JP6024469B2 - サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション及びハードディスクドライブ - Google Patents
サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション及びハードディスクドライブ Download PDFInfo
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Description
2 ヘッド領域
10 絶縁層
20 金属支持層
21 タング部
22 第2素子接続端子
23 タング本体
24 枠体部
25 金属支持層開口部
40 配線層
41 ヘッド端子
43 信号配線
44 素子配線
45 第1素子接続端子
45a 接続面
50 保護層
51 第1保護層台座部
52 第2保護層台座部
53 保護層開口部
61 第1支持台座部
61a 上面
62 第2支持台座部
62a 上面
80 第2の保護層
90 充填孔
101 サスペンション
103 ロードビーム
104 ピエゾ素子
104a 第1電極
104b 第2電極
105a、105b 導電性接着剤
107 ディンプル部
108 リミッタ部
111 ヘッド付サスペンション
112 ヘッドスライダ
121 ハードディスクドライブ
Claims (14)
- ヘッドスライダを変位させる伸縮可能な直方体状のアクチュエータ素子であって、互いに対向する面に設けられた一対の電極を含むアクチュエータ素子が、前記ヘッドスライダとともにヘッド領域に実装されるサスペンション用基板において、
金属支持層と、
前記金属支持層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられた配線層と、を備え、
前記配線層は、前記アクチュエータ素子に接続される第1素子接続端子を有し、
前記第1素子接続端子は、前記絶縁層の側とは反対側に設けられた、前記アクチュエータ素子の一方の前記電極に接続される接続面を含み、
前記金属支持層は、前記ヘッドスライダを支持するタング部と、前記タング部から上方に延び、前記アクチュエータ素子の他方の前記電極に接続される第2素子接続端子と、を有していることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記タング部は、前記アクチュエータ素子を介して前記ヘッドスライダを支持するタング本体を含み、
前記第1素子接続端子は、前記タング本体上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。 - 前記配線層は、前記ヘッドスライダに接続されるスライダ接続端子を有し、
前記タング本体上に、前記アクチュエータ素子を介して前記ヘッドスライダを支持する第1支持台座部及び第2支持台座部が設けられ、
前記第1支持台座部は、前記第2支持台座部より前記スライダ接続端子側に配置され、
前記第1支持台座部の上面は、前記第2支持台座部の上面より、前記タング部の側とは反対側に配置されていることを特徴とする請求項2に記載のサスペンション用基板。 - 前記配線層は、複数の配線を有し、
前記絶縁層上に、前記配線を覆う保護層が設けられ、
前記保護層は、前記第1支持台座部を形成する第1保護層台座部と、前記第2支持台座部を形成する第2保護層台座部と、を有し、
前記第1保護層台座部の厚さは、前記第2保護層台座部の厚さより厚いことを特徴とする請求項3に記載のサスペンション用基板。 - 前記配線層は、複数の配線を有し、
前記絶縁層上に、前記配線を覆う保護層が設けられ、
前記保護層は、前記第1支持台座部を形成する第1保護層台座部と、前記第2支持台座部を形成する第2保護層台座部と、を有し、
前記第1保護層台座部上に、第2の保護層が設けられていることを特徴とする請求項3に記載のサスペンション用基板。 - 前記配線層は、複数の配線を有し、
前記絶縁層上に、前記配線を覆う保護層が設けられ、
前記保護層は、保護層開口部を含み、
前記第1素子接続端子は、前記保護層開口部内に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 前記第1素子接続端子に、前記アクチュエータ素子を当該第1素子接続端子に接続する導電性接着剤が充填される充填孔が設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のサスペンション用基板。
- ロードビームと、
前記ロードビームに取り付けられた請求項1乃至7のいずれかに記載の前記サスペンション用基板と、
前記サスペンション用基板に実装された前記アクチュエータ素子と、を備えたことを特徴とするサスペンション。 - ロードビームと、
前記ロードビームに取り付けられた請求項3乃至5のいずれかに記載の前記サスペンション用基板と、
前記サスペンション用基板に実装された前記アクチュエータ素子と、を備え、
前記ロードビームは、前記サスペンション用基板の前記タング部を揺動可能に支持するディンプル部を有し、
前記ディンプル部は、平面視で、前記第1支持台座部及び前記第2支持台座部のうちの一方に重なる位置に配置されていることを特徴とするサスペンション。 - 前記ロードビームは、前記タング部の揺動を所定の範囲内に規制するリミッタ部を有していることを特徴とする請求項9に記載のサスペンション。
- 前記タング部は、枠状に形成された枠体部であって、前記タング本体と前記第2素子接続端子とを連結し、前記タング本体とともに金属支持層開口部を画定する枠体部を含み、
前記ロードビームの前記リミッタ部は、前記金属支持層開口部を通って折り返されるようにU字状に形成されていることを特徴とする請求項10に記載のサスペンション。 - 前記ロードビームは、2つの前記リミッタ部を有し、
前記サスペンション用基板の前記第2素子接続端子は、平面視で、前記ロードビームの前記リミッタ部の間に配置されていることを特徴とする請求項10又は11に記載のサスペンション。 - 請求項8乃至12のいずれかに記載の前記サスペンションと、
前記サスペンションに実装された前記ヘッドスライダと、を備えたことを特徴とするヘッド付サスペンション。 - 請求項13に記載の前記ヘッド付サスペンションを備えたことを特徴とするハードディスクドライブ。
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---|---|---|---|
JP2013006555A JP6024469B2 (ja) | 2013-01-17 | 2013-01-17 | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション及びハードディスクドライブ |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2014137836A JP2014137836A (ja) | 2014-07-28 |
JP6024469B2 true JP6024469B2 (ja) | 2016-11-16 |
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Family Applications (1)
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JP4993625B2 (ja) * | 2009-02-04 | 2012-08-08 | 日本発條株式会社 | 圧電素子の電極構造、圧電素子の電極形成方法、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション |
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-
2013
- 2013-01-17 JP JP2013006555A patent/JP6024469B2/ja not_active Expired - Fee Related
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