JP2000322847A - 記憶装置および微小位置決め装置 - Google Patents
記憶装置および微小位置決め装置Info
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置を提供
すること。 【解決手段】 この磁気ディスク装置では、ボイスコイ
ルモータを備えたキャリッジに固定された支持体41に
微小位置決め機構4を設ける。支持体41は、梁部42
と支持バネ43と圧電体44からなる微小位置決め機構
4から構成される。支持体は、支持バネに設けられた圧
電体44への印加制御によって揺動運動を行う。そのた
めサスペンションアーム45は支持体41に固定されて
いることから、支持体41と同時に揺動し、サスペンシ
ョン45の先端に設けたヘッド部46の微小位置決めが
容易に可能となる。
Description
微小位置決め装置に関し、更に詳しくは、高速および高
分解能アクセスを実現でき、大量生産に適した記憶装置
および微小位置決め装置に関する。
うな磁気ディスク装置700は、サスペンションアーム
701の先端に磁気ヘッド702を設けた浮動ヘッド機
構703と、揺動軸704により軸支され前記浮動ヘッ
ド機構703を取り付けるキャリッジ705と、磁気ヘ
ッド702の反対側に設けたボイスコイルモータ706
とを備えている。ボイスコイルモータ706に通電する
ことにより、揺動軸704を中心として磁気ヘッド70
2が揺動する。磁気ヘッド702は、回転する磁気ディ
スク707上で浮上する。
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
までは記録密度の上昇が年率約25%程度であったが、
近年では、約60%程度まで達している。これに伴い、
高速および高分解能アクセスを可能とするヘッド位置決
め機構が要求されている。これらの要求に対し、例えば
ボイスコイルモータを2つ用いることでピポット軸に作
用する並進力を減少させる技術や、粗動・微動の2段ア
クチュエータを用いる技術がなどが開発されている。
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記従来の
記憶装置700では、シーク反力により装置全体が振動
し、シーク時間を増大させるという問題点があった。ま
た、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フォ
ローイングを実現するため、シーク制御系とフォローイ
ング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これら
制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決め
時間が増大するという問題点があった。
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている(International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING:Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED)。
示す。この磁気ディスク装置800では、キャリッジ8
01とサスペンションアーム802との間に位置決め用
のボイスコイルモータ803を設けた構成である。キャ
リッジ801の一端には、ステータ軸804が取り付け
てある。また、キャリッジ801には、マグネット80
5を固定する。さらに、このマグネット805に対向す
るようにして、コイル806を配置する。コイル806
は、ヘッドマウンティングブロック807に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック807は、サスペ
ンションアーム802のクロスシェイプドスプリング8
08に固定してある。クロスシェイプドスプリング80
8は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング808の中央には、ステータ
シャフト804がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム802の先端には、ジンバル809が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ(図示省略)は、ジ
ンバル809の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置800では、前記ボイスコイルモータ803によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
0は、部品点数が多く、部品が複雑かつ繊細で、組立調
整容易ではないため、大量生産に不向きな問題点があ
る。また、上記磁気ディスク装置800では、ヘッドマ
ウンティングブロック807およびサスペンションアー
ム802を可動部分としているため、質量が増加し、シ
ーク反力が大きくなる。このため、シーク時間を短縮す
るには限界があるという問題点がある。
たものであって、高速および高分解能アクセスを実現で
き、大量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置
を提供することを目的とする。
めに、本発明に係る記憶装置は、記憶媒体にデータを記
録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生するスライダ
形状のヘッド部と、ヘッド部を保持するサスペンション
アームと、サスペンションアームの一部を支持して当該
支持部分を中心にサスペンションアームを揺動させる回
転支持部と、サスペンションアームに対向すると共に当
該サスペンションアームとキャリッジとの間に設けた支
持体と、前記支持体が、梁部と前記梁部に隣接した支持
バネから連結された構造からなり、前記支持バネに圧電
体を設けた微小位置決め機構と、キャリッジに設けられ
磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド部を駆動する
ヘッド駆動部とを備え、前記圧電体を印加制御すること
で、圧電体の伸縮を励起させ、前記ヘッド部の微小駆動
を行うものである。
効果により歪みが発生し圧電体の伸縮が行われる。その
ため圧電体を備えた支持バネは、圧電体の伸縮に応じて
支持バネ長手方向も伸縮を行うこととなる。そこで支持
体は梁部を支点にし、隣接した支持バネの伸縮に応じた
微小な揺動運動を行わせる。サスペンションアームは、
支持体に対向配置してあるから、支持体の揺動運動によ
り、サスペンションアームが揺動可能となる。
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小位置決め機構は、圧電体の伸縮よりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小位置決め機構を用いることで、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。例えばシーク動作はヘッド駆動部により行い、フォ
ローイング動作は微小位置決め機構により行う。また、
ヘッド駆動部と微小位置決め機構とを併用してシーク動
作またはフォローイング動作をさせるようにしてもよ
い。さらに、ヘッド駆動部と微小位置決め機構との2つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
可動部分(サスペンションアーム)の質量を小さくでき
るので、シーク反力を小さく抑えることができる。さら
に、単純な構造でピギーバック方式のアームを構成でき
るから、大量生産に適する。
体にデータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再
生するスライダ形状のヘッド部と、ヘッド部を保持する
サスペンションアームと、サスペンションアームの一部
を支持して当該支持部分を中心にサスペンションアーム
を揺動させる回転支持部と、サスペンションアームに対
向すると共に当該サスペンションアームとキャリッジと
の間に設けた支持体と、前記支持体が、梁部と前記梁部
の両側に隣接した支持バネから連結された構造からな
り、前記支持バネに圧電体を設けた微小位置決め機構
と、キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用
いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部とを備え、前
記圧電体を印加制御することで、圧電体の伸縮を励起さ
せヘッド部の微小駆動を行うものである。
梁部の隣接した両側に、支持バネと圧電体を備える。圧
電体に特定の電圧を印加すると、逆圧電効果により歪み
が発生し圧電体の伸縮が行われる。そのため圧電体を備
えた支持バネは、圧電体の伸縮に応じて支持バネ長手方
向も伸縮を行うこととなる。支持体は、圧電体を備えた
支持バネが支持体の梁部を介して左右に配置する事で、
選択的に圧電体を制御して所定の方向に揺動が行われ、
隣接した支持バネの伸縮に応じた微小な揺動運動を高速
に行わせることが可能となる。サスペンションアーム
は、支持体に対向配置してあるから、支持体の揺動運動
により、サスペンションアームが高速に揺動可能とな
る。
ド駆動部は、磁気回路およびコイルを用いてヘッド部を
駆動するので、大きな移動に適している。微小位置決め
機構は、圧電体の伸縮よりヘッド部を駆動するので、微
小移動に適している。これらヘッド駆動部および微小位
置決め機構を用いることで、シーク動作およびフォロー
イング動作を効率よく行うことができる。例えばシーク
動作はヘッド駆動部により行い、フォローイング動作は
微小位置決め機構により行う。また、ヘッド駆動部と微
小位置決め機構とを併用してシーク動作またはフォロー
イング動作をさせるようにしてもよい。さらに、ヘッド
駆動部と微小位置決め機構との2つのアクチュエータを
用いて制御するので、シーク制御とフォローイング制御
との切り換えが不要になる。また、可動部分(サスペン
ションアーム)の質量を小さくできるので、シーク反力
を小さく抑えることができる。さらに、単純な構造でピ
ギーバック方式のアームを構成できるから、大量生産に
適する。
は、前記支持体を梁部により連結した構造とし、梁部の
両側に圧電体を設け、前記圧電体を印加制御することで
圧電体の伸縮を励起させヘッド部の微小駆動を行うもの
である。圧電体に特定の電圧を印加すると、逆圧電効果
により歪みが発生し圧電体の伸縮が行われる。そのため
支持体は、圧電体の伸縮に応じて支持体の梁部を介して
微小な揺動運動が起こる。サスペンションアームは、支
持体に対向配置してあるから、支持体の揺動運動によ
り、サスペンションアームが揺動可能となる。また、同
様にこの微小位置決め装置を、ボイスコイルモータで駆
動するキャリッジに取り付けることで、ピギーバック方
式の記憶装置を構成できる。
は、前記支持体内に設けられた圧電体が、矩形形状を有
することで、前記圧電体を印加制御し圧電体の伸縮を励
起させてヘッド部の微小駆動を行うものである。圧電体
に特定の電圧を印加すると、逆圧電効果により歪みが発
生し圧電体の伸縮が行われる。伸縮の変位量は、電圧と
圧電体の厚みに比例しまた長手方向の長さに反比例す
る。そのため矩形状の圧電体を用いることによって、上
記の圧電体は所望の変位量を発生し、支持体の適正な揺
動運動が行われることとなる。サスペンションアーム
は、支持体に対向配置してあるから、支持体の揺動運動
により、サスペンションアームが揺動可能となる。同様
に、この微小位置決め装置を、ボイスコイルモータで駆
動するキャリッジに取り付けることで、ピギーバック方
式の記憶装置を構成できる。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。図1は、この発明の
実施の形態に係る磁気ディスク装置を示す斜視図であ
る。この磁気ディスク装置100は、磁気ディスクを回
転させるスピンドル機構1と、磁気ヘッドの位置決めを
行う位置決め機構2とを有する。前記スピンドル機構1
と位置決め機構2とはベース3に組み込まれる。
だDCモータの回転軸12に磁気ディスク11をボルト
止めした構造である。磁気ディスク11は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク11の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
支持されている。キャリッジ21の端部には、ロータ2
3が取り付けてある。ロータ23はベース3側に設けた
ステータ24と共にボイスコイルモータ25を構成す
る。ロータ23は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ24は、永久磁石で構
成され、前記ロータ23を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル26
を介して電力が供給される。ベース3には、回路基板2
7が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部28が形成されている。キャリッジ21の端部に
は、更に、微小位置決め機構4が設けてある。
装置)4の一部を示す組立図である。キャリッジ21に
は、支持体41が固定されている。支持体41は、梁部
42と、支持バネ43から連結されて形成してある。梁
部42は長手方向左右に弾性変形が行え、支持バネ43
は長手方向に自由度をもつ弾性変形が行われる構造とす
る。支持体41は、エッチング等のフォトファブリケー
ション技術を用いて形成する。非機械加工プロセスを用
いることで、形状精度を向上させると共に、加工形成時
に発生する変形応力および機械的ストレスを排除でき、
機能および再現性が安定するためである。サスペンショ
ンアーム45は、レーザスポット溶接によって支持体4
1に固定される。サスペンションアーム45の先端に
は、ジンバル(図示省略)が形成してあり、このジンバ
ルにヘッド機能を備えたスライダ46が取り付けてあ
る。
G(Metal In Gap)ヘッド、薄膜ヘッド、MR(Magn
eto Resistive)ヘッド、GMR(Giant Magneto Re
sistive)ヘッドのいずれを用いても良い。MRヘッド
が高記録密度に適する。なお、磁気ヘッド21の代わり
に、近視野光を用いたヘッドを用いてもよい。支持バネ
43には圧電素子44が接着してある。圧電素子44
は、印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印
加電圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた
圧力に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本
例の圧電素子44には、圧電定数の高い薄膜ジルコンチ
タン酸鉛バルク材をダイシングにて矩形形状したもの用
いて支持バネ43に接着してある。また、チタン酸バリ
ウム、ニオブ酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用
いても良い。また、これら圧電セラミックスの代わり
に、傾斜機能材料やリチウムナイオベートを用いること
もできる。
する際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靱である
こと、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が
小さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメ
ルトおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用
いる。なお、上記支持バネ43に設けた圧電体44は、
ユニモルフ型であるが、2枚の圧電素子を用いるバイモ
ルフ型、4枚以上の圧電素子を用いるマルチモルフ型を
用いても良い。また、支持バネ43の形状は、図2に示
すような口形状を並べた形状に限定されない。圧電体の
伸縮方向に対してバネ定数の低い形状を設定する。
力を供給する。また、シーク・フォローイング制御は、
磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、前記供給電圧を
制御する。つぎに、この磁気ディスク装置100の動作
について説明する。まず、圧電体44の伸縮動作原理を
図5に示す。ここで用いる逆圧電効果とは、圧電体に電
圧を印加すると歪が発生する現象をいうもので、正の直
流電圧をかけると圧電体は伸びる。逆に負の直流電圧を
かけると縮む。この図では、圧電体の長手方向の長さL
が印加される事によって長手方向にΔL伸びている状態
を示す。
示す。圧電体44に特定駆動電圧を印加することによ
り、支持バネ43の長手方向が図中矢印中心線A方向に
沿って伸縮する。そこで支持体41は、支持バネ43の
伸縮に応じ、梁部42を支点に支持体41全体が支持体
41の中心に対して図中θの変形が行われることにな
る。この伸縮は、圧電定数d31と入力電圧と圧電体の厚
みtに比例しまた長手方向の長さLに反比例する。
す。図中の支持バネ43は、幅aに対する厚さbのアス
ペクト比(b/a)が1以上に設定されており、移動方
向Aに対して撓み易く自由度持ち、移動方向以外及びね
じり変位に対しては抑制する構造になっている。これら
の構造を求めるには、バネ定数が長手方向の長さに比例
し、厚みに指数関数的に反比例する事に基づいて仕様を
決める。
0.05〜0.3mm、長手方向は1〜5mm、長手方
向と直交する幅は0.1〜0.5mmの矩形形状寸法と
し、圧電定数はd31で100〜600×10-12m/vを
目安とした仕様を用いる。更に支持バネ43の移動方向
は、0.05〜0.8gf/mm、移動方向以外には、
5対1以上の比を持たせて抑制する構造を形成した。そ
こで、サスペンション45先端で揺動角θが0〜1度、
入力電圧に応じて0〜1μm程度の分解能が得られるこ
とこなる。
ついて説明する。図8は、ボイスコイルモータ25の動
作原理を示す説明図である。可動コイル(23)に矢印
I方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力f(矢印F)が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル(23)に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
制御は、アクセス速度制御(シーク制御)と追従位置決
め制御(フォローイング制御)とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図9は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ25を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に微小位
置決め機構4を用いて精密に行う。図10に、位置決め
制御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイング
制御部28では、シーク制御とフォローイング制御とを
並行して行う。シーク制御系においては、まず、現在の
ヘッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置に
基づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作量
の信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは位
相コントローラした操作量の信号を増幅する。そして、
この操作量に応じてボイスコイルモータ25を駆動す
る。シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信号
に変換され、入力側にフィードバックされる。
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
微小位置決め機構4の圧電体44に印加、駆動する。フ
ォローイング制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
御部28による制御工程例を示すフローチャートであ
る。ステップS1101では、目標トラック位置の入力
を行う。ステップS1102では、ボイスコイルモータ
25による位置決め制御系をONし、前記入力した目標
トラック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ス
テップS1103では、ヘッド位置と目標トラック位置
との差が梁部51、52の可動距離(梁部51、52に
よる位置決めが有効な範囲)未満になったか否かを判断
する。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ25
による位置決め制御を行う。可動距離未満になったらス
テップS1104に進む。
構4による位置決め制御系をONする。ステップS11
05では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラ
ック1〜3個分の幅未満になるまで、微小位置決め機構
4の圧電体44とボイスコイルモータ25との両方で位
置決め制御を行う。ボイスコイルモータ25を併用する
のは、トラック間移動のような比較的大きな移動が含ま
れるためである。ステップS1106では、ボイスコイ
ルモータ25による位置決め制御系をOFFして、微小
位置決め機構4のみで位置決め制御を行う。ステップS
1107では、ヘッド位置と目標トラック位置との差が
トラック位置決め精度を満たすか否かを判断する。満た
すまで制御を続行し、満たしたときに微小位置決め機構
4の位置決め制御系をOFFする(ステップS110
8)。
機構4との分担を明確に分け、前記アクセス動作をボイ
スコイルモータ25を用いて高速で行い、前記追従位置
決め動作を微小位置決め機構4の揺動運動を用いて精密
に行うようにしてもよい。つぎに図3に、微小位置決め
機構(微小位置決め装置)4の他の組立図例を示す。支
持体41は、梁部42を中心に隣接した支持バネ43a
と支持バネ43bから連結されて形成される。梁部42
は長手方向左右に弾性変形が行え、支持バネ43aと支
持バネ43bは長手方向に自由度をもつ弾性変形が行わ
れる構造とする。これら支持バネ43aと支持バネ43b
にそれぞれ圧電体44aと圧電体44bを接着し設けてあ
る。
である梁部42の隣接した両側に、支持バネ43aと支
持バネ43bと圧電体44aと圧電体44bを備える。支
持体41は、圧電体44を備えた支持バネ43を支持体
の梁部42を介して左右に配置する事で、選択的に圧電
体44aまたは圧電体44bを制御して、高速に所望の方
向に微小な揺動がを行わせることを可能とした。
図である。支持体41を梁部42により連結した構造と
し、梁部42の両側に直接圧電体44aと圧電体44bを
設け、特定電圧を印加することで圧電体44aと圧電体
44bの伸縮を励起させヘッド部の微小駆動を行うもの
である。本実施の形態においては、支持体41に設けた
圧電体44aと圧電体44bの特性が直接サスペンション
46の揺動運動に影響する事から、圧電体の特に圧電定
数d31及びd15、加工形状及び支持体41との接合状態
の充分な管理を行うことで構成を行うものとする。これ
は、図2及び図3で示した実施の形態では、サスペンシ
ョン45のピッチング、ヨーイング及びローリング現象
を、支持バネ43の自由度方向以外を規制する構造にて
形成することで、支持体の揺動時の姿勢を安定する構成
とした事に対し、圧電体44の挙動が支持体41の揺動
に直接結びつくからである。
置は、記憶媒体にデータを記録し且つ記憶媒体に記録し
たデータを再生するスライダ形状のヘッド部と、ヘッド
部を保持するサスペンションアームと、サスペンション
アームの一部を支持して当該支持部分を中心にサスペン
ションアームを揺動させる回転支持部と、サスペンショ
ンアームに対向すると共に当該サスペンションアームと
キャリッジとの間に設けた支持体と、前記支持体が、梁
部と梁部に隣接し所定のバネ定数を有する支持バネから
連結された構造からなり、支持バネに圧電体を設けた微
小位置決め機構と、キャリッジに設けられ、磁気回路お
よびコイルを用いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動
部とを備えたので、シーク動作およびフォローイング動
作を効率よく行うことができる。
微細な移動が可能になるから、位置決め精度が高くな
る。さらに、シーク制御とフォローイング制御との切り
換えが不要にできるので、切り換えによるタイムロスを
減少できる。以上から、高速かつ高分解能アクセスを実
現できるようになる。さらに、比較的単純な構成で、最
小部品にてピギーバック方式のアームを構成できるか
ら、大量生産に適したものになる。
にデータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生
するスライダ形状のヘッド部と、ヘッド部を保持するサ
スペンションアームと、サスペンションアームの一部を
支持して当該支持部分を中心にサスペンションアームを
揺動させる回転支持部と、サスペンションアームに対向
すると共に当該サスペンションアームとキャリッジとの
間に設けた支持体と、前記支持体が、梁部と梁部の両側
に隣接し所定のバネ定数を有する支持バネから連結され
た構造からなり、支持バネに圧電体を設けた微小位置決
め機構と、キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイ
ルを用いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部とを備
えたので、シーク動作およびフォローイング動作を効率
よく行うことができる。
である梁部の隣接した両側に支持バネと圧電体を備えた
ようにしているから、この双方の圧電体を用いることに
より、支持体によって固定されているサスペンションの
位置から左右方向に揺動することが容易となり、高速な
微小位置決めを可能とする。更に、微小位置決め機構に
よりヘッド部の微細な移動が可能になるから、位置決め
精度が高くなる。さらに、シーク制御とフォローイング
制御との切り換えが不要にできるので、切り換えによる
タイムロスを減少できる。以上から、高速かつ高分解能
アクセスを実現できるようになる。さらに、比較的単純
な構成で、最小部品にてピギーバック方式のアームを構
成できるから、大量生産に適したものになる。
は、前記支持体を梁部により連結した構造とし梁部の両
側に圧電体を設けたため、直接圧電体の伸縮に応じたサ
スペンションの揺動が行え、シーク動作およびフォロー
イング動作を効率よく行うことができる。このことから
ヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部の位置決
め精度を高めることができる。また、この微小位置決め
装置を、ボイスコイルモータで駆動するキャリッジに取
り付けてピギーバック方式の記憶装置を構成すれば、高
速かつ高分解能アクセスを実現できる。
は、前記支持体内に設けられた圧電体が、矩形形状を有
することで圧電体の伸縮を励起よりヘッド部の微小駆動
を行うものである。圧電体は、逆圧電効果により歪みが
発生し圧電体の伸縮が行われる。伸縮は電圧と圧電体の
厚みに比例しまた長手方向の長さに反比例するため、所
定の矩形状の圧電体を用いることで支持体を介したサス
ペンションアームの揺動が容易に行え安定化する。
を示す斜視図である。
である。
他の組立例の説明図である。
ある。
を示すグラフ図である。
程例を示すフローチャートである。
である。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 記憶媒体にデータを記録し且つ記憶媒体
に記録したデータを再生するスライダ形状のヘッド部
と、 ヘッド部を保持するサスペンションアームと、 サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、 サスペンションアームに対向すると共に当該サスペンシ
ョンアームとキャリッジとの間に設けた支持体と、 前記支持体が、梁部と前記梁部に隣接した支持バネから
連結された構造からなり、前記支持バネに圧電体を設け
た微小位置決め機構と、 キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部とを備え、 前記圧電体に印加制御することで、前記ヘッド部の微小
駆動を行うことを特徴とする記憶装置。 - 【請求項2】 記憶媒体にデータを記録し且つ記憶媒体
に記録したデータを再生するスライダ形状のヘッド部
と、 ヘッド部を保持するサスペンションアームと、 サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、 サスペンションアームに対向すると共に当該サスペンシ
ョンアームとキャリッジとの間に設けた支持体と、 前記支持体が、梁部と前記梁部の両側に隣接した支持バ
ネから連結された構造からなり、前記支持バネに圧電体
を設けた微小位置決め機構と、 キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部とを備え、 前記圧電体を印加制御することで、ヘッド部の微小駆動
を行うことを特徴とする記憶装置。 - 【請求項3】 前記支持体を梁部により連結した構造と
し、前記梁部の両側に圧電体を設けた微小位置決め機構
からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記
載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項4】 前記支持体内に設けられた圧電体が、矩
形形状を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれ
か一項に記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11132679A JP2000322847A (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | 記憶装置および微小位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11132679A JP2000322847A (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | 記憶装置および微小位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000322847A true JP2000322847A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15086986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11132679A Pending JP2000322847A (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | 記憶装置および微小位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000322847A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002262588A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、この圧電アクチュエータを用いた磁気ヘッド |
KR100430063B1 (ko) * | 2001-10-23 | 2004-05-03 | 한국과학기술원 | 정보저장기기용 미세구동기 |
-
1999
- 1999-05-13 JP JP11132679A patent/JP2000322847A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002262588A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、この圧電アクチュエータを用いた磁気ヘッド |
KR100430063B1 (ko) * | 2001-10-23 | 2004-05-03 | 한국과학기술원 | 정보저장기기용 미세구동기 |
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