JP2011054957A5 - 液晶表示装置 - Google Patents

Claims (3)

1. 同一基板上に、画素部と、駆動回路部とを有し、
   前記画素部は、第１のトランジスタを有し、
   前記駆動回路部は、第２のトランジスタを有し、
   前記第１のトランジスタは、
   第１のゲート電極を有し、
   前記第１のゲート電極上にゲート絶縁層を有し、
   前記ゲート絶縁層上に第１の酸化物半導体層を有し、
   前記第１の酸化物半導体層上に第１のソース電極及び第１のドレイン電極を有し、
   前記第１のソース電極及び第１のドレイン電極上に酸化物絶縁層を有し、
   前記画素部において、画素電極上に液晶層を有し、
   前記画素電極は前記酸化物絶縁層に形成された第１のコンタクトホールを介して、前記第１のソース電極又は前記第１のドレイン電極と電気的に接続され、
   前記第２のトランジスタは、
   第２のゲート電極を有し、
   前記第２のゲート電極上に前記ゲート絶縁層を有し、
   前記ゲート絶縁層上に第２の酸化物半導体層を有し、
   前記第２の酸化物半導体層上に第２のソース電極及び第２のドレイン電極を有し、
   前記第２のソース電極及び第２のドレイン電極上に前記酸化物絶縁層を有し、
   前記駆動回路部において、第１の導電層と、第２の導電層とを有し、
   前記第１の導電層は、前記第１のゲート電極及び前記第２のゲート電極と同一層から形成され、
   前記第２の導電層は、前記画素電極と同一層から形成され、
   前記第２の導電層は、前記ゲート絶縁層及び前記酸化物絶縁層に形成された第２のコンタクトホールに設けられた領域を有し、
   前記第２の導電層を介して、前記第２のソース電極又は前記第２のドレイン電極と、前記第１の導電層とは電気的に接続されていることを特徴とする液晶表示装置。
2. 請求項１において、
   前記ゲート絶縁層は、酸化珪素層、酸化窒化珪素層、又は酸化アルミニウム層の単層又は積層を有することを特徴とする液晶表示装置。
3. 請求項１又は請求項２において、
   前記画素電極及び前記第２の導電層は、酸化インジウム、酸化インジウム酸化スズ合金、酸化インジウム酸化亜鉛合金、または酸化亜鉛を有することを特徴とする液晶表示装置。