JP2006524432A5 - - Google Patents
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- 炭化珪素DMOSFETと、
前記DMOSFETの内蔵ボディダイオードのターンオン電圧より低いターンオン電圧を有する構成の一体型炭化珪素接合障壁ショットキー(JBS)ダイオードと
を備えたことを特徴とする炭化珪素半導体装置。 - 前記一体型JBSダイオードは、約1ボルトのターンオン電圧を有することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記炭化珪素ショットキーダイオードは、
ソース領域に隣接しかつ結合されたショットキーコンタクトと、
前記DMOSFETのドリフト領域と共通のドリフト領域と、
前記DMOSFETのドレインコンタクトと共通の第2のコンタクトと
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素ショットキーダイオードは、前記DMOSFETのソース領域に隣接する、約1x1018〜約1x1020cm−3のドーピング濃度を有する複数の離隔されたp−型炭化珪素領域を有するp−型接合障壁ショットキー(JBS)グリッドを含むことを特徴とする請求項3に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記JBSグリッドのp−型領域は、前記DMOSFETのソース電極に対するオーミックコンタクトを有し、かつ前記DMOSFETのp−型ウエル領域と接触することを特徴とする請求項4に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ショットキーコンタクトは、前記ソース領域と直接コンタクト状態にあることを特徴とする請求項3に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ショットキーコンタクトは、前記DMOSFETのソースコンタクトを介して、ソース領域に結合されることを特徴とする請求項3に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記一体型炭化珪素JBSダイオードの活性領域は、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域より狭いことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記一体型炭化珪素JBSダイオードの活性領域は、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域の約50%より狭いことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記一体型炭化珪素JBSダイオードの活性領域は、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域の約25%より狭いことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記一体型炭化珪素JBSダイオードの活性領域は、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域の約20%より狭いことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記一体型炭化珪素JBSダイオードの活性領域は、2.6V以下のバイアス電圧で、前記DMOSFETの全スイッチ電流を流すように選択されることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 炭化珪素半導体装置であって、
第1のn−型炭化珪素層と、
前記第1のn−型炭化珪素層内にあり、かつ前記第1のn−型炭化珪素層の第1の表面に伸びるp−型炭化珪素ウエル領域と、
p−型炭化珪素ウエル領域の一部に隣接する前記第1のn−型炭化珪素層内の第2のn−型炭化珪素層であって、前記第1のn−型炭化珪素層の第1の表面に伸び、かつ前記第1のn−型炭化珪素層のキャリア濃度より高いキャリア濃度を有する第2のn−型炭化珪素層と、
前記第1のn−型炭化珪素層、前記第2のn−型炭化珪素層、および前記p−型炭化珪素ウエル領域上のゲート絶縁層と、
前記第1のn−型炭化珪素内にあって、接合障壁グリッドを提供する複数の離隔されたp−型炭化珪素領域であって、前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域の周辺の1つは、前記第2のn−型炭化珪素領域と前記p−型炭化珪素ウエル領域に隣接する複数の離隔されたp−型炭化珪素領域と、
前記第1のn−型炭化珪素層、および前記複数のp−型炭化珪素領域上のショットキーコンタクトと、
前記ショットキーコンタクトに隣接し、かつ前記第2のn−型炭化珪素層上のソースコンタクトと、
前記ゲート絶縁層上のゲートコンタクトと、
前記第1のn−型炭化珪素層の第1の表面の反対側の第1のn−型炭化珪素層上のドレインコンタクトと
を備えたことを特徴とする炭化珪素半導体装置。 - 前記ドレインコンタクトと前記第1のn−型炭化珪素層間に配置された、前記第1のn−型炭化珪素層のキャリア濃度より高いキャリア濃度を有する第3のn−型炭化珪素層をさらに備えたことを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ソースコンタクトを前記ショットキーコンタクトへ接触するように、前記ソースコンタクトおよびショットキーコンタクトの上に金属オーバーレイをさらに備えたことを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数のp−型炭化珪素領域の周辺の1つは、前記p−型炭化珪素ウエル領域に接触し、前記ソースコンタクトは、前記複数のp−型炭化珪素領域の周辺の1つの一部にも存在することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、前記p−型炭化珪素ウエル領域のドーピング濃度より高いドーピング濃度を有することを特徴とする請求項16に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ショットキーコンタクト、前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域、前記第1のn−型炭化珪素層、および前記ドレインコンタクトは、炭化珪素の前記第1のn−型層および前記p−型ウエル領域の内蔵pn接合のターンオン電圧未満のターンオン電圧を有するショットキーダイオードを提供することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第1のn−型炭化珪素層は、約5x1014〜約2x1016cm−3のドーピング濃度を有することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第1のn−型炭化珪素層は、約5〜約30μmの厚さを有することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記p−型炭化珪素ウエル領域は、約1016〜約1020cm−3のドーピング濃度を有することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記p−型炭化珪素ウエル領域は、第1のn−型炭化珪素層中に約0.5〜約1.5μmの深さに伸びることを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、約1018〜約1020cm−3のドーピング濃度を有することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、約0.5〜約10μmの距離間隔をおいて配置されることを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、均一に離隔されることを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、不均一に離隔されることを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、約0.5〜約10μmのそれぞれの幅を有することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2のn−型炭化珪素層は、約1019〜約1021cm−3のドーピング濃度を有することを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2のn−型炭化珪素層は、前記第1のn−型炭化珪素層中に約0.1〜約0.7μmの深さに伸びることを特徴とする請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 炭化珪素DMOSFETを形成するステップと、
前記DMOSFETの内蔵ボディダイオードのターンオン電圧より低いターンオン電圧を有する構成の一体型炭化珪素接合障壁ショットキー(JBS)ダイオードを形成するステップと
を有することを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記一体型炭化珪素ショットキーダイオードを形成するステップは、一体型炭化珪素接合障壁ショットキー(JBS)ダイオードを形成するステップを含むことを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記一体型JBSダイオードを形成するステップは、約1ボルトのターンオン電圧を有する一体型BSダイオードを形成するステップを備えることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記炭化珪素ショットキーダイオードを形成するステップは、
前記ソース領域に隣接し、かつ結合されたショットキーコンタクトを形成するステップと、
前記DMOSFETのドリフト領域と共通のドリフト領域を形成するステップと、
前記DMOSFETのドレインコンタクトと共通の第2のコンタクトを形成するステップと
を有することを特徴とする請求項30に記載の方法。 - 前記炭化珪素ショットキーダイオードを形成するステップは、前記DMOSFETのソース領域に隣接する、約1x1018〜約1x1020cm−3のドーピング濃度を有する複数の離隔されたp−型炭化珪素領域を含むp−型接合障壁ショットキー(JBS)グリッドを形成するステップをさらに有することを特徴とする請求項33に記載の方法。
- p−型JBSグリッド、前記JBSグリッドのp−型領域を形成するステップは、前記DMOSFETのソース電極に対するオーミックコンタクトを有し、かつ前記DMOSFETのp−型ウエル領域と接触することを特徴とする請求項34に記載の方法。
- 前記ショットキーコンタクトを形成するステップは、前記ソース領域と直接コンタクト状態にあるショットキーコンタクトを形成するステップを含むことを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 前記ショットキーコンタクトを形成するステップは、前記DMOSFETのソースコンタクトを介してソース領域に結合されるショットキーコンタクトを形成するステップを含むことを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 前記一体型炭化珪素JBSダイオードを形成するステップは、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域より狭い活性領域を有する一体型炭化珪素JBSダイオードを形成するステップを含むことを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記炭化珪素JBSダイオードを形成するステップは、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域の約50%より狭い活性領域を有する一体型炭化珪素JBSダイオードを形成するステップを含むことを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記炭化珪素JBSダイオードを形成するステップは、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域の約25%より狭い活性領域を有する一体型炭化珪素JBSダイオードを形成するステップを含むことを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記炭化珪素JBSダイオードを形成するステップは、前記炭化珪素DMOSFETの活性領域の約20%より狭い活性領域を有する一体型炭化珪素JBSダイオードを形成するステップを含むことを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 第1のn−型炭化珪素層を形成するステップと、
前記第1のn−型炭化珪素層内にあり、かつ前記第1のn−型炭化珪素層の第1の表面に伸びるp−型炭化珪素ウエル領域を形成するステップと、
p−型炭化珪素ウエル領域の一部に隣接する前記第1のn−型炭化珪素層内の第2のn−型炭化珪素層であって、前記第1のn−型炭化珪素層の第1の表面に伸び、かつ前記第1のn−型炭化珪素層のキャリア濃度より高いキャリア濃度を有する第2のn−型炭化珪素層を形成するステップと、
前記第1のn−型炭化珪素層、前記第2のn−型炭化珪素層、および前記p−型炭化珪素ウエル領域上のゲート絶縁層を形成するステップと、
前記第1のn−型炭化珪素内にあり、接合障壁グリッドを提供する複数の離隔されたp−型炭化珪素領域であって、前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域の周辺の1つは、前記第2のn−型炭化珪素領域と前記p−型炭化珪素ウエル領域に隣接する複数の離隔されたp−型炭化珪素領域を形成するステップと、
前記第1のn−型炭化珪素層および前記複数のp−型炭化珪素領域上のショットキーコンタクトを形成するステップと、
前記ショットキーコンタクトに隣接し、かつ前記第2のn−型炭化珪素層上にソースコンタクトを形成するステップと、
前記ゲート絶縁層上にゲートコンタクトを形成するステップと、
前記第1のn−型炭化珪素層の第1の表面の反対側の第1のn−型炭化珪素層上にドレインコンタクトを形成するステップと
を有することを特徴とする方法。 - 前記ドレインコンタクトと前記第1のn−型炭化珪素層間に配置された第3のn−型炭化珪素層であって、第1のn−型炭化珪素層のキャリア濃度より高いキャリア濃度を有する第3のn−型炭化珪素層を形成するステップをさらに有することを特徴とする請求項42に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記ソースコンタクトを前記ショットキーコンタクトへコンタクトするように、前記ソースコンタクトおよびショットキーコンタクトの上に金属オーバーレイをさらに有することを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域を形成するステップは、前記複数のp−型炭化珪素領域の周辺の1つは、前記p−型炭化珪素ウエル領域に接触するように、複数の離隔されたp−型炭化珪素領域を形成するステップを含み、前記ソースコンタクトを形成するステップは、前記複数のp−型炭化珪素領域の周辺の1つの一部に存在するソースを形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域は、前記p−型炭化珪素ウエル領域のドーピング濃度より高いドーピング濃度を有することを特徴とする請求項45に記載の方法。
- 前記ショットキーコンタクト、前記複数の離隔されたp−型炭化珪素領域、第1のn−型炭化珪素層、および前記ドレインコンタクトは、炭化珪素の前記第1のn−型層および前記p−型ウエル領域の内蔵pn接合のターンオン電圧未満のターンオン電圧を有するショットキーダイオードを提供することを特徴とする請求項42に記載の方法。
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