JP2888261B2 - ヘッド支持機構 - Google Patents
ヘッド支持機構Info
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- JP2888261B2 JP2888261B2 JP40352690A JP40352690A JP2888261B2 JP 2888261 B2 JP2888261 B2 JP 2888261B2 JP 40352690 A JP40352690 A JP 40352690A JP 40352690 A JP40352690 A JP 40352690A JP 2888261 B2 JP2888261 B2 JP 2888261B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- displacement element
- beams
- support mechanism
- head support
- Prior art date
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は計算機等の外部記憶装置
として用いられる磁気ディスク装置、光ディスク装置等
の読み書きヘッドを支持するヘッド支持機構に関する。
コンピュータの外部記憶装置として用いられる磁気ディ
スク装置や光ディスク装置等は、近年その記憶容量が飛
躍的に増大している。例えば、記憶媒体として磁気ディ
スクを使用するハードディスク装置の記録密度はこの10
年の間に10倍以上にはね上がってきており、その記憶容
量は大容量型で１Ｇバイト／スピンドルにも達する。そ
して、記憶容量の大容量化に伴って記録のトラック幅や
トラック間隔が狭くなるので、外部記憶装置稼働中の熱
によってヘッドが正しいトラック位置からずれることが
あり、この対策が望まれている。
として用いられる磁気ディスク装置、光ディスク装置等
の読み書きヘッドを支持するヘッド支持機構に関する。
コンピュータの外部記憶装置として用いられる磁気ディ
スク装置や光ディスク装置等は、近年その記憶容量が飛
躍的に増大している。例えば、記憶媒体として磁気ディ
スクを使用するハードディスク装置の記録密度はこの10
年の間に10倍以上にはね上がってきており、その記憶容
量は大容量型で１Ｇバイト／スピンドルにも達する。そ
して、記憶容量の大容量化に伴って記録のトラック幅や
トラック間隔が狭くなるので、外部記憶装置稼働中の熱
によってヘッドが正しいトラック位置からずれることが
あり、この対策が望まれている。
【０００２】
【従来の技術】図５および図６は従来の磁気ディスクを
使用するハードディスク装置の構成の一例を示すもので
ある。ハードディスク装置には約3600rpm で高速回転す
るスピンドルＳがあり、このスピンドルＳに複数枚（例
えば10枚）の磁気ディスクＤが所定間隔を開けて取り付
けられている。磁気ディスクＤにはその両面にデータが
記録されるようになっており、磁気ディスクへの書込並
びに磁気ディスクからの読み出しは、この磁気ディスク
Ｄ毎にその片面または両面に設けられた磁気ヘッドＨに
より行われる。この磁気ヘッドＨの磁気ディスクＤ上の
移動はアームＡを介してアクチュエータにより行われ
る。磁気ヘッドＨを移動させるアクチュエータには直進
型と揺動型があるが、図５および図６に示す揺動型の方
が使用されることが多い。
使用するハードディスク装置の構成の一例を示すもので
ある。ハードディスク装置には約3600rpm で高速回転す
るスピンドルＳがあり、このスピンドルＳに複数枚（例
えば10枚）の磁気ディスクＤが所定間隔を開けて取り付
けられている。磁気ディスクＤにはその両面にデータが
記録されるようになっており、磁気ディスクへの書込並
びに磁気ディスクからの読み出しは、この磁気ディスク
Ｄ毎にその片面または両面に設けられた磁気ヘッドＨに
より行われる。この磁気ヘッドＨの磁気ディスクＤ上の
移動はアームＡを介してアクチュエータにより行われ
る。磁気ヘッドＨを移動させるアクチュエータには直進
型と揺動型があるが、図５および図６に示す揺動型の方
が使用されることが多い。
【０００３】揺動型アクチュエータには一般に、所定角
度内のみの回動（揺動）が行え、その回転角度を細かく
制御することができる揺動モータSMが使用されている。
この揺動モータSMはステータSTとロータＲとから構成さ
れ、ロータＲにはスピンドルＳに取り付けられた磁気デ
ィスクＤの枚数と同数或いは磁気ディスクＤの枚数より
１つ多いか少ない枚数（図では９本）のアームＡが突設
されている。そして、このアームＡの先端部に磁気ディ
スクＤを挟むように対向して取り付けられた２つの磁気
ヘッドＨを有する磁気ヘッド支持機構ASSYが取り付けら
れている。揺動モータSMのステータSTは図６に示すよう
に磁気ディスクＤの近傍に設置され、ステータSTから突
出したアームＡの先端部に取り付けられた磁気ヘッド支
持機構ASSYの磁気ヘッドＨの移動範囲αが磁気ディスク
Ｄの記録領域に一致するようになっている。
度内のみの回動（揺動）が行え、その回転角度を細かく
制御することができる揺動モータSMが使用されている。
この揺動モータSMはステータSTとロータＲとから構成さ
れ、ロータＲにはスピンドルＳに取り付けられた磁気デ
ィスクＤの枚数と同数或いは磁気ディスクＤの枚数より
１つ多いか少ない枚数（図では９本）のアームＡが突設
されている。そして、このアームＡの先端部に磁気ディ
スクＤを挟むように対向して取り付けられた２つの磁気
ヘッドＨを有する磁気ヘッド支持機構ASSYが取り付けら
れている。揺動モータSMのステータSTは図６に示すよう
に磁気ディスクＤの近傍に設置され、ステータSTから突
出したアームＡの先端部に取り付けられた磁気ヘッド支
持機構ASSYの磁気ヘッドＨの移動範囲αが磁気ディスク
Ｄの記録領域に一致するようになっている。
【０００４】一方、従来の磁気ディスク装置では、複数
のヘッドＨが取り付けられたアクチュエータを、サーボ
位置決め用ヘッド（一般に１個）で位置決めする方式が
採用されている。ところが、この方式では、記録密度の
向上と共に、各データヘッド（サーボ位置決め用ヘッド
以外のヘッド）の位置ずれが大きな問題となっている。
具体的には、ディスク装置内の発熱や環境温度変化によ
り、ヘッドの相対的な位置が微小（１μｍのオーダー）
にずれ、サーボ位置決め用ヘッド用で指示された信号ト
ラックと記録再生ヘッドに位置ずれが生じる。このた
め、最悪の場合は信号の書き込み、読み出しにエラーが
生じてしまう。この問題は将来光ディスク装置が複数ヘ
ッドを採用した時においても起こり得るものである。
のヘッドＨが取り付けられたアクチュエータを、サーボ
位置決め用ヘッド（一般に１個）で位置決めする方式が
採用されている。ところが、この方式では、記録密度の
向上と共に、各データヘッド（サーボ位置決め用ヘッド
以外のヘッド）の位置ずれが大きな問題となっている。
具体的には、ディスク装置内の発熱や環境温度変化によ
り、ヘッドの相対的な位置が微小（１μｍのオーダー）
にずれ、サーボ位置決め用ヘッド用で指示された信号ト
ラックと記録再生ヘッドに位置ずれが生じる。このた
め、最悪の場合は信号の書き込み、読み出しにエラーが
生じてしまう。この問題は将来光ディスク装置が複数ヘ
ッドを採用した時においても起こり得るものである。
【０００５】この問題を解決する方式として、セクタサ
ーボ方式の磁気ディスク装置が提案され、実用化されて
いる。このセクタサーボ方式は、データ信号領域の中に
セクター状に埋め込まれた位置信号をデータヘッドで読
み出し、この信号でデータヘッドの位置ずれを補正する
ものである。
ーボ方式の磁気ディスク装置が提案され、実用化されて
いる。このセクタサーボ方式は、データ信号領域の中に
セクター状に埋め込まれた位置信号をデータヘッドで読
み出し、この信号でデータヘッドの位置ずれを補正する
ものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このセ
クタサーボ方式の磁気ディスク装置では、信号の読み出
し、書き込みヘッドを切り換えるとき、位置ずれ補正の
ために数ｍｓの時間が必要であり、動作速度が遅くなる
という問題がある。
クタサーボ方式の磁気ディスク装置では、信号の読み出
し、書き込みヘッドを切り換えるとき、位置ずれ補正の
ために数ｍｓの時間が必要であり、動作速度が遅くなる
という問題がある。
【０００７】そこで、本発明は、前記従来のディスク記
憶装置における課題を解消し、サーボ位置決め用ヘッド
で他のデータヘッドの位置決めを行うディスク記憶装置
において、各データヘッドをディスクの半径方向に独立
に微小に変化させることができるようにして、ディスク
装置内の発熱や環境温度変化があっても、ヘッドの相対
的な微小位置変化を補正することができ、書き込み、読
み出しにエラーが生じることが無いヘッド支持機構を提
供することを目的とする。
憶装置における課題を解消し、サーボ位置決め用ヘッド
で他のデータヘッドの位置決めを行うディスク記憶装置
において、各データヘッドをディスクの半径方向に独立
に微小に変化させることができるようにして、ディスク
装置内の発熱や環境温度変化があっても、ヘッドの相対
的な微小位置変化を補正することができ、書き込み、読
み出しにエラーが生じることが無いヘッド支持機構を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明のヘッド支持機構の構成が図１に示される。本発明の
ヘッド支持機構は、記録ディスクに対して情報の読み書
きを行う少なくとも１個の情報読み書き用ヘッド１と、
このヘッド１を記録ディスクの目的トラック上に移動さ
せるアクチュエータ２とを備え、ヘッド１がアクチュエ
ータ２に突設されたアーム部材３にヘッド支持ばね４を
介して取り付けられているディスク記憶装置用のヘッド
支持機構であって、ヘッド１を支持するヘッド支持ばね
４がアーム部材３から伸びる２本の梁４ａ，４ｂで構成
され、この２本の梁４ａ，４ｂの先端が連結されてその
連結点付近にヘッド１が支持されると共に、梁４ａ，４
ｂの少なくとも１本に、外部からの印加電圧に応じて伸
縮する薄板状の変位素子５がその少なくとも１面に一体
的に固着され、外部から電圧が印加されると変位素子５
が変形し、変位素子５が取り付けられた梁が変形してヘ
ッド１を梁とほぼ直交方向に微小変位させることを特徴
としている。
明のヘッド支持機構の構成が図１に示される。本発明の
ヘッド支持機構は、記録ディスクに対して情報の読み書
きを行う少なくとも１個の情報読み書き用ヘッド１と、
このヘッド１を記録ディスクの目的トラック上に移動さ
せるアクチュエータ２とを備え、ヘッド１がアクチュエ
ータ２に突設されたアーム部材３にヘッド支持ばね４を
介して取り付けられているディスク記憶装置用のヘッド
支持機構であって、ヘッド１を支持するヘッド支持ばね
４がアーム部材３から伸びる２本の梁４ａ，４ｂで構成
され、この２本の梁４ａ，４ｂの先端が連結されてその
連結点付近にヘッド１が支持されると共に、梁４ａ，４
ｂの少なくとも１本に、外部からの印加電圧に応じて伸
縮する薄板状の変位素子５がその少なくとも１面に一体
的に固着され、外部から電圧が印加されると変位素子５
が変形し、変位素子５が取り付けられた梁が変形してヘ
ッド１を梁とほぼ直交方向に微小変位させることを特徴
としている。
【０００９】なお、変位素子５を２本の梁４ａ，４ｂの
両面に一体的に固着すれば、変位を確実に起こさせるこ
とが可能になる。
両面に一体的に固着すれば、変位を確実に起こさせるこ
とが可能になる。
【００１０】
【作用】本発明のヘッド支持機構によれば、ディスク装
置内の発熱や環境温度変化によってヘッドが目的のトラ
ック上からずれた時は、梁に一体的に設けられた変位素
子に電圧を印加し、変位素子を伸長または収縮させる、
２本の梁に変位素子が設けられている時には、一方を伸
長させ、他方を収縮させる。この結果、変位素子の伸
長、収縮に応じて梁が微小に伸長、収縮するので、２本
の梁の連結点に取り付けられたヘッドが梁に対してほぼ
直角の方向に微小変位し、ヘッドがトラック上に復帰す
る。
置内の発熱や環境温度変化によってヘッドが目的のトラ
ック上からずれた時は、梁に一体的に設けられた変位素
子に電圧を印加し、変位素子を伸長または収縮させる、
２本の梁に変位素子が設けられている時には、一方を伸
長させ、他方を収縮させる。この結果、変位素子の伸
長、収縮に応じて梁が微小に伸長、収縮するので、２本
の梁の連結点に取り付けられたヘッドが梁に対してほぼ
直角の方向に微小変位し、ヘッドがトラック上に復帰す
る。
【００１１】
【実施例】以下添付図面を用いて本発明の実施例を詳細
に説明する。図２は本発明の一実施例のヘッド支持機構
の構成を示す斜視図であり、この実施例のヘッド支持機
構はハードディスク装置における磁気ヘッドの支持機構
を示すものである。
に説明する。図２は本発明の一実施例のヘッド支持機構
の構成を示す斜視図であり、この実施例のヘッド支持機
構はハードディスク装置における磁気ヘッドの支持機構
を示すものである。
【００１２】図において、２０は図示しないアクチュエ
ータに突設されたヘッドアームを示しており、このヘッ
ドアーム２０の先端部に、スペーサ（薄板上連結板）２
１を介してねじ２２等により支持ばね２３が取り付けら
れている。そして、この支持ばね２３の先端部に磁気ヘ
ッド２４が設けられている。支持ばね２３はその取付基
部２３ｄから伸びる２本の梁２３ａ，２３ｂで構成され
ており、２本の梁２３ａ，２３ｂの先端部は連結され、
その連結部２３ｃに磁気ヘッド２４が取り付けられてい
る。
ータに突設されたヘッドアームを示しており、このヘッ
ドアーム２０の先端部に、スペーサ（薄板上連結板）２
１を介してねじ２２等により支持ばね２３が取り付けら
れている。そして、この支持ばね２３の先端部に磁気ヘ
ッド２４が設けられている。支持ばね２３はその取付基
部２３ｄから伸びる２本の梁２３ａ，２３ｂで構成され
ており、２本の梁２３ａ，２３ｂの先端部は連結され、
その連結部２３ｃに磁気ヘッド２４が取り付けられてい
る。
【００１３】支持ばね２３の２本の梁２３ａ，２３ｂの
部分には、電圧を印加すると伸縮する薄板状の微小変位
素子２５が電極２６と共に設けられている。なお、この
実施例では、微小変位素子２５は２本の梁２３ａ，２３
ｂの長手方向の表裏両面にそれぞれ設けられている。そ
して、電極２６には電圧を印加するためのリード線２７
がそれぞれ接続している。
部分には、電圧を印加すると伸縮する薄板状の微小変位
素子２５が電極２６と共に設けられている。なお、この
実施例では、微小変位素子２５は２本の梁２３ａ，２３
ｂの長手方向の表裏両面にそれぞれ設けられている。そ
して、電極２６には電圧を印加するためのリード線２７
がそれぞれ接続している。
【００１４】図３は図２の微小変位素子２５が取り付け
られた支持ばね２３の部分を矢印Ｗ方向からみた部分側
面図である。この図から分かるように、微小変位素子２
５は支持ばね２３の梁２３ａ，２３ｂを両側から挟んで
設けられており、微小変位素子２５の外側の面に電極２
６が貼着されている。微小変位素子２５は、例えば、チ
タン酸バリウム等の電歪材料で構成されたピエゾ素子
（圧電素子）で薄板状に形成され、接着剤によって梁２
３ａ，２３ｂの両面に強固に固着されている。そして、
各電極２６はリード線２７によって電圧印加制御回路３
０に接続され、電圧が印加されるようになっている。
られた支持ばね２３の部分を矢印Ｗ方向からみた部分側
面図である。この図から分かるように、微小変位素子２
５は支持ばね２３の梁２３ａ，２３ｂを両側から挟んで
設けられており、微小変位素子２５の外側の面に電極２
６が貼着されている。微小変位素子２５は、例えば、チ
タン酸バリウム等の電歪材料で構成されたピエゾ素子
（圧電素子）で薄板状に形成され、接着剤によって梁２
３ａ，２３ｂの両面に強固に固着されている。そして、
各電極２６はリード線２７によって電圧印加制御回路３
０に接続され、電圧が印加されるようになっている。
【００１５】電圧印加制御回路３０から電極２６に電圧
が印加されると、上下両面の圧電素子からなる微小変位
素子２５にはその厚み方向に電界が印加され、圧電素子
の横効果で微小変位素子２５が梁２３ａ，２３ｂの長手
方向に微小に変位する。図２の構成では上下の微小変位
素子２５が同じ位相で長手方向に微小変位し、このた
め、微小変位素子２５に強固に固着された梁２３ａ，２
３ｂも微小変位素子２５の発生する力で長手方向に伸縮
する。そして、例えば、電圧印加制御回路３０からある
位相の電圧が電極２６に印加された時に、微小変位素子
２５が矢印Ｅ方向に伸長したとすると、これと逆位相の
電圧が電極２６に印加された時には、微小変位素子２５
は矢印Ｃ方向に収縮することになる。
が印加されると、上下両面の圧電素子からなる微小変位
素子２５にはその厚み方向に電界が印加され、圧電素子
の横効果で微小変位素子２５が梁２３ａ，２３ｂの長手
方向に微小に変位する。図２の構成では上下の微小変位
素子２５が同じ位相で長手方向に微小変位し、このた
め、微小変位素子２５に強固に固着された梁２３ａ，２
３ｂも微小変位素子２５の発生する力で長手方向に伸縮
する。そして、例えば、電圧印加制御回路３０からある
位相の電圧が電極２６に印加された時に、微小変位素子
２５が矢印Ｅ方向に伸長したとすると、これと逆位相の
電圧が電極２６に印加された時には、微小変位素子２５
は矢印Ｃ方向に収縮することになる。
【００１６】図４は図２のように構成されたヘッド支持
機構の動作を示すものである。例えば、梁２３ａ側の微
小変位素子２５が矢印Ｃ方向に収縮するようにある位相
で電圧を印加し、梁２３ｂ側の微小変位素子２５が矢印
Ｅ方向に伸長するように逆の位相で電圧を印加すれば、
梁２３ａが縮み、梁２３ｂが伸びるので、支持ばね２３
は実線の位置から二点鎖線で示す位置に変位する。この
結果、２本の梁２３ａ，２３ｂの連結部２３ｃに取付ら
れた磁気ヘッド２４も実線の位置から二点鎖線の位置に
変位し、梁２３ａ，２３ｂに対してその長手方向とほぼ
直交する方向に微小変位することになる。よって、磁気
ヘッド２４のトラックずれが検出された時に、そのずれ
を修正する方向に微小変位素子２５を伸縮させれば、磁
気ヘッド２４をオントラック位置に位置修正することが
可能になる。
機構の動作を示すものである。例えば、梁２３ａ側の微
小変位素子２５が矢印Ｃ方向に収縮するようにある位相
で電圧を印加し、梁２３ｂ側の微小変位素子２５が矢印
Ｅ方向に伸長するように逆の位相で電圧を印加すれば、
梁２３ａが縮み、梁２３ｂが伸びるので、支持ばね２３
は実線の位置から二点鎖線で示す位置に変位する。この
結果、２本の梁２３ａ，２３ｂの連結部２３ｃに取付ら
れた磁気ヘッド２４も実線の位置から二点鎖線の位置に
変位し、梁２３ａ，２３ｂに対してその長手方向とほぼ
直交する方向に微小変位することになる。よって、磁気
ヘッド２４のトラックずれが検出された時に、そのずれ
を修正する方向に微小変位素子２５を伸縮させれば、磁
気ヘッド２４をオントラック位置に位置修正することが
可能になる。
【００１７】なお、前述の実施例では、梁２３ａ，２３
ｂの両方に微小変位素子２５を設けたが、微小変位素子
２５は梁２３ａ，２３ｂのうちの一方のみに設けるよう
にしても良い。また、前述の実施例では、微小変位素子
２５に圧電素子を使用した場合を説明したが、微小変位
素子２５は電圧を印加することによって伸縮するもので
あれば、圧電素子に限定されるものではなく、他には磁
歪素子や電熱素子（ヒータ）による伸縮の利用などが考
えられる。
ｂの両方に微小変位素子２５を設けたが、微小変位素子
２５は梁２３ａ，２３ｂのうちの一方のみに設けるよう
にしても良い。また、前述の実施例では、微小変位素子
２５に圧電素子を使用した場合を説明したが、微小変位
素子２５は電圧を印加することによって伸縮するもので
あれば、圧電素子に限定されるものではなく、他には磁
歪素子や電熱素子（ヒータ）による伸縮の利用などが考
えられる。
【００１８】以上のように、本発明のヘッド支持機構に
よれば、非常に少ないスベースで高精度の微小変位機構
が実現でき、かつ、ヘッドアームなど他の構成部材に加
工を加えることなく、各ヘッドを独立に位置補正するこ
とができるため、高密度の磁気ディスク装置が可能にな
る。
よれば、非常に少ないスベースで高精度の微小変位機構
が実現でき、かつ、ヘッドアームなど他の構成部材に加
工を加えることなく、各ヘッドを独立に位置補正するこ
とができるため、高密度の磁気ディスク装置が可能にな
る。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
サーボ位置決め用ヘッドで他のデータヘッドの位置決め
を行うディスク記憶装置において、各データヘッドをデ
ィスクの半径方向に独立に微小に変化させることができ
るので、ディスク装置内の発熱や環境温度変化があって
も、ヘッドの相対的な微小位置変化を補正することがで
き、書き込み、読み出しにエラーが生じることが無いと
いう効果がある。
サーボ位置決め用ヘッドで他のデータヘッドの位置決め
を行うディスク記憶装置において、各データヘッドをデ
ィスクの半径方向に独立に微小に変化させることができ
るので、ディスク装置内の発熱や環境温度変化があって
も、ヘッドの相対的な微小位置変化を補正することがで
き、書き込み、読み出しにエラーが生じることが無いと
いう効果がある。
【図１】本発明のヘッド支持機構の構成を示す原理構成
図である。
図である。
【図２】本発明のヘッド支持機構の一実施例の構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】図２の変位素子取付部の要部側面図である。
【図４】図２のヘッド支持機構におけるヘッドの微小位
置変位動作を説明する説明図である。
置変位動作を説明する説明図である。
【図５】従来のハードディスク装置の構成を示す斜視図
である。
である。
【図６】従来のハードディスク装置の一例の平面図であ
る。
る。
２０…ヘッドアーム、 ２１…スペーサ（薄板上連結板）、 ２３…支持ばね、 ２３ａ，２３ｂ…梁、 ２４…磁気ヘッド、 ２５…微小変位素子、 ２６…電極、 ２７…リード線、 ３０…電圧印加制御回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 21/21
Claims (4)
- 【請求項１】記録ディスクに対して情報の読み書きを行
う少なくとも１個の情報読み書き用ヘッド(1) と、この
ヘッド(1) を記録ディスクの目的トラック上に移動させ
るアクチュエータ(2) とを備え、前記ヘッド(1) が前記
アクチュエータ(2) に突設されたアーム部材(3)にヘッ
ド支持ばね(4) を介して取り付けられているディスク記
憶装置用のヘッド支持機構であって、 前記ヘッド(1) を支持するヘッド支持ばね(4) を、前記
アーム部材(3) から伸びる２本の梁(4a, 4b)で構成し、
この２本の梁(4a, 4b)の先端を連結して、その連結点付
近にヘッド(1)を支持すると共に、前記梁(4a, 4b)の少
なくとも１本に、外部からの印加電圧に応じて伸縮する
薄板状の変位素子(5) を少なくとも１面に一体的に固着
し、外部から電圧を印加して前記変位素子(5) を変形さ
せることにより、変位素子(5) が取り付けられた梁を変
形させ、ヘッド(1) を梁とほぼ直交方向に微小変位可能
に構成したことを特徴とするヘッド支持機構。 - 【請求項２】前記変位素子(5) が前記２本の梁(4a, 4b)
の両面に一体的に固着されたことを特徴とする請求項１
に記載のヘッド支持機構。 - 【請求項３】前記変位素子(5) が圧電、電歪材料で構成
されたピエゾ素子である請求項１または２に記載のヘッ
ド支持機構。 - 【請求項４】前記変位素子(5) が磁歪素子である請求項
１または２に記載のヘッド支持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40352690A JP2888261B2 (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | ヘッド支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40352690A JP2888261B2 (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | ヘッド支持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547126A JPH0547126A (ja) | 1993-02-26 |
| JP2888261B2 true JP2888261B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=18513256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40352690A Expired - Fee Related JP2888261B2 (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | ヘッド支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2888261B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1145957C (zh) | 1996-10-31 | 2004-04-14 | Tdk株式会社 | 读/写头、读/写头定位机构和读/写系统 |
| US6268983B1 (en) | 1997-12-25 | 2001-07-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head actuator driven by piezoelectric element |
| MY140241A (en) | 2000-02-01 | 2009-12-31 | Panasonic Corp | Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator. |
| JP4593874B2 (ja) * | 2000-07-04 | 2010-12-08 | パナソニック株式会社 | ヘッドアクチュエータおよびこれを用いたハードディスクドライブ |
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1990
- 1990-12-19 JP JP40352690A patent/JP2888261B2/ja not_active Expired - Fee Related
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