分とを有し、前記第1先端側部分及び前記第1基端側部分は隙間を介して対向し、
前記第2延在片は、前記第2先端側金属プレートに連結された第2先端側部分と前記第2基端側金属プレートに連結された第2基端側部分とを有し、前記第2先端側部分及び前記第2基端側部分は隙間を介して対向していることを特徴とする請求項1から9の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記連結梁は前記基端領域に連結される基端部が前記先端領域に連結される先端部よりサスペンション幅方向外方に位置するように配置されており、
先端部が前記第1先端側部分に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第1基端側金属プレートに連結された第1補助連結片と、
先端部が前記第2先端側部分に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第2基端側金属プレートに連結された第2補助連結片とを備えていることを特徴とする請求項11に記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 請求項1〜12の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
ロードビーム基板から、前記ロードビーム部,前記荷重曲げ部及び前記一対の先端側金属プレートを一体的に有する複数のサスペンション先端側本体と複数の前記一対の基端側金属プレートとを含む中間金属シートであって、前記複数のサスペンション先端側本体が第1支持片を介してキャリアに連結され、且つ、前記複数の一対の基端側金属プレートが第2支持片を介して直接又は間接的に前記キャリヤに連結されている中間金属シートを形成する工程と、
前記サスペンション先端側本体及び対応する前記一対の基端側金属プレートに前記支持部を固着させる工程と、
前記第1及び第2支持片を切断することによって、前記サスペンション先端側本体,前記一対の基端側金属プレート及び前記支持部が一体化されたアッセンブリを前記キャリアから分離する工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。 - 前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離する前に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含むことを特徴とする請求項13に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
- 前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離した後に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含むことを特徴とする請求項13に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
- 請求項6に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記支持部,前記荷重曲げ部,前記ロードビーム部,前記フレクシャ部,前記一対の先端側金属プレート及び前記一対の基端側金属プレートが一体化されたサスペンション中間体を用意する工程と、
前記第1及び第2圧電素子用先端側支持プレートに前記先端側絶縁性接着剤を塗布し且つ前記第1及び第2圧電素子用基端側支持プレートに前記基端側絶縁性接着剤を塗布する第1の接着剤塗布工程と、
前記第1圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤及び前記第2圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤を塗布する第2の接着剤塗布工程と、
前記第1及び第2圧電素子用の前記導電性接着剤を塗布する第3の接着剤塗布工程と、
前記第1から第3の接着剤塗布工程の後に前記第1及び第2圧電素子を前記開口領域内の所定位置に設置する圧電素子設置工程と、
前記圧電素子設置工程の前又は後に前記端面側絶縁性接着剤を塗布する第4の接着剤塗布工程と、
前記第1から第4接着剤塗布工程によって塗布された接着剤を硬化させて前記第1及び第2圧電素子を固定する硬化工程と、
前記ディスク面とは反対側からからサスペンション幅方向における前記第1及び第2圧電素子の間の間隙を介して前記空間に前記封止用絶縁性接着剤を充填する工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010089418A JP4993524B2 (ja) | 2010-04-08 | 2010-04-08 | 磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法 |
US13/082,169 US8369047B2 (en) | 2010-04-08 | 2011-04-07 | Magnetic head suspension and manufacturing method thereof with pair of piezoelectric adjusters |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010089418A JP4993524B2 (ja) | 2010-04-08 | 2010-04-08 | 磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011222075A JP2011222075A (ja) | 2011-11-04 |
JP4993524B2 true JP4993524B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=44760762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010089418A Active JP4993524B2 (ja) | 2010-04-08 | 2010-04-08 | 磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8369047B2 (ja) |
JP (1) | JP4993524B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5174743B2 (ja) * | 2009-05-21 | 2013-04-03 | 日本発條株式会社 | ヘッドサスペンション |
JP5335658B2 (ja) * | 2009-12-15 | 2013-11-06 | 日本発條株式会社 | ヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法 |
US8570688B1 (en) * | 2010-11-08 | 2013-10-29 | Magnecomp Corporation | Electrical connections to a microactuator in a hard disk drive suspension |
US8498082B1 (en) * | 2011-03-23 | 2013-07-30 | Magnecomp Corporation | DSA suspension with improved microactuator stroke length |
JP5989370B2 (ja) * | 2012-03-23 | 2016-09-07 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板 |
JP6178056B2 (ja) * | 2012-09-05 | 2017-08-09 | 日本発條株式会社 | ヘッド・サスペンション、ベース・プレートの製造方法、ヘッド・サスペンションの製造方法 |
US9406314B1 (en) | 2012-10-04 | 2016-08-02 | Magnecomp Corporation | Assembly of DSA suspensions using microactuators with partially cured adhesive, and DSA suspensions having PZTs with wrap-around electrodes |
JP5989499B2 (ja) | 2012-10-16 | 2016-09-07 | 日本発條株式会社 | ヘッド・サスペンション、アクチュエータ、及び圧電素子接着方法 |
US8773820B1 (en) * | 2013-02-21 | 2014-07-08 | Magnecomp Corporation | PZT microactuator for disk drive suspension having electrical via and wrap-around electrode |
JP2014238895A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社東芝 | ヘッドサスペンションアッセンブリおよびこれを備えたディスク装置 |
US9135936B1 (en) | 2014-03-22 | 2015-09-15 | Magnecomp Corporation | Microactuated suspension with spring bias acting on conductive adhesive bond for improved reliability |
US9449623B2 (en) | 2014-06-03 | 2016-09-20 | HGST Netherlands B.V. | Reducing ion migration in a hard disk drive microactuator flexure assembly |
US11501797B2 (en) * | 2020-05-15 | 2022-11-15 | Magnecomp Corporation | Actuator joint with non-straight edge |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3926043B2 (ja) * | 1998-08-07 | 2007-06-06 | 日本発条株式会社 | ディスクドライブ用サスペンションの製造方法 |
US6614627B1 (en) * | 2000-02-14 | 2003-09-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
JP4156203B2 (ja) | 2000-05-22 | 2008-09-24 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | ディスク装置用サスペンション |
JP4117723B2 (ja) * | 2002-01-31 | 2008-07-16 | 富士通株式会社 | ディスクに記録再生を施すヘッドを微小移動させる機構及びそれを有するディスク装置 |
JP3826050B2 (ja) * | 2002-02-26 | 2006-09-27 | 日本発条株式会社 | ディスクドライブ用サスペンション |
US7023667B2 (en) * | 2002-10-07 | 2006-04-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Dual stage suspension with PZT actuators arranged to improve actuation in suspensions of short length |
-
2010
- 2010-04-08 JP JP2010089418A patent/JP4993524B2/ja active Active
-
2011
- 2011-04-07 US US13/082,169 patent/US8369047B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110249366A1 (en) | 2011-10-13 |
JP2011222075A (ja) | 2011-11-04 |
US8369047B2 (en) | 2013-02-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120416 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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