JP2003091953A

JP2003091953A - スライダ装置

Info

Publication number: JP2003091953A
Application number: JP2001399374A
Authority: JP
Inventors: Shixin Chen; シーシンチェン; Yi Lu; イールー
Original assignee: DATA STRAGE INST
Current assignee: DATA STRAGE INST
Priority date: 2001-09-18
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2003-03-28
Also published as: US20030053264A1

Abstract

(57)【要約】【課題】ヘッドの位置を細かく調節することができる
スライダ装置を提供すること。【解決手段】データ記憶装置のためのスライダ装置６
０であって、スライダ１１０と、スライダ１１０上に取
り付けられた圧電素子１３０と、圧電素子１３０上に取
り付けられたヘッド１４０とを備え、スライダ１１０は
移動可能で、圧電素子１３０はデータ記憶媒体に対する
ヘッドの位置を調節するように動作可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一局面において、
スライダ装置に関する。本発明の他の局面は、データ記
憶装置やハードディスクデータ記憶装置のための作動装
置、およびそのような記憶装置を含むコンピュータシス
テムに関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえばいわゆるハードディスクドライ
ブ（ＨＤＤ）などのようなデータ記憶媒体内に形成され
たトラックに対する読み出し／書き込みヘッドの位置決
めを行うための書き込み／読み出しヘッド位置決めシス
テムが、これまで提案されている。このようなこれまで
提案されているヘッド位置決めシステムには、スライダ
の下面にヘッドが備えられていた。スライダの一端に
は、アームが接続される。アームは、適切なドライブ機
構（たとえば、ボイスコイルサーボモータ（ＶＣＭ））
によって回転可能であり、スライダを（そして、これに
より、ヘッドを）ディスク表面において径方向に往復す
るように移動させる。

【０００３】このような装置が長年用いられてきたが、
ＨＤＤ上に設けられたトラック数を増やしたり（トラッ
ク密度を増やす、と称する）、および／またはトラック
の所定長内に詰め込むことができるビット数を増やす
（ディスクの線密度を増やす、と称する）ことによっ
て、ＨＤＤの面密度を増加させる（すなわち、ディスク
のデータ記憶容量全体を増加させる）ことが、近年提案
されている。トラック密度が増加すると、隣接するトラ
ック間の間隔やトラック自体のサイズが減少する。その
結果、このような大容量ディスク向けのヘッド位置決め
システムは、従来の低容量ディスク向けにこれまで必要
とされてきたよりも高いレベルのヘッド位置決め精度を
有しなければならなくなる。

【０００４】このようなより大容量のディスクの登場に
より、これらのディスクに対するデータの読み出しや書
き込みを行うのに充分なほど高精度であるヘッド位置決
めシステムの開発が必要となる。

【０００５】一般的に、トラック外れ障害（ヘッドがト
ラックから外れてしまうことによって引き起こる障害）
の主な原因には、たとえば、スピンドルベアリングから
の非反復性の心振れ、トラックシークに引き続いて生じ
る残存振動、回転ディスクの気擦、ディスクの振動モー
ド、外的振動および衝撃、サーボライターエラーなどが
ある。

【０００６】たとえば、ＨＤＤにおけるヘッドの位置決
め精度は、通常、サーボ帯域幅の観点から測られる。サ
ーボ帯域幅周波数は、トラック外れ障害をヘッド位置決
めシステムがどの程度減衰するか（これは、様々な周波
数の正弦波成分の合計と考えることができる）を知る基
準となる。

【０００７】典型的には、ボイスコイルモータなどの従
来提案されてきたヘッド位置決めシステムは、エラーを
サーボ帯域幅周波数の範囲内に減少させることが可能で
あるが、その帯域外の障害に対しては、ほとんど効果が
ないばかりか、障害を悪化させることもある。

【０００８】単純な比例積分微分方式によるヘッド位置
決めシステムにおいて、装置のサーボ帯域幅を増加させ
る最も直接的な方法は、比例利得を増加させることであ
ると考えられる。しかしながら、ヘッドが撓み構造（た
とえば、Ｅ−ｂｌｏｃｋやサスペンション）によって制
御入力点から離れてしまう場合には、上記の方法は実現
できない。なぜなら、実際のヘッドの動きは、位相が遅
れたり、ＶＣＭとは異なる振幅となることがあるからで
ある。このような場合には、比例利得がある値を超える
と、撓み構造における共振によって、装置が不安定とな
ることがある。

【０００９】既知のヘッド位置決めシステムの精度を向
上させるには、ディスクに対してヘッドを移動させるた
めの作動装置を２段備えるようにすることが提案されて
いる。第１段は、ディスクに対してヘッドの位置を大ま
かに調節するために用いられ、第２段は、ディスクに対
してヘッドの位置を細かく調節するために用いられる。

【００１０】第２段（業界では、マイクロ作動装置とし
て知られる）は、様々な種類のものがこれまで提案され
ている。たとえば、電磁素子、静電素子、圧電素子、ま
たは熱素子を用いて、ディスクに対してヘッドの位置を
細かく調節することが提案されている。

【００１１】米国特許第５，９４３，１８９号は、この
ようなシステムの一例を詳細に説明している。このシス
テムでは、ヘッド位置決め機構のスライダには、（スラ
イダ内のスリット状の切込みによって形成された）ヒン
ジと、スライダをヒンジを中心にして折り曲げて変形さ
せることによってスライダに取り付けられた読み出し／
書き込みヘッドの位置を変化させる圧電素子とが設けら
れている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このシステムは、ヘッ
ドの位置決め精度をいかにして高めるかという技術的問
題を幾分軽減するものの、欠点も多くある。その第１と
して、スライダの素材は、比較的固くて脆いので、ヒン
ジを折り曲げるのは比較的困難である。この装置に関す
る他の問題点として、ディスクのトラックに沿うヘッド
の動きが、ディスクに対して径方向へトラックを横断す
るような動きと比べて、その移動量が大きくなってしま
う傾向にある（これは、あまり有用ではない）。さらに
他の問題として、このシステムは、位置決めシステム全
体のサーボ帯域幅を実際に改善するものではない。それ
ゆえ、本発明の目的は、これまで提案された装置に関連
する問題のうちの少なくともいくつかを軽減することで
ある。

【００１３】

【課題を解決するための手段および発明の効果】この目
的のため、本発明の一局面は、データ記憶装置のための
スライダ装置を提供するものであって、スライダ装置
は、スライダ本体と、スライダ本体上に取り付けられた
圧電素子と、圧電素子上に取り付けられたヘッドとを備
え、スライダ本体は移動可能で、圧電素子はデータ記憶
媒体に対するヘッドの位置を調節するように動作可能で
ある。

【００１４】圧電素子上にヘッドを設けることによっ
て、圧電素子は、ヘッドに非常に近い位置にあるように
なり、それによって、たとえば、ｅブロックまたはサス
ペンションの共振等によって発生する障害を減らすこと
ができ、場合によってはこれらすべてを解消することが
できる。

【００１５】本発明の他の局面は、データ記憶装置のた
めの作動装置に関し、作動装置は、上述のスライダ装置
と、スライダ装置の一端に接続されるアームと、アーム
をピボットポイントを中心として回転させて、スライダ
装置をデータ記憶媒体に対して往復移動させるように動
作可能なモータとを備え、モータは、アームを回転させ
ることによって、データ記憶媒体に対するヘッドの位置
を調節するように動作可能であり、スライダ装置の圧電
素子は、データ記憶媒体に対するヘッドの位置を調節す
るように動作可能である。

【００１６】圧電素子上にヘッドを設けることによっ
て、圧電素子は、ヘッドに非常に近い位置にあるように
なり、それによって、ｅブロックまたはサスペンション
の共振等によって発生する障害を減らすことができ、場
合によってはこれらすべてを解消することができる。さ
らに、ヘッドに対して直接働きかける圧電素子を設ける
ことによって、圧電素子によって動かされる物質の量を
著しく減少させることができ、これにより、圧電素子に
対する応力を著しく減少させることができる。

【００１７】本発明の他の局面は、ハードディスクデー
タ記憶装置に関し、磁気データ記憶媒体を保持するプラ
ッタと、上述の作動装置と、モータを制御してデータ記
憶媒体に対するヘッドの位置を調節するように動作可能
な第１の制御回路と、圧電素子を制御してデータ記憶媒
体に対するヘッドの位置を調節するように動作可能な第
２の制御回路と、ハードディスクデータ記憶装置からの
信号入力および信号出力のための入出力インターフェー
スとを備える。

【００１８】本発明のさらに他の局面は、コンピュータ
システムに関し、コンピュータシステムは、上述のハー
ドディスクデータ記憶装置を少なくとも１つ備える。

【００１９】本発明の他の局面は、スライダ装置を製造
する方法であって、スライダ本体と、圧電素子とを形成
するステップと、圧電素子をスライダ本体に取り付ける
ステップと、ヘッドを圧電素子上に形成するステップと
を含む。

【００２０】本発明のさらに他の局面は、スライダ装置
を製造する方法であって、スライダ本体と、圧電素子
と、ヘッドとを形成するステップと、圧電素子をスライ
ダ本体に取り付けるステップと、ヘッドを素子に取り付
けるステップとを含む、方法。

【００２１】これらの局面の他の特徴は、従属請求項に
説明されている。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、コンピュータシステムため
のハードディスクドライブ（ＨＤＤ）を（一例として）
特に参照して、本発明の様々な実施例を説明する。しか
しながら、本願の教示は、様々な異なるデータ読み出し
および／または書き込み装置に適用することが可能であ
り、データ記憶媒体の表面に対する読み出しおよび／ま
たは書き込みヘッドの正確な位置決めが求められるよう
ないかなる場合にも適用することが可能なことは、当業
者にとって自明であろう。その結果、以下の説明は、本
発明の範囲を特定の用途に限定するように読まれるべき
ではなく、本発明の教示は、ハードディスクドライブ
（ＨＤＤ）以外の装置において実施されてもよいことに
留意すべきである。

【００２３】図１は、本願の教示を具体化するハードデ
ィスクドライブ１０の概略図である。ハードディスクド
ライブ１０は、他の既知のハードディスクと同様に、プ
ラッタ２０（典型的には、アルミニウムまたはアルミニ
ウム合金製）を備え、たとえば、その上に形成された薄
膜磁気データ記録面を有する。磁気面を塗布した後、プ
ラッタ２０は、炭素からなる薄い保護層で通常被膜さ
れ、その後、超薄潤滑層で被膜される。これらの物質
は、ヘッドの不慮の接触から生じる損害やドライブに異
物が入るのを防止するために用いられる。プラッタ２０
は、スピンドル３０上に取り付けられて、スピンドルモ
ータ（図示せず）によって回転可能となる。

【００２４】プラッタ２０には、作動装置５０が関連付
けられている。作動装置５０は、スライダ装置６０を備
えており、プラッタ２０の表面に対するスライダ装置６
０の位置を調節する。ここでは、一つのプラッタ２０
と、それに関連する作動装置５０のみを図示している
が、ＨＤＤは、典型的には（業界では通常）、多数のプ
ラッタと、それに関連する作動装置とを備えることは、
当業者にとって自明であろう。

【００２５】作動装置５０は、アーム７０を備え、その
一端でスライダ装置６０を保持している。アーム７０
は、ピボットピン８０上に回転可能に取り付けられ、プ
ラッタ２０から最も遠いアーム端には、ピボットピン８
０を中心にアーム７０を回転させるように動作可能な駆
動装置（参照符号９０によって大略的に示す）が関連付
けられている。

【００２６】好ましい構成において、駆動装置９０は、
ボイスコイルサーボモータ（図示せず）を備える。ボイ
スコイルサーボモータは、アーム７０を（そして、これ
により、ヘッドを）プラッタ２０の面上をほぼ径方向に
往復移動させるように動作させる。閉ループフィードバ
ックシステム（図示せず）は、プラッタ２０に対してス
ライダ装置６０が動的に位置決めされるように動作可能
である。プラッタ２０から最も遠いアーム端には、コイ
ル（図示せず）が設けられ、このコイルは、永久磁石を
含むハウジング内に位置する。電流がコイルに与えられ
ると、電磁界が生じて、それによって、永久磁石に対す
る引力または斥力に基づき、アーム７０がピボットピン
８０を中心にしていずれかの方向に回転する。作動装置
５０は、ボイスコイルモータの代わりに、ステッパーモ
ータまたは他の適切なモータを備えてもよい。駆動装置
９０は、プラッタ２０に対するスライダ装置６０の位置
を比較的大まかに調節するものである。後述の追加の手
段が、プラッタ２０の表面に対する（スライダ装置６０
に取り付けられた）ヘッドの位置を比較的細かく調節す
る。

【００２７】図２は、図１のドライブの一部の側面図で
あり、プラッタ２０と、スライダ装置６０と、アーム７
０と、ピボットピン８０とを示す。スライダ装置６０
は、撓み部１００と、スライダ１１０とを備える。スラ
イダ１１０は、プラッタ２０がスピンドルモータ（図示
せず）によって回転されると、プラッタ２０の表面上空
を移動する。スライダ１１０が直接アーム端に取り付け
られるので、撓み部１００は必ずしも設ける必要ではな
い。しかしながら、ヘッドに対しておよびヘッドからア
ーム７０を介して伝わる衝撃や振動を軽減する機能を果
たすので、撓み部１００は、備えたほうが好ましい。

【００２８】図３は、図１および図２に示すスライダ装
置６０の下面（すなわち、プラッタ２０に面する側）の
概略図である。図示するように、スライダ１１０は、撓
み部１００に接続され、撓み部１００は、アーム７０に
接続されている。

【００２９】図３に示すように、アーム７０を回転させ
る駆動機構９０から最も遠いスライダ１１０の端（この
端は、以下、後端と称する）には、スライダ１１０を切
り欠いて、スライダ１１０と一体的に形成された切り欠
き部１２０が設けられる。スライダ１１０の切り欠き部
１２０内には、圧電素子１３０が取り付けられており、
圧電素子１３０上には、ヘッド１４０が設けられる。利
点として、切り欠き部１２０の端部１５０は、幅および
奥行き共に圧電素子１３０より突出しており、圧電素子
１３０がスライダ１１０内に入り込んだようになってい
る。これは、ＨＤＤの動作中に、プラッタ２０の表面に
対してスライダ１１０が万一衝突した場合に、素子やヘ
ッド１４０が破損しないようにするためである。

【００３０】圧電素子１３０は、スライダ１１０を切り
欠いた切り欠き部１２０内に取り付けられるのが好まし
い。しかしながら、切り欠き部１２０を設けることは必
須ではなく、代わりに、圧電素子１３０は、単にスライ
ダの後端に取り付けられていてもよい。

【００３１】好ましい実施例において、ヘッド１４０
は、プラッタ２０上の磁気データ記録面に対してデータ
を書き込み、かつそこからデータを読み出したりするよ
うに動作可能である。しかしながら、本願の教示がＨＤ
Ｄ以外の装置において実施される場合には、ヘッドは、
必要に応じて、プラッタからデータを読み出し、または
プラッタにデータを書き込みをすることができるだけで
もよい。いずれにせよ、圧電素子１３０の部分のうち、
データ記憶媒体、すなわち、この場合においてはプラッ
タ２０に最も近い部分に、ヘッド１４０は設けられる。

【００３２】好ましい実施例におけるヘッド１４０は、
プラッタ２０に対する読み出しおよび書き込みを行うこ
とができる従来の単一のトランスデューサ（変換器）
（たとえば、フェライト、ＭＩＧ（ｍｅｔａｌ−ｉｎ−
ｇａｐ）、または薄膜トランスデューサ）を備えてる。
または、ヘッドは、プラッタからのデータ読み出し専用
のトランスデューサ（たとえば、電磁気抵抗型トランス
デューサ）と、プラッタへのデータ書き込み専用のトラ
ンスデューサ（たとえば、上述の従来のトランスデュー
サ）からなる１対のトランスデューサを備えていてもよ
い。他の構成も当業者にとって自明であり、ヘッドと言
った場合、これら全ての構成を言うものとする。

【００３３】圧電素子１３０は、（図３には示されては
いないが）電源に接続される。好ましい実施例におい
て、圧電素子１３０は多層構造を有し、多層構造は、た
とえばフィルムプリントまたはジェットプリント技術を
用いて製造される。圧電素子１３０の形成や電気的接続
の実施は、電位差を圧電素子１３０に対して印加するこ
とによって、圧電素子１３０の長さが変化するように、
また、トランスデューサがプラッタ２０の面に対して
（図１の矢印Ａによって示す）径方向に移動するように
して行われる。印加する電位差を変化させることによっ
て、プラッタ２０に対するトランスデューサの径位置を
調節することができ、圧電素子１３０に印可する電圧を
徐々に変化できるので、トランスデューサの径位置も徐
々に変化できる。（図に示すような）本実施例におい
て、圧電素子１３０は、通常、「Ｓ］字形状、すなわ
ち、方形波の１周期やジグザグのような形状を有する。

【００３４】上述から明らかなように、圧電素子１３０
は、プラッタ２０に対するトランスデューサ（ヘッド１
４０）の位置を比較的細かく調節する手段を提供する。
従来の駆動装置９０をヘッド位置の大まかな調節のため
に用い、また、圧電素子１３０をヘッド位置の細かな調
節のための機構として用いることによって、プラッタ２
０に対するヘッド位置を、従来のシステムで可能である
よりもより正確に調節することができる。さらに、圧電
素子１３０上にヘッド１４０を設けることによって、ヘ
ッド位置決め装置のサーボ帯域幅全体を改善することが
できる。

【００３５】典型的には、これまで提案されてきた単一
段の作動システムでは、７００Ｈｚから１．５ｋＨｚの
範囲という低いサーボ帯域幅しか達成することができな
かった。本願の教示を実施することによって、これまで
可能であったよりも高いサーボ帯域幅、典型的には５ｋ
Ｈｚ以上を提供することができる。

【００３６】スライダ１１０によって妨害されずに、圧
電素子１３０が（印加電圧の変化に伴って）伸張および
接触できるようにするためには、圧電素子１３０は、好
ましい実施例において、スライダ１１０の少なくとも１
つの地点に取り付けられる。

【００３７】図４（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、ス
ライダ１１０の上面斜視図、および切り欠き部１２０側
を正面としたときの正面図である。ただし、圧電素子１
３０は図示せず、取り付けパッド１６０をスライダ１１
０の後端に取り付けた様子を示している。図示のよう
に、本実施例の取り付けパッド１６０は、切り欠き部１
２０の右上隅に形成される。取り付けパッド１６０は、
スライダ１１０と共に形成されてもよく、または、別々
に形成された後にスライダ１１０に貼り付けられてもよ
い。

【００３８】図５（ａ）、５（ｂ）、５（ｃ）に示すよ
うに、圧電素子１３０の一端には、突出部１７０が形成
される。突出部１７０は、スライダ１１０上の取り付け
パッド１６０（図４（ａ）および４（ｂ）参照）に貼り
付くことが可能なように設けられる。このような構成の
ため、圧電素子１３０は、その一端だけがスライダ１１
０に固定され、圧電素子１３０の他の部分は、スライダ
本体からの妨害を受けずに自由に伸張または接触できる
ように、空間に浮いたようになっている。このような構
成の代わりに、介在パッドなしで直接スライダに圧電素
子を取り付けることもできる。

【００３９】図６（ａ）、６（ｂ）、６（ｃ）は、図４
（ａ）および４（ｂ）に示すスライダに取り付けるため
の圧電素子１３０の他の設計例を示す。図に示すよう
に、本実施例の素子１３０は、概ね「Ｃ」字状に形成さ
れる。

【００４０】図７（ａ）、７（ｂ）、７（ｃ）は、圧電
素子１３０のさらに他の設計例を示し、図８（ａ）、８
（ｂ）は、図７（ａ）、７（ｂ）、７（ｃ）の圧電素子
１３０を取り付け可能なスライダ１１０の上面斜視図お
よび切り欠き部１２０側を正面としたときの正面図であ
る。

【００４１】図８（ａ）、８（ｂ）に示すように、本実
施例において、取り付けパッド１６０は、スライダ１１
０の後端に形成された切り欠き部１２０の概ね中央部に
設けられている。図７（ａ）、７（ｂ）、７（ｃ）に示
す圧電素子１３０は、螺旋の一部のように形成され、螺
旋の中心部にある素子端に、突出部１７０が設けられ
る。突出部１７０は、パッド１６０に貼り付けられて、
スライダ１１０上に圧電素子１３０が取り付けられる。

【００４２】以上、３つの異なる形状の圧電素子を説明
してきたが、所望により、圧電素子の適切な取り付けの
ためにスライダ上の取り付けパッド位置を必要に応じて
変化させ、他の様々な設計例を適用してもよいことは、
当業者であれば理解できるであろう。

【００４３】図５（ａ）、５（ｂ）、５（ｃ）と比較し
て、図６（ａ）、６（ｂ）、６（ｃ）に示す素子は、図
５の圧電素子１３０よりもヘッド１４０の移動可能距離
は短いが、精度は高い。図５の圧電素子１３０は、図６
の圧電素子１３０よりもヘッド１４０の移動可能距離は
長いが、精度は低い。言い換えれば、図６の圧電素子１
３０は、ストロークが小さく、かつ共振周波数が高い。
したがって、位置決め動作は、高い帯域幅を有すること
となる。同様に、図５の圧電素子は、ストロークが大き
く、かつ共振周波数が低いので、低い帯域幅となる。い
ずれにせよ、本願の教示によって達成可能な帯域幅は、
これまで提案されたシステムによって達成可能な帯域幅
よりも、きわめて大きい。

【００４４】上述のヘッドは、圧電素子とは別々に製造
した後に取り付けることが可能である。代わりに、好ま
しい実施例では、圧電素子上にヘッドを直接形成しても
よい。図９は、多数の電気接続配線１８０を概略的に示
す。この電気接続配線１８０は、ＨＤＤの他の構成要素
に対してヘッド１４０が接続することができるようにす
るために設けられている。利点として、電気接続配線１
８０は、圧電素子１３０に直接形成することができ（可
能であればヘッドと同時に）、その結果、外部の相互接
続端子をヘッド１４０に接合するという従来の方法を不
要にすることも可能である。

【００４５】上述のように、ここで述べたスライダ装置
は、コンピュータシステム内のＨＤＤにおいて用いるこ
とができる。図１０は、そのようなシステムの様々な構
成要素を概略的に示す。

【００４６】図示のように、コンピュータシステム２０
０は、キーボード２１０と、モニタ２２０と、マウス２
３０と、システムの他の構成要素を包含するメインハウ
ジング２４０とを備える。

【００４７】メインハウジング２４０は、中央処理装置
２５０（典型的には、マザーボード上に実装されたプロ
セッサと、キャッシュメモリのような他の電子的構成要
素とを備える）と、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）
２６０と、入出力インターフェース２７０と、モニタ２
２０に画像を与えるビデオコントローラ２８０と、ハー
ドディスクデータ記憶装置２９０とを含む。なお、上記
以外の構成要素が備えられていてもよい。メインハウジ
ング２４０内の構成要素はすべて、データバス３００に
よって接続されており、これにより、構成要素間、なら
びにメインハウジング２４０内部および外部の構成要素
間のデータ転送が行なわれる。

【００４８】ハードディスクデータ記憶装置２９０は、
既に詳述したような、少なくとも１つのプラッタ２０
と、それに関連する作動装置と、スライダ装置とを備え
る。また、ＨＤＤは、スライダ装置に対する大まかな位
置調節を制御する第１の制御回路３１０と、スライダ装
置の一部を形成するトランスデューサに対する細かな位
置調節を制御する第２の制御回路３２０とを含む。ＨＤ
Ｄのプラッタ２０と、コンピュータシステムの他の構成
要素との間でデータ転送を行なうことができるように、
インターフェース３３０が設けられる。

【００４９】本願の原理を採用することによって、コン
ピュータシステム２００に設けられるＨＤＤは、従来の
ドライブよりも高い面密度を有することができる。これ
により、ＨＤＤは、従来のドライブよりも小型化、また
は、同じ設置面積でも従来のドライブよりも多くの情報
を記憶することができるものとなる。

【００５０】以上、本発明の様々な好ましい実施例を説
明したが、これらの実施例は一例として述べたに過ぎな
い。したがって、添付の請求項に規定したような発明の
範囲から逸脱することなく、特定の実施例に対して変形
を行なってもよいことに留意すべきである。

【００５１】たとえば、上述の説明は、特にＨＤＤに関
して行なわれたが、本願の教示は、データ記憶媒体の表
面に対するヘッド位置の制御が望まれるいかなる場合に
も用いてもよいことは、当業者にとって理解されるであ
ろう。

【００５２】また、本願の教示は、ヘッドおよびデータ
記憶媒体間の間隔の調節、ならびに／もしくはデータ記
憶媒体の表面に対するヘッドの水平位置の調節が望まれ
る場合に、用いてもよいことは明らかであろう。

【００５３】また、本願の好ましい実施例は、圧電素子
を用いたが、他の素子（例えば、電磁素子または熱素
子）を用いて同様の効果を達成してもよいことは明らか
であろう。したがって、本願の範囲は、圧電素子に限定
されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するハードディスクドライブの斜
視図である。

【図２】図１のハードディスクドライブ１０の一部の側
面図である。

【図３】図１および図２に示すようなスライダ装置６０
の下面の概略図である。

【図４】（ａ）はスライダ１１０の上面斜視図、（ｂ）
は切り欠き部１２０側を正面としたときの正面図であ
る。

【図５】（ａ）は圧電素子１３０の背面図、（ｂ）は背
面斜視図、（ｃ）は側面図である。

【図６】（ａ）は他の設計例の圧電素子１３０の背面
図、（ｂ）は背面斜視図、（ｃ）は側面図である。

【図７】（ａ）は他の設計例の圧電素子１３０の背面
図、（ｂ）は背面斜視図、（ｃ）は側面図である。

【図８】（ａ）は図７の圧電素子１３０を取り付け可能
なスライダ１１０の上面斜視図、（ｂ）は切り欠き部１
２０側を正面としたときの正面図である。

【図９】圧電素子１３０上における多数の電気的相互接
続端子１８０を示す図である。

【図１０】コンピュータシステム２００の概略図であ
る。

【符号の説明】

１０ハードディスクドライブ２０プラッタ３０スピンドル５０作動装置６０スライダ装置７０アーム８０ピボットピン９０駆動装置１００撓み部１１０スライダ１２０切り欠き部１３０圧電素子１４０ヘッド１５０端部１６０取り付けパッド１７０突出部１８０電気接続配線２００コンピュータシステム２１０キーボード２２０モニタ２３０マウス２４０メインハウジング２５０中央処理装置２６０ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）２７０入出力インターフェイス２８０ビデオコントローラ２９０ハードディスクデータ記憶装置３００データバス３１０第１の制御回路３２０第２の制御回路３３０インターフェイス

フロントページの続き (72)発明者ルーイーシンガポール 750410 センバワンドライブ＃05−778 ブロック410 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D096 AA02 NN03 NN07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】データ記憶装置のためのスライダ装置で
あって、スライダ本体と、前記スライダ本体上に取り付けられた圧電素子と、前記圧電素子上に取り付けられたヘッドとを備え、前記スライダ本体は移動可能で、前記圧電素子はデータ
記憶媒体に対する前記ヘッドの位置を調節するように動
作可能である、スライダ装置。
【請求項２】前記圧電素子は、データ記憶媒体のデー
タ記録面に対して概ね平行な方向に前記ヘッドを移動さ
せるように動作可能である、請求項１に記載のスライダ
装置。
【請求項３】前記圧電素子は、前記スライダ本体の後
端に取り付けられる、請求項１または２に記載のスライ
ダ装置。
【請求項４】前記圧電素子は、前記スライダ本体の一
端に接続され、前記圧電素子の他の部分は前記スライダ
本体から浮いた状態になっている、請求項１〜３のいず
れかに記載のスライダ装置。
【請求項５】前記ヘッドは、前記スライダ本体に接続
された前記一端から最も遠い位置にある前記圧電素子の
端に対して取り付けられる、請求項４に記載のスライダ
装置。
【請求項６】前記スライダ本体には、取り付けパッド
が設けられ、前記圧電素子の前記一端には、前記取り付
けパッドに貼り付け可能な突出部が設けられる、請求項
４に記載のスライダ装置。
【請求項７】前記取り付けパッドは、前記スライダ本
体と一体的に形成される、請求項６に記載のスライダ装
置。
【請求項８】前記取り付けパッドは、前記スライダ本
体とは別々に形成された後に前記スライダ本体に取り付
けられる、請求項６に記載のスライダ装置。
【請求項９】前記圧電素子は、概ね「Ｓ」字形状を有
する、請求項１〜８のいずれかに記載のスライダ装置。
【請求項１０】前記圧電素子は、概ね「Ｃ」字形状を
有する、請求項１〜８のいずれかに記載のスライダ装
置。
【請求項１１】前記圧電素子は、概ね螺旋形状を有す
る、請求項１〜８のいずれかに記載のスライダ装置。
【請求項１２】前記スライダ本体には、切り欠き部が
設けられ、前記圧電素子は、前記切り欠き部内に位置す
る、請求項１〜１１のいずれかに記載のスライダ装置。
【請求項１３】前記圧電素子は、少なくとも一部は前
記切り欠き部内に入り込んでいる、請求項１２に記載の
スライダ装置。
【請求項１４】前記切り欠き部を囲む前記スライダ本
体は、データ記憶媒体のデータ記録面に概ね平行な方向
へ前記圧電素子を超えて伸びており、かつデータ記憶媒
体のデータ記録面に概ね垂直な方向へ伸びている、請求
項１２または１３に記載のスライダ装置。
【請求項１５】前記ヘッドは、読み出し／書き込みヘ
ッドであって、データ記憶媒体からデータを読み出し、
かつデータ記憶媒体からデータを書き込むように動作可
能であり、前記ヘッドは、読み出し／書き込みトランス
デューサを含む、請求項１〜１４のいずれかに記載のス
ライダ装置。
【請求項１６】前記ヘッドは、読み出し／書き込みヘ
ッドであって、データ記憶媒体からデータを読み出し、
かつデータ記憶媒体からデータを書き込むように動作可
能であり、前記ヘッドは、読み出しトランスデューサ
と、書き込みトランスデューサとを含む、請求項１〜１
４のいずれかに記載のスライダ装置。
【請求項１７】前記圧電素子は、前記ヘッドに対して
および／または前記ヘッドから信号を必要に応じて搬送
するための集積相互接続配線を含む、請求項１〜１６の
いずれかに記載のスライダ装置。
【請求項１８】前記ヘッドは、データ記憶媒体からデ
ータを読み出すように動作可能な読み出しヘッド、また
はデータ記憶媒体からデータを書き込むように動作可能
な書き込みヘッドのいずれかを含む、請求項１〜１４の
いずれかに記載のスライダ装置。
【請求項１９】データ記憶装置のための作動装置であ
って、請求項１〜１８のいずれかに記載のスライダ装置と、前記スライダ装置の一端に接続されるアームと、アームをピボットポイントを中心として回転させて、前
記スライダ装置をデータ記憶媒体に対して往復移動させ
るように動作可能なモータとを備え、前記モータは、アームを回転させることによって、デー
タ記憶媒体に対する前記ヘッドの位置を調節するように
動作可能であり、前記スライダ装置の前記圧電素子は、
データ記憶媒体に対する前記ヘッドの位置を調節するよ
うに動作可能である、作動装置。
【請求項２０】前記モータおよび前記圧電素子は、互
いに独立して動作可能で、データ記憶媒体に対する前記
ヘッドの位置を変化させる、請求項１９に記載の作動装
置。
【請求項２１】前記モータは、ボイスコイルモータで
ある、請求項１９または２０に記載の作動装置。
【請求項２２】前記作動装置のサーボ帯域幅は、１．
５ｋＨｚより大きい、請求項１９〜２１のいずれかに記
載の作動装置。
【請求項２３】前記作動装置のサーボ帯域幅は、５ｋ
Ｈｚ以上である、請求項１９〜２２のいずれかに記載の
作動装置。
【請求項２４】前記アームは、前記ヘッドに対してお
よび前記ヘッドから前記アームを介して伝わる衝撃およ
び／または振動を軽減する機能を果たす撓み部によっ
て、スライダ装置に接続される、請求項１９〜２３のい
ずれかに記載の作動装置。
【請求項２５】ハードディスクデータ記憶装置であっ
て、磁気データ記憶媒体を保持するプラッタと、請求項１〜１７のいずれかに従属したときの請求項１９
〜２３のいずれかに記載の作動装置と、前記モータを制御するように動作可能な第１の制御回路
と、前記圧電素子を制御するように動作可能な第２の制御回
路と、前記ハードディスクデータ記憶装置からの信号入力およ
び信号出力のための入出力インターフェースとを備え
る、ハードディスクデータ記憶装置。
【請求項２６】請求項２５に記載のハードディスクデ
ータ記憶装置を少なくとも１つ備える、コンピュータシ
ステム。
【請求項２７】スライダ装置を製造する方法であっ
て、スライダ本体と、圧電素子とを形成するステップと、前記圧電素子を前記スライダ本体に取り付けるステップ
と、ヘッドを前記圧電素子上に形成するステップとを含む、
方法。
【請求項２８】スライダ装置を製造する方法であっ
て、スライダ本体と、圧電素子と、ヘッドとを形成するステ
ップと、前記圧電素子を前記スライダ本体に取り付けるステップ
と、前記ヘッドを前記圧電素子に取り付けるステップとを含
む、方法。
【請求項２９】前記圧電素子上に、前記ヘッドへの信
号および／または前記ヘッドからの信号の搬送を行なう
ための相互接続端子を形成するステップをさらに含む、
請求項２７または２８に記載の方法。
【請求項３０】スライダ装置であって、後端と前端とを有し、前記後端には切り欠き部が形成さ
れているスライダ本体と、第１の端部と第２の端部とを有し、概ね「Ｓ」字形状、
概ね「Ｃ」字形状、または概ね螺旋形状となるように形
成されている圧電素子であって、前記第１の端部は、前
記スライダ本体に設けられた取り付けパッドの近傍に接
続して、前記圧電素子の他の部分が前記スライダ本体か
ら自由に浮いたようになっている、圧電素子と、前記圧電素子の前記第２の端部の近傍に取り付けられる
ヘッドとを備え、前記圧電素子は、全体が切り欠き部内に入り込むように
前記スライダ本体に取り付けられる、スライダ装置。