JP4113143B2 - 薄膜圧電体素子、サスペンション、及びハードディスク装置 - Google Patents
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Description
まず、基板Sを用意する。そして、この基板Sの上に、第2の電極膜75bを構成する材料からなる薄膜F1、薄膜圧電体73を構成する材料からなる薄膜F2、及び第1の電極膜75aを構成する材料からなる薄膜F3の順に積層して積層体L1を形成する(図9(a)及び(b)参照)。基板Sには、例えば酸化マグネシア(MgO)を材料とする単結晶基板等を用いることができる。薄膜F1,F3(第1及び第2の電極膜75a,75b)には、例えばPtやIr等の金属の他、導電性酸化物(例えば、IrO等)や導電性樹脂といった導電性材料を用いることができる。薄膜F2には、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウム等の圧電材料を用いることができる。薄膜F1〜F3を形成する方法には、例えばスパッタリング法、CVD法、レーザーアブレーション法等の方法を用いることができる。
次に、積層体L1を所望の形状に加工(パターニング)する(図10(a)及び(b)参照)。この工程(2)では、まず、積層体L1上に、第1領域70a、第2領域70c、及び第2の電極膜75bにおける第1領域70aとの第2領域70bとの間に位置する部分に対応する位置にレジスト膜(図示せず)を形成し、当該レジスト膜をマスク層として薄膜F1〜F3をエッチングにより除去する。続いて、上記レジスト膜を除去する。
次に、第2の電極膜75b、薄膜圧電体73及び第1の電極膜75aの腐食を回避するために、基板S上において、第1領域70a、第2領域70b、及び第2の電極膜75bにおける第1領域70a及び第2領域70bとの間に位置する部分の表面を覆うように第1の樹脂膜77aを形成する(図11(a)及び(b)参照)。第1の樹脂膜77aは、当該第1の樹脂膜77aを構成する樹脂材料を塗布した後にベークすることにより形成される。
次に、第1の樹脂膜77a上であって、電極71a〜71cが形成される予定領域(薄膜圧電アクチュエータ70の根元領域)に第2の樹脂膜77bを形成する(図12(a)及び(b)参照)。第2の樹脂膜77bは、第1の樹脂膜77aと同じく、第2の樹脂膜77bを構成する樹脂材料を塗布した後にベークすることにより形成される。
次に、コンタクトホール78a〜78cに対応する位置に開口を有するレジスト膜(図示せず)を再度形成する。そして、このレジスト膜をマスク層として、コンタクトホール78a〜78cが形成されることにより露出した第1の電極膜75a及び第2の電極膜75b上に、蒸着とリフトオフ法とにより各電極71a〜71cを形成する(図13(a)及び(b)参照)。
Claims (9)
- 圧電体膜と、当該圧電体膜を挟むように配置される一対の電極膜とを含む積層体と、
前記積層体を覆うように形成される樹脂膜と、
前記樹脂膜上に形成され、前記電極膜に電気的に接続される電極と、を備え、
前記樹脂膜は、前記電極が形成される領域の厚みが前記積層体の変位する部分に対応する領域の厚みよりも厚くなるように形成されていることを特徴とする薄膜圧電体素子。 - 前記樹脂層は、前記積層体を覆うように形成される第1の樹脂膜と、前記電極が形成される前記領域に形成される第2の樹脂膜とを含んでいることを特徴とする請求項1に記載の薄膜圧電体素子。
- 前記積層体の上に接着される新たな積層体を更に備え、
前記新たな積層体は、圧電体膜と、当該圧電体膜を挟むように配置される一対の電極膜とを含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜圧電体素子。 - 薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダが搭載されるサスペンションであって、
前記ヘッドスライダを当該サスペンションに対して相対的に変位させる薄膜圧電体素子を備え、
前記薄膜圧電体素子は、
圧電体膜と、当該圧電体膜を挟むように配置される一対の電極膜とを含む積層体と、
前記積層体を覆うように形成される樹脂膜と、
前記樹脂膜上に形成され、前記電極膜に電気的に接続される電極と、を有し、
前記樹脂膜は、前記電極が形成される領域の厚みが前記積層体の変位する部分に対応する領域の厚みよりも厚くなるように形成されていることを特徴とするサスペンション。 - 前記樹脂層は、前記積層体を覆うように形成される第1の樹脂膜と、前記電極が形成される前記領域に形成される第2の樹脂膜とを含んでいることを特徴とする請求項4に記載のサスペンション。
- 前記積層体の上に接着される新たな積層体を更に備え、
前記新たな積層体は、圧電体膜と、当該圧電体膜を挟むように配置される一対の電極膜とを含むことを特徴とする請求項4に記載のサスペンション。 - 記録媒体と、この記録媒体に対して記録又は再生の少なくとも一方を行う薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダと、このヘッドスライダが搭載されるサスペンションとを備え、
前記サスペンションは、前記ヘッドスライダを当該サスペンションに対して相対的に変位させる薄膜圧電体素子を有し、
前記薄膜圧電体素子は、
圧電体膜と、当該圧電体膜を挟むように配置される一対の電極膜とを含む積層体と、
前記積層体を覆うように形成される樹脂膜と、
前記樹脂膜上に形成され、前記電極膜に電気的に接続される電極と、を有し、
前記樹脂膜は、前記電極が形成される領域の厚みが前記積層体の変位する部分に対応する領域の厚みよりも厚くなるように形成されていることを特徴とするハードディスク装置。 - 前記樹脂層は、前記積層体を覆うように形成される第1の樹脂膜と、前記電極が形成される前記領域に形成される第2の樹脂膜とを含んでいることを特徴とする請求項7に記載のハードディスク装置。
- 前記積層体の上に接着される新たな積層体を更に備え、
前記新たな積層体は、圧電体膜と、当該圧電体膜を挟むように配置される一対の電極膜とを含むことを特徴とする請求項7に記載のハードディスク装置。
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