JP6096637B2 - ヘッドジンバルアッセンブリおよびこれを備えたディスク装置 - Google Patents
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ディスク装置として、例えば、磁気ディスク装置は、一般に、ケース内に配設された磁気ディスク、磁気ディスクを支持および回転駆動するスピンドルモータ、磁気ヘッドを支持したヘッドジンバルアッセンブリ(HGA)を備えている。ヘッドジンバルアッセンブリは、アームの先端部に取り付けられたサスペンションと、サスペンション上に設置されているとともに、サスペンションから外側に引き出されたフレクシャ(配線トレース)と、フレクシャのジンバル部を介してサスペンションに支持された磁気ヘッドと、を有し、フレクシャの配線は、磁気ヘッドに電気的に接続されている。また、サスペンションは、ロードビームと、ロードビームの基端側に固定されたベースプレートと、を有し、このベースプレートがアームの先端部に固定されている。
(第1の実施形態)
図1は、トップカバーを外してHDDの内部構造を示している。図1に示すように、HDDは筐体10を備えている。筐体10は、上面の開口した矩形箱状のベース12と、複数のねじによりベース12にねじ止めされてベース12の上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。ベース12は、矩形状の底壁12aと、底壁の周縁に沿って立設された側壁12bとを有している。
図7は、第2の実施形態に係るHGA30の圧電素子および圧電素子実装部を示す断面図である。本実施形態によれば、ジンバル部36において、裏打ち金属薄板44aの上面側(絶縁層側)の所定部位を5〜10μm程度の深さエッチングして厚さ方向に削り取ることで、金属薄板の厚さ方向に対してロードビーム側に一段低い段差部54a、54bを形成している。そして、絶縁層44bの一部は、一対の段差部54a、54bに沿って金属薄板44a側に折曲げられ、これら一対の段差部54a、54b間を延びている。これにより、凹所52および凹所の底(座面)が形成されている。
図8は、第1変形例に係るHGA30の圧電素子および圧電素子実装部を示す断面図である。第1変形例によれば、前述した第2の実施形態において、凹所52の底を形成している絶縁層44bの内、一対の段差部54a、54b間に位置し、圧電素子50の伸縮動作に対する抵抗となる部分55を取り除いている。このような構成とすることにより、圧電素子50の伸縮量が増加し、フレクシャ40を介して磁気ヘッド17をより変位し易くすることができる。
図9は、第2変形例に係るHGA30のロードビームおよびジンバル部を示す平面図、図10は、図9の線B−Bに沿ったロードビームおよびジンバル部の断面図である。
図9および図10に示すように、第2変形例によれば、ロードビーム35において、ジンバル部36の段差部54a、54bと対向する領域に開口57を設け、圧電素子50の搭載座面(凹所底面)とロードビーム35との接触を避けるように構成してもよい。
図11は、第3の実施形態に係るHGA30の圧電素子および圧電素子実装部を示す断面図である。本実施形態によれば、ジンバル部36において、裏打ち金属薄板44aおよび一対の支持部36dは平坦な板状に形成されている。絶縁層44bの上面側(配線45a側)の所定部位を数μm程度の深さエッチングして厚さ方向に削り取ることで、絶縁層44bの厚さ方向に対してロードビーム側に一段低い凹所(段差)52および凹所の底(座面)を形成している。凹所52の形成は、エッチングに限らず、例えば、絶縁層44bを作成する際、複数の絶縁層を積層して、始めから段差部を有する絶縁層を形成し、この段差部により凹所52を規定するようにしてもよい。
22…ヘッドスタックアッセンブリ(HSA)、
30…ヘッドジンバルアッセンブリ(HGA)、
32…アーム、34…サスペンション、35…ロードビーム、36…ジンバル部、
40…フレクシャ、42…ベースプレート、44a…金属薄板、
44b…絶縁層、44c…導電層、45c…配線、50…圧電素子、52…凹所、
54a、54b…段差部、57…開口
Claims (8)
- ロードビームと、
前記ロードビームの基端部に固定されたベースプレートと、
金属薄板、前記金属薄板上に積層された絶縁層、および前記絶縁層上に積層され複数の配線を形成した導電層を有し、細長い帯状に形成され、前記金属薄板側が前記ロードビームおよびベースプレート上に取付けられたフレクシャと、
前記ロードビームの先端部上に位置する前記フレクシャの先端部により形成されたジンバル部と、
前記ジンバル部に取り付けられ前記フレクシャの配線に電気的に接続された磁気ヘッドと、
前記ジンバル部において、前記絶縁層の一部に形成され前記金属薄板側に凹んだ凹所と、
前記凹所内に配置されて前記凹所の底に固定され、電圧印加により前記フレクシャの長手方向に沿って伸縮可能な圧電素子と、
を備えるヘッドジンバルアッセンブリ。 - 前記ジンバル部において、前記金属薄板は、厚さ方向について前記ロードビーム側へ折曲がり、前記フレクシャの長手方向に沿って間隔を置いて対向した一対の段差部を有し、前記絶縁層の一部は、前記一対の段差部に沿って前記金属薄板側に折曲げられ、前記一対の段差部間を延び、前記凹所および前記凹所の底を形成している請求項1に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記圧電素子の長手方向両端部は、前記絶縁層を介して前記一対の段差部上に支持されている請求項2に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記金属薄板の段差部は、前記金属薄板の一部を厚さ方向に折曲げて形成されている請求項2又は3に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記金属薄板の段差部は、エッチングにより前記金属薄板の一部を厚さ方向に削り取ることにより形成されている請求項2又は3に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記絶縁層の一部は、前記一対の段差部上に重ねて形成され、前記一対の段差部間の間で取り除かれている請求項2又は3に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記圧電素子の厚さ方向の中心を延びる中立面が、前記凹所内に位置している請求項1ないし6のいずれか1項に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- ディスク状の記録媒体と、
前記記録媒体を支持し回転する駆動モータと、
前記記録媒体に対して情報処理する磁気ヘッドを前記記録媒体に対して移動可能に支持する請求項1ないし7のいずれ1項に記載のヘッドジンバルセンブリと、を備えるディスク装置。
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