JP2002117638A - 磁気ディスクドライブのためのヘッド浮遊組立体 - Google Patents
磁気ディスクドライブのためのヘッド浮遊組立体Info
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- JP2002117638A JP2002117638A JP2000377636A JP2000377636A JP2002117638A JP 2002117638 A JP2002117638 A JP 2002117638A JP 2000377636 A JP2000377636 A JP 2000377636A JP 2000377636 A JP2000377636 A JP 2000377636A JP 2002117638 A JP2002117638 A JP 2002117638A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
- G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高いバンド幅と高い衝撃抵抗とを有する高移
動量のマイクロアクチュエータを提供すること。 【解決手段】 本発明は、ディスクドライブのヘッド浮
遊組立体に対して読み／書きヘッドを位置決めするため
のマイクロアクチュエータ３０である。本発明のマイク
ロアクチュエータ３０は、第１端部３４及び第２端部３
８を有する略Ｃ型部材を備える。各端部は、１つの端面
を有しており、一端部３４の端面３６は他端部３８の端
面４０に向かい合って離れている。当該部材は、弾性的
であって、適用される磁場または電場に対して敏感であ
り、磁場または電場が適用されることによって端面間の
距離が制御可能である。
動量のマイクロアクチュエータを提供すること。 【解決手段】 本発明は、ディスクドライブのヘッド浮
遊組立体に対して読み／書きヘッドを位置決めするため
のマイクロアクチュエータ３０である。本発明のマイク
ロアクチュエータ３０は、第１端部３４及び第２端部３
８を有する略Ｃ型部材を備える。各端部は、１つの端面
を有しており、一端部３４の端面３６は他端部３８の端
面４０に向かい合って離れている。当該部材は、弾性的
であって、適用される磁場または電場に対して敏感であ
り、磁場または電場が適用されることによって端面間の
距離が制御可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクドラ
イブのためのヘッド浮遊組立体に関している。特に、ヘ
ッド浮遊組立体の取付領域に対して読み／書きヘッドを
移動するためのマイクロアクチュエータに関している。
イブのためのヘッド浮遊組立体に関している。特に、ヘ
ッド浮遊組立体の取付領域に対して読み／書きヘッドを
移動するためのマイクロアクチュエータに関している。
【０００２】
【従来の技術】情報記録装置は、剛直なディスクドライ
ブ内の磁気ディスクのような記録媒体の上で、データを
読み取り及び／または書き込むための読み／書きヘッド
を典型的に含んでいる。サーボ制御により駆動されるア
クチュエータ機構が、磁気ディスク上の特定の放射方向
位置または軌道に、当該ヘッドを位置決めするために用
いられる。線形タイプと回転タイプの両方のアクチュエ
ータが、当業者によく知られている。アクチュエータと
ヘッドとの間に、ディスク表面に対して適切な向きにヘ
ッドを支持するために、ヘッド浮遊機構が要求される。
ブ内の磁気ディスクのような記録媒体の上で、データを
読み取り及び／または書き込むための読み／書きヘッド
を典型的に含んでいる。サーボ制御により駆動されるア
クチュエータ機構が、磁気ディスク上の特定の放射方向
位置または軌道に、当該ヘッドを位置決めするために用
いられる。線形タイプと回転タイプの両方のアクチュエ
ータが、当業者によく知られている。アクチュエータと
ヘッドとの間に、ディスク表面に対して適切な向きにヘ
ッドを支持するために、ヘッド浮遊機構が要求される。
【０００３】当該ヘッド浮遊機構は、ディスクが回転し
ている間にヘッドが剛直なディスクの表面を越えて「飛
ぶ」ことができるように、読み／書きヘッドを保持す
る。当該ヘッドは、典型的には、空気力学的デザインを
有するヘッドスライダ上に設けられる。これにより、ヘ
ッドスライダは、回転するディスクにより発生される空
気軸受けの上を移動する。ヘッドスライダとヘッド浮遊
機構との組み合わせは、ヘッド浮遊組立体と呼ばれる。
ヘッド浮遊機構は、撓骨部またはバネ部を有する負荷ビ
ームと、剛直領域と、屈曲部と、を含んでいる。屈曲部
は、ヘッドスライダと負荷ビームの剛直領域との間に典
型的に含まれるバネまたはジンバル接続部である。これ
により、ヘッドスライダは、ディスクの表面の変動を収
容すべく、ヘッドのピッチ方向及びロール方向に移動可
能である。負荷ビームの取付領域は、典型的には、回転
するディスクの上方に浮遊組立体を支持するアクチュエ
ータアームに取り付けられている。アクチュエータアー
ムのベースが、アクチュエータに結合されている。
ている間にヘッドが剛直なディスクの表面を越えて「飛
ぶ」ことができるように、読み／書きヘッドを保持す
る。当該ヘッドは、典型的には、空気力学的デザインを
有するヘッドスライダ上に設けられる。これにより、ヘ
ッドスライダは、回転するディスクにより発生される空
気軸受けの上を移動する。ヘッドスライダとヘッド浮遊
機構との組み合わせは、ヘッド浮遊組立体と呼ばれる。
ヘッド浮遊機構は、撓骨部またはバネ部を有する負荷ビ
ームと、剛直領域と、屈曲部と、を含んでいる。屈曲部
は、ヘッドスライダと負荷ビームの剛直領域との間に典
型的に含まれるバネまたはジンバル接続部である。これ
により、ヘッドスライダは、ディスクの表面の変動を収
容すべく、ヘッドのピッチ方向及びロール方向に移動可
能である。負荷ビームの取付領域は、典型的には、回転
するディスクの上方に浮遊組立体を支持するアクチュエ
ータアームに取り付けられている。アクチュエータアー
ムのベースが、アクチュエータに結合されている。
【０００４】何らの外力（重力を除く）もヘッド浮遊組
立体を変形するように作用していない時、それが、「中
立の無負荷」状態である。ヘッドがディスクの回転表面
の上方を飛んでいて、かつ、回転するディスクによって
発生される空気軸受けの力のみが作用している時、ヘッ
ド浮遊組立体は、「中立の負荷」状態である。一方、ヘ
ッド浮遊組立体は、中立の負荷位置または中立の無負荷
位置のいずれかからのヘッドの移動を引き起こす変形を
受け得る。
立体を変形するように作用していない時、それが、「中
立の無負荷」状態である。ヘッドがディスクの回転表面
の上方を飛んでいて、かつ、回転するディスクによって
発生される空気軸受けの力のみが作用している時、ヘッ
ド浮遊組立体は、「中立の負荷」状態である。一方、ヘ
ッド浮遊組立体は、中立の負荷位置または中立の無負荷
位置のいずれかからのヘッドの移動を引き起こす変形を
受け得る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】これらの変形が発生し
得る一態様は、ヘッド浮遊機構がある速度で後方及び前
方に駆動される時に、共振周波数として知られる多数の
異なるモードで曲がり及びねじれるヘッド浮遊機構の傾
向に関係している。このような浮遊機構の曲がりまたは
捻れは、ヘッドの位置を、中立負荷または中立無負荷の
位置からずれさせ得る。あるいは、浮遊機構の有利な変
形が、ヘッド浮遊組立体の残りに対してヘッドを移動す
るように設計された第２のアクチュエータ装置またはマ
イクロアクチュエータ装置を用いて、引き起こされ得
る。
得る一態様は、ヘッド浮遊機構がある速度で後方及び前
方に駆動される時に、共振周波数として知られる多数の
異なるモードで曲がり及びねじれるヘッド浮遊機構の傾
向に関係している。このような浮遊機構の曲がりまたは
捻れは、ヘッドの位置を、中立負荷または中立無負荷の
位置からずれさせ得る。あるいは、浮遊機構の有利な変
形が、ヘッド浮遊組立体の残りに対してヘッドを移動す
るように設計された第２のアクチュエータ装置またはマ
イクロアクチュエータ装置を用いて、引き起こされ得
る。
【０００６】主要なボイスコイルモータ（ＶＣＭｓ）と
共に作動する第２のアクチュエータ装置の使用は、ディ
スクドライブの高いサーボバンド（帯域）幅を得るため
に有用な選択である。スライダベースの設計の場合、そ
れらの固有の高いハンド幅（それらの低い質量とイナー
シャとによる）は、事実上、ヘッド浮遊組立体に存在す
る低い構造モードの全てを克服することに役立つ。しか
しながら、これは、要求される周波数での軌道逃げ妨害
を拒絶するのに十分なゲイン（移動）を第２のアクチュ
エータが与える場合にのみ、可能である。また、このゲ
インは、微小構造内での電力供給及び電力消費に関連す
る複雑さのために、電圧及び電流の最小の使用で達成さ
れなければならない、ということが思い出されなければ
ならない。
共に作動する第２のアクチュエータ装置の使用は、ディ
スクドライブの高いサーボバンド（帯域）幅を得るため
に有用な選択である。スライダベースの設計の場合、そ
れらの固有の高いハンド幅（それらの低い質量とイナー
シャとによる）は、事実上、ヘッド浮遊組立体に存在す
る低い構造モードの全てを克服することに役立つ。しか
しながら、これは、要求される周波数での軌道逃げ妨害
を拒絶するのに十分なゲイン（移動）を第２のアクチュ
エータが与える場合にのみ、可能である。また、このゲ
インは、微小構造内での電力供給及び電力消費に関連す
る複雑さのために、電圧及び電流の最小の使用で達成さ
れなければならない、ということが思い出されなければ
ならない。
【０００７】マイクロアクチュエータの設計者が直面し
ている他の課題は、マイクロアクチュエータに高程度の
面内（in-plane）衝撃抵抗を与えることである。ただし
これは、軌道を横切る方向の高い移動ゲインを達成する
という目的と対立する。アクチュエータゲインを高める
ことに熱心な設計者は、組立体の衝撃抵抗を顕著に下げ
る横方向の剛性（軌道を横切る方向の面内剛性）につい
て妥協する。質量はまた、衝撃抵抗を下げる要因であ
る。また、スライダベースの静電アクチュエータについ
て主に関連する汚染制御、信頼性などの問題もある。こ
れらの特徴を改良する一方で、それらがシステムの全体
のコストに反射しないことも考慮されなければならな
い。要約すると、高いバンド幅と高い衝撃抵抗とを有す
る高移動量のマイクロアクチュエータを有することが望
まれている、と記述され得る。
ている他の課題は、マイクロアクチュエータに高程度の
面内（in-plane）衝撃抵抗を与えることである。ただし
これは、軌道を横切る方向の高い移動ゲインを達成する
という目的と対立する。アクチュエータゲインを高める
ことに熱心な設計者は、組立体の衝撃抵抗を顕著に下げ
る横方向の剛性（軌道を横切る方向の面内剛性）につい
て妥協する。質量はまた、衝撃抵抗を下げる要因であ
る。また、スライダベースの静電アクチュエータについ
て主に関連する汚染制御、信頼性などの問題もある。こ
れらの特徴を改良する一方で、それらがシステムの全体
のコストに反射しないことも考慮されなければならな
い。要約すると、高いバンド幅と高い衝撃抵抗とを有す
る高移動量のマイクロアクチュエータを有することが望
まれている、と記述され得る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴によ
れば、ディスクドライブのヘッド浮遊組立体に対して読
み／書きヘッドを位置決めするためのマイクロアクチュ
エータであって、第１端部及び第２端部を有する略Ｃ型
部材を備え、各端部は１つの端面を有しており、一端部
の端面は他端部の端面に向かい合って離れており、当該
部材は弾性的であって適用される磁場または電場に対し
て敏感であり、磁場または電場が適用されることによっ
て端面間の距離が制御可能である、ことを特徴とするマ
イクロアクチュエータが提供される。
れば、ディスクドライブのヘッド浮遊組立体に対して読
み／書きヘッドを位置決めするためのマイクロアクチュ
エータであって、第１端部及び第２端部を有する略Ｃ型
部材を備え、各端部は１つの端面を有しており、一端部
の端面は他端部の端面に向かい合って離れており、当該
部材は弾性的であって適用される磁場または電場に対し
て敏感であり、磁場または電場が適用されることによっ
て端面間の距離が制御可能である、ことを特徴とするマ
イクロアクチュエータが提供される。
【０００９】略Ｃ型部材は、平面状であり得て、略環状
または略トロイダル状の本体部を有し得て、空気間隙ま
たは空気開口が半径方向の内周縁と外周縁の間を接続し
て、第１端部及び第２端部を提供している。弾性的であ
るので、当該部材は、適用される磁場または電場に応答
して弾性的に変形可能であり、その場が一旦除去されれ
ば元の形状に戻る。
または略トロイダル状の本体部を有し得て、空気間隙ま
たは空気開口が半径方向の内周縁と外周縁の間を接続し
て、第１端部及び第２端部を提供している。弾性的であ
るので、当該部材は、適用される磁場または電場に応答
して弾性的に変形可能であり、その場が一旦除去されれ
ば元の形状に戻る。
【００１０】略Ｃ型部材は、圧電材料を有し得る。当該
部材は、内側領域と外側領域とを有し得て、外側領域は
内側領域を取り囲み、適用される電場に応答して、外側
領域は内側領域に対して拡張するようになっている、あ
るいは、内側領域は外側領域に対して収縮するようにな
っている。第１端部及び第２端部の間の内側及び外側領
域のこのような相対的な拡張／収縮は、第１端部及び第
２端部の端面間の距離を制御するために利用され得る。
部材は、内側領域と外側領域とを有し得て、外側領域は
内側領域を取り囲み、適用される電場に応答して、外側
領域は内側領域に対して拡張するようになっている、あ
るいは、内側領域は外側領域に対して収縮するようにな
っている。第１端部及び第２端部の間の内側及び外側領
域のこのような相対的な拡張／収縮は、第１端部及び第
２端部の端面間の距離を制御するために利用され得る。
【００１１】当該部材は、圧電バイモルフを有し得る。
この構成では、内側及び外側領域は、同じ電場の下で異
なって拡張／収縮するように選択されている。この態様
では、与えられた適用場が、内側及び外側領域における
異なる内部運動を生成し、端面間の距離における正味の
変化を引き起こす傾向がある。内側及び外側領域は、異
なる圧電材料を有し得る、あるいは、同じ材料であるが
反対の極性であり得る。
この構成では、内側及び外側領域は、同じ電場の下で異
なって拡張／収縮するように選択されている。この態様
では、与えられた適用場が、内側及び外側領域における
異なる内部運動を生成し、端面間の距離における正味の
変化を引き起こす傾向がある。内側及び外側領域は、異
なる圧電材料を有し得る、あるいは、同じ材料であるが
反対の極性であり得る。
【００１２】当該部材は、一様の極性であって、内側領
域に第１の電場を適用すると共に外側領域に第２の電場
を適用するようになっている対の電極を有する圧電モノ
リスを有し得る。第１及び第２領域は、他端部に対する
一端部の偏差を制御すべく、異なってエネルギ供給され
得る。
域に第１の電場を適用すると共に外側領域に第２の電場
を適用するようになっている対の電極を有する圧電モノ
リスを有し得る。第１及び第２領域は、他端部に対する
一端部の偏差を制御すべく、異なってエネルギ供給され
得る。
【００１３】マイクロアクチュエータは、更なる略Ｃ型
部材または前述の種類の部材を有し得る。この更なる部
材は、前述の部材の上に積み重ねられて、多層構造を形
成する。
部材または前述の種類の部材を有し得る。この更なる部
材は、前述の部材の上に積み重ねられて、多層構造を形
成する。
【００１４】他の実施の形態では、略Ｃ型部材は、柔ら
かい（soft）磁性材料（すなわち強磁性材料）の本体部
を有し得る。この本体部は、当該本体部の回りに巻かれ
たケーブルを有し得て、端面間の距離を制御すべく、電
流が当該ケーブルによって運ばれて、本体部内に磁場を
発生させる。
かい（soft）磁性材料（すなわち強磁性材料）の本体部
を有し得る。この本体部は、当該本体部の回りに巻かれ
たケーブルを有し得て、端面間の距離を制御すべく、電
流が当該ケーブルによって運ばれて、本体部内に磁場を
発生させる。
【００１５】本発明の第２の特徴によれば、磁気ディス
クドライブのためのヘッド浮遊組立体であって、負荷ビ
ームと、ヘッドスライダと、ヘッドスライダを負荷ビー
ムの剛直取付端部に対して位置決めするためのマイクロ
アクチュエータと、を備え、当該マイクロアクチュエー
タは、第１端部及び第２端部を有する略Ｃ型部材を備
え、各端部は１つの端面を有しており、一端部の端面は
他端部の端面に向かい合って離れており、当該部材は弾
性的であって適用される磁場または電場に対して敏感で
あり、磁場または電場が適用されることによって端面間
の距離が制御可能である、ことを特徴とするヘッド浮遊
組立体が提供される。ヘッド浮遊組立体のためのマイク
ロアクチュエータの種々の実施の形態は、本発明の第１
の特徴について説明されたものと同様である。
クドライブのためのヘッド浮遊組立体であって、負荷ビ
ームと、ヘッドスライダと、ヘッドスライダを負荷ビー
ムの剛直取付端部に対して位置決めするためのマイクロ
アクチュエータと、を備え、当該マイクロアクチュエー
タは、第１端部及び第２端部を有する略Ｃ型部材を備
え、各端部は１つの端面を有しており、一端部の端面は
他端部の端面に向かい合って離れており、当該部材は弾
性的であって適用される磁場または電場に対して敏感で
あり、磁場または電場が適用されることによって端面間
の距離が制御可能である、ことを特徴とするヘッド浮遊
組立体が提供される。ヘッド浮遊組立体のためのマイク
ロアクチュエータの種々の実施の形態は、本発明の第１
の特徴について説明されたものと同様である。
【００１６】マイクロアクチュエータは、負荷ビームに
取り付けられ得る。負荷ビームは、負荷ビームの自由端
縁から延びるスリットを有している。マイクロアクチュ
エータは、端面間の距離を減少することが、対応する量
だけ負荷ビームのスリットを狭める力を働かせるよう
に、取り付けられる。例えば、マイクロアクチュエータ
は、第１端部に隣接する表面がスリットの一側に固定さ
れると共に第２端部に隣接する表面がスリットの他側に
固定されるように、取り付けられ得る。この態様では、
第１端部及び第２端部の間の空気間隙は、スリットと合
っている。空気間隙に隣接するスリットは、負荷ビーム
の長手方向軸に対して、平行または垂直であり得る。
取り付けられ得る。負荷ビームは、負荷ビームの自由端
縁から延びるスリットを有している。マイクロアクチュ
エータは、端面間の距離を減少することが、対応する量
だけ負荷ビームのスリットを狭める力を働かせるよう
に、取り付けられる。例えば、マイクロアクチュエータ
は、第１端部に隣接する表面がスリットの一側に固定さ
れると共に第２端部に隣接する表面がスリットの他側に
固定されるように、取り付けられ得る。この態様では、
第１端部及び第２端部の間の空気間隙は、スリットと合
っている。空気間隙に隣接するスリットは、負荷ビーム
の長手方向軸に対して、平行または垂直であり得る。
【００１７】マイクロアクチュエータは、負荷ビーム及
びヘッドスライダの間に取り付けられ得る。負荷ビーム
は、柔軟結合部を有し得る。マイクロアクチュエータ
は、柔軟結合部とヘッドスライダの間に挟まれ得る。一
方の端部に隣接するマイクロアクチュエータの上方面
は、柔軟結合部に取り付けられ得る。他方の端部に隣接
するマイクロアクチュエータの下方面は、ヘッドスライ
ダに取り付けられ得る。このような「ピギーバック（pi
ggy-back）」な取付配置は、特にヘッドスライダの幾何
中心がマイクロアクチュエータに取り付けられている場
合、スライダの軌跡端縁（trailing edge ）での要求さ
れる増幅を提供する一方で、組立体の衝撃抵抗を改良し
得る。
びヘッドスライダの間に取り付けられ得る。負荷ビーム
は、柔軟結合部を有し得る。マイクロアクチュエータ
は、柔軟結合部とヘッドスライダの間に挟まれ得る。一
方の端部に隣接するマイクロアクチュエータの上方面
は、柔軟結合部に取り付けられ得る。他方の端部に隣接
するマイクロアクチュエータの下方面は、ヘッドスライ
ダに取り付けられ得る。このような「ピギーバック（pi
ggy-back）」な取付配置は、特にヘッドスライダの幾何
中心がマイクロアクチュエータに取り付けられている場
合、スライダの軌跡端縁（trailing edge ）での要求さ
れる増幅を提供する一方で、組立体の衝撃抵抗を改良し
得る。
【００１８】あるいは、他方の端部の端面は、ヘッドス
ライダに取り付けられ得る。このような「並列」な配置
−マイクロアクチュエータはヘッドスライダの先端縁
（leading edge）に隣接する−は、組立体の積み重ね高
さを低減することに役立つ。
ライダに取り付けられ得る。このような「並列」な配置
−マイクロアクチュエータはヘッドスライダの先端縁
（leading edge）に隣接する−は、組立体の積み重ね高
さを低減することに役立つ。
【００１９】本発明の第３の特徴によれば、本発明の第
２の特徴によるヘッド浮遊組立体を備える磁気ディスク
ドライブが提供される。
２の特徴によるヘッド浮遊組立体を備える磁気ディスク
ドライブが提供される。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１は、アクチュエータアーム
（図示せず）への取り付けのための剛直取付領域１４
と、延長部１６と、柔軟結合部１８と、を有する負荷ビ
ーム１２を含むヘッド浮遊組立体１０を概略的に示して
いる。ヘッドスライダ２０が、典型的にはバネまたはジ
ンバル接続である柔軟結合部１８によって、保持されて
いる。図示の目的のために、図１は、極めて図式的に、
剛直取付領域（１４）及び延長部（１６）に結合された
負荷ビーム取付アクチュエータ２２と、ヘッドスライダ
２０及び柔軟結合部１８に結合されたスライダ取付アク
チュエータ２４と、を示している。
（図示せず）への取り付けのための剛直取付領域１４
と、延長部１６と、柔軟結合部１８と、を有する負荷ビ
ーム１２を含むヘッド浮遊組立体１０を概略的に示して
いる。ヘッドスライダ２０が、典型的にはバネまたはジ
ンバル接続である柔軟結合部１８によって、保持されて
いる。図示の目的のために、図１は、極めて図式的に、
剛直取付領域（１４）及び延長部（１６）に結合された
負荷ビーム取付アクチュエータ２２と、ヘッドスライダ
２０及び柔軟結合部１８に結合されたスライダ取付アク
チュエータ２４と、を示している。
【００２１】負荷ビーム取付アクチュエータ２２は、剛
直取付領域１４に対して延長部１６の位置を制御する。
スライダ取付アクチュエータ２４は、組立体の残り−ヘ
ッド浮遊体−に対するヘッドスライダ２０の位置を制御
する。実際には、マイクロアクチュエータ２２または２
４の一方のみが、スライダヘッド２０の細かい横方向の
移動をもたらすために要求される。「細かいトラッキン
グ（軌道移動）」を示す矢印Ａが参照される。トラッキ
ングの制御信号に応答して、２つのアクチュエータ２２
または２４のいずれが採用されても、それはスライダヘ
ッド２０内の読み／書き要素の位置をディスク（図示せ
ず）上の個々の情報トラックに対して調整する。
直取付領域１４に対して延長部１６の位置を制御する。
スライダ取付アクチュエータ２４は、組立体の残り−ヘ
ッド浮遊体−に対するヘッドスライダ２０の位置を制御
する。実際には、マイクロアクチュエータ２２または２
４の一方のみが、スライダヘッド２０の細かい横方向の
移動をもたらすために要求される。「細かいトラッキン
グ（軌道移動）」を示す矢印Ａが参照される。トラッキ
ングの制御信号に応答して、２つのアクチュエータ２２
または２４のいずれが採用されても、それはスライダヘ
ッド２０内の読み／書き要素の位置をディスク（図示せ
ず）上の個々の情報トラックに対して調整する。
【００２２】図２は、負荷ビーム取付位置またはスライ
ダ取付位置のいずれかに採用され得るマイクロアクチュ
エータ３０を概略的に示している。マイクロアクチュエ
ータ３０は、略Ｃ型の圧電バイモルフ拡張部材であり、
第１端面３６を有する第１端部３４と第２端面４０を有
する第２端部３８とを有する本体部３２を備えている。
第１端面３６及び第２端面４０は、互いに向き合ってお
り、間隙４２によって分離されている。本体部３２は、
完全に近い外側リング４６によって取り囲まれると共に
それに結合された完全に近い内側リング４４からなる。
両リングは、不完全であって、間隙４２を提供してい
る。
ダ取付位置のいずれかに採用され得るマイクロアクチュ
エータ３０を概略的に示している。マイクロアクチュエ
ータ３０は、略Ｃ型の圧電バイモルフ拡張部材であり、
第１端面３６を有する第１端部３４と第２端面４０を有
する第２端部３８とを有する本体部３２を備えている。
第１端面３６及び第２端面４０は、互いに向き合ってお
り、間隙４２によって分離されている。本体部３２は、
完全に近い外側リング４６によって取り囲まれると共に
それに結合された完全に近い内側リング４４からなる。
両リングは、不完全であって、間隙４２を提供してい
る。
【００２３】内側リング４４及び外側リング４６は、圧
電（電気ひずみ）材料であり、軸方向に反対方向の極性
となっていて、適用される電場の影響の下で、一方が収
縮しようとする時に他方が膨張しようとする。その結果
の緊張が、本体部３２の膨張／収縮という形態で現れ、
それによって間隙４２が変化する。もし第１端部３４が
ヘッド浮遊組立体の（相対的な）基端部（マイクロアク
チュエータが取り付けられる場所に依存して、取付領域
１４かあるいは柔軟結合部１８）に結合されていて、第
２端部３８がヘッド浮遊組立体の（相対的な）末端部に
結合されているなら、間隙４２の大きさの制御は、ヘッ
ドスライダ２０の細かいトラッキング運動をもたらす。
電（電気ひずみ）材料であり、軸方向に反対方向の極性
となっていて、適用される電場の影響の下で、一方が収
縮しようとする時に他方が膨張しようとする。その結果
の緊張が、本体部３２の膨張／収縮という形態で現れ、
それによって間隙４２が変化する。もし第１端部３４が
ヘッド浮遊組立体の（相対的な）基端部（マイクロアク
チュエータが取り付けられる場所に依存して、取付領域
１４かあるいは柔軟結合部１８）に結合されていて、第
２端部３８がヘッド浮遊組立体の（相対的な）末端部に
結合されているなら、間隙４２の大きさの制御は、ヘッ
ドスライダ２０の細かいトラッキング運動をもたらす。
【００２４】図３は、マイクロアクチュエータ３０の代
わりに用いられ得るマイクロアクチュエータ５０を図式
的に示している。マイクロアクチュエータ５０も圧電材
料であるが、本体部５２はバイモルフでなくモノリスで
ある。（マイクロアクチュエータ３０及び５０は、全体
に同じ幾何形状を有している。従って、端部の特徴につ
いては、共通に同じ参照符号が付してある。）上方平坦
面５４及び底部平坦面（図示せず）は、各々、１対の略
Ｃ型電極−内側電極５６及び外側電極５８−が設けられ
ている。内側電極５６及び外側電極５８は、薄い絶縁環
状領域６０によって電気的に分離されている。対の内側
電極５６及び外側電極５８は、２つの異なる電場（例え
ば、大きさは等しいが逆方向である電場、例えば、第１
の電場は本体部５２の内側電極５６間の領域を収縮さ
せ、第２の電場は本体部５２の外側電極５８間の領域を
膨張させる）を与えるために用いられる。このような同
時の収縮／膨張は、対向する端面３６、４０を互いによ
り接近させ、それによって間隙４２が狭まる。
わりに用いられ得るマイクロアクチュエータ５０を図式
的に示している。マイクロアクチュエータ５０も圧電材
料であるが、本体部５２はバイモルフでなくモノリスで
ある。（マイクロアクチュエータ３０及び５０は、全体
に同じ幾何形状を有している。従って、端部の特徴につ
いては、共通に同じ参照符号が付してある。）上方平坦
面５４及び底部平坦面（図示せず）は、各々、１対の略
Ｃ型電極−内側電極５６及び外側電極５８−が設けられ
ている。内側電極５６及び外側電極５８は、薄い絶縁環
状領域６０によって電気的に分離されている。対の内側
電極５６及び外側電極５８は、２つの異なる電場（例え
ば、大きさは等しいが逆方向である電場、例えば、第１
の電場は本体部５２の内側電極５６間の領域を収縮さ
せ、第２の電場は本体部５２の外側電極５８間の領域を
膨張させる）を与えるために用いられる。このような同
時の収縮／膨張は、対向する端面３６、４０を互いによ
り接近させ、それによって間隙４２が狭まる。
【００２５】図４は、マイクロアクチュエータ３０また
は５０のいずれかの代わりに用いられ得るマイクロアク
チュエータ７０を図式的に示している。マイクロアクチ
ュエータ７０は、銅ワイヤ７４が数回転巻き付けられた
強磁性のコア材を有する本体部７２を備えている。（マ
イクロアクチュエータ３０、５０及び７０は、同じ全体
の幾何形状を有している。従って、各部の特徴について
は、共通に同じ参照符号が付してある。）使用時におい
て、銅ワイヤを通って適用される電流が、本体部７２内
に磁気作用を引き起こす磁場を生成する。第１端部３４
及び第２端部３８は、電磁石の反対の極（Ｎ及びＳ）と
して振る舞い、相互に引きつけ合って、間隙４２の大き
さを低減させる。
は５０のいずれかの代わりに用いられ得るマイクロアク
チュエータ７０を図式的に示している。マイクロアクチ
ュエータ７０は、銅ワイヤ７４が数回転巻き付けられた
強磁性のコア材を有する本体部７２を備えている。（マ
イクロアクチュエータ３０、５０及び７０は、同じ全体
の幾何形状を有している。従って、各部の特徴について
は、共通に同じ参照符号が付してある。）使用時におい
て、銅ワイヤを通って適用される電流が、本体部７２内
に磁気作用を引き起こす磁場を生成する。第１端部３４
及び第２端部３８は、電磁石の反対の極（Ｎ及びＳ）と
して振る舞い、相互に引きつけ合って、間隙４２の大き
さを低減させる。
【００２６】３つのマイクロアクチュエータ３０、５
０、７０の全てにおいて、それぞれの本体部３２、５
２、７２は、電場／磁場を適用／変更することが第１端
部及び第２端部を互いに接近させる／さらに離させるよ
うな変位をもたらすという意味で弾性的である。これに
よって、間隙４２の大きさが低減／増大される。装置の
動作上の制限の範囲内で、場の強さが強ければ強い程、
変位が大きくなる。電場／磁場の除去時には、間隙４２
はその最初の大きさに戻される、つまり、本体部３２、
５２、７２は、その元の形状に戻る。
０、７０の全てにおいて、それぞれの本体部３２、５
２、７２は、電場／磁場を適用／変更することが第１端
部及び第２端部を互いに接近させる／さらに離させるよ
うな変位をもたらすという意味で弾性的である。これに
よって、間隙４２の大きさが低減／増大される。装置の
動作上の制限の範囲内で、場の強さが強ければ強い程、
変位が大きくなる。電場／磁場の除去時には、間隙４２
はその最初の大きさに戻される、つまり、本体部３２、
５２、７２は、その元の形状に戻る。
【００２７】マイクロアクチュエータ３０、５０、７０
は、ヘッド浮遊組立体において３つの態様の１つで取り
付けられ得る。以下の３つの実施例は、取り付け原理を
示している。各場合において、マイクロアクチュエータ
は、それが負荷ビーム取付（すなわち、マイクロアクチ
ュエータ２２）であるかヘッドスライダ取付（すなわ
ち、マイクロアクチュエータ２４）であるかに従って、
分類されている。
は、ヘッド浮遊組立体において３つの態様の１つで取り
付けられ得る。以下の３つの実施例は、取り付け原理を
示している。各場合において、マイクロアクチュエータ
は、それが負荷ビーム取付（すなわち、マイクロアクチ
ュエータ２２）であるかヘッドスライダ取付（すなわ
ち、マイクロアクチュエータ２４）であるかに従って、
分類されている。
【００２８】実施例１ 図５は、負荷ビーム取付マイクロアクチュエータ２２を
有するヘッド浮遊体８０を示している。負荷ビーム１２
は、ヘッド浮遊体８０の長手方向軸（ＸＸ）に対して横
方向に延びるスリット８２を有している。スリット８２
は、負荷ビーム１２の横方向コンプライアンスを高め、
矢印Ａ＋Ａ−の方向に細かくトラッキングすることを容
易にする。Ｃ型マイクロアクチュエータ２２は、間隙４
２がスリット８２と合致するように位置決めされる。マ
イクロアクチュエータ２２の２つの下側領域は、負荷ビ
ーム１２に接着されている。第１端部３４に隣接する第
１領域は、スリット８２の基端側（剛直取付領域１４
側）で負荷ビーム１２に接着されている。第２端部３８
に隣接する第２領域は、スリット８２の末端側（延長部
１６側）で負荷ビーム１２に接着されている。このよう
にマイクロアクチュエータ２２を負荷ビーム１２に固定
することは、スリット８２の末端側が間隙４２の変化と
共に移動することを意味する（スリット８２の基端側は
剛直に取り付けられている）。従って、マイクロアクチ
ュエータ２２を作動することによって間隙４２の大きさ
を低減／増大することは、柔軟結合部１８をＡ−の方向
に移動させる。
有するヘッド浮遊体８０を示している。負荷ビーム１２
は、ヘッド浮遊体８０の長手方向軸（ＸＸ）に対して横
方向に延びるスリット８２を有している。スリット８２
は、負荷ビーム１２の横方向コンプライアンスを高め、
矢印Ａ＋Ａ−の方向に細かくトラッキングすることを容
易にする。Ｃ型マイクロアクチュエータ２２は、間隙４
２がスリット８２と合致するように位置決めされる。マ
イクロアクチュエータ２２の２つの下側領域は、負荷ビ
ーム１２に接着されている。第１端部３４に隣接する第
１領域は、スリット８２の基端側（剛直取付領域１４
側）で負荷ビーム１２に接着されている。第２端部３８
に隣接する第２領域は、スリット８２の末端側（延長部
１６側）で負荷ビーム１２に接着されている。このよう
にマイクロアクチュエータ２２を負荷ビーム１２に固定
することは、スリット８２の末端側が間隙４２の変化と
共に移動することを意味する（スリット８２の基端側は
剛直に取り付けられている）。従って、マイクロアクチ
ュエータ２２を作動することによって間隙４２の大きさ
を低減／増大することは、柔軟結合部１８をＡ−の方向
に移動させる。
【００２９】修正された形態においては、スリット８２
は、横方向成分と、軸ＸＸ（図参照）に対して平行に延
びる成分と、を有し得る。このような配置では、Ｃ型マ
イクロアクチュエータ２２は、間隙４２がスリット８２
の軸ＸＸに平行な成分と合致するように位置決めされ得
る。第１端部３４に隣接する第１領域は、スリットの一
側（第１端部の下方側）で負荷ビームに接着され得る。
第２端部３８に隣接する第２領域は、スリットの他側
（第２端部の下方側）で負荷ビームに接着され得る。
は、横方向成分と、軸ＸＸ（図参照）に対して平行に延
びる成分と、を有し得る。このような配置では、Ｃ型マ
イクロアクチュエータ２２は、間隙４２がスリット８２
の軸ＸＸに平行な成分と合致するように位置決めされ得
る。第１端部３４に隣接する第１領域は、スリットの一
側（第１端部の下方側）で負荷ビームに接着され得る。
第２端部３８に隣接する第２領域は、スリットの他側
（第２端部の下方側）で負荷ビームに接着され得る。
【００３０】実施例２ 図６は、読み／書き要素９０を有するヘッドスライダ２
０に取り付けられた、スライダ取付マイクロアクチュエ
ータ２４を示している。（柔軟結合部１８は、マイクロ
アクチュエータ２４の上方に取り付けられているが、明
確化のために省略されている。）Ｃ型マイクロアクチュ
エータ２４は、間隙４２が読み／書き要素９０と整列さ
れるように位置決めされる。第１端部３４に隣接するマ
イクロアクチュエータ２４の下方側領域は、ヘッドスラ
イダ２０に接着されている（９２）。第２端部３８に隣
接するマイクロアクチュエータ２４の上方面領域は、柔
軟結合部１８の一部であるプレート（図示せず）に接着
されている（９４）。ヘッドスライダ２０を柔軟結合部
１８に結合するためにこのようなマイクロアクチュエー
タ２４を用いることは、ヘッドスライダ２０が間隙４２
の変化と共に移動することを意味する（柔軟結合部１８
はヘッドスライダ２０に対して剛直に保持されてい
る）。従って、マイクロアクチュエータ２４を作動する
ことによって間隙４２の大きさを低減することは、ヘッ
ドスライダ２０をＡ＋の方向に移動させる。
０に取り付けられた、スライダ取付マイクロアクチュエ
ータ２４を示している。（柔軟結合部１８は、マイクロ
アクチュエータ２４の上方に取り付けられているが、明
確化のために省略されている。）Ｃ型マイクロアクチュ
エータ２４は、間隙４２が読み／書き要素９０と整列さ
れるように位置決めされる。第１端部３４に隣接するマ
イクロアクチュエータ２４の下方側領域は、ヘッドスラ
イダ２０に接着されている（９２）。第２端部３８に隣
接するマイクロアクチュエータ２４の上方面領域は、柔
軟結合部１８の一部であるプレート（図示せず）に接着
されている（９４）。ヘッドスライダ２０を柔軟結合部
１８に結合するためにこのようなマイクロアクチュエー
タ２４を用いることは、ヘッドスライダ２０が間隙４２
の変化と共に移動することを意味する（柔軟結合部１８
はヘッドスライダ２０に対して剛直に保持されてい
る）。従って、マイクロアクチュエータ２４を作動する
ことによって間隙４２の大きさを低減することは、ヘッ
ドスライダ２０をＡ＋の方向に移動させる。
【００３１】実施例３ 図７は、その側方に載置されたヘッドスライダ２０に取
り付けるためのスライダ取付マイクロアクチュエータ２
４を示している。（柔軟結合部１８及びヘッドスライダ
２０は、明確化のために省略されている。）図８は、そ
の取り付けを側方から図示している。Ｃ型マイクロアク
チュエータ２４は、ヘッドスライダ２０の近くに間隙４
２がくるよう位置決めされる。第１端部２４の第１端面
３６は、ヘッドスライダ２０の先端縁１０２に係合する
前に、間隙４２から外側に延びる突出柄部１００に接着
されている。第２端部３８に隣接するマイクロアクチュ
エータ２４の上方面領域は、柔軟結合部１８の一部であ
るプレート１０４に接着されている（９４）（前述同
様）。ヘッドスライダ２０を柔軟結合部１８に結合する
ためにこのようなマイクロアクチュエータ２４を用いる
ことは、ヘッドスライダが間隙４２の大きさにおける変
化と共に移動することを意味する。また、マイクロアク
チュエータ２４とヘッドスライダ２０とをヘッドスライ
ダ２０の先端縁１０２にて並べて取り付けることによっ
て、マイクロアクチュエータ−スライダ組立体の積み重
ね高さが低減され得る（実施例２の「ピギーバック」配
置と比べて）。
り付けるためのスライダ取付マイクロアクチュエータ２
４を示している。（柔軟結合部１８及びヘッドスライダ
２０は、明確化のために省略されている。）図８は、そ
の取り付けを側方から図示している。Ｃ型マイクロアク
チュエータ２４は、ヘッドスライダ２０の近くに間隙４
２がくるよう位置決めされる。第１端部２４の第１端面
３６は、ヘッドスライダ２０の先端縁１０２に係合する
前に、間隙４２から外側に延びる突出柄部１００に接着
されている。第２端部３８に隣接するマイクロアクチュ
エータ２４の上方面領域は、柔軟結合部１８の一部であ
るプレート１０４に接着されている（９４）（前述同
様）。ヘッドスライダ２０を柔軟結合部１８に結合する
ためにこのようなマイクロアクチュエータ２４を用いる
ことは、ヘッドスライダが間隙４２の大きさにおける変
化と共に移動することを意味する。また、マイクロアク
チュエータ２４とヘッドスライダ２０とをヘッドスライ
ダ２０の先端縁１０２にて並べて取り付けることによっ
て、マイクロアクチュエータ−スライダ組立体の積み重
ね高さが低減され得る（実施例２の「ピギーバック」配
置と比べて）。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、高いバンド幅と高い衝
撃抵抗とを有する高移動量のマイクロアクチュエータを
実現することができる。
撃抵抗とを有する高移動量のマイクロアクチュエータを
実現することができる。
【図１】本発明によるヘッド浮遊組立体を概略的に示し
ている。
ている。
【図２】本発明を具現するマイクロアクチュエータの第
１の実施の形態を概略的に示している。
１の実施の形態を概略的に示している。
【図３】本発明を具現するマイクロアクチュエータの第
２の実施の形態を概略的に示している。
２の実施の形態を概略的に示している。
【図４】本発明を具現するマイクロアクチュエータの第
３の実施の形態を概略的に示している。
３の実施の形態を概略的に示している。
【図５】図２乃至図４のいずれかによるマイクロアクチ
ュエータを使用する第１の構成を示している。
ュエータを使用する第１の構成を示している。
【図６】図２乃至図４のいずれかによるマイクロアクチ
ュエータを使用する第２の構成を示している。
ュエータを使用する第２の構成を示している。
【図７】図２乃至図４のいずれかによるマイクロアクチ
ュエータを使用する第３の構成を示している。
ュエータを使用する第３の構成を示している。
【図８】図７の配置の側面図である。
【図９】図５の配置の修正例である。
１２ 負荷ビーム １４ 剛直取付領域 １６ 延長部 １８ 柔軟結合部 ２０ ヘッドスライダ ２２ 負荷ビーム取付アクチュエータ ２４ スライダ取付アクチュエータ ３０ マイクロアクチュエータ ３２ 本体部 ３４ 第１端部 ３６ 第１端面 ３８ 第２端部 ４０ 第２端面 ４２ 間隙 ４４ 内側リング ４６ 外側リング ５０ マイクロアクチュエータ ５６ 内側電極 ５８ 外側電極 ６０ 絶縁環状領域 ７０ マイクロアクチュエータ ７２ 本体部 ８０ ヘッド浮遊体 ８２ スリット １００ 突出柄部 １０２ 先端縁 １０４ プレート
フロントページの続き (72)発明者 グオ、グオキシアオ シンガポール国シンガポール、ユロング、 イースト、ストリート、32、ナンバー03- 291、アパートメント、ビ−エルケイ、316 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA18 CA23 DA19 DA26 EA08 5D096 NN03 NN07
Claims (24)
- 【請求項１】ディスクドライブのヘッド浮遊組立体に対
して読み／書きヘッドを位置決めするためのマイクロア
クチュエータであって、 第１端部及び第２端部を有する略Ｃ型部材を備え、 各端部は１つの端面を有しており、一端部の端面は他端
部の端面に向かい合って離れており、 当該部材は弾性的であって、適用される磁場または電場
に対して敏感であり、磁場または電場が適用されること
によって端面間の距離が制御可能であることを特徴とす
るマイクロアクチュエータ。 - 【請求項２】略Ｃ型部材は、圧電材料を備えていること
を特徴とする請求項１に記載のマイクロアクチュエー
タ。 - 【請求項３】略Ｃ型部材は、圧電バイモルフ（bimorph
）拡張部材であることを特徴とする請求項２に記載の
マイクロアクチュエータ。 - 【請求項４】略Ｃ型部材は、当該Ｃ型部材の第１領域に
対して第１の電場を適用すると共に当該Ｃ型部材の第２
領域に対して第２の電場を適用するようになっている対
の電極を有する圧電モノリスであることを特徴とする請
求項２に記載のマイクロアクチュエータ。 - 【請求項５】複数の略Ｃ型部材を更に備え、 その各々は、前記の略Ｃ型部材であり、 当該複数の略Ｃ型部材が、互いに上下に積み重ねられて
いることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載
のマイクロアクチュエータ。 - 【請求項６】略Ｃ型部材は、強磁性材料の本体部を有し
ていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロアク
チュエータ。 - 【請求項７】本体部回りに巻かれたケーブルを更に備
え、当該ケーブルによって運ばれる電流が端面間の距離
を制御すべく本体部内に磁場を引き起こすようになって
いることを特徴とする請求項６に記載のマイクロアクチ
ュエータ。 - 【請求項８】磁気ディスクドライブのためのヘッド浮遊
組立体であって、 負荷ビームと、 ヘッドスライダと、 ヘッドスライダを負荷ビームの剛直取付端部に対して位
置決めするためのマイクロアクチュエータと、を備え、 当該マイクロアクチュエータは、第１端部及び第２端部
を有する略Ｃ型部材を備え、各端部は１つの端面を有し
ており、一端部の端面は他端部の端面に向かい合って離
れており、 当該部材は弾性的であって、適用される磁場または電場
に対して敏感であり、磁場または電場が適用されること
によって端面間の距離が制御可能であることを特徴とす
るヘッド浮遊組立体。 - 【請求項９】略Ｃ型部材は、圧電材料を備えていること
を特徴とする請求項８に記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項１０】略Ｃ型部材は、圧電バイモルフ（bimorp
h ）拡張部材であることを特徴とする請求項８に記載の
ヘッド浮遊組立体。 - 【請求項１１】略Ｃ型部材は、当該Ｃ型部材の第１領域
に対して第１の電場を適用すると共に当該Ｃ型部材の第
２領域に対して第２の電場を適用するようになっている
対の電極を有する圧電モノリスであることを特徴とする
請求項８に記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項１２】複数の略Ｃ型部材を更に備え、 その各々は、前記の略Ｃ型部材であり、 当該複数の略Ｃ型部材は、互いに上下に積み重ねられて
いることを特徴とする請求項８に記載のヘッド浮遊組立
体。 - 【請求項１３】略Ｃ型部材は、強磁性材料の本体部を有
していることを特徴とする請求項８に記載のヘッド浮遊
組立体。 - 【請求項１４】本体部回りに巻かれたケーブルを更に備
え、当該ケーブルによって運ばれる電流が端面間の距離
を制御すべく本体部内に磁場を引き起こすようになって
いることを特徴とする請求項１３に記載のヘッド浮遊組
立体。 - 【請求項１５】マイクロアクチュエータは、負荷ビーム
に取付けられていることを特徴とする請求項８に記載の
ヘッド浮遊組立体。 - 【請求項１６】負荷ビームは、負荷ビームの自由端縁か
ら延びるスリットを有しており、 マイクロアクチュエータは、端面間の距離を減少するこ
とが負荷ビームのスリットを狭める力を働かせるよう
に、取り付けられていることを特徴とする請求項１５に
記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項１７】第１端部に隣接する表面が、スリットの
一側で負荷ビームに取り付けられると共に、第２端部に
隣接する表面が、スリットの他側で負荷ビームに取り付
けられていることを特徴とする請求項１６に記載のヘッ
ド浮遊組立体。 - 【請求項１８】マイクロアクチュエータは、負荷ビーム
とヘッドスライダとの間に取付けられていることを特徴
とする請求項８に記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項１９】負荷ビームは、柔軟結合部を備えてお
り、 マイクロアクチュエータは、柔軟結合部とヘッドスライ
ダとの間に挟まれていることを特徴とする請求項１８に
記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項２０】一方の端部に隣接するマイクロアクチュ
エータの上方面が、柔軟結合部に取り付けられており、 他方の端部に隣接するマイクロアクチュエータの下方面
が、ヘッドスライダに取り付けられていることを特徴と
する請求項１９に記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項２１】前記下方面は、ヘッドスライダの幾何中
心に取り付けられていることを特徴とする請求項２０に
記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項２２】一方の端部の端面は、ヘッドスライダに
取り付けられていることを特徴とする請求項１８に記載
のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項２３】ヘッドスライダとの係合のために前記端
面から延びる脚部を更に備えたことを特徴とする請求項
２２に記載のヘッド浮遊組立体。 - 【請求項２４】請求項８によるヘッド浮遊組立体を備え
た磁気ディスクドライブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SG200005436A SG92742A1 (en) | 2000-09-26 | 2000-09-26 | Head suspension assembly for magnetic disk drives |
| SG200005436-1 | 2000-09-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002117638A true JP2002117638A (ja) | 2002-04-19 |
| JP3706020B2 JP3706020B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=20430666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000377636A Expired - Fee Related JP3706020B2 (ja) | 2000-09-26 | 2000-12-12 | 磁気ディスクドライブのためのヘッド浮遊組立体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6624553B2 (ja) |
| JP (1) | JP3706020B2 (ja) |
| SG (1) | SG92742A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010182356A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の電極構造、圧電素子の電極形成方法、圧電アクチュエータ及びヘッドサスペンション |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1162859C (zh) * | 2000-06-08 | 2004-08-18 | 新科实业有限公司 | 采用环形旋转压电执行机构的高密度硬盘驱动器的双级执行机构系统 |
| US7248444B1 (en) | 2000-07-21 | 2007-07-24 | Lauer Mark A | Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate |
| JP2003091953A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Data Strage Inst | スライダ装置 |
| US6961221B1 (en) * | 2001-12-18 | 2005-11-01 | Western Digital (Fremont), Inc. | Piezoelectric microactuators with substantially fixed axis of rotation and magnified stroke |
| JP3866984B2 (ja) * | 2002-02-05 | 2007-01-10 | 富士通株式会社 | 磁気記憶装置 |
| US7057858B2 (en) * | 2002-04-24 | 2006-06-06 | International Business Machines Corporation | Slide microactuator using C-shaped piezoelectric element |
| US7417830B1 (en) | 2005-08-31 | 2008-08-26 | Magnecomp Corporation | Head gimbal assembly with dual-mode piezo microactuator |
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