JP2000100097A - 微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置 - Google Patents
微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/02—Driving or moving of heads
- G11B21/10—Track finding or aligning by moving the head ; Provisions for maintaining alignment of the head relative to the track during transducing operation, i.e. track following
- G11B21/106—Track finding or aligning by moving the head ; Provisions for maintaining alignment of the head relative to the track during transducing operation, i.e. track following on disks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
- G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速および高分解能アクセスを実現でき、大
量生産に適すること。 【解決手段】 この磁気ディスク装置では、ボイスコイ
ルモータを備えたキャリッジに微小位置決め機構４を設
ける。微小位置決め機構４は、支持体４１とサスペンシ
ョンアーム４７とで構成する。サスペンションアーム４
７の回転中心は、突起部５０と回転支持部４２との接点
となる。サスペンションアーム４７は、連結部４３でス
ポット溶接されており、スプリング部４６のたわみによ
り揺動する。第２駆動部４４は、双方向に設けた梁部５
１、５２に圧電素子を展着した構造である。圧電素子に
特定周波数の電圧を印加すると、梁部５１、５２が振動
してサスペンションアーム４７の摺動部５４に接触す
る。このときの水平方向分力によりサスペンションアー
ム４７が移動する。
量生産に適すること。 【解決手段】 この磁気ディスク装置では、ボイスコイ
ルモータを備えたキャリッジに微小位置決め機構４を設
ける。微小位置決め機構４は、支持体４１とサスペンシ
ョンアーム４７とで構成する。サスペンションアーム４
７の回転中心は、突起部５０と回転支持部４２との接点
となる。サスペンションアーム４７は、連結部４３でス
ポット溶接されており、スプリング部４６のたわみによ
り揺動する。第２駆動部４４は、双方向に設けた梁部５
１、５２に圧電素子を展着した構造である。圧電素子に
特定周波数の電圧を印加すると、梁部５１、５２が振動
してサスペンションアーム４７の摺動部５４に接触す
る。このときの水平方向分力によりサスペンションアー
ム４７が移動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微小駆動装置、
微小位置決め装置および記憶装置に関し、更に詳しく
は、高速および高分解能アクセスを実現でき、大量生産
に適した微小駆動装置、微小位置決め装置および記憶装
置に関する。
微小位置決め装置および記憶装置に関し、更に詳しく
は、高速および高分解能アクセスを実現でき、大量生産
に適した微小駆動装置、微小位置決め装置および記憶装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の記憶装置、例えば図１４に示すよ
うな磁気ディスク装置７００は、サスペンションアーム
７０１の先端に磁気ヘッド７０２を設けた浮動ヘッド機
構７０３と、揺動軸７０４により軸支され前記浮動ヘッ
ド機構７０３を取り付けるキャリッジ７０５と、磁気ヘ
ッド７０２の反対側に設けたボイスコイルモータ７０６
とを備えている。ボイスコイルモータ７０６に通電する
ことにより、揺動軸７０４を中心として磁気ヘッド７０
２が揺動する。磁気ヘッド７０２は、回転する磁気ディ
スク７０７上で浮上する。
うな磁気ディスク装置７００は、サスペンションアーム
７０１の先端に磁気ヘッド７０２を設けた浮動ヘッド機
構７０３と、揺動軸７０４により軸支され前記浮動ヘッ
ド機構７０３を取り付けるキャリッジ７０５と、磁気ヘ
ッド７０２の反対側に設けたボイスコイルモータ７０６
とを備えている。ボイスコイルモータ７０６に通電する
ことにより、揺動軸７０４を中心として磁気ヘッド７０
２が揺動する。磁気ヘッド７０２は、回転する磁気ディ
スク７０７上で浮上する。
【０００３】ところで、現在では記憶装置における単位
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
までは記録密度の上昇が年率約２５％程度であったが、
近年では、約６０％程度まで達している。これに伴い、
高速および高分解能アクセスを可能とするヘッド位置決
め機構が要求されている。これらの要求に対し、例えば
ボイスコイルモータを２つ用いることでピポット軸に作
用する並進力を減少させる技術や、粗動・微動の２段ア
クチュエータを用いる技術がなどが開発されている。
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
までは記録密度の上昇が年率約２５％程度であったが、
近年では、約６０％程度まで達している。これに伴い、
高速および高分解能アクセスを可能とするヘッド位置決
め機構が要求されている。これらの要求に対し、例えば
ボイスコイルモータを２つ用いることでピポット軸に作
用する並進力を減少させる技術や、粗動・微動の２段ア
クチュエータを用いる技術がなどが開発されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高速お
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記従来の
記憶装置７００では、シーク反力により装置全体が振動
し、シーク時間を増大させるという問題点があった。ま
た、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フォ
ローイングを実現するため、シーク制御系とフォローイ
ング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これら
制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決め
時間が増大するという問題点があった。
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記従来の
記憶装置７００では、シーク反力により装置全体が振動
し、シーク時間を増大させるという問題点があった。ま
た、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フォ
ローイングを実現するため、シーク制御系とフォローイ
ング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これら
制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決め
時間が増大するという問題点があった。
【０００５】また、上記のような問題点を解決するた
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている（International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING：Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED）。
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている（International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING：Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED）。
【０００６】図１５に、その磁気ディスク装置の構造を
示す。この磁気ディスク装置８００では、キャリッジ８
０１とサスペンションアーム８０２との間に位置決め用
のボイスコイルモータ８０３を設けた構成である。キャ
リッジ８０１の一端には、ステータ軸８０４が取り付け
てある。また、キャリッジ８０１には、マグネット８０
５を固定する。さらに、このマグネット８０５に対向す
るようにして、コイル８０６を配置する。コイル８０６
は、ヘッドマウンティングブロック８０７に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック８０７は、サスペ
ンションアーム８０２のクロスシェイプドスプリング８
０８に固定してある。クロスシェイプドスプリング８０
８は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング８０８の中央には、ステータ
シャフト８０４がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム８０２の先端には、ジンバル８０９が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ（図示省略）は、ジ
ンバル８０９の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置８００では、前記ボイスコイルモータ８０３によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
示す。この磁気ディスク装置８００では、キャリッジ８
０１とサスペンションアーム８０２との間に位置決め用
のボイスコイルモータ８０３を設けた構成である。キャ
リッジ８０１の一端には、ステータ軸８０４が取り付け
てある。また、キャリッジ８０１には、マグネット８０
５を固定する。さらに、このマグネット８０５に対向す
るようにして、コイル８０６を配置する。コイル８０６
は、ヘッドマウンティングブロック８０７に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック８０７は、サスペ
ンションアーム８０２のクロスシェイプドスプリング８
０８に固定してある。クロスシェイプドスプリング８０
８は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング８０８の中央には、ステータ
シャフト８０４がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム８０２の先端には、ジンバル８０９が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ（図示省略）は、ジ
ンバル８０９の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置８００では、前記ボイスコイルモータ８０３によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
【０００７】しかしながら、上記磁気ディスク装置８０
０は、部品点数が多く、部品が複雑かつ繊細であるた
め、大量生産に不向きな問題点があった。また、上記磁
気ディスク装置８００では、ヘッドマウンティングブロ
ック８０７およびサスペンションアーム８０２を可動部
分としているため、質量が増加し、シーク反力が大きく
なる。このため、シーク時間を短縮するには限界がある
という問題点があった。
０は、部品点数が多く、部品が複雑かつ繊細であるた
め、大量生産に不向きな問題点があった。また、上記磁
気ディスク装置８００では、ヘッドマウンティングブロ
ック８０７およびサスペンションアーム８０２を可動部
分としているため、質量が増加し、シーク反力が大きく
なる。このため、シーク時間を短縮するには限界がある
という問題点があった。
【０００８】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、高速および高分解能アクセスを実現で
き、大量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置
を提供することを目的とする。
たものであって、高速および高分解能アクセスを実現で
き、大量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１に係る微小駆動装置は、スライダに形成
したヘッド部を保持するサスペンションアームと、サス
ペンションアームの一部を支持して当該支持部分を中心
にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と、サ
スペンションアームに対向配置した支持体と、この支持
体に設けられ且つサスペンションアームと連結する連結
部と、支持体と連結部との間に設けたスプリング部と、
支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に形成す
ると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド駆動部
と、を備え、圧電体に特定周波数の電圧を印加すること
で梁部を振動させ、当該梁部をサスペンションアームに
接触させることでヘッド部の微小駆動を行うものであ
る。
めに、請求項１に係る微小駆動装置は、スライダに形成
したヘッド部を保持するサスペンションアームと、サス
ペンションアームの一部を支持して当該支持部分を中心
にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と、サ
スペンションアームに対向配置した支持体と、この支持
体に設けられ且つサスペンションアームと連結する連結
部と、支持体と連結部との間に設けたスプリング部と、
支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に形成す
ると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド駆動部
と、を備え、圧電体に特定周波数の電圧を印加すること
で梁部を振動させ、当該梁部をサスペンションアームに
接触させることでヘッド部の微小駆動を行うものであ
る。
【００１０】圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。後述になるが、この微小駆動装
置を、ボイスコイルモータで駆動するキャリッジに取り
付けることで、ピギーバック方式の記憶装置を構成でき
る。
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。後述になるが、この微小駆動装
置を、ボイスコイルモータで駆動するキャリッジに取り
付けることで、ピギーバック方式の記憶装置を構成でき
る。
【００１１】つぎに、請求項２に係る微小駆動装置は、
島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部と、
一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体形成
すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記サス
ペンションアームの一部を支持して当該支持部分を中心
にサスペンションアームを揺動させる回転支持部とを設
けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデータ
を記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生するヘッ
ド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持するサ
スペンションアームとを備え、圧電体に特定周波数の電
圧を印加することで梁部を振動させ、当該梁部をサスペ
ンションアームに接触させることでヘッド部の微小駆動
を行うものである。
島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部と、
一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体形成
すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記サス
ペンションアームの一部を支持して当該支持部分を中心
にサスペンションアームを揺動させる回転支持部とを設
けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデータ
を記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生するヘッ
ド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持するサ
スペンションアームとを備え、圧電体に特定周波数の電
圧を印加することで梁部を振動させ、当該梁部をサスペ
ンションアームに接触させることでヘッド部の微小駆動
を行うものである。
【００１２】この微小駆動装置では、支持部の連結部、
スプリング部および梁部を一体成形するようにし、この
連結部にサスペンションアームを設けるようにしている
から、バッチ処理が可能となり、部品点数が少なくて済
む。このため、大量生産に適したものとなる。また、圧
電体や回転支持部を一体成形するようにすれば、さら
に、生産工程が簡略化できる。
スプリング部および梁部を一体成形するようにし、この
連結部にサスペンションアームを設けるようにしている
から、バッチ処理が可能となり、部品点数が少なくて済
む。このため、大量生産に適したものとなる。また、圧
電体や回転支持部を一体成形するようにすれば、さら
に、生産工程が簡略化できる。
【００１３】この微小駆動装置についても上記同様に、
圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、梁部が振動
し、支持体に対向配置したサスペンションアームが揺動
する。サスペンションアームは、連結部によって支持体
と連結しており、この連結部はスプリング部によって支
持されているから、梁部による横方向の分力でスプリン
グ部が弾性変形し、これによってサスペンションアーム
が揺動可能となる。
圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、梁部が振動
し、支持体に対向配置したサスペンションアームが揺動
する。サスペンションアームは、連結部によって支持体
と連結しており、この連結部はスプリング部によって支
持されているから、梁部による横方向の分力でスプリン
グ部が弾性変形し、これによってサスペンションアーム
が揺動可能となる。
【００１４】つぎに、請求項３に係る微小位置決め装置
は、請求項1に記載の微小駆動装置と、当該微小駆動装
置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キ
ャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前
記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆
動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な
位置決めを行うことものである。
は、請求項1に記載の微小駆動装置と、当該微小駆動装
置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キ
ャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前
記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆
動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な
位置決めを行うことものである。
【００１５】また、請求項４に係る微小位置決め装置
は、請求項２に記載の微小駆動装置と、当該微小駆動装
置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キ
ャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前
記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆
動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な
位置決めを行うものである。
は、請求項２に記載の微小駆動装置と、当該微小駆動装
置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キ
ャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前
記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆
動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な
位置決めを行うものである。
【００１６】請求項３および請求項４の微小位置決め装
置について、ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、大きな揺
動範囲において微小位置決め動作を効率よく行うことが
できる。例えば大きな揺動動作はヘッド駆動部により行
い、微小な位置決め動作は微小ヘッド駆動部により行
う。また、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用し
てもよい。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部と
の２つのアクチュエータを用いて制御するので、大きな
揺動動作のための制御と微小位置決めのための制御との
切り換えが不要になる。また、可動部分（サスペンショ
ンアーム）の質量を小さくできるので、位置決め時の慣
性による反力を小さく抑えることができる。さらに、比
較的簡単な構成なので、大量生産に適する。
置について、ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、大きな揺
動範囲において微小位置決め動作を効率よく行うことが
できる。例えば大きな揺動動作はヘッド駆動部により行
い、微小な位置決め動作は微小ヘッド駆動部により行
う。また、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用し
てもよい。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部と
の２つのアクチュエータを用いて制御するので、大きな
揺動動作のための制御と微小位置決めのための制御との
切り換えが不要になる。また、可動部分（サスペンショ
ンアーム）の質量を小さくできるので、位置決め時の慣
性による反力を小さく抑えることができる。さらに、比
較的簡単な構成なので、大量生産に適する。
【００１７】また、請求項４の微小位置決め装置につい
て、支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成
形するようにし、この連結部にサスペンションアームを
設けるようにしているから、バッチ処理が可能となり、
部品点数が少なくて済む。このため、大量生産に適した
ものとなる。また、圧電体や回転支持部を一体成形する
ようにすれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
て、支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成
形するようにし、この連結部にサスペンションアームを
設けるようにしているから、バッチ処理が可能となり、
部品点数が少なくて済む。このため、大量生産に適した
ものとなる。また、圧電体や回転支持部を一体成形する
ようにすれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
【００１８】つぎに、請求項５に係る記憶装置は、請求
項１に記載の微小駆動装置と、データを記録する記録媒
体と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部に
より前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデー
タを記録するものである。
項１に記載の微小駆動装置と、データを記録する記録媒
体と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部に
より前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデー
タを記録するものである。
【００１９】また、請求項６に係る記憶装置は、請求項
２に記載の微小位置決め装置と、データを記録する記録
媒体と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部
により前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデ
ータを記録するものである。
２に記載の微小位置決め装置と、データを記録する記録
媒体と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部
により前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデ
ータを記録するものである。
【００２０】圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。この微小位置決め装置を、ボイ
スコイルモータで駆動するキャリッジに取り付けること
で、ピギーバック方式の記憶装置を構成できる。
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。この微小位置決め装置を、ボイ
スコイルモータで駆動するキャリッジに取り付けること
で、ピギーバック方式の記憶装置を構成できる。
【００２１】ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。例えばシーク動作はヘッド駆動部により行い、フォ
ローイング動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してシーク動
作またはフォローイング動作をさせるようにしてもよ
い。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との２つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
可動部分（サスペンションアーム）の質量を小さくでき
るので、シーク伴侶区を小さく抑えることができる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適する。
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。例えばシーク動作はヘッド駆動部により行い、フォ
ローイング動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してシーク動
作またはフォローイング動作をさせるようにしてもよ
い。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との２つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
可動部分（サスペンションアーム）の質量を小さくでき
るので、シーク伴侶区を小さく抑えることができる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適する。
【００２２】さらに、請求項６の記録装置について、支
持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形する
ようにし、この連結部にサスペンションアームを設ける
ようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品点
数が少なくて済む。このため、大量生産に適したものと
なる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するように
すれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形する
ようにし、この連結部にサスペンションアームを設ける
ようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品点
数が少なくて済む。このため、大量生産に適したものと
なる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するように
すれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
【００２４】図１は、この発明の実施の形態に係る磁気
ディスク装置を示す斜視図である。この磁気ディスク装
置１００は、磁気ディスクを回転させるスピンドル機構
１と、磁気ヘッドの位置決めを行う位置決め機構２とを
有する。前記スピンドル機構１と位置決め機構２とはベ
ース３に組み込まれる。
ディスク装置を示す斜視図である。この磁気ディスク装
置１００は、磁気ディスクを回転させるスピンドル機構
１と、磁気ヘッドの位置決めを行う位置決め機構２とを
有する。前記スピンドル機構１と位置決め機構２とはベ
ース３に組み込まれる。
【００２５】スピンドル機構１は、ベース３に組み込ん
だＤＣモータの回転軸１２に磁気ディスク１１をボルト
止めした構造である。磁気ディスク１１は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク１１の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
だＤＣモータの回転軸１２に磁気ディスク１１をボルト
止めした構造である。磁気ディスク１１は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク１１の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
【００２６】キャリッジ２１は、揺動軸２２により回転
支持されている。キャリッジ２１の端部には、ロータ２
３が取り付けてある。ロータ２３はベース３側に設けた
ステータ２４と共にボイスコイルモータ２５を構成す
る。ロータ２３は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ２４は、永久磁石で構
成され、前記ロータ２３を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル２６
を介して電力が供給される。ベース３には、回路基板２
７が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部２８が形成されている。キャリッジ２１の端部に
は、更に、微小位置決め装置４が設けてある。
支持されている。キャリッジ２１の端部には、ロータ２
３が取り付けてある。ロータ２３はベース３側に設けた
ステータ２４と共にボイスコイルモータ２５を構成す
る。ロータ２３は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ２４は、永久磁石で構
成され、前記ロータ２３を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル２６
を介して電力が供給される。ベース３には、回路基板２
７が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部２８が形成されている。キャリッジ２１の端部に
は、更に、微小位置決め装置４が設けてある。
【００２７】図２は、微小位置決め装置４の一部を示す
組立図である。キャリッジ２１には、支持体４１が固定
されている。支持体４１には、回転支持部４２と、連結
部４３と、２組の微小駆動部４４が形成してある。支持
体端部には、キャリッジ２１と連結するためのマウント
プレート４５が取り付けてある。連結部４３は、弾性変
形するＳ字形状のスプリング部４６によって支持する。
連結部４３およびスプリング部４６は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。非機
械加工プロセスを用いることで、加工形成時に発生する
変形、応力および機械的ストレスを排除でき、機能およ
び再現性が安定するためである。サスペンションアーム
４７は、レーザスポット溶接によって連結部４３に連結
する。サスペンションアーム４７の先端には、ジンバル
４８が形成してあり、このジンバル４８にスライダ４９
が取り付けてある。スライダ４９には、磁気ヘッド（図
示省略）が形成されている。
組立図である。キャリッジ２１には、支持体４１が固定
されている。支持体４１には、回転支持部４２と、連結
部４３と、２組の微小駆動部４４が形成してある。支持
体端部には、キャリッジ２１と連結するためのマウント
プレート４５が取り付けてある。連結部４３は、弾性変
形するＳ字形状のスプリング部４６によって支持する。
連結部４３およびスプリング部４６は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。非機
械加工プロセスを用いることで、加工形成時に発生する
変形、応力および機械的ストレスを排除でき、機能およ
び再現性が安定するためである。サスペンションアーム
４７は、レーザスポット溶接によって連結部４３に連結
する。サスペンションアーム４７の先端には、ジンバル
４８が形成してあり、このジンバル４８にスライダ４９
が取り付けてある。スライダ４９には、磁気ヘッド（図
示省略）が形成されている。
【００２８】磁気ヘッドには、フェライトヘッド、ＭＩ
Ｇ（Metal In Gap）ヘッド、薄膜ヘッド、ＭＲ（Magn
eto Resistive）ヘッド、ＧＭＲ（Giant Magneto Re
sistive）ヘッドのいずれを用いても良い。ＧＭＲヘッ
ドが高記録密度に適する。なお、磁気ヘッドの代わり
に、近視野光を用いたヘッドを用いてもよい。
Ｇ（Metal In Gap）ヘッド、薄膜ヘッド、ＭＲ（Magn
eto Resistive）ヘッド、ＧＭＲ（Giant Magneto Re
sistive）ヘッドのいずれを用いても良い。ＧＭＲヘッ
ドが高記録密度に適する。なお、磁気ヘッドの代わり
に、近視野光を用いたヘッドを用いてもよい。
【００２９】また、サスペンションアーム４７には、回
転中心となる突起部５０が形成してある。図３に示すよ
うに、サスペンションアーム４７を連結した状態で、突
起部５０が回転支持部４２に当接し回転中心となる。回
転支持部４２は、支持部４１の形成後、曲げ加工によっ
て形成する。なお、回転支持部４２は、曲げ加工によら
ずとも、図４に示すような、エンボス加工によって形成
した突起であってもよい。また、図５に示すように、プ
ロセス過程で突起を形成するようにしてもよい。この
他、回転支持部４２および突起部５０は、両者が係止関
係にあれば、当業者の設計範囲で自由に変形可能であ
る。
転中心となる突起部５０が形成してある。図３に示すよ
うに、サスペンションアーム４７を連結した状態で、突
起部５０が回転支持部４２に当接し回転中心となる。回
転支持部４２は、支持部４１の形成後、曲げ加工によっ
て形成する。なお、回転支持部４２は、曲げ加工によら
ずとも、図４に示すような、エンボス加工によって形成
した突起であってもよい。また、図５に示すように、プ
ロセス過程で突起を形成するようにしてもよい。この
他、回転支持部４２および突起部５０は、両者が係止関
係にあれば、当業者の設計範囲で自由に変形可能であ
る。
【００３０】微小駆動部４４には、一端自由他端固定と
した梁部５１、５２が双方向に形成されている。梁部５
１、５２は、サスペンションアーム４７に対向するよう
に設ける。一方、サスペンションアーム４７の梁部５
１、５２に対向する位置には、接触部５３が設けてあ
る。接触部５３には、摺動部５４が設けてある。摺動部
５４には、摩擦係数が大きく、耐摩耗性に優れ、安定し
た摩擦係数を維持できる材料を用いる。例えば摺動部５
４には酸化皮膜処理を施す。また、前記摺動部５４に、
セルロース系繊維、カーボン系繊維、ウィスカとフェノ
ール樹脂との複合材料、ポリイミド樹脂とポリアミド樹
脂との複合材料を用いてもよい。
した梁部５１、５２が双方向に形成されている。梁部５
１、５２は、サスペンションアーム４７に対向するよう
に設ける。一方、サスペンションアーム４７の梁部５
１、５２に対向する位置には、接触部５３が設けてあ
る。接触部５３には、摺動部５４が設けてある。摺動部
５４には、摩擦係数が大きく、耐摩耗性に優れ、安定し
た摩擦係数を維持できる材料を用いる。例えば摺動部５
４には酸化皮膜処理を施す。また、前記摺動部５４に、
セルロース系繊維、カーボン系繊維、ウィスカとフェノ
ール樹脂との複合材料、ポリイミド樹脂とポリアミド樹
脂との複合材料を用いてもよい。
【００３１】また、梁部５１、５２は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。さら
に、図６に示すように、梁部５１、５２の、サスペンシ
ョンアーム４７に対する反対側にはそれぞれ圧電素子５
５、５６が展着してある。前記圧電素子５５、５６は、
印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印加電
圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた圧力
に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本例の
圧電素子５５、５６には、圧電定数の高い薄膜ジルコン
チタン酸鉛を用いてある。また、チタン酸バリウム、ニ
オブ酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良
い。また、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機
能材料やリチウムナイオベートを用いることもできる。
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。さら
に、図６に示すように、梁部５１、５２の、サスペンシ
ョンアーム４７に対する反対側にはそれぞれ圧電素子５
５、５６が展着してある。前記圧電素子５５、５６は、
印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印加電
圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた圧力
に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本例の
圧電素子５５、５６には、圧電定数の高い薄膜ジルコン
チタン酸鉛を用いてある。また、チタン酸バリウム、ニ
オブ酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良
い。また、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機
能材料やリチウムナイオベートを用いることもできる。
【００３２】圧電素子５５、５６は、薄膜形成プロセス
によって形成する。大量生産に適するためである。ま
た、梁部５１、５２のサイズが小さいので製作が容易に
なるためである。なお、梁部５１、５２と圧電素子５
５、５６とを接着により一体化するようにしてもよい。
この際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靱である
こと、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が
小さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメ
ルトおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用
いる。なお、上記梁部５１、５２は、１枚の圧電素子５
５、５６を用いるユニモルフ型であるが、２枚の圧電素
子を用いるバイモルフ型、４枚以上の圧電素子を用いる
マルチモルフ型を用いても良い。また、梁部５１、５２
の形状は、図２に示すような平面Ｌ字形状に限定されな
い。例えば梁部先端に山部や突起部を設けたり、くびれ
部を持つような形状にしてもよい。
によって形成する。大量生産に適するためである。ま
た、梁部５１、５２のサイズが小さいので製作が容易に
なるためである。なお、梁部５１、５２と圧電素子５
５、５６とを接着により一体化するようにしてもよい。
この際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靱である
こと、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が
小さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメ
ルトおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用
いる。なお、上記梁部５１、５２は、１枚の圧電素子５
５、５６を用いるユニモルフ型であるが、２枚の圧電素
子を用いるバイモルフ型、４枚以上の圧電素子を用いる
マルチモルフ型を用いても良い。また、梁部５１、５２
の形状は、図２に示すような平面Ｌ字形状に限定されな
い。例えば梁部先端に山部や突起部を設けたり、くびれ
部を持つような形状にしてもよい。
【００３３】電源は、配線を介して前記圧電素子５５、
５６に電力を供給する。また、シーク・フォローイング
制御部２８は、磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、
前記供給電圧を制御する。
５６に電力を供給する。また、シーク・フォローイング
制御部２８は、磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、
前記供給電圧を制御する。
【００３４】つぎに、この磁気ディスク装置１００の動
作について説明する。まず、梁部単位の動作原理を図７
に示す。圧電素子５５、５６に特定周波数の駆動電圧を
印加することにより、当該圧電素子５５、５６が図中矢
印Ａ方向に伸縮する。この伸縮により梁部５５、５６が
図中矢印Ｂ方向に振動する。梁部５５、５６が振動する
と、当該梁部５５、５６の先端がサスペンションの摺動
部に接触する。接触方向は、サスペンションに対して垂
直ではなく、傾いている。また、支持体４１はキャリッ
ジ２１に固定されており、一方、サスペンションアーム
４７は連結部４３によって支持されているため、横方向
の力成分Ｃｈの反力によってサスペンションアーム４７
が回転する。これにより磁気ヘッドが横方向に微動す
る。また、特定周波数は、梁部５１、５２の寸法、形状
に応じた固有振動数に合致させる。共振周波数近傍に設
定すれば梁部５１、５２の最大振幅が得られるからであ
る。
作について説明する。まず、梁部単位の動作原理を図７
に示す。圧電素子５５、５６に特定周波数の駆動電圧を
印加することにより、当該圧電素子５５、５６が図中矢
印Ａ方向に伸縮する。この伸縮により梁部５５、５６が
図中矢印Ｂ方向に振動する。梁部５５、５６が振動する
と、当該梁部５５、５６の先端がサスペンションの摺動
部に接触する。接触方向は、サスペンションに対して垂
直ではなく、傾いている。また、支持体４１はキャリッ
ジ２１に固定されており、一方、サスペンションアーム
４７は連結部４３によって支持されているため、横方向
の力成分Ｃｈの反力によってサスペンションアーム４７
が回転する。これにより磁気ヘッドが横方向に微動す
る。また、特定周波数は、梁部５１、５２の寸法、形状
に応じた固有振動数に合致させる。共振周波数近傍に設
定すれば梁部５１、５２の最大振幅が得られるからであ
る。
【００３５】つぎに、ボイスコイルモータ２５の動作に
ついて説明する。図８は、ボイスコイルモータ２５の動
作原理を示す説明図である。可動コイル（２３）に矢印
Ｉ方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力ｆ（矢印Ｆ）が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル（２３）に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
ついて説明する。図８は、ボイスコイルモータ２５の動
作原理を示す説明図である。可動コイル（２３）に矢印
Ｉ方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力ｆ（矢印Ｆ）が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル（２３）に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
【００３６】通常、磁気ディスク装置における位置決め
制御は、アクセス速度制御（シーク制御）と追従位置決
め制御（フォローイング制御）とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図９は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
制御は、アクセス速度制御（シーク制御）と追従位置決
め制御（フォローイング制御）とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図９は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
【００３７】この磁気ディスク装置１００では、アクセ
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ２５を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に梁部５
１、５２の振動を用いて精密に行う。図１０に、位置決
め制御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイン
グ制御部２８では、シーク制御とフォローイング制御と
を並行して行う。シーク制御系においては、まず、現在
のヘッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置
に基づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作
量の信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは
位相コントローラした操作量の信号を増幅する。そし
て、この操作量に応じてボイスコイルモータ２５を駆動
する。シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ２５を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に梁部５
１、５２の振動を用いて精密に行う。図１０に、位置決
め制御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイン
グ制御部２８では、シーク制御とフォローイング制御と
を並行して行う。シーク制御系においては、まず、現在
のヘッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置
に基づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作
量の信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは
位相コントローラした操作量の信号を増幅する。そし
て、この操作量に応じてボイスコイルモータ２５を駆動
する。シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
【００３８】一方、フォローイング制御系においては、
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
梁部５１、５２を駆動する。フォローイング制御系の制
御量は、目標値信号と同種の信号に変換され、入力側に
フィードバックされる。
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
梁部５１、５２を駆動する。フォローイング制御系の制
御量は、目標値信号と同種の信号に変換され、入力側に
フィードバックされる。
【００３９】図１１は、前記シーク・フォローイング制
御部２８による制御工程例を示すフローチャートであ
る。ステップＳ１１０１では、目標トラック位置の入力
を行う。ステップＳ１１０２では、ボイスコイルモータ
２５による位置決め制御系をＯＮし、前記入力した目標
トラック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ス
テップＳ１１０３では、ヘッド位置と目標トラック位置
との差が梁部５１、５２の可動距離（梁部５１、５２に
よる位置決めが有効な範囲）未満になったか否かを判断
する。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ２５
による位置決め制御を行う。可動距離未満になったらス
テップＳ１１０４に進む。
御部２８による制御工程例を示すフローチャートであ
る。ステップＳ１１０１では、目標トラック位置の入力
を行う。ステップＳ１１０２では、ボイスコイルモータ
２５による位置決め制御系をＯＮし、前記入力した目標
トラック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ス
テップＳ１１０３では、ヘッド位置と目標トラック位置
との差が梁部５１、５２の可動距離（梁部５１、５２に
よる位置決めが有効な範囲）未満になったか否かを判断
する。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ２５
による位置決め制御を行う。可動距離未満になったらス
テップＳ１１０４に進む。
【００４０】ステップＳ１１０４では、梁部５１、５２
による位置決め制御系をＯＮする。ステップＳ１１０５
では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラック
１〜３個分の幅未満になるまで、梁部５１、５２とボイ
スコイルモータ２５との両方で位置決め制御を行う。ボ
イスコイルモータ２５を併用するのは、トラック間移動
のような比較的大きな移動が含まれるためである。ステ
ップＳ１１０６では、ボイスコイルモータ２５による位
置決め制御系をＯＦＦして、梁部５１、５２のみで位置
決め制御を行う。ステップＳ１１０７では、ヘッド位置
と目標トラック位置との差がトラック位置決め精度を満
たすか否かを判断する。満たすまで制御を続行し、満た
したときに梁部５１、５２の位置決め制御系をＯＦＦす
る（ステップＳ１１０８）。
による位置決め制御系をＯＮする。ステップＳ１１０５
では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラック
１〜３個分の幅未満になるまで、梁部５１、５２とボイ
スコイルモータ２５との両方で位置決め制御を行う。ボ
イスコイルモータ２５を併用するのは、トラック間移動
のような比較的大きな移動が含まれるためである。ステ
ップＳ１１０６では、ボイスコイルモータ２５による位
置決め制御系をＯＦＦして、梁部５１、５２のみで位置
決め制御を行う。ステップＳ１１０７では、ヘッド位置
と目標トラック位置との差がトラック位置決め精度を満
たすか否かを判断する。満たすまで制御を続行し、満た
したときに梁部５１、５２の位置決め制御系をＯＦＦす
る（ステップＳ１１０８）。
【００４１】なお、ボイスコイルモータと梁部との分担
を明確に分け、前記アクセス動作をボイスコイルモータ
２５を用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を梁部
５１、５２の振動を用いて精密に行うようにしてもよ
い。
を明確に分け、前記アクセス動作をボイスコイルモータ
２５を用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を梁部
５１、５２の振動を用いて精密に行うようにしてもよ
い。
【００４２】つぎに、上記したような制御によってサス
ペンションアーム４７の位置決めを行った場合の磁気ヘ
ッド（スライダ４９を図示する）の軌跡を、図１２に示
す。ボイスコイルモータ２５により位置決めする場合、
磁気ヘッドは、揺動軸を中心として半径ＲＬで回転する
（軌跡ＣＬ）。また、微小駆動部４４を用いてサスペン
ションアーム（４７）を揺動させた場合、磁気ヘッド
は、回転支持部４２を中心として半径ＲＳで回転する
（軌跡ＣＳ）。
ペンションアーム４７の位置決めを行った場合の磁気ヘ
ッド（スライダ４９を図示する）の軌跡を、図１２に示
す。ボイスコイルモータ２５により位置決めする場合、
磁気ヘッドは、揺動軸を中心として半径ＲＬで回転する
（軌跡ＣＬ）。また、微小駆動部４４を用いてサスペン
ションアーム（４７）を揺動させた場合、磁気ヘッド
は、回転支持部４２を中心として半径ＲＳで回転する
（軌跡ＣＳ）。
【００４３】つぎに、図１３に、上記スプリング部４６
の構造例を示す。図の（ａ）は、スプリング部４６ａを
コの字形状にしたものである。図の（ｂ）は、１つのス
プリング部４６ｂにより連結部を支持するようにしたも
のである。図の（ｃ）は、スプリング部４６ｃを中空構
造にしたものである。スプリング部４６ｃを中空構造に
することにより、厚さ方向の剛性とサスペンション揺動
方向の剛性の比を大きくすることができる。このことに
より、微小駆動部４４とサスペンション４７の接触圧力
を大きく保ったまま、サスペンション４７の揺動動作を
阻害する剛性を低くすることができ、サスペンション４
７の揺動を大きく、安定させることができる。また、こ
の中空構造は図２および図１３（ａ）のスプリング部４
６および４６ａにも適用が可能である。
の構造例を示す。図の（ａ）は、スプリング部４６ａを
コの字形状にしたものである。図の（ｂ）は、１つのス
プリング部４６ｂにより連結部を支持するようにしたも
のである。図の（ｃ）は、スプリング部４６ｃを中空構
造にしたものである。スプリング部４６ｃを中空構造に
することにより、厚さ方向の剛性とサスペンション揺動
方向の剛性の比を大きくすることができる。このことに
より、微小駆動部４４とサスペンション４７の接触圧力
を大きく保ったまま、サスペンション４７の揺動動作を
阻害する剛性を低くすることができ、サスペンション４
７の揺動を大きく、安定させることができる。また、こ
の中空構造は図２および図１３（ａ）のスプリング部４
６および４６ａにも適用が可能である。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の微小駆
動装置（請求項１）は、スライダに形成したヘッド部を
保持するサスペンションアームと、サスペンションアー
ムの一部を支持して当該支持部分を中心にサスペンショ
ンアームを揺動させる回転支持部と、サスペンションア
ームに対向配置した支持体と、この支持体に設けられ且
つサスペンションアームと連結する連結部と、支持体と
連結部との間に設けたスプリング部と、支持体に一端固
定他端自由とした梁部を双方向に形成すると共に当該梁
部毎に圧電体を設けた微小ヘッド駆動部と、を備えたの
で、ヘッド部の微小な移動ができる。
動装置（請求項１）は、スライダに形成したヘッド部を
保持するサスペンションアームと、サスペンションアー
ムの一部を支持して当該支持部分を中心にサスペンショ
ンアームを揺動させる回転支持部と、サスペンションア
ームに対向配置した支持体と、この支持体に設けられ且
つサスペンションアームと連結する連結部と、支持体と
連結部との間に設けたスプリング部と、支持体に一端固
定他端自由とした梁部を双方向に形成すると共に当該梁
部毎に圧電体を設けた微小ヘッド駆動部と、を備えたの
で、ヘッド部の微小な移動ができる。
【００４５】つぎに、この発明の微小駆動装置（請求項
２）は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリン
グ部と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを
一体形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、
前記サスペンションアームの一部を支持して当該支持部
分を中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持
部とを設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体
にデータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生
するヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保
持するサスペンションアームとを備えたので、ヘッド部
の微小な移動ができる。また一体形成するので部品点数
が少なく、大量生産に適する。
２）は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリン
グ部と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを
一体形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、
前記サスペンションアームの一部を支持して当該支持部
分を中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持
部とを設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体
にデータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生
するヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保
持するサスペンションアームとを備えたので、ヘッド部
の微小な移動ができる。また一体形成するので部品点数
が少なく、大量生産に適する。
【００４６】つぎに、この発明の微小位置決め装置（請
求項３）は、請求項1に記載の微小駆動装置と、当該微
小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッ
ジと、キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを
用いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え
たので、大きな揺動範囲でヘッド部の微細な移動が可能
になり、ヘッド部の位置決め精度を高めることができ
る。
求項３）は、請求項1に記載の微小駆動装置と、当該微
小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッ
ジと、キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを
用いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え
たので、大きな揺動範囲でヘッド部の微細な移動が可能
になり、ヘッド部の位置決め精度を高めることができ
る。
【００４７】つぎに、この発明の微小位置決め装置（請
求項４）は、請求項２に記載の微小駆動装置と、当該微
小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッ
ジと、キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを
用いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え
たので、大きな揺動範囲でヘッド部の微細な移動が可能
になり、ヘッド部の位置決め精度を高めることができ
る。また、比較的簡単な構成で、部品点数が少なく、大
量生産に適する。
求項４）は、請求項２に記載の微小駆動装置と、当該微
小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキャリッ
ジと、キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを
用いて前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え
たので、大きな揺動範囲でヘッド部の微細な移動が可能
になり、ヘッド部の位置決め精度を高めることができ
る。また、比較的簡単な構成で、部品点数が少なく、大
量生産に適する。
【００４８】つぎに、この発明の記憶装置（請求項５）
は、請求項１に記載の微小駆動装置と、データを記録す
る記録媒体と、を備えたので、シーク動作およびフォロ
ーイング動作を効率よく行うことができる。
は、請求項１に記載の微小駆動装置と、データを記録す
る記録媒体と、を備えたので、シーク動作およびフォロ
ーイング動作を効率よく行うことができる。
【００４９】また、微小ヘッド駆動部によりヘッド部の
微細な移動が可能になるから、位置決め精度が高くな
る。さらに、シーク制御とフォローイング制御との切り
換えが不要にできるので、切り換えによるタイムロスを
減少できる。また、可動部分（サスペンションアーム）
の質量を抑えてシーク反力を小さくできる。以上から、
高速かつ高分解能アクセスを実現できるようになる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適したものになる。
微細な移動が可能になるから、位置決め精度が高くな
る。さらに、シーク制御とフォローイング制御との切り
換えが不要にできるので、切り換えによるタイムロスを
減少できる。また、可動部分（サスペンションアーム）
の質量を抑えてシーク反力を小さくできる。以上から、
高速かつ高分解能アクセスを実現できるようになる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適したものになる。
【００５０】つぎに、この発明の記憶装置（請求項６）
は、支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成
形するようにし、この連結部にサスペンションアームを
設けるようにしているから、バッチ処理が可能となり、
部品点数が少なくて済む。このため、大量生産に適した
ものとなる。また、圧電体や回転支持部を一体成形する
ようにすることで、さらに、生産工程を簡略化でき、大
量生産が可能となる。また、シーク動作およびフォロー
イング動作を効率よく行うことができる。さらに、微小
ヘッド駆動部によりヘッド部の微細な移動が可能になる
から、位置決め精度が高くなる。また、シーク制御とフ
ォローイング制御との切り換えが不要にできるので、切
り換えによるタイムロスを減少できる。また、可動部分
（サスペンションアーム）の質量を抑えてシーク反力を
小さくできる。以上から、高速かつ高分解能アクセスを
実現できるようになる。
は、支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成
形するようにし、この連結部にサスペンションアームを
設けるようにしているから、バッチ処理が可能となり、
部品点数が少なくて済む。このため、大量生産に適した
ものとなる。また、圧電体や回転支持部を一体成形する
ようにすることで、さらに、生産工程を簡略化でき、大
量生産が可能となる。また、シーク動作およびフォロー
イング動作を効率よく行うことができる。さらに、微小
ヘッド駆動部によりヘッド部の微細な移動が可能になる
から、位置決め精度が高くなる。また、シーク制御とフ
ォローイング制御との切り換えが不要にできるので、切
り換えによるタイムロスを減少できる。また、可動部分
（サスペンションアーム）の質量を抑えてシーク反力を
小さくできる。以上から、高速かつ高分解能アクセスを
実現できるようになる。
【図１】この発明の実施の形態に係る磁気ディスク装置
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】図１に示した位置決め機構の一部を示す組立図
である。
である。
【図３】突起部と回転支持部との関係を示す説明図であ
る。
る。
【図４】突起部の変形例を示す説明図である。
【図５】突起部の変形例を示す説明図である。
【図６】図２に示した支持体を示す斜視図である。
【図７】梁部単位の動作原理を示す説明図である。
【図８】ボイスコイルモータの動作原理を示す説明図で
ある。
ある。
【図９】磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との関係
を示すグラフ図である。
を示すグラフ図である。
【図１０】位置決め制御系のブロック線図である。
【図１１】シーク・フォローイング制御部による制御工
程例を示すフローチャートである。
程例を示すフローチャートである。
【図１２】磁気ヘッドの軌跡を示す説明図である。
【図１３】スプリング部の変形例を示す上面図である。
【図１４】従来の磁気ディスク装置の一例を示す斜視図
である。
である。
【図１５】従来の磁気ディスク装置の他の一例を示す斜
視図である。
視図である。
１００ 磁気ディスク装置 １ スピンドル機構 ２ 位置決め機構 ２１ キャリッジ ２２ 揺動軸 ２３ ロータ ２４ ステータ ２５ ボイスコイルモータ ２６ フレキシブルケーブル ２７ 回路基板 ２８ シーク・フォローイング制御部 ３ ベース ４ 微小位置決め装置 ４１ 支持体 ４２ 回転支持部 ４３ 連結部 ４４ 微小駆動部 ４５ マウントプレート ４６ スプリング部 ４７ サスペンションアーム ４８ ジンバル ４９ スライダ ５０ 突起部 ５１、５２ 梁部 ５３ 接触部 ５４ 摺動部 ５５、５６ 圧電素子
【手続補正書】
【提出日】平成１１年８月４日（１９９９．８．４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 微小駆動装置および微小位置決め装置
および記憶装置
および記憶装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微小駆動装置、
微小位置決め装置および記憶装置に関し、更に詳しく
は、高速および高分解能アクセスを実現でき、大量生産
に適した微小駆動装置、微小位置決め装置および記憶装
置に関する。
微小位置決め装置および記憶装置に関し、更に詳しく
は、高速および高分解能アクセスを実現でき、大量生産
に適した微小駆動装置、微小位置決め装置および記憶装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の記憶装置、例えば図１４に示すよ
うな磁気ディスク装置７００は、サスペンションアーム
７０１の先端に磁気ヘッド７０２を設けた浮動ヘッド機
構７０３と、揺動軸７０４により軸支され前記浮動ヘッ
ド機構７０３を取り付けるキャリッジ７０５と、磁気ヘ
ッド７０２の反対側に設けたボイスコイルモータ７０６
とを備えている。ボイスコイルモータ７０６に通電する
ことにより、揺動軸７０４を中心として磁気ヘッド７０
２が揺動する。磁気ヘッド７０２は、回転する磁気ディ
スク７０７上で浮上する。
うな磁気ディスク装置７００は、サスペンションアーム
７０１の先端に磁気ヘッド７０２を設けた浮動ヘッド機
構７０３と、揺動軸７０４により軸支され前記浮動ヘッ
ド機構７０３を取り付けるキャリッジ７０５と、磁気ヘ
ッド７０２の反対側に設けたボイスコイルモータ７０６
とを備えている。ボイスコイルモータ７０６に通電する
ことにより、揺動軸７０４を中心として磁気ヘッド７０
２が揺動する。磁気ヘッド７０２は、回転する磁気ディ
スク７０７上で浮上する。
【０００３】ところで、現在では記憶装置における単位
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
までは記録密度の上昇が年率約２５％程度であったが、
近年では、約６０％程度まで達している。これに伴い、
高速および高分解能アクセスを可能とするヘッド位置決
め機構が要求されている。これらの要求に対し、例えば
ボイスコイルモータを２つ用いることでピポット軸に作
用する並進力を減少させる技術や、粗動・微動の２段ア
クチュエータを用いる技術がなどが開発されている。
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
までは記録密度の上昇が年率約２５％程度であったが、
近年では、約６０％程度まで達している。これに伴い、
高速および高分解能アクセスを可能とするヘッド位置決
め機構が要求されている。これらの要求に対し、例えば
ボイスコイルモータを２つ用いることでピポット軸に作
用する並進力を減少させる技術や、粗動・微動の２段ア
クチュエータを用いる技術がなどが開発されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高速お
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記従来の
記憶装置７００では、シーク反力により装置全体が振動
し、シーク時間を増大させるという問題点があった。ま
た、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フォ
ローイングを実現するため、シーク制御系とフォローイ
ング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これら
制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決め
時間が増大するという問題点があった。
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記従来の
記憶装置７００では、シーク反力により装置全体が振動
し、シーク時間を増大させるという問題点があった。ま
た、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フォ
ローイングを実現するため、シーク制御系とフォローイ
ング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これら
制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決め
時間が増大するという問題点があった。
【０００５】また、上記のような問題点を解決するた
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている（International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING：Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED）。
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている（International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING：Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED）。
【０００６】図１５に、その磁気ディスク装置の構造を
示す。この磁気ディスク装置８００では、キャリッジ８
０１とサスペンションアーム８０２との間に位置決め用
のボイスコイルモータ８０３を設けた構成である。キャ
リッジ８０１の一端には、ステータ軸８０４が取り付け
てある。また、キャリッジ８０１には、マグネット８０
５を固定する。さらに、このマグネット８０５に対向す
るようにして、コイル８０６を配置する。コイル８０６
は、ヘッドマウンティングブロック８０７に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック８０７は、サスペ
ンションアーム８０２のクロスシェイプドスプリング８
０８に固定してある。クロスシェイプドスプリング８０
８は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング８０８の中央には、ステータ
シャフト８０４がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム８０２の先端には、ジンバル８０９が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ（図示省略）は、ジ
ンバル８０９の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置８００では、前記ボイスコイルモータ８０３によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
示す。この磁気ディスク装置８００では、キャリッジ８
０１とサスペンションアーム８０２との間に位置決め用
のボイスコイルモータ８０３を設けた構成である。キャ
リッジ８０１の一端には、ステータ軸８０４が取り付け
てある。また、キャリッジ８０１には、マグネット８０
５を固定する。さらに、このマグネット８０５に対向す
るようにして、コイル８０６を配置する。コイル８０６
は、ヘッドマウンティングブロック８０７に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック８０７は、サスペ
ンションアーム８０２のクロスシェイプドスプリング８
０８に固定してある。クロスシェイプドスプリング８０
８は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング８０８の中央には、ステータ
シャフト８０４がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム８０２の先端には、ジンバル８０９が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ（図示省略）は、ジ
ンバル８０９の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置８００では、前記ボイスコイルモータ８０３によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
【０００７】しかしながら、上記磁気ディスク装置８０
０は、部品点数が多く、部品が複雑かつ繊細であるた
め、大量生産に不向きな問題点があった。また、上記磁
気ディスク装置８００では、ヘッドマウンティングブロ
ック８０７およびサスペンションアーム８０２を可動部
分としているため、質量が増加し、シーク反力が大きく
なる。このため、シーク時間を短縮するには限界がある
という問題点があった。
０は、部品点数が多く、部品が複雑かつ繊細であるた
め、大量生産に不向きな問題点があった。また、上記磁
気ディスク装置８００では、ヘッドマウンティングブロ
ック８０７およびサスペンションアーム８０２を可動部
分としているため、質量が増加し、シーク反力が大きく
なる。このため、シーク時間を短縮するには限界がある
という問題点があった。
【０００８】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、高速および高分解能アクセスを実現で
き、大量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置
を提供することを目的とする。
たものであって、高速および高分解能アクセスを実現で
き、大量生産に適する記憶装置および微小位置決め装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る第１の微小駆動装置は、スライダに
形成したヘッド部を保持するサスペンションアームと、
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、サスペンションアームに対向配置した支持体と、こ
の支持体に設けられ且つサスペンションアームと連結す
る連結部と、支持体と連結部との間に設けたスプリング
部と、支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に
形成すると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド
駆動部と、を備え、圧電体に特定周波数の電圧を印加す
ることで梁部を振動させ、当該梁部をサスペンションア
ームに接触させることでヘッド部の微小駆動を行うもの
である。
めに、本発明に係る第１の微小駆動装置は、スライダに
形成したヘッド部を保持するサスペンションアームと、
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、サスペンションアームに対向配置した支持体と、こ
の支持体に設けられ且つサスペンションアームと連結す
る連結部と、支持体と連結部との間に設けたスプリング
部と、支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に
形成すると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド
駆動部と、を備え、圧電体に特定周波数の電圧を印加す
ることで梁部を振動させ、当該梁部をサスペンションア
ームに接触させることでヘッド部の微小駆動を行うもの
である。
【００１０】圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。後述になるが、この微小駆動装
置を、ボイスコイルモータで駆動するキャリッジに取り
付けることで、ピギーバック方式の記憶装置を構成でき
る。
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。後述になるが、この微小駆動装
置を、ボイスコイルモータで駆動するキャリッジに取り
付けることで、ピギーバック方式の記憶装置を構成でき
る。
【００１１】つぎに、本発明に係る第２の微小駆動装置
は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部
と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体
形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と
を設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデ
ータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する
ヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持す
るサスペンションアームとを備え、圧電体に特定周波数
の電圧を印加することで梁部を振動させ、当該梁部をサ
スペンションアームに接触させることでヘッド部の微小
駆動を行うものである。
は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部
と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体
形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と
を設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデ
ータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する
ヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持す
るサスペンションアームとを備え、圧電体に特定周波数
の電圧を印加することで梁部を振動させ、当該梁部をサ
スペンションアームに接触させることでヘッド部の微小
駆動を行うものである。
【００１２】この微小駆動装置では、支持部の連結部、
スプリング部および梁部を一体成形するようにし、この
連結部にサスペンションアームを設けるようにしている
から、バッチ処理が可能となり、部品点数が少なくて済
む。このため、大量生産に適したものとなる。また、圧
電体や回転支持部を一体成形するようにすれば、さら
に、生産工程が簡略化できる。
スプリング部および梁部を一体成形するようにし、この
連結部にサスペンションアームを設けるようにしている
から、バッチ処理が可能となり、部品点数が少なくて済
む。このため、大量生産に適したものとなる。また、圧
電体や回転支持部を一体成形するようにすれば、さら
に、生産工程が簡略化できる。
【００１３】この微小駆動装置についても上記同様に、
圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、梁部が振動
し、支持体に対向配置したサスペンションアームが揺動
する。サスペンションアームは、連結部によって支持体
と連結しており、この連結部はスプリング部によって支
持されているから、梁部による横方向の分力でスプリン
グ部が弾性変形し、これによってサスペンションアーム
が揺動可能となる。
圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、梁部が振動
し、支持体に対向配置したサスペンションアームが揺動
する。サスペンションアームは、連結部によって支持体
と連結しており、この連結部はスプリング部によって支
持されているから、梁部による横方向の分力でスプリン
グ部が弾性変形し、これによってサスペンションアーム
が揺動可能となる。
【００１４】つぎに、本発明に係る第１の微小位置決め
装置は、第１の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構
成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッ
ジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッ
ド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆動装置
およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な位置決
めを行うことものである。
装置は、第１の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構
成する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッ
ジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッ
ド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆動装置
およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な位置決
めを行うことものである。
【００１５】また、本発明に係る第２の微小位置決め装
置は、第２の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆動装置お
よびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な位置決め
を行うものである。
置は、第２の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、微小駆動装置お
よびヘッド駆動部の動作によりヘッドの微小な位置決め
を行うものである。
【００１６】第１および第２の微小位置決め装置につい
て、ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを用いてヘ
ッド部を駆動するので、大きな移動に適している。微小
ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を駆動する
ので、微小移動に適している。これらヘッド駆動部およ
び微小ヘッド駆動部を用いることで、大きな揺動範囲に
おいて微小位置決め動作を効率よく行うことができる。
例えば大きな揺動動作はヘッド駆動部により行い、微小
な位置決め動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してもよい。
さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との２つのア
クチュエータを用いて制御するので、大きな揺動動作の
ための制御と微小位置決めのための制御との切り換えが
不要になる。また、可動部分（サスペンションアーム）
の質量を小さくできるので、位置決め時の慣性による反
力を小さく抑えることができる。さらに、比較的簡単な
構成なので、大量生産に適する。
て、ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを用いてヘ
ッド部を駆動するので、大きな移動に適している。微小
ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を駆動する
ので、微小移動に適している。これらヘッド駆動部およ
び微小ヘッド駆動部を用いることで、大きな揺動範囲に
おいて微小位置決め動作を効率よく行うことができる。
例えば大きな揺動動作はヘッド駆動部により行い、微小
な位置決め動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してもよい。
さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との２つのア
クチュエータを用いて制御するので、大きな揺動動作の
ための制御と微小位置決めのための制御との切り換えが
不要になる。また、可動部分（サスペンションアーム）
の質量を小さくできるので、位置決め時の慣性による反
力を小さく抑えることができる。さらに、比較的簡単な
構成なので、大量生産に適する。
【００１７】また、第２の微小位置決め装置について、
支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形す
るようにし、この連結部にサスペンションアームを設け
るようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品
点数が少なくて済む。このため、大量生産に適したもの
となる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するよう
にすれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
支持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形す
るようにし、この連結部にサスペンションアームを設け
るようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品
点数が少なくて済む。このため、大量生産に適したもの
となる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するよう
にすれば、さらに、生産工程が簡略化できる。
【００１８】つぎに、本発明に係る第１の記憶装置は、
第１の微小駆動装置と、データを記録する記録媒体と、
を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前
記記録媒体に記録されたデータを再生およびデータを記
録するものである。
第１の微小駆動装置と、データを記録する記録媒体と、
を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前
記記録媒体に記録されたデータを再生およびデータを記
録するものである。
【００１９】また、本発明に係る第２の記憶装置は、第
２の微小位置決め装置と、データを記録する記録媒体
と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部によ
り前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデータ
を記録するものである。
２の微小位置決め装置と、データを記録する記録媒体
と、を備え、当該微小駆動装置を構成するヘッド部によ
り前記記録媒体に記録されたデータを再生およびデータ
を記録するものである。
【００２０】圧電体に特定周波数の電圧を印加すると、
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。この微小位置決め装置を、ボイ
スコイルモータで駆動するキャリッジに取り付けること
で、ピギーバック方式の記憶装置を構成できる。
圧電体が伸縮して梁部が振動する。支持体に対向配置し
てあるサスペンションアームは、梁部の振動により、当
該梁部と連続的に接触する。梁部の接触により、サスペ
ンションアームに横方向の分力が与えられる。サスペン
ションアームは、連結部によって支持体と連結してお
り、この連結部はスプリング部によって支持されている
から、前記横方向の分力でスプリング部が弾性変形し、
これによってサスペンションアームが揺動する。ヘッド
部は、サスペンションアームの揺動に伴い移動する。こ
の梁部は双方向に設けられているから、ヘッド部は、双
方向に移動可能となる。この微小位置決め装置を、ボイ
スコイルモータで駆動するキャリッジに取り付けること
で、ピギーバック方式の記憶装置を構成できる。
【００２１】ヘッド駆動部は、磁気回路およびコイルを
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。例えばシーク動作はヘッド駆動部により行い、フォ
ローイング動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してシーク動
作またはフォローイング動作をさせるようにしてもよ
い。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との２つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
可動部分（サスペンションアーム）の質量を小さくでき
るので、シーク反力を小さく抑えることができる。さら
に、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアームを
構成できるから、大量生産に適する。
用いてヘッド部を駆動するので、大きな移動に適してい
る。微小ヘッド駆動部は、梁部の振動によりヘッド部を
駆動するので、微小移動に適している。これらヘッド駆
動部および微小ヘッド駆動部を用いることで、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。例えばシーク動作はヘッド駆動部により行い、フォ
ローイング動作は微小ヘッド駆動部により行う。また、
ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部とを併用してシーク動
作またはフォローイング動作をさせるようにしてもよ
い。さらに、ヘッド駆動部と微小ヘッド駆動部との２つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
可動部分（サスペンションアーム）の質量を小さくでき
るので、シーク反力を小さく抑えることができる。さら
に、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアームを
構成できるから、大量生産に適する。
【００２２】さらに、第２の記録装置について、支持部
の連結部、スプリング部および梁部を一体成形するよう
にし、この連結部にサスペンションアームを設けるよう
にしているから、バッチ処理が可能となり、部品点数が
少なくて済む。このため、大量生産に適したものとな
る。また、圧電体や回転支持部を一体成形するようにす
れば、さらに、生産工程が簡略化できる。
の連結部、スプリング部および梁部を一体成形するよう
にし、この連結部にサスペンションアームを設けるよう
にしているから、バッチ処理が可能となり、部品点数が
少なくて済む。このため、大量生産に適したものとな
る。また、圧電体や回転支持部を一体成形するようにす
れば、さらに、生産工程が簡略化できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
【００２４】図１は、この発明の実施の形態に係る磁気
ディスク装置を示す斜視図である。この磁気ディスク装
置１００は、磁気ディスクを回転させるスピンドル機構
１と、磁気ヘッドの位置決めを行う位置決め機構２とを
有する。前記スピンドル機構１と位置決め機構２とはベ
ース３に組み込まれる。
ディスク装置を示す斜視図である。この磁気ディスク装
置１００は、磁気ディスクを回転させるスピンドル機構
１と、磁気ヘッドの位置決めを行う位置決め機構２とを
有する。前記スピンドル機構１と位置決め機構２とはベ
ース３に組み込まれる。
【００２５】スピンドル機構１は、ベース３に組み込ん
だＤＣモータの回転軸１２に磁気ディスク１１をボルト
止めした構造である。磁気ディスク１１は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク１１の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
だＤＣモータの回転軸１２に磁気ディスク１１をボルト
止めした構造である。磁気ディスク１１は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク１１の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
【００２６】キャリッジ２１は、揺動軸２２により回転
支持されている。キャリッジ２１の端部には、ロータ２
３が取り付けてある。ロータ２３はベース３側に設けた
ステータ２４と共にボイスコイルモータ２５を構成す
る。ロータ２３は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ２４は、永久磁石で構
成され、前記ロータ２３を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル２６
を介して電力が供給される。ベース３には、回路基板２
７が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部２８が形成されている。キャリッジ２１の端部に
は、更に、微小位置決め装置４が設けてある。
支持されている。キャリッジ２１の端部には、ロータ２
３が取り付けてある。ロータ２３はベース３側に設けた
ステータ２４と共にボイスコイルモータ２５を構成す
る。ロータ２３は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ２４は、永久磁石で構
成され、前記ロータ２３を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル２６
を介して電力が供給される。ベース３には、回路基板２
７が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部２８が形成されている。キャリッジ２１の端部に
は、更に、微小位置決め装置４が設けてある。
【００２７】図２は、微小位置決め装置４の一部を示す
組立図である。キャリッジ２１には、支持体４１が固定
されている。支持体４１には、回転支持部４２と、連結
部４３と、２組の微小駆動部４４が形成してある。支持
体端部には、キャリッジ２１と連結するためのマウント
プレート４５が取り付けてある。連結部４３は、弾性変
形するＳ字形状のスプリング部４６によって支持する。
連結部４３およびスプリング部４６は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。非機
械加工プロセスを用いることで、加工形成時に発生する
変形、応力および機械的ストレスを排除でき、機能およ
び再現性が安定するためである。サスペンションアーム
４７は、レーザスポット溶接によって連結部４３に連結
する。サスペンションアーム４７の先端には、ジンバル
４８が形成してあり、このジンバル４８にスライダ４９
が取り付けてある。スライダ４９には、磁気ヘッド（図
示省略）が形成されている。
組立図である。キャリッジ２１には、支持体４１が固定
されている。支持体４１には、回転支持部４２と、連結
部４３と、２組の微小駆動部４４が形成してある。支持
体端部には、キャリッジ２１と連結するためのマウント
プレート４５が取り付けてある。連結部４３は、弾性変
形するＳ字形状のスプリング部４６によって支持する。
連結部４３およびスプリング部４６は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。非機
械加工プロセスを用いることで、加工形成時に発生する
変形、応力および機械的ストレスを排除でき、機能およ
び再現性が安定するためである。サスペンションアーム
４７は、レーザスポット溶接によって連結部４３に連結
する。サスペンションアーム４７の先端には、ジンバル
４８が形成してあり、このジンバル４８にスライダ４９
が取り付けてある。スライダ４９には、磁気ヘッド（図
示省略）が形成されている。
【００２８】磁気ヘッドには、フェライトヘッド、ＭＩ
Ｇ（Metal In Gap）ヘッド、薄膜ヘッド、ＭＲ（Magn
eto Resistive）ヘッド、ＧＭＲ（Giant Magneto Re
sistive）ヘッドのいずれを用いても良い。ＧＭＲヘッ
ドが高記録密度に適する。なお、磁気ヘッドの代わり
に、近視野光を用いたヘッドを用いてもよい。
Ｇ（Metal In Gap）ヘッド、薄膜ヘッド、ＭＲ（Magn
eto Resistive）ヘッド、ＧＭＲ（Giant Magneto Re
sistive）ヘッドのいずれを用いても良い。ＧＭＲヘッ
ドが高記録密度に適する。なお、磁気ヘッドの代わり
に、近視野光を用いたヘッドを用いてもよい。
【００２９】また、サスペンションアーム４７には、回
転中心となる突起部５０が形成してある。図３に示すよ
うに、サスペンションアーム４７を連結した状態で、突
起部５０が回転支持部４２に当接し回転中心となる。回
転支持部４２は、支持部４１の形成後、曲げ加工によっ
て形成する。なお、回転支持部４２は、曲げ加工によら
ずとも、図４に示すような、エンボス加工によって形成
した突起であってもよい。また、図５に示すように、プ
ロセス過程で突起を形成するようにしてもよい。この
他、回転支持部４２および突起部５０は、両者が係止関
係にあれば、当業者の設計範囲で自由に変形可能であ
る。
転中心となる突起部５０が形成してある。図３に示すよ
うに、サスペンションアーム４７を連結した状態で、突
起部５０が回転支持部４２に当接し回転中心となる。回
転支持部４２は、支持部４１の形成後、曲げ加工によっ
て形成する。なお、回転支持部４２は、曲げ加工によら
ずとも、図４に示すような、エンボス加工によって形成
した突起であってもよい。また、図５に示すように、プ
ロセス過程で突起を形成するようにしてもよい。この
他、回転支持部４２および突起部５０は、両者が係止関
係にあれば、当業者の設計範囲で自由に変形可能であ
る。
【００３０】微小駆動部４４には、一端自由他端固定と
した梁部５１、５２が双方向に形成されている。梁部５
１、５２は、サスペンションアーム４７に対向するよう
に設ける。一方、サスペンションアーム４７の梁部５
１、５２に対向する位置には、接触部５３が設けてあ
る。接触部５３には、摺動部５４が設けてある。摺動部
５４には、摩擦係数が大きく、耐摩耗性に優れ、安定し
た摩擦係数を維持できる材料を用いる。例えば摺動部５
４には酸化皮膜処理を施す。また、前記摺動部５４に、
セルロース系繊維、カーボン系繊維、ウィスカとフェノ
ール樹脂との複合材料、ポリイミド樹脂とポリアミド樹
脂との複合材料を用いてもよい。
した梁部５１、５２が双方向に形成されている。梁部５
１、５２は、サスペンションアーム４７に対向するよう
に設ける。一方、サスペンションアーム４７の梁部５
１、５２に対向する位置には、接触部５３が設けてあ
る。接触部５３には、摺動部５４が設けてある。摺動部
５４には、摩擦係数が大きく、耐摩耗性に優れ、安定し
た摩擦係数を維持できる材料を用いる。例えば摺動部５
４には酸化皮膜処理を施す。また、前記摺動部５４に、
セルロース系繊維、カーボン系繊維、ウィスカとフェノ
ール樹脂との複合材料、ポリイミド樹脂とポリアミド樹
脂との複合材料を用いてもよい。
【００３１】また、梁部５１、５２は、エッチング等の
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。さら
に、図６に示すように、梁部５１、５２の、サスペンシ
ョンアーム４７に対する反対側にはそれぞれ圧電素子５
５、５６が展着してある。前記圧電素子５５、５６は、
印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印加電
圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた圧力
に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本例の
圧電素子５５、５６には、圧電定数の高い薄膜ジルコン
チタン酸鉛を用いてある。また、チタン酸バリウム、ニ
オブ酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良
い。また、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機
能材料やリチウムナイオベートを用いることもできる。
フォトファブリケーション技術を用いて形成する。さら
に、図６に示すように、梁部５１、５２の、サスペンシ
ョンアーム４７に対する反対側にはそれぞれ圧電素子５
５、５６が展着してある。前記圧電素子５５、５６は、
印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印加電
圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた圧力
に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本例の
圧電素子５５、５６には、圧電定数の高い薄膜ジルコン
チタン酸鉛を用いてある。また、チタン酸バリウム、ニ
オブ酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良
い。また、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機
能材料やリチウムナイオベートを用いることもできる。
【００３２】圧電素子５５、５６は、薄膜形成プロセス
によって形成する。大量生産に適するためである。ま
た、梁部５１、５２のサイズが小さいので製作が容易に
なるためである。なお、梁部５１、５２と圧電素子５
５、５６とを接着により一体化するようにしてもよい。
この際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靭である
こと、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が
小さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメ
ルトおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用
いる。なお、上記梁部５１、５２は、１枚の圧電素子５
５、５６を用いるユニモルフ型であるが、２枚の圧電素
子を用いるバイモルフ型、４枚以上の圧電素子を用いる
マルチモルフ型を用いても良い。また、梁部５１、５２
の形状は、図２に示すような平面Ｌ字形状に限定されな
い。例えば梁部先端に山部や突起部を設けたり、くびれ
部を持つような形状にしてもよい。
によって形成する。大量生産に適するためである。ま
た、梁部５１、５２のサイズが小さいので製作が容易に
なるためである。なお、梁部５１、５２と圧電素子５
５、５６とを接着により一体化するようにしてもよい。
この際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靭である
こと、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が
小さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメ
ルトおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用
いる。なお、上記梁部５１、５２は、１枚の圧電素子５
５、５６を用いるユニモルフ型であるが、２枚の圧電素
子を用いるバイモルフ型、４枚以上の圧電素子を用いる
マルチモルフ型を用いても良い。また、梁部５１、５２
の形状は、図２に示すような平面Ｌ字形状に限定されな
い。例えば梁部先端に山部や突起部を設けたり、くびれ
部を持つような形状にしてもよい。
【００３３】電源は、配線を介して前記圧電素子５５、
５６に電力を供給する。また、シーク・フォローイング
制御部２８は、磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、
前記供給電圧を制御する。
５６に電力を供給する。また、シーク・フォローイング
制御部２８は、磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、
前記供給電圧を制御する。
【００３４】つぎに、この磁気ディスク装置１００の動
作について説明する。まず、梁部単位の動作原理を図７
に示す。圧電素子５５、５６に特定周波数の駆動電圧を
印加することにより、当該圧電素子５５、５６が図中矢
印Ａ方向に伸縮する。この伸縮により梁部５５、５６が
図中矢印Ｂ方向に振動する。梁部５５、５６が振動する
と、当該梁部５５、５６の先端がサスペンションの摺動
部に接触する。接触方向は、サスペンションに対して垂
直ではなく、傾いている。また、支持体４１はキャリッ
ジ２１に固定されており、一方、サスペンションアーム
４７は連結部４３によって支持されているため、横方向
の力成分Ｃｈの反力によってサスペンションアーム４７
が回転する。これにより磁気ヘッドが横方向に微動す
る。また、特定周波数は、梁部５１、５２の寸法、形状
に応じた固有振動数に合致させる。共振周波数近傍に設
定すれば梁部５１、５２の最大振幅が得られるからであ
る。
作について説明する。まず、梁部単位の動作原理を図７
に示す。圧電素子５５、５６に特定周波数の駆動電圧を
印加することにより、当該圧電素子５５、５６が図中矢
印Ａ方向に伸縮する。この伸縮により梁部５５、５６が
図中矢印Ｂ方向に振動する。梁部５５、５６が振動する
と、当該梁部５５、５６の先端がサスペンションの摺動
部に接触する。接触方向は、サスペンションに対して垂
直ではなく、傾いている。また、支持体４１はキャリッ
ジ２１に固定されており、一方、サスペンションアーム
４７は連結部４３によって支持されているため、横方向
の力成分Ｃｈの反力によってサスペンションアーム４７
が回転する。これにより磁気ヘッドが横方向に微動す
る。また、特定周波数は、梁部５１、５２の寸法、形状
に応じた固有振動数に合致させる。共振周波数近傍に設
定すれば梁部５１、５２の最大振幅が得られるからであ
る。
【００３５】つぎに、ボイスコイルモータ２５の動作に
ついて説明する。図８は、ボイスコイルモータ２５の動
作原理を示す説明図である。可動コイル（２３）に矢印
Ｉ方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力ｆ（矢印Ｆ）が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル（２３）に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
ついて説明する。図８は、ボイスコイルモータ２５の動
作原理を示す説明図である。可動コイル（２３）に矢印
Ｉ方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力ｆ（矢印Ｆ）が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル（２３）に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
【００３６】通常、磁気ディスク装置における位置決め
制御は、アクセス速度制御（シーク制御）と追従位置決
め制御（フォローイング制御）とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図９は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
制御は、アクセス速度制御（シーク制御）と追従位置決
め制御（フォローイング制御）とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図９は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
【００３７】この磁気ディスク装置１００では、アクセ
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ２５を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に梁部５
１、５２の振動を用いて精密に行う。図１０に、位置決
め制御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイン
グ制御部２８では、シーク制御とフォローイング制御と
を並行して行う。シーク制御系においては、まず、現在
のヘッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置
に基づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作
量の信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは
位相コントローラした操作量の信号を増幅する。そし
て、この操作量に応じてボイスコイルモータ２５を駆動
する。シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ２５を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に梁部５
１、５２の振動を用いて精密に行う。図１０に、位置決
め制御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイン
グ制御部２８では、シーク制御とフォローイング制御と
を並行して行う。シーク制御系においては、まず、現在
のヘッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置
に基づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作
量の信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは
位相コントローラした操作量の信号を増幅する。そし
て、この操作量に応じてボイスコイルモータ２５を駆動
する。シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
【００３８】一方、フォローイング制御系においては、
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
梁部５１、５２を駆動する。フォローイング制御系の制
御量は、目標値信号と同種の信号に変換され、入力側に
フィードバックされる。
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
梁部５１、５２を駆動する。フォローイング制御系の制
御量は、目標値信号と同種の信号に変換され、入力側に
フィードバックされる。
【００３９】図１１は、前記シーク・フォローイング制
御部２８による制御工程例を示すフローチャートであ
る。ステップＳ１１０１では、目標トラック位置の入力
を行う。ステップＳ１１０２では、ボイスコイルモータ
２５による位置決め制御系をＯＮし、前記入力した目標
トラック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ス
テップＳ１１０３では、ヘッド位置と目標トラック位置
との差が梁部５１、５２の可動距離（梁部５１、５２に
よる位置決めが有効な範囲）未満になったか否かを判断
する。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ２５
による位置決め制御を行う。可動距離未満になったらス
テップＳ１１０４に進む。
御部２８による制御工程例を示すフローチャートであ
る。ステップＳ１１０１では、目標トラック位置の入力
を行う。ステップＳ１１０２では、ボイスコイルモータ
２５による位置決め制御系をＯＮし、前記入力した目標
トラック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ス
テップＳ１１０３では、ヘッド位置と目標トラック位置
との差が梁部５１、５２の可動距離（梁部５１、５２に
よる位置決めが有効な範囲）未満になったか否かを判断
する。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ２５
による位置決め制御を行う。可動距離未満になったらス
テップＳ１１０４に進む。
【００４０】ステップＳ１１０４では、梁部５１、５２
による位置決め制御系をＯＮする。ステップＳ１１０５
では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラック
１〜３個分の幅未満になるまで、梁部５１、５２とボイ
スコイルモータ２５との両方で位置決め制御を行う。ボ
イスコイルモータ２５を併用するのは、トラック間移動
のような比較的大きな移動が含まれるためである。ステ
ップＳ１１０６では、ボイスコイルモータ２５による位
置決め制御系をＯＦＦして、梁部５１、５２のみで位置
決め制御を行う。ステップＳ１１０７では、ヘッド位置
と目標トラック位置との差がトラック位置決め精度を満
たすか否かを判断する。満たすまで制御を続行し、満た
したときに梁部５１、５２の位置決め制御系をＯＦＦす
る（ステップＳ１１０８）。
による位置決め制御系をＯＮする。ステップＳ１１０５
では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラック
１〜３個分の幅未満になるまで、梁部５１、５２とボイ
スコイルモータ２５との両方で位置決め制御を行う。ボ
イスコイルモータ２５を併用するのは、トラック間移動
のような比較的大きな移動が含まれるためである。ステ
ップＳ１１０６では、ボイスコイルモータ２５による位
置決め制御系をＯＦＦして、梁部５１、５２のみで位置
決め制御を行う。ステップＳ１１０７では、ヘッド位置
と目標トラック位置との差がトラック位置決め精度を満
たすか否かを判断する。満たすまで制御を続行し、満た
したときに梁部５１、５２の位置決め制御系をＯＦＦす
る（ステップＳ１１０８）。
【００４１】なお、ボイスコイルモータと梁部との分担
を明確に分け、前記アクセス動作をボイスコイルモータ
２５を用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を梁部
５１、５２の振動を用いて精密に行うようにしてもよ
い。
を明確に分け、前記アクセス動作をボイスコイルモータ
２５を用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を梁部
５１、５２の振動を用いて精密に行うようにしてもよ
い。
【００４２】つぎに、上記したような制御によってサス
ペンションアーム４７の位置決めを行った場合の磁気ヘ
ッド（スライダ４９を図示する）の軌跡を、図１２に示
す。ボイスコイルモータ２５により位置決めする場合、
磁気ヘッドは、揺動軸を中心として半径ＲＬで回転する
（軌跡ＣＬ）。また、微小駆動部４４を用いてサスペン
ションアーム（４７）を揺動させた場合、磁気ヘッド
は、回転支持部４２を中心として半径ＲＳで回転する
（軌跡ＣＳ）。
ペンションアーム４７の位置決めを行った場合の磁気ヘ
ッド（スライダ４９を図示する）の軌跡を、図１２に示
す。ボイスコイルモータ２５により位置決めする場合、
磁気ヘッドは、揺動軸を中心として半径ＲＬで回転する
（軌跡ＣＬ）。また、微小駆動部４４を用いてサスペン
ションアーム（４７）を揺動させた場合、磁気ヘッド
は、回転支持部４２を中心として半径ＲＳで回転する
（軌跡ＣＳ）。
【００４３】つぎに、図１３に、上記スプリング部４６
の構造例を示す。図の（ａ）は、スプリング部４６ａを
コの字形状にしたものである。図の（ｂ）は、１つのス
プリング部４６ｂにより連結部を支持するようにしたも
のである。図の（ｃ）は、スプリング部４６ｃを中空構
造にしたものである。スプリング部４６ｃを中空構造に
することにより、厚さ方向の剛性とサスペンション揺動
方向の剛性の比を大きくすることができる。このことに
より、微小駆動部４４とサスペンション４７の接触圧力
を大きく保ったまま、サスペンション４７の揺動動作を
阻害する剛性を低くすることができ、サスペンション４
７の揺動を大きく、安定させることができる。また、こ
の中空構造は図２および図１３（ａ）のスプリング部４
６および４６ａにも適用が可能である。
の構造例を示す。図の（ａ）は、スプリング部４６ａを
コの字形状にしたものである。図の（ｂ）は、１つのス
プリング部４６ｂにより連結部を支持するようにしたも
のである。図の（ｃ）は、スプリング部４６ｃを中空構
造にしたものである。スプリング部４６ｃを中空構造に
することにより、厚さ方向の剛性とサスペンション揺動
方向の剛性の比を大きくすることができる。このことに
より、微小駆動部４４とサスペンション４７の接触圧力
を大きく保ったまま、サスペンション４７の揺動動作を
阻害する剛性を低くすることができ、サスペンション４
７の揺動を大きく、安定させることができる。また、こ
の中空構造は図２および図１３（ａ）のスプリング部４
６および４６ａにも適用が可能である。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の第１の
微小駆動装置は、スライダに形成したヘッド部を保持す
るサスペンションアームと、サスペンションアームの一
部を支持して当該支持部分を中心にサスペンションアー
ムを揺動させる回転支持部と、サスペンションアームに
対向配置した支持体と、この支持体に設けられ且つサス
ペンションアームと連結する連結部と、支持体と連結部
との間に設けたスプリング部と、支持体に一端固定他端
自由とした梁部を双方向に形成すると共に当該梁部毎に
圧電体を設けた微小ヘッド駆動部と、を備えたので、ヘ
ッド部の微小な移動ができる。
微小駆動装置は、スライダに形成したヘッド部を保持す
るサスペンションアームと、サスペンションアームの一
部を支持して当該支持部分を中心にサスペンションアー
ムを揺動させる回転支持部と、サスペンションアームに
対向配置した支持体と、この支持体に設けられ且つサス
ペンションアームと連結する連結部と、支持体と連結部
との間に設けたスプリング部と、支持体に一端固定他端
自由とした梁部を双方向に形成すると共に当該梁部毎に
圧電体を設けた微小ヘッド駆動部と、を備えたので、ヘ
ッド部の微小な移動ができる。
【００４５】つぎに、この発明の第２の微小駆動装置
は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部
と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体
形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と
を設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデ
ータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する
ヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持す
るサスペンションアームとを備えたので、ヘッド部の微
小な移動ができる。また一体形成するので部品点数が少
なく、大量生産に適する。
は、島状の連結部と、当該連結部に繋がるスプリング部
と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁部とを一体
形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電体と、前記
サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部と
を設けた支持体と、スライダに形成され、記憶媒体にデ
ータを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する
ヘッド部と、支持体に対向配置され、ヘッド部を保持す
るサスペンションアームとを備えたので、ヘッド部の微
小な移動ができる。また一体形成するので部品点数が少
なく、大量生産に適する。
【００４６】つぎに、この発明の第１の微小位置決め装
置は、第１の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備えたので、大きな揺
動範囲でヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部
の位置決め精度を高めることができる。
置は、第１の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備えたので、大きな揺
動範囲でヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部
の位置決め精度を高めることができる。
【００４７】つぎに、この発明の第２の微小位置決め装
置は、第２の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備えたので、大きな揺
動範囲でヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部
の位置決め精度を高めることができる。また、比較的簡
単な構成で、部品点数が少なく、大量生産に適する。
置は、第２の微小駆動装置と、当該微小駆動装置を構成
する支持体の一端に設けらたキャリッジと、キャリッジ
に設けられ、磁気回路およびコイルを用いて前記ヘッド
部を駆動するヘッド駆動部と、を備えたので、大きな揺
動範囲でヘッド部の微細な移動が可能になり、ヘッド部
の位置決め精度を高めることができる。また、比較的簡
単な構成で、部品点数が少なく、大量生産に適する。
【００４８】つぎに、この発明の第１の記憶装置は、第
１の微小駆動装置と、データを記録する記録媒体と、を
備えたので、シーク動作およびフォローイング動作を効
率よく行うことができる。
１の微小駆動装置と、データを記録する記録媒体と、を
備えたので、シーク動作およびフォローイング動作を効
率よく行うことができる。
【００４９】また、微小ヘッド駆動部によりヘッド部の
微細な移動が可能になるから、位置決め精度が高くな
る。さらに、シーク制御とフォローイング制御との切り
換えが不要にできるので、切り換えによるタイムロスを
減少できる。また、可動部分（サスペンションアーム）
の質量を抑えてシーク反力を小さくできる。以上から、
高速かつ高分解能アクセスを実現できるようになる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適したものになる。
微細な移動が可能になるから、位置決め精度が高くな
る。さらに、シーク制御とフォローイング制御との切り
換えが不要にできるので、切り換えによるタイムロスを
減少できる。また、可動部分（サスペンションアーム）
の質量を抑えてシーク反力を小さくできる。以上から、
高速かつ高分解能アクセスを実現できるようになる。さ
らに、比較的簡単な構成で、ピギーバック方式のアーム
を構成できるから、大量生産に適したものになる。
【００５０】つぎに、この発明の第２の記憶装置は、支
持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形する
ようにし、この連結部にサスペンションアームを設ける
ようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品点
数が少なくて済む。このため、大量生産に適したものと
なる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するように
することで、さらに、生産工程を簡略化でき、大量生産
が可能となる。また、シーク動作およびフォローイング
動作を効率よく行うことができる。さらに、微小ヘッド
駆動部によりヘッド部の微細な移動が可能になるから、
位置決め精度が高くなる。また、シーク制御とフォロー
イング制御との切り換えが不要にできるので、切り換え
によるタイムロスを減少できる。また、可動部分（サス
ペンションアーム）の質量を抑えてシーク反力を小さく
できる。以上から、高速かつ高分解能アクセスを実現で
きるようになる。
持部の連結部、スプリング部および梁部を一体成形する
ようにし、この連結部にサスペンションアームを設ける
ようにしているから、バッチ処理が可能となり、部品点
数が少なくて済む。このため、大量生産に適したものと
なる。また、圧電体や回転支持部を一体成形するように
することで、さらに、生産工程を簡略化でき、大量生産
が可能となる。また、シーク動作およびフォローイング
動作を効率よく行うことができる。さらに、微小ヘッド
駆動部によりヘッド部の微細な移動が可能になるから、
位置決め精度が高くなる。また、シーク制御とフォロー
イング制御との切り換えが不要にできるので、切り換え
によるタイムロスを減少できる。また、可動部分（サス
ペンションアーム）の質量を抑えてシーク反力を小さく
できる。以上から、高速かつ高分解能アクセスを実現で
きるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る磁気ディスク装置
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】図１に示した位置決め機構の一部を示す組立図
である。
である。
【図３】突起部と回転支持部との関係を示す説明図であ
る。
る。
【図４】突起部の変形例を示す説明図である。
【図５】突起部の変形例を示す説明図である。
【図６】図２に示した支持体を示す斜視図である。
【図７】梁部単位の動作原理を示す説明図である。
【図８】ボイスコイルモータの動作原理を示す説明図で
ある。
ある。
【図９】磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との関係
を示すグラフ図である。
を示すグラフ図である。
【図１０】位置決め制御系を示すブロック線図である。
【図１１】シーク・フォローイング制御部による制御工
程例を示すフローチャートである。
程例を示すフローチャートである。
【図１２】磁気ヘッドの軌跡を示す説明図である。
【図１３】スプリング部の変形例を示す上面図である。
【図１４】従来の磁気ディスク装置の一例を示す斜視図
である。
である。
【図１５】従来の磁気ディスク装置の他の一例を示す斜
視図である。
視図である。
【符号の説明】 １００ 磁気ディスク装置 １ スピンドル機構 ２ 位置決め機構 ２１ キャリッジ ２２ 揺動軸 ２３ ロータ ２４ ステータ ２５ ボイスコイルモータ ２６ フレキシブルケーブル ２７ 回路基板 ２８ シーク・フォローイング制御部 ３ ベース ４ 微小位置決め装置 ４１ 支持体 ４２ 回転支持部 ４３ 連結部 ４４ 微小駆動部 ４５ マウントプレート ４６ スプリング部 ４７ サスペンションアーム ４８ ジンバル ４９ スライダ ５０ 突起部 ５１、５２ 梁部 ５３ 接触部 ５４ 摺動部 ５５、５６ 圧電素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 和夫 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 前田 英孝 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D068 AA01 BB01 CC12 EE15 EE17 EE19 GG03 GG24 5D096 NN03 NN07
Claims (6)
- 【請求項１】 スライダに形成したヘッド部を保持する
サスペンションアームと、 サスペンションアームの一部を支持して当該支持部分を
中心にサスペンションアームを揺動させる回転支持部
と、 サスペンションアームに対向配置した支持体と、 この支持体に設けられ且つサスペンションアームと連結
する連結部と、 支持体と連結部との間に設けたスプリング部と、 支持体に一端固定他端自由とした梁部を双方向に形成す
ると共に当該梁部毎に圧電体を設けた微小ヘッド駆動部
と、を備え、 圧電体に特定周波数の電圧を印加することで梁部を振動
させ、当該梁部をサスペンションアームに接触させるこ
とでヘッド部の微小駆動を行うことを特徴とする微小駆
動装置。 - 【請求項２】 島状の連結部と、当該連結部に繋がるス
プリング部と、一端固定他端自由とし双方向に設けた梁
部とを一体形成すると共に、前記梁部毎にも設けた圧電
体と、前記サスペンションアームの一部を支持して当該
支持部分を中心にサスペンションアームを揺動させる回
転支持部とを設けた支持体と、 スライダに形成され、記憶媒体にデータを記録し且つ記
憶媒体に記録したデータを再生するヘッド部と、 支持体に対向配置され、ヘッド部を保持するサスペンシ
ョンアームとを備え、 圧電体に特定周波数の電圧を印加することで梁部を振動
させ、当該梁部をサスペンションアームに接触させるこ
とでヘッド部の微小駆動を行うことを特徴とする微小駆
動装置。 - 【請求項３】 請求項1に記載の微小駆動装置と、 当該微小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキ
ャリッジと、 キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、 微小駆動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの
微小な位置決めを行うことを特徴とする微小位置決め装
置。 - 【請求項４】 請求項２に記載の微小駆動装置と、 当該微小駆動装置を構成する支持体の一端に設けらたキ
ャリッジと、 キャリッジに設けられ、磁気回路およびコイルを用いて
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動部と、を備え、 微小駆動装置およびヘッド駆動部の動作によりヘッドの
微小な位置決めを行うことを特徴とする微小位置決め装
置。 - 【請求項５】 請求項１に記載の微小駆動装置と、 データを記録する記録媒体と、を備え、 当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前記記録媒
体に記録されたデータを再生およびデータを記録するこ
とを特徴とした記録装置。 - 【請求項６】 請求項２に記載の微小位置決め装置と、 データを記録する記録媒体と、を備え、 当該微小駆動装置を構成するヘッド部により前記記録媒
体に記録されたデータを再生およびデータを記録するこ
とを特徴とした記録装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10270198A JP3002984B1 (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | 微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置 |
| US09/404,937 US6362938B1 (en) | 1998-06-24 | 1999-09-23 | Fine drive and positioning units and memory apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10270198A JP3002984B1 (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | 微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3002984B1 JP3002984B1 (ja) | 2000-01-24 |
| JP2000100097A true JP2000100097A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17482905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10270198A Expired - Fee Related JP3002984B1 (ja) | 1998-06-24 | 1998-09-24 | 微小駆動装置および微小位置決め装置および記憶装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6362938B1 (ja) |
| JP (1) | JP3002984B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US6618220B2 (en) | 2000-07-04 | 2003-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head actuator and hard disc drive including the same |
| US6754047B2 (en) | 2002-04-24 | 2004-06-22 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Slide microactuator using S-shaped piezoelectric element |
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| US6614627B1 (en) * | 2000-02-14 | 2003-09-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
| US6636387B2 (en) * | 2000-09-12 | 2003-10-21 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus and head-supporting mechanism for the same |
| KR100724711B1 (ko) * | 2000-10-20 | 2007-06-04 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 압전 액츄에이터, 구동 방법, 및 정보 기억 장치 |
| EP1381146B1 (en) * | 2001-04-19 | 2007-06-13 | Fujitsu Limited | Piezoelectric actuator and information storage device |
| US6765761B2 (en) * | 2002-04-24 | 2004-07-20 | International Business Machines Corp. | Swageless mount plate or unimount arm based milliactuated suspension |
| CN1828726B (zh) * | 2005-02-28 | 2010-04-28 | 新科实业有限公司 | 可旋转压电微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6288188A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Teac Co | 磁気デイスク装置の磁気ヘツド支持機構 |
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