JP3002984B1 - 微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置 - Google Patents
微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置Info
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Abstract
量生産に適すること。 【解決手段】 この磁気ディスク装置では、ボイスコイ
ルモータを備えたキャリッジに微小位置決め機構4を設
ける。微小位置決め機構4は、支持体41とサスペンシ
ョンアーム47とで構成する。サスペンションアーム4
7の回転中心は、突起部50と回転支持部42との接点
となる。サスペンションアーム47は、連結部43でス
ポット溶接されており、スプリング部46のたわみによ
り揺動する。第2駆動部44は、双方向に設けた梁部5
1、52に圧電素子を展着した構造である。圧電素子に
特定周波数の電圧を印加すると、梁部51、52が振動
してサスペンションアーム47の摺動部54に接触す
る。このときの水平方向分力によりサスペンションアー
ム47が移動する。
Description
微小位置決め装置および記憶装置に関し、更に詳しく
は、高速および高分解能アクセスを実現でき、大量生産
に適した微小駆動装置、微小位置決め装置および記憶装
置に関する。
うな磁気ディスク装置700は、サスペンションアーム
701の先端に磁気ヘッド702を設けた浮動ヘッド機
構703と、揺動軸704により軸支され前記浮動ヘッ
ド機構703を取り付けるキャリッジ705と、磁気ヘ
ッド702の反対側に設けたボイスコイルモータ706
とを備えている。ボイスコイルモータ706に通電する
ことにより、揺動軸704を中心として磁気ヘッド70
2が揺動する。磁気ヘッド702は、回転する磁気ディ
スク707上で浮上する。
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
までは記録密度の上昇が年率約25%程度であったが、
近年では、約60%程度まで達している。これに伴い、
高速および高分解能アクセスを可能とするヘッド位置決
め機構が要求されている。これらの要求に対し、例えば
ボイスコイルモータを2つ用いることでピポット軸に作
用する並進力を減少させる技術や、粗動・微動の2段ア
クチュエータを用いる技術がなどが開発されている。
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記従来の
記憶装置700では、シーク反力により装置全体が振動
し、シーク時間を増大させるという問題点があった。ま
た、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フォ
ローイングを実現するため、シーク制御系とフォローイ
ング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これら
制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決め
時間が増大するという問題点があった。
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている(International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING:Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED)。
示す。この磁気ディスク装置800では、キャリッジ8
01とサスペンションアーム802との間に位置決め用
のボイスコイルモータ803を設けた構成である。キャ
リッジ801の一端には、ステータ軸804が取り付け
てある。また、キャリッジ801には、マグネット80
5を固定する。さらに、このマグネット805に対向す
るようにして、コイル806を配置する。コイル806
は、ヘッドマウンティングブロック807に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック807は、サスペ
ンションアーム802のクロスシェイプドスプリング8
08に固定してある。クロスシェイプドスプリング80
8は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング808の中央には、ステータ
シャフト804がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム802の先端には、ジンバル809が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ(図示省略)は、ジ
ンバル809の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置800では、前記ボイスコイルモータ803によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
0は、部品点数が多く、部品が複雑かつ繊細であるた
め、大量生産に不向きな問題点があった。また、上記磁
気ディスク装置800では、ヘッドマウンティングブロ
ック807およびサスペンションアーム802を可動部
分としているため、質量が増加し、シーク反力が大きく
なる。このため、シーク時間を短縮するには限界がある
という問題点があった。
たものであって、高速および高分解能アクセスを実現で
き、大量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置
を提供することを目的とする。
めに、本発明に係る第1の微小駆動装置は、スライダに
形成したヘッド部を保持するサスペンションアームと、
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、サスペンションアームに対向配置した支持体と、こ
の支持体に設けられ且つサスペンションアームと連結す
る連結部と、支持体と連結部との間に設けたスプリング
部と、支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に
形成すると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド
駆動部と、を備え、圧電体に特定周波数の電圧を印加す
ることで梁部を振動させ、当該梁部をサスペンションア
ームに接触させることでヘッド部の微小駆動を行うもの
である。
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。後述になるが、この微小駆動装
置を、ボイスコイルモータで駆動するキャリッジに取り
付けることで、ピギーバック方式の記憶装置を構成でき
る。
は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部
と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体
形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と
を設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデ
ータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する
ヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持す
るサスペンションアームとを備え、圧電体に特定周波数
の電圧を印加することで梁部を振動させ、当該梁部をサ
スペンションアームに接触させることでヘッド部の微小
駆動を行うものである。
スプリング部および梁部を一体成形するようにし、この
連結部にサスペンションアームを設けるようにしている
から、バッチ処理が可能となり、部品点数が少なくて済
む。このため、大量生産に適したものとなる。また、圧
電体や回転支持部を一体成形するようにすれば、さら
に、生産工程が簡略化できる。
圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、梁部が振動
し、支持体に対向配置したサスペンションアームが揺動
する。サスペンションアームは、連結部によって支持体
と連結しており、この連結部はスプリング部によって支
持されているから、梁部による横方向の分力でスプリン
グ部が弾性変形し、これによってサスペンションアーム
が揺動可能となる。
装置は、第1の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構
成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッ
ジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッ
ド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆動装置
およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な位置決
めを行うことものである。
置は、第2の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆動装置お
よびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な位置決め
を行うものである。
て、ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを用いてヘ
ッド部を駆動するので、大きな移動に適している。微小
ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を駆動する
ので、微小移動に適している。これらヘッド駆動部およ
び微小ヘッド駆動部を用いることで、大きな揺動範囲に
おいて微小位置決め動作を効率よく行うことができる。
例えば大きな揺動動作はヘッド駆動部により行い、微小
な位置決め動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してもよい。
さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との2つのア
クチュエータを用いて制御するので、大きな揺動動作の
ための制御と微小位置決めのための制御との切り換えが
不要になる。また、可動部分(サスペンションアーム)
の質量を小さくできるので、位置決め時の慣性による反
力を小さく抑えることができる。さらに、比較的簡単な
構成なので、大量生産に適する。
支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形す
るようにし、この連結部にサスペンションアームを設け
るようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品
点数が少なくて済む。このため、大量生産に適したもの
となる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するよう
にすれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
第1の微小駆動装置と、データを記録する記録媒体と、
を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前
記記録媒体に記録されたデータを再生およびデータを記
録するものである。
2の微小位置決め装置と、データを記録する記録媒体
と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部によ
り前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデータ
を記録するものである。
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。この微小位置決め装置を、ボイ
スコイルモータで駆動するキャリッジに取り付けること
で、ピギーバック方式の記憶装置を構成できる。
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。例えばシーク動作はヘッド駆動部により行い、フォ
ローイング動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してシーク動
作またはフォローイング動作をさせるようにしてもよ
い。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との2つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
可動部分(サスペンションアーム)の質量を小さくでき
るので、シーク反力を小さく抑えることができる。さら
に、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアームを
構成できるから、大量生産に適する。
の連結部、スプリング部および梁部を一体成形するよう
にし、この連結部にサスペンションアームを設けるよう
にしているから、バッチ処理が可能となり、部品点数が
少なくて済む。このため、大量生産に適したものとな
る。また、圧電体や回転支持部を一体成形するようにす
れば、さらに、生産工程が簡略化できる。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
ディスク装置を示す斜視図である。この磁気ディスク装
置100は、磁気ディスクを回転させるスピンドル機構
1と、磁気ヘッドの位置決めを行う位置決め機構2とを
有する。前記スピンドル機構1と位置決め機構2とはベ
ース3に組み込まれる。
だDCモータの回転軸12に磁気ディスク11をボルト
止めした構造である。磁気ディスク11は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク11の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
支持されている。キャリッジ21の端部には、ロータ2
3が取り付けてある。ロータ23はベース3側に設けた
ステータ24と共にボイスコイルモータ25を構成す
る。ロータ23は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ24は、永久磁石で構
成され、前記ロータ23を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル26
を介して電力が供給される。ベース3には、回路基板2
7が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部28が形成されている。キャリッジ21の端部に
は、更に、微小位置決め装置4が設けてある。
組立図である。キャリッジ21には、支持体41が固定
されている。支持体41には、回転支持部42と、連結
部43と、2組の微小駆動部44が形成してある。支持
体端部には、キャリッジ21と連結するためのマウント
プレート45が取り付けてある。連結部43は、弾性変
形するS字形状のスプリング部46によって支持する。
連結部43およびスプリング部46は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。非機
械加工プロセスを用いることで、加工形成時に発生する
変形、応力および機械的ストレスを排除でき、機能およ
び再現性が安定するためである。サスペンションアーム
47は、レーザスポット溶接によって連結部43に連結
する。サスペンションアーム47の先端には、ジンバル
48が形成してあり、このジンバル48にスライダ49
が取り付けてある。スライダ49には、磁気ヘッド(図
示省略)が形成されている。
G(Metal In Gap)ヘッド、薄膜ヘッド、MR(Magn
eto Resistive)ヘッド、GMR(Giant Magneto Re
sistive)ヘッドのいずれを用いても良い。GMRヘッ
ドが高記録密度に適する。なお、磁気ヘッドの代わり
に、近視野光を用いたヘッドを用いてもよい。
転中心となる突起部50が形成してある。図3に示すよ
うに、サスペンションアーム47を連結した状態で、突
起部50が回転支持部42に当接し回転中心となる。回
転支持部42は、支持部41の形成後、曲げ加工によっ
て形成する。なお、回転支持部42は、曲げ加工によら
ずとも、図4に示すような、エンボス加工によって形成
した突起であってもよい。また、図5に示すように、プ
ロセス過程で突起を形成するようにしてもよい。この
他、回転支持部42および突起部50は、両者が係止関
係にあれば、当業者の設計範囲で自由に変形可能であ
る。
した梁部51、52が双方向に形成されている。梁部5
1、52は、サスペンションアーム47に対向するよう
に設ける。一方、サスペンションアーム47の梁部5
1、52に対向する位置には、接触部53が設けてあ
る。接触部53には、摺動部54が設けてある。摺動部
54には、摩擦係数が大きく、耐摩耗性に優れ、安定し
た摩擦係数を維持できる材料を用いる。例えば摺動部5
4には酸化皮膜処理を施す。また、前記摺動部54に、
セルロース系繊維、カーボン系繊維、ウィスカとフェノ
ール樹脂との複合材料、ポリイミド樹脂とポリアミド樹
脂との複合材料を用いてもよい。
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。さら
に、図6に示すように、梁部51、52の、サスペンシ
ョンアーム47に対する反対側にはそれぞれ圧電素子5
5、56が展着してある。前記圧電素子55、56は、
印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印加電
圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた圧力
に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本例の
圧電素子55、56には、圧電定数の高い薄膜ジルコン
チタン酸鉛を用いてある。また、チタン酸バリウム、ニ
オブ酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良
い。また、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機
能材料やリチウムナイオベートを用いることもできる。
によって形成する。大量生産に適するためである。ま
た、梁部51、52のサイズが小さいので製作が容易に
なるためである。なお、梁部51、52と圧電素子5
5、56とを接着により一体化するようにしてもよい。
この際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靭である
こと、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が
小さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメ
ルトおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用
いる。なお、上記梁部51、52は、1枚の圧電素子5
5、56を用いるユニモルフ型であるが、2枚の圧電素
子を用いるバイモルフ型、4枚以上の圧電素子を用いる
マルチモルフ型を用いても良い。また、梁部51、52
の形状は、図2に示すような平面L字形状に限定されな
い。例えば梁部先端に山部や突起部を設けたり、くびれ
部を持つような形状にしてもよい。
56に電力を供給する。また、シーク・フォローイング
制御部28は、磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、
前記供給電圧を制御する。
作について説明する。まず、梁部単位の動作原理を図7
に示す。圧電素子55、56に特定周波数の駆動電圧を
印加することにより、当該圧電素子55、56が図中矢
印A方向に伸縮する。この伸縮により梁部55、56が
図中矢印B方向に振動する。梁部55、56が振動する
と、当該梁部55、56の先端がサスペンションの摺動
部に接触する。接触方向は、サスペンションに対して垂
直ではなく、傾いている。また、支持体41はキャリッ
ジ21に固定されており、一方、サスペンションアーム
47は連結部43によって支持されているため、横方向
の力成分Chの反力によってサスペンションアーム47
が回転する。これにより磁気ヘッドが横方向に微動す
る。また、特定周波数は、梁部51、52の寸法、形状
に応じた固有振動数に合致させる。共振周波数近傍に設
定すれば梁部51、52の最大振幅が得られるからであ
る。
ついて説明する。図8は、ボイスコイルモータ25の動
作原理を示す説明図である。可動コイル(23)に矢印
I方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力f(矢印F)が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル(23)に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
制御は、アクセス速度制御(シーク制御)と追従位置決
め制御(フォローイング制御)とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図9は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ25を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に梁部5
1、52の振動を用いて精密に行う。図10に、位置決
め制御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイン
グ制御部28では、シーク制御とフォローイング制御と
を並行して行う。シーク制御系においては、まず、現在
のヘッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置
に基づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作
量の信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは
位相コントローラした操作量の信号を増幅する。そし
て、この操作量に応じてボイスコイルモータ25を駆動
する。シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
梁部51、52を駆動する。フォローイング制御系の制
御量は、目標値信号と同種の信号に変換され、入力側に
フィードバックされる。
御部28による制御工程例を示すフローチャートであ
る。ステップS1101では、目標トラック位置の入力
を行う。ステップS1102では、ボイスコイルモータ
25による位置決め制御系をONし、前記入力した目標
トラック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ス
テップS1103では、ヘッド位置と目標トラック位置
との差が梁部51、52の可動距離(梁部51、52に
よる位置決めが有効な範囲)未満になったか否かを判断
する。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ25
による位置決め制御を行う。可動距離未満になったらス
テップS1104に進む。
による位置決め制御系をONする。ステップS1105
では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラック
1〜3個分の幅未満になるまで、梁部51、52とボイ
スコイルモータ25との両方で位置決め制御を行う。ボ
イスコイルモータ25を併用するのは、トラック間移動
のような比較的大きな移動が含まれるためである。ステ
ップS1106では、ボイスコイルモータ25による位
置決め制御系をOFFして、梁部51、52のみで位置
決め制御を行う。ステップS1107では、ヘッド位置
と目標トラック位置との差がトラック位置決め精度を満
たすか否かを判断する。満たすまで制御を続行し、満た
したときに梁部51、52の位置決め制御系をOFFす
る(ステップS1108)。
を明確に分け、前記アクセス動作をボイスコイルモータ
25を用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を梁部
51、52の振動を用いて精密に行うようにしてもよ
い。
ペンションアーム47の位置決めを行った場合の磁気ヘ
ッド(スライダ49を図示する)の軌跡を、図12に示
す。ボイスコイルモータ25により位置決めする場合、
磁気ヘッドは、揺動軸を中心として半径RLで回転する
(軌跡CL)。また、微小駆動部44を用いてサスペン
ションアーム(47)を揺動させた場合、磁気ヘッド
は、回転支持部42を中心として半径RSで回転する
(軌跡CS)。
の構造例を示す。図の(a)は、スプリング部46aを
コの字形状にしたものである。図の(b)は、1つのス
プリング部46bにより連結部を支持するようにしたも
のである。図の(c)は、スプリング部46cを中空構
造にしたものである。スプリング部46cを中空構造に
することにより、厚さ方向の剛性とサスペンション揺動
方向の剛性の比を大きくすることができる。このことに
より、微小駆動部44とサスペンション47の接触圧力
を大きく保ったまま、サスペンション47の揺動動作を
阻害する剛性を低くすることができ、サスペンション4
7の揺動を大きく、安定させることができる。また、こ
の中空構造は図2および図13(a)のスプリング部4
6および46aにも適用が可能である。
微小駆動装置は、スライダに形成したヘッド部を保持す
るサスペンションアームと、サスペンションアームの一
部を支持して当該支持部分を中心にサスペンションアー
ムを揺動させる回転支持部と、サスペンションアームに
対向配置した支持体と、この支持体に設けられ且つサス
ペンションアームと連結する連結部と、支持体と連結部
との間に設けたスプリング部と、支持体に一端固定他端
自由とした梁部を双方向に形成すると共に当該梁部毎に
圧電体を設けた微小ヘッド駆動部と、を備えたので、ヘ
ッド部の微小な移動ができる。
は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部
と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体
形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と
を設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデ
ータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する
ヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持す
るサスペンションアームとを備えたので、ヘッド部の微
小な移動ができる。また一体形成するので部品点数が少
なく、大量生産に適する。
置は、第1の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備えたので、大きな揺
動範囲でヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部
の位置決め精度を高めることができる。
置は、第2の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備えたので、大きな揺
動範囲でヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部
の位置決め精度を高めることができる。また、比較的簡
単な構成で、部品点数が少なく、大量生産に適する。
1の微小駆動装置と、データを記録する記録媒体と、を
備えたので、シーク動作およびフォローイング動作を効
率よく行うことができる。
微細な移動が可能になるから、位置決め精度が高くな
る。さらに、シーク制御とフォローイング制御との切り
換えが不要にできるので、切り換えによるタイムロスを
減少できる。また、可動部分(サスペンションアーム)
の質量を抑えてシーク反力を小さくできる。以上から、
高速かつ高分解能アクセスを実現できるようになる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適したものになる。
持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形する
ようにし、この連結部にサスペンションアームを設ける
ようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品点
数が少なくて済む。このため、大量生産に適したものと
なる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するように
することで、さらに、生産工程を簡略化でき、大量生産
が可能となる。また、シーク動作およびフォローイング
動作を効率よく行うことができる。さらに、微小ヘッド
駆動部によりヘッド部の微細な移動が可能になるから、
位置決め精度が高くなる。また、シーク制御とフォロー
イング制御との切り換えが不要にできるので、切り換え
によるタイムロスを減少できる。また、可動部分(サス
ペンションアーム)の質量を抑えてシーク反力を小さく
できる。以上から、高速かつ高分解能アクセスを実現で
きるようになる。
を示す斜視図である。
である。
る。
ある。
を示すグラフ図である。
程例を示すフローチャートである。
である。
視図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 スライダに形成したヘッド部を保持する
サスペンションアームと、 サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、 サスペンションアームに対向配置した支持体と、 この支持体に設けられ且つサスペンションアームと連結
する連結部と、 支持体と連結部との間に設けたスプリング部と、 支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に形成す
ると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド駆動部
と、を備え、 圧電体に特定周波数の電圧を印加することで梁部を振動
させ、当該梁部をサスペンションアームに接触させるこ
とでヘッド部の微小駆動を行うことを特徴とする微小駆
動装置。 - 【請求項2】 島状の連結部と、当該連結部に繋がるス
プリング部と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁
部とを一体形成すると共に、前記梁部毎に設けた圧電体
と、前記サスペンションアームの一部を支持して当該支
持部分を中心にサスペンションアームを揺動させる回転
支持部とを設けた支持体と、 スライダに形成され、記憶媒体にデータを記録し且つ記
憶媒体に記録したデータを再生するヘッド部と、 支持体に対向配置され、ヘッド部を保持するサスペンシ
ョンアームとを備え、 圧電体に特定周波数の電圧を印加することで梁部を振動
させ、当該梁部をサスペンションアームに接触させるこ
とでヘッド部の微小駆動を行うことを特徴とする微小駆
動装置。 - 【請求項3】 請求項1に記載の微小駆動装置と、 当該微小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキ
ャリッジと、 キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、 微小駆動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの
微小な位置決めを行うことを特徴とする微小位置決め装
置。 - 【請求項4】 請求項2に記載の微小駆動装置と、 当該微小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキ
ャリッジと、 キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、 微小駆動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの
微小な位置決めを行うことを特徴とする微小位置決め装
置。 - 【請求項5】 請求項1に記載の微小駆動装置と、 データを記録する記録媒体と、を備え、 当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前記記録媒
体に記録されたデータを再生およびデータを記録するこ
とを特徴とした記録装置。 - 【請求項6】 請求項4に記載の微小位置決め装置と、 データを記録する記録媒体と、を備え、 当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前記記録媒
体に記録されたデータを再生およびデータを記録するこ
とを特徴とした記録装置。
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