JP2000182342A - ヘッドアクチュエータ及び記録再生装置 - Google Patents
ヘッドアクチュエータ及び記録再生装置Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 6
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000007667 floating Methods 0.000 abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 abstract 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003278 mimic effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
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- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型軽量でフォーカスサーボを必要としない
浮上型の光記録再生ヘッドによる記録再生を可能にす
る。 【解決手段】 光ディスク１に対向する媒体対向面が形
成された基体部２５と、光記録再生ヘッド３０が上記光
ディスク１に対向する状態に設けられたヘッド部２６
と、上記基体部２５の空気流出側に上記ヘッド部２６を
連結する連結部２７と、上記連結部２７の一部をなす電
気機械変換素子により構成されたビーム２７Ａ，２７Ｂ
をを備えるヘッドスライダ２を上記光ディスク１の径方
向に移動可能な支持バネ２２に搭載する。上記ビーム２
７Ａ，２７Ｂを構成する電気機械変換素子は、供給され
る駆動信号に応じて駆動され、上記光記録再生ヘッド３
０を上記光ディスク１に対してトラッキング方向に微少
移動させる。
浮上型の光記録再生ヘッドによる記録再生を可能にす
る。 【解決手段】 光ディスク１に対向する媒体対向面が形
成された基体部２５と、光記録再生ヘッド３０が上記光
ディスク１に対向する状態に設けられたヘッド部２６
と、上記基体部２５の空気流出側に上記ヘッド部２６を
連結する連結部２７と、上記連結部２７の一部をなす電
気機械変換素子により構成されたビーム２７Ａ，２７Ｂ
をを備えるヘッドスライダ２を上記光ディスク１の径方
向に移動可能な支持バネ２２に搭載する。上記ビーム２
７Ａ，２７Ｂを構成する電気機械変換素子は、供給され
る駆動信号に応じて駆動され、上記光記録再生ヘッド３
０を上記光ディスク１に対してトラッキング方向に微少
移動させる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状記録媒体に
情報の記録及び／又は再生を行うヘッドを搭載し、上記
ヘッドを上記円盤状記録媒体の径方向に移動させて、目
標位置に位置決めするためのヘッドアクチュエータ及び
このヘッドアクチュエータを備えた記録再生装置に関す
る。
情報の記録及び／又は再生を行うヘッドを搭載し、上記
ヘッドを上記円盤状記録媒体の径方向に移動させて、目
標位置に位置決めするためのヘッドアクチュエータ及び
このヘッドアクチュエータを備えた記録再生装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、円盤状記録媒体に情報の記録及び
／又は再生を行う磁気ディスク装置や光ディスク装置
は、小型化とともに高記録密度化が進められている。例
えば、記録媒体であるディスクのトラック密度と記録密
度を高めることにより、高記録密度化した大記憶容量の
ハードディスク装置が提供されている。
／又は再生を行う磁気ディスク装置や光ディスク装置
は、小型化とともに高記録密度化が進められている。例
えば、記録媒体であるディスクのトラック密度と記録密
度を高めることにより、高記録密度化した大記憶容量の
ハードディスク装置が提供されている。
【０００３】高記録密度化した大記憶容量のハードディ
スク装置では、ディスク上のアクセス対象である目標ト
ラック位置に、ヘッドを高精度に位置決めする必要があ
る。
スク装置では、ディスク上のアクセス対象である目標ト
ラック位置に、ヘッドを高精度に位置決めする必要があ
る。
【０００４】一般に、慣性モーメントＪの可動体が振幅
Ａ、周波数ｆで正弦波状の運動 Ａ・ｓｉｎ（２πｆ） を行っていると、その変位の時間に対する２次微分で与
えられる角加速度の振幅は、 Ａ・（２πｆ）2 となり、さらに、角加速度と慣性モーメントの積で与え
られる慣性力の振幅は、 Ｊ・Ａ・（２πｆ）2 となる。
Ａ、周波数ｆで正弦波状の運動 Ａ・ｓｉｎ（２πｆ） を行っていると、その変位の時間に対する２次微分で与
えられる角加速度の振幅は、 Ａ・（２πｆ）2 となり、さらに、角加速度と慣性モーメントの積で与え
られる慣性力の振幅は、 Ｊ・Ａ・（２πｆ）2 となる。
【０００５】したがって、慣性モーメントＪの可動体を
運動させるために必要な駆動力Ｔは、 Ｔ 慣性モーメント（Ｊ） Ｔ 振幅（Ａ） Ｔ 運動周波数（ｆ）の２乗 である。したがって、駆動力を一定にすると、可動体の
振れる量（振幅）は運動周波数の２乗に反比例して小さ
くなる。
運動させるために必要な駆動力Ｔは、 Ｔ 慣性モーメント（Ｊ） Ｔ 振幅（Ａ） Ｔ 運動周波数（ｆ）の２乗 である。したがって、駆動力を一定にすると、可動体の
振れる量（振幅）は運動周波数の２乗に反比例して小さ
くなる。
【０００６】このような力学的性質から、慣性モーメン
トを持つ物体を運動させ、その位置を制御する系では、
位置決め誤差は周波数が高くなるに従い、概ね周波数の
２乗に比例して大きくなり、制御性能が劣化するといえ
る。
トを持つ物体を運動させ、その位置を制御する系では、
位置決め誤差は周波数が高くなるに従い、概ね周波数の
２乗に比例して大きくなり、制御性能が劣化するといえ
る。
【０００７】ヘッドの位置決め制御系のサーボ制御帯域
を拡大するためには、ヘッド／トラック間相対オフセッ
ト量を許容サーボ残留誤差値内に収めるように、そのサ
ーボループゲインを上げる必要がある。しかし、従来の
一段のアクチュエータでは、その駆動電力を上げるしか
方法はない。アクチュエータの駆動電力は、与えられた
振動周波数に追従するためには、以下の理由により、そ
の周波数の４乗に比例する値が必要になることがわかっ
ている。
を拡大するためには、ヘッド／トラック間相対オフセッ
ト量を許容サーボ残留誤差値内に収めるように、そのサ
ーボループゲインを上げる必要がある。しかし、従来の
一段のアクチュエータでは、その駆動電力を上げるしか
方法はない。アクチュエータの駆動電力は、与えられた
振動周波数に追従するためには、以下の理由により、そ
の周波数の４乗に比例する値が必要になることがわかっ
ている。
【０００８】すなわち、駆動力Ｔと駆動電流ｉの関係
は、 Ｋｔ・ｉ＝Ｔ＝Ｊ・Ａ・（２πｆ）2 ・・・（１） で与えられる。ここで、Ｋｔはトルク定数である。
は、 Ｋｔ・ｉ＝Ｔ＝Ｊ・Ａ・（２πｆ）2 ・・・（１） で与えられる。ここで、Ｋｔはトルク定数である。
【０００９】一方、駆動電力Ｐは、駆動電流ｉの２乗に
比例するので、 Ｐ ｉ2＝（（Ｊ／Ｋｔ）・Ａ・（２πｆ）2）2 ・・・（２） であるから、比例式で示すと、 Ｐ ｉ2 ｆ4 ・・・（３） となる。すなわち、駆動電力Ｐは運動周波数の４乗に比
例する。
比例するので、 Ｐ ｉ2＝（（Ｊ／Ｋｔ）・Ａ・（２πｆ）2）2 ・・・（２） であるから、比例式で示すと、 Ｐ ｉ2 ｆ4 ・・・（３） となる。すなわち、駆動電力Ｐは運動周波数の４乗に比
例する。
【００１０】したがって、例えばヘッド／トラック間相
対位置ずれ(TMR:Track Miss Registration) を固定し
て、ディスクの回転数を２倍にした場合、には、ディス
ク上のトラックに付随した振動が全体的に高い方に２倍
にシフトするので、アクチュエータの駆動電力はもとの
ディスク回転数の場合に対して４乗すなわち、１６倍に
なる。
対位置ずれ(TMR:Track Miss Registration) を固定し
て、ディスクの回転数を２倍にした場合、には、ディス
ク上のトラックに付随した振動が全体的に高い方に２倍
にシフトするので、アクチュエータの駆動電力はもとの
ディスク回転数の場合に対して４乗すなわち、１６倍に
なる。
【００１１】ここで、アクチュエータのサイズが小さく
なるほど慣性モーメントＪが小さくなるので、トルク定
数と慣性モーメントとの比Ｋｔ／Ｊが大きくなることに
着目すると、アクチュエータを粗動／微動の２段に分割
し、微動駆動機構に関しては慣性モーメントができるだ
け小さくなる構造をとることで、それに応じてＫｔ／Ｊ
を大きくすることができる。例えば、現状の１段のアク
チュエータを粗動駆動機構として用いて、微動駆動機構
のＫｔ／Ｊを粗動駆動機構の仮に３６倍にすると、制御
できる最大周波数と駆動電力は、それぞれ次のようにな
る。
なるほど慣性モーメントＪが小さくなるので、トルク定
数と慣性モーメントとの比Ｋｔ／Ｊが大きくなることに
着目すると、アクチュエータを粗動／微動の２段に分割
し、微動駆動機構に関しては慣性モーメントができるだ
け小さくなる構造をとることで、それに応じてＫｔ／Ｊ
を大きくすることができる。例えば、現状の１段のアク
チュエータを粗動駆動機構として用いて、微動駆動機構
のＫｔ／Ｊを粗動駆動機構の仮に３６倍にすると、制御
できる最大周波数と駆動電力は、それぞれ次のようにな
る。
【００１２】すなわち、制御帯域については、（１）式
から （Ｋｔ／Ｊ）・ｉ＝Ａ・（２πｆ）2 であるから、駆動電流ｉと振幅Ａを一定とすると ｆ2 Ｋｔ／Ｊ となり、 ｆ √（Ｋｔ／Ｊ） となる。したがって、微動駆動機構で制御できる最大周
波数ｆ（fine）は、 ｆ（fine）＝ｆ（coarse）・√３６＝ｆ（coarse）・６ であって、粗動駆動機構で制御できる最大周波数ｆ（co
arse）の６倍となる。
から （Ｋｔ／Ｊ）・ｉ＝Ａ・（２πｆ）2 であるから、駆動電流ｉと振幅Ａを一定とすると ｆ2 Ｋｔ／Ｊ となり、 ｆ √（Ｋｔ／Ｊ） となる。したがって、微動駆動機構で制御できる最大周
波数ｆ（fine）は、 ｆ（fine）＝ｆ（coarse）・√３６＝ｆ（coarse）・６ であって、粗動駆動機構で制御できる最大周波数ｆ（co
arse）の６倍となる。
【００１３】また、駆動電力については、（２）式から Ｐ （Ｊ／Ｋｔ）・Ａ・（２πｆ）2）2 であるから、振幅Ａと周波数をｆを一定とすると Ｐ （Ｊ／Ｋｔ）2 となる。したがって、微動駆動機構に必要な駆動電力Ｐ
（fine）は、 Ｐ（fine）＝Ｐ（coarse）・（１／３６）2＝Ｐ（coars
e）・（１／１２９６） であって、粗動駆動機構に必要な駆動電力Ｐ（coarse）
の１２９６分の１となる。
（fine）は、 Ｐ（fine）＝Ｐ（coarse）・（１／３６）2＝Ｐ（coars
e）・（１／１２９６） であって、粗動駆動機構に必要な駆動電力Ｐ（coarse）
の１２９６分の１となる。
【００１４】また、トラックフォローモードの精度を向
上させる上でもっとも難しい問題は、トラックフォロー
イングしている際にロータリーアクチュエータの角速度
が非常に小さいという点である。角速度が非常に小さい
場合、軸受けと玉軸との間で生じる摩擦力はころがり出
し角変位程度の微小変位幅においては、一般的には、こ
ろがり摩擦力と変位曲線がヒステリシスループを描くこ
とがわかっている。このヒステリシスは温度や湿度に依
存して不規則に変化する性質があり、摩擦力の非線形性
により変位予想が極めて難しく微小変位になればなるほ
ど位置決め制御が難しくなる。このように、従来の一段
式アクチュエータの場合、上述した軸受けに絡む非線形
性が高トラック密度化の阻害要因となる。
上させる上でもっとも難しい問題は、トラックフォロー
イングしている際にロータリーアクチュエータの角速度
が非常に小さいという点である。角速度が非常に小さい
場合、軸受けと玉軸との間で生じる摩擦力はころがり出
し角変位程度の微小変位幅においては、一般的には、こ
ろがり摩擦力と変位曲線がヒステリシスループを描くこ
とがわかっている。このヒステリシスは温度や湿度に依
存して不規則に変化する性質があり、摩擦力の非線形性
により変位予想が極めて難しく微小変位になればなるほ
ど位置決め制御が難しくなる。このように、従来の一段
式アクチュエータの場合、上述した軸受けに絡む非線形
性が高トラック密度化の阻害要因となる。
【００１５】ハードディスク装置では、従来のボイスコ
イルモータ（ＶＣＭ）と協調して磁気ヘッドを高速、高
トラック密度に追従させるために、粗動用ＶＣＭと微動
用圧電素子（ＰＺＴ）を組み合わせた方式、粗動／微動
ともにＶＣＭを用いたピギーバック方式、スライダを微
動用圧電素子（ＰＺＴ）や静電アクチュエータで駆動す
る方式などの各種方式の２段サーボ用マイクロアクチュ
エータが提案されている。
イルモータ（ＶＣＭ）と協調して磁気ヘッドを高速、高
トラック密度に追従させるために、粗動用ＶＣＭと微動
用圧電素子（ＰＺＴ）を組み合わせた方式、粗動／微動
ともにＶＣＭを用いたピギーバック方式、スライダを微
動用圧電素子（ＰＺＴ）や静電アクチュエータで駆動す
る方式などの各種方式の２段サーボ用マイクロアクチュ
エータが提案されている。
【００１６】２段サーボ用マイクロアクチュエータは、
サスペンションの根元に取り付けてヘッド全体を駆動す
るタイプ、スライダを駆動するタイプ、ヘッド素子を駆
動するタイプの３タイプに大別される。
サスペンションの根元に取り付けてヘッド全体を駆動す
るタイプ、スライダを駆動するタイプ、ヘッド素子を駆
動するタイプの３タイプに大別される。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にヘッドを高精度に位置決めするための２段サーボ用マ
イクロアクチュエータでは、各種タイプのものにおい
て、次のような問題点があった。
にヘッドを高精度に位置決めするための２段サーボ用マ
イクロアクチュエータでは、各種タイプのものにおい
て、次のような問題点があった。
【００１８】すなわち、サスペンションの根元に取り付
けてヘッド全体を駆動するタイプものでは、サスペンシ
ョンの質量及び振動特性によりサーボ帯域の広域化が困
難である。
けてヘッド全体を駆動するタイプものでは、サスペンシ
ョンの質量及び振動特性によりサーボ帯域の広域化が困
難である。
【００１９】スライダを駆動するタイプのものでは、ス
ライダの質量により、加速度（駆動力）で制限されるサ
ーボ帯域がヘッド素子に比べると狭くなる。
ライダの質量により、加速度（駆動力）で制限されるサ
ーボ帯域がヘッド素子に比べると狭くなる。
【００２０】ヘッド素子を駆動するタイプのものでは、
アクチュエータの形成とヘッド素子の製作工程が一体化
するため工程が複雑多岐になる。
アクチュエータの形成とヘッド素子の製作工程が一体化
するため工程が複雑多岐になる。
【００２１】従って、マイクロアクチュエータは、構造
的には、スライダを駆動するタイプで、駆動する可動部
がスライダより小型軽量でより小さい力で動かせるもの
で、かつ、ヘッド素子を駆動するタイプのもののように
作成プロセスが複雑でなくバッチプロセスに適した構成
が望ましい。
的には、スライダを駆動するタイプで、駆動する可動部
がスライダより小型軽量でより小さい力で動かせるもの
で、かつ、ヘッド素子を駆動するタイプのもののように
作成プロセスが複雑でなくバッチプロセスに適した構成
が望ましい。
【００２２】一方、光ディスク装置においては以前から
トラッキング用２段アクチュエータが採用されている
が、光ピックアップは磁気ディスクに比べてかなり大き
く、光ピックアップのフォーカッシングはすべて電磁駆
動で制御されており、磁気ヘッドのように浮上型ではな
い。通常、光ディスク装置は、１個の光ピックアップの
みで構成されている。ハードディスク装置のように、複
数ヘッド／複数ディスクを組み入れた構成の光ディスク
装置を構成するためには、磁気ヘッド並に小型で軽量の
光学ピックアップが必要となる。
トラッキング用２段アクチュエータが採用されている
が、光ピックアップは磁気ディスクに比べてかなり大き
く、光ピックアップのフォーカッシングはすべて電磁駆
動で制御されており、磁気ヘッドのように浮上型ではな
い。通常、光ディスク装置は、１個の光ピックアップの
みで構成されている。ハードディスク装置のように、複
数ヘッド／複数ディスクを組み入れた構成の光ディスク
装置を構成するためには、磁気ヘッド並に小型で軽量の
光学ピックアップが必要となる。
【００２３】そこで、本発明の目的は、スライダを駆動
するタイプで、駆動する可動部がスライダより小型軽量
でより小さい力で動かすことができ、かつ、ヘッド素子
を駆動するタイプのもののように作成プロセスが複雑で
なくバッチプロセスに適した構成のヘッドアクチュエー
タ及びこのヘッドアクチュエータを用いた記録再生装置
を提供することにある。
するタイプで、駆動する可動部がスライダより小型軽量
でより小さい力で動かすことができ、かつ、ヘッド素子
を駆動するタイプのもののように作成プロセスが複雑で
なくバッチプロセスに適した構成のヘッドアクチュエー
タ及びこのヘッドアクチュエータを用いた記録再生装置
を提供することにある。
【００２４】また、本発明の他の目的は、小型軽量でフ
ォーカスサーボを必要としない浮上型の光ディスク記録
再生用のヘッドアクチュエータ及びこのヘッドアクチュ
エータを用いた記録再生装置を提供することにある。
ォーカスサーボを必要としない浮上型の光ディスク記録
再生用のヘッドアクチュエータ及びこのヘッドアクチュ
エータを用いた記録再生装置を提供することにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】本発明は、円盤状記録媒
体に情報の記録及び／又は再生を行うヘッドを搭載し、
上記ヘッドを上記円盤状記録媒体の径方向に移動させ
て、目標位置に位置決めするためのヘッドアクチュエー
タであって、上記円盤状記録媒体に対向する媒体対向面
が形成された基体部と、上記ヘッドが上記円盤状記録媒
体に対向する状態に設けられたヘッド部と、上記基体部
の空気流出側に上記ヘッド部を連結する連結部と、上記
連結部の少なくとも一部をなす電気機械変換素子とを備
えるヘッドスライダを上記円盤状記録媒体の径方向に移
動可能な移動体に搭載してなり、上記電気機械変換素子
は、供給される駆動信号に応じて駆動され、上記ヘッド
を上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に微少
移動させることを特徴とする。
体に情報の記録及び／又は再生を行うヘッドを搭載し、
上記ヘッドを上記円盤状記録媒体の径方向に移動させ
て、目標位置に位置決めするためのヘッドアクチュエー
タであって、上記円盤状記録媒体に対向する媒体対向面
が形成された基体部と、上記ヘッドが上記円盤状記録媒
体に対向する状態に設けられたヘッド部と、上記基体部
の空気流出側に上記ヘッド部を連結する連結部と、上記
連結部の少なくとも一部をなす電気機械変換素子とを備
えるヘッドスライダを上記円盤状記録媒体の径方向に移
動可能な移動体に搭載してなり、上記電気機械変換素子
は、供給される駆動信号に応じて駆動され、上記ヘッド
を上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に微少
移動させることを特徴とする。
【００２６】本発明に係るヘッドアクチュエータは、上
記ヘッドとして、例えば、光記録再生ヘッド、近接場光
記録再生ヘッドあるいは磁気記録再生ヘッドを備える。
記ヘッドとして、例えば、光記録再生ヘッド、近接場光
記録再生ヘッドあるいは磁気記録再生ヘッドを備える。
【００２７】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、例えば、上記光記録再生ヘッドあるいは近接場光記
録再生ヘッドにレーザ光を誘導するミラーを上記ヘッド
部に設けることができる。
は、例えば、上記光記録再生ヘッドあるいは近接場光記
録再生ヘッドにレーザ光を誘導するミラーを上記ヘッド
部に設けることができる。
【００２８】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、例えば、上記ヘッドとして光記録再生ヘッドと磁気
記録再生ヘッドが一体形成されているものを備える。
は、例えば、上記ヘッドとして光記録再生ヘッドと磁気
記録再生ヘッドが一体形成されているものを備える。
【００２９】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、上記基体部が例えばＳｉ、ＳｉＣ又はＡｌ2Ｏ3−Ｔ
ｉＣにより形成される。
は、上記基体部が例えばＳｉ、ＳｉＣ又はＡｌ2Ｏ3−Ｔ
ｉＣにより形成される。
【００３０】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、上記基体部が例えば屈折率１以上の透明材料により
形成される。
は、上記基体部が例えば屈折率１以上の透明材料により
形成される。
【００３１】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、上記ヘッド部が例えばＳｉ、ＳｉＣ又はＡｌ2Ｏ3−
ＴｉＣにより形成される。
は、上記ヘッド部が例えばＳｉ、ＳｉＣ又はＡｌ2Ｏ3−
ＴｉＣにより形成される。
【００３２】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、上記ヘッド部が例えば屈折率１以上の透明材料によ
り形成される。
は、上記ヘッド部が例えば屈折率１以上の透明材料によ
り形成される。
【００３３】また、本発明に係るヘッドアクチュエータ
は、例えば、上記基体部及びヘッド部に空気潤滑面が形
成される。
は、例えば、上記基体部及びヘッド部に空気潤滑面が形
成される。
【００３４】さらに、本発明に係るヘッドアクチュエー
タにおいて、上記電気機械変換素子は、例えば圧電素子
であり、駆動信号が供給されることで上記ヘッドを上記
円盤状記録媒体に対してトラッキング方向にストローク
移動させる。
タにおいて、上記電気機械変換素子は、例えば圧電素子
であり、駆動信号が供給されることで上記ヘッドを上記
円盤状記録媒体に対してトラッキング方向にストローク
移動させる。
【００３５】また、本発明は、ヘッドを円盤状記録媒体
の径方向に移動させて情報の記録及び／又は再生を行う
記録再生装置であって、上記円盤状記録媒体に対向する
媒体対向面が形成された基体部と、上記ヘッドが上記円
盤状記録媒体に対向する状態に設けられたヘッド部と、
上記基体部の空気流出側に上記ヘッド部を連結する連結
部と、上記連結部の少なくとも一部をなし、上記ヘッド
を上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に微少
移動させる電気機械変換素子とを備えるヘッドスライダ
を上記円盤状記録媒体の径方向に移動可能な移動体に搭
載してなるヘッドアクチュエータと、上記ヘッドスライ
ダに備えられた上記電気機械変換素子に供給する上記駆
動信号を生成する制御手段とを備え、上記制御手段から
駆動信号を上記電気機械変換素子に供給し、上記ヘッド
を上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に微少
移動させて目標位置に位置決めすることを特徴とする。
の径方向に移動させて情報の記録及び／又は再生を行う
記録再生装置であって、上記円盤状記録媒体に対向する
媒体対向面が形成された基体部と、上記ヘッドが上記円
盤状記録媒体に対向する状態に設けられたヘッド部と、
上記基体部の空気流出側に上記ヘッド部を連結する連結
部と、上記連結部の少なくとも一部をなし、上記ヘッド
を上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に微少
移動させる電気機械変換素子とを備えるヘッドスライダ
を上記円盤状記録媒体の径方向に移動可能な移動体に搭
載してなるヘッドアクチュエータと、上記ヘッドスライ
ダに備えられた上記電気機械変換素子に供給する上記駆
動信号を生成する制御手段とを備え、上記制御手段から
駆動信号を上記電気機械変換素子に供給し、上記ヘッド
を上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に微少
移動させて目標位置に位置決めすることを特徴とする。
【００３６】本発明に係る記録再生装置において、上記
電気機械変換素子は、例えば圧電素子であり、上記制御
手段は当該圧電素子に駆動信号を供給して上記ヘッドを
上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向にストロ
ーク移動させる。
電気機械変換素子は、例えば圧電素子であり、上記制御
手段は当該圧電素子に駆動信号を供給して上記ヘッドを
上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向にストロ
ーク移動させる。
【００３７】本発明に係る記録再生装置は、例えば、上
記ヘッドとして光記録再生ヘッドと磁気記録再生ヘッド
が一体形成されており、磁気ディスクと光ディスクを選
択的に用いて情報の記録及び／又は再生を行う。
記ヘッドとして光記録再生ヘッドと磁気記録再生ヘッド
が一体形成されており、磁気ディスクと光ディスクを選
択的に用いて情報の記録及び／又は再生を行う。
【００３８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３９】本発明は、例えば図１に示すような構成の
光ディスク記録／再生装置１０に適用される。
光ディスク記録／再生装置１０に適用される。
【００４０】この光ディスク記録／再生装置１０は、光
ディスク１の径方向にヘッドアクチュエータ２によりヘ
ッドスライダ２１を移動させて情報の記録及び／又は再
生を行うもので、上記光ディスク１を回転駆動するため
のスピンドルモータ３やモータ駆動回路４、上記ヘッド
アクチュエータ２を駆動制御するための粗動用ＶＣＭ駆
動回路５、微動用ＰＺＴ駆動回路６やアクチュエータ制
御部７や位置検出回路８、ディスクコントローラ９等を
備えている。
ディスク１の径方向にヘッドアクチュエータ２によりヘ
ッドスライダ２１を移動させて情報の記録及び／又は再
生を行うもので、上記光ディスク１を回転駆動するため
のスピンドルモータ３やモータ駆動回路４、上記ヘッド
アクチュエータ２を駆動制御するための粗動用ＶＣＭ駆
動回路５、微動用ＰＺＴ駆動回路６やアクチュエータ制
御部７や位置検出回路８、ディスクコントローラ９等を
備えている。
【００４１】上記ヘッドアクチュエータ２は、上記ヘッ
ドスライダ２１が先端に設けられた支持バネ２２と、こ
の支持バネ２２を上記光ディスク１と平行に回転駆動す
ることにより、上記ヘッドスライダ２１を光ディスク１
の径方向に移動させるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２
３を備え、このＶＣＭ２３が上記粗動用ＶＣＭ駆動回路
５によって駆動されるようになっている。
ドスライダ２１が先端に設けられた支持バネ２２と、こ
の支持バネ２２を上記光ディスク１と平行に回転駆動す
ることにより、上記ヘッドスライダ２１を光ディスク１
の径方向に移動させるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２
３を備え、このＶＣＭ２３が上記粗動用ＶＣＭ駆動回路
５によって駆動されるようになっている。
【００４２】上記ヘッドスライダ２１は、その要部を拡
大した平面図、側面図及び底面図を図２、図３及び図４
に示してあるように、上記支持バネ２２の先端に、薄板
状支持片２４からなるジンバル支持機構を介して支持さ
れた基体部２５と、光記録再生ヘッド３０が設けられた
ヘッド部２６と、上記基体部２５とヘッド部２６を連結
する連結部２７を備えている。
大した平面図、側面図及び底面図を図２、図３及び図４
に示してあるように、上記支持バネ２２の先端に、薄板
状支持片２４からなるジンバル支持機構を介して支持さ
れた基体部２５と、光記録再生ヘッド３０が設けられた
ヘッド部２６と、上記基体部２５とヘッド部２６を連結
する連結部２７を備えている。
【００４３】上記基体部２５は、光ディスクとの対向面
に、光ディスクが高速回転駆動されることによりディス
ク表面に生じる空気流の方向に沿って、２条のＡＢＳレ
ール２５Ａが形成されている。各ＡＢＳレール２５Ａに
は、光ディスクとの対向面に例えば鏡面加工等が施され
た空気潤滑面２５Ｂが形成されているとともに、上記空
気流の上流側の端部に段部２５Ｃが形成されている。
に、光ディスクが高速回転駆動されることによりディス
ク表面に生じる空気流の方向に沿って、２条のＡＢＳレ
ール２５Ａが形成されている。各ＡＢＳレール２５Ａに
は、光ディスクとの対向面に例えば鏡面加工等が施され
た空気潤滑面２５Ｂが形成されているとともに、上記空
気流の上流側の端部に段部２５Ｃが形成されている。
【００４４】このような構造の基体部２５は、光ディス
ク１が高速回転駆動されることによりディスク表面に生
じる空気流が、上記ディスク表面との対向面と当該ディ
スク表面の間に流入して、２条のＡＢＳレール２５Ａに
沿って流れることによって、浮上力を発生する。
ク１が高速回転駆動されることによりディスク表面に生
じる空気流が、上記ディスク表面との対向面と当該ディ
スク表面の間に流入して、２条のＡＢＳレール２５Ａに
沿って流れることによって、浮上力を発生する。
【００４５】そして、上記ヘッド部２６は、上記基体部
２５の空気流流出側に連結部２７を介して連結されてい
る。このヘッド部２６には、ホルダ３１により支持され
たコリメータレンズ３３とＳＩＭ（Solid Immersion Mi
rror: 反射と屈折の両方を兼ね備えたレンズ）３２から
なる光記録再生ヘッド３０と、上記光記録再生ヘッド３
０にレーザ光を誘導するミラー３４が設けられている。
上記ＳＩＭ３２には、上記ディスク表面との対向するパ
ッド部３５に上記レーザ光の出射口３６が埋め込まれて
おり、さらに、上記ディスク表面との対向面に例えば鏡
面加工等が施された空気潤滑面３７が形成され、また、
上記空気流の上流側の端部に段部３８が形成されてい
る。
２５の空気流流出側に連結部２７を介して連結されてい
る。このヘッド部２６には、ホルダ３１により支持され
たコリメータレンズ３３とＳＩＭ（Solid Immersion Mi
rror: 反射と屈折の両方を兼ね備えたレンズ）３２から
なる光記録再生ヘッド３０と、上記光記録再生ヘッド３
０にレーザ光を誘導するミラー３４が設けられている。
上記ＳＩＭ３２には、上記ディスク表面との対向するパ
ッド部３５に上記レーザ光の出射口３６が埋め込まれて
おり、さらに、上記ディスク表面との対向面に例えば鏡
面加工等が施された空気潤滑面３７が形成され、また、
上記空気流の上流側の端部に段部３８が形成されてい
る。
【００４６】また、上記連結部２７は、光ディスク１と
の対向面と平行な平面上に配置され互いに平行な２本の
ビーム２７Ａ，２７Ｂ、上記ヘッド部２６に接続する可
動部と上記基体部２５に接続される固定部からなる。上
記２本のビーム２７Ａ，２７Ｂは、一端が上記基体部２
５に固定されており、他端に設けられた上記ヘッド部２
６を片持ち梁構造により支持している。また、上記２本
のビーム２７Ａ，２７Ｂは、駆動電信号に応じて長軸方
向Ａに伸縮する電気機械変換素子で形成されている。上
記２本のビーム２７Ａ，２７Ｂは、一方の電気機械変換
素子が伸張状態になるとともに、他方の電気機械変換素
子が収縮状態になることにより、光ディスク１との対向
面と略平行な平面上で上記長軸方向Ａと交差する方向Ｂ
に湾曲して、上記ヘッド部２６をトラッキング方向にミ
クロンオーダのストロークで移動させる微動アクチュエ
ータとして機能する。上記電気機械変換素子としては、
例えば、圧電材料からなる多層構造の圧電素子（ＰＺ
Ｔ）が用いられる。上記電気機械変換素子には、上記微
動用ＰＺＴ駆動回路から互いに逆相の駆動信号が供給さ
れる。
の対向面と平行な平面上に配置され互いに平行な２本の
ビーム２７Ａ，２７Ｂ、上記ヘッド部２６に接続する可
動部と上記基体部２５に接続される固定部からなる。上
記２本のビーム２７Ａ，２７Ｂは、一端が上記基体部２
５に固定されており、他端に設けられた上記ヘッド部２
６を片持ち梁構造により支持している。また、上記２本
のビーム２７Ａ，２７Ｂは、駆動電信号に応じて長軸方
向Ａに伸縮する電気機械変換素子で形成されている。上
記２本のビーム２７Ａ，２７Ｂは、一方の電気機械変換
素子が伸張状態になるとともに、他方の電気機械変換素
子が収縮状態になることにより、光ディスク１との対向
面と略平行な平面上で上記長軸方向Ａと交差する方向Ｂ
に湾曲して、上記ヘッド部２６をトラッキング方向にミ
クロンオーダのストロークで移動させる微動アクチュエ
ータとして機能する。上記電気機械変換素子としては、
例えば、圧電材料からなる多層構造の圧電素子（ＰＺ
Ｔ）が用いられる。上記電気機械変換素子には、上記微
動用ＰＺＴ駆動回路から互いに逆相の駆動信号が供給さ
れる。
【００４７】ここで、上記スライダは、スペーシングが
サブミクロンの領域にあるヘッド／ディスク界面でのト
ライポロジー（信頼性）を考慮して選択した材料例によ
り作成される。すなわち、上記スライダ２の基体部２５
及び／又はヘッド部２６は、例えばＳｉ、ＳｉＣあるい
はＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣにより形成される。なお、上記基体
部２５及び／又はヘッド部２６は、屈折率１以上の透明
材料により形成されてもよい。
サブミクロンの領域にあるヘッド／ディスク界面でのト
ライポロジー（信頼性）を考慮して選択した材料例によ
り作成される。すなわち、上記スライダ２の基体部２５
及び／又はヘッド部２６は、例えばＳｉ、ＳｉＣあるい
はＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣにより形成される。なお、上記基体
部２５及び／又はヘッド部２６は、屈折率１以上の透明
材料により形成されてもよい。
【００４８】そして、この記録／再生装置１０におい
て、アクチュエータ制御部７は、ディスクコントローラ
から与えられる目標トラック情報と位置検出回路により
検出される位置検出信号に基づいて、粗動用ＶＣＭ駆動
回路５と微動用ＰＺＴ駆動回路６を制御して、トラッキ
ングサーボをかける。
て、アクチュエータ制御部７は、ディスクコントローラ
から与えられる目標トラック情報と位置検出回路により
検出される位置検出信号に基づいて、粗動用ＶＣＭ駆動
回路５と微動用ＰＺＴ駆動回路６を制御して、トラッキ
ングサーボをかける。
【００４９】このように構成したヘッドアクチュエータ
２を備える記録／再生装置１０では、スピンドルモータ
３により光ディスク１が一定の速度で高速回転駆動され
ることにより、スライダ２のヘッド部２６に設けた光記
録再生ヘッド３０がディスク表面から浮上した状態とな
る。上記光記録再生ヘッド３０の浮上量及び浮上姿勢
は、上記スライダ２の基体部２５とヘッド部２６の空気
潤滑面の構造で決まるので、フォーカスサーボをかける
ことなく、情報の記録／再生を行うことができる。
２を備える記録／再生装置１０では、スピンドルモータ
３により光ディスク１が一定の速度で高速回転駆動され
ることにより、スライダ２のヘッド部２６に設けた光記
録再生ヘッド３０がディスク表面から浮上した状態とな
る。上記光記録再生ヘッド３０の浮上量及び浮上姿勢
は、上記スライダ２の基体部２５とヘッド部２６の空気
潤滑面の構造で決まるので、フォーカスサーボをかける
ことなく、情報の記録／再生を行うことができる。
【００５０】また、上記スライダ２の基体部２５に連結
部２７を介して連結されているヘッド部２６は、スライ
ダ寸法よりも小さく且つ軽量にできる。したがって、上
記連結部２７の２本のビーム２７Ａ，２７Ｂをなす電気
機械素子により上記ヘッド部２６を動かすことにより、
トラッキングサーボ帯域を広帯域化することができる。
部２７を介して連結されているヘッド部２６は、スライ
ダ寸法よりも小さく且つ軽量にできる。したがって、上
記連結部２７の２本のビーム２７Ａ，２７Ｂをなす電気
機械素子により上記ヘッド部２６を動かすことにより、
トラッキングサーボ帯域を広帯域化することができる。
【００５１】また、上記光記録再生ヘッド３０にレーザ
光を誘導するためのミラー３４もホルダ３１に設けてあ
り、上記光記録再生ヘッド３０とともに上記ミラー３４
も微動されるので、上記ミラー３４は可動タイプでなく
てよい。従って、複雑なマイクロ加工(MEMS:Micro Elec
tromechanical machining System) の技術を導入する必
要がない。
光を誘導するためのミラー３４もホルダ３１に設けてあ
り、上記光記録再生ヘッド３０とともに上記ミラー３４
も微動されるので、上記ミラー３４は可動タイプでなく
てよい。従って、複雑なマイクロ加工(MEMS:Micro Elec
tromechanical machining System) の技術を導入する必
要がない。
【００５２】さらに、この実施の形態における光ディス
ク記録／再生装置１０は、上述のように上記スライダ２
の基体部２５に連結部２７を介して連結されているヘッ
ド部２６は、スライダ寸法よりも小さく且つ軽量にでき
るので、装置の小型化が可能であるばかりでなく、複数
枚の光ディスクと、複数の光記録再生ヘッド３０を１つ
の筐体内に組み込む構成を採用することも可能である。
ク記録／再生装置１０は、上述のように上記スライダ２
の基体部２５に連結部２７を介して連結されているヘッ
ド部２６は、スライダ寸法よりも小さく且つ軽量にでき
るので、装置の小型化が可能であるばかりでなく、複数
枚の光ディスクと、複数の光記録再生ヘッド３０を１つ
の筐体内に組み込む構成を採用することも可能である。
【００５３】また、上記ヘッドアクチュエータ２のヘッ
ド部２６には、光記録再生ヘッド３０として従来タイプ
の２群レンズ系あるいは近接場光記録再生ヘッドを設け
るようにしてもよい。
ド部２６には、光記録再生ヘッド３０として従来タイプ
の２群レンズ系あるいは近接場光記録再生ヘッドを設け
るようにしてもよい。
【００５４】また、上記光記録再生ヘッド３０に代えて
磁気記録再生ヘッドをヘッドアクチュエータ２のヘッド
部２６に設けるようにして、磁気ディスク記録再生装置
を構成することもできる。
磁気記録再生ヘッドをヘッドアクチュエータ２のヘッド
部２６に設けるようにして、磁気ディスク記録再生装置
を構成することもできる。
【００５５】さらに、上記ヘッドアクチュエータ２のヘ
ッド部２６に光記録再生ヘッドと磁気記録再生ヘッドを
一体形成するようにして、磁気ディスクと光ディスクを
選択的に用いて情報の記録及び／又は再生を行うリムー
バルタイプの記録／再生を構成することも可能である。
ッド部２６に光記録再生ヘッドと磁気記録再生ヘッドを
一体形成するようにして、磁気ディスクと光ディスクを
選択的に用いて情報の記録及び／又は再生を行うリムー
バルタイプの記録／再生を構成することも可能である。
【００５６】
【発明の効果】以上のように、スライダの基体部に連結
部を介して連結されているヘッド部は、スライダ寸法よ
りも小さく且つ軽量にでき、上記連結部の一部を構成す
る電気機械変換素子により小さい力で動かすことができ
る。
部を介して連結されているヘッド部は、スライダ寸法よ
りも小さく且つ軽量にでき、上記連結部の一部を構成す
る電気機械変換素子により小さい力で動かすことができ
る。
【００５７】したがって、本発明によれば、スライダを
駆動するタイプで、駆動する可動部がスライダより小型
軽量でより小さい力で動かすことができ、かつ、ヘッド
素子を駆動するタイプのもののように作成プロセスが複
雑でなくバッチプロセスに適した構成のヘッドアクチュ
エータ及びこのヘッドアクチュエータを用いた記録再生
装置を提供することができる。また、本発明によれば、
小型軽量でフォーカスサーボを必要としない浮上型の光
ディスク記録再生用のヘッドアクチュエータ及びこのヘ
ッドアクチュエータを用いた記録再生装置を提供するこ
とができる。
駆動するタイプで、駆動する可動部がスライダより小型
軽量でより小さい力で動かすことができ、かつ、ヘッド
素子を駆動するタイプのもののように作成プロセスが複
雑でなくバッチプロセスに適した構成のヘッドアクチュ
エータ及びこのヘッドアクチュエータを用いた記録再生
装置を提供することができる。また、本発明によれば、
小型軽量でフォーカスサーボを必要としない浮上型の光
ディスク記録再生用のヘッドアクチュエータ及びこのヘ
ッドアクチュエータを用いた記録再生装置を提供するこ
とができる。
【図１】本発明を適用した光ディスク記録／再生装置の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図２】上記光ディスク記録／再生装置に備えられたヘ
ッドアクチュータのスライダを拡大して示した平面図で
ある。
ッドアクチュータのスライダを拡大して示した平面図で
ある。
【図３】上記スライダを拡大して示した側面図である。
【図４】上記スライダを拡大して示した底面図である。
１ 光ディスク、２ ヘッドアクチュエータ、３ スピ
ンドルモータ、４ モータ駆動回路、５ 粗動用ＶＣＭ
駆動回路、６ 微動用ＰＺＴ駆動回路、７ アクチュエ
ータ制御部、８ 位置検出回路、９ ディスクコントロ
ーラ、２１ ヘッドスライダ、２２ 支持バネ、２３
ＶＣＭ、２４ 薄板状支持片、２５ 基体部、２５Ａ
ＡＢＳレール２５Ａ、２５Ｂ 空気潤滑面、２５Ｃ 段
部２５Ｃ、２６ ヘッド部、２７ 連結部、２７Ａ，２
７Ｂ ビーム、３０ 光記録再生ヘッド、３１ ホル
ダ、３２ ＳＩＭ、３４ ミラー、３５ パッド部、３
６ 出射口、３７ 空気潤滑面、７０Ａ，７０Ｂ 電気
機械変換素子
ンドルモータ、４ モータ駆動回路、５ 粗動用ＶＣＭ
駆動回路、６ 微動用ＰＺＴ駆動回路、７ アクチュエ
ータ制御部、８ 位置検出回路、９ ディスクコントロ
ーラ、２１ ヘッドスライダ、２２ 支持バネ、２３
ＶＣＭ、２４ 薄板状支持片、２５ 基体部、２５Ａ
ＡＢＳレール２５Ａ、２５Ｂ 空気潤滑面、２５Ｃ 段
部２５Ｃ、２６ ヘッド部、２７ 連結部、２７Ａ，２
７Ｂ ビーム、３０ 光記録再生ヘッド、３１ ホル
ダ、３２ ＳＩＭ、３４ ミラー、３５ パッド部、３
６ 出射口、３７ 空気潤滑面、７０Ａ，７０Ｂ 電気
機械変換素子
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月２６日（１９９９．３．２
６）
６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】一般に、慣性モーメントＪの可動体が振幅
Ａ、周波数ｆで正弦波状の運動 Ａ・ｓｉｎ（２πｆｔ） を行っていると、その変位の時間に対する２次微分で与
えられる角加速度の振幅は、 Ａ・（２πｆ）2 となり、さらに、角加速度と慣性モーメントの積で与え
られる慣性力の振幅は、 Ｊ・Ａ・（２πｆ）2 となる。
Ａ、周波数ｆで正弦波状の運動 Ａ・ｓｉｎ（２πｆｔ） を行っていると、その変位の時間に対する２次微分で与
えられる角加速度の振幅は、 Ａ・（２πｆ）2 となり、さらに、角加速度と慣性モーメントの積で与え
られる慣性力の振幅は、 Ｊ・Ａ・（２πｆ）2 となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】したがって、慣性モーメントＪの可動体を
運動させるために必要な駆動力Ｔは、 Ｔ∝慣性モーメント（Ｊ） Ｔ∝振幅（Ａ） Ｔ∝運動周波数（ｆ）の２乗 である。したがって、駆動力を一定にすると、可動体の
振れる量（振幅）は運動周波数の２乗に反比例して小さ
くなる。
運動させるために必要な駆動力Ｔは、 Ｔ∝慣性モーメント（Ｊ） Ｔ∝振幅（Ａ） Ｔ∝運動周波数（ｆ）の２乗 である。したがって、駆動力を一定にすると、可動体の
振れる量（振幅）は運動周波数の２乗に反比例して小さ
くなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】一方、駆動電力Ｐは、駆動電流ｉの２乗に
比例するので、 Ｐ∝ｉ2＝（（Ｊ／Ｋｔ）・Ａ・（２πｆ）2）2 ・・・（２） であるから、比例式で示すと、 Ｐ∝ｉ2∝ｆ4 ・・・（３） となる。すなわち、駆動電力Ｐは運動周波数の４乗に比
例する。
比例するので、 Ｐ∝ｉ2＝（（Ｊ／Ｋｔ）・Ａ・（２πｆ）2）2 ・・・（２） であるから、比例式で示すと、 Ｐ∝ｉ2∝ｆ4 ・・・（３） となる。すなわち、駆動電力Ｐは運動周波数の４乗に比
例する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】したがって、例えばヘッド／トラック間相
対位置ずれ(TMR:Track Misregistration) を固定して、
ディスクの回転数を２倍にした場合、ディスク上のトラ
ックに付随した振動が全体的に高い方に２倍にシフトす
るので、アクチュエータの駆動電力はもとのディスク回
転数の場合に対して４乗すなわち、１６倍になる。
対位置ずれ(TMR:Track Misregistration) を固定して、
ディスクの回転数を２倍にした場合、ディスク上のトラ
ックに付随した振動が全体的に高い方に２倍にシフトす
るので、アクチュエータの駆動電力はもとのディスク回
転数の場合に対して４乗すなわち、１６倍になる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】すなわち、制御帯域については、（１）式
から （Ｋｔ／Ｊ）・ｉ＝Ａ・（２πｆ）2 であるから、駆動電流ｉと振幅Ａを一定とすると ｆ2∝Ｋｔ／Ｊ となり、 ｆ∝√（Ｋｔ／Ｊ） となる。したがって、微動駆動機構で制御できる最大周
波数ｆ（fine）は、 ｆ（fine）＝ｆ（coarse）・√３６＝ｆ（coarse）・６ であって、粗動駆動機構で制御できる最大周波数ｆ（co
arse）の６倍となる。
から （Ｋｔ／Ｊ）・ｉ＝Ａ・（２πｆ）2 であるから、駆動電流ｉと振幅Ａを一定とすると ｆ2∝Ｋｔ／Ｊ となり、 ｆ∝√（Ｋｔ／Ｊ） となる。したがって、微動駆動機構で制御できる最大周
波数ｆ（fine）は、 ｆ（fine）＝ｆ（coarse）・√３６＝ｆ（coarse）・６ であって、粗動駆動機構で制御できる最大周波数ｆ（co
arse）の６倍となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】また、駆動電力については、（２）式から Ｐ∝（（Ｊ／Ｋｔ）・Ａ・（２πｆ）2）2 であるから、振幅Ａと周波数をｆを一定とすると Ｐ∝（Ｊ／Ｋｔ）2 となる。したがって、微動駆動機構に必要な駆動電力Ｐ
（fine）は、 Ｐ（fine）＝Ｐ（coarse）・（１／３６）2＝Ｐ（coars
e）・（１／１２９６） であって、粗動駆動機構に必要な駆動電力Ｐ（coarse）
の１２９６分の１となる。
（fine）は、 Ｐ（fine）＝Ｐ（coarse）・（１／３６）2＝Ｐ（coars
e）・（１／１２９６） であって、粗動駆動機構に必要な駆動電力Ｐ（coarse）
の１２９６分の１となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４７】ここで、上記スライダは、スペーシングが
サブミクロン以下の領域にあるヘッド／ディスク界面で
のトライポロジー（信頼性）を考慮して選択した材料例
により作成される。すなわち、上記スライダ２の基体部
２５及び／又はヘッド部２６は、例えばＳｉ、ＳｉＣあ
るいはＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣにより形成される。なお、上記
基体部２５及び／又はヘッド部２６は、屈折率１以上の
透明材料により形成されてもよい。
サブミクロン以下の領域にあるヘッド／ディスク界面で
のトライポロジー（信頼性）を考慮して選択した材料例
により作成される。すなわち、上記スライダ２の基体部
２５及び／又はヘッド部２６は、例えばＳｉ、ＳｉＣあ
るいはＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣにより形成される。なお、上記
基体部２５及び／又はヘッド部２６は、屈折率１以上の
透明材料により形成されてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５１】また、上記光記録再生ヘッド３０にレーザ
光を誘導するためのミラー３４もホルダ３１に設けてあ
り、上記光記録再生ヘッド３０とともに上記ミラー３４
も微動されるので、上記ミラー３４は可動タイプでなく
てよい。従って、複雑なマイクロ加工(MEMS:Micro Elec
tromechanical Machining System) の技術を導入する必
要がない。
光を誘導するためのミラー３４もホルダ３１に設けてあ
り、上記光記録再生ヘッド３０とともに上記ミラー３４
も微動されるので、上記ミラー３４は可動タイプでなく
てよい。従って、複雑なマイクロ加工(MEMS:Micro Elec
tromechanical Machining System) の技術を導入する必
要がない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/20 Ｇ１１Ｂ 7/20
Claims (21)
- 【請求項１】 円盤状記録媒体に情報の記録及び／又は
再生を行うヘッドを搭載し、上記ヘッドを上記円盤状記
録媒体の径方向に移動させて、目標位置に位置決めする
ためのヘッドアクチュエータであって、 上記円盤状記録媒体に対向する媒体対向面が形成された
基体部と、上記ヘッドが上記円盤状記録媒体に対向する
状態に設けられたヘッド部と、上記基体部の空気流出側
に上記ヘッド部を連結する連結部と、上記連結部の少な
くとも一部をなす電気機械変換素子とを備えるヘッドス
ライダを上記円盤状記録媒体の径方向に移動可能な移動
体に搭載してなり、 上記電気機械変換素子は、供給される駆動信号に応じて
駆動され、上記ヘッドを上記円盤状記録媒体に対してト
ラッキング方向に微少移動させることを特徴とするヘッ
ドアクチュエータ。 - 【請求項２】 上記ヘッドが光記録再生ヘッドであるこ
とを特徴とする請求項１記載のヘッドアクチュエータ。 - 【請求項３】 上記ヘッドが近接場光記録再生ヘッドで
あることを特徴とする請求項２記載のヘッドアクチュエ
ータ。 - 【請求項４】 上記ヘッド部には、上記光記録再生ヘッ
ドにレーザ光を誘導するミラーが設けられていることを
特徴とする請求項２記載のヘッドアクチュエータ。 - 【請求項５】 上記ヘッド部には、上記近接場光記録再
生ヘッドにレーザ光を誘導するミラーが設けられている
ことを特徴とする請求項３記載のヘッドアクチュエー
タ。 - 【請求項６】 上記ヘッドが磁気記録再生ヘッドである
ことを特徴とする請求項１記載のヘッドアクチュエー
タ。 - 【請求項７】 上記ヘッドとして光記録再生ヘッドと磁
気記録再生ヘッドが一体形成されていることを特徴とす
る請求項１記載のヘッドアクチュエータ。 - 【請求項８】 上記基体部がＳｉにより形成されている
ことを特徴とする請求項１記載のヘッドアクチュエー
タ。 - 【請求項９】 上記基体部がＳｉＣにより形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載のヘッドアクチュエー
タ。 - 【請求項１０】 上記基体部がＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣにより
形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッド
アクチュエータ。 - 【請求項１１】 上記基体部が屈折率１以上の透明材料
により形成されていることを特徴とする請求項１記載の
ヘッドアクチュエータ。 - 【請求項１２】 上記ヘッド部がＳｉにより形成されて
いることを特徴とする請求項１記載のヘッドアクチュエ
ータ。 - 【請求項１３】 上記ヘッド部がＳｉＣにより形成され
ていることを特徴とする請求項１記載のヘッドアクチュ
エータ。 - 【請求項１４】 上記ヘッド部がＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣによ
り形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッ
ドアクチュエータ。 - 【請求項１５】 上記ヘッド部が屈折率１以上の透明材
料により形成されていることを特徴とする請求項１記載
のヘッドアクチュエータ。 - 【請求項１６】 上記基体部及びヘッド部に空気潤滑面
が形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッ
ドアクチュエータ。 - 【請求項１７】 上記電気機械変換素子は圧電素子であ
り、当該圧電素子は駆動信号が供給されることで上記ヘ
ッドを上記円盤状記録媒体に対してトラッキング方向に
ストローク移動させることを特徴とする請求項１記載の
ヘッドアクチュエータ。 - 【請求項１８】 ヘッドを円盤状記録媒体の径方向に移
動させて情報の記録及び／又は再生を行う記録再生装置
であって、 上記円盤状記録媒体に対向する媒体対向面が形成された
基体部と、上記ヘッドが上記円盤状記録媒体に対向する
状態に設けられたヘッド部と、上記基体部の空気流出側
に上記ヘッド部を連結する連結部と、上記連結部の少な
くとも一部をなし、上記ヘッドを上記円盤状記録媒体に
対してトラッキング方向に微少移動させ電気機械変換素
子とを備えるヘッドスライダを上記円盤状記録媒体の径
方向に移動可能な移動体に搭載してなるヘッドアクチュ
エータと、 上記ヘッドスライダに備えられた上記電気機械変換素子
に供給する上記駆動信号を生成する制御手段とを備え、 上記制御手段から駆動信号を上記電気機械変換素子に供
給し、上記ヘッドを上記円盤状記録媒体に対してトラッ
キング方向に微少移動させて目標位置に位置決めするこ
とを特徴とする記録再生装置。 - 【請求項１９】 上記電気機械変換素子は圧電素子であ
り、上記制御手段は当該圧電素子に駆動信号を供給して
上記ヘッドを上記円盤状記録媒体に対してトラッキング
方向にストローク移動させることを特徴とする請求項１
８に記載の記録再生装置。 - 【請求項２０】 上記ヘッドとして光記録再生ヘッドと
磁気記録再生ヘッドが一体形成されており、 磁気ディスクと光ディスクを選択的に用いて情報の記録
及び／又は再生を行うことを特徴とする請求項１８記載
の記録再生装置。 - 【請求項２１】 上記ヘッドとして光再生ヘッドと磁気
記録再生ヘッドが一体形成されており、 磁気ディスクと光ディスクを選択的に用いて情報の記録
及び／又は再生を行うことを特徴とする請求項１８記載
の記録再生装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35630398A JP4627818B2 (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | ヘッドアクチュエータ及び記録再生装置 |
| US09/461,126 US6563767B1 (en) | 1998-12-15 | 1999-12-14 | Connecting unit for connecting the head unit to a head slider in a head actuator for recording and/or reproducing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35630398A JP4627818B2 (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | ヘッドアクチュエータ及び記録再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000182342A true JP2000182342A (ja) | 2000-06-30 |
| JP4627818B2 JP4627818B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=18448362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35630398A Expired - Fee Related JP4627818B2 (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | ヘッドアクチュエータ及び記録再生装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6563767B1 (ja) |
| JP (1) | JP4627818B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002078361A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Shibuya Kogyo Co Ltd | リニア位置決め装置 |
| CN100336128C (zh) * | 2000-10-23 | 2007-09-05 | 松下电器产业株式会社 | 磁头支持结构 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7289300B2 (en) * | 2004-01-26 | 2007-10-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Piezoelectric motor for moving a carriage along a guide |
| CN100345192C (zh) * | 2005-09-23 | 2007-10-24 | 清华大学 | 高倍速数字通用光盘的聚焦、循迹及偏心性能检测装置 |
| US20100157774A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-06-24 | General Electric Company | Data storage systems and methods |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6243350B1 (en) * | 1996-05-01 | 2001-06-05 | Terastor Corporation | Optical storage systems with flying optical heads for near-field recording and reading |
-
1998
- 1998-12-15 JP JP35630398A patent/JP4627818B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-12-14 US US09/461,126 patent/US6563767B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002078361A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Shibuya Kogyo Co Ltd | リニア位置決め装置 |
| JP4636660B2 (ja) * | 2000-08-28 | 2011-02-23 | 澁谷工業株式会社 | リニア位置決め装置 |
| CN100336128C (zh) * | 2000-10-23 | 2007-09-05 | 松下电器产业株式会社 | 磁头支持结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6563767B1 (en) | 2003-05-13 |
| JP4627818B2 (ja) | 2011-02-09 |
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