JP2012113327A - 薄膜トランジスタ基板及びその製造方法と液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板上に形成されるゲート配線と、ゲート配線を覆うゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に形成される半導体パターンと、ゲート線と絶縁されて交差するデータ線を含むデータ配線と、ゲート線と絶縁されて交差する維持キャパシタ電極線と、データ配線、維持キャパシタ電極線及び半導体パターンを覆っていてドレーン電極を露出する接触孔を有する保護膜と、保護膜の接触孔を通じてドレーン電極に連結されており維持キャパシタ電極線と重なる画素電極と、複数の維持キャパシタ電極線を1つに連結する共通連結線と、複数の維持キャパシタ電極線を連結する補助連結線とを含み、補助連結線は維持キャパシタ電極線と同一の層に形成される。
【選択図】図4
Description
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成されて、第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて位置する第2ゲート線を含むゲート配線と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なって形成される半導体パターンと、
前記ゲート絶縁膜上に形成されて、前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び前記第2ゲート線の一部と重なって第1維持キャパシタを形成する維持キャパシタ用導電体パターンと、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜と、
前記保護膜に前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンを各々露出する第1及び第2接触孔と、
前記保護膜上に前記第1及び第2接触孔を通じて前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンに連結されており、前記第2ゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板を提供する。
第1発明による薄膜トランジスタ基板と、
前記薄膜トランジスタ基板に対向する対向基板と、
前記薄膜トランジスタ基板と前記対向基板の間に介在する液晶層と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置を提供する。
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成されて、第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて位置する第2ゲート線を含むゲート配線と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記第2ゲート線の一部を露出する第1接触孔と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なって形成される半導体パターンと、
前記ゲート絶縁膜上に形成されて、前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び第1接触孔を通じて前記第2ゲート線に連結される維持キャパシタ用導電体パターンと、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜と、
前記保護膜に前記ドレーン電極を露出する第2接触孔と、
前記保護膜上に第2接触孔を通じて前記ドレーン電極に連結され、前記維持キャパシタ用導電体パターンと重なって第1維持キャパシタを形成し、前記第2ゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板を提供する。
第4発明による薄膜トランジスタ基板と、
前記薄膜トランジスタ基板に対向する対向基板と、
前記薄膜トランジスタ基板と前記対向基板の間に介在する液晶層と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置を提供する。
絶縁基板上に第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて平行に位置する第2ゲート線を含むゲート配線を形成する段階と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なる半導体パターンを形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び前記第2ゲート線の一部と共に第1維持用量を形成する維持キャパシタ用導電体パターンを形成する段階と、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜を形成する段階と、
前記保護膜に前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンを各々露出する第1及び第2接触孔を形成する段階と、
前記保護膜上に前記第1及び第2接触孔を通じて前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンに連結されており、前記第2ゲート配線のゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板の製造方法を提供する。
絶縁基板上に第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて平行に位置する第2ゲート線を含むゲート配線を形成する段階と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜に前記第2ゲート線の一部を露出する第1接触孔を形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なる半導体パターンを形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び第1接触孔を通じて前記第2ゲートに連結される維持キャパシタ用導電体パターンを形成する段階と、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜を形成する段階と、
前記保護膜に前記ドレーン電極を露出する第2接触孔を形成する段階と、
前記保護膜上に第2接触孔を通じて前記ドレーン電極に連結され、前記維持キャパシタ用導電体パターンと重なって第1維持キャパシタを形成し、前記第2ゲート配線のゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板の製造方法を提供する。
Claims (8)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成されて、第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて位置する第2ゲート線を含むゲート配線と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なって形成される半導体パターンと、
前記ゲート絶縁膜上に形成されて、前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び前記第2ゲート線の一部と重なって第1維持キャパシタを形成する維持キャパシタ用導電体パターンと、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜と、
前記保護膜に前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンを各々露出する第1及び第2接触孔と、
前記保護膜上に前記第1及び第2接触孔を通じて前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンに連結されており、前記第2ゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板。 - 請求項1による薄膜トランジスタ基板と、
前記薄膜トランジスタ基板に対向する対向基板と、
前記薄膜トランジスタ基板と前記対向基板の間に介在する液晶層と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置。 - 前記第1維持キャパシタ及び前記第2維持キャパシタの静電容量は前記液晶層の静電キャパシタの90%以上の大きさを有することを特徴とする、請求項2に記載の液晶表示装置。
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成されて、第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて位置する第2ゲート線を含むゲート配線と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記第2ゲート線の一部を露出する第1接触孔と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なって形成される半導体パターンと、
前記ゲート絶縁膜上に形成されて、前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び第1接触孔を通じて前記第2ゲート線に連結される維持キャパシタ用導電体パターンと、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜と、
前記保護膜に前記ドレーン電極を露出する第2接触孔と、
前記保護膜上に第2接触孔を通じて前記ドレーン電極に連結され、前記維持キャパシタ用導電体パターンと重なって第1維持キャパシタを形成し、前記第2ゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板。 - 請求項4による薄膜トランジスタ基板と、
前記薄膜トランジスタ基板に対向する対向基板と、
前記薄膜トランジスタ基板と前記対向基板の間に介在する液晶層と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置。 - 前記第1維持キャパシタ及び第2維持キャパシタの静電容量は前記液晶層の静電容量の90%以上の大きさを有することを特徴とする、請求項5に記載の液晶表示装置。
- 絶縁基板上に第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて平行に位置する第2ゲート線を含むゲート配線を形成する段階と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なる半導体パターンを形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び前記第2ゲート線の一部と共に第1維持用量を形成する維持キャパシタ用導電体パターンを形成する段階と、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜を形成する段階と、
前記保護膜に前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンを各々露出する第1及び第2接触孔を形成する段階と、
前記保護膜上に前記第1及び第2接触孔を通じて前記ドレーン電極及び前記維持キャパシタ用導電体パターンに連結されており、前記第2ゲート配線のゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 絶縁基板上に第1ゲート線、前記第1ゲート線に連結されるゲート電極及び前記第1ゲート線と所定間隔をおいて平行に位置する第2ゲート線を含むゲート配線を形成する段階と、
前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜に前記第2ゲート線の一部を露出する第1接触孔を形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極に重なる半導体パターンを形成する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に前記第1及び第2ゲート線に交差するデータ線、ソース電極及びドレーン電極を含むデータ配線及び第1接触孔を通じて前記第2ゲートに連結される維持キャパシタ用導電体パターンを形成する段階と、
前記データ配線、前記維持キャパシタ用導電体パターン及び前記半導体パターンを覆う保護膜を形成する段階と、
前記保護膜に前記ドレーン電極を露出する第2接触孔を形成する段階と、
前記保護膜上に第2接触孔を通じて前記ドレーン電極に連結され、前記維持キャパシタ用導電体パターンと重なって第1維持キャパシタを形成し、前記第2ゲート配線のゲート線の一部と重なって第2維持キャパシタを形成する画素電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板の製造方法。
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