JP2528261B2 - ヘッドの微小移動機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 産業上の利用分野 本発明のヘッドの微小移動機構に関し、特に、記録デ
ィスクの半径方向に走査するヘッドが取り付けられ移動
部材を、その移動部材の一部を強制的に変位させること
により、ヘッドの位置を微調整する微小移動機構に関す
る。

背景技術 近年、コンピュータの外部記憶装置として広く用いら
れている磁気ディスク装置等のディスクファイル装置に
おいては、記憶容量の増大と共に小型化の要求がある。
この要求に応えるために、記録ディスクにおける記録ト
ラックの幅やトラック間隔を狭くした高密度記録の実現
が切望されている。このためには、記録ディスクの改良
が必要である一方、記録ディスクの半径方向に移動する
読み書き用ヘッドの記録トラック上への位置決め精度を
高めることが重要な課題となっている。

図１および図２は、従来の磁気ディスクを使用するハ
ードディスク装置の構成の一例を示すものである。ハー
ドディスク装置には約3600rpmから5400rpm程度で高速回
転するスピンドルＳがあり、このスピンドルＳに複数枚
（例えば10枚）の磁気ディスクＤが所定間隔毎に取り付
けられている。磁気ディスクＤにはその両面にデータが
記録されるようになっており、磁気ディスクへの書き込
み、並びに磁気ディスクからの読み出しは、この磁気デ
ィスクＤ毎にその片面または両面に設けられた磁気ヘッ
ドＨにより行われる。この磁気ヘッドＨの磁気ディスク
Ｄ上の移動は、磁気ヘッド支持機構ASSY、移動部材（ア
クセスアーム、以後単にアームと言う）Ａを備えたアク
チュエータHAにより行われる。磁気ヘッドＨを移動させ
るアクチュエータHAには直進型と揺動型があるが、図１
および図２に示す揺動型の方が使用されることが多い。

揺動型アクチュエータHAには一般に、所定角度内のみ
の回動（揺動）が行え、その回転角度を細かく制御する
ことができる揺動モータSMが使用されている。この揺動
モータSMはステータSTとロータＲとから構成され、ロー
タＲにはスピンドルＳに取り付けられた磁気ディスクＤ
の枚数と同数、あるいは磁気ディスクＤの枚数より１つ
多いか少ない枚数（図では９本）のアームＡが突設され
ている。そして、このアームＡの先端部に磁気ディスク
Ｄを挟むように対向して取り付けられた２つの磁気ヘッ
ドＨを有する磁気ヘッド支持機構ASSYが取り付けられて
いる。

揺動モータSMのロータＲは図２に示すように磁気ディ
スクＤの近傍に設置され、ロータＲから突出したアーム
Ａの先端部に取り付けられた磁気ヘッド支持機構ASSYの
磁気ヘッドＨの移動範囲αが磁気ディスクＤの記録領域
に一致するようになっている。

磁気ヘッド支持機構ASSYにおいて、ヘッドＨのアーム
Ａへの取り付けは、ヘッドＨを磁気ディスクＤに近接さ
せるために、磁気ディスクの方向に磁気ヘッドＨを付勢
する板状の支持ばねを介して行われている。また、この
支持ばねは極めて肉薄であり、アームＡの先端への直接
的な固定が難しい。そこで、アームＡの先端と支持ばね
の基端との間に薄肉の平板状をなす連結板を介装し、こ
の連結板を介して移動部材と支持ばねとを連結する構成
が従来から広く採用されている。

一方、従来の磁気ディスク装置では、複数のヘッドＨ
のディスク上への位置決めを、一般に１個のサーボ位置
決め用ヘッドで位置決めする方式（デディケイテッドサ
ーボ方式）が採用されている。この方式は、磁気ディス
ク中の一枚の片面をサーボ信号が記録されたサーボ面と
し、このサーボ面に対向するヘッドをサーボヘッドとし
て利用するものである。そして、サーボヘッドの読み取
り結果に基づいて揺動モータSMより全てのアームＡを動
作させて、これら夫々に取付けた各一対のヘッドＨを一
括して移動させるのである。

ところが、この方式では、記録密度の向上と共に、各
データヘッド（サーボ位置決め用ヘッド以外のヘッド）
の位置ずれが大きな問題となっている。具体的には、デ
ィスク装置内の発熱や環境温度変化により、ヘッドの相
対的な位置が微小（１μｍのオーダー）にずれ、サーボ
位置決め用ヘッドで指示された信号トラックと記録再生
ヘッドに位置ずれが生じる（サーマルオフトラック）。
このため、最悪の場合は信号の書き込み、読み出しにエ
ラーが生じてしまう。この問題は将来光ディスク装置が
複数ヘッドを採用した時においても起こり得るものであ
る。

この問題を解決する方式として、セクタサーボ方式の
磁気ディスク装置が提案され、実用化されている。この
セクタサーボ方式は、サーボ面以外の各記録面の一部に
もサーボ信号を記録しておき、これをデータヘッドで読
み出し、この信号でデータヘッドの位置ずれを補正する
ものである。

ところが、従来の磁気ヘッド支持機構ASSYは複数のヘ
ッドを個別に移動させる手段を有しておらず、データヘ
ッドの位置ずれの補正はアクチュエータHAへの通電制御
により実施せざるを得ないという問題点があった。一
方、このとき補正の対象となる位置ずれ量は数μｍ程度
であり、この程度のヘッドの移動を前述した通電制御に
より精度良く行うことは難しく、近年における高密度記
録の要求に対応できない難点があった。

また、シリンダ単位で割当てられたデータ領域におい
て、複数のデータヘッドを順次切換えつつ読み書きを行
う場合、この切換え毎にデータヘッドの位置ずれ補正が
必要であり、連続的な読み書き動作が行えない。このた
め、目標とするセクタが再度巡ってくるまで、記録ディ
スクの一回転に必要な10〜15ms程度の待機時間が必要と
なり、スループットを低下させる要因となっていた。

また、アームＡをこれの軸心線に対して線対称をなす
一対のアームにて構成し、各アーム内に電熱線を埋め込
み、これらの電熱線への通電により両アームを各別に伸
縮させて、これらの先端に取付けたヘッドの位置を微調
整し得る構成とした微小移動機構が公知となっている
（USP4,814,908号）が、これは、電熱線への通電により
アームを加熱し、アームを熱膨張により伸縮させるもの
であるため、ヘッドの移動が実際に生じるまでの時間遅
れが大きい難点があり、実用的ではない。

発明の開示 本発明はこのような事情に基づいてなされたものであ
り、ヘッド支持機構の先端部に取り付けられた各データ
ヘッドの位置を、アクチュエータの動作に係わりなく、
簡素な構成にてディスクの半径方向に独立に微小に変化
させることができるようにして、サーマルオフトラック
に対するヘッド位置の補正は、精度よくしかも高応答性
にて実現し得るヘッドの微小移動機構を提供することを
目的とする。上記目的を達成するために、本発明のヘッ
ドの微小移動機構は、記録ディスクに対して情報の読み
書き動作を行うヘッドを、記録ディスク上の所望の記録
トラックに位置決めするために、前記ヘッドを記録ディ
スクの半径方向に移動させるヘッドアクチュエータの一
部に設けられ、前記ヘッドをこのヘッドアクチュエータ
の動作に独立に前記ディスクの半径方向に微小距離だけ
移動させることができるヘッドの微小移動機構であっ
て、このヘッドの微小移動機構は、前記ヘッドアクチュ
エータの一部に隔離されて伸縮あるいは伸縮によって面
内に変位可能に設けられた伸縮領域と、この伸縮領域の
前記ディスクの記録面と実質的に平行な両面又は片面に
固設され、通電に応じて生じるその変形により伸縮領域
を面内に伸長、あるいは面内に収縮させる伸縮部材と、
前記伸縮領域の伸縮方向に一端に連続して設けられ、前
記伸縮領域の伸縮によっても変位しない固定領域と、前
記伸縮領域の伸縮方向の他端に連続して設けられ、前記
伸縮領域の伸縮によって前記ディスクの半径方向に変位
する可動領域と、前記固定領域と前記可動領域、または
可動領域と前記伸縮領域との間に介在し、前記伸縮領域
の伸縮により、前記可動領域を前記ヘッドの移動面内に
てスムーズに変位させる少なくとも１個のヒンジ部とを
備えることを特徴とする。

またこれに加えて、伸縮手段の変形方向が、伸縮領域
の可動領域側端部とヒンジ部とを結ぶ線分と略直交する
向きであること、伸縮領域の可動領域側端部とヒンジ部
との間の直線距離が、ヘッドとヒンジ部との間の直線距
離よりも小さく設定してあること、固定領域、可動領域
及び伸縮領域は、これらを表裏に貫通する長孔のような
空隙により相互に隔離してあること、伸縮領域は、固定
領域と可動領域との間を薄肉化して構成してあること、
伸縮領域の表裏両面の伸縮手段は、伸縮領域の厚さ中心
に対して略線対称をなして配してあること、並びに、ヘ
ッドの移動方向に並列して一対又は複数対の伸縮領域及
び伸縮手段を備えることを夫々特徴とし、更には、一対
又は複数対の伸縮手段が同時に逆向きに変形すること、
伸縮手段がピエゾ素子又は電熱線であること、及び伸縮
領域をピエゾ素子の共通電極としてあることを夫々特徴
とする。

この結果、本発明では、ディスク装置内の発熱や環境
温度変化があっても、ヘッドの相対的な微小位置変化を
補正することができるので、書き込み、読み出しにおけ
るエラーの発生が回避される。

〔図面の簡単な説明〕

図１はヘッドの移動機構を備えた従来のハードディス
ク装置の構成を示す組立斜視図、 図２は従来のハードディスク装置の一例の平面図、 図３は本発明に係るヘッドの微小移動機構を備えたヘ
ッドアクチュエータの平面図、 図4Aは図３のヘッドアクチュエータの構成を示す分解
斜視図、 図4Bは図4Aの伸縮領域の分解斜視図、 図５は図３のヘッドアクチュエータの要部の構成を詳
細に示す拡大平面図、 図６は図５のIII−III線における拡大横断面図、 図7Aは図５のピエゾ素子の電源への接続例を示す図５
のIV−IV線における拡大横断面図、 図7Bは図５のピエゾ素子の電源への別の接続例を示す
図５のIV−IV線における拡大横断面図、 図7Cは図５のピエゾ素子を多層とした場合の、ピエゾ
素子の電極の電源への接続例を示す図５のIV−IV線にお
ける拡大横断面図、 図7Dは図7Cの積層型ピエゾ素子の電極の配置状態を示
す拡大横断面図、 図８は図５の連結板の変位の状態をコンピュータを用
いてシミュレーションしたシミュレーション図、 図９は図３の連結板の変位による支持ばね先端部に取
り付けられたヘッドの変位倍率を説明するモデル図、 図10は本発明の第２の実施例の構成を示す連結板の平
面図、 図11は本発明の第３の実施例の構成を示す連結板の平
面図、 図12は図11の連結板の変位の状態をコンピュータを用
いてシミュレーションしたシミュレーション図、 図13は図11の連結板の空隙に制振部材を充填した変形
実施例を示す平面図、 図14は本発明の第４の実施例の構成を示す連結板の平
面図、 図15Aは本発明の第５の実施例の構成を示すヘッド支
持機構の先端部の平面図、 図15Bは図15Aのヘッド支持機構の側断面図、 図15Cは図15Aのヘッド支持機構に制振材を使用した場
合の側断面図、 図16Aは本発明の第６の実施例の構成を示すヘッド支
持機構の先端部の平面図、 図16Bは図16Aのヘッド支持機構の側断面図、 図16Cは図16Aのヘッド支持機構に制振材を使用した場
合の側断面図、 図17は本発明の第７の実施例の構成を示すヘッド支持
機構の先端部の平面図、 図18は本発明の第８の実施例の構成を示す連結板の平
面図、 図19は図18のＸ−Ｘ線における拡大横断面図、 図20は本発明の第９の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータの平面図、 図21Aは本発明の第10の実施例の構成を示すヘッドア
クチュエータの平面図、 図21Bは図21Aのヘッドアクチュエータの一例の構成を
示す側面図、 図21Cは図21Aのヘッドアクチュエータの別の例の構成
を示す側面図、 図22Aは図21Aのヘッドアクチュエータの変形例を示
し、ヘッドアクチュエータに制振材を使用した場合の取
り付け場所を示すヘッドアクチュエータの平面図、 図22Bは図22Aのヘッドアクチュエータの一例を構成を
示す側面図、 図22Cは図22Aのヘッドアクチュエータの別の例の構成
を示す側面図、 図23Aは本発明の第11の実施例の構成を示すヘッドア
クチュエータの平面図、 図23Bは図23Aのヘッドアクチュエータの一例の構成を
示す側面図、 図24Aは図23Aのヘッドアクチュエータの変形例を示
し、ヘッドアクチュエータに制振材を使用した場合の取
り付け場所を示すヘッドアクチュエータの平面図、 図24Bは図24Aのヘッドアクチュエータの一例の構成を
示す側面図、 図25は本発明の第12の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータの平面図、 図26は本発明の第13の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータの平面図、 図27は本発明の第14の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータとディスクとの関係を示す平面図、および、 図28は本発明の第15の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータディスクとの関係を示す平面図である。

〔発明を実施するための最良の形態〕

以下、本発明の各形態を図面に基づいて各実施例につ
いて説明する。

（第１の実施例） 図３は本発明に係るヘッドの微小移動機構MTを備えた
揺動インライン型ヘッドアクチュエータHAの平面図であ
る。図３において、２は移動部材であるアクセスアーム
であり、このアクセスアーム２は、枢軸６にて回転自在
に枢支されたキャリッジ５の一側が延長されて設けられ
ている。キャリッジ５の他側には、このキャリッジ５の
駆動手段７として、駆動コイル70と磁気回路71とが設け
られている。この駆動手段７により、移動部材２は枢軸
６の回りに所定の角度範囲内にて揺動する。

アクセスアーム２の先端には、連結板１を介して支持
ばね３が取り付けられており、ヘッド４はこの支持ばね
３の先端部に固定されている。このヘッド４は、アクセ
スアーム２の揺動に応じて図示しない記録ディスクの記
録面上に半径方向に移動する。支持ばね３は65〜85μｍ
程度の厚さを有する薄肉の板ばねであり、その先端にピ
ボット支持したヘッド４を自身のばね力により記録面に
向けて付勢し、記録面上にヘッド４を微小な間隔を隔て
て安定的に保持する作用をなすものである。この支持ば
ね３の基端は、スポット溶接により連結板１に固定され
ている。

一方、連結板１にはその略中心位置に固定用の突起16
が設けられており、200〜300μｍ程度の厚さを有するス
テンレス製の平板である。前述のように極めて薄肉であ
る支持ばね３を厚肉のアクセスアーム２に直接的に固定
することが難しいことから、この連結板１は両者の連結
部材として従来から広く用いられている。

図4Aは図３に示した本発明に係るヘッドの微小移動機
構MTを備えた揺動インライン型ヘッドアクチュエータHA
を分解して示すものである。枢軸６には複数のキャリッ
ジ５が取り付けられ、キャリッジ５に突設されたアクセ
スアーム２には通常、２組のヘッド４が連結板１と支持
ばね３を介して取り付けられる。

連結板１のアクセスアーム２への固定は、アクセスア
ーム２に形成された固定用孔2aに、連結板１の裏面に設
けられた突起16を嵌合して接着剤等によって行われる。

連結板１には固定領域、可動領域11、伸縮領域12、ヒ
ンジ部13、および空隙15が設けられている。そして、図
4Bに示すように、伸縮領域12にはその表裏に溝部12aが
設けられており、この溝部12aに伸縮手段であるピエゾ
素子14が固定される。

図５は図３に示した微小移動機構MTの連結板１の取り
付け部分を拡大して示すものである。従って、２はアク
セスアーム、３は支持ばね、10は固定領域、11は可動領
域、12は伸縮領域、13はヒンジ部、14は伸縮手段である
ピエゾ素子、15は空隙、16は連結板はアクセスアーム２
に固定するための突起である。固定領域10はアクセスア
ーム２の先端に、可動領域11は支持ばね３の基端に夫々
固定され、また伸縮領域12は固定領域10と可動領域11と
の間に設けられている。

連結板１は突起16を通る中心線CLに対して線対称に構
成されており、連結板１の表裏を貫通する細幅の複数本
の空隙15も、この中心線CLに対して線対称に配置されて
いる。空隙15の第１のペアは伸縮領域12に沿って平行に
設けられており、その支持ばね３側は２又に分岐されて
いる。空隙15の第２のペアは可動領域11側に設けられて
おり、前述の空隙15の第１のペアの分岐部分に向かい合
う部分と、連結板１と支持ばね３の境界部に平行な部分
とを備えている。そして、空隙15の第１、第２ペアの向
かい合う部分には２つのヒンジ部13が形成され、空隙15
の第２のペアの端部の、中心線CLを挟んで向かい合う部
分にもヒンジ部13が形成されている。

このように本実施例においては、固定領域10と伸縮領
域12とは、空隙15の第１のペアによって隔絶されてお
り、固定領域10と可動領域11とは、空隙15の第２のペア
によって隔絶されている。また、中心線CLに対称に４箇
所、および中心線CLの上に１箇所にヒンジ部13が形成さ
れており、中心線CLに対称な位置にある２組の２個ずつ
のヒンジ部13の間には島部13Aが形成されている。そし
て、中心線CLの上の１箇所のヒンジ部13は、回転ヒンジ
として機能する。可動領域11は、連結板１の面内にて生
じる中央のヒンジ部13の変形により、このヒンジ部13を
回転中心として固定領域10に対して相対回転し得るよう
になっている。中心線CLの両側に位置する他の４つのヒ
ンジ部13は、中央のヒンジ部13とは異なり、固定領域10
に対する可動領域11の回転に際して両者間に生じる両者
間相対位置の変化を、互いに逆向きに生じる面内ねじれ
変形（後述）により吸収する作用をなす。

図６は図５のIII−III線による拡大横断面図、図7Aは
同じくIV−IV線による拡大横断面図である。なお、これ
らの図においては、構成を分かり易くするために、厚さ
方向の長さの拡大率を大きくして示してある。両図に示
す如く、伸縮領域12は、連結板１の一部を他部、即ち固
定領域10及び可動領域11よりも薄肉化して形成され、わ
ずかな外力の作用により連結板１の面内にて容易に伸縮
可能とした領域である。伸縮領域12の表裏両面には、伸
縮手段であるピエゾ素子14が、夫々の両端が固定領域10
及び可動領域11との境界縁に対向するように固定されて
いる。

また、連結板１と伸縮手段であるピエゾ素子14の厚さ
関係はこの図に限定されるものではなく、ピエゾ素子14
を表裏に設けた連結板１の全厚を固定領域10の厚さより
小さくすることも勿論可能である。

なお、薄肉化による伸縮領域12の形成は、空隙15と共
に連結板１の表裏両面からのエッチング、若しくはプレ
ス加工により行い得るが、連結板１は本来、200〜300μ
ｍなる厚さを有する薄肉の板材であるから、伸縮領域12
の薄肉化は必ずしも必要ではない。

この実施例では、伸縮手段としてピエゾ素子14を使用
した例を示したが、伸縮手段14としては、電熱線等、通
電により伸縮変形し得るものであればよい。また、この
実施例では、伸縮手段が連結板１の厚さ方向中心線に対
して線対称となるように伸縮領域12の表裏両面に固定さ
れているが、伸縮手段14は伸縮領域12の片面側にのみ固
定してもよい。更に、伸縮手段14の固定方法としては、
接着、接合、メタライズ、スパッタリング又は蒸着等に
よる直接的な被着が採用される。

ピエゾ素子14の伸縮は、可動領域11側の側縁と中央の
ヒンジ部13とを結ぶ線分と略直交する向きに生じるよう
にしてあり、図３から明らかなように、ピエゾ素子14と
ヒンジ部13との間の直線距離Ｒは、ヒンジ部13とヘッド
４との間の直線距離Ｌよりも小さく設定してある。

中心線CLに対して線対称の位置にあるピエゾ素子14
は、同時に逆向きに変形させるのがよい。ピエゾ素子14
は、図7A中に矢符にて示す方向に、抗電界を越える電界
を生ずる電圧により厚さ方向に分極してある。そして、
連結板１を共通電極として接地し、両ピエゾ素子14の外
側面に電源8,8′から異なる電位を与えると、電源８に
より通電したものは分極方向と逆向きの電界がかかって
長手方向に伸び、電源８′により通電したものは分極方
向と同方向の電界がかかって長手方向に縮む。このと
き、分極方向と逆向きの電界の大きさは抗電界の値に対
して十分小さいものとする。

図7Bは、両ピエゾ素子の表裏両側にピエゾ素子14の外
側面に電源８′から同じ電位を与える場合の構成を示す
ものである。この場合は、矢符にて示す方向に、抗電界
を越える生ずる電圧により厚さ方向に分極してある。そ
して、連結板１は同様に共通電極として接地し、両ピエ
ゾ素子14の外側面に電源８′から同じ電位を与えると、
図面左側のピエゾ素子14には分極方向と逆向きの電界が
かかって長手方向に伸び、図面右側のピエゾ素子14には
分極方向と同方向の電界がかかって長手方向に縮むの
で、図7Aの構成と同じ動作をする。

なお、図7A,7Bではピエゾ素子14の伸縮原理を示すた
めに直流電源8,8′で示したが、電圧はヘッドのずれ量
に応じてオペアンプ回路等により、動的に印加される。

図7Cは、伸縮領域12の表裏両側にピエゾ素子14Aとピ
エゾ素子14Bとからなる積層型ピエゾ素子14′を備える
場合の実施例を示すものである。この場合は、ピエゾ素
子14Aとピエゾ素子14Bの積層面に共通電極14Cが設けら
れ、この共通電極14Cが電源８′に接続され、ピエゾ素
子14Aの外面は伸縮領域12に接続されて接地されてい
る。積層型ピエゾ素子14′としては、ピエゾ素子14の素
子厚は50μｍ程度に減らして２層（多層）にする方法
と、素子厚をそのままにして寸法の許す範囲で多層化す
る方法とがある。前者の方法では、電界が強まって変位
発生力が増し、変位量が増大し、後者の方法では、素子
の断面積が増して変位発生力が増し、変位量が増大す
る。このように、いずれの場合もピエゾ素子14を多層と
することで、単位電圧当たりの変位を大きくすることが
できる。

図7Dは、積層型ピエゾ素子14′における電極配置の具
体的な実施例を示すものである。この実施例の積層型ピ
エゾ素子14′では、ピエゾ素子14Aの外面の大部分に表
面電極14Dが配置され、残りの部分に外部端子14Fが配置
され、ピエゾ素子14Aとピエゾ素子14Bの積層面に内部電
極14Cが配置されている。表面電極14Dはビア14Eによっ
て伸縮領域12に接続されて接地され、外部端子14Fはビ
ア14Eによって内部電極14Cに接続されている。従って、
外部端子14Fが電源８′に接続された状態が図7Cと同じ
状態を示すことになる。

表面電極14Dは、銀ペーストまたは銀蒸着、または銀
パラジウム等で構成される。また、中間電極14Cとビア1
4Eは銀パラジウムの粉末を圧電素子と共に焼成して構成
される。このビア14Eを用いる電極の接続方法は、多層
セラミック基板の分野において公知であるのでこれ以上
の説明を省略する。

図８は、以上の如く構成された本発明に係る微小移動
機構MTの動作をシミュレーションした結果を示す図であ
り、図中の破線は動作前の状態を、実線は動作後の状態
を夫々示しており、また略中央のハッチングを施した部
分は、アクセスアーム２への固定用の突起16である。

図８に示す如く、伸縮領域12に固定された各ピエゾ素
子14に通電がなされると、これに応じて図の上方の伸縮
領域12が伸長すると共に、下方の伸縮領域12が収縮す
る。これに伴って可動領域11は、これと固定領域10とを
連結する中央のヒンジ部13を回転中心として固定領域10
に対して微小角度θだけ相対回転し、この回転により可
動領域11に固定された支持ばね３先端のヘッド４は、固
定領域10に固定されたアクセスアーム２の幅方向中心か
ら所定長さだけ変位する。

このときヘッド４に生じる変位量は、ピエゾ素子14の
可動領域11側の側縁とヒンジ部13との間の直線距離Ｒ
が、ヒンジ部13とヘッド４との間の直線距離Ｌよりも小
さく設定してあることから、ピエゾ素子14の変形量を略
L/R倍に拡大したものとなり、わずかな回転角度θによ
りヘッド４に十分な変位を与えることができる。

これは図９に示したモデル図からも分かるように、回
転軸16に取り付けられた長さＬの棒の長さＲ（＜Ｌ）の
棒が、回転軸16を中心にしてピエゾ素子14によって回転
させられた時に、長さＬの棒の先端部分（ヘッド４）の
移動量が、長さＲの棒の移動量に対して略L/R倍になる
からである。このように、通電に応じて速やかに生じる
ピエゾ素子14の変形により、ヘッド４を微小な移動範囲
内にて精度良く移動させ得るのである。

なお、通電に伴うピエゾ素子14の変形は極めて急峻に
生じ、ヘッド４を微小な移動範囲内にて精度良く移動さ
せることができる。また、伸縮手段14として電熱線を用
いた場合においても、電熱線及び伸縮領域12の熱膨張に
よる伸長がヘッド４の移動に変換され、電熱線及び伸縮
領域12の熱容量が小さいことから、移動部材であるアク
セスアームの一部を熱膨張させる公知の構成に比して、
応答時間の大幅な短縮が可能となる。

（第２の実施例） 図10は本発明の第２の実施例の構成を示す連結板１−
２の平面図である。図10の実施例の連結板１−２が図５
の示した１の実施例の連結板１と異なる点は、６辺形で
あった連結板１を４辺形にし、伸縮領域12を側辺に平行
に配置すると共に、中心線CLに対して幅方向両側に一対
のヒンジ部13のみを設け、中心線CL上のヒンジ部13の取
り去って空隙15を一体化した点である。中心線CLに対し
て幅方向両側の一対のヒンジ部13部の間には島部13Aが
形成されている点は第１の実施例と同じである。従っ
て、この実施例の連結板１−２は、これらの面内ねじれ
により可動領域11の回転を吸収する構成となっている。

（第３の実施例） 図11は本発明の第３の実施例の構成を示す連結板１−
３の平面図である。図11の実施例の連結板１−３が図５
に示した第１の実施例の連結板１と異なる点は、中心線
CL上に幅方向中央の回転ヒンジとして機能するヒンジ部
13を第１の実施例と同様に形成し、中心線CLの両側には
それぞれ１つのヒンジ部13を設けた点である。この結
果、中心線CLの両側に分離されて設けられていた空隙15
が一体化されて略Ｔ字状になり、Ｔの横棒端部と連結板
１−３の両側縁との間に切欠部17が設けられている。

図12は、図11のように構成された連結板１−３の動作
をシミュレーションした結果を示す図であり、図中の破
線は動作前の状態を、実線は動作後の状態を夫々示して
おり、また略中央のハッチングを施した部分は、アクセ
スアーム２への固定用の突起16である。

図12に示す如く、図11の実施例の連結板１−３も第１
実施例に示すものと全く同様の動作をなす。すなわち、
伸縮領域12に固定された各ピエゾ素子14に通電がなされ
ると、これに応じて図の上方の伸縮領域12が伸長すると
共に、下方の伸縮領域12が収縮する。これに伴って可動
領域11は、これと固定領域10とを連結する中央のヒンジ
部13を回転中心として固定領域10に対して微小角度θだ
け相対回転し、この回転により可動領域11に固定された
支持ばね３先端のヘッド４は、固定領域10に固定された
アクセスアーム２の幅方向中心から所定長さだけ変位す
る。

このときヘッド４に生じる変位量は、ピエゾ素子14の
可動領域11側の側縁とヒンジ部13との間の直線距離Ｒ
が、ヒンジ部13とヘッド４との間の直線距離Ｌよりも小
さく設定してあることから、ピエゾ素子14の変形量を略
L/R倍に拡大したものとなり、わずかな回転角度θによ
りヘッド４に十分な変位を与えることができる。

図13は図11に示した連結板１−３の空隙15の中に、制
振部材18の充填した実施例の連結板１−３′を示すもの
である。この制振部材18としては、樹脂等を使用すれば
良い。このように、固定／可動／伸縮の各領域10,11,12
を互いに隔てている空隙15内を制振部材18で満たすと、
各領域間の相対的に振動を低減することができる。

制振部材18による制振効果は高い周波数の振動に対し
てより高いので、伸縮領域12の面内変位を妨げることな
く、伸縮領域12、可動領域11の面外振動を効果的に減衰
させることができる。この結果、振動によるヘッド４の
安定浮上が損なわれる恐れを低減することができる。

（第４の実施例） 図14は本発明の第４の実施例の構成を示す連結板１−
４の平面図であり、図11の実施例の連結板１−３を変形
したものである。図14の実施例の連結板１−４が図11に
示した第３の実施例の連結板１−３と異なる点は、６辺
形であった連結板１−３を４辺形にし、伸縮領域12を側
辺に平行に配置した点のみである。

（第５の実施例） 図15Aは本発明の第５の実施例の構成を示すヘッド支
持機構の先端部の平面図であり、図11の実施例の連結板
１−３を変形した連結板１−５をアクセスアーム２に取
り付けた状態を示すものである。また、図15Bは図15Aの
ヘッド支持機構の側断面図である。この実施例のアクセ
スアーム２には、その両面に連結板１−５を介してヘッ
ド４を支持する支持ばね３が取り付けられている。図15
Aの実施例の連結板１−５が図11に示した第３の実施例
の連結板１−３と異なる点は、連結板１−５上の伸縮領
域12の配置位置が、連結板１−５を取り付けるアクセス
アーム２のアームの方向と一致しており、伸縮領域12の
全体がアームに重なっている点である。

このように、連結板１−５上の伸縮領域12が連結板１
−５を取り付けるアクセスアーム２に重なっていると、
伸縮領域12の面外振動を低減することができる。また、
図15Cに示すように、伸縮領域12とアクセスアーム２と
の間に、制振部材18を設けることにより、面外振動を更
に小さくすることができる。また、変位拡大率L/Rを求
めるL,Rのうち、Ｒを小さくすることができるので、従
来の変位拡大率を７〜８倍から11〜12倍と約50％大きく
することができる。

（第６の実施例） 図16Aは本発明の第６の実施例の構成を示すヘッド支
持機構の先端部の平面図であり、図15Aに示した実施例
の連結板１−５のアクセスアーム２への取り付け状態を
変更した連結板１−６を示すものである。また、図16B
は図16Aのヘッド支持機構の側断面図である。この第６
の実施例では、連結板１−６とアクセスアーム２との固
定が、連結板１−６の後端の２箇所で行われている。こ
の実施例では、アーム２の長さを短くできるので、ヘッ
ドアクチュエータHA全体の可動部分の質量、慣性モーメ
ントを低減できる利点がある。また、図16Cに示すよう
に、アクセスアーム２の両面に取り付けられた連結板１
−６の間に、制振部材18を設けることにより、面外振動
を更に小さくすることができる。この結果、この実施例
でも図15A〜図15Cの実施例と同様に、変位拡大率L/Rを
決めるL,Rのうち、Ｒを小さくすることができるので、
従来の変位拡大率を７〜８倍から11〜12倍と約50％大き
くすることができる。

（第７の実施例） 図17は本発明の第７の実施例の構成を示すヘッド支持
機構の先端部の平面図であり、変位拡大率を大きくした
連結板１−７をアクセスアーム２に取り付けた状態を示
すものである。この実施例では、連結板１−７は中心線
CLに対して線対称な６辺形として形成され、幅方向に対
向する平行な２辺、中心線CL方向に対向する平行な２
辺、およびその幅がアクセスアーム２側で小さくなる２
辺を備えている。そして、連結板１−７の外周部分は全
て可動領域11となっており、この可動領域11の内側に外
周にほぼ沿って第１の空隙15が形成されている。また、
この第１の空隙15が中心線CLと交差する部分に第１のヒ
ンジ部13と第２のヒンジ部13′が形成されている。第１
の空隙15に囲まれた部分にはＶ字状の第２の空隙15′が
形成され、これら第１の第２の空隙15,15′に挟まれた
領域にピエゾ素子14を備えた２つの伸縮領域12が設けら
れている。この伸縮領域12の間隔は、支持ばね３側で広
く、アクセスアーム２側で狭くなっている。

この実施例では、中心線CLの左右の伸縮手段14を矢印
で示すように互いに逆相に伸縮させることにより、第２
のヒンジ部13′での変位はこれらが合成され、下向きの
矢印で示すように拡大された変位を発生する。この変位
の拡大率は約４倍である。この実施例では、更に、第１
のヒンジ部13と第２のヒンジ部13′との距離をＲ、第１
のヒンジ部13とヘッド４との距離をＬとした時に、第２
のヒンジ部13′における変位量がL/R倍される。この実
施例ではＲの長さが既に説明した実施例に比して大きい
ので、変位率L/Rの値を大きくなく、約2.5倍程度であ
る。

しかしながら、この実施例では、前述のように伸縮領
域12の変位量が第２のヒンジ部13′において約４倍に拡
大されているので、トータルとして、伸縮領域12の変位
に対するヘッド４の変位量の拡大率は、４×2.5倍とな
り、合計約10倍の拡大率となる。これは、従来の変位拡
大率である約７倍に比べて約30％の増大量である。この
ように、図17の実施例では、ピエゾ素子14の変位を二段
階に拡大することにより、ヘッド位置で大きい変位を得
ることができる。

（第８の実施例） 図18は本発明の第８の実施例の構成を示す連結板１−
８の平面図を示すものであり、図19は図18のＸ−Ｘ線に
おける拡大横断面図である。

図18に示した実施例における連結板１−８は、図14に
示した第４の実施例の連結板１−４の伸縮領域12の内側
に、もう一組の伸縮領域を設けて変位拡大率の増大を図
ったものである。即ち、第４の実施例の連結板１−４に
おける伸縮領域12がこの実施例では第１の伸縮領域12
a、ヒンジ部13が第１のヒンジ部13a、ピエゾ素子14が第
１のピエゾ素子14、空隙15が第１の空隙15a、切欠部17
が第１の切欠部17aとなっている。10は固定領域、11は
可動領域、16は突起である。

この実施例の連結板１−８では、第１の空隙15aの内
側に、これに平行に第２の空隙15bが形成され、第１と
第２の空隙15a,15bの間の領域が第２の伸縮領域12bとな
って、この部分に第２のピエゾ素子14bが取り付けられ
ている。第２の空隙15bの固定領域10側の端部は２又は
分岐されている。そして、固定領域10の縁部にこの第２
の空隙15bの２又の端部に向かい合う部分には、それぞ
れ第２の空隙17bが設けられており、この対向部分が第
２のヒンジ部13bとなっている。

このように、幅方向両側における第１の伸縮領域12a
と第２の伸縮領域12bとは相互に平行に配置されてお
り、第１の伸縮領域12aの一端が可動領域11に接続さ
れ、他端が第２の伸縮領域12bの一端に連結されてい
る。そして、第２の伸縮領域12bの他端は固定領域10に
連結されている。従って、第１の伸縮領域12aと第２の
伸縮領域12bとは、夫々の伸縮方向に直列に結合されて
固定領域10と可動領域11との間に介在することになる。
よって、この構成においては、固定領域10に対する可動
領域11の回転が、両伸縮領域12a,12bにおける伸長量又
は縮短量の和に相当する角度だけ生じることになり、各
伸縮領域12a,12bの小さな伸縮によってもヘッド４に大
きな変位を生じさせることができる。なお、伸縮領域12
a,12bは、相互に平行をなす配置に限らず、一直線上に
配置してもよい。

図19に矢符にて示す如く、第１のピエゾ素子14aと第
２のピエゾ素子14bとは分極方向が相互に異なるように
配置してある。従って、これら第１のピエゾ素子14aと
第２のピエゾ素子14bとに連結板１−８を共通の接地電
極として共通の電位を印加した場合、第１の実施例にお
ける説明と同様に、第１のピエゾ素子14aと第２のピエ
ゾ素子14bは変位する。すなわち、厚さ方向両側の対応
する第１のピエゾ素子14aと第２のピエゾ素子14bの変形
方向が一致する。この結果、幅方向両側の対応する第１
のピエゾ素子14a及び第２のピエゾ素子14b、並びに、幅
方向両側にて互いに相隣する第１のピエゾ素子14a及び
第２のピエゾ素子14bの変形方向が相互に異たる結果と
なり、各第１のピエゾ素子14a及び第２のピエゾ素子14b
への共通の駆動回路からの通電により、可動領域11は前
述したように両伸縮領域12a,12bにおける伸長量又は縮
短量の和に相当する変位を生じさせることができる。

なお、以上説明した第１から第８の実施例において
は、ヘッド４の支持ばね３をアクセスアーム２に連結す
る連結板１〜１−８に微小移動機構が構成されている
が、この微小移動機構は、支持ばね３の一部、アクセス
アース２の一部、支持ばねを一体化してなるアクセスア
ーム２の一部に構成しても良いものである。よって、こ
れらの実施例について以下に説明する。

（第９の実施例） 図20は本発明の第９の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータHAのステータを除いた部分の平面図である。
この第９の実施例では、微小移動機構MTが支持ばね３の
一部に形成されている。図20に示したヘッドの微小移動
機構MTは、図11で説明した連結板１−３と支持ばね３と
を一体化したものと同等である。

（第10の実施例） 図21Aは本発明の第10の実施例の構成を示すヘッドア
クチュエータHAのステーを除いた部分の平面図である。
この第10の実施例では、微小移動機構MTがアクセスアー
ス２の一部に形成されている。図21Aに示したヘッドの
微小移動機構MTは、図14で説明した連結板１−４とアク
セスアーム２とを一体化したものと同等である。

図21Bは図21AのヘッドアクチュエータHAの一例の構成
を示す側面図であり、これまでの実施例と異なり、１つ
のアクセスアーム２に１つのヘッド４が支持ばね３を介
して取り付けられているものである。この実施例には３
枚の記録ディスク20があり、枢軸６にはキャリッジ５の
上にリングスペーサ９を介して６組のヘッド支持機構が
取り付けられている。各ヘッド支持機構には、ヘッドの
微小移動機構MTが設けられたアクセスアーム２、支持ば
ね３、およびヘッド４があり、アクセスアーム２のヘッ
ドの微小移動機構MTの部分にピエゾ素子14が固定されて
いる。

図21Cは図21Aのヘッドアクチュエータの別の例の構成
を示す側面図である。この実施例では微小移動機構MTが
形成されたアクセスアーム２の先端部の表裏両面に、そ
れぞれ支持ばね３を介してヘッド４が取り付けられてい
る。

図22Aは図21AのヘッドアクチュエータHAの変形例を示
すものであり、この変形例では、ヘッドアクチュエータ
HAに制振部材18が取り付けられる。図22Aにおいて網点
で示す領域が、制振部材18の取り付け場所を示すもので
あり、制振部材18は、アクセスアーム２のヘッドの微小
移動機構MTの変位部分を覆うように取り付けられてい
る。

図22Bは図22AのヘッドアクチュエータHAにおける制振
部材18の取り付け状態の一例の構成を示すものである。
１つのアクセスアーム２に２つのヘッド４が支持ばね３
を介して取り付けられている場合の制振部材18の取り付
けについては、図15C,図16Cにおいては既に説明したの
で、ここでは、１つのアクセスアーム２に１つのヘッド
４が支持ばね３を介して取り付けられている場合の制振
部材18の取り付けについて説明する。この実施例では、
隣合う記録ディスクをアクセスするヘッド支持機構のア
クセスアーム２の間の部分に制振部材18が設けられてい
る。また、両端部のヘッド支持機構には、その外側にダ
ミーアーム19が設けられ、このダミーアーム19とアクセ
スアーム２の間の部分に制振部材18が設けられている。
従って、この実施例では、ヘッドの微小移動機構MTにお
ける面外振動が低減される。

図22Cは図22AのヘッドアクチュエータHAにおける制振
部材18の取り付け状態の別の例の構成を示すものであ
る。この実施例では、隣合う記録ディスクをアクセスす
るヘッド支持機構のアクセスアーム２の、枢軸６への取
り付け基部にリングスペーサ９が設けられておらず、ア
クセスアーム２のキャリッジ５の板厚が大きくされてい
る。この実施例ではリングスペーサ９の個数を減らすこ
とができる。

（第11の実施例） 図23Aは本発明の第11の実施例の構成を示すヘッドア
クチュエータHAのステータを除いた部分の平面図であ
る。この第11の実施例では、微小移動機構MTが支持ばね
一体化してなるアクセスアーム２の一部に形成されてい
る。図23Aに示したヘッドの微小移動機構MTは、図14で
説明した連結板１−４とアクセスアーム２、および支持
ばね３とを一体化したものと同等である。

図23Bは図23AのヘッドアクチュエータHAの一例の構成
を示す側面図であり、この実施例には３枚の記録ディス
ク20があり、枢軸６にはキャリッジ５の上にリングスペ
ーサ９を介して６組のヘッド支持機構が取り付けられて
いる。各ヘッド支持機構は、ヘッドの微小移動機構MTが
設けられた一体化されたアクセスアーム２を備えてお
り、アクセスアーム２の先端部にヘッド４が取り付けら
れている。そして、アクセスアーム２のヘッドの微小移
動機構MTの部分にピエゾ素子14が固定されている。

図24Aは図23AのヘッドアクチュエータHAの変形例を示
すものであり、この変形例では、ヘッドアクチュエータ
HAに制振部材18が取り付けられる。図24Aにおいて網点
で示す領域が、制振部材18の取り付け場所を示すもので
あり、制振部材18は、アクセスアーム２のヘッドの微小
移動機構MTの変位部分を覆うように取り付けられてい
る。

図24Bは図24AのヘッドアクチュエータHAにおける制振
部材18の取り付け状態の一例の構成を示すものである。
この実施例では、隣合う記録ディスクをアクセスするヘ
ッド支持機構のアクセスアーム２の間の部分に制振部材
18が設けられている。また、両端部のヘッド支持機構に
は、その外側にダミーアーム19が設けられ、このダミー
アーム19とアクセスアーム２の間の部分に制振部材18が
設けられている。従って、この実施例では、ヘッドの微
小移動機構MTにおける面外振動が低減される。

（第12,13の実施例） 図25は本発明の第12の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータHAのステータを除いた部分の平面図であり、
図26は本発明の第13の実施例の構成を示すヘッドアクチ
ュエータHAのステータを除いた部分の平面図である。こ
れらの実施例にはそのヘッドの微小移動機構に再び連結
板１が使用されている。図25に示したヘッドの微小移動
機構MTでは、図14で説明した連結板１−４における中心
線CLの上にあるヒンジ部13に取り去って空隙15を連続さ
せた連結板１−４′を使用している。また、図26に示し
たヘッドの微小移動機構MTは、図25で説明した連結板１
−４′における伸縮領域12の固定領域10と可動領域11へ
の取り付けを逆向きにしたものである。

（第14,15の実施例） 最後に、以上説明した実施例では、ヘッドアクチュエ
ータHAを、揺動インライン型ヘッドアクチュエータHAに
ついて説明したが、本発明のヘッドの微小移動機構は、
これまでに説明した揺動インライン型ヘッドアクチュエ
ータHAに限らず、揺動ドッグレッグ型ヘッドアクチュエ
ータHAや、汎用の直進型ヘッドアクチュエータHAにも適
用可能である。

図27は本発明を揺動ドッグレッグ型ヘッドアクチュエ
ータHAに適用した第14の実施例の構成を示すヘッドアク
チュエータHAとディスクとの関係を示す平面図である。
この実施例のヘッドの微小移動機構MTには、図14で説明
した連結板１−４が使用されている。

図28は本発明を汎用の直進型ヘッドアクチュエータHA
に適用した第15の実施例の構成を示すヘッドアクチュエ
ータHAとディスクとの関係を示す平面図である。この実
施例のヘッドの微小移動機構MTには、図14で説明した連
結板１−４が使用されている。

Claims (28)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも１枚の記録ディスク（20）と、
   記録ディスク（20）の情報記録面に対してそれぞれ１つ
   設けられて情報の読み書き動作を行うヘッド（４）と、
   このヘッド（４）を記録ディスク上の所望の記録トラッ
   クに位置決めするために記録ディスクの半径方向に移動
   させるヘッドアクチュエータ（HA）とを備えたディスク
   装置において、前記ヘッドアクチュエータ（HA）の一部
   に設けられて、前記ヘッド（４）をこのヘッドアクチュ
   エータ（HA）の動作と独立に前記ディスクの半径方向に
   微小距離だけ移動させることができるように構成された
   ヘッドの微小移動機構（MT）であって、このヘッドの微
   小移動機構（MT）は、 前記ヘッドアクチュエータ（HA）の一部に、伸長或いは
   収縮によって面内に変位可能に設けられた少なくとも１
   つの伸縮領域（12）と、 この伸縮領域（12）の、前記ディスクの記録面と実質的
   に平行な両面又は片面に固設され、通電に応じて生じる
   その変形により伸縮領域（12）を面内に伸長、あるいは
   面内に収縮させる伸縮部材（14）と、 前記伸縮領域（12）の伸縮方向の一端に連続して設けら
   れ、前記伸縮領域（12）の伸縮によっても変位しない固
   定領域（10）と、 前記伸縮領域（12）の伸縮方向の他端に連続して設けら
   れ、前記伸縮領域（12）の伸縮によって前記磁気ディス
   クの半径方向に変位する可動領域（11）と、 前記固定領域（10）と前記可動領域（11）、または可動
   領域（11）と前記伸縮領域（12）との間に介在し、前記
   伸縮領域（12）の伸縮により、前記可動領域（11）を前
   記ヘッド（４）の移動面内にてスムーズに変位させる少
   なくとも１個のヒンジ部（13）と、 を備えることを特徴とするヘッドの微小移動機構。
2. 【請求項２】請求の範囲１に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記ヘッドアクチュエータ（HA）が、前記
   ヘッド（４）を支持する支持ばね（３）と、アクセスア
   ーム（２）と、これら支持ばね（３）とアクセスアーム
   （２）とを連結する連結板（１）とを備えおり、前記ヘ
   ッドの微小移動機構（MT）が前記連結板（１）に設けら
   れていることを特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求の範囲１に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記ヘッドアクチュエータ（HA）が、前記
   ヘッド（４）を支持する支持ばね（３）と、この支持ば
   ね（３）を取り付けるアクセスアーム（２）とを備えて
   おり、前記ヘッドの微小移動機構（MT）が前記支持ばね
   （３）に設けられていることを特徴とするもの。
4. 【請求項４】請求の範囲１に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記ヘッドアクチュエータ（HA）が、前記
   ヘッド（４）を支持する支持ばね（３）と、この支持ば
   ね（３）を取り付けるアクセスアーム（２）とを備えて
   おり、前記ヘッドの微小移動機構（MT）が前記アクセス
   アーム（２）に設けられていることを特徴とするもの。
5. 【請求項５】請求の範囲４に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記ヘッド微小移動機構（MT）が設けられ
   た１つのアクセスアーム（２）に、２つのヘッド（４）
   が取り付けられていることを特徴とするもの。
6. 【請求項６】請求の範囲１に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記ヘッドアクチュエータ（HA）全体が薄
   板で構成され、その先端部に前記ヘッド（４）が取り付
   けられていることを特徴とするもの。
7. 【請求項７】請求の範囲１〜６の何れか１項に記載のヘ
   ッドの微小移動機構であって、前記固定領域（10）と前
   記伸縮領域（12）との間が、これらを表裏に貫通する空
   隙（15）により相互に隔離されていることを特徴とする
   もの。
8. 【請求項８】請求の範囲７に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記固定領域（10）と前記可動領域（11）
   がヒンジ部（13）を除いてこれらを表裏に貫通する空隙
   （15）により相互に隔離されると共に、前記可動領域
   （11）と前記伸縮領域（12）とが別のヒンジ部（13）に
   よってそれぞれ接続されていることを特徴とするもの。
9. 【請求項９】請求の範囲８に記載のヘッドの微小移動機
   構であって、前記固定領域（10）と前記可動領域（11）
   がヒンジ部（13）を除いてこれらを表裏に貫通する空隙
   （15）により相互に隔離され、前記可動領域（11）と前
   記伸縮領域（12）とが別のヒンジ部（13）によってそれ
   ぞれ接続され、前記伸縮領域（12）の全体もしくは大部
   分が前記連結板（１）が取り付けられるアクセスアーム
   （２）のアームに重なるように配置されていることを特
   徴とするもの。
10. 【請求項１０】請求の範囲７から９の何れか１項に記載
    のヘッドの微小移動機構であって、前記可動領域（11）
    と前記伸縮領域（12）の接続部と、前記固定領域（10）
    とが島部を挟む２つのヒンジ部（13）によって接続され
    ていることを特徴とするもの。
11. 【請求項１１】請求の範囲10に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、前記可動領域（11）と前記固定領域（1
    0）が、これらを表裏に貫通する空隙（15）により完全
    に隔離されていることを特徴とするもの。
12. 【請求項１２】請求の範囲１から11の何れか１項に記載
    のヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12）
    に直列に２つの伸縮部材（14）が取り付けられているこ
    とを特徴とするもの。
13. 【請求項１３】請求の範囲１〜12の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記アクセスアーム
    （２）と前記連結板（１）の間に、制振部材（18）が積
    層されていることを特徴とするもの。
14. 【請求項１４】請求の範囲１〜13の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12）の
    前記可動領域（11）側端部と前記ヒンジ部（13）との間
    の直線距離が、前記ヘッド（４）と前記ヒンジ部（13）
    との間の直線距離よりも小さく設定してあることを特徴
    とするもの。
15. 【請求項１５】請求の範囲１〜14の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12）
    は、前記固定領域（10）と前記可動領域（11）との間を
    薄肉化して構成してあることを特徴とするもの。
16. 【請求項１６】請求の範囲１〜15の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12）の
    表裏両面の伸縮部材（14）は、伸縮領域（12）の厚さ中
    心に対して略線対称をなして配してあることを特徴とす
    るもの。
17. 【請求項１７】請求の範囲７〜16の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記空隙（15）の中に
    制振部材（18）が充填されていることを特徴とするも
    の。
18. 【請求項１８】請求の範囲１〜17の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮部材（14）が
    ピエゾ素子であることを特徴とするもの。
19. 【請求項１９】請求の範囲18に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、前記伸縮領域（12）を前記ピエゾ素子の
    共通電極としてあることを特徴とするもの。
20. 【請求項２０】請求の範囲18または19に記載のヘッドの
    微小移動機構であって、前記ピエゾ素子が前記伸縮領域
    （12）の伸縮する面と直角な方向に積層された積層型ピ
    エゾ素子であることを特徴とするもの。
21. 【請求項２１】請求の範囲１〜17の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮部材（14）が
    電熱線であることを特徴とするもの。
22. 【請求項２２】請求の範囲１〜21の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12）の
    伸縮方向が、前記伸縮領域（12）の前記可動領域（11）
    側の端部と前記ヒンジ部（13）を結ぶ直線とほぼ直交す
    るように配置されていることを特徴とするもの。
23. 【請求項２３】請求の範囲１から22の何れか１項に記載
    のヘッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12）
    が前記ヘッドの微小移動機構（MT）の中心線（CL）に対
    して左右少なくとも１対配置されていることを特徴とす
    るもの。
24. 【請求項２４】請求の範囲23に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、前記一対の伸縮領域（12）が前記中心線
    （CL）に対して略線対称の位置に配置されていることを
    特徴とするもの。
25. 【請求項２５】請求の範囲24に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、前記前記中心線（CL）上に前記空隙（1
    5）の間にあるヒンジ（13）が設けられていることを特
    徴とするもの。
26. 【請求項２６】請求の範囲24または25に記載のヘッドの
    微小移動機構であって、前記中心線（CL）の両側に配さ
    れた伸縮部材（14）は、同時に逆向きに変形するように
    なしてあることを特徴とするもの。
27. 【請求項２７】請求の範囲１〜26の何れか１項に記載の
    ヘッドの微小移動機構であって、前記ヘッドアクチュエ
    ータ（HA）が複数個設けられていることを特徴とするも
    の。
28. 【請求項２８】請求の範囲27に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、隣接するヘッド微小移動機構（MT）の間
    に、制振部材（18）が積層されていることを特徴とする
    もの。