JP2002251854A - 磁気ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電素子の一方の電極層とロードビームとの
絶縁を確保して正確なトラッキング動作を行うことが可
能な磁気ヘッド装置を提供する。 【解決手段】 スライダ２１を支持する弾性支持部材１
１と、弾性支持部材１１上に搭載された圧電素子１２，
１３とが備えられ、圧電素子１２、１３は圧電体層１２
ａ、１３ａと電極層１２ｂ…からなる磁気ヘッド装置１
０であり、弾性支持部材１１は、固定基端部１１ａと固
定基端部１１ａに対して揺動自在な揺動部１１ｂとから
構成され、圧電素子１２，１３が固定基端部１１ａと揺
動部１１ｂとを掛け渡すように配置され、かつ圧電素子
１２，１３と固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂとが粒
径１０μｍ以上のフィラーを含む接着樹脂により接合さ
れてなることを特徴とする磁気ヘッド装置１０を採用す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子を備えた
磁気ヘッド装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４は、ハードディスク装置の例を示す
平面図である。このハードディスク装置は、円盤状の磁
気ディスク１０１と、スピンドルモータ１０２と、キャ
リッジ１０３と、ロードビーム１０４と、スライダ１０
５と、ボイスコイルモータ１０６が備えられている。磁
気ヘッド装置は、ロードビーム１０４とスライダ１０５
から概略構成されている。円盤状の磁気ディスク１０１
は、スピンドルモータ１０２によって回転駆動されるよ
うになっている。また、剛性を有するキャリッジ１０３
の先端部１０３ａに支持部材であるロードビーム１０４
が連結され、ロードビーム１０４の先端１０４ａにはフ
レキシャ（図示せず）を介してスライダ１０５が取り付
けられている。ロードビーム１０４は、板ばね材料によ
り形成されている。ロードビーム１０４の基端部１０４
ｂは、キャリッジ１０３上に固定される固定部であり、
ロードビーム１０４の先端部１０４ａがスライダ１０５
を支持している。

【０００３】キャリッジ１０３及びロードビーム１０４
は、ボイスコイルモータ１０６により、磁気ディスク１
０１の半径方向に駆動され、スライダ１０５に搭載され
た再生素子及び記録素子を任意の記録トラック上に移動
させるシーク動作、並びに前記再生素子及び記録素子の
位置を記録トラックの中心線上に保たせるように微調整
するトラッキング動作が行なわれる。

【０００４】磁気ディスク１０１の記録密度が向上して
いくにつれて、トラッキング動作の精度も向上させる必
要がある。そこで最近では、ロードビーム上に微動アク
チュエータを搭載し、ロードビームの先端部のみを動か
してトラッキング動作を行わせる方法が提案されてい
る。

【０００５】図５は微動アクチュエータである圧電素子
を搭載したロードビームの斜視図である。また図６は、
図５の要部を示す断面図である。このロードビーム１１
１は、ステンレスの板ばね材によって形成されており、
キャリッジによって保持される固定基端部１１１ａと固
定基端部１１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動部
１１１ｂとを有している。固定基端部１１１ａの前端部
両脇には、固定基端部１１１ａの長手方向に延びる腕部
１１１ｃ，１１１ｃが形成されている。また、揺動部１
１１ｂは弾性支持部１１１ｄ，１１１ｄを介して、腕部
１１１ｃ，１１１ｃに連結されている。揺動部１１１ｂ
と固定基端部１１１ａ上には、圧電素子１１２、１１３
が空隙部１１１ｅ上に架け渡されて設置されている。圧
電素子１１２、１１３は、圧電材料からなるチタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体層１１２ａ、１１
３ａと、これら圧電体層１１２ａ、１１３ａの上下層に
それぞれ成膜された金膜等からなる電極層１１２ｂ、１
１２ｃ、１１３ｂ、１１３ｃとから構成されている。そ
して図６に示すように、圧電素子１１２，１１３の電極
層１１２ｃ、１１３ｃと揺動部１１１ｂ及び固定基端部
１１１ａとが、接着樹脂１１５により接合されている。

【０００６】また、ロードビーム１１１には図示しない
アースが接続されている。そして、図５及び図６に示す
ように、圧電素子１１２、１１３の電極層１１２ｂ、１
１３ｂが金線１１４ａ、１１４ａを介してロードビーム
１１１に電気的に接続されることで、圧電素子１１２，
１１３がアースに接続されている。また図６に示すよう
に、電極層１１２ｃ、１１３ｃには金線ワイヤ１１４
ｂ、１１４ｂが接続されており、この金線ワイヤ１１４
ｂは端子１１４ｃにおいて図示しない制御回路に接続さ
れている。なお、図５中、符号１２１は、揺動部１１１
ｂの先端にフレキシャ（図示せず）を介して取付けられ
たスライダである。

【０００７】圧電素子１１２、１１３は、電極層１１２
ｂ、１１２ｃ、１１３ｂ、１１３ｃを介して電圧が加え
られると歪みを発生させる素子である。圧電素子１１
２、１１３の圧電体層１１２ａ、１１３ａは膜厚方向に
分極するが、その分極方向は圧電素子１１２及び１１３
とで逆方向となっている。従って、電極層１１２ｃ、１
１３ｃに同じ電位をかけたときに、一方の圧電素子は長
手方向に伸長し、他方の圧電素子は長手方向に収縮する
という性能がある。その結果、弾性支持部１１１ｄ、１
１１ｄが歪み、揺動部１１１ｂの先端部に取りつけられ
たスライダ１２１の位置が変化する。すなわち、揺動部
１１１ｂの先端部に取りつけられるスライダをトラック
幅方向に動かして、トラッキング動作を行わせることが
可能となる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、圧電素子１
１２，１１３の電極層１１２ｃ、１１３ｃに制御回路か
ら電圧が印加された際、電荷の一部が揺動部１１１ｂ及
び固定基端部１１１ａに漏れると、圧電素子１１２，１
１３の伸張、収縮に不具合が生じ、正確なトラッキング
動作が行えない場合がある。そこで、圧電素子１１２，
１１３の電極層１１２ｃ、１１３ｃが、揺動部１１１ｂ
及び固定基端部１１１ａから完全に絶縁される必要があ
る。

【０００９】具体的には、電極層１１２ｃ、１１３ｃ
と、揺動部１１１ｂ及び固定基端部１１１ａを接合する
接着樹脂１１５が高絶縁性であることが必要とされる。
従来から接着樹脂１１５として使用されている紫外線硬
化型の接着樹脂は、樹脂自体の絶縁性が高く、１０μｍ
程度の接着樹脂の厚さがあれば、印加電圧300Ｖで1GΩ
以上の絶縁性能が得られる。

【００１０】また、電極層１１２ｃ、１１３ｃの一部に
バリが生じ、このバリが接着樹脂１１５を突き抜けて揺
動部１１１ｂまたは固定基端部１１１ａと接触して絶縁
を確保できないおそれもある。そこで、電極層１１２ａ
２、１１３ａ２と揺動部１１１ｂ及び固定基端部１１１
ａとは、１０μｍ以上の間隔をもって離間していること
が必要とされている。

【００１１】しかし、紫外線硬化型の接着樹脂を用いた
場合、接着樹脂をロードビーム１１１に塗布してから紫
外線照射による硬化処理を行う間に、圧電素子１１２，
１１３をロードビーム１１１側に押し当てるため、電極
層１１２ｃ、１１３ｃと揺動部１１１ｂ及び固定基端部
１１１ａとが直接に接してしまう場合があった。即ち、
電極層１１２ｃ、１１３ｃと揺動部１１１ｂ及び固定基
端部１１１ａとの間隔を１０μｍ程度の設計値とした場
合、接着樹脂の塗布から硬化に至るまでの間に１０μｍ
の間隔を維持するのが困難な状況であった。

【００１２】塗布から硬化に至るまでの間に１０μｍの
間隔を維持するために、冶具の利用が考えられるが、係
る場合は高精度な冶具が必要となり、磁気ヘッド装置の
製造工程が複雑化するという問題があった。

【００１３】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、冶具を用いることなく、圧電素子の一方の電
極層とロードビームとの絶縁を確保して正確なトラッキ
ング動作を行うことが可能な磁気ヘッド装置を提供する
ことを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の磁気ヘ
ッド装置は、記録媒体に記録された磁気信号を検出する
再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素
子が設けられたスライダと、前記スライダを支持する弾
性支持部材と、前記弾性支持部材上に搭載され、該弾性
支持部材に歪みを与えて前記スライダの位置を変化させ
る圧電素子とが備えられてなる磁気ヘッド装置であり、
前記圧電素子は圧電体層と該圧電体層を挟む一対の電極
層からなり、前記弾性支持部材は、固定基端部と、該固
定基端部に連結されて前記スライダを支持するとともに
前記圧電素子によって前記固定基端部に対して揺動自在
な揺動部とから構成され、前記圧電素子の前記一方の電
極層が前記固定基端部及び前記揺動部の側に対向した状
態で、前記圧電素子が前記固定基端部と前記揺動部とを
掛け渡すように配置され、かつ前記圧電素子と前記固定
基端部及び前記揺動部とが粒径１０μｍ以上のフィラー
を含む接着樹脂により接合されてなることを特徴とす
る。

【００１５】係る磁気ヘッド装置によれば、圧電素子と
弾性支持部材とが粒径１０μｍ以上のフィラーを含む接
着樹脂により接合されており、このフィラーが圧電素子
と弾性支持部材のスペーサとしての役割を果たすので、
圧電素子と弾性支持部材とを常に１０μｍ以上の間隔を
もって離間させることができ、圧電素子と弾性支持部材
との絶縁を確保することが可能になる。これにより、圧
電素子への印加電圧が弾性支持部材に漏れることがな
く、圧電素子の伸張、収縮が正常に行われて、正確なト
ラッキング動作を行うことが可能になる。

【００１６】尚、上記フィラーの粒径は１０μｍ以上７
０μｍ以下の範囲が好ましく、１０μｍ以上５０μｍ以
下の範囲がより好ましい。

【００１７】また、本発明の磁気ヘッド装置は、先に記
載の磁気ヘッド装置であって、前記接着樹脂に含まれる
前記フィラーの添加量が５〜４０重量％の範囲であるこ
とを特徴とする。係る磁気ヘッド装置によれば、フィラ
ーの添加量が５重量％以上なので、スペーサとしての機
能を充分に果たすことができ、また添加量が４０重量％
以下であるので、硬化前の接着樹脂の流動性を高くして
接着樹脂の操作性を向上させることができる。

【００１８】更に、本発明の磁気ヘッド装置は、先に記
載の磁気ヘッド装置であって、前記フィラーの形状が球
状あるいは非球状であることを特徴とする。係る磁気ヘ
ッド装置によれば、フィラーの形状が球状かつ粒度分布
の範囲が狭いものであれば、圧電素子と弾性支持部材と
の間隔を一定にしやすく、かつ硬化前の流動性を損なわ
ず、接着樹脂の操作性を良好に保ちことができる。ま
た、フィラーの形状が非球状であれば、球状フィラーに
比べて安価であるため、コストを低く抑えることがで
き、またフィラーの添加量を少なくすることで、硬化前
の接着樹脂の流動性を保つことが可能である。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態の磁気
ヘッド装置が備えられたハードディスク装置の例を示す
平面図である。図２は、本実施の形態の磁気ヘッド装置
の斜視図である。図３は、図２のＡ-Ａ’線に沿う拡大
断面図である。

【００２０】図１に示すハードディスク装置には、円盤
状の磁気ディスク１と、磁気ディスク１を回転駆動する
スピンドルモータ２と、キャリッジ３と、弾性支持部材
であるロードビーム１１と、スライダ２１と、ボイスコ
イルモータ６とが備えられている。なお、ロードビーム
１１は、剛性支持部材であるキャリッジ３の先端部３ａ
に連結されて支持されている。キャリッジ３の基端部３
ｂにはボイスコイルモータ６が取りつけられている。そ
して本発明に係る磁気ヘッド装置１０は、ロードビーム
１１とスライダ２１とから概略構成されている。

【００２１】スライダ２１は、セラミック材料により形
成されており、ロードビーム１１の先端に取り付けら
れ、スライダ２１のトレーリング側端面Ｔには図２に示
されるごとく薄膜素子２１ａが設けられている。また、
スライダ２１の記録媒体との対向面側には、ＡＢＳ面
（浮上面）が形成されている。

【００２２】図２に示す薄膜素子２１ａは、記録媒体に
記録された磁気記録信号を再生する再生素子（ＭＲヘッ
ド）と、記録媒体に磁気信号を記録する記録素子（イン
ダクティブヘッド）との双方を含む、いわゆる複合型薄
膜素子である。再生素子は、例えばスピンバルブ膜に代
表される磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と磁
性材料のシールド層とを有して構成され、また記録素子
は、磁性材料のコアとコイルとがパターン形成された構
成となっている。

【００２３】スライダ２１を支持する弾性支持部材であ
るロードビーム１１は、図２に示すように圧電素子１
２、１３を搭載したものである。このロードビーム１１
は、ステンレスの板ばね材によって形成されており、キ
ャリッジ３によって保持される固定基端部１１ａとこの
固定基端部１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動部
１１ｂとを有している。固定基端部１１ａの前端部両脇
には、固定基端部１１ａの長手方向に延びる腕部１１
ｃ，１１ｃが形成されている。また、揺動部１１ｂは弾
性支持部１１ｄ，１１ｄを介して腕部１１ｃ，１１ｃに
連結されている。

【００２４】さらに、揺動部１１ｂと固定基端部１１ａ
上に、圧電素子１２、１３が空隙部１１ｅ上に架け渡さ
れて設置されている。圧電素子１２、１３は、図２及び
図３に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸
チタン酸鉛）等の圧電材料を主体とする圧電体層１２
ａ、１３ａと、この圧電体層１２ａ、１３ａを挟む一対
の電極層１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃとから構成さ
れている。

【００２５】図３により圧電素子１２，１３とロードビ
ームとの接合構造を更に詳細に説明すると、揺動部１１
ｂの空隙部１１ｅ側には切欠部１１ｆが設けられ、また
固定基端部１１ａの空隙部１１ｅ側にも切欠部１１ｇが
設けられている。そして圧電素子１２は、電極層１２ｃ
が切欠部１１ｆ、１１ｇ側、即ち固定基端部１１ａ及び
揺動部１１ｂ側に向いた状態で、切欠部１１ｆ、１１ｇ
に掛け渡されて配置されている。更に切欠部１１ｆ、１
１ｇにはフィラーを含む接着樹脂１５が塗布されてお
り、圧電素子１２はこの接着樹脂１５を介して切欠部１
１ｆ、１１ｇに接合されている。尚、図３には圧電素子
１２のみを示しているが、もう一つの圧電素子１３の接
合構造も図３に示す構造とほぼ同一である。

【００２６】図２に示すロードビーム１１はアースに接
続されている。圧電素子１２、１３の電極層１２ｂ、１
３ｂは、金線ワイヤ１４ａを介してロードビーム１１に
電気的に接続されることによりアースと接続されてい
る。尚、電極層１２ｂ、１３ｂとロードビーム１１とを
電気的に接続できるものであれば、金線ワイヤ１４ａに
限られず、導電性ペースト等を用いても良い。また図３
に示すように、電極層１２ｃ、１３ｃは、空隙部１１ｅ
を貫通する金線ワイヤ１４ｂに接続されており、金線ワ
イヤ１４ｂは端子１４ｃにおいて図示しない制御回路に
接続されている。

【００２７】圧電素子１２，１３を固定基端部１１ａ及
び揺動部１１ｂに接合する接着樹脂１５は、粒径１０μ
ｍ以上のフィラーを含むものが好ましい。フィラーとし
ては、ガラスビーズ、シリカゲル、球状シリカ等の無機
系フィラーや、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂等の有
機系フィラーを例示できる。またフィラーは絶縁性のも
のが好ましい。また接着樹脂１５自体の具体例として
は、紫外線硬化性のエポキシ系接着樹脂やアクリル系接
着樹脂を例示できる。粒径１０μｍ以上のフィラーを含
む接着樹脂１５が圧電素子１２，１３と固定基端部１１
ａ及び揺動部１１ｂの間に配置されることにより、フィ
ラーが圧電素子１２，１３と固定基端部１１ａ及び揺動
部１１ｂのスペーサとしての役割を果たし、圧電素子１
２，１３と固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂとを常に
１０μｍ以上の間隔をもって離間させることができ、電
極層１２ｃ、１３ｃと固定基端部１１ａ及び揺動部１１
ｂとの絶縁を確保することが可能になる。

【００２８】フィラーの粒径は、１０μｍ以上７０μｍ
以下の範囲が好ましく、１０μｍ以上５０μｍ以下の範
囲がより好ましい。フィラーの粒径が１０μｍ未満であ
ると、圧電素子１２，１３と固定基端部１１ａ及び揺動
部１１ｂとの絶縁を確保することが困難になるので好ま
しくなく、フィラーの粒径が７０μｍを越えると、接着
樹脂層１５が厚くなって圧電素子１２，１３の変位が接
着樹脂層に吸収されやすくなるため、スライダ２１の変
位量が小さくなる、あるいはスライダ２１への圧電素子
１２，１３の変位の伝達が遅れて適切なトラッキング動
作が行われなくなる、あるいは磁気ヘッド装置の合成が
低くなる、等の製品性能上の問題が発生するので好まし
くない。また、硬化前の接着樹脂１５の流動性が低下す
るため、接着樹脂１５の塗布操作時において、例えばデ
ィスペンサ等で接着樹脂１５を供給する際に吐出時にデ
ィスペンサのノズル詰まりが発生する可能性が高くなる
ので好ましくない。なお、フィラーの粒度分布の幅はで
きるだけ小さいことが好ましい。即ち、フィラーの粒度
がある程度揃っていることが好ましい。例えば、フィラ
ーの平均粒径をＤμｍとした場合、フィラーの粒径の幅
が（Ｄ−（０．４×Ｄ））μｍ〜（Ｄ＋（０．４×
Ｄ））μｍ程度の範囲にあることが好ましい。

【００２９】また、接着樹脂１５へのフィラーの添加量
は５〜４０重量％の範囲が好ましい。フィラーの添加量
が５重量％未満では、スペーサとしての機能を充分に果
たすことができないので好ましくなく、また添加量が４
０重量％を越えると、硬化前の接着樹脂の流動性が低下
し、接着樹脂の操作性が低下するので好ましくない。特
に、フィラーの形状が非球状の場合は、フィラーの添加
量を５〜２０重量％の範囲にすることが好ましい。非球
状のフィラーの添加量が５重量％未満ではスペーサとし
ての機能を充分に果たすことができないので好ましくな
く、添加量が２０重量％を越えると、硬化前の接着樹脂
の流動性が低下して接着樹脂の操作性が低下するので好
ましくない。

【００３０】更に、フィラーの形状が球状かつ粒度分布
の範囲が狭いものであれば、電極層１２ｃ、１３ｃと固
定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂとの間隔を一定にしや
すく、かつ硬化前の接着樹脂１５の流動性を損なわず、
接着樹脂１５の操作性を良好に保ちことができる。ま
た、フィラーの形状が非球状であれば、球状フィラーに
比べて安価であるため、コストを低く抑えることがで
き、またフィラーの添加量を少なくすることで、硬化前
の接着樹脂の流動性を保つことが可能になる。

【００３１】圧電素子１２、１３は、電極層１２ｂ、１
２ｃ、１３ｂ、１３ｃに電圧が加えられると、歪みを発
生させる素子である。電圧の印加により、圧電素子１
２、１３の圧電体層１２ａ、１３ａは膜厚方向に分極す
るが、その分極方向は圧電素子１２、１３とで逆方向に
なっている。従って、電極層１２ｃ、１３ｃに、金線ワ
イヤ１４ｂを介して同じ電位をかけたときに、一方の圧
電素子は長手方向に伸長し、他方の圧電素子は長手方向
に収縮する。

【００３２】その結果、弾性支持部１１ｄ，１１ｄが歪
み、揺動部１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ２
１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１ｂの先端部
に取りつけられたスライダ２１をトラック幅方向（図２
中、両矢印方向）に動かして、トラッキング動作を行わ
せることが可能となる。

【００３３】上記の磁気ヘッド装置１０によれば、圧電
素子１２，１３とロードビーム１１とが粒径１０μｍ以
上のフィラーを含む接着樹脂１５により接合されてお
り、このフィラーが圧電素子１２，１３とロードビーム
１１とのスペーサとしての役割を果たすので、圧電素子
１２、１３とロードビーム１１とを常に１０μｍ以上の
間隔をもって離間させることができ、これらの絶縁を確
保することが可能になる。これにより、圧電素子１２，
１３への印加電圧がロードビーム１１に漏れることがな
く、圧電素子１２、１３の伸張、収縮が正常に行われ
て、正確なトラッキング動作を行うことができる。

【００３４】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
磁気ヘッド装置によれば、圧電素子と弾性支持部材とが
粒径１０μｍ以上のフィラーを含む接着樹脂により接合
されており、このフィラーが圧電素子と弾性支持部材の
スペーサとしての役割を果たすので、圧電素子と弾性支
持部材とを常に１０μｍ以上の間隔をもって離間させる
ことができ、圧電素子と弾性支持部材との絶縁を確保す
ることができる。これにより、圧電素子への印加電圧が
弾性支持部材に漏れることがなく、圧電素子の伸張、収
縮が正常に行われて、正確なトラッキング動作を行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備え
られたハードディスク装置の例を示す平面図である。

【図２】 本実施の形態の磁気ヘッド装置の斜視図で
ある。

【図３】 図２のＡ-Ａ’線に沿う拡大断面図である。

【図４】 従来のハードディスク装置の例を示す平面
図である。

【図５】 従来の磁気ヘッド装置の斜視図である。

【図６】 図５に示す磁気ヘッド装置の要部を示す拡
大断面図である。

【符号の説明】

１０ 磁気ヘッド装置 １１ ロードビーム（弾性支持部材） １１ａ 固定基端部 １１ｂ 揺動部 １２、１３ 圧電素子 １２ａ、１３ａ 圧電体層 １２ｂ、１３ｂ 電極層 １２ｃ、１３ｃ 電極層（一方の電極層） １５ 接着樹脂 ２１ スライダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA18 CA30 DA04 DA19 EA08 5D096 NN03 NN07

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録媒体に記録された磁気信号を検出
   する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記
   録素子が設けられたスライダと、前記スライダを支持す
   る弾性支持部材と、前記弾性支持部材上に搭載され、該
   弾性支持部材に歪みを与えて前記スライダの位置を変化
   させる圧電素子とが備えられてなる磁気ヘッド装置であ
   り、 前記圧電素子は圧電体層と該圧電体層を挟む一対の電極
   層からなり、前記弾性支持部材は、固定基端部と、該固
   定基端部に連結されて前記スライダを支持するとともに
   前記圧電素子によって前記固定基端部に対して揺動自在
   な揺動部とから構成され、 前記圧電素子の前記一方の電極層が前記固定基端部及び
   前記揺動部の側に対向した状態で、前記圧電素子が前記
   固定基端部と前記揺動部とを掛け渡すように配置され、
   かつ前記圧電素子と前記固定基端部及び前記揺動部とが
   粒径１０μｍ以上のフィラーを含む接着樹脂により接合
   されてなることを特徴とする磁気ヘッド装置。
2. 【請求項２】 前記接着樹脂に含まれる前記フィラー
   の添加量が５〜４０重量％の範囲であることを特徴とす
   る請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
3. 【請求項３】 前記フィラーの形状が球状あるいは非
   球状であることを特徴とする請求項１または請求項２に
   記載の磁気ヘッド装置。