JP2012038417A - 磁気ヘッドサスペンション - Google Patents
磁気ヘッドサスペンション Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012038417A JP2012038417A JP2011253474A JP2011253474A JP2012038417A JP 2012038417 A JP2012038417 A JP 2012038417A JP 2011253474 A JP2011253474 A JP 2011253474A JP 2011253474 A JP2011253474 A JP 2011253474A JP 2012038417 A JP2012038417 A JP 2012038417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- magnetic head
- end side
- electrode layer
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000725 suspension Substances 0.000 title claims abstract description 114
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 124
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 11
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 8
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電部材は厚肉部と先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有する。電圧供給側電極層は、先端側薄肉部及び基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように厚肉部の下面に設けられる。圧電部材は、厚肉部が厚み方向に関し支持部の開口領域内に位置された状態で、先端側露出面と支持部の先端領域の先端側支持面との間、及び、基端側露出面と支持部の基端領域の基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されている。
【選択図】図3
Description
斯かる特許文献3においては、前記先端領域のサスペンション長手方向基端側を向く基端面と前記先端プレートとによって前記先端側受け部が形成され、前記基端領域のサスペンション長手方向先端側を向く先端面と前記基端プレートとによって前記基端側受け部が形成される。
従って、前記圧電素子の前記支持部への装着作業時に前記圧電素子の前記支持部に対する平行性が損なわれると、前記電圧供給側電極層が前記先端側受け部及び前記基端側受け部に意に反して接触する事態、若しくは、両者が近づき過ぎて絶縁性を保てなくなる(絶縁劣化が生じる)事態が生じ易いという問題があった。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図1に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図2(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション1の上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)及び下面図(ディスク面側から見た底面図)を示す。 さらに、図3に、図2(a)におけるIII-III線に沿った断面図を示す。
前記支持部10は、例えば、厚さ0.1mm〜0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。
本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30は、平板状の本体部31と、前記本体部31の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部32とを有しており、前記フランジ部32によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部30は、例えば、厚さ0.02mm〜0.1mmのステンレス板によって好適に形成される。
前記突起35は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.05mm〜0.1mm程度突出されている。この突起35は、前記フレクシャ部40におけるヘッド搭載領域43の裏面(ディスク面とは反対側の面)に接触しており、前記荷重はこの突起35を介して前記フレクシャ部40のヘッド搭載領域43に伝達される。
好ましくは、前記一対の板バネ21は、前記磁気ヘッドサスペンション1が前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダが前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション1の前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
なお、本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記荷重曲げ部20は前記ロードビーム部30と一体形成されている。
詳しくは、前記フレクシャ部40は、図2(b)に示すように、前記ロードビーム部30及び前記支持部10における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域41と、前記本体領域41から先端側へ延びる一対の支持片42と、前記支持片42によって支持された前記ヘッド搭載領域43とを有している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域43の裏面には前記突起35が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域43は前記突起35を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部40は、前記ヘッド搭載領域43がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部30よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部40は、例えば、厚さ0.01mm〜0.025mm程度のステンレス板によって好適に形成される。
即ち、前記フレクシャ部40は、前記本体領域41,前記一対の支持片42及び前記ヘッド搭載領域43を一体的に有するフレクシャ金属基板400と、前記フレクシャ金属基板400に積層されたフレクシャ配線体410とを有している。
前記フレクシャ配線体410は、前記フレクシャ金属基板400におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層411(図3参照)と、前記絶縁層411におけるディスク面との対向面に積層された信号配線412(図2(b)参照)と、前記信号配線412を囲繞する保護層(図示せず)とを有し得る。
又、図5(a)及び(b)に、それぞれ、前記圧電部材60の上面図(ディスク面とは反対側から視た平面図)及び側面図を示す。
前記圧電本体61は、例えば厚さ0.05mm〜0.3mmとされ、前記電極層65,66は、例えば厚さ0.05μm〜数μmのAgやAuによって形成される。
これは、前記電圧供給側電極層65への電圧供給構造の簡略化を図る為である。
図3及び図6に示すように、本実施の形態においては、前記電圧供給配線415は、一端部が前記絶縁層411に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層65と対向しており、前記一端部が導電性接着剤95を介して前記電圧供給側電極層65に電気的に接続されている。
なお、図3及び図6中の符号96は、前記導電性接着剤65の広がりを抑制するために前記開口の一部又は全部を囲繞する部材であり、例えば、金属によって形成される。
本実施の形態においては、前記接地側電極層66は、図1,図2(a)及び図3に示すように、導電性接着剤97を介して前記支持部10(図示の形態においては前記先端領域12)に電気的に接続されている。
斯かる構成によれば、前記電圧供給側電極層65が前記支持部10に意に反して接触して短絡することを有効に防止できる。
即ち、図3及び図4等に示すように、前記圧電本体61は、厚肉部62と、前記厚肉部62からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部63F及び基端側薄肉部63Rとを有している。
前記厚肉部62は、厚み方向に関し前記薄肉部63F,63Rと略同一位置に位置するベース領域62(1)と、前記ベース領域62(1)より厚み方向一方側へ延びる膨出領域62(2)とを含んでいる。
従って、前記一対の圧電部材60の伸縮動作を前記先端領域12に効率的に伝達させるという観点においては、前記一対の圧電部材60は厚み方向に関し可及的に前記開口領域13内に位置させることが望ましい。
図8(a)に示す第1工程において前記圧電本体61を形成するウエハ161を用意する。
図8(b)に示す第2工程においては、前記ウエハ161の両端面のうち前記圧電本体61の下面に相当する第1端面に前記電圧供給側電極層65を形成する第1導電性部材165をスパッタリング又は蒸着により設け、前記ウエハ161の両端面のうち前記圧電本体61の上面に相当する第2端面に前記接地側電極層66を形成する第2導電性部材166をスパッタリング又は蒸着により設ける。
従って、前記第2工程における前記第2導電性部材166の形成は、前記接地側電極層66が不要な領域をマスクで覆った状態で行われる。
従って、前記第2工程においては、前記圧電本体61の上面に相当する前記ウエハ161の前記第2端面に前記マスクを配置させてから、前記接地側電極層66を形成する前記第2導電性部材166を前記ウエハ161の前記第2端面に蒸着又はスパッタリングによって設けている。
図9(a)〜(d)に、前記圧電部材60’の製造方法の一例のフロー図を示す。
図9(b)に示すように、前記圧電部材60’の製造方法においては前記第2工程のマスキングが削除される。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図10に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション2をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図11(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション2の上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)及び下面図(ディスク面側から見た底面図)を示す。 さらに、図12に、図11(a)におけるXII-XII線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態1におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、図14(a)及び(b)に、それぞれ、前記圧電部材60Bの上面図(ディスク面とは反対側から視た平面図)及び側面図を示す。
即ち、前記電圧供給側電極層65は、前記先端側薄肉部63R及び前記基端側薄肉部63Rの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rとして作用するように前記圧電本体61の厚み方向他方側の表面に設けられている。
図12及び図15に示すように、本実施の形態においては、前記支持部10には、少なくとも一部が平面視において前記開口領域13内に位置した状態で前記先端領域12の基端側エッジ近傍に位置するように前記支持部10の下面(ディスク面との対向面)に固着された先端側支持プレート120と、少なくとも一部が平面視において前記開口領域13内に位置した状態で前記基端領域11の先端側エッジ近傍に位置するように前記支持部10の下面(ディスク面との対向面)に固着された基端側支持プレート110とが設けられている。
即ち、図12に示すように、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート120の上面(ディスク面とは反対側の面)と前記先端領域12のサスペンション長手方向基端側を向く端面とによって前記先端側受け部19Fが形成されている。
即ち、図12に示すように、本実施の形態においては、前記基端側支持プレート110の上面(ディスク面とは反対側の面)と前記基端領域11のサスペンション長手方向先端側を向く端面とによって前記基端側受け部19Rが形成されている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション2は、前記ロードビーム部30,前記荷重曲げ部20及び前記先端側支持プレート120を一体形成するロードビーム部/荷重曲げ部/先端側支持プレート形成部材を有している。
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション2によれば、前記実施の形態1におけると同様に、前記電圧供給側電極層65の短絡を有効に防止できる。
即ち、前記一対の圧電部材60(60B)を単一の圧電部材形成体によって一体形成することも可能である。
図17に示すように、前記第1例に係る圧電部材形成体600は、前記一対の圧電部材60(60B)における前記圧電本体61を一体的に有する圧電本体形成体610と、前記一対の圧電部材60(60B)における前記電圧供給側電極層65を形成する電圧供給側電極層形成体650と、前記一対の圧電部材60(60B)における前記接地側電極層66を形成する接地側電極層形成体660とを含んでいる。
このように、前記一対の圧電部材60(60B)が一体化された前記圧電部材形成体600を用いることにより、製造プロセスの簡略化を図ることができる。
斯かる好ましい構成によれば、前記一対の圧電部材60(60B)の前記電圧供給側電極層65に同一電圧を印可することで前記一対の圧電部材60(60B)の一方を伸長動作させ、他方を圧縮動作させることができる。
図18に示すように、前記第2例に係る前記圧電部材形成体700は、接地配線710を有している点において、前記第1例に係る前記圧電部材形成体600と相違している。
斯かる構成によれば、前記接地端子715に接続される接地用の電気接続構造の存在が、前記一対の圧電部材60(60B)の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動特性を阻害することを有効に防止できる。
斯かる構成によれば、前記圧電部材形成体700を大型化させることなく、前記接地端子715をサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板651,652の間に位置させることができる。
10 支持部
10F 先端側支持面
10R 基端側支持面
11 基端領域
12 先端領域
13 開口領域
14 連結梁
20 荷重曲げ部
30 ロードビーム部
40 フレクシャ部
60,60’,60B 圧電部材
61 圧電本体
61F 先端側露出面
61R 基端側露出面
62 厚肉部
62(1) ベース領域
62(2) 膨出領域
63F 先端側薄肉部
63R 基端側薄肉部
65 電圧供給側電極層
66 接地側電極層
90F,90R 絶縁性接着剤
96 絶縁層の開口を囲繞する部材
400 フレクシャ金属基板
410 フレクシャ配線体
411 絶縁層
412 信号配線
415 電圧供給配線
Claims (2)
- 磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、
前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、
前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、
前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、
前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。 - 磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、
前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、
前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、
前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、
前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、
前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、
前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、
前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011253474A JP5182974B2 (ja) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | 磁気ヘッドサスペンション |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011253474A JP5182974B2 (ja) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | 磁気ヘッドサスペンション |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009225808A Division JP4895406B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 磁気ヘッドサスペンション |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012038417A true JP2012038417A (ja) | 2012-02-23 |
JP5182974B2 JP5182974B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=45850241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011253474A Active JP5182974B2 (ja) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | 磁気ヘッドサスペンション |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5182974B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5847316A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-19 | Seikosha Co Ltd | 厚みすべり圧電振動子およびその製法 |
JP2002050140A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | Hitachi Ltd | ディスク装置用サスペンション |
JP2010086649A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-04-15 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の電気的接続構造、圧電アクチュエータ、ヘッドサスペンション、及び導電性部材の電気的接続構造 |
JP2010182356A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の電極構造、圧電素子の電極形成方法、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション |
-
2011
- 2011-11-21 JP JP2011253474A patent/JP5182974B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5847316A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-19 | Seikosha Co Ltd | 厚みすべり圧電振動子およびその製法 |
JP2002050140A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | Hitachi Ltd | ディスク装置用サスペンション |
JP2010086649A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-04-15 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の電気的接続構造、圧電アクチュエータ、ヘッドサスペンション、及び導電性部材の電気的接続構造 |
JP2010182356A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の電極構造、圧電素子の電極形成方法、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5182974B2 (ja) | 2013-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8351160B2 (en) | Magnetic head suspension utilizing laminate conductor connecting piezoelectric elements via first and second connecting openings in the laminate | |
JP4993625B2 (ja) | 圧電素子の電極構造、圧電素子の電極形成方法、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション | |
JP6356682B2 (ja) | 二段作動構造を有するサスペンション | |
US7420785B2 (en) | Suspension assembly, hard disk drive, and method of manufacturing suspension assembly | |
US8369047B2 (en) | Magnetic head suspension and manufacturing method thereof with pair of piezoelectric adjusters | |
US7183696B2 (en) | Thin film piezoelectric element, suspension assembly, and hard disk drive | |
JP4817467B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP7413237B2 (ja) | サスペンションアッセンブリおよびディスク装置 | |
US20230260541A1 (en) | Low Profile Suspension Design | |
CN114220463A (zh) | 头悬架组件及盘装置 | |
US11056138B2 (en) | Disk drive suspension tri-stage actuator with single side actuator attach | |
JP2010257518A (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
US9214176B1 (en) | PZT limiter for a micro dual stage actuated suspension | |
JP4761484B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP4895406B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP5182974B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP5766860B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP5131938B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP5634440B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP5728933B2 (ja) | ロードビーム、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブおよびロードビームの製造方法 | |
JP5158990B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法 | |
CN117727339A (zh) | 悬架组件及盘装置 | |
JP4884564B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP4884544B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション | |
JP4884563B2 (ja) | 磁気ヘッドサスペンション |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5182974 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |