JPH10339885A - アクティブマトリクス型液晶表示装置 - Google Patents

アクティブマトリクス型液晶表示装置

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JPH10339885A
JPH10339885A JP15107997A JP15107997A JPH10339885A JP H10339885 A JPH10339885 A JP H10339885A JP 15107997 A JP15107997 A JP 15107997A JP 15107997 A JP15107997 A JP 15107997A JP H10339885 A JPH10339885 A JP H10339885A
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JP
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liquid crystal
signal line
layer
crystal display
display device
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JP15107997A
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Minoru Hiroshima
實 廣島
Takashi Isoda
高志 磯田
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Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Japan Display Inc
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Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ITOトップ構造のアクティブマトリクス基板
の表示画素保持容量要素において、コンデンサ面積を増
大することなく必要な容量値を維持できる保持容量構成
を形成する。 【解決手段】透明画素電極ITOと前段走査信号線層G
Mで挟まれる保護膜PASとゲート絶縁膜の間に映像信
号線と同じ金属層CstDMを介在させる。これによ
り、実効的なコンデンサ電極間距離が小さくなり、面積
を広げることなく保持容量値を大きくできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アクティブマトリ
クス型液晶表示装置に係り、更に詳しくは、当該液晶表
示装置を構成する一対の基板の内のアクティブ素子基板
上に形成する保持容量を開口率の低減なしに十分な値に
確保した構成を備えたアクティブマトリクス型液晶表示
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】静止画や動画を含めた各種の画像を表示
するデバイスとして液晶表示装置が広く用いられてい
る。
【0003】液晶表示装置は、基本的には少なくとも一
方が透明なガラス等からなる二枚の基板の間に液晶層を
挟持し、上記基板に形成した画素形成用の各種電極に選
択的に電圧を印加して所定画素の点灯と消灯を行う形
式、上記各種電極と画素選択用の薄膜トランジスタ(T
FT)等のスイッチング素子からなるアクティブ素子を
形成してこのアクティブ素子を選択することにより所定
画素の点灯と消灯を行う形式とに分類される。
【0004】特に、後者の形式の液晶表示装置はアクテ
ィブマトリクス型と称し、コントラスト性能、高速表示
性能等から液晶表示装置の主流となっている。
【0005】従来のアクティブマトリクス型液晶表示装
置は、一方の基板に形成した電極と他方の基板に形成し
た電極との間に液晶層の配向方向を変えるための電界を
印加する、所謂縦電界方式を採用していた。
【0006】また、近年、液晶層に印加する電界の方向
を基板面とほぼ平行な方向とする、所謂横電界方式(I
PS方式)の液晶表示装置が実現された。この横電界方
式の液晶表示装置としては、二枚の基板の一方に櫛歯電
極を用いて非常に広い視野角を得るようにしたものが知
られている(特公昭63−21907号公報、米国特許
第4345249号明細書参照)。
【0007】これらのアクティブマトリクス型液晶表示
装置はTFT等のスイッチング素子を形成したアクティ
ブ素子基板とカラーフィルタ基板からなる一対の基板の
間に液晶を挟んだ液晶パネルと、これに結合した電気回
路部、光学回路部等で形成されている。
【0008】また、アクティブ素子基板上には、当該ア
クティブ素子基板を静電気から保護するための保護回路
が形成されている。
【0009】図9は従来のアクティブ素子基板の構成を
説明する基板と直角方向から見た平面図、図10は図9
の1画素付近の断面図である。
【0010】図9において、Giは走査信号線、Djは
映像信号線である。これらの配線交差部の傍には図示し
てないアクティブ素子であるスイッチング素子(一般に
はTFT)が設けられる。図10の断面図示したよう
に、 TFTは基板SUB上に形成した走査信号線層
GM(ゲートGd)、ゲート絶縁膜Gin、半導体層a
Si、映像信号線層DM、反故膜PASで構成される。
【0011】スイッチング素子の出力電極は液晶に電界
を加えるための画素電極に接続されて、表示領域を構成
する2次元状に配列した表示画素(i,j)(i,j=
1、2、3、・・・)を形成している。この表示領域の
外側のDPADは、映像信号線に駆動電気回路を外部接
続するための端子である。なお、これと反対側に設けた
DDPADは断線検査などのプローブ端子である。同様
にGPADは、走査信号線に駆動電気回路を外部接続す
る為の端子である。
【0012】また、CTLNは基板SUBの切断線を示
し、最終的にはこの線に沿って切断され、この切断線C
TLNの外側にある後述するSHdeやSHdoなどは
切り落とされる。
【0013】表示領域と映像信号線用の接続端子DPA
D、走査信号線用の接続端子GPADの間に設けられた
奇数側共通線Com(e)、偶数側共通線Com
(o)、走査共通線COM−Gと放電素子DIOが第一
番目の静電気保護回路を形成している。
【0014】DIOは映像信号線Djや走査信号線Gi
に入った静電気を放電するための放電素子(非線型素
子:スイッチング素子)で、走査信号線Giと映像信号
線Dj毎に奇数側(EVEN側)共通線Com(e)、
偶数側(ODD側)共通線Com(o)、走査共通線C
OM−Gとの間に設けられる。
【0015】これらの共通線Com(e)、Com
(o)、COM−Gは放電した静電気を吸収する為の共
通線であり、共通接続端子VcomPADや放電素子共
通接続端子ESDPADに接続され、これを介してカラ
ーフィルタ基板側の共通電極や外部電気回路に接続され
る。放電用素子DIOは、双方向ダイオード等の非線形
素子を用いることが多い。
【0016】なお、この放電素子DIOの導入箇所は、
同図に示した部分に限定されるものではなく、走査信号
線Gi、映像信号線Djの端子GPAD、DPADの反
対側あるいは両側に設ける場合もあれば、交互に反対側
に設ける場合もある。
【0017】そして更に、第二番目の静電気保護回路が
設けられる。図9において、基板切断線CTLNの外側
にある奇数側と偶数側のショートバーSHde、SHd
o、SHgがこの第二の静電気保護回路を構成する要素
例である。
【0018】これらのショートバーSHde、SHd
o、SHgは外周部に設けられた配線であり、静電気を
吸収するための線である。このショートバーSHde、
SHdo、SHgに各信号線Gi、Djの終端が電気的
に結合されている。
【0019】この終端とショートバーSHde、SHd
o、SHgとの結合箇所は、同図の場合に限定されるも
のではなく、走査信号線Gi、映像信号線Djの接続端
子GPAD、DPADとの間で行う場合、反対側で行う
場合、両側で行う場合、あるいは交互に反対側で行う場
合などがある。
【0020】図11は表示画素部の構成を説明する平面
図、図12は図11のb−b’線に沿った断面図であっ
て、Giは走査信号線、Djは映像信号線であり、走査
信号線Giの一部を延在させたGdがスイッチング素子
(TFT)のゲート電極であり、映像信号線Djの一部
を延在させたDdがスイッチング素子の信号電極(ドレ
イ電極)である。信号電極Ddと同層のSdは出力電極
(ソース電極)であり、液晶に電界を加える透明画素電
極ITOに接続されている。
【0021】aSiはスイッチング素子の半導体層、C
stは本発明の係わる保持容量部であり、各画素(i,
j)毎に設けられる。
【0022】図12において、基板(ガラス基板)SU
B上にまず第一の金属層である走査信号線GM(Gd)
が形成される。その上にSiNx等のゲート絶縁膜Gi
nを積層後、半導体層aSiを形成し、更にその上に第
二の金属層の映像信号線層DM(Dd、Sd)を加工形
成する。
【0023】そして、その上にSiNx等の保護膜PA
Sを形成し、最後に透明画素電極層ITOを形成する。
出力電極Sdと透明画素電極ITOの結合は保護膜PA
SのスルーホールThを介して行なう。
【0024】ゲート絶縁膜Ginの加工は、保護膜PA
SのスルーホールThの加工時に同時に一括して形成す
ることもできる構成をとっている。
【0025】このような図9〜図12に例示したアクテ
ィブマトリクス基板の構成例においては、本発明の係わ
る従来の保持容量Cstは、次のような構成例をとって
いる。
【0026】すなわち、図11と図12に例示したよう
に、画素(i,j)の保持容量Cstは、透明画素電極
ITOと前段の走査信号線Giー1とを交差させた構成
をとっている。この交差部のITO層と走査信号線層G
M層で挟んだ部分で、保持容量Cstとして必要な容量
値のコンデンサ素子を形成している。
【0027】なお、保持容量Cstの他の構成例とし
て、後述の本発明の実施例を説明する図3、図4で述べ
るように、走査信号線Giと同層の金属層GMで形成し
た保持容量線CstLNと透明画素電極ITOとの交差
部で、上記図12と同様の構造のコンデンサ素子を形成
すること構成する場合もある。この場合の保持容量に対
しても、本発明は全く同様に適用できる。
【0028】
【発明が解決しようとする課題】さて、前記図11、図
12で説明した保持容量Cstの構成例あるいは後記す
る図3、図4の保持容量線CstLNによる保持容量C
stの構成例においては、次のような問題が発生する。
【0029】透明画素電極層ITOが保護膜PASの上
に形成される、所謂ITOトップ構造のアクティブ素子
基板において、表示画素部の構成要素の一つである保持
容量Cstを、透明画素電極ITOと前段走査信号線層
GMの交差部でコンデンサ素子を形成、あるいはGM層
で形成された保持容量線CstLNとの交差部で形成し
た場合において、次のような課題が発生する。すなわ
ち、コンデンサ素子の二つのコンデンサ電極を構成する
ITO層とGM層との間に、ゲート絶縁膜Ginと保護
膜PASの二つの絶縁膜が存在する構造に起因する事項
である。従来のITOトップ構造でない場合は、保護膜
PASが存在しない構造であった。このためコンデンサ
素子を構成するITO層とGM層との間のコンデンサ電
極間距離dcstは、従来に比べて大きくなる。これ
は、保護膜PASの膜厚設計値によるが通常の例では、
この距離dcstは、従来に比べて約2倍に大きくな
る。更に、表示画質を向上させるため大きな値の保護膜
厚にして基板表面を平坦化した構造の場合には、この距
離dcstは数倍以上に拡大する。コンデンサ素子の容
量値は、この距離dcstに逆比例するので半減するこ
とになる。保持容量Cstとして必要な容量値を維持す
るためには、コンデンサ素子の電極に広い面積(約2
倍)を必要とすることになる(容量値が電極面積に比例
する)。この面積が大きくなると、一つの表示画素
(i,j)全域に占める有効表示面積比率(開口率)が
小さくなり、表示輝度を下げる問題が発生する。あるい
は、表示輝度を維持させるために、光学回路部のバック
ライト輝度を強めると、低消費電力の特徴を犠牲にする
致命的な課題を招くことになる。
【0030】従って、本発明の目的は、透明画素電極層
ITOが保護膜PASの上に形成されるITOトップ構
造のアクティブ素子基板において、表示画素部の構成要
素の一つである保持容量Cstを透明画素電極ITOと
前段走査信号線層GMの交差部、あるいは走査信号線と
同層の保持容量線CstLNとの交差部でコンデンサ素
子を形成した場合において、コンデンサ面積を増大する
ことなく必要な容量値を維持できる保持容量構成を備え
たアクティブマトリクス型液晶表示装置を提供すること
にある。
【0031】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は下記(1)〜(4)の手段を採用した。
すなわち、 (1)アクティブマトリクス型液晶表示装置を構成する
アクティブ素子基板において、透明画素電極層ITOが
保護膜PASの上に形成されるITOトップ構造であ
り、表示画素部の構成要素の一つである保持容量Cst
を前記透明画素電極ITOと前段走査信号線層GMの交
差部、あるいは走査信号線と同層の保持容量線CstL
Nとの交差部でコンデンサ素子を形成し、前記保持容量
Cstを前記透明画素電極ITOと走査信号線金属層G
Mで挟んだ保護膜PASとゲート絶縁膜Ginの間に透
明画素電極に電気的接続された金属層を介在させて、実
効的なコンデンサ電極間距離dcstを小さくした。
【0032】(2)(1)における前記中間金属層Cs
tDMを映像信号線層DMで形成した。
【0033】(3)(1)または(2)における前記ゲ
ート絶縁膜Ginの加工を保護膜PASのスルーホール
加工時に同時に一括して形成したことを特徴とする。
【0034】(4)アクティブ素子基板とカラーフィル
タ基板の間に液晶を封入したアクティブマトリクス型液
晶表示装置において、前記アクティブ素子基板に形成す
る透明画素電極層ITOが保護膜PASの上に形成され
るITOトップ構造であり、表示画素部(i、j)の構
成要素の一つである保持容量Cstを前記透明画素電極
ITOと前段走査信号線層GMとの交差部、あるいは走
査信号線と同層の保持容量線CstLNとの交差部でコ
ンデンサ素子を形成し、前記保持容量Cst部の前記保
護膜PASに開口部Thを設けたことを特徴とする。
【0035】以上の手段により、コンデンサ面積を増大
することなく必要な容量値を維持できる保持容量構成を
構成できる。
【0036】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
【0037】図1は本発明によるアクティブマトリクス
型液晶表示装置の画素部の第1実施例を示す平面図、図
2は図1のb−b’線に沿った断面図であって、図1
1、図12と同一符号は同一機能部分に対応する。
【0038】本実施例のアクティブ素子基板も、透明画
素電極層ITOが保護膜PASの上に形成されるITO
トップ構造であり、表示画素部の構成要素の一つである
本発明の係わる保持容量Cstを透明画素電極ITOと
前段走査信号線層GMとの交差部でコンデンサ素子を形
成した構成を有する。
【0039】すなわち、保持容量Cstを、透明画素電
極ITOと前段走査信号線Giを構成する金属層GMで
挟んだ保護膜PASとゲート絶縁膜Ginの間に金属層
で形成したCstDMを介在させた構成で形成する。
【0040】上記CstDMは、映像信号線Djの加工
工程の際に一緒に同時に形成できる。さらに、この金属
層CstDMは保護膜PASのスルーホールTh10を
介して画素透明電極ITOと電気的に接続されている。
このスルーホールTH10の形成は、出力電極Sd(金
属層DM)部のスルーホールThの形成と同じ工程で同
時に形成できる。
【0041】また、このスルーホールTh10は一個あ
れば済むが、図示したように複数個併置して冗長性を持
たせることで、電気的接続を確実に行うようにすること
も出来る。
【0042】この様な構造としたことで、本発明の保持
容量Cst構造を実現するために新たに追加される加工
工程は発生しない。
【0043】本実施例の構成により、コンデンサの電極
間距離dcstの実効的な値は、図11、図12に示し
た従来構成の場合の保護膜厚とゲート絶縁膜厚の合計値
から、ゲート絶縁膜厚の値となり、約半分に小さくな
る。コンデンサ素子の容量値は電極間距離dcstに逆
比例することから、保持容量の値を約2倍に大きくでき
ることになる。
【0044】図3は本発明によるアクティブマトリクス
型液晶表示装置の画素部の第2実施例の構成を示す平面
図、図4は図3のb−b’線に沿った断面図であって、
図1、図2と同一符号は同一機能部分に対応する。
【0045】本実施例も、透明画素電極層ITOが保護
膜PASの上に形成されるITOトップ構造であり、表
示画素部の構成要素の一つである本発明の係わる保持容
量Cstを透明画素電極ITOと保持容量線CstLN
との交差部でコンデンサ素子を形成した場合である。
【0046】この保持容量線CstLNは、走査信号線
Giと同じ金属層GMからなり、走査信号線Giの形成
と同じ工程で同時に形成できる。図3と図4に示した本
発明による第2実施例の構成でも、この保持容量Cst
の構成は、二つのコンデンサ電極となる透明画素電極I
TOと保持容量線CstLNとで挟んだ保護膜PASと
ゲート絶縁膜Ginの間に、図1と図2で説明した第1
実施例の場合と同様に、金属層で形成したCstDMを
介在させている。そして第1実施例の場合と同様、この
CstDMは、映像信号線Djの加工工程の際に一緒に
同時に形成でき、更にこの金属層CstDMは、保護膜
PASのスルーホールTh10を介して画素透明電極I
TOと電気的に接続されている。
【0047】このスルーホールTh10の形成も、出力
電極Sd(DM)部のスルーホールThの形成と同じ工
程で同時に形成できる。このスルーホールTh10は、
一個あれば済むが、同図のように複数個併置して冗長性
を持たせて、電気的接続を確実に行うようにすることも
出来る。
【0048】このため、図3と図4に示した保持容量C
st構造を実現するために新たに追加される加工工程
は、第1実施例と同様に発生しない。
【0049】このような構成とすることにより、第1実
施例の場合と同様に、コンデンサの電極間距離dcst
の実効的な値は、前記図11と図12に示した従来構成
の場合の保護膜厚とゲート絶縁膜厚の合計値から、ゲー
ト絶縁膜厚の値となり、約半分に小さくなる。コンデン
サ素子の容量値は電極間距離dcstに逆比例すること
から、保持容量の値を約2倍に大きくできることにな
る。
【0050】図5は本発明によるアクティブマトリクス
型液晶表示装置の画素部の第3実施例の保持容量の構成
を示す断面図、図6は本発明によるアクティブマトリク
ス型液晶表示装置の画素部の第4実施例の保持容量の構
成を示す断面図であって、前記実施例と同一符号は同一
機能部分に対応する。
【0051】図5は第1実施例の保持容量の他の構成
例、図6は第2実施例の保持容量の他の構成例である。
【0052】図5および図6に示した構成では、保持容
量Cstを形成するコンデンサ素子の二つの電極ITO
層とGM層の距離dcstを小さくするために、保持容
量Cst部の保護膜PASに開口部Th20を設けてい
る。これにより、コンデンサ電極間距離dcstは、ゲ
ート絶縁膜Ginの膜厚と同等に小さくでき、前記角実
施例の場合と同様の効果を得ることが出来る。この開口
部Th20の加工形成は、新たな工程を追加することな
く、出力電極Sd(DM)部のスルーホールThの形成
と同じ工程で同時に形成できる。
【0053】尚、図5の構成の場合は、図11と図12
で説明したゲート絶縁膜Ginの加工を、保護膜PAS
のスルーホール加工時に同時に一括して形成してフォト
レジスト工程を共通化した簡略構成はとれない。また、
保護膜PASの保持容量部Cstの開口部Th20の加
工時、下層のゲート絶縁膜Ginも一部加工されること
が起き、コンデンサ電極間距離dcstのバラ付きが大
きくなり、容量値のバラ付き量が増えることがある。し
かし、コンデンサの面積を増大することなく、その容量
を増やすことができるため、開口率の低下を招くことが
ないという大きな利点がある。
【0054】図7は本発明によるアクティブマトリクス
型液晶表示装置の全体構成を説明する展開斜視図であ
る。
【0055】同図は本発明による液晶表示装置(以下、
液晶表示パネル,回路基板,バックライト、その他の構
成部材を一体化したモジュール:MDLと称する)の具
体的構造を説明するものである。
【0056】SHDは金属板からなるシールドケース
(メタルフレームとも言う)、WDは表示窓、INS1
〜3は絶縁シート、PCB1〜3は回路基板(PCB1
はドレイン側回路基板:映像信号線駆動用回路基板、P
CB2はゲート側回路基板、PCB3はインターフェー
ス回路基板)、JN1〜3は回路基板PCB1〜3同士
を電気的に接続するジョイナ、TCP1,TCP2はテ
ープキャリアパッケージ、PNLは液晶表示パネル、G
Cはゴムクッション、ILSは遮光スペーサ、PRSは
プリズムシート、SPSは拡散シート、GLBは導光
板、RFSは反射シート、MCAは一体化成形により形
成された下側ケース(モールドフレーム)、MOはMC
Aの開口、LPは蛍光管、LPCはランプケーブル、G
Bは蛍光管LPを支持するゴムブッシュ、BATは両面
粘着テープ、BLは蛍光管や導光板等からなるバックラ
イトを示し、図示の配置関係で拡散板部材を積み重ねて
液晶表示モジュールMDLが組立てられる。
【0057】液晶表示モジュールMDLは、下側ケース
MCAとシールドケースSHDの2種の収納・保持部材
を有し、絶縁シートINS1〜3、回路基板PCB1〜
3、液晶表示パネルPNLを収納固定した金属製のシー
ルドケースSHDと、蛍光管LP、導光板GLB、プリ
ズムシートPRS等からなるバックライトBLを収納し
た下側ケースMCAとを合体させてなる。
【0058】映像信号線駆動用回路基板PCB1には液
晶表示パネルPNLの各画素を駆動するための集積回路
チップが搭載され、またインターフェース回路基板PC
B3には外部ホストからの映像信号の受入れ、タイミン
グ信号等の制御信号を受け入れる集積回路チップ、およ
びタイミングを加工してクロック信号を生成するタイミ
ングコンバータTCON等が搭載される。
【0059】上記タイミングコンバータで生成されたク
ロック信号はインターフェース回路基板PCB3および
映像信号線駆動用回路基板PCB1に敷設されたクロッ
ク信号ラインCLLを介して映像信号線駆動用回路基板
PCB1に搭載された集積回路チップに供給される。
【0060】インターフェース回路基板PCB3および
映像信号線駆動用回路基板PCB1は多層配線基板であ
り、上記クロック信号ラインCLLはインターフェース
回路基板PCB3および映像信号線駆動用回路基板PC
B1の内層配線として形成される。
【0061】なお、液晶表示パネルPNLにはTFTを
駆動するためのドレイン側回路基板PCB1、ゲート側
回路基板PCB2およびインターフェース回路基板PC
B3がテープキャリアパッケージTCP1,TCP2で
接続され、各回路基板間はジョイナJN1,2,3で接
続されている。
【0062】液晶表示パネルPNLは前記した本発明に
よるアクティブマトリクス型液晶パネルであり、その保
持容量は前記実施例で説明した構成を有する。
【0063】図8は本発明による液晶表示装置を実装し
た情報処理装置の一例を説明するパソコンの外観図であ
って、前記各図と同一符号は同一部分に対応し、IVは
蛍光管駆動用のインバータ電源、CPUはホスト側中央
演算装置である。
【0064】同図に示されたように、本発明による液晶
表示装置を実装したパソコンは、映像信号線駆動用回路
基板(水平駆動用回路基板:ドレイン側回路基板)PC
B1を画面の上部にのみ配置したことで、当該表示部の
下側(キーボード側)のスペースに余裕ができ、キーボ
ード部と表示部を結合するヒンジの設置スペース(ヒン
ジスペース)が少なくて済む。したがって、表示部の外
形サイズを低減でき、パソコン全体のサイズを小さくす
ることが可能となる。
【0065】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アクティブマトリクス型液晶表示装置のアクティブ素子
基板が透明画素電極層ITOが保護膜PASの上に形成
されるITOトップ構造で、表示画素部の構成要素の一
つである保持容量Cstを透明画素電極ITOと前段走
査信号線層GMとの交差部、あるいは走査信号線と同層
の保持容量線CstLNとの交差部でコンデンサ素子を
形成したCst構成としたことで、コンデンサの面積を
増大することなく必要な容量値を維持できる保持容量構
成を実現でき、開口率の減少や表示輝度の低下あるいは
消費電力の増大を防止できる。
【0066】なお、表示画質を向上するために保護膜P
ASの膜厚を数倍に厚くすることで基板表面を平坦化し
た構造では、効果は更に大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるアクティブマトリクス型液晶表示
装置の画素部の第1実施例を示す平面図である。
【図2】図1のb−b’線に沿った断面図である。
【図3】本発明によるアクティブマトリクス型液晶表示
装置の画素部の第2実施例の構成を示す平面図である。
【図4】図3のb−b’線に沿った断面図である。
【図5】本発明によるアクティブマトリクス型液晶表示
装置の画素部の第3実施例の保持容量の構成を示す断面
図である。
【図6】本発明によるアクティブマトリクス型液晶表示
装置の画素部の第4実施例の保持容量の構成を示す断面
図である。
【図7】本発明によるアクティブマトリクス型液晶表示
装置の全体構成を説明する展開斜視図である。
【図8】本発明による液晶表示装置を実装した情報処理
装置の一例を説明するパソコンの外観図である。
【図9】従来のアクティブ素子基板の構成を説明する基
板と直角方向から見た平面図である。
【図10】図9の1画素付近の断面図である。
【図11】表示画素部の構成を説明する平面図である。
【図12】図11のb−b’線に沿った断面図である。
【符号の説明】
Gi 走査信号線 Dj 映像信号線 (i、j) 表示画素 Cst 保持容量 ITO 透明画素電極 GM 走査信号線を構成する金属層 DM 映像信号線を構成する金属層 Gin ゲート絶縁膜 PAS 保護膜 CstDM 保持容量中間金属層 Th10 保護膜のスルーホール Th20:保護膜の開口部 CstLN 保持容量線。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】アクティブ素子基板とカラーフィルタ基板
    の間に液晶を封入したアクティブマトリクス型液晶表示
    装置において、 前記アクティブ素子基板に形成する透明画素電極層IT
    Oが保護膜PASの上に形成されるITOトップ構造で
    あり、 表示画素部(i、j)の構成要素の一つである保持容量
    Cstを前記透明画素電極ITOと前段走査信号線層G
    Mとの交差部、あるいは走査信号線と同層の保持容量線
    CstLNとの交差部でコンデンサ素子を形成し、 前記保持容量部Cstが前記透明画素電極ITOと走査
    信号線層GMで挟んだ保護膜PASとゲート絶縁膜Gi
    nの間に中間電極層CstDMを介在させ、前記中間電
    極層CstDMと前記透明画素電極層ITOを前記保護
    膜PASに加工したスルーホールTh10を介して電気
    的に接続したことを特徴とするアクティブマトリクス型
    液晶表示装置。
  2. 【請求項2】前記中間金属層CstDMを映像信号線層
    DMで形成したことを特徴とする請求項1に記載のアク
    ティブマトリクス型液晶表示装置。
  3. 【請求項3】前記ゲート絶縁膜Ginの加工を保護膜P
    ASのスルーホール加工時に同時に一括して形成したこ
    とを特徴とする請求項1または2に記載のアクティブマ
    トリクス型液晶表示装置。
  4. 【請求項4】アクティブ素子基板とカラーフィルタ基板
    の間に液晶を封入したアクティブマトリクス型液晶表示
    装置において、 前記アクティブ素子基板に形成する透明画素電極層IT
    Oが保護膜PASの上に形成されるITOトップ構造で
    あり、 表示画素部(i、j)の構成要素の一つである保持容量
    Cstを前記透明画素電極ITOと前段走査信号線層G
    Mとの交差部、あるいは走査信号線と同層の保持容量線
    CstLNとの交差部でコンデンサ素子を形成し、前記
    保持容量Cst部の前記保護膜PASに開口部Th20
    を設けたことを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示装置。
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