JP2012048793A - 磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、支持部と対向する側の電極層の基端側,先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第1基端側接着剤,電極層用第1先端側接着剤及び電極層用第1内方側接着剤によって支持部に形成された薄肉部位の第1基端側水平壁面,第1先端側水平壁面及び第1内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側の端面及び先端側の端面が第1基端側絶縁性接着剤及び第1先端側絶縁性接着剤によって前記薄肉部位の第1基端側垂直壁面及び第1先端側垂直壁面にそれぞれ固着されている。
【選択図】図5
Description
前記基端側切り欠き部は、サスペンション長手方向先端側を向く基端側垂直面と前記基端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向先端側へ延びて前記開口領域に到達する基端側水平面とを有している。
斯かる構成において、前記第1圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第1内方側垂直壁面との間には第1内方側絶縁性接着剤が充填され、前記第2圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第2内方側垂直壁面との間には第2内方側絶縁性接着剤が充填される。
前記配線体は、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される導体層と、前記導体層を囲繞するカバー層とを有する。
前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含む。
斯かる構成において、前記第1及び第2圧電素子の下面側電極層は前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線と電圧供給用導電性接着剤を介して電気的に接続される。
この場合、前記第1圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第1外方側/基端側薄肉部位及び前記第1外方側/先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第1外方側接着剤によって固着され、且つ、前記第2圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第2外方側/基端側薄肉部位及び前記第2外方側/先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第2外方側接着剤によって固着される。
本発明に係る製造方法は、前記一対の圧電素子を除く前記支持部,前記荷重曲げ部,前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部が一体化されたプリアッセンブリを形成する工程と、前記プリアッセンブリを前記支持部に設けられた前記薄肉部位の水平壁面が上方を向くように配置させた状態で、前記第1基端側水平壁面,前記第1先端側水平壁面,前記第1内方側水平壁面にそれぞれ前記電極層用第1基端側接着剤,前記電極層用第1先端側接着剤及び前記電極層用第1内方側接着剤を塗布してから前記第1圧電素子を載置させ、且つ、前記第2基端側水平壁面,前記第2先端側水平壁面及び前記第2内方側水平壁面に前記電極層用第2基端側接着剤,前記電極層用第2先端側接着剤及び前記電極層用第2内方側接着剤を塗布してから前記第2圧電素子を載置させて、前記各接着剤の硬化を行う工程と、前記第1圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第1基端側垂直壁面及び前記第1先端側垂直壁面との間にそれぞれ前記第1基端側絶縁性接着剤及び前記第1先端側絶縁性接着剤を充填し、且つ、前記第2圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第2基端側垂直壁面及び前記第2先端側垂直壁面との間にそれぞれ前記第2基端側絶縁性接着剤及び前記第2先端側絶縁性接着剤を充填して、前記各接着剤の硬化を行う工程と、前記第1及び第2圧電素子の前記下面側電極層と前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線とを接続するように前記電圧供給用導電性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程とを含む。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図1及び図2に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Aの上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)及び下面図(ディスク面側から見た底面図)を示す。なお、図2における○印は溶接点を示している。
又、図3及び図4に、それぞれ、図1におけるIII-III線及びIV-IV線に沿った断面図を示す。
前記支持部10Aは、例えば、厚さ0.1mm〜0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。
本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30は、平板状の本体部31と、前記本体部31の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部32とを有しており、前記フランジ部32によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部30は、例えば、厚さ0.02mm〜0.1mmのステンレス板によって好適に形成される。
前記突起33は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.05mm〜0.1mm程度突出されている。この突起33は、前記フレクシャ部40におけるヘッド搭載領域43の裏面(ディスク面とは反対側の面)に接触しており、前記荷重はこの突起33を介して前記フレクシャ部40のヘッド搭載領域43に伝達される。
好ましくは、前記一対の板バネ21は、前記磁気ヘッドサスペンション1Aが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ50が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション1Aの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
なお、本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記荷重曲げ部20は前記ロードビーム部30と一体形成されている。
詳しくは、前記フレクシャ部40は、図2に示すように、前記ロードビーム部30及び前記支持部10Aにおける前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域41と、前記本体領域41から先端側へ延びる一対の支持片42と、前記支持片42によって支持された前記ヘッド搭載領域43とを有している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域43の裏面には前記突起33が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域43は前記突起33を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部40は、例えば、厚さ0.01mm〜0.025mm程度のステンレス板によって好適に形成される。
即ち、前記フレクシャ部40は、図2に示すように、前記本体領域41,前記一対の支持片42及び前記ヘッド搭載領域43を一体的に有するフレクシャ金属基板400と、前記フレクシャ金属基板400に積層されたフレクシャ配線体410とを有している。
前記導体層412は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダ50に電気的に接続される信号配線412aを含んでいる。
前記圧電体61は、例えば厚さ0.05mm〜0.3mmとされ、前記電極層62,63は、例えば厚さ0.05μm〜数μmのNiやAuによって形成される。
詳しくは、図5に示すように、前記基端領域11には、前記中央梁16よりサスペンション幅方向一方側及び他方側にそれぞれ第1基端側薄肉部位110(1)及び第2基端側薄肉部位110(2)が形成されている。
本実施の形態においては、前記第1内方側薄肉部位160(1)は、図4及び図5に示すように、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第1内方側垂直壁面160a(1)及び前記第1内方側垂直壁面160a(1)の先端から前記第1間隙19(1)へ延びる前記第1内方側水平壁面160b(1)によって画されている。
本実施の形態においては、前記第2内方側薄肉部位160(2)は、図5に示すように、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第2内方側垂直壁面160a(2)及び前記第2内方側垂直壁面160a(2)の先端から前記第2間隙19(2)へ延びる前記第2内方側水平壁面160b(2)によって画されている。
同様に、前記第2基端側水平壁面110b(2),前記第2内方側水平壁面160b(2)及び前記第2先端側水平壁面120b(2)は前記第2圧電素子60(2)が載置される第2圧電素子用載置面を形成するように連続的に延びている。
斯かる構成によれば、前記薄肉部位及び前記ボス部15をプレス加工によって形成する際の製造作業効率を向上させることができる。
従って、前記各水平壁面が前記ディスク面に対向するように前記各薄肉部位をプレス加工によって形成することにより、前記各薄肉部位及び前記ボス部を同一方向へのプレス加工によって形成することができ、これにより、前記支持部10Aを形成する為の金型の構造簡略化及び前記支持部10Aの製造作業効率の向上を図ることができる。
即ち、前記一対の圧電素子60(1),60(2)の各々は、基端側端面の少なくとも一部が対応する前記基端側垂直壁面110a(1),110a(2)に対向した状態で対応する前記基端側絶縁性接着剤85(1)によって固着され、且つ、先端側端面の少なくとも一部が対応する前記先端側垂直壁面120a(1),120a(2)に対向した状態で対応する前記先端側絶縁性接着剤86(1)によって固着されている。
一方、前記第2圧電素子60(2)は、サスペンション幅方向外方側エッジが最も大きく圧縮し且つサスペンション幅方向内方側エッジが最も小さく圧縮する。
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子60(1),60(2)への電圧供給構造の簡略化を図ることができる。
斯かる構成によれば、前記電圧供給用導電性接着剤80aに含まれるAgフィラー粒子の脱落を有効に防止できる。Agフィラー粒子が前記ディスク面上に脱落すると、前記磁気ヘッドスライダ50のクラッシュの原因となる。
そして、前記電圧供給用導電性接着剤80aを囲繞するように前記絶縁性接着剤80bを塗布して硬化(キュアー)を行う。
・全体構成
ボス部の中心からディンプルの中心までの距離:11.0mm
・支持部
材質:ステンレス
薄肉部位以外の領域の板厚:0.15mm
薄肉部位の板厚:0.07mm
・圧電素子
圧電体の材質:PZT(チタン酸ジリコン酸鉛)
長さ:1.7mm
板厚:0.06mm
・ロードビーム部
材質:ステンレス
板厚:0.03mm
フランジ部のサスペンション長手方向中心線に対する傾斜角:11deg
フランジ部の高さ:0.25mm
フランジ部の本体部に対する傾斜角:70deg
・荷重曲げ部
材質:ステンレス
板厚:0.03mm
幅:0.65mm
・フレクシャ部
フレクシャ金属基板の材質:ステンレス
フレクシャ金属基板の板厚:0.02mm
図6(c)に、前記比較例に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の断面図であって、図6(b)に対応した断面図を示す。
なお、スライダ変位特性とは、前記一対の圧電素子60(1),60(2)に電圧1Vを印可した際における前記磁気ヘッドスライダ50の先端のシーク方向変位量を意味する。
曲げ一次モードの共振周波数に関する解析結果を図9に示す。
捩れ一次モード及び捩れ二次モードの共振周波数に関する解析結果を図10(a)び(b)にそれぞれ示す。
SWAYモードの共振周波数に関する解析結果を図11に示す。
即ち、前記一対の圧電素子60(1),60(2)に電圧を印可して前記先端領域12を前記基端領域11に対してシーク方向へ変位させる際において前記一対の圧電素子60(1),60(2)はサスペンション幅方向内方側エッジの伸縮動作量が最も小さくなる。
従って、前記一対の圧電素子60(1),60(2)のサスペンション幅方向内方側エッジを前記中央梁16に固着させたとしても、スライダ変位特性は実質的に悪化することは無い。
即ち、比較例においては、前記一対の圧電素子60(1),60(2)は先端側及び基端側だけが前記先端領域12及び前記基端領域11に支持されているのに対し、実施例においては、前記一対の圧電素子60(1),60(2)は先端側及び基端側が前記先端領域12及び前記基端領域11に支持されていることに加えてサスペンション幅方向内方側が前記中央梁16に支持されている。
即ち、前記一対の圧電素子60(1),60(2)による前記磁気ヘッドスライダ50の微動を可能とする為には、前記支持部10Aのうち前記先端領域12と前記基端領域11との間に位置する領域の剛性を弱める必要がある。
斯かる理由により、前記実施例は、前記比較例に比して、曲げ一次モード,捩れ二次モード及びSWAYモードの共振周波数を上昇させ得ると解される。
前記第2解析においては、図1及び図2に示す形状を有し且つ下記寸法を有する磁気ヘッドサスペンションを用いた。
・全体構成
ボス部の中心からディンプルの中心までの距離:11.0mm
・支持部
材質:ステンレス
薄肉部位以外の領域の板厚:0.15mm
薄肉部位の板厚:0.07mm
・圧電素子
圧電体の材質:PZT(チタン酸ジリコン酸鉛)
長さ:1.7mm
幅:1.7mm
板厚:0.06mm
・ロードビーム部
材質:ステンレス
板厚:0.03mm
フランジ部のサスペンション長手方向中心線に対する傾斜角:11deg
フランジ部の高さ:0.25mm
フランジ部の本体部に対する傾斜角:70deg
・荷重曲げ部
材質:ステンレス
板厚:0.03mm
幅:0.65mm
・フレクシャ部
フレクシャ金属基板の材質:ステンレス
フレクシャ金属基板の板厚:0.02mm
なお、図13の横軸は、前記圧電素子60(1),60(2)の幅Wに対する前記重合部分のサスペンション幅方向長さbの割合、即ち、b/W×100(%)としている。
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
又、図16及び図17に、それぞれ、図14におけるXVI-XVI線及びXVII-XVII線に沿った断面図を示す。
さらに、図18に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Bにおける支持部10Bの下面図を示す。なお、図18においては、前記一対の圧電素子60を二点鎖線で示し、薄肉部分にハッチングを付している。
又、図中、前記実施の形態1におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
斯かる構成においては、好ましくは、図18に示すように、前記一対の連結梁14の一方を全体的に薄肉化して、前記第1基端側薄肉部位110(1),前記第1内方側薄肉部位160(1),前記第1先端側薄肉部位120(1),第1外方側/基端側薄肉部位170(1)及び第1外方側/先端側薄肉部位175(1)と共に単一の薄肉領域を形成することができる。
この好ましい構成によれば、前記薄肉部位の形成容易化を図ることができる。
10A,10B,10B’ 支持部
11 基端領域
12 先端領域
14 連結梁
16 中央梁
19 間隙
19(1),19(2) 第1及び第2間隙
20 荷重曲げ部
30 ロードビーム部
40 フレクシャ部
50 磁気ヘッドスライダ
60(1),60(2) 第1及び第2圧電素子
62 下面側電極層
63 上面側電極層
80a 電圧供給用導電性接着剤
80b 絶縁性接着剤
81(1) 電極層用第1基端側接着剤
82(1) 電極層用第1先端側接着剤
83(1) 電極層用第1内方側接着剤
85(1) 第1基端側絶縁性接着剤
86(1) 第1先端側絶縁性接着剤
87(1) 第1内方側絶縁性接着剤
110(1) 第1基端側薄肉部位
110a(1) 第1基端側垂直壁面
110b(1) 第1基端側水平壁面
110(2) 第2基端側薄肉部位
110a(2) 第2基端側垂直壁面
110b(2) 第2基端側水平壁面
120(1) 第1先端側薄肉部位
120a(1) 第1先端側垂直壁面
120b(1) 第1先端側水平壁面
120(2) 第2先端側薄肉部位
120a(2) 第2先端側垂直壁面
120b(2) 第2先端側水平壁面
160(1) 第1内方側薄肉部位
160a(1) 第1内方側垂直壁面
160b(1) 第1内方側水平壁面
160(2) 第2内方側薄肉部位
160a(2) 第2内方側垂直壁面
160b(2) 第2内方側水平壁面
170(1) 第1外方側/基端側薄肉部位
170(2) 第2外方側/基端側薄肉部位
175(1) 第1外方側/先端側薄肉部位
175(2) 第2外方側/先端側薄肉部位
400 フレクシャ金属基板
410 フレクシャ配線体
411 絶縁層
412 導体層
412a 信号配線
412b 電圧供給配線
413 カバー層
413a 開口
CL サスペンション長手方向中心線
Claims (13)
- 磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第1及び第2圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に間隙を介して離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記間隙を前記第1及び第2圧電素子にそれぞれ対応したサスペンション幅方向一方側及び他方側の第1及び第2間隙に分割するようにサスペンション幅方向中央において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する中央梁とを有し、
前記基端領域には、前記中央梁よりサスペンション幅方向一方側に設けられた第1基端側薄肉部位であって、前記ディスク面と対向する下面又は前記ディスク面とは反対側の上面の何れか一方側の第1面から他方側の第2面へ向けて延びる第1基端側垂直壁面及び前記第1基端側垂直壁面の先端から前記第1間隙へ延びる第1基端側水平壁面によって画される第1基端側薄肉部位と、前記中央梁よりサスペンション幅方向他方側に設けられた第2基端側薄肉部位であって、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第2基端側垂直壁面及び前記第2基端側垂直壁面の先端から前記第2間隙へ延びる第2基端側水平壁面によって画される第2基端側薄肉部位とが形成され、
前記先端領域には、前記中央梁よりサスペンション幅方向一方側に設けられた第1先端側薄肉部位であって、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第1先端側垂直壁面及び前記第1先端側垂直壁面の先端から前記第1間隙へ延びる第1先端側水平壁面によって画される第1先端側薄肉部位と、前記中央梁よりサスペンション幅方向他方側に設けられた第2先端側薄肉部位であって、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第2先端側垂直壁面及び前記第2先端側垂直壁面の先端から前記第2間隙へ延びる第2先端側水平壁面によって画される第2先端側薄肉部位とが形成され、
前記中央梁には、前記第1基端側水平壁面及び前記第1先端側水平壁面の間をつなげる第1内方側水平壁面を有する第1内方側薄肉部位と、前記第2基端側水平壁面及び前記第2先端側水平壁面の間をつなげる第2内方側水平壁面を有する第2内方側薄肉部位とが形成され、
前記第1圧電素子は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部と対向する側の電極層の基端側,先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第1基端側接着剤,電極層用第1先端側接着剤及び電極層用第1内方側接着剤によって前記第1基端側水平壁面,前記第1先端側水平壁面及び前記第1内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側の端面及び先端側の端面が第1基端側絶縁性接着剤及び第1先端側絶縁性接着剤によって前記第1基端側垂直壁面及び前記第1先端側垂直壁面にそれぞれ固着されており、
前記第2圧電素子は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部と対向する側の電極層の基端側,先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第2基端側接着剤,電極層用第2先端側接着剤及び電極層用第2内方側接着剤によって前記第2基端側水平壁面,前記第2先端側水平壁面及び前記第2内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側の端面及び先端側の端面が第2基端側絶縁性接着剤及び第2先端側絶縁性接着剤によって前記第2基端側垂直壁面及び前記第2先端側垂直壁面にそれぞれ固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。 - 前記第1内方側薄肉部位は、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第1内方側垂直壁面及び前記第1内方側垂直壁面の先端から前記第1間隙へ延びる前記第1内方側水平壁面によって画され、
前記第2内方側薄肉部位は、前記第1面から前記第2面へ向けて延びる第2内方側垂直壁面及び前記第2内方側垂直壁面の先端から前記第2間隙へ延びる前記第2内方側水平壁面によって画され、
前記第1圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第1内方側垂直壁面との間には第1内方側絶縁性接着剤が充填され、前記第2圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第2内方側垂直壁面との間には第2内方側絶縁性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記一対の圧電素子の各々のサスペンション幅方向長さをWとした場合に、前記第1及び第2内方側水平壁面の各々と対応する前記圧電素子とは0.18×W以下の範囲で重合していることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記電極層用第1基端側接着剤,前記電極層用第1先端側接着剤及び前記電極層用第1内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第1圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層が前記導電性接着剤を介して前記支持部に電気的に接続されることで接地電位とされ、
前記電極層用第2基端側接着剤,前記電極層用第2先端側接着剤及び前記電極層用第2内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第2圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層が前記導電性接着剤を介して前記支持部に電気的に接続されることで接地電位とされていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記ディスク面と対向する下面が前記第1面とされ、前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が前記支持部と対向する側の電極層とされていることを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有し且つ前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される配線体とを備え、
前記配線体は、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される導体層と、前記導体層を囲繞するカバー層とを有し、
前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、
前記第1及び第2圧電素子の下面側電極層が前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線と電圧供給用導電性接着剤を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項5に記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記第1及び第2圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側のエッジのうち前記先端領域及び前記基端領域に載置される部分を除く部分がフリーとされていることを特徴とする請求項1から6の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 前記支持部は、前記第1圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第1基端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記先端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第1外方側/基端側薄肉部位と、記第2圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第2基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記先端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第2外方側/基端側薄肉部位とをさらに含み、
前記第1圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第1外方側/基端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第1外方側接着剤によって固着され、
前記第2圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第2外方側/基端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第2外方側接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記支持部は、前記第1圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第1先端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第1外方側/先端側薄肉部位と、前記第2圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第2先端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第2外方側/先端側薄肉部位とをさらに含み、
前記第1圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第1外方側/先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第1外方側接着剤によって固着され、
前記第2圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第2外方側/先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第2外方側接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記支持部は、前記第1圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第1基端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画される第1外方側/基端側薄肉部位と、前記第1圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第1先端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記第1外方側/基端側薄肉部位との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置された第1外方側/先端側薄肉部位と、前記第2圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第2基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画される第2外方側/基端側薄肉部位と、前記第2圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第2先端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記第2外方側/基端側薄肉部位との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置された第2外方側/先端側薄肉部位とをさらに含み、
前記第1圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第1外方側/基端側薄肉部位及び前記第1外方側/先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第1外方側接着剤によって固着され、
前記第2圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第2外方側/基端側薄肉部位及び前記第2外方側/先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第2外方側接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 - 前記支持部は、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁を有していることを特徴とする請求項1から10の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
- 請求項6に記載の磁気ヘッドサスペンションを製造する方法であって、
前記一対の圧電素子を除く前記支持部,前記荷重曲げ部,前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部が一体化されたプリアッセンブリを形成する工程と、
前記プリアッセンブリを前記各薄肉部位の水平壁面が上方を向くように配置させた状態で、前記第1基端側水平壁面,前記第1先端側水平壁面,前記第1内方側水平壁面にそれぞれ前記電極層用第1基端側接着剤,前記電極層用第1先端側接着剤及び前記電極層用第1内方側接着剤を塗布してから前記第1圧電素子を載置させ、且つ、前記第2基端側水平壁面,前記第2先端側水平壁面及び前記第2内方側水平壁面に前記電極層用第2基端側接着剤,前記電極層用第2先端側接着剤及び前記電極層用第2内方側接着剤を塗布してから前記第2圧電素子を載置させて、前記各接着剤の硬化を行う工程と、
前記第1圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第1基端側垂直壁面及び前記第1先端側垂直壁面との間に、それぞれ、前記第1基端側絶縁性接着剤及び前記第1先端側絶縁性接着剤を充填し、且つ、前記第2圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第2基端側垂直壁面及び前記第2先端側垂直壁面との間に、それぞれ、前記第2基端側絶縁性接着剤及び前記第2先端側絶縁性接着剤を充填して、前記各接着剤の硬化を行う工程と、
前記第1及び第2圧電素子の前記下面側電極層と前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線とを接続するように前記電圧供給用導電性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。 - 前記電圧供給用導電性接着剤の硬化を行った後に、前記電圧供給用導電性接着剤を囲繞するように絶縁性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程を含むことを特徴とする請求項12に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
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