JP4806667B2 - ヘッド・ジンバル・アセンブリ及びディスク・ドライブ装置 - Google Patents
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Description
103 スピンドル・モータ、105 ヘッド・スライダ
106 アクチュエータ、107 回動軸、109 ボイス・コイル・モータ
110 サスペンション、111 アーム、112 コイル・サポート
113 VCMコイル、115 ランプ、201 フレックス・ケーブル
202 ジンバル、203 ロード・ビーム、204 マウント・プレート
205 マイクロアクチュエータ、224 ジンバル・タング
251 マイクロエレクトロメカニカルシステム、252 ピエゾ素子、
253 シリコン基板、254 金属層、255 下地層
531 駆動部、532 第1並進ばね機構、533 並進部、534 第2並進ばね機構、535 変換部、536a〜536e 第1〜第5回動ばね機構、537 回動部
538 回動中心 571 円形部、572 T字状部、573a、573b 羽状部
540 プラットフォーム、541 主板、543a〜543f 接続パッド
544a〜544i 接続パッド、545a、545b 接続パッド
574a、574b 扇状部、581、582 接着剤、701〜708 粘弾性部材
Claims (20)
- ヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダを支持し、そのヘッド・スライダを微動させるマイクロアクチュエータと、
前記マイクロアクチュエータが固定されたサスペンションと、
前記マイクロアクチュエータの固定部と前記サスペンションとの間にあって前記マイクロアクチュエータを前記サスペンションに固定する接着材と、
前記マイクロアクチュエータの可動部と前記サスペンションとに接着し、前記接着剤よりも剛性が小さく前記可動部の振動を減衰する粘弾性材と、
を有するヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記マイクロアクチュエータは、圧電素子と、前記ヘッド・スライダと前記圧電素子とがその上に配置されている基板と、を有し、
前記基板は前記固定部と前記可動部とを有し、
前記可動部は前記圧電素子の伸縮に応じて動くことで前記ヘッド・スライダをディスク対向面の面内方向において微動させる、
請求項1に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記可動部は動きが異なる複数の部分を含み、
前記粘弾性材は、前記可動部の一部の部分のみに接着している、
請求項2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記可動部は、前記圧電素子の伸縮に応じて回動することで前記ヘッド・スライダを回動させる回動部を含み、
前記粘弾性材は、前記基板における前記回動部のみに接着している、
請求項2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記粘弾性材は前記回動部の回動中心を含む領域に接着している、
請求項4に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記粘弾性材は、前記回動部において、その回動中心を含まない複数の領域に離間して固着している、
請求項4に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記回動中心は、前記複数の領域の回転中心である、
請求項6に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記可動部はばね機構を有し、
前記粘弾性材は、前記可動部における前記ばね機構を外れた位置に接着している、
請求項2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記可動部は、前記圧電素子の伸縮を前記回動部に伝達する並進部を含み、
前記前記粘弾性材は、前記並進部における複数の領域に離間して接着している、
請求項2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - 前記可動部は、前記圧電素子が固定されている駆動部を含み、
前記前記粘弾性材は、前記駆動部における複数の領域に離間して接着している、
請求項2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。 - ディスクを回転するモータと、
ヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダを支持し、前記ディスク上で前記ヘッド・スライダを移動する移動機構と、
を有し、
前記移動機構は、
前記ヘッド・スライダを支持し、そのヘッド・スライダを微動させるマイクロアクチュエータと、
前記マイクロアクチュエータが固定されたサスペンションと、
前記マイクロアクチュエータの被固定部と前記サスペンションとの間にあって前記マイクロアクチュエータを前記サスペンションに固定する接着材と、
前記マイクロアクチュエータの可動部と前記サスペンションとに接着し、前記接着剤よりも剛性が小さく前記可動部の振動を減衰する粘弾性材と、
を有する、
ディスク・ドライブ装置。 - 前記マイクロアクチュエータは、圧電素子と、前記ヘッド・スライダと前記圧電素子とがその上に配置されている基板と、を有し、
前記基板は前記固定部と前記可動部とを有し、
前記可動部は前記圧電素子の伸縮に応じて動くことで前記ヘッド・スライダをディスク対向面の面内方向において微動させる、
請求項11に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記可動部は動きが異なる複数の部分を含み、
前記粘弾性材は、前記可動部の一部の部分のみに接着している、
請求項12に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記可動部は、前記圧電素子の伸縮に応じて回動することで前記ヘッド・スライダを回動させる回動部を含み、
前記粘弾性材は、前記基板における前記回動部のみに接着している、
請求項12に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記粘弾性材は前記回動部の回動中心を含む領域に接着している、
請求項14に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記粘弾性材は、前記回動部において、その回動中心を含まない複数の領域に離間して固着している、
請求項14に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記回動中心は、前記複数の領域の回転中心である、
請求項16に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記可動部はばね機構を有し、
前記粘弾性材は、前記可動部における前記ばね機構を外れた位置に接着している、
請求項12に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記可動部は、前記圧電素子の伸縮を前記回動部に伝達する並進部を含み、
前記前記粘弾性材は、前記並進部における複数の領域に離間して接着している、
請求項12に記載のディスク・ドライブ装置。 - 前記可動部は、前記圧電素子が固定されている駆動部を含み、
前記前記粘弾性材は、前記駆動部における複数の領域に離間して接着している、
請求項12に記載のディスク・ドライブ装置。
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JP2007221435A JP4806667B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | ヘッド・ジンバル・アセンブリ及びディスク・ドライブ装置 |
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