JP2023092137A - ディスク装置用サスペンション - Google Patents

Abstract

【課題】ＣＬＡ（co-located actuator）タイプのサスペンションにおいて、スウェイ方向のタングのストロークを安定させることができるサスペンションを提供する。【解決手段】サスペンション１０は、ロードビーム１１と、フレキシャ１２と、ディンプル部５０とを有している。フレキシャ１２の一部にタング２５が形成されている。ディンプル部５０は、タング２５を少なくとも第１の位置と第２の位置とにわたり、揺動可能に支持する。タング２５に、スライダ４０を支持する第１の枕部７０，７１と、スライダ４０を固定する接着部４５が設けられている。ロードビーム１１に、スライダ４０に向けて突出する第２の枕部８０が設けられている。第２の枕部８０は、タング２５が第１の位置にあるときスライダ４０に当接し、タング２５が第２の位置に移動するとスライダ４０から離れる。【選択図】図４

Description

本発明は、スライダを搭載するタングを有するフレキシャと、前記タングをスウェイ方向に移動させるアクチュエータとを備えたディスク装置用サスペンションに関する。

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアーム部を有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによって、ピボット軸を中心に旋回する。

前記キャリッジのアーム部にディスク装置用サスペンション（これ以降、サスペンションと称す）が取付けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに沿って配置されたフレキシャ(flexure)などを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたタングにスライダが搭載される。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。ロードビーム、フレキシャ、スライダなどによって、ジンバルアセンブリが構成されている。

例えば特許文献１に記載されているように、ジンバルアセンブリの製造工程において、前記スライダをタングに固定するために接着剤が使用されるのが通例である。スライダを接着剤によってタングに固定する際に、タングとスライダとの姿勢を安定させるために、枕部と称される凸部がタングに形成されている。前記枕部によってスライダがタング上の所定位置に支持された状態のもとで、前記接着剤が硬化する。

ディスクの高記録密度化に対応するために、例えば特許文献２に記載されたＣＬＡ（co-located actuator）タイプのサスペンションが知られている。ＣＬＡタイプのサスペンションは、フレキシャのジンバル部にアクチュエータが配置されている。そのアクチュエータの一例は、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電体からなる。前記アクチュエータによって、タングの移動側部分をスウェイ方法に微小量移動させる。この明細書で言うスウェイ方向とは、サスペンションの先端部の幅方向である。

ＣＬＡタイプのサスペンションでは、タングに搭載されたスライダを前記アクチュエータによってスウェイ方向に移動させる。このためスライダを搭載するタングを第１タング部と第２タング部とに分け、第１タング部と第２タング部とをヒンジ部によってつないでいる。例えば、スライダのリーディング側部分を第１タング部に対して移動可能とし、トレーリング側部分を接着剤によって前記第２タング部に固定している。この明細書で言う「リーディング側」は、ディスクが回転したときにスライダとディスクとの間に流入する空気の流入側である。「トレーリング側」は空気の流出側である。

特許文献２のサスペンションでは、ジンバルアセンブリの製造工程において、第２タング部に接着剤が供給され、その接着剤によってスライダのトレーリング側部分が第２タング部に固定される。その接着の際に、スライダの姿勢を安定させるために、タングに複数の枕部が設けられている。スライダはこれら枕部によって、タングの所定位置に支持される。スライダにある程度の力が加わった状態で接着剤が硬化する。こうして完成したサスペンションがディスク装置に組み込まれ、使用される。

ディスク装置が使用されるときには、ディスクが回転した状態において、スライダの素子によってディスクの記録面に対するデータのアクセスが行われる。ＣＬＡ（co-located actuator）タイプのサスペンションは、より高密度な記録面に対応するために、ジンバル部に配置された前記アクチュエータが作動することにより、スライダがスウェイ方向に微小量移動する。

特開２０１３－１４９３４１号公報 特開２０１５－４１３９４号公報

ＣＬＡタイプのサスペンションにおいて、タングの挙動について本発明者達が鋭意研究したところ、以下に述べるような知見が得られた。すなわち、回転するディスクに対する第２タング部のスウェイ方向の移動ストロークを精査したところ、サスペンションによってはストロークが不規則に大きく変化する事例があることがわかった。

その原因として考えられたのは、スライダが移動する際のスライダと枕部との接触状態、すなわちスライダが枕部に接触したり離れたりするといった不安定な接触であった。スウェイ方向のストロークの不安定さがＣＬＡタイプのサスペンションの振動モードに悪影響を与える原因となり、ひいては周波数特性が乱れる原因となっていた。

本発明の１つの実施形態の目的は、スライダが搭載されたタングのスウェイ方向のストロークを安定させることができるディスク装置用サスペンションを提供することにある。

１つの実施形態のディスク装置用サスペンションは、ロードビームと、前記ロードビームに沿って配置されたフレキシャと、ディンプル部とを具備している。前記フレキシャはスライダが搭載されるタングを有している。前記ディンプル部は、前記ロードビームと前記タングとの間に存し、前記タングをその厚さ方向に、少なくとも第１の位置と第２の位置とにわたり揺動可能に支持する凸部を有している。

前記タングは、前記ロードビームと対向する第１の面と、前記スライダを搭載する第２の面と、前記スライダを支持する第１の枕部と、前記スライダを固定する接着部とを有している。前記ロードビームに第２の枕部が設けられている。第２の枕部は前記スライダに向けて突出している。この第２の枕部は、前記タングが前記第１の位置にあるとき前記スライダに当接し、前記タングが前記第２の位置に移動すると前記スライダから離れる。

前記タングに、前記第２の枕部を挿入する開口部が形成されていてもよい。前記タングが、前記スライダのリーディング側部分が移動可能に載置される第１タング部と、前記スライダのトレーリング側部分が前記接着部によって固定される第２タング部と、前記第１タング部と前記第２タング部とをつなぐヒンジ部とを有してもよい。前記タングの両側に、前記第２タング部をスウェイ方向に駆動するアクチュエータ素子を有してもよい。

前記ロードビームが、高さ規制用凸部を有してもよい。高さ規制用凸部は、前記タングの前記第２の面から前記スライダに向けて突出する前記第２の枕部の先端の高さを規制する。前記タングに前記高さ規制用凸部が設けられていてもよい。前記高さ規制用凸部の一例は、前記タングの一部を前記ロードビームに向けて曲げた曲げ部からなる。

他の実施形態では、第２の枕部が前記スライダに設けられ、この第２の枕部が前記タングに形成された開口部からロードビームに向けて突出してもよい。この実施形態の第２の枕部は、前記タングが前記第１の位置にあるとき前記ロードビームに当接し、前記タングが前記第２の位置に移動すると前記ロードビームから離れる。

本発明のディスク装置用サスペンションによれば、スライダが搭載されたタングの挙動、特にスウェイ方向のストロークが安定し、周波数特性の乱れを抑制することができる。特にＣＬＡ（co-located actuator）タイプのサスペンションの場合に、スウェイ方向のストロークを安定させることができる。

第１の実施形態に係るサスペンションの一部の平面図。 図１に示されたサスペンションのフレキシャを、図１とは反対側から見た平面図。 図１に示されたサスペンションのロードビームの一部の平面図。 図１に示されたサスペンションの一部で、タングが第１の位置にあるときの側面図。 図１に示されたサスペンションの一部で、タングが第２の位置にあるとき（ロード時）の側面図。 図１に示されたサスペンションの一部で、タングが第１の位置にあるときの図１中のＦ６－Ｆ６線に沿う断面図。 図１に示されたサスペンションの一部で、タングが第２の位置にあるときの図１中のＦ６－Ｆ６線に沿う断面図。 ディスク装置の一例を模式的に示した断面図。 複数のサスペンション（No.1～No.6）について、Ｚハイト（Z-height）とスウェイ方向のストロークとの関係を示した図。 第１の実施形態に係るサスペンションの振動モードと従来のサスペンションの振動モードとを示した図。 第２の実施形態に係るサスペンションの一部とスライダとを示した断面図。 第３の実施形態に係るサスペンションの一部とスライダとを示した断面図。 第４の実施形態に係るサスペンションの一部の平面図。 第５の実施形態に係るサスペンションの一部の平面図。

［第１の実施形態］
以下に本発明の第１の実施形態に係るディスク装置用サスペンションについて、図１から図１０を参照して説明する。
図１は、ＣＬＡ（Co-located Actuator）タイプのサスペンション１０の一部を示す平面図である。サスペンション１０は、ロードビーム１１と、ロードビーム１１に沿って配置されたフレキシャ(flexure)１２と、フレキシャ１２のジンバル部１３に設けられたアクチュエータ搭載部１４などを含んでいる。図２は、フレキシャ１２を図１とは反対側から見た平面図である。図３はロードビーム１１の一部の平面図である。

ロードビーム１１はステンレス鋼の板からなり、サスペンション１０の長さ方向に延びている。ロードビーム１１の厚さは、例えば２０～４０μｍであるが、それ以外の厚さでもよい。図１に両方向矢印Ｘ１で示された方向がロードビーム１１の長手方向、すなわちサスペンション１０の長手方向である。図１中の両方向矢印Ｙ１がスウェイ方向、すなわちフレキシャ１２の先端部の幅方向である。

フレキシャ１２は、ステンレス鋼の薄い板からなるメタルベース２０と、メタルベース２０に沿って配置された配線部２１とを含んでいる。メタルベース２０の厚さの一例は２０μｍ（１２～２５μｍ）である。メタルベース２０の厚さはロードビーム１１の厚さよりも小さい。

図１に示されたように、メタルベース２０は、第１の溶接部Ｗ１と第２の溶接部Ｗ２とによって、ロードビーム１１に固定されている。配線部２１は、ポリイミド等の電気絶縁性の樹脂からなるベース絶縁層と、ベース絶縁層の上に形成された複数の導体と、導体を覆うカバー層とを含んでいる。

フレキシャ１２の先端付近に、ジンバル部１３の一部をなすタング２５が形成されている。図２に示されたように、タング２５は、第１タング部２６と、第２タング部２７と、ヒンジ部２８とを含んでいる。ヒンジ部２８は、第１タング部２６と第２タング部２７との間に形成されている。第１タング部２６と、第２タング部２７と、ヒンジ部２８とは、いずれもメタルベース２０の一部であり、例えばエッチングによってそれぞれの輪郭が形成されている。

第１タング部２６は、メタルベース２０の一部からなる第１のアーム３０，３１と第２のアーム３２，３３とによって、フレキシャ本体３４とフレキシャ先端部３４ａとに弾性的に支持されている。第２タング部２７は、ヒンジ部２８を介して第１タング部２６とつながっている。ヒンジ部２８の幅は、第１タング部２６と第２タング部２７の幅よりも十分小さい。第２タング部２７は、第１タング部２６に対して、スウェイ方向（図１に両方向矢印Ｙ１で示す）に回動可能である。

第２タング部２７は、リミッタ部材３５，３６を介して、フレキシャ先端部３４ａに支持されている。リミッタ部材３５，３６は、サスペンション１０に外部から衝撃が入力したときなどに、タング２５が過剰に揺れたり、ディンプルセパレーションが生じたりすることを抑制する。

タング２５にスライダ４０が搭載される。タング２５の第１タング部２６に、スライダ４０のリーディング側部分４０ａが移動可能に配置されている。リーディング側部分４０ａは、第１タング部２６に対し、第１タング部２６の面に沿う方向に移動可能である。第２タング部２７には、スライダ４０のトレーリング側部分４０ｂが接着剤によって固定される。

この明細書で言う「リーディング側」は、ディスクが回転したときにスライダ４０とディスクとの間に流入する空気の流入側である。「トレーリング側」は、空気の流出側である。スライダ４０を固定する接着剤は、第２タング部２７に設けられた接着部４５（図１にハッチングで示す）に供給される。

ロードビーム１１とタング２５との間にディンプル部５０が形成されている。ディンプル部５０は、例えばロードビーム１１に形成されている。図４に示すように、ディンプル部５０はタング２５に向かってドーム形に突出する凸部５１を有している。なお、ディンプル部５０がタング２５に形成されてもよい。その場合には、ディンプル部５０の凸部５１がロードビーム１１に接する。

図４に示されたように、ディンプル部５０の凸部５１の先端がタング２５に接した状態において、タング２５はディンプル部５０を中心として、タング２５の厚さ方向に揺動可能である。すなわちタング２５は、ロードビーム１１に対し、少なくとも第１の位置（図４と図６に示す）と第２の位置（図５と図７に示す）とにわたり、揺動可能である。これらロードビーム１１と、フレキシャ１２と、スライダ４０などによって、ジンバルアセンブリ（gimbal assembly）５５が構成されている。

この明細書で言う第１の位置（図４と図６）とは、ジンバルアセンブリ５５の製造工程において、スライダ４０をタング２５に固定する際のタング２５の位置である。なお、完成したサスペンション１０がディスク装置に組込まれた状態において、ロードビーム１１の先端のタブ５６（図１と図３に示す）が待機用のランプに乗り上げた状態（アンロード時）にも、タング２５が第１の位置となる。

この明細書で言う第２の位置（図５と図７）は、完成したサスペンション１０がディスク装置に組み込まれ、ディスク装置が使用される際にスライダ４０がディスク５８上に移動したときのタング２５の位置である。すなわちスライダ４０がディスク５８上に移動したロード状態において、タング２５が第２の位置となる。

図４と図６は、それぞれ、タング２５が第１の位置にあるときのサスペンション１０の一部の側面図と、断面図である。図５と図７は、それぞれ、タング２５が第２の位置に移動したとき（ロード状態）のサスペンション１０の一部の側面図と、断面図である。図４から図７に示されたように、タング２５は、ロードビーム１１と対向する第１の面２５ａと、第１の面２５ａとは反対側の第２の面２５ｂとを有している。第２の面２５ｂに、磁気ヘッドを構成するスライダ４０が搭載される。

スライダ４０のトレーリング側部分４０ｂの端部に、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な複数の素子が設けられている。これらの素子によって、ディスク５８に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。第２タング部２７には、スライダ４０の素子に電気的に導通する端子部６０（図１に示す）が設けられている。端子部６０は、配線部２１の導体と電気的に導通している。

アクチュエータ搭載部１４は、一対のアクチュエータ素子６１，６２を含んでいる。アクチュエータ素子６１，６２は、タング２５の両側に配置されている。アクチュエータ素子６１，６２は、例えばＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電体からなり、第２タング部２７をスウェイ方向に微少量回動させる機能を担っている。

図１に示されたように、アクチュエータ素子６１，６２の第１の端部６１ａ，６２ａは、それぞれ、第１タング部２６に接着剤等によって固定されている。アクチュエータ素子６１，６２の第２の端部６１ｂ，６２ｂは、それぞれ第２タング部２７に接着剤等によって固定されている。

図１に示されたように、タング２５の第２の面２５ｂに、第１の枕部７０，７１が形成されている。第１の枕部７０，７１のうち、スライダ４０のリーディング側部分４０ａを支持する枕部７０は、第１タング部２６に形成されている。スライダ４０のトレーリング側部分４０ｂを支持する枕部７１は、第２タング部２７に形成されている。第１の枕部７０，７１は例えばポリイミド等の樹脂からなり、タング２５の第２の面２５ｂからスライダ４０に向けて凸形をなしている。第１の枕部７０，７１は、スライダ４０をタング２５の所定位置に所定の姿勢で支持する。

ロードビーム１１に、第２の枕部８０と、高さ規制用凸部８１とが形成されている。図３に示されたように、ディンプル部５０と、第２の枕部８０と、高さ規制用凸部８１とは、ロードビーム１１の幅方向の中央において、ロードビーム１１の長さ方向に延びる仮想の直線Ｃ１上に形成されている。高さ規制用凸部８１については、後に詳しく説明する。

図１と図６と図７とに示されたように、第１タング部２６に開口部８５が形成されている。第２の枕部８０は開口部８５を臨む位置に形成され、開口部８５からスライダ４０に向けて突出している。タング２５が第１の位置（図４と図６とに示す）にあるとき、第２の枕部８０の先端８０ａがスライダ４０に当接する。

ジンバルアセンブリ５５の製造工程において、タング２５の接着部４５（図１に示す）に接着剤が供給される。そののちタング２５の第２の面２５ｂにスライダ４０が載置される。このときタング２５は第１の位置（図４と図６に示す）にある。タング２５に置かれたスライダ４０は、第１の枕部７０，７１によってタング２５の所定位置に支持される。

図４と図６に示されたように、タング２５が第１の位置にあるとき、第２の枕部８０の先端８０ａがスライダ４０のリーディング側部分４０ａに接する。第２の枕部８０によって、スライダ４０のリーディング側部分４０ａがロードビーム１１に支持される。また高さ規制用凸部８１が第１タング部２６に接する。このため第１タング部２６は、高さ規制用凸部８１を介してロードビーム１１によって支持される。このようにタング２５が第１の位置にあるとき、第２の枕部８０がスライダ４０に接するとともに、高さ規制用凸部８１が第１タング部２６に接するように、高さ規制用凸部８１の高さＨ１（図７に示す）が設定されている。

すなわちタング２５が第１の位置にあるとき、タング２５の第２の面２５ｂからスライダ４０に向けて突出する第２の枕部８０の先端８０ａの高さが、高さ規制用凸部８１によって規制される。このため第２の枕部８０の先端８０ａの位置（高さ）を、第１の枕部７０，７１の高さと同等にすることができる。

よって、スライダ４０をタング２５に接着する際に、第１の枕部７０，７１と第２の枕部８０とによってスライダ４０がタング２５に支持されるとともに、スライダ４０が第２の枕部８０を介してロードビーム１１に支持される。さらに、第１タング部２６が高さ規制用凸部８１を介してロードビーム１１に支持される。

仮に第２の枕部８０が設けられていないとすると、スライダ４０をタング２５に接着する際に、スライダ４０は第１の枕部７０，７１のみによってタング２５に支持される。その場合、スライダ４０の上方から負荷された力の一部が、第１の枕部７０を介して第１タング部２６を撓ませる方向に入力することがある。そのような入力は、第１の枕部７０とスライダ４０との接触状態を不安定にする原因となる。

これに対し本実施形態では、スライダ４０をタング２５に接着する際に、スライダ４０が第１の枕部７０，７１を介してタング２５に支持されるとともに、スライダ４０のリーディング側部分４０ａが第２の枕部８０を介してロードビーム１１に支持される。しかも第１タング部２６が高さ規制用凸部８１を介してロードビーム１１に支持される。このためスライダ４０の上方から負荷された力が第１タング部２６を撓ませる方向に入力することが抑制され、第１の枕部７０とスライダ４０との接触状態が安定する。

図５と図７に示されたように、スライダ４０がディスク５８の面に沿う位置に移動し、ロード状態になると、タング２５が第２の位置となる。タング２５が第２の位置になると、第２の枕部８０の先端８０ａがスライダ４０から離れる。また高さ規制用凸部８１が第１タング部２６から離れる。この状態のもとで、タング２５がディンプル部５０によって揺動可能に支持され、ジンバル機能が発揮される。

図８はハードディスク装置（ＨＤＤ）１００の一例を模式的に示した断面図である。ディスク装置１００は、ケース１０１（一部のみ示す）と、スピンドルを中心に回転するディスク５８と、ピボット軸１０２を中心に旋回可能なキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３を駆動するためのポジショニング用のモータ１０４などを有している。ケース１０１は蓋によって密閉される。キャリッジ１０３のアーム部１０５の先端にサスペンション１０が取付けられている。

ポジショニング用のモータ１０４によってキャリッジ１０３が旋回すると、サスペンション１０がディスク５８の径方向に移動することにより、スライダ４０がディスク５８の所望位置に移動する。ディスク５８が回転すると、スライダ４０とディスク５８との間にエアベアリングが形成される。

図１等に示されたアクチュエータ素子６１，６２に電圧が印加されると、電圧に応じてアクチュエータ素子６１，６２が互いに反対方向に歪む。これにより、第１タング部２６に対して第２タング部２７がヒンジ部２８を境に回動する。このためスライダ４０のトレーリング側部分４０ｂをスウェイ方向（図１に両方向矢印Ｙ１で示す）に高速かつ高精度に位置決めすることができる。

図９は、第１の枕部７０，７１を備えたＣＬＡ（Co-located Actuator）タイプの６つのサスペンション（No.1～No.6）において、Ｚハイトを変化させた場合のそれぞれのスウェイ方向のストロークを示している。図９中の横軸がＺハイトである。Ｚハイトが小さいほど、サスペンションの撓み（図８に矢印Ｚで示す方向の撓み、すなわち反力）が大きくなる。

図９において上側に示されたNo.1～No.3は、スライダ４０が枕部７０に接していない場合のストロークである。No.1～No.3は安定した大きなストロークが得られているので特に問題はない。図９において下側に示されたNo.4～No.6は、スライダ４０が枕部７０に接している場合のストロークである。No.4～No.6のストロークは小さいが、安定したストロークであるため特に問題はない。

ところがスライダ４０が枕部７０に接したり、枕部７０に接しなかったりする場合には問題が生じる。つまりスライダ４０と枕部７０とが不安定な接触状態であると、No.1～No.3の大きなストロークと、No.4～No.6の小さなストロークとの間の範囲Ｓ１（図９に示す）で、不規則なストローク変化が生じる。このことはＣＬＡ（Co-located Actuator）タイプのサスペンション１０のストローク特性を適正に維持する上で好ましくない。

これに対し本実施形態のサスペンション１０は、スライダ４０をタング２５に接着する際に、スライダ４０が第１の枕部７０，７１によってタング２５に支持されるとともに、スライダ４０が第２の枕部８０を介してロードビーム１１に支持される。このためスライダ４０から加わる力が第１タング部２６を撓ませる方向に加わることが抑制され、スライダ４０と第１の枕部７０との接触が不安定になることが回避される。

図１０は、サスペンションを加振した時の周波数とゲインとの関係を示している。図１０中の実線Ｌ１は、従来のＣＬＡタイプのサスペンションの振動モードを示している。従来のサスペンションは、矢印Ａ１で示された１０ｋＨｚ付近に振動モードの顕著な乱れが現れている。図１０中の２点鎖線Ｌ２は、本実施形態のサスペンション１０の振動モードを示している。本実施形態のサスペンション１０は、１０ｋＨｚ付近に従来のような振動モードの乱れがなく、望ましい振動モードが得られている。

［第２の実施形態］
図１１は、第２の実施形態に係るサスペンション１０Ａの一部を示す断面図である。このサスペンション１０Ａは、タング２５の先端などのタング２５の一部に、ロードビーム１１に向けて曲げた曲げ部１１０を有している。この曲げ部１１０によって、高さ規制用凸部８１Ａが形成されている。図１１に示されたように、タング２５が第１の位置にあるとき、第２の枕部８０がスライダ４０に接するとともに、高さ規制用凸部８１Ａがロードビーム１１に接する。

タング２５が第２の位置に移動すると、第２の枕部８０がスライダ４０から離れるとともに、高さ規制用凸部８１Ａがロードビーム１１から離れる。それ以外の構成と作用について、第２の実施形態のサスペンション１０Ａは、第１の実施形態のサスペンション１０（図１－図１０）と共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明を省略する。

［第３の実施形態］
図１２は、第３の実施形態に係るサスペンション１０Ｂの一部を示す断面図である。このサスペンション１０Ｂは、第２の枕部８０Ｂがスライダ４０に形成されている。図１２に示されたように、タング２５が第１の位置にあるとき、第２の枕部８０Ｂがロードビーム１１に接する。タング２５が第２の位置に移動すると、第２の枕部８０Ｂがロードビーム１１から離れる。それ以外の構成と作用について、第３の実施形態のサスペンション１０Ｂは、第１の実施形態のサスペンション１０（図１－図１０）と共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明を省略する。

［第４の実施形態］
図１３は、第４の実施形態に係るサスペンション１０Ｃを示す平面図である。このサスペンション１０Ｃは、スライダ４０のリーディング側部分４０ａが配置される第１タング部２６と、スライダ４０のトレーリング側部分４０ｂが配置される第２タング部２７と、ヒンジ部２８とを有している。このサスペンション１０Ｃの第１の枕部は、第１タング部２６のヒンジ部２８付近に配置されたリーディング側枕７０ａと、第２タング部２７に配置されたトレーリング側枕７１ａと、ディンプル部５０と対応した位置に配置されたディンプル側枕７２とを含んでいる。それ以外の構成と作用について、第４の実施形態のサスペンション１０Ｃは、第１の実施形態のサスペンション１０（図１－図１０）と共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明を省略する。

［第５の実施形態］
図１４は、第５の実施形態に係るサスペンション１０Ｄを示す平面図である。このサスペンション１０Ｄの第１の枕部は、第２タング部２７に配置されたトレーリング側枕７１ａと、ディンプル部５０と対応した位置に配置されたディンプル側枕７２とを含んでいる。第１タング部２６には第１の枕部は配置されていない。それ以外の構成と作用について、第５の実施形態のサスペンション１０Ｄは、第４の実施形態のサスペンション１０Ｃ（図１３）と共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明を省略する。

本発明を実施するに当たって、第１の枕部や第２の枕部、高さ規制用凸部等の形状や位置などの具体的な態様をはじめとして、サスペンションを構成するそれぞれの構成要素を種々に変更して実施できることは言うまでもない。また本発明の技術思想がＣＬＡ（co-located actuator）タイプ以外のサスペンションに適用されてもよい。

１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ…サスペンション、１１…ロードビーム、１２…フレキシャ、１３…ジンバル部、１４…アクチュエータ搭載部、２０…メタルベース、２５…タング、２５ａ…第１の面、２５ｂ…第２の面、２６…第１タング部、２７…第２タング部、２８…ヒンジ部、４０…スライダ、４０ａ…リーディング側部分、４０ｂ…トレーリング側部分、４５…接着部、５０…ディンプル部、５５…ジンバルアセンブリ、５８…ディスク、６１，６２…アクチュエータ素子、７０，７１…第１の枕部、７０ａ…リーディング側枕、７１ａ…トレーリング側枕、７２…ディンプル側枕、８０…第２の枕部、８０ａ…先端、８１，８１Ａ…高さ規制用凸部、８５…開口部、１００…ディスク装置。

Claims (8)

1. ロードビームと、
   前記ロードビームに沿って配置され、スライダが搭載されるタングを有したフレキシャと、
   前記ロードビームと前記タングとの間に存し、前記タングをその厚さ方向に少なくとも第１の位置と第２の位置とにわたり揺動可能に支持する凸部を有したディンプル部と、
   を具備したディスク装置用サスペンションであって、
   前記タングが、
   前記ロードビームと対向する第１の面と、
   前記スライダを搭載する第２の面と、
   前記スライダを支持する第１の枕部と、
   前記スライダを固定する接着部と有し、さらに、
   前記ロードビームに設けられ、前記スライダに向けて突出する第２の枕部であって、前記タングが前記第１の位置にあるとき前記スライダに当接し、前記タングが前記第２の位置に移動すると前記スライダから離れる第２の枕部を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンション。
2. 請求項１に記載のディスク装置用サスペンションにおいて、
   前記タングが、
   前記第２の枕部を挿入する開口部を有したディスク装置用サスペンション。
3. 請求項１に記載のディスク装置用サスペンションにおいて、
   前記タングが、
   前記スライダのリーディング側部分が移動可能に載置される第１タング部と、
   前記スライダのトレーリング側部分が前記接着部によって固定される第２タング部と、
   前記第１タング部と前記第２タング部とをつなぐヒンジ部とを有し、かつ、
   前記タングの両側に、前記第２タング部をスウェイ方向に駆動するアクチュエータ素子を有したディスク装置用サスペンション。
4. 請求項１に記載のディスク装置用サスペンションにおいて、
   前記ロードビームが、
   前記タングの前記第２の面から前記スライダに向けて突出する前記第２の枕部の先端の高さを規制する高さ規制用凸部を有したディスク装置用サスペンション。
5. 請求項１に記載のディスク装置用サスペンションにおいて、
   前記タングが、
   前記タングの前記第２の面から前記スライダに向けて突出する前記第２の枕部の先端の高さを規制する高さ規制用凸部を有したディスク装置用サスペンション。
6. 請求項５に記載のディスク装置用サスペンションにおいて、
   前記高さ規制用凸部が、
   前記タングの一部を前記ロードビームに向けて曲げた曲げ部からなるディスク装置用サスペンション。
7. 請求項１に記載のディスク装置用サスペンションにおいて、
   前記タングが、
   前記スライダのリーディング側部分が配置される第１タング部と、
   前記スライダのトレーリング側部分が配置される第２タング部と、
   前記第１タング部と前記第２タング部とをつなぐヒンジ部とを有し、かつ、
   前記第１の枕部が、
   前記第２タング部に配置されたトレーリング側枕と、
   前記ディンプル部と対応した位置に配置されたディンプル側枕と、
   を含むディスク装置用サスペンション。
8. ロードビームと、
   前記ロードビームに沿って配置され、スライダが搭載されるタングを有したフレキシャと、
   前記ロードビームと前記タングとの間に存し、前記タングをその厚さ方向に少なくとも第１の位置と第２の位置とにわたり揺動可能に支持する凸部を有したディンプル部と、
   を具備したディスク装置用サスペンションであって、
   前記タングが、
   前記ロードビームと対向する第１の面と、
   前記スライダを搭載する第２の面と、
   前記スライダを支持する第１の枕部と、
   前記スライダを固定する接着部と有し、さらに、
   前記スライダに設けられ、前記タングに形成された開口部から前記ロードビームに向けて突出し、前記タングが前記第１の位置にあるとき前記ロードビームに当接し、前記タングが前記第２の位置に移動すると前記ロードビームから離れる第２の枕部を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンション。

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