-
Diese
Anmeldung beansprucht den Nutzen der koreanischen Patentanmeldung
Nr. P2004–14284,
eingereicht am 3. März
2004, die hiermit durch Bezugnahme so aufgenommen wird, als ob sie
zur Gänze
im vorliegenden Dokument dargelegt würde.
-
HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
-
Gebiet der Erfindung
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Handler und insbesondere eine
Transfervorrichtung eines Handlers zum Testen eines Halbleiterbaulements,
in welcher ein Abstand eines jeden Kopfes von Aufnehmerköpfen zum
Aufnehmen und Transferieren von Halbleitern einfach und auf unterschiedliche
Weise eingestellt werden kann.
-
Beschreibung
des Stands der Technik
-
Im
Allgemeinen werden Modul-ICs, mit Speicher- oder Nicht-Speicher-Halbleitern
auf einem Substrat, schaltungsmäßig und
in angemessener Weise nach verschiedenen Schritten bei der Herstellung freigegeben.
Ein Handler ist eine Vorrichtung, welche die Modul-ICs, wie zum
Beispiel Halbleiter, zu einem Verfahren transferiert und diese dann
testet.
-
Im
Allgemeinen transferiert ein Handler, nachdem ein Handler Halbleiter,
die in jedem Benutzer-Magazin eines Ladeteils enthalten sind, in
einem Test-Magazin, das eine Transfervorrichtung verwendet, reinstalliert,
die Test-Magazine zu einem Testort und führt dann einen Test durch.
Danach ordnet der Handler die getesteten Halbleiter wieder in Benutzer-Magazinen
eines entladenden Teils gemäß den Testergebnissen
an.
-
Da
jedoch Abstände
zwischen den Halbleitern, die in dem Benutzer-Magazin gereiht sind,
von den Abständen
zwischen den Halbleitern verschieden sind, die in dem Test-Magazin
gereiht sind, sollten die Abstände
zwischen jedem Kopf der Aufnehmerköpfe variiert werden.
-
Das
heißt,
dass in einer Transfervorrichtung die Abstände zwischen jedem Aufnehmerkopf
in die Abstände
zwischen jedem Halbleiter in dem Benutzer-Magazin und/oder die Abstände zwischen
jedem Halbleiter in dem Test-Magazin verändert werden sollten.
-
Der
Anmelder der vorliegenden Erfindung entwickelte eine Transfervorrichtung,
die in der Lage ist, Abstände
von Aufnehmerköpfen
in einer einfachen Struktur präzise
und schnell einzustellen, ohne eine komplexe Verbindung zu verwenden.
In der koreanischen Erstveröffentlichung
der Patentschrift 10-0248704 (Datum der Veröffentlichung: 15. März 2000)
wird eine Vorrichtung zur Einstellung jedes Halbleiter-Abstandes
eines Halbleitertesters offenbart, worin eine Nockenwelle oder eine
Nockenplatte, mit mehreren darin geneigt ausgebildeten Nockenrillen,
eingebaut ist und wobei ein Teil jedes Aufnehmerkopfes relativ bewegbar
mit jeder Nockenrilie der Nockenwelle oder der Nockenplatte verbunden
ist. Wenn die Nockenwelle durch Verwendung eines Drehzylinders gedreht
wird oder wenn die Nockenplatte durch einen pneumatischen Zylinder
geradlinig bewegt wird, bewegt sich in der Vorrichtung zur Einstellung
jedes Halbleiter-Abstandes jeder Aufnehmerkopf relativ entlang jeder
Nockenrille der Nockenwelle, wodurch zwischen jedem betätigten bzw.
bewegten Aufnehmerkopf der Abstand eingestellt wird.
-
Insbesondere
gibt es in der Vorrichtung zur Einstellung jedes Halbleiter-Abstandes
zwei Abstand-Einstellungsschritte. In einem ersten Schritt, wenn
ein Ende eines Aufnehmerkopfes an einem ersten Ende einer Nockenwelle
oder einer Nockenrille einer Nockenplatte angeordnet ist, wird der
Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf minimiert. In einem zweiten
Schritt, wenn eine Nockenwelle durch einen Drehzylinder oder einen
pneumatischen Zylinder gedreht wird oder sich eine Nockenplatte
geradlinig bewegt und sich dann ein Ende eines Aufnehmerkopfes in
ein zweites Ende einer Nockenrille bewegt, wird der Abstand zwischen
jedem Aufnehmerkopf maximiert.
-
Da
eine herkömmliche
Vorrichtung zum Einstellen jedes Halbleiter-Abstandes jedoch nur zwei Schritte aufweist,
den Schritt des maximalen Abstands und den Schritt des minimalen
Abstands, um den Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf einzustellen,
sollte die Nockenwelle oder die Nockenplatte durch jene ausgetauscht
werden, welche jedem Halbleiter in dem Fall entsprechen, dass die
Arten und Größen der
Halbleiter variieren.
-
Mit
anderen Worten, wenn die Arten oder die Größen der zu testenden Halbleiter
variieren, variieren auch die Abstände zwischen den Halbleitern
in den Benutzer-Magazinen und den Test-Magazinen. Somit stimmen
in dem Fall, dass die Nockenwelle oder die Nockenplatte nicht durch
jene ausgetauscht wird, die für
die Halbleiter geeignet ist, die Abstände zwischen den Halbleitern
in dem Benutzer-Magazin und den Halbleitern in dem Test-Magazin
nicht mit den Abständen
zwischen den Aufnehmerköpfen überein,
wodurch der Test nicht durchgeführt
wird.
-
Infolgedessen
wird herkömmlicherweise, wann
immer die Arten und/oder die Größen der
zu testenden Halbleiter variieren, die Nockenwelle oder die Nockenplatte
durch jene ausgetauscht, die für
die Halbleiter geeignet ist. Daher ist der Austauschprozess so komplex
und schwierig, dass er viel Zeit beansprucht und zu dem Problem
führen
kann, dass die Arbeitseffizienz und Produktivität verschlechtert wird.
-
ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
-
Demzufolge
betrifft die vorliegende Erfindung eine Transfervorrichtung eines
Handlers zum Testen eines Halbleiterbauelements, welche im Wesentlichen
eines oder mehrere Probleme aufgrund von Einschränkungen und Nachteilen des
bekannten Stands der Technik beseitigt.
-
Ein
Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Transfervorrichtung
eines Handlers zum Testen eines Halbleiterbauelements bereitzustellen, die
in der Lage ist, einen Abstand, zwischen jedem Aufnehmerkopf einzustellen,
welcher Halbleiter wie gewünscht
aufnimmt, ohne Austausch einer Nockenplatte.
-
Weitere
Vorteile, Ziele und Merkmale der Erfindung werden teilweise in der
folgenden Beschreibung dargelegt und teilweise Durchschnittsfachleuten
bei Prüfung
des Folgenden offenbar oder können aus
der Anwendung der Erfindung gelernt werden. Die Ziele und anderen
Vorteile der Erfindung können durch
die Struktur realisiert und erhalten werden, die insbesondere aus
der schriftlichen Beschreibung und den Patentansprüchen sowie
den beiliegenden Zeichnungen hervorgeht.
-
Um
diese Ziele und andere Vorteile zu erreichen und in Übereinstimmung
mit dem Zweck der Erfindung, so wie hierin ausgeführt und
allgemein beschrieben, ist eine Transfervorrichtung eines Handlers
zum Testen eines Halbleiterbauelements zum lösbaren Halten mehrerer Halbleiter
und zum Transferieren derselben zu einem vorbestimmten Ort ausgestattet
mit einem Basisteil; mehreren Aufnehmerköpfen zum Halten/Lösen der
Halbleiter; einer Nockenplatte, die beweglich in dem Basisteil montiert ist,
wobei mehrere Nockenrillen geneigt ausgebildet sind; Verbindungsteilen
zum Verbinden eines jeden Aufnehmerkopfs mit einer jeden Nockenrille,
wobei eine erste Seite davon an jedem Aufnehmer befestigt ist und
eine zweite Seite davon relativ bewegbar an jeder Nockenrille befestigt
ist; und einer Antriebseinheit zum Hin- und Herbewegen der Nockenplatte,
so dass jeder Verbindungsteil abwechselnd in einer ersten diskreten
Position oder einer zweiten diskreten Position angeordnet ist und
dann jeder Aufnehmerkopf in eine erste diskrete Position oder eine
zweite diskrete Position verändert
werden kann.
-
Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung weist die Antriebseinheit einen Motor,
der in dem Basisteil montiert und in der Lage ist, eine diskrete
Position zu steuern, einen Kraftübertragungsteil
zum Umwandeln einer Kraft des Motors in eine Hin- und Herbewegung
der Nockenplatte und ein Führungselement
zum Führen
der Hin- und Herbewegung der Nockenplatte auf.
-
Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird für den
Fall, dass ein Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf eingestellt
werden sollte, weil die Arten oder die Größen der getesteten Halbleiter
in einem Handler variieren, ein Steuersignal eines Motors, der eine Nockenplatte
antreibt, variiert, ohne eine Nockenplatte auszutauschen, so dass
die Position der Nockenplatte diskret variiert werden kann, wodurch
der Abstand jedes Aufnehmerkopfes auf einen gewünschten diskreten Abstand eingestellt
werden kann.
-
Es
gilt zu verstehen, dass sowohl die vorhergehende allgemeine Beschreibung
als auch die folgende detaillierte Beschreibung der vorliegenden
Erfindung beispielhaft und erläuternd
sind und beabsichtigen, weitergehende Erläuterung der beanspruchten Erfindung
zu liefern.
-
KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
-
Die
begleitenden Zeichnungen, die beinhaltet sind, um ein besseres Verständnis der
Erfindung zu liefern und in die vorliegende Anmeldung aufgenommen
werden und einen Teil derselben darstellen, zeigen (eine) Ausführungsformen)
der Erfindung und dienen gemeinsam mit der Beschreibung dazu, das Prinzip
der Erfindung zu erklären.
Es zeigen:
-
1 eine
perspektivische Vorderansicht, welche eine Struktur einer Ausführungsform
einer Transfervorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt;
-
2 eine
perspektivische Rückansicht
der Transfervorrichtung in 1;
-
3 eine
Schnittansicht von Hauptbestandteilen der Transfervorrichtung in 1;
-
4 eine
Draufsicht der Transfervorrichtung in 1;
-
5 eine
teilweise perspektivische Ansicht, welche eine Teilstruktur der
Transfervorrichtung in 1 zeigt;
-
6 bis 9 Diagramme,
welche jeweils ein Betriebsbeispiel einer Transfervorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen;
-
10 und 11 perspektivische
Vorderansichten, welche jeweils eine weitere Ausführungsform
einer Transfervorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen.
-
DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
-
Es
wird nun im Detail auf die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung Bezug genommen, von der Beispiele in den begleitenden
Zeichnungen dargestellt sind. Wo immer dies möglich ist, werden dieselben
Bezugszahlen über alle
Zeichnungen hinweg verwendet, um sich auf dieselben oder ähnliche
Teile zu beziehen.
-
Unter
Bezugnahme auf 1 bis 5 erfolgt
eine detaillierte Beschreibung einer Ausführungsform einer Transfervorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung.
-
Wie
in 1 bis 4 gezeigt, weist eine Transfervorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung einen Basisteil 10 auf, der bewegbar horizontal an
einer ersten bis dritten Welle eines X-Y-Portal-Roboters (nicht
gezeigt) befestigt ist, der an einem Körper (nicht gezeigt) eines
Handlers befestigt ist, wobei mehrere Aufnehmerköpfe 20 in dem Basisteil 10 angeordnet
sind, um Halbleiter mit Hilfe eines Vakuumdrucks aufzunehmen. Die
Aufnehmerköpfe 20 sind
in einem vorderen und einem hinteren Teil des Basisteils 10 angeordnet,
die jeweils acht in zwei Reihen aufweisen.
-
Der
Basisteil 10 weist einen sich hin- und herbewegenden Block 11 auf,
der aufwärts-/abwärts-bewegbar
an dem X-Y-Portal-Roboter (nicht gezeigt) befestigt ist, zwei Seitenplatten 12, 13,
die senkrecht in beiden Seitenenden des sich hin- und herbewegenden
Blocks 11 verbunden sind und einander gegenüber liegen,
und zwei Basisplatten 14, 15, die parallel mit
einem vorbestimmten Abstand dazwischen angeordnet sind, wobei beide
Enden davon mit den Seitenplatten 12, 13 verbunden
sind.
-
Eine
Nockenplatte 30 ist aufwärts-/abwärts-bewegbar zwischen den Basisplatten 14, 15 zum
Einstellen eines Abstandes zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 angeordnet.
An der Nockenplatte 30 sind mehrere Nockenrillen 32 (acht
Nockenrillen in einer Ausführungsform)
geneigt in einer diffusen bzw. sich ausbreitenden Richtung von einer
Oberseite zu einer Unterseite ausgebildet. Hier sind die Nockenrillen 32 so
gebildet, dass sie durch eine Vorderfläche und eine Rückfläche der
Nockenplatte 30 verlaufen.
-
Ebenfalls
sind eine erste bis eine vierte LM-Führungsschiene 41 bis 44,
welche die Bewegung jedes Aufnehmerkopfes 20 in horizontaler
Richtung führen,
horizontal an einer Oberseite und einer Unterseite jeder Basisplatte 14, 15 in
einem vorbestimmten Abstand montiert. LM-Blöcke 45, 46,
die jeweils an den Aufnehmerköpfen 20 befestigt
sind, sind mit den LM-Führungsschienen 41 bis 44 verbunden, um
sich entlang der LM-Führungsschienen
zu bewegen.
-
Die
LM-Blöcke 45,
die mit den Aufnehmerköpfen 20 ungerader
Zahl von einer ersten Seite verbunden sind, sind mit einer ersten
und einer dritten LM-Führung 41, 43 der
LM-Führungsschienen
verbunden, und die LM-Blöcke 46,
die mit den Aufnehmerköpfen 20 gerader
Zahl von einer ersten Seite verbunden sind, sind mit einer zweiten
und einer vierten LM-Führungsschiene 42, 44 der
LM-Führungsschienen
verbunden.
-
Der
Grund, warum die LM-Blöcke 45, 46,
die mit jedem Aufnehmerkopf 20 verbunden sind, abwechselnd
mit der Oberseite und der Unterseite der LM-Führungsschienen 41 bis 44 verbunden
sind, besteht darin, zu vermeiden, dass die Größen der LM-Blöcke 45, 46 die
Einstellung eines Mindest-Abstandes zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 beeinträchtigen.
-
Mit
anderen Worten, falls die LM-Blöcke 45, 46,
genau wie eine Ausführungsform,
mit denselben LM-Führungsschienen 41 bis 44 in
einer Reihe verbunden sind, können
die LM-Blöcke 45, 46 aneinander
stoßen,
wenn der minimale Abstand jedes Aufnehmerkopfes 20 eingestellt
wird, wodurch die Einstellung des minimalen Abstands jedes Aufnehmerkopfes 20 nicht
ausgeführt
wird, da die Breite jedes LM-Blocks 45, 46 größer als
die Breite jedes Aufnehmerkopfes 20 ist.
-
Für den Fall,
dass die Breite jedes LM-Blocks 45, 46 kleiner
als die Breite jedes Aufnehmerkopfes 20 ist, ist es natürlich möglich, nur
eine oder zwei LM-Führungsschienen
zu verwenden und die LM-Blöcke,
die mit jedem Aufnehmerkopf 20 verbunden sind, können mit
denselben LM-Führungsschienen
in Linie verbunden sein.
-
Die
LM-Führungsschienen 35 sind
in einer nach oben und nach unten verlaufenden Richtung an beiden
Seiten der Nockenplatte 30 angeordnet, um die Nockenplatte 30 nach
oben/nach unten hin- und herzubewegen.
-
Um
die Nockenplatte 30 nach oben/nach unten hin- und herzubewegen,
sind LM-Führungsschienen 35 in
beiden Seiten der Nockenplatte 30 installiert und einem
LM Block 36, wobei die LM-Führungsschienen 35,
die beweglich verbunden sind, in Innenseiten der Seitenplatten 12, 13 eingebaut
sind.
-
Wenn
somit eine Außenkraft
in der Nockenplatte 30 in einer nach oben/nach unten verlaufenden Richtung
erzeugt wird, werden die LM-Führungsschienen 35 von
den LM-Blöcken 36 geführt, wodurch
die Nockenplatte 30 gleichmäßig nach oben/nach unten hin-
und herbewegt wird.
-
Ferner
ist ein Servomotor 51 in einer ersten Seite des sich hin-
und herbewegenden Blocks 11 eingebaut, um so eine Antriebskraft
zu erzeugen, welche die Nockenplatte 30 nach oben/nach
unten hin- und herbewegt. Eine Kraftübertragungswelle 53 ist
drehbar in einem oberen Ende des sich hin- und herbewegenden Blocks 11 eingebaut.
Eine Antriebs scheibe 54, die mit einer Welle 52 des
Servomotors 51 mittels eines Riemens 55 in Eingriff
ist, um eine Kraft aufzunehmen, ist an einem ersten Ende der Kraftübertragungswelle 53 eingebaut.
Ebenfalls ist eine erste obere Scheibe 56 mit einer ersten
Seite der Antriebsscheibe 54 an derselben Welle verbunden,
und eine zweite obere Scheibe 57 ist ebenfalls mit der
gegenüberliegenden
Seite der ersten oberen Scheibe 56 an derselben Welle verbunden.
-
Eine
erste untere Scheibe 58 und eine zweite untere Scheibe 59,
die jeweils mit der ersten oberen Scheibe 56 und der zweiten
oberen Scheibe 57 in Eingriff sind, sind drehbar in beiden
Seiten eines unteren Endes des sich hin- und herbewegenden Blocks 11 mittels
des ersten und des zweiten Kraftübertragungsriemens 61, 62 angeordnet.
-
Der
erste und der zweite Kraftübertragungsriemen 61, 62 sind
jeweils mit beiden Seiten der Nockenplatte 30 durch Teile 63, 64 einer
ersten und einer zweiten Kugelumlaufspindel 152 verbunden.
-
Folglich
wird, wenn ein Signal am Servomotor 51 angelegt und eine
Welle 52 in eine Richtung gedreht wird, eine Kraft auf
eine Antriebsscheibe 54 durch einen Riemen 55 übertragen,
und dann werden eine Kraftübertragungswelle 53 und
die erste und eine zweite obere Scheibe 56, 57,
die mit der Kraftübertragungswelle 53 in
Eingriff sind, gedreht. Somit bewegen sich der erste und der zweite Übertragungsriemen 61, 62 nach
oben/nach unten hin und her, und eine Nockenplatte bewegt sich nach oben/nach
unten hin und her, mittels der Führung
eines LM-Blocks 36.
-
Wie
in 5 gezeigt, sind Führungsöffnungen 14a als längliche Öffnungsformen
in einer Rechts-und-Links-Richtung an einem zentralen Teil der Basisplatten 14, 15 gebildet.
Ferner sind Stäbe 25 von
Kugelumlaufspindeln 152, die mit Nockenrillen 32 der
Nockenplatte 30 durch die Führungsöffnungen 14a verbunden
sind, mit jedem Aufnehmerkopf 20 verbunden. Rollen 26 sind
an dem Ende des Stabs 25 der Kugelumlaufspindel 152 rollbeweglich befestigt,
um die relative Bewegung zwischen den Nockenrillen 32 und
den Stäben 25 der
Kugelumlaufspindel 152 zu erleichtern.
-
Die
Stäbe 25 der
Kugelumlaufspindel 152, die mit den Aufnehmerköpfen 20 eines
Vorderteils des Basisteils 10 verbunden sind, und die Verbindungsstäbe 25,
die mit den Aufnehmerköpfen 20 eines
hinteren Teils verbunden sind, sind gemeinsam mit den Nockenrillen 32 der
Nockenplatte 30 verbunden und bewegen sich relativ synchron
zueinander, wodurch jeder Abstand zwischen den Aufnehmerköpfen 20 gleichmäßig eingestellt
wird.
-
Im
Gegensatz zu einer Ausführungsform, sind
Nockenrillen in beiden Seiten einer Nockenplatte gebildet, um eine
gegensätzliche
Phasendifferenz zueinander aufzuweisen, so dass die Einstellung
des Abstandes zwischen jedem Aufnehmerkopf einer vorderen Aufnehmerkopf-Reihe
und jedem Aufnehmerkopf einer hinteren Aufnehmerkopf-Reihe umgekehrt
zueinander ausgeführt
werden kann.
-
Es
wird ein Arbeitsverfahren einer Transfervorrichtung beschrieben.
-
Wie
in 6 gezeigt, sollen Verbindungsstäbe 25,
die mit jedem Aufnehmerkopf 20, angeordnet in einer ersten
voreingestellten Position (P1) eines oberen Endes von Nockenrillen 32 einer
Nockenplatte 30, verbunden sind, und danach ein Abstand
zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 den Mindestabstand (D1)
aufrechterhalten. In diesem Zustand nimmt jeder Aufnehmerkopf 20 einer
Transfervorrichtung Halbleiter (nicht gezeigt) auf einem Benutzer-Magazin
(nicht gezeigt) durch Vakuum auf und transferiert die Halbleiter
zur Position eines Test-Magazins (nicht gezeigt).
-
Inmitten
der Bewegung der Transfervorrichtung wird ein voreingestelltes Steuersignal
am Servomotor 51 (mit Bezug auf 1) durch
einen Steuerteil eines Handlers angelegt, und dann arbeitet der Servomotor 51.
Wie oben beschrieben, wird die Kraft auf die Antriebsscheibe 54 (mit Bezug
auf 1) mit Hilfe des Betriebs des Servomotors 51 übertragen, und
dann wird die Kraftübertragungswelle 53 (mit
Bezug auf 1) gedreht, und in der Folge
bewegt der Antrieb des ersten und des zweiten Kraftübertragungsriemens 61, 62 (mit
Bezug auf 1) die Nockenplatte 30 nach
oben/nach unten hin und her.
-
Wie
in 7 gezeigt, werden die Verbindungsstäbe 25 entlang
eines Pfades jeder Nockenrille 32 gemäß der nach oben verlaufenden
Bewegung der Nockenplatte 30 zu einer zweiten voreingestellten
Position P2 aufgeweitet. Somit wird jeder Aufnehmerkopf 20,
der mit den Verbindungsstäben 25 verbunden
ist, in einer Rechts-Links-Richtung entlang einer ersten bis zu
einer vierten LM-Führungsschiene 41 bis 44 aufgeweitet
bzw. gespreizt, wodurch der Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf
auf den Maximalabstand D2 eingestellt wird. Zu diesem Zeitpunkt
ist der Abstand jedes Aufnehmerkopfes 20 gleich dem Abstand,
in welchem die Halbleiter in einem Test-Magazin (nicht gezeigt)
abgelegt werden.
-
Somit
bewegt eine Transfervorrichtung Halbleiter, welche durch die Aufnehmerköpfe 20 aufgenommen
sind, in dem Zustand, in dem der Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 auf
eine Aufweitung eingestellt wird, zum Test-Magazin und legt diese
ab oder eine Transfervorrichtung nimmt beim Entladen die getesteten
Halbleiter durch Vakuum vollständig
in dem Test-Magazin auf und transferiert sie zu einem Benutzer-Magazin
zum Entladen.
-
Für den Fall,
dass die Transfervorrichtung sich von einer Test-Magazin-Position zu einer Benutzer-Magazin-Position
bewegt, wird somit ein vorbestimmtes Steuersignal an einem Servomotor 51 angelegt,
und dann arbeitet der Servomotor 51 in einer dem oben beschriebenen
Betrieb entgegengesetzten Weise. Da der Servomotor 51 in
entgegengesetzter Weise arbeitet, arbeiten auch der erste und der
zweite Kraftübertragungsriemen 61, 62 in
entgegengesetzter Weise. Somit bewegt sich die Nockenplatte 30 wieder
nach unten zu einer ersten voreingestellten Position P1, und dann
werden die Verbindungsstäbe 25 entlang
des Pfades jeder Nockenrille 32 verengt bzw. zusammengeführt, wie
in 6 gezeigt.
-
Somit
bewegt sich jeder Aufnehmerkopf 20 horizontal, wodurch
der Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 auf den minimalen
Abstand eingestellt wird.
-
Wenn
die Arten und Größen der
Halbleiter, die getestet werden, variieren, variiert auch der Abstand
zwischen jedem Halbleiter in einem Benutzer-Magazin und der Abstand
zwischen jedem Halbleiter in einem Test-Magazin. Ebenfalls muss
der Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 gemäß jedem
variierten Abstand geändert
werden. Zu diesem Zeitpunkt gibt der Benutzer einen neuen Steuerbefehl
eines Servomotors 51 in einen Steuerteil gemäß der Art
jedes Halbleiters ein, ohne eine Nockenplatte 30 auszutauschen,
und dann passt er den Betriebsbereich des Servomotors 51 neu
an, wodurch ein neuer Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf 20 eingestellt
wird.
-
Wie
in 8 gezeigt, wird, wenn ein neues Steuersignal an
einem Servomotor 51 angelegt wird, der Servomotor 51 entgegen
dem oben beschriebenen Betriebsbereich angetrieben, und dann bewegt sich
die Nockenplatte 30 in eine dritte voreingestellte Position
P3.
-
Somit
befinden sich die Verbindungsstäbe 25,
die mit den Aufnehmerköpfen 20 verbunden
sind, nicht an den höchsten
Enden der Nockenrillen 32, sondern an Enden der Nockenrillen 32,
die etwas niedriger als die höchsten
sind. Entsprechend können
die Aufnehmerköpfe 20 einen
anderen Mindestabstand D3 untereinander aufweisen als oben beschrieben.
-
Ebenfalls
ist, wenn ein weiteres unterschiedliches Signal an dem Servomotor 51 angelegt
wird, wie in 9 gezeigt, und sich die Nockenplatte 30 nach
oben zu einer vierten voreingestellten Position P4 bewegt, der Verbindungsstab 25 jedes
Aufnehmerkopfes 20 in einer weiteren anderen Position angeordnet.
Zu diesem Zeitpunkt wird der Abstand zwi schen jedem Aufnehmerkopf 20 auf
einen Maximalabstand D4 eingestellt, der sich von dem oben beschriebenen
unterscheidet.
-
Für den Fall,
dass jeder Abstand zwischen Aufnehmerköpfen 20 wieder eingestellt
werden muss, aufgrund der Änderung
der Art und/oder der Größe der Halbleiter,
die getestet werden, passt der Benutzer ein Steuersignal des Servomotors 51 an, ohne
eine Nockenplatte auszutauschen. Der Benutzer stellt somit eine
Bewegungsposition der Nockenplatte diskret ein, mit anderen Worten
eine relative Position zwischen den Verbindungsstäben 25 und den
Nockenrillen 32, wodurch er in der Lage ist, den Abstand
zwischen den Aufnehmerköpfen 20 auf
den diskreten Abstand einzustellen, den er/sie wünscht.
-
In
der Ausführungsform
der oben beschriebenen Transfervorrichtung werden ein Servomotor 51,
mehrere Scheiben 56 bis 59, Kraftübertragungsriemen 61, 62 als
Antriebsmittel verwendet, um die Nockenplatte 30 nach oben/nach
unten hin- und herzubewegen, wobei jedoch die Nockenplatte 30 mittels
eines Linearmotors geradliniger Gestalt mit einer Bewegungsvorrichtung
und einem Stator nach oben/nach unten hin- und herbewegt werden
kann.
-
Ebenso
werden Kraftübertragungsriemen und
Scheiben, wie oben beschrieben, als Kraftübertragungssystem zum Übertragen
der Kraft des Servomotors 51 verwendet, wobei jedoch auch
Kugelumlaufspindeln verwendet werden können.
-
10 und 11 zeigen
eine Ausführungsform
einer Transfervorrichtung unter Verwendung einer Kugelumlaufspindel
als Kraftübertragungssystem.
LM-Führungsschienen 141 und LM-Blöcke 142 sind
an einer hinteren Basisplatte 111 installiert, um die nach
rechts und nach links gerichtete Bewegung von mehreren Aufnehmerköpfen 120 zu
führen.
-
Eine
vordere Basisplatte 112 mit einer viereckigen Rahmenform,
deren Zentrum offen ist, wird parallel beabstandet vor der hinteren
Basisplatte 111 installiert. Eine Nockenplatte 130 wird
nach oben/nach unten bewegbar hinter der vorderen Basisplatte 112 installiert.
Mehrere Nockenrillen 132 sind auf der Nockenplatte 130 gebildet,
sich geneigt in einer diffusen Richtung von einer Oberseite zu einer
Unterseite erstreckend.
-
In
jeder Nockenrille 132 sind Rollen 126 installiert,
die entsprechend mit einem jeden Aufnehmerkopf 120 verbunden
sind. Die Rollen 126 drehen sich und kontaktieren eine
Innenumfangsfläche
jeder Nockenrille 132.
-
In
einem oberen Teil der vorderen Basisplatte 112 ist ein
Servomotor 151 installiert, der eine Position in eine diskrete
Position steuern kann. Ebenso ist in einem vorderen Teil der vorderen
Basisplatte 112 eine Kugelumlaufspindel 152 in
einer Abwärts-/Aufwärts-Richtung
installiert. Ein Mutternteil 153, der sich entlang der
Kugelumlaufspindel 152 durch Drehung der Kugelumlaufspindel 152 bewegt, ist
mit der Kugelumlaufspindel 152 verbunden. Der Mutternteil 153 ist
mit der Vorderseite der Nockenplatte 130 durch die Öffnung der
vorderen Basisplatte 112 verbunden. Das obere Ende der
Kugelumlaufspindel 152 ist mit einem Servomotor 151 über einen Riemen 155 verbunden,
um die Kraft aufzunehmen.
-
Wenn
somit ein vorbestimmtes Signal an dem Servomotor 151 angelegt
wird, wird die Kraft auf die Kugelumlaufspindel 152 durch
den Riemen 155 übertragen,
danach wird die Kugelumlaufspindel 152 um einen vorbestimmten
Betrag gedreht, und dann bewegt sich der Mutternteil 153 nach
oben/nach unten entlang der Kugelumlaufspindel 152 hin
und her, wodurch die Nockenplatte 130 nach oben/nach unten hin- und herbewegt wird.
-
Jeder
Aufnehmerkopf 120 bewegt sich nach links/nach rechts entlang
jeder LM-Führungsschiene 141,
und der Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf 120 variiert.
Die Abstand-Einstellung jedes Aufnehmerkopfes 120 mit Hilfe
der Nockenplatte 130, welche sich nach oben/nach unten
hin- und herbewegt, ist beinahe dieselbe wie jene der beschriebenen
Ausführungsform,
weshalb auf eine detaillierte Beschreibung verzichtet wird.
-
Gemäß der vorliegenden
Erfindung kann für den
Fall, dass der Abstand zwischen jedem Aufnehmerkopf 120 eingestellt
werden muss, weil die Arten oder die Größen der in einem Handler getesteten Halbleiter
variieren, die Position der Nockenplatte variiert werden, indem
ein Steuersignal eines Motors variiert wird, welcher die Nockenplatte
antreibt, ohne die Nockenplatte auszutauschen. Daher kann der Abstand
jedes Aufnehmerkopfes auf den diskreten Abstand wunschgemäß eingestellt
werden.
-
Entsprechend
kann der Arbeitszeitverlust, der durch das Austauschen der Nockenplatte
hervorgerufen wird, beseitigt und die Produktivität stark
verbessert werden.
-
Fachleuten
wird klar sein, dass verschiedene Modifikationen und Variationen
an der vorliegenden Erfindung durchgeführt werden können, ohne
vom Gedanken oder Umfang der Erfindung abzuweichen. Folglich ist
beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung die Modifikationen
und Variationen dieser Erfindung abdeckt, sofern diese in den Schutzumfang
der beiliegenden Ansprüche
und ihrer Äquivalente
fallen.