JP2010097212A5 - 表示装置 - Google Patents

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  1. 画素部及び共通接続部を有する第1の基板と、
    第1の導電層を有する第2の基板と、
    前記第1の基板と前記第2の基板との間の導電性粒子と、を有し、
    前記画素部は、
    前記第1の基板上のゲート電極と、
    前記ゲート電極上の第1の絶縁層と、
    前記第1の絶縁層上の第1の酸化物半導体層及び第2の酸化物半導体層と、
    前記第1の酸化物半導体層上の第2の導電層と、
    前記第2の酸化物半導体層上の第3の導電層と、
    前記第2の導電層上、前記第3の導電層上、及び前記第1の絶縁層上の第3の酸化物半導体層と、
    前記第2の導電層上、前記第3の導電層上、及び前記第3の酸化物半導体層上の第2の絶縁層と、
    前記第2の絶縁層に形成された第1のコンタクトホールを介して前記第3の導電層と電気的に接続された、前記第2の絶縁層上の第4の導電層と、を有し、
    前記共通接続部は、
    前記第1の基板上の第3の絶縁層と、
    前記第3の絶縁層上の第4の酸化物半導体層と、
    前記第4の酸化物半導体層上の第5の導電層と、
    前記第5の導電層上の第4の絶縁層と、
    前記第4の絶縁層に形成された第2のコンタクトホールを介して前記第5の導電層と電気的に接続された、前記第4の絶縁層上の第6の導電層と、を有し、
    前記第6の導電層は、前記導電性粒子を介して前記第1の導電層と電気的に接続され、
    前記第1の絶縁層及び前記第3の絶縁層は同じ材料で形成され、
    前記第1の酸化物半導体層、前記第2の酸化物半導体層、及び前記第4の酸化物半導体層は同じ材料で形成され、
    前記第2の導電層、前記第3の導電層、及び前記第5の導電層は同じ材料で形成され、
    前記第2の絶縁層及び前記第4の絶縁層は同じ材料で形成され、
    前記第4の導電層及び前記第6の導電層は同じ材料で形成されていることを特徴とする表示装置。
  2. 画素部及び共通接続部を有する第1の基板と、
    第1の導電層を有する第2の基板と、
    前記第1の基板と前記第2の基板との間の導電性粒子と、を有し、
    前記画素部は、
    前記第1の基板上のゲート電極と、
    前記ゲート電極上の第1の絶縁層と、
    前記第1の絶縁層上の第1の酸化物半導体層及び第2の酸化物半導体層と、
    前記第1の酸化物半導体層上の第2の導電層と、
    前記第2の酸化物半導体層上の第3の導電層と、
    前記第2の導電層上、前記第3の導電層上、及び前記第1の絶縁層上の第3の酸化物半導体層と、
    前記第2の導電層上、前記第3の導電層上、及び前記第3の酸化物半導体層上の第2の絶縁層と、
    前記第2の絶縁層に形成された第1のコンタクトホールを介して前記第3の導電層と電気的に接続された、前記第2の絶縁層上の第4の導電層と、を有し、
    前記共通接続部は、
    前記第1の基板上の第5の導電層と、
    前記第5の導電層上の第3の絶縁層と、
    前記第3の絶縁層上の第4の絶縁層と、
    前記第3の絶縁層及び前記第4の絶縁層に形成された第2のコンタクトホールを介して前記第5の導電層と電気的に接続された、前記第4の絶縁層上の第6の導電層と、を有し、
    前記第6の導電層は、前記導電性粒子を介して前記第1の導電層と電気的に接続され、
    前記ゲート電極及び前記第5の導電層は同じ材料で形成され、
    前記第1の絶縁層及び前記第3の絶縁層は同じ材料で形成され、
    前記第2の絶縁層及び前記第4の絶縁層は同じ材料で形成され、
    前記第4の導電層及び前記第6の導電層は同じ材料で形成されていることを特徴とする表示装置。
  3. 画素部及び共通接続部を有する第1の基板と、
    第1の導電層を有する第2の基板と、
    前記第1の基板と前記第2の基板との間の導電性粒子と、を有し、
    前記画素部は、
    前記第1の基板上のゲート電極と、
    前記ゲート電極上の第1の絶縁層と、
    前記第1の絶縁層上の第1の酸化物半導体層及び第2の酸化物半導体層と、
    前記第1の酸化物半導体層上の第2の導電層と、
    前記第2の酸化物半導体層上の第3の導電層と、
    前記第2導電層上、前記第3の導電層上、及び前記第1の絶縁層上の第3の酸化物半導体層と、
    前記第2の導電層上、前記第3の導電層上、及び前記第3の酸化物半導体層上の第2の絶縁層と、
    前記第2の絶縁層に形成された第1のコンタクトホールを介して前記第3の導電層と電気的に接続された、前記第2の絶縁層上の第4の導電層と、を有し、
    前記共通接続部は、
    前記第1の基板上の第5の導電層と、
    前記第5の導電層上の第3の絶縁層と、
    前記第3の絶縁層上の第4の酸化物半導体層と、
    前記第4の酸化物半導体層上の第6の導電層と、
    前記第6の導電層上の第4の絶縁層と、
    前記第4の絶縁層に形成された第2のコンタクトホールを介して前記第6の導電層と電気的に接続された、前記第4の絶縁層上の第7の導電層と、を有し、
    前記第7の導電層は、前記導電性粒子を介して前記第1の導電層と電気的に接続され、
    前記ゲート電極及び前記第5の導電層は同じ材料で形成され、
    前記第1の絶縁層及び前記第3の絶縁層は同じ材料で形成され、
    前記第1の酸化物半導体層、前記第2の酸化物半導体層、及び前記第4の酸化物半導体層は同じ材料で形成され、
    前記第2の導電層、前記第3の導電層、及び前記第6の導電層は同じ材料で形成され、
    前記第2の絶縁層及び前記第4の絶縁層は同じ材料で形成され、
    前記第4の導電層及び前記第7の導電層は同じ材料で形成されていることを特徴とする表示装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一において、
    前記第1の酸化物半導体層、前記第2の酸化物半導体層、及び前記第3の酸化物半導体層は、インジウム、ガリウム、及び亜鉛を有することを特徴とする表示装置。
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