JPH06259905A - 記録再生装置用アクチュエータ及びこれを用いた記録再生装置 - Google Patents

記録再生装置用アクチュエータ及びこれを用いた記録再生装置

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JPH06259905A
JPH06259905A JP4286993A JP4286993A JPH06259905A JP H06259905 A JPH06259905 A JP H06259905A JP 4286993 A JP4286993 A JP 4286993A JP 4286993 A JP4286993 A JP 4286993A JP H06259905 A JPH06259905 A JP H06259905A
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JP
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recording
reproducing
actuator
head
arm
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JP4286993A
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Yasuro Otsubo
康郎 大坪
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高周波数域における外乱を抑圧することがで
き、かつ、ヘッドの浮上挙動に全く影響を与えない高性
能かつ高信頼性を有する記録再生装置用アクチュエータ
及びこれを用いた記録再生装置を提供すること。 【構成】 薄板3a,3bの両端には、圧電素子4a,
4bの端部のうちいずれか一端を接続するための折り曲
げ部5a,5b,6a,6bが対角線上に設けられてお
り、そこに圧電素子4a,4bの各端を接続することに
より、一組の薄板3a,3b及び圧電素子4a,4bが
一体化され薄形微動機構部2が構成され、一方の薄板3
aをサスペンション14に固定し、他方の薄板3bをス
ライダ1に固定することにより、各圧電素子4a,4b
を駆動して、サスペンション14に対してスライダ1を
微小変位させることが可能なように構成された記録再生
装置用アクチュエータ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、情報記録媒体(以下デ
ィスクという)に対して記録再生の機能を担う記録再生
ヘッドの高精度な位置決めを実現できる記録再生装置用
アクチュエータ及びこれを用いた記録再生装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、記録再生装置の小型化・大容量化
の要請が高まっており、このための技術として高記録密
度化が要求されている。その中で、磁気ディスク装置の
高記録密度化は、ビット密度(ディスク半径方向の記録
密度)の増加及びトラック密度(ディスク半径方向の記
録密度)の増加の両面から行われている。ここで、トラ
ック密度の増加にあっては、ヘッドの位置決め精度の向
上が必要とされる。
【0003】図5は、従来の磁気ディスク装置における
アクチュエータの概略を示したものである。図に示した
アクチュエータ21は、ヘッド22を取着するサスペン
ション23が接続されたアーム24を軸受28に支持さ
れた回動軸29周りに回動させることによりヘッド22
をディスク30上の任意の位置に位置決めする機能を担
う、ボイスコイル25及び磁石26等から構成されるボ
イスコイルモータである。
【0004】ここで、ヘッド22の位置決め精度を低下
させる主要因として、ディスク30を回転させるスピン
ドル31の非同期振れがある。この非同期振れの振幅は
1μm以下であるが、周波数が数百Hzから1kHz程
度であり、従来のアクチュエータ21の構成では、サス
ペンション23、アーム24、及びボイスコイル25の
共振のため、非同期振れの影響を完全に除去する位置決
め精度を実現することが困難であった。これに対し、従
来のアクチュエータ(以下粗動アクチュエータという)
に加えて、ヘッド22の微小な位置決めを可能にするた
めの微動アクチュエータを備えた2段アクチュエータが
提案されている。
【0005】図6及び図7は、従来の2段アクチュエー
タの代表例を示したものである。これらは、1992年
5月28日に開催された「情報機器のメカトロニクス基
本技術の最前線」(日本機械学会)講習会テキストの6
5頁から68頁に掲載されたものである。
【0006】図6に示す2段アクチュエータにおいて
は、サスペンション23の根元に圧電素子32を設け、
ヘッド22を取着したサスペンション23を微動させる
ことによりヘッド22の微小な位置決めを行う微動アク
チュエータが設けられている。この方法は、主にサーボ
面サーボ方式と呼ばれる磁気ディスク装置に適用される
2段アクチュエータである。サーボ面サーボ方式とは、
複数枚のディスクのうち一面をサーボ情報のみが書かれ
た面とし、この面からのサーボ情報を用いて他の面上の
ヘッドを位置決めするものである。本従来例における2
段アクチュエータは、異なるディスク間で生じる熱的な
位置ずれ(熱オフトラック)を補正するために有効であ
る。
【0007】しかし、上記した構成の微動アクチュエー
タを、スピンドル31の非同期振れ等の高周波の外乱の
抑圧に用いようとすると、上記した微動アクチュエータ
を高速で動作させることはできるが、サスペンション2
3の構造共振(通常2から3kHz)により、ヘッド2
2を高帯域まで移動・追従させることはできない。
【0008】図7は、ヘッド22を構成するスライダ3
3自体に、圧電素子32を埋め込んで、微動アクチュエ
ータを構成したものである。この方法は、データ面サー
ボ方式にも適用されるものである。データ面サーボ方式
とは、ディスクの各面にそれぞれサーボ情報を書き込ま
れており、この情報を各ヘッドが読みだしてフィードバ
ックすることにより位置決めを行うものである。上記し
た微動アクチュエータはヘッド自体を変位させるため、
サーボ情報のサンプリング速度が上げられれば、周波数
1kHz近くの外乱に対しても追従させることが可能と
なる。したがって、本従来例における2段アクチュエー
タは、スピンドル31の非同期振れ等の高周波微小振動
を吸収するために用いることも可能である。
【0009】しかし、上記した微動アクチュエータを駆
動する際は、ヘッド自体が変形することから、トラック
方向に変位が生じるだけでなく、スライダ33の浮上面
34にもねじれや歪みなどの変形が生じる。近年ビット
密度を向上させるためにヘッド22の浮上量は0.1μ
m以下が実現されており、さらに低浮上化するための技
術開発が進められている。このような状況下にあって、
ヘッド22をトラック方向に変位させる際に、浮上面3
4に0.01μmオーダーの変形が生じても、所定の浮
上量が変化し、浮上量が大きくなった場合は信号品質の
劣化、浮上量が小さくなった場合はヘッド22とディス
ク30との間の接触による損傷が生じる場合があった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のアクチュエータを有する記録再生装置にあって
は、スピンドルの非同期振れ等の高周波数域における外
乱を抑圧することが困難であったり、ヘッドの浮上挙動
に影響を与え信頼性が低い等の問題があった。
【0011】そこで、本発明では、上記問題を解決し、
高周波数域における外乱を抑圧することができ、かつ、
ヘッドの浮上挙動に全く影響を与えない高性能かつ高信
頼性を有する記録再生装置用アクチュエータ、及びこの
アクチュエータを備えた高密度記録が可能な記録再生装
置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、情報記録媒体に情報の記録再生を行う
記録再生ヘッドを情報記録媒体の所定の位置に移動させ
る機能を備えたアームの一端に接続される第1の接続部
材と、前記記録再生ヘッドに接続される第2の接続部材
と、前記記録再生ヘッドが前記アームに対して変位可能
となるように前記第1の接続部材と前記第2の接続部材
とを連結する駆動部材とから構成されることを特徴とす
る記録再生装置用アクチュエータ、並びに、情報記録媒
体と、この情報記録媒体を保持する回転手段と、前記情
報記録媒体に情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、
この記録再生ヘッドを前記情報記録媒体の所定の位置に
移動させる機能を備えたアームと、このアームの一端に
接続される第1の接続部材と、前記記録再生ヘッドに接
続される第2の接続部材と、前記記録再生ヘッドが前記
アームに対して変位可能となるように前記第1の接続部
材と前記第2の接続部材とを連結する駆動部材とを具備
することを特徴とする記録再生装置と、情報記録媒体に
情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを情報記録媒体の
所定の位置に移動させる機能を備えたアームに対して、
前記記録再生ヘッドが変位可能となるように前記アーム
と前記記録再生ヘッドとを連結する駆動部材から構成さ
れることを特徴とする記録再生装置用アクチュエータ、
並びに、情報記録媒体と、この情報記録媒体を保持する
回転手段と、前記情報記録媒体に情報の記録再生を行う
記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを前記情報記録
媒体の所定の位置に移動させる機能を備えたアームと、
このアームに対して、前記記録再生ヘッドが変位可能と
なるように前記アームと前記記録再生ヘッドとを連結す
る駆動部材とを具備することを特徴とする記録再生装置
を提供する。
【0013】
【作用】第1及び第2の接続部材を駆動部材(例えば圧
電素子)で連結して、薄形微動機構を構成し、各接続部
材を、それぞれアーム及び記録再生ヘッドに接続するこ
とにより、アームに対して記録再生ヘッドを微小変位さ
せることが可能な微動アクチュエータを構成することが
できる。
【0014】また、駆動部材の一端に記録再生ヘッドを
接続し、駆動部材の他端をアームに接続することによっ
ても同様に、アームに対して記録再生ヘッドを微小変位
させることが可能な微動アクチュエータを構成すること
ができる。さらに、上記したような微動アクチュエータ
を用いることにより、高密度記録が可能な記録再生装置
を構築することが可能となる。
【0015】
【実施例】本発明の実施例について、図面を参照しつつ
詳細に説明する。
【0016】ここでは、記録再生装置の一例として、回
転揺動型アクチュエータを有する磁気ディスク装置につ
いて説明するが、本発明は、この実施例に限定されず、
リニヤアクチュエータを有するものや、光ディスク装置
等の他の記録再生装置にも応用できるものである。図4
は、本発明に係るアクチュエータを備えた磁気ディスク
装置の概略を示したものである。
【0017】情報を記録するための磁気ディスク11は
スピンドル12に装着され、一定速度で回転される。磁
気ディスク11にアクセスして情報の記録再生を行う磁
気ヘッド13は、薄板状のサスペンション14の先端に
取着されている。また、サスペンション14は、図示し
ない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアーム1
5の一端に接続されている。ここで、サスペンション1
4は特に設けなくても良くアーム15の先端部を薄形化
することにより、サスペンション14と同様の効果をも
たせても良い。
【0018】アーム15の他端には、リニアモータの一
種であるボイスコイルモータ16が設けられている。ボ
イスコイルモータ16は、アーム15のボビン部に巻き
上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むよ
うに対向して配置された永久磁石および対向ヨークによ
り構成される磁気回路とから構成される。
【0019】アーム15は、固定軸17の上下2箇所に
設けられた図示しないボールベアリングによって保持さ
れ、ボイスコイルモータ16により回転揺動が自在にで
きるようになっている。
【0020】なお、磁気ディスク11上での磁気ヘッド
13の位置決めは、磁気ディスク11に書き込まれたサ
ーボ情報を磁気ヘッド13により読み出し、この情報を
ボイスコイルモータ16にフィードバックする位置決め
サーボ系により、アーム15を回動させることにより行
われる。すなわち、かかる機能を担っているのが粗動ア
クチュエータということになる。以上の各構成部品は筐
体18内に配置され、装置全体を密閉するために薄板状
のカバー19により上部から覆われて、磁気ディスク装
置が構成される。
【0021】図1は、本発明に係る磁気ディスク装置に
おける微動アクチュエータの第1実施例を示す分解斜視
図である。本発明の特徴は、サスペンション14と磁気
ヘッド13を構成するスライダ1との間に、図示したよ
うな薄形微動機構部2を配置することにある。この薄形
微動機構部2は、対向する一組の薄板3a,3bと、能
動的に変形可能な駆動部材として電圧コントロールによ
り伸縮変形が自在な一組の圧電素子4a,4bとから構
成される。ここで、各薄板3a,3bの両端には、各圧
電素子4a,4bの端部のうちいずれか一端を接続する
ための折り曲げ部5a,5b,6a,6bが対角線上に
設けられており、そこに圧電素子4a,4bの各端を接
続することにより、一組の薄板3a,3b及び圧電素子
4a,4bが一体化され薄形微動機構部2が構成され
る。ここで、一方の薄板3aをサスペンション14に固
定し、他方の薄板3bをスライダ1に固定することによ
り、ヘッドアセンブリが完成され、各圧電素子4a,4
bを駆動することにより、サスペンション14に対して
スライダ1を微小変位させることが可能な微動アクチュ
エータが構成される。即ち、圧電素子4a,4bをとも
に伸ばすように変形させることにより、磁気ディスク1
1上でスライダ1の先端部の記録再生機能部7を図中の
A方向に微小変位させることができ、逆に圧電素子4
a,4bをともに縮めるように変形させることにより記
録再生機能部7を図中のB方向に微小変位させることが
できる。
【0022】その際、スライダ1自体には全く応力が加
わらないため、スライダ1の浮上面7にねじれや歪みな
どの変形が生じることはない。したがって、磁気ヘッド
13の浮上挙動に全く影響を与えない高性能かつ高信頼
性を有するアクチュエータを構成することが可能とな
る。
【0023】また、記録再生機能部8を有するスライダ
1をサスペンション14に対して直接微小変位させるこ
とができるため、サスペンション14の構造共振等の影
響を受けることがなく、スピンドル12の非同期振れ等
の高周波数域における外乱の抑圧が可能となる。その結
果、磁気ヘッド13のトラック方向の位置決め精度が向
上し、トラック密度の増大による高密度記録が可能な磁
気ディスク装置を実現することが可能となる。
【0024】図2は、本発明に係る磁気ディスク装置に
おける微動アクチュエータの第2実施例を示す分解斜視
図である。ここで、図1に示した部分と同一部分または
同一機能を有する部分については同一番号を付すことと
する。本実施例における薄形微動機構部2は、対向する
一組の薄板3a,3bと、能動的に変形可能な駆動部材
として電圧コントロールにより曲げ変形が自在な一組の
圧電素子4a,4bから構成される。各薄板3a,3b
の一端には、各圧電素子4a,4bの一端を接続するた
めの折り曲げ部5,6が設けられており、そこに圧電素
子4a,4bの各端を接続することにより、一組の薄板
3a,3b及び圧電素子4a,4bが一体化されること
により構成される。ここで、一方の薄板3aをサスペン
ション14に固定し、他方の薄板3bをスライダ1に固
定することにより、ヘッドアセンブリが完成され、各圧
電素子4a,4bを駆動することにより、サスペンショ
ン14に対してスライダ1を微小変位させることが可能
な点に関しては第1実施例と同様である。即ち、圧電素
子4a,4bをスライダ1の浮上面7に平行な面内で、
ともに同じ方向に曲げ変形せることにより、磁気ディス
ク11上でスライダ1の先端部の記録再生機能部8を図
中のA方向もしくはB方向に微小変位させることができ
る。このような構成によっても、第1実施例で示したも
のと同様の効果を得ることができる。なお、本実施例に
おいては、圧電素子4a,4bを1個設けるだけでも同
様な効果を得ることが可能である。
【0025】上記した本発明にかかる第1及び第2実施
例においては、能動的に変形可能な駆動部材として、圧
電素子を用いているが、本発明はこの場合に限れず、他
の駆動部材(例えば形状記憶合金や磁歪素子)を用いて
も良い。また、薄型微動機構部2とスライダ1との接続
は、図1及び図2に示したように、両者の長手方向が一
致するようにする必要はなく、スライダ1を薄型微動機
構部2に対して任意の方向性を持たせて固定しても良
い。
【0026】図3は、本発明に係る磁気ディスク装置に
おける微動アクチュエータの第3実施例を示す斜視図で
ある。ここで、図1に示した部分と同一部分または同一
機能を有する部分については同一番号を付すこととす
る。本実施例においては、能動的に変形可能な駆動部材
として電圧コントロールにより曲げ変形が自在な一組の
圧電素子4a,4bのみから、微動機構部が構成されれ
ている。即ち、各圧電素子4a,4bの一端にはスライ
ダ1が接続され、他端には、サスペンション14に接続
されている。ここで、各圧電素子4a,4bを曲げ変形
させることにより、サスペンション14に対してスライ
ダ1を微小変位させることが可能である。本実施例は、
図示した場合のように、例えば、スライダ1が非常に小
さく構成されており、微動機構部の剛性が余り要求され
ないような場合に適用される。特に、スライダ1が完全
浮上型ではなく、接触型の場合などに有効である。な
お、圧電素子4a,4bは、曲げ変形可能なものばかり
でなく、伸縮変形可能なもの、あるいは、曲げ変形及び
伸縮変形可能なものを組み合わせて用いても良い。
【0027】以上説明した本発明によれば、スピンドル
の非同期振れ等の高周波数域における外乱を抑圧するこ
とができ、かつ、ヘッドの浮上挙動に全く影響を与えな
い高性能かつ高信頼性を有する記録再生装置用アクチュ
エータ、及びこのアクチュエータを備えた高密度記録が
可能な記録再生装置を提供することができる。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、アー
ムに対して記録再生ヘッドを微小変位させることが可能
であり、その際、ヘッドを構成するスライダには全く応
力が加わらないため、スライダの浮上面にねじれや歪み
などの変形が生じることはない。したがって、ヘッドの
浮上挙動に全く影響を与えない高性能かつ高信頼性を有
する記録再生装置用アクチュエータを構成することが可
能となる
【0029】また、記録再生機能部を有するスライダを
サスペンションに対して直接微小変位させることができ
るため、サスペンションの構造共振等の影響を受けるこ
とがなく、スピンドルの非同期振れ等の高周波数域にお
ける外乱の抑圧が可能となる。
【0030】その結果、磁気ヘッドのトラック方向の位
置決め精度が向上し、トラック密度の増大による高密度
記録が可能な磁気ディスク装置を構築することが可能と
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気ディスク装置における微動ア
クチュエータの第1実施例を示す分解斜視図。
【図2】本発明に係る磁気ディスク装置における微動ア
クチュエータの第2実施例を示す分解斜視図。
【図3】本発明に係る磁気ディスク装置における微動ア
クチュエータの第3実施例を示す斜視図。
【図4】本発明に係るアクチュエータを備えた磁気ディ
スク装置の概略図。
【図5】従来の磁気ディスク装置におけるアクチュエー
タの概略図。
【図6】従来の2段アクチュエータの代表例を示した
図。
【図7】従来の2段アクチュエータの代表例を示した
図。
【符号の説明】
1 スライダ 2 薄形微動機構部 3 薄板(接続部材) 4 圧電素子(駆動部材) 5,6 折り曲げ部 7 記録再生機能部 11 磁気ディスク 12 スピンドル 13 磁気ヘッド 14 サスペンション 15 アーム 16 ボイスコイルモータ 17 固定軸 18 筐体 19 カバー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 情報記録媒体に情報の記録再生を行う記
    録再生ヘッドを情報記録媒体の所定の位置に移動させる
    機能を備えたアームの一端に接続される第1の接続部材
    と、前記記録再生ヘッドに接続される第2の接続部材
    と、前記記録再生ヘッドが前記アームに対して変位可能
    となるように前記第1の接続部材と前記第2の接続部材
    とを連結する駆動部材とから構成されることを特徴とす
    る記録再生装置用アクチュエータ。
  2. 【請求項2】 情報記録媒体と、この情報記録媒体を保
    持する回転手段と、前記情報記録媒体に情報の記録再生
    を行う記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを前記情
    報記録媒体の所定の位置に移動させる機能を備えたアー
    ムと、このアームの一端に接続される第1の接続部材
    と、前記記録再生ヘッドに接続される第2の接続部材
    と、前記記録再生ヘッドが前記アームに対して変位可能
    となるように前記第1の接続部材と前記第2の接続部材
    とを連結する駆動部材とを具備することを特徴とする記
    録再生装置。
  3. 【請求項3】 情報記録媒体に情報の記録再生を行う記
    録再生ヘッドを情報記録媒体の所定の位置に移動させる
    機能を備えたアームに対して、前記記録再生ヘッドが変
    位可能となるように前記アームと前記記録再生ヘッドと
    を連結する駆動部材から構成されることを特徴とする記
    録再生装置用アクチュエータ。
  4. 【請求項4】 情報記録媒体と、この情報記録媒体を保
    持する回転手段と、前記情報記録媒体に情報の記録再生
    を行う記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを前記情
    報記録媒体の所定の位置に移動させる機能を備えたアー
    ムと、このアームに対して、前記記録再生ヘッドが変位
    可能となるように前記アームと前記記録再生ヘッドとを
    連結する駆動部材とを具備することを特徴とする記録再
    生装置。
JP4286993A 1992-08-12 1993-03-03 記録再生装置用アクチュエータ及びこれを用いた記録再生装置 Pending JPH06259905A (ja)

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US08/429,575 US5745319A (en) 1992-08-12 1995-04-27 Recording/reproducing apparatus with coarse and fine head positioning actuators and an elastic head gimbal

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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998019304A1 (fr) * 1996-10-31 1998-05-07 Tdk Corporation Tete d'enregistrement/reproduction, mecanisme de positionnement de tete d'enregistrement/reproduction et dispositif d'enregistrement/reproduction
US6088181A (en) * 1996-05-30 2000-07-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording/reproducing device using composite head
US6327120B1 (en) 1997-04-17 2001-12-04 Fujitsu Limited Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator
US6381104B1 (en) 1998-11-13 2002-04-30 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism, and write/read system
US6621661B1 (en) 1998-11-13 2003-09-16 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism including a microactuator and a slider connected to a ground region of a suspension
US6744603B1 (en) 1998-11-13 2004-06-01 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism, and write/read system
JP2006073186A (ja) * 2004-08-30 2006-03-16 Shinka Jitsugyo Kk マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアッセンブリ及びこれを用いたディスクドライブ
US7146623B2 (en) 2002-12-12 2006-12-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support device and it's driving method, and drive disk using same
JP2007042266A (ja) * 2005-07-29 2007-02-15 Shinka Jitsugyo Kk マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブユニット
WO2008114345A1 (ja) * 2007-03-16 2008-09-25 Fujitsu Limited 磁気ヘッド支持体および磁気ディスク装置
JP2008299952A (ja) * 2007-05-31 2008-12-11 Fujitsu Ltd ヘッドスライダおよびそれを用いた磁気ディスク装置
US7804665B2 (en) 2005-01-05 2010-09-28 Panasonic Corporation Head support device, disk device having the head support device, and portable electronic device having the disk device

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6088181A (en) * 1996-05-30 2000-07-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording/reproducing device using composite head
US6496321B1 (en) 1996-05-30 2002-12-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording/reproducing device using composite head
US6246552B1 (en) 1996-10-31 2001-06-12 Tdk Corporation Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect
WO1998019304A1 (fr) * 1996-10-31 1998-05-07 Tdk Corporation Tete d'enregistrement/reproduction, mecanisme de positionnement de tete d'enregistrement/reproduction et dispositif d'enregistrement/reproduction
US6538854B2 (en) 1997-04-17 2003-03-25 Fujitsu Limited Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator
US6327120B1 (en) 1997-04-17 2001-12-04 Fujitsu Limited Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator
US6744603B1 (en) 1998-11-13 2004-06-01 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism, and write/read system
US6621661B1 (en) 1998-11-13 2003-09-16 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism including a microactuator and a slider connected to a ground region of a suspension
US6381104B1 (en) 1998-11-13 2002-04-30 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism, and write/read system
US7050266B2 (en) 1998-11-13 2006-05-23 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism and write/read system having a flexible grounding member
US7161765B2 (en) 1998-11-13 2007-01-09 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism, and write/read system
US7146623B2 (en) 2002-12-12 2006-12-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support device and it's driving method, and drive disk using same
JP2006073186A (ja) * 2004-08-30 2006-03-16 Shinka Jitsugyo Kk マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアッセンブリ及びこれを用いたディスクドライブ
US7804665B2 (en) 2005-01-05 2010-09-28 Panasonic Corporation Head support device, disk device having the head support device, and portable electronic device having the disk device
JP2007042266A (ja) * 2005-07-29 2007-02-15 Shinka Jitsugyo Kk マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブユニット
WO2008114345A1 (ja) * 2007-03-16 2008-09-25 Fujitsu Limited 磁気ヘッド支持体および磁気ディスク装置
JP2008299952A (ja) * 2007-05-31 2008-12-11 Fujitsu Ltd ヘッドスライダおよびそれを用いた磁気ディスク装置

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