JP2012230383A5 - 表示装置及び携帯情報端末 - Google Patents

Claims (3)

1. ガラス基板と、
   前記ガラス基板上方の第１の絶縁膜と、
   前記第１の絶縁膜上方の半導体膜と、
   前記半導体膜上方の第２の絶縁膜と、
   前記第２の絶縁膜上方であって、前記半導体膜と重なる導電膜と、
   前記第２の絶縁膜上方及び前記導電膜上方の第１の窒化シリコン膜と、
   前記第１の窒化シリコン膜上方の有機物を有する膜と、
   前記有機物を有する膜上方の第２の窒化シリコン膜と、
   前記第２の窒化シリコン膜上方の電極と、
   液晶と、を有し、
   前記導電膜はゲート電極として機能する領域を有し、
   前記電極は前記半導体膜と電気的に接続され、
   前記第１の窒化シリコン膜は第１の開口部を有し、
   前記有機物を有する膜は第２の開口部を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜は第３の開口部を有し、
   前記第１の開口部は前記第２の開口部と重なる領域を有し、
   前記第１の開口部は前記第３の開口部と重なる領域を有し、
   前記第２の開口部は前記第３の開口部と重なる領域を有し、
   前記第１の開口部は前記第２の開口部より小さく、
   前記第３の開口部は前記第２の開口部より小さく、
   前記第２の窒化シリコン膜は、前記有機物を有する膜の上面を覆う領域と、前記第２の開口部において前記有機物を有する膜の側面を覆う領域と、を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜は、前記第２の開口部において、前記第２の窒化シリコン膜と接する領域を有し、
   前記電極は、前記第１の開口部において前記第１の窒化シリコン膜の側面を覆う領域と、前記第３の開口部において前記第２の窒化シリコン膜の側面を覆う領域とを有することを特徴とする表示装置。
2. ガラス基板と、
   前記ガラス基板上方の第１の絶縁膜と、
   前記第１の絶縁膜上方の半導体膜と、
   前記半導体膜上方の第２の絶縁膜と、
   前記第２の絶縁膜上方であって、前記半導体膜と重なる導電膜と、
   前記第２の絶縁膜上方及び前記導電膜上方の第１の窒化シリコン膜と、
   前記第１の窒化シリコン膜上方の平坦化膜と、
   前記平坦化膜上方の第２の窒化シリコン膜と、
   前記第２の窒化シリコン膜上方の電極と、
   液晶と、を有し、
   前記導電膜はゲート電極として機能する領域を有し、
   前記電極は前記半導体膜と電気的に接続され、
   前記第１の窒化シリコン膜は第１の開口部を有し、
   前記平坦化膜は第２の開口部を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜は第３の開口部を有し、
   前記第１の開口部は前記第２の開口部と重なる領域を有し、
   前記第１の開口部は前記第３の開口部と重なる領域を有し、
   前記第２の開口部は前記第３の開口部と重なる領域を有し、
   前記第１の開口部は前記第２の開口部より小さく、
   前記第３の開口部は前記第２の開口部より小さく、
   前記第２の窒化シリコン膜は、前記平坦化膜の上面を覆う領域と、前記第２の開口部において前記平坦化膜の側面を覆う領域と、を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜は、前記第２の開口部において、前記第２の窒化シリコン膜と接する領域を有し、
   前記電極は、前記第１の開口部において前記第１の窒化シリコン膜の側面を覆う領域と、前記第３の開口部において前記第２の窒化シリコン膜の側面を覆う領域とを有することを特徴とする表示装置。
3. 請求項１または請求項２記載の表示装置を有する携帯情報端末。