JP2010182356A - 圧電素子の電極構造、圧電素子の電極形成方法、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電素子の上面及び下面電極の少なくとも一方を形成する際に、圧電素子の全面に形成せずにその外周部からオフセットして形成することにより、圧電素子の外周部は電極を有さないため、たとえ圧電素子が傾いて装着されたり、一方のベース部に近づいて装着されたりしても、ベース部と最短距離となる当該外周部には電極がないため電気的ショートが抑制される。
【選択図】図3
Description
次に、本発明実施例に係る圧電素子(圧電セラミック素子40)の電極接続構造及びその作用効果について説明する。
上記の電極のオフセットした構造は以下の方法のいずれかを用いて形成される。
本発明実施例による圧電アクチュエータの圧電素子(圧電セラミック素子40)により以下の効果が得られる。
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う圧電素子(圧電セラミック素子40)の電気的接続構造、圧電アクチュエータ、ヘッドサスペンション、及び導電性部材の電気的接続構造もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
11…ロードビーム
12…圧電アクチュエータ(マイクロアクチュエータ部)
13…ベースプレート(アクチュエータベースを構成する)
14…ヒンジ部材(アクチュエータベースを構成する)
23…開口部
25…アクチュエータベース(基部)
31…ブリッジ部
40…圧電セラミック素子(PZT)(圧電素子)
70…上面電極
70a…外周部に非電極外周部を有して形成された上面電極
71…下面電極
71a…外周部に非電極外周部を有して形成された上面電極
75…非電極外周部
80…絶縁性接着剤
91…研削により形成された非電極外周部
95…電極間のスリット
99a、99b、99c…ショート発生箇所
Claims (7)
- 基部と磁気ヘッドとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子は前記電圧を印加させるため圧電素子の上面及び下面に電極を有し、前記電極の少なくとも一方は前記圧電素子の外周からオフセットして形成され、前記圧電素子は、前記外周からオフセットされた電極を有さない非電極外周部を有する
ことを特徴とする圧電素子の電極構造。 - 基部と磁気ヘッドとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータに用いられる前記圧電素子の電極形成方法であって、
前記圧電素子の上面及び下面に蒸着、スパッタリング又はメッキにより電極を形成し、前記上面又は下面の少なくとも一方は、前記蒸着、スパッタリング又はメッキによる電極形成の際に、前記圧電素子の外周部をマスクで覆うことにより当該外周部に電極を形成しない非電極外周部を設ける
ことを特徴とする圧電素子の電極形成方法。 - 基部と磁気ヘッドとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータに用いられる前記圧電素子の電極形成方法であって、
前記圧電素子の上面及び下面に蒸着、スパッタリング又はメッキにより電極を形成し、前記上面又は下面の少なくとも一方の電極の外周部をエッチングで取り除くことにより当該外周部に電極を形成しない非電極外周部を設ける
ことを特徴とする圧電素子の電極形成方法。 - 基部と磁気ヘッドとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータに用いられる前記圧電素子の電極形成方法であって、
前記圧電素子の上面及び下面に蒸着、スパッタリング又はメッキにより電極を形成し、前記上面又は下面の少なくとも一方の電極の外周部を研削工具により取り除くことにより当該外周部に電極を形成しない非電極外周部を形成する
ことを特徴とする圧電素子の電極形成方法。 - 請求項4記載の圧電素子の電極形成方法であって、
前記研削工具は、前記圧電素子を切り分けるときのダイシングブレードであり、前記圧電素子をウェーハから切り分ける際に前記非電極外周部を形成する
ことを特徴とする圧電素子の電極形成方法。 - 請求項1に記載の圧電素子の電気的接続構造が採用されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 請求項6に記載の圧電アクチュエータが、ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、の間に取り付けられており、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に微少移動させることを特徴とするヘッドサスペンション。
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